DE4032864A1 - Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen und verfahren unter verwendung dieser kombination - Google Patents

Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen und verfahren unter verwendung dieser kombination

Info

Publication number
DE4032864A1
DE4032864A1 DE4032864A DE4032864A DE4032864A1 DE 4032864 A1 DE4032864 A1 DE 4032864A1 DE 4032864 A DE4032864 A DE 4032864A DE 4032864 A DE4032864 A DE 4032864A DE 4032864 A1 DE4032864 A1 DE 4032864A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
poly
aqueous acidic
acidic bath
compounds
phenazonium
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE4032864A
Other languages
English (en)
Other versions
DE4032864C2 (de
Inventor
Wolfgang Dipl Ing Dahms
Horst Westphal
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Atotech Deutschland GmbH and Co KG
Original Assignee
Schering AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to DE4032864A priority Critical patent/DE4032864A1/de
Application filed by Schering AG filed Critical Schering AG
Priority to DE59103933T priority patent/DE59103933D1/de
Priority to PCT/DE1991/000811 priority patent/WO1992007116A1/de
Priority to JP3516095A priority patent/JPH06501986A/ja
Priority to ES91917496T priority patent/ES2066477T3/es
Priority to CA002093924A priority patent/CA2093924C/en
Priority to EP91917496A priority patent/EP0554275B1/de
Priority to AT91917496T priority patent/ATE115651T1/de
Publication of DE4032864A1 publication Critical patent/DE4032864A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE4032864C2 publication Critical patent/DE4032864C2/de
Priority to US08/720,890 priority patent/US5849171A/en
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D3/00Electroplating: Baths therefor
    • C25D3/02Electroplating: Baths therefor from solutions
    • C25D3/38Electroplating: Baths therefor from solutions of copper

