DE4018996C2 - Verfahren und Vorrichtung zur pyrolytischen Bildung einer Oxidbeschichtung auf einer heißen Glasunterlage - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur pyrolytischen Bildung einer Oxidbeschichtung auf einer heißen GlasunterlageInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
zur pyrolytischen Bildung eines Siliziumdioxidüberzugs auf
der Oberseite einer heißen Glasunterlage.
Die Erfindung beruht auf der Untersuchung verschiedener
Probleme in Verbindung mit der pyrolytischen Bildung von
Siliziumdioxidbeschichtungen auf Glas.
Siliziumdioxidbeschichtungen können entweder als einzige
Beschichtung auf Glas für verschiedene Zwecke angewandt
werden oder als eine Schicht eines mehrschichtigen
Überzuges. Zum Beispiel können Siliziumdioxidüberzüge als
Unterschichten benutzt werden, die mit anderen
Beschichtungen überschichtet werden, die aus einem oder
mehreren verschiedenen Oxiden oder anderen Materialien, wie
Metallen bestehen, oder als Überzugschicht, die oben auf
einer oder mehreren solchen Unterschichten aufgebracht ist.
Das Vorliegen eines Siliziumdioxidüberzugs auf
Natronkalkglas hat die besonders günstige Wirkung, daß er
die Wanderung von Natriumionen, gleichgültig ob sie durch
Auslaugen im Falle einer Scheibe mit keinem weiteren
Überzug, oder durch Diffusion oder auf andere Weise, in eine
obere Beschichtungsschicht entweder während der Bildung
dieser oberen Schicht oder über den Verlauf der Zeit
inhibiert. Als Beispiel wurde gefunden, daß bei der
pyrolytischen Bildung einer Zinnoxidbeschichtung aus
Zinn-IV-chlorid auf einer Natriumkalkglasunterlage
Natriumchlorid dazu neigt, in die Beschichtung aufgenommen
zu werden als Ergebnis einer Umsetzung des Glases mit dem
Vorläufermaterial der Beschichtung oder seinen
Reaktionsprodukten, und dies führt zu einer Trübung in der
Beschichtung. Das Vorliegen der Siliziumdioxidunterschicht
oder einer Überschicht kann auch eine sehr günstige Wirkung
in der Verminderung unerwünschter Interferenzeffekte
aufgrund von Veränderungen in der Dicke des Gesamtüberzuges
haben.
Die Verwendung eines Silans, insbesondere SiH4, als
Beschichtungsvorläufermaterial ist an sich wohlbekannt für
die Bildung von pyrolytischen Überzügen auf Glas. Silan
zersetzt sich bei Temperaturen über 400°C und es können
Siliziumüberzüge gebildet werden. Es ist jedoch schwierig,
einen solchen Siliziumüberzug in situ unter Bildung eines
Siliziumdioxidüberzuges zu oxidieren. Aus diesem Grund wird
es bevorzugt, das Silan direkt mit Sauerstoff umzusetzen.
Damit diese Reaktion unter Abscheidung von Siliziumdioxid
auf der Glasunterlage ablaufen kann statt in irgendeinem
Teil der Beschichtungsvorrichtung, verlangen alle bekannten
Vorschläge zur Verwendung eines silanhaltigen
Beschichtungsvorläufermaterials bei der Bildung einer
Siliziumdioxidbeschichtung, daß das
Beschichtungsvorläufermaterial nur mit Sauerstoff in einer
Beschichtungskammer gemischt werden darf, die für die zu
beschichtende Unterlage offen ist, und zwar an einer Stelle,
wo diese Materialien die Unterlage direkt frei kontaktieren
können. Es wurde jedoch gefunden, daß dies für die
Herstellung von Siliziumdioxidbeschichtungen hoher und
gleichmäßiger Qualität nicht günstig ist und daß
insbesondere Probleme bestehen, eine Beschichtung von
gleichmäßiger Dicke über die gesamte Breite der Unterlage zu
erzielen.
GB-PS 1 507 996 beschreibt beispielsweise ein Verfahren zur Beschich
tung eines Flachglasbandes, welches das Richten eines Beschichtungsgases
aus einem Verteiler, welcher sich über der Oberfläche querlaufend zur Lauf
richtung des Glasbandes erstreckt ist, auf eine zu beschichtende Oberfläche
des Glasbandes derart umfaßt, daß das Gas im wesentlichen parallel zum
Glas unter laminaren Strömungsbedingungen und einheitlich über der Breite
dieser Oberfläche strömt, und eine Vorrichtng zur Beschichtung eines Flach
glases.