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
  • Electrolytic Production Of Metals (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein saures Bad zur galvanischen Abscheidung glänzender und eingeebneter Kupferüberzüge und Verfahren unter Verwendung dieser Kombination.
Es ist seit langem bekannt, daß sauren, insbesondere den am meisten verbreiteten schwefelsauren Kupferelektrolyten bestimmte organische Substanzen in geringen Mengen zugesetzt werden können, um statt einer kristallin-matten Abscheidung glänzende Kupferüberzüge zu erhalten. Für diesen Zweck werden zum Beispiel Polyäthylenglycol, Thioharnstoff, Gelatine, Melasse, Kaffee-Extrakt, "basische" Farbstoffe und Thiophosphorsäureester verwendet. Solche Bäder besitzen jedoch keinerlei praktische Bedeutung mehr, da die Qualität der erhaltenen Kupferüberzüge nicht den heutigen Anforderungen entspricht. So sind die Überzüge entweder zu spröde oder sie besitzen einen zu geringen Glanz bzw. fallen in bestimmten Stromdichtebereichen reliefartig aus.
Bekannt ist der Zusatz von Polyalkyliminen in Verbindung mit organischen Thioverbindungen (DE-PS 12 46 347) und Polyvinylverbindungen in Mischung mit sauerstoffhaltigen hochmolekularen Verbindungen und organischen, insbesondere aromatischen Thioverbindungen (DE-AS 15 21 062). Derartige Kupferelektrolyte erlauben aber nicht den Einsatz höherer kathodischer Stromdichten, und die abgeschiedenen Kupferüberzüge können außerdem nur nach einer vorausgegangenen Zwischenbehandlung vernickelt werden. In der genannten DE-AS 15 21 062 wird außerdem ein saures Kupferbad beschrieben, das neben einer polymeren sauerstoffhaltigen Verbindung mit hydrophiler Gruppe noch mindestens eine substituierte Phenazoniumverbindung gelöst enthält.
Bei diesen monomeren Phenazoniumverbindungen ist die anwendbare Stromdichte sowie das Alterungsverhalten verbesserungswürdig. Weiter sind Kombinationen von organischen Thioverbindungen und nichtionogenen Netzmitteln mit anderen Farbstoffen wie zum Beispiel Kristall- Violett (EU-PS 71 512), Amiden (DE-PS 27 46 938), Phthalocyanin-Derivaten mit Apo-Safranin (DE-PS 34 20 999) bekannt.
Anstelle des Farbstoffes wurden auch undefinierte Umsetzungsprodukte von Polyaminen mit Benzylchlorid (DE-PS 25 41 897) bzw. Epichlorhydrin (EU-PS 68 807) oder solche mit Thioverbindungen und Acrylamid (EU-PS 1 07 109) verwendet.
Die bisher bekannten Bäder ergeben alle ungleichmäßige Abscheidungen; insbesondere die Kombination mit stickstoffhaltigen Thioverbindungen.
Einen Fortschritt erbrachten Bäder, die polymere Phenazoniumverbindungen (DE-PS 20 39 831) enthalten; diese finden hauptsächlich in Kombination mit nichtionogenen Netzmitteln und organischen Schwefelverbindungen Anwendung.
Zwar ist es Stand der Technik, nichtionogene Netzmittel den sauren Kupferbädern zuzusetzen, die Entfernung der feinen Rauhheit gelang damit jedoch nicht.
Die Verwendung von β-Naphthol-Polyglycoläther als Komponente eines Kupferbades wird in der DE-OS 37 21 985 (Beispiel 2) offenbart, jedoch nicht in der Kombination mit stickstoffhaltigen Thioverbindungen und/oder polymeren Phenazoniumverbindungen.
In der DE-PS 31 04 108 wird ein Fluorboratbad beschrieben, das β-Naphtholäthoxylat in Kombination mit einem Phthalocyanin-Farbstoff enthält. Der Elektrolyt selbst zeigt nur eine mäßige Einebnung im Vergleich zu polymeren Phenazoniumverbindungen.
Nachteilig bei diesen Bädern ist bei hoher Einebnung eine feine Rauhheit (Pittings, Nodules) auf der Schicht, welche das dekorative Aussehen besonders großflächiger Teile empfindlich stört. Diese Rauhheit rührt nicht von Schwebeteilchen im Elektrolyten her, sondern beruht auf einer gestörten Abscheidung in der kathodischen Doppelschicht. Diese tritt besonders bei stickstoffhaltigen Schwefelverbindungen (sog. Thioharnstoffderivaten) und bei Phenazoniumverbindungen auf.
Aufgabe dieser Erfindung ist es, diese beschriebenen Nachteile zu vermeiden und darüber hinaus die vorteilhafte Einebnung nicht zu verschlechtern.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein saures Bad gelöst, das β-Naphtholaloxylate der allgemeinen Formel I
enthält, in der n = 0-50, vorzugsweise 10-25, und m = 0-50, vorzugsweise 0-10, bedeuten, wobei n+m3 ist.
Als β-Naphtholalkoxylate der allgemeinen Formel I eignen sich besonders Verbindungen der
Tabelle 1
Als stickstoffhaltige Thioverbindungen finden Thioharnstoff und Thioharnstoffderivate sowie S- und N-haltige heterozyklische Verbindungen Anwendung.
Tabelle 2 enthält Beispiele für stickstoffhaltige Thioverbindungen (sog. Thioharnstoffderivate) und Tabelle 3 für polymere Phenazoniumverbindungen.
Tabelle 2
Thioharnstoff
N-Acetylthioharnstoff
N-Trifluoroacetylthioharnstoff
N-Äthylthioharnstoff
N-Cyanoacetylthioharnstoff
N-Allylthioharnstoff
o-Tolylthioharnstoff
N,N′-Butylenthioharnstoff
Thiazolidinthiol(2)
4-Thiazolinthiol(2)
Imidazolidinthiol(2)(N,N′-äthylenthioharnstoff)
4-Methyl-2-pyrimidinthiol
2-Thiouracil
Tabelle 3
Poly(6-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-diäthylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(5-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumacetat)
Poly(2-methyl-7-anilino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(7-methylamino-5-phenyl-phenazoniumacetat)
Poly(7-äthylamino-2,5-diphenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,8-dimethyl-7-diäthylamino-5-p-tolyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,5,8-triphenyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(2,8-dimethyl-7-amino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(7-Dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
Für die erfindungsgemäßen Lösungen lassen sich auch Gemische der in den Tabellen 1, 2 und 3 aufgeführten Verbindungen einsetzen.
Die bevorzugte Menge, in der das β-Naphtholalkoxylat zugegeben werden muß, um eine deutliche Verbesserung der Kupferabscheidung zu erzielen, beträgt etwa 0,005 bis 3 g/Liter, vorzugsweise 0,01 bis 0,25 g/Liter.
Die β-Naphtholalkoxylate sind bekannt oder können nach an sich bekannten Verfahren durch Umsetzen von β-Naphthol mit Äthylenoxyd und/oder Propylenoxyd hergestellt werden.
Die Einzelkomponenten des erfindungsgemäßen Kupferbades können im allgemeinen vorteilhaft innerhalb folgender Grenzkonzentrationen im anwendungsfertigen Bad enthalten sein:
Übliche sauerstoffhaltige, hochmolekulare Verbindungen
0,005-20 g/Liter
vorzugsweise 0,01-5 g/Liter
Übliche organische Thioverbindungen mit hydrophilen Gruppen 0,0005-0,2 g/Liter
vorzugsweise 0,001-0,03 g/Liter
Übliche stickstoffhaltige Thioverbindungen (sog. Thioharnstoffderivate) und/oder polymere Phenazoniumverbindungen 0,0001-0,50 g/Liter
vorzugsweise 0,0005-0,04 g/Liter
Die Grundzusammensetzung des erfindungsgemäßen Bades kann in weiten Grenzen schwanken. Im allgemeinen wird eine wäßrige Lösung folgender Zusammensetzung benutzt:
Kupfersulfat (CuSO₄ · 5 H₂O)
20-250 g/Liter
vorzugsweise 20-80 g/Liter oder
180-220 g/Liter
Schwefelsäure 50-350 g/Liter
vorzugsweise 180-220 g/Liter oder
50-90 g/Liter
Natriumchlorid 0,02-0,25 g/Liter
vorzugsweise 0,05-0,12 g/Liter
Anstelle von Kupfersulfat können zumindest teilweise auch andere Kupfersalze benutzt werden. Auch die Schwefelsäure kann teilweise oder ganz durch Fluoroborsäure, Methansulfonsäure oder andere Säuren ersetzt werden. Die Zugabe von Natriumchlorid kann ganz oder teilweise entfallen, wenn in den Zusätzen bereits Halogenionen enthalten sind.
Außerdem können im Bad auch zusätzlich übliche Glanzbildner, Einebner oder Netzmittel enthalten sein.
Zur Herstellung des erfindungsgemäßen Bades werden die Einzelkomponenten der Grundzusammensetzung hinzugefügt.
Dei Arbeitsbedingungen des Bades sind wie folgt:
pH-Wert:
<1
Temperatur: 15°C-45°C, vorzugsweise 20°C-30°C
kath. Stromdichte: 0,5-12 A/dm², vorzugsweise 2-4 A/dm²
Die Elektrolytbewegung wird durch Einblasen von Luft erreicht.
Als Anode wird Kupfer mit einem Gehalt von 0,02 bis 0,067% Phosphor verwendet.
Die Erfindung beinhaltet auch Verfahren unter Verwendung der erfindungsgemäßen Bäder gemäß den Patentansprüchen.
Die folgenden Beispiele dienen zur Erläuterung der Erfindung:
Beispiel 1
Einem Kupferbad der Zusammensetzung
200,0 g/Liter Kupfersulfat (CuSO₄ · 5 H₂O)
65,0 g/Liter Schwefelsäure
0,2 g/Liter Natriumchlorid
werden als Glanzbildner
0,2 g/Liter Polyäthylenglycol,
0,01 g/Liter Bis-(w-sulfopropyl)-disulfid, Dinatriumsalz
und
0,02 g/Liter polymeres 7-Dimethylamino-5-phenyl- phenazonium-chlorid
zugegeben. Bei einer Elektrolyttemperatur von 27°C erhält man bei einer Stromdichte von 4 A/dm² und Lufteinblasung einen gut eingeebneten glänzenden Kupferüberzug, der auf poliertem Messingblech beim genauen Hinsehen feine Rauhigkeiten (Pittings) zeigt.
Gibt man dem Bad zusätzlich 0,025 g/Liter der erfindungsgemäßen Substanz der allgemeinen Formel I mit n = 12 und m = 0 zu, so ist die Abscheidung spiegelglänzend und gut eingeebnet. Man erkennt keine Fehlstellen.
Beispiel 2
Einem Kupferbad der Zusammensetzung
80 g/Liter Kupfersulfat (CuSO₄ · 5 H₂O)
180 g/Liter Schwefelsäure konz.
0,08 g/Liter Natriumchlorid
werden als Glanzbildner
0,6 g/Liter Polypropylenglycol und
0,02 g/Liter 3-Mercaptopropan-1-sulfonsäure, Natriumsalz und
0,003 g/Liter N-Acetylthioharnstoff
zugegeben. Bei einer Elektrolyttemperatur von 30°C erhält man auf gekratztem Kupferlaminat bei einer Stromdichte von 2 A/dm² glänzende Abscheidungen, bei denen feine Rauhigkeiten (Pittings) sichtbar sind.
Setzt man dem Bad 0,05 g/Liter der erfindungsgemäßen Substanz der allgemeinen Formel I mit n = 24 und m = 0 zu, so ist der Kupferüberzug blank und enthält keine Störungen.