GB 2 209 176 A beschreibt ein Verfahren zur Beschichtung
eines Flachglases durch chemisches Bedampfen, wobei ein Beschichtungsgas
über einer heißen Glasoberfläche in einer Beschichtungszone strömt, und eine
Vorrichtung zur Beschichtung eines Flachglases.
US-PS 4 123 244 beschreibt ein Verfahren zur Bildung
einer Metall- oder Metallverbindungsbeschichtung auf einer Oberfläche einer
Glasunterlage und eine Vorrichtung zur Durchführung eines solchen Verfah
rens.
Es ist ein Ziel der Erfindung, diese Probleme zu lösen.
Gemäß der Erfindung wird ein Verfahren zur pyrolytischen
Bildung einer Siliziumdioxidbeschichtung auf einer heißen
Glasunterlage bereitgestellt, während diese durch eine
Beschichtungskammer läuft, in der man die Unterlage mit
silanhaltigem Beschichtungsvorläufermaterial in Gegenwart
von Sauerstoff in Kontakt bringt, das dadurch gekennzeichnet
ist, daß das silanhaltige Beschichtungsvorläufermaterial in
der Dampfphase und gasförmiger Sauerstoff innig gemischt
werden, bevor sie in die Beschichtungskammer zum Kontakt mit
der Unterlage eintreten.
Ein Verfahren gemäß der Erfindung bietet aufgrund des frühen
Mischens der Beschichtungsreagenzien große Vorteile zur
Erzielung einer gleichmäßigen Beschichtung über die Breite
der Unterlage. Überraschenderweise führt das frühe Mischen
nicht zu einer vorzeitigen Reaktion des
Beschichtungsvorläufermaterials, wie man dies durch die
Aussagen des Standes der Technik erwarten sollte, sondern
ist in der Tat günstig zur Herstellung von
Siliziumdioxidbeschichtungen hoher Qualität.
Vorzugsweise erreicht die Unterlage die Beschichtungskammer
mit einer Temperatur von wenigstens 400°C. Solche
Temperaturen sind sehr geeignet zur raschen Bildung eines
Siliziumdioxidüberzuges aus einem silanhaltigen
Beschichtungsvorläufer. Es sei auch darauf hingewiesen, daß
als allgemeine Regel die Beschichtungsreaktion umso
schneller erfolgt, je höher die Temperatur des Glases
während der Schichtbildung ist, so daß die
Beschichtungsausbeute, das heißt der Anteil an
Beschichtungsvorläufermaterial, der in ein brauchbares
Beschichtungsoxid überführt wird, erhöht wird, und für eine
gegebene Geschwindigkeit des Bandvorlaufes ist es möglich,
gewünschtenfalls eine dickere Beschichtung zu erzielen. Aus
diesem Grund wird es auch bevorzugt, daß das
Beschichtungsvorläufermaterial das Glas zum ersten Mal
kontaktiert, wenn das Glas eine Temperatur von wengistens
650°C hat. Für viele Zwecke kann das Glas eine Temperatur
von zwischen 700°C und 750°C haben, wenn es zuerst mit dem
Beschichtungsvorläufermaterial in Kontakt kommt.
Die Erfindung kann zur Bildung einer
Siliziumdioxidbeschichtung auf vorgeschnittenen und
wiedererhitzten Glasscheiben dienen, wenn dies erforderlich
ist. Wenn man jedoch pyrolytisch beschichtetes Flachglas
erzeugen will, ist es am besten, wenn man dies am frisch
gebildeten Glas vornimmt. Dies zu tun hat wirtschaftliche
Vorteile, da dann keine Notwendigkeit besteht, das Glas für
das Ablaufen der pyrolytischen Reaktionen wieder zu
erhitzen, und es ist auch günstig bezüglich der Qualität der
Beschichtung, da man gewährleistet, daß die Oberfläche des
Glases in frischem Zustand ist. Vorzugsweise werden daher
ein solches Vorgemisch des Sauerstoffs und
Beschichtungsvorläufermaterials in Kontakt mit der oberen
Seite einer heißen Glasunterlage gebracht, die aus einem
frisch gebildeten Flachglas besteht.
Die Beschichtungskammer kann z. B. in oder nahe dem
Stromaufende einer Kühlbahn, z. B. eines Kanalkühlofens sein,
durch welchen das Band läuft, und das Band kann entweder in
einer Ziehmaschine oder einer Floatkammer gebildet sein.