Claims (16)

1. Wäßriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung glänzender und eingeebneter Kupferüberzüge, stickstoffhaltige Thioverbindungen (sog. Thioharnstoffderivate) und/oder polymere Phenazoniumverbindungen enthaltend, gekennzeichnet durch einen Gehalt an β-Naphtholalkoxylat der allgemeinen Formel I in der n = 0-50 und m = 0-50 bedeuten, wobei n+m3 ist.
2. Wäßriges saures Bad gemäß Anspruch 1, enthaltend β-Naphtholalkoxylat der allgemeinen Formel I in Konzentrationen von 0,005 bis 3 g/Liter.
3. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet durch einen Gehalt an mindestens einer stickstoffhaltigen Thioverbindung (sog. Thioharnstoffderivat).
4. Wäßriges saures Bad gemäß Anspruch 3, enthaltend
Thioharnstoff
N-Acetylthioharnstoff
N-Trifluoroacetylthioharnstoff
N-Äthylthioharnstoff
N-Cyanoacetylthioharnstoff
N-Allylthioharnstoff
o-Tolylthioharnstoff
N,N′-Butylenthioharnstoff
Thiazolidinthiol(2)
4-Thiazolinthiol(2)
Imidazolidinthiol(2)(N,N′-Äthylenthioharnstoff)
4-Methyl-2-pyrimidinthiol
2-Thiouracil
oder Gemische dieser Verbindungen.
5. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 3 und 4, enthaltend stickstoffhaltige Thioverbindungen (sog. Thioharnstoffderivate) in Konzentrationen von 0,0001 bis 0,5 g/Liter.
6. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet durch einen Gehalt an mindestens einer polymeren Phenazoniumverbindung.
7. Wäßriges saures Bad gemäß Anspruch 6 enthaltend
Poly(6-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-diäthylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(5-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumacetat)
Poly(2-methyl-7-anilino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(2-methyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(7-methylamino-5-phenyl-phenazoniumacetat)
Poly(7-äthylamino-2,5-diphenyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,8-dimethyl-7-diäthylamino-5-p-tolyl-phenazoniumchlorid)
Poly(2,5,8-triphenyl-7-dimethylamino-phenazoniumsulfat)
Poly(2,8-dimethyl-7-amino-5-phenyl-phenazoniumsulfat)
Poly(7-Dimethylamino-5-phenyl-phenazoniumchlorid)
oder Gemische dieser Verbindungen.
8. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 6 und 7, enthaltend polymere Phenazoniumverbindungen in Konzentrationen von 0,0001 bis 0,5 g/Liter.
9. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet durch einen zusätzlichen Gehalt an mindestens einer sauerstoffhaltigen hochmolekularen Verbindung.
10. Wäßriges saures Bad gemäß Anspruch 9, enthaltend
Polyvinylalkohol
Carboxymethylcellulose
Polyäthylenglycol
Polypropylenglycol
Stearinsäure-Polyglycolester
Ölsäure-Polyglycolester
Stearylalkohol-Polyglycoläther
Nonylphenol-Polyglycoläther Oktanolpolyalkylenglycoläther Oktandiol-bis(polyalkylenglycoläther)
Polyoxypropylenglycol
Polyäthylen-propylenglycol
oder Gemische dieser Verbindungen.
11. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 9 und 10, enthaltend die sauerstoffhaltigen hochmolekularen Verbindungen in Konzentrationen von 0,005 bis 20 g/Liter.
12. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet durch einen zusätzlichen Gehalt an einer organischen stickstofffreien Thioverbindung mit wasserlöslichen hydrophilen Gruppen.
13. Wäßriges saures Bad gemäß Anspruch 12, enthaltend
3-Mercaptopropan-1-sulfonsäure, Natriumsalz,
Thiophosphorsäure-O-äthyl-bis-(w-sulfopropyl)-ester, Dinatriumsalz, Thiophosphorsäure-tris-(w-sulfopropyl)-ester, Trinatriumsalz,
Äthylendithiodipropylsulfonsäure, Natriumsalz,
Di-n-propylthioäther-di-w-sulfonsäure, Dinatriumsalz,
Bis-(w-sulfopropyl)disulfid, Dinatriumsalz,
Bis-(w-sulfohydroxypropyl)disulfid, Dinatriumsalz,
Bis-(w-sulfobutyl)disulfid, Dinatriumsalz,
Methyl-(w-sulfopropyl)disulfid, Natriumsalz,
Methyl-(w-sulfobutyl)trisulfid, Natriumsalz
oder Gemische dieser Verbindungen.
14. Wäßriges saures Bad gemäß Ansprüchen 12 und 13, enthaltend die organischen stickstofffreien Thioverbindungen mit wasserlöslichen hydrophilen Gruppen in Konzentrationen von 0,0005 bis 0,2 g/Liter.
15. Wäßriges saures Bad, gekennzeichnet durch einen Gehalt an β-Naphtholalkoxylaten gemäß Ansprüchen 1 bis 2, sauerstoffhaltigen hochmolekularen Verbindungen gemäß Ansprüchen 9 bis 11 und organischen stickstofffreien Thioverbindungen mit wasserlöslichen hydrophilen Gruppen gemäß Ansprüchen 12 bis 14.
16. Verfahren zur Kupfergalvanisierung unter Verwendung des Bades nach mindestens einem Anspruch 1-15.
DE4032864A 1990-10-13 1990-10-13 Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen und verfahren unter verwendung dieser kombination Granted DE4032864A1 (de)