Es wurde jedoch gefunden, daß gewisse Probleme auftreten,
wenn man eine Kühlbahn, die vorher zum Kühlen von
unbeschichtetem Glas benutzt wurde, als Kühlbahn und
Beschichtungsstation für die Herstellung von beschichtetem
Glas verwendet. Solche Probleme entstehen als Ergebnis der
möglichen unterschiedlichen Temperaturbedingungen zur
Bildung einer pyrolytischen Beschichtung einerseits und zur
richtigen Kühlung des Glases andererseits und als Ergebnis
von Beschränkungen bezüglich des zur Verfügung stehenden
Platzes für die Anordnung einer Beschichtungsstation. Das
Problem wird noch verstärkt, wenn man einen mehrschichtigen
Überzug bilden will, wo dann zwei oder mehr verschiedene
Beschichtungsstationen erforderlich sind. Überdies haben die
Beschichtungsreaktionen einen kühlenden Effekt auf das Glas,
wobei das Glas nicht nur insgesamt gekühlt wird, sondern die
beschichtete Oberfläche neigt auch dazu, mehr abgekühlt zu
werden als die unbeschichtete Oberfläche. So muß oft ein
unterschiedliches Temperaturprogramm in einer Kühlbahn
eingerichtet werden, die mit einer oder mehreren
Beschichtungsstationen ausgerüstet ist, wenn man von der
Erzeugung von beschichtetem Glas auf unbeschichtetes Glas
und wieder zurück wechselt, und manchmal sogar, wenn eine
wesentliche Änderung in der Dicke der auf, das Glas
aufgebrachten Beschichtung vorgenommen wird.
Um diese Probleme zu erleichtern, wird es am meisten
bevorzugt, daß ein solches Vorgemisch des Sauerstoffs und
Beschichtungsvorläufermaterials in Kontakt mit einer
Oberseite einer heißen Floatglasunterlage gebracht wird,
während das Glas sich in einer Floatkammer befindet, in der
es hergestellt wird.
Indem man gemäß dieser bevorzugten Ausführungsform der
Erfindung arbeitet und die Beschichtung innerhalb der
Floatkammer bildet, wird die Notwendigkeit, Platz für die
Beschichtungsstation in oder nahe dem Stromaufende einer
Kühlbahn zu finden, vermieden. Überdies wurde gefunden, daß
es möglich ist, zu gewährleisten, daß die Temperatur des die
Floatkammer verlassenden Glasbandes praktisch unbeeinflußt
ist, gleichgültig, ob das Band beschichtet ist oder nicht,
und demgemäß besteht kein Erfordernis, das
Temperaturprogramm in der Kühlbahn zu verändern, wenn man
die Beschichtungskammer in Betrieb oder außer Betrieb nimmt.
Es ist recht überraschend, vorzuschlagen, eine
Oxidbeschichtung innerhalb einer Floatkammer zu bilden.
Floatkammern enthalten ein Bad aus geschmolzenem Metall, das
ganz oder hauptsächlich aus Zinn besteht, das recht leicht
bei den Temperaturen oxidierbar ist, die für das Ausbreiten
des Glasbandes und zu dessen Feuerpolierung erforderlich
sind, und demgemäß ist es allgemeine Praxis, in der
Floatkammer eine reduzierende Atmosphäre aufrechtzuerhalten,
da jede Oberflächenverunreinigung, die vom Glasband von
der Oberfläche des Metallbades aufgenommen
wird, eine Quelle von Mängeln im erzeugten Glas wäre. Im
typischen Fall enthält eine solche Atmosphäre etwa 95 Vol.-%
Stickstoff und etwa 5 Vol.-% Wasserstoff und wird bei einem
leichten Überdruck gehalten, um zu verhindern, daß
Sauerstoff in die Floatkammer aus der Umgebung
eintritt. Es wurde auch viel Forschung aufgewandt, um
Schlacke bzw. Verunreinigungen zu vermeiden, die sich fast
immer auf der Oberfläche des Metallbades bilden, trotz aller
Vorsichtsmaßnahmen, die man unternimmt, um den Zutritt von
Sauerstoff in die Floatkammer zu vermeiden. Es ist daher
gegen alle Erkenntnisse über die Herstellung von Floatglas,
vorsätzlich oxidierende Bedingungen in der Floatkammer
aufrechtzuerhalten. Es wurde jedoch gefunden, daß es möglich
ist, oxidierende Bedingungen innerhalb einer Floatkammer zu
erzeugen, ohne die erwarteten Probleme hervorzurufen. Es
wird angenommen, daß dies wenigstens teilweise auf die
Tatsache zurückzuführen ist, daß dieses
Beschichtungsvorläufermaterial in einer Beschichtungskammer
in Kontakt mit dieser Seite von Glas gebracht wird. Die
Verwendung einer Beschichtungskammer erleichtert die
Eingrenzung der oxidierenden Bedingungen, des
Beschichtungsvorläufermaterials und der
Beschichtungsreaktionsprodukte, so daß ihre Wirkung auf das
Metallbad in der Floatkammer klein oder vernachlässigbar
gemacht werden kann.