Priority Applications (9)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4032864A DE4032864A1 (de) 1990-10-13 1990-10-13 Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen und verfahren unter verwendung dieser kombination
PCT/DE1991/000811 WO1992007116A1 (de) 1990-10-13 1991-10-11 Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferüberzügen und verfahren unter verwendung dieser kombination
JP3516095A JPH06501986A (ja) 1990-10-13 1991-10-11 銅被覆を電気的に析出させるための酸性浴およびこの組み合せ物を使用する方法
ES91917496T ES2066477T3 (es) 1990-10-13 1991-10-11 Baño acido para la electrodeposicion de recubrimientos de cobre y procedimiento con utilizacion de esta combinacion.
DE59103933T DE59103933D1 (de) 1990-10-13 1991-10-11 Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferüberzügen und verfahren unter verwendung dieser kombination.
CA002093924A CA2093924C (en) 1990-10-13 1991-10-11 Acid bath for copper plating
EP91917496A EP0554275B1 (de) 1990-10-13 1991-10-11 Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferüberzügen und verfahren unter verwendung dieser kombination
AT91917496T ATE115651T1 (de) 1990-10-13 1991-10-11 Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferüberzügen und verfahren unter verwendung dieser kombination.
US08/720,890 US5849171A (en) 1990-10-13 1996-10-04 Acid bath for copper plating and process with the use of this combination

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE4032864A DE4032864A1 (de) 1990-10-13 1990-10-13 Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen und verfahren unter verwendung dieser kombination

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE4032864A1 true DE4032864A1 (de) 1992-04-16
DE4032864C2 DE4032864C2 (de) 1993-01-07

Family

ID=6416407

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE4032864A Granted DE4032864A1 (de) 1990-10-13 1990-10-13 Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen und verfahren unter verwendung dieser kombination
DE59103933T Expired - Lifetime DE59103933D1 (de) 1990-10-13 1991-10-11 Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferüberzügen und verfahren unter verwendung dieser kombination.

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE59103933T Expired - Lifetime DE59103933D1 (de) 1990-10-13 1991-10-11 Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferüberzügen und verfahren unter verwendung dieser kombination.

Country Status (7)

Country Link
EP (1) EP0554275B1 (de)
JP (1) JPH06501986A (de)
AT (1) ATE115651T1 (de)
CA (1) CA2093924C (de)
DE (2) DE4032864A1 (de)
ES (1) ES2066477T3 (de)
WO (1) WO1992007116A1 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004057061A1 (en) * 2002-12-20 2004-07-08 Atotech Deutschland Gmbh Mixture of oligomeric phenazinium compounds and acid bath for electrolytically depositing a copper deposit
DE10337669A1 (de) * 2003-08-08 2005-03-03 Atotech Deutschland Gmbh Wässrige, saure Lösung und Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Kupferüberzügen sowie Verwendung der Lösung
DE102004041701A1 (de) * 2004-08-28 2006-03-02 Enthone Inc., West Haven Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Metallen

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7282602B2 (en) * 2004-09-21 2007-10-16 Bionumerik Pharmaceuticals, Inc. Medicinal disulfide salts
KR101362062B1 (ko) * 2006-01-27 2014-02-11 오꾸노 케미칼 인더스트리즈 컴파니,리미티드 함인동을 애노드로 하는 전해 동도금액용 첨가제, 전해동도금액 및 전해 동도금 방법
DE102014208733A1 (de) 2014-05-09 2015-11-12 Dr. Hesse Gmbh & Cie Kg Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Kupfer aus Wasser basierenden Elektrolyten
WO2018033461A1 (en) 2016-08-15 2018-02-22 Atotech Deutschland Gmbh Acidic aqueous composition for electrolytic copper plating