Die Beschichtung kann an jeder Stelle entlang der
Floatkammer stromabwärts von der Stelle ausgebildet werden,
wo das Band seine endgültige Breite erreicht hat, und die
tatsächlich gewählte Lage hängt von der Temperatur ab, die
man für die Initiierung der Beschichtung des Glases haben
will. Das Glas wird von der Floatkammer für das Weiterlaufen
zur Kühlbahn mit einer Temperatur abgenommen, die gewöhnlich
im Bereich von 570°C bis 650°C liegt. Bandtemperaturen über
570°C eignen sich von vorneherein für das Ablaufen von
pyrolytischen Beschichtungsreaktionen, so daß die
Beschichtungsstation tatsächlich recht nahe zum Ausgang der
Floatkammer angeordnet werden kann. Vorzugsweise kontaktiert
jedoch das Beschichtungsvorläufermaterial das Glas an einer
Stelle entlang der Floatkammer, so daß das Glas eine
Temperatur hat, die wenigstens 50°C und vorzugsweise
wenigstens 100°C höher ist als die Temperatur, bei welcher
das Glas aus der Floatkammer austreten würde, wenn keine
Beschichtung darauf gebildet würde. Die Wahl dieses
bevorzugten Merkmals der Erfindung liefert den Vorteil, daß
reichlich Zeit für das Band bleibt, um Wärme
wiederaufzunehmen, die während der Beschichtungsreaktionen
abgegeben wurde, so daß, wenn es die Floatkammer verläßt,
seine Temperatur von dem Beschichtungsarbeitsgang praktisch
unbeeinflußt ist.
Vorteilhafterweise kontaktiert das
Beschichtungsvorläufermaterial das Glas innerhalb einer
solchen Beschichtungskammer, wobei die Kammer von dem Weg
der Unterlage und einer sich abwärts öffenden Haube umgrenzt
ist und die Beschichtungskammer um praktisch ihren gesamten
Umfang abgesaugt wird. Dies unterstützt die Verhinderung des
Austretens von nicht benutztem Beschichtungsvorläufer und
Reaktionsprodukten der Beschichtung aus der
Beschichtungskammer in den umgebenden Raum.
Vorzugsweise induziert eine solche Absaugung einen nach
einwärts gerichteten Strom von Umgebungsatmosphäre, welche
praktisch den gesamten Umfang der Beschichtungskammer
umgibt. Dies erzeugt eine pneumatische Dichtung zwischen den
oxidierenden Bedingungen in der Beschichtungskammer und der
Umgebungsatmosphäre.
Bei bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung wird Silan
als Beschichtungsvorläufermaterial zur Beschichtungskammer
in Dampfphase in einem praktisch inerten Trägergasstrom
geführt und Sauerstoff wird in den silanhaltigen
Trägergasstrom eingeführt, bevor er in die
Beschichtungskammer eintritt. Während es wesentlich beim
Betrieb gemäß der Erfindung ist, daß Sauerstoff und das
Beschichtungsvorläufersilan vor dem Eintritt in die
Beschichtungskammer innig gemischt sind, ist es auch ein
Vorteil, in der Lage zu sein, die Länge der Zeit zu steuern,
für welche diese Reagenzien gemischt sind, bevor sie der
Beschichtungskammer zugeführt werden. Die Förderung des
Silans zur Beschichtungskammer in einem praktisch inerten
Trägergasstrom und dann die Einführung von Sauerstoff in
diesen Trägergasstrom gestattet die Wahl der Stelle, wo der
Sauerstoff eingeführt werden soll, um diese Steuerung zu
erzielen.
Vorteilhafterweise wird Stickstoff als praktisch inertes
Trägergas verwendet. Stickstoff ist für die hier in betracht
zu ziehenden Zwecke hinreichend inert und es ist billig,
wenn man es mit Edelgasen vergleicht.
Der erforderliche Sauerstoff kann als reiner Sauerstoff
eingeführt werden, jedoch erhöht dies die Kosten unnötig,
und vorzugsweise wird Luft dem Trägergasstrom zugeführt, um
den Sauerstoff einzuführen.