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1246347B (de) * 1966-03-08 1967-08-03 Schering Ag Saures galvanisches Kupferbad
DE1521062A1 (de) * 1962-04-16 1969-08-14 Udylite Res Corp Waessriges,saures,galvanisches Kupferbad
DE2721985A1 (de) * 1977-05-14 1978-11-16 Bayer Ag Verfahren zur herstellung von urethan- und/oder harnstoffgruppen aufweisenden polyisocyanat polyadditionsprodukten
DE2039831C3 (de) * 1970-06-06 1979-09-06 Schering Ag, 1000 Berlin Und 4619 Bergkamen Saures Bad zur galvanischen Abscheidung glänzender Kupferüberzüge
DE2541897C2 (de) * 1975-03-11 1982-01-21 Oxy Metal Industries Corp., Detroit, Mich. Wäßriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung duktiler und glänzender Kupferüberzüge
EP0068807A2 (de) * 1981-06-24 1983-01-05 M & T Chemicals, Inc. Saure Glanzmittel und Einebnungsmittel enthaltende Bäder zum elektrolytischen Aufbringen von Kupfer
EP0071512A1 (de) * 1981-07-24 1983-02-09 Rhone-Poulenc Specialites Chimiques Verfahren zur Herstellung eines Zusatzmittels für ein saures Kupferelektroplattierbad und seine Verwendung
EP0107109A2 (de) * 1982-09-30 1984-05-02 LeaRonal, Inc. Elektrolytische Kupferplattierungslösungen und Verfahren für ihre Anwendung
DE3402999A1 (de) * 1984-01-28 1985-08-01 Skw Trostberg Ag, 8223 Trostberg Duengerloesungen
DE3104108C2 (de) * 1980-02-19 1987-02-05 Omi International Corp. (Eine Gesellschaft N.D.Ges.D. Staates Delaware), Warren, Mich., Us
DE2746938C2 (de) * 1977-10-17 1987-04-09 Schering Ag, 1000 Berlin Und 4709 Bergkamen, De

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4374709A (en) * 1980-05-01 1983-02-22 Occidental Chemical Corporation Process for plating polymeric substrates
DE3721985A1 (de) * 1987-06-30 1989-01-12 Schering Ag Waessriges saures bad zur galvanischen abscheidung glaenzender und eingeebneter kupferueberzuege

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1521062A1 (de) * 1962-04-16 1969-08-14 Udylite Res Corp Waessriges,saures,galvanisches Kupferbad
DE1246347B (de) * 1966-03-08 1967-08-03 Schering Ag Saures galvanisches Kupferbad
DE2039831C3 (de) * 1970-06-06 1979-09-06 Schering Ag, 1000 Berlin Und 4619 Bergkamen Saures Bad zur galvanischen Abscheidung glänzender Kupferüberzüge
DE2541897C2 (de) * 1975-03-11 1982-01-21 Oxy Metal Industries Corp., Detroit, Mich. Wäßriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung duktiler und glänzender Kupferüberzüge
DE2721985A1 (de) * 1977-05-14 1978-11-16 Bayer Ag Verfahren zur herstellung von urethan- und/oder harnstoffgruppen aufweisenden polyisocyanat polyadditionsprodukten
DE2746938C2 (de) * 1977-10-17 1987-04-09 Schering Ag, 1000 Berlin Und 4709 Bergkamen, De
DE3104108C2 (de) * 1980-02-19 1987-02-05 Omi International Corp. (Eine Gesellschaft N.D.Ges.D. Staates Delaware), Warren, Mich., Us
EP0068807A2 (de) * 1981-06-24 1983-01-05 M & T Chemicals, Inc. Saure Glanzmittel und Einebnungsmittel enthaltende Bäder zum elektrolytischen Aufbringen von Kupfer
EP0071512A1 (de) * 1981-07-24 1983-02-09 Rhone-Poulenc Specialites Chimiques Verfahren zur Herstellung eines Zusatzmittels für ein saures Kupferelektroplattierbad und seine Verwendung
EP0107109A2 (de) * 1982-09-30 1984-05-02 LeaRonal, Inc. Elektrolytische Kupferplattierungslösungen und Verfahren für ihre Anwendung
DE3402999A1 (de) * 1984-01-28 1985-08-01 Skw Trostberg Ag, 8223 Trostberg Duengerloesungen

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004057061A1 (en) * 2002-12-20 2004-07-08 Atotech Deutschland Gmbh Mixture of oligomeric phenazinium compounds and acid bath for electrolytically depositing a copper deposit
US7872130B2 (en) 2002-12-20 2011-01-18 Atotech Deutschland Gmbh Mixture of oligomeric phenazinium compounds and acid bath for electrolytically depositing a copper deposit
DE10337669A1 (de) * 2003-08-08 2005-03-03 Atotech Deutschland Gmbh Wässrige, saure Lösung und Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Kupferüberzügen sowie Verwendung der Lösung
DE10337669B4 (de) * 2003-08-08 2006-04-27 Atotech Deutschland Gmbh Wässrige, saure Lösung und Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Kupferüberzügen sowie Verwendung der Lösung
DE102004041701A1 (de) * 2004-08-28 2006-03-02 Enthone Inc., West Haven Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Metallen

Also Published As

Publication number Publication date
ES2066477T3 (es) 1995-03-01
DE4032864C2 (de) 1993-01-07
CA2093924C (en) 2002-02-05
ATE115651T1 (de) 1994-12-15
EP0554275A1 (de) 1993-08-11
EP0554275B1 (de) 1994-12-14
WO1992007116A1 (de) 1992-04-30
JPH06501986A (ja) 1994-03-03
DE59103933D1 (de) 1995-01-26
CA2093924A1 (en) 1992-04-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE4126502C1 (de)
AT395603B (de) Waessriges saures bad zur galvanischen abscheidung von glaenzenden und rissfreien kupferueberzuegen und verwendung dieses bades
DE19653681C2 (de) Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Kupferschichten mit gleichmäßiger Schichtdicke und guten optischen und metallphysikalischen Eigenschaften und Anwendung des Verfahrens
EP1042538B1 (de) Wässriges bad und verfahren zum elektrolytischen abscheiden von kupferschichten
DE2255584C2 (de) Saures Kupfergalvanisierbad
DE60226196T2 (de) Zinn-Plattieren
DE102005011708B3 (de) Polyvinylammoniumverbindung und Verfahren zu deren Herstellung sowie diese Verbindung enthaltende saure Lösung und Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden eines Kupferniederschlages
DE3210286A1 (de) Waessriger saurer elektrolyt fuer die galvanische abscheidung von kupfer
DE2746938A1 (de) Saures galvanisches kupferbad
DE2056954C2 (de) Wäßriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung eines Zinnüberzugs und Verfahren hierzu
US5849171A (en) Acid bath for copper plating and process with the use of this combination
DE4032864C2 (de)
AT396946B (de) Wässeriges saures bad zur galvanischen abscheidung glänzender und eingeebneter kupferüberzüge
DE602004011520T2 (de) Wässrige, saure lösung und verfahren zur elektrolytischen abscheidung von kupferüberzügen sowie verwendung der lösung
DE2852433A1 (de) Waessriges saures galvanisches zinkbad
DE3139815A1 (de) &#34;verfahren zur erhaltung eines goldueberzuges mit verbesserter korrosionsbestaendigkeit auf einem substrat&#34;
DE3149043A1 (de) &#34;bad zur galvanischen abscheidung duenner weisser palladiumueberzuege und verfahren zur herstellung solcher ueberzuege unter verwendung des bades&#34;
EP0785297B1 (de) Wässriges, saures Bad zur galvanischen Abscheidung von glänzenden und rissfreien Kupferüberzügen und Verwendung dieses Bades
DE2251285C3 (de) Alkalisches Bad für die galvanische Abscheidung von Goldlegierungen
DE1952218B2 (de) Wäßriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung von Zinnüberzügen und seine Verwendung
DE2642666A1 (de) Verfahren und zusammensetzung zur herstellung einer galvanischen abscheidung
DE2948999C2 (de) Wässriges, saures Bad zur galvanischen Abscheidung von Gold und Verfahren zur galvanischen Abscheidung von Hartgold unter seiner Verwendung
DE2256025C2 (de) Wäßriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung von Zinn/Blei-Legierungsniederschlägen
DE2333096B2 (de) Galvanisch aufgebrachter mehrschichtiger Metallüberzug und Verfahren zu seiner Herstellung
DE1521031C3 (de) Saures Kupferbad zur galvanischen Abscheidung glänzender, eingeebneter Überzüge

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8327 Change in the person/name/address of the patent owner

Owner name: ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH, 10553 BERLIN, DE

8339 Ceased/non-payment of the annual fee