Der Beschichtungsvorläufer und/oder der Sauerstoff können
bequem in den Trägergasstrom mittels eines
Venturi-Lufttrichters eingeführt werden.
Bei bevorzugten Ausführungsformen wird Turbulenz im
Trägergasstrom induziert, um das innige Mischen des
praktisch inerten Trägergases und des Silans zu
gewährleisten. Ein gewisses Ausmaß an Turbulenz wird
erzeugt, wenn ein Lufttrichter wie oben erwähnt verwendet
wird, jedoch kann sie z. B. vergrößert werden, wenn man eine
Zufuhrleitung verwendet, die eine Verengung stromabwärts von
der Einführungsstelle für den Beschichtungsvorläufer hat.
Eine solche Verengung kann auch asymmetrisch sein. Das
innige Mischen des Vorläufers in das Trägergas wird durch
die Erzeugung von Turbulenz gewährleistet.
Aus ähnlichen Gründen ist es vorteilhaft, daß Turbulenz im
Trägergasstrom nach der Einführung von Sauerstoff in diesen
bewirkt wird, um das innige Mischen des silanhaltigen
Trägergases und des Sauerstoffes zu gewährleisten.
Die Geschwindigkeit, mit welcher die Beschichtungsreagenzien
zuzuführen sind, hängt in gewissem Ausmaß von der
gewünschten Dicke des zu bildenden Überzuges und von der
Geschwindigkeit ab, mit welcher die Unterlage durch die
Beschichtungskammer läuft. Vorzugsweise wird Silan als
Beschichtungsvorläufer in die Beschichtungskammer mit einem
Partialdruck zwischen 0,1% und 1,5% eingeführt. Eine
Konzentration in diesem Bereich eignet sich zur Bildung von
Überzügen von etwa 30 nm bis etwa 240 nm auf einer
Unterlage, die mit bis zu 20 m/min läuft.
Vorteilhafterweise wird für die Erzeugung von beschichtetem
Glas, das mit einer Geschwindigkeit von weniger als 10 m/min
läuft, Silan als Beschichtungsvorläufermaterial in die
Beschichtungskammer mit einem Partialdruck von zwischen 0,1%
und 0,4% eingeführt.
Vorzugsweise wird Sauerstoff in die Beschichtungskammer mit
einem Partialdruck von zwischen 0,6% und 20% eingeführt.
Eine Konzentration innerhalb dieses Bereiches eignet sich
wieder zur Bildung von Beschichtungen von etwa 30 nm bis
etwa 240 nm auf einer Unterlage, die mit bis zu 20 m/min
läuft.
Für die Erzeugung von beschichtetem Glas, das mit einer
Geschwindigkeit von weniger als etwa 10 m/min läuft, ist es
vorteilhaft, daß Sauerstoff in die Beschichtungskammer mit
einem Partialdruck von zwischen 0,6% und 6,5% eingeführt
wird.
Vorzugsweise werden Maßnahmen ergriffen, um die Überführung
von Wärmeenergie zum Beschichtungsvorläufermaterial zu
begrenzen, während es dem Glas zugeführt wird. Dies erhält
die Temperatur der Beschichtungsreagenzien auf einem
tieferen Niveau als dies die Umgebungsbedingungen sonst
vorschreiben würden und unterstützt weiter die Verminderung
jeder Neigung zur vorzeitigen Reaktion.
Vorteilhafterweise wird Beschichtungsvorläufermaterial so
zugeführt, daß es das Glas über wenigstens einen Schlitz
kontaktiert, der sich oder die sich zusammen über wenigstens
den Hauptteil der Breite der Beschichtung erstreckt bzw.
erstrecken, die auf dem Glas gebildet werden soll. Dies
erleichtert die Bildung einer Beschichtung mit
gleichförmiger Dicke über die Breite der Glasunterlage. Die
Erfindung erstreckt sich auf die Vorrichtung zur
pyrolytischen Bildung einer Oxidbeschichtung auf einer
Oberseite einer heißen Glasunterlage, die dadurch
gekennzeichnet ist, daß eine solche Vorrichtung Trägermittel
für den Transport der Unterlage entlang eines Weges und
durch eine Beschichtungskammer umfaßt, die durch den Weg der
Unterlage und einer sich stromabwärts öffnenden Haube
begrenzt ist, Mittel für die Zufuhr von
Beschichtungsvorläufermaterial in Dampfphase zur
Beschichtungskammer, das mit Sauerstoff gemischt ist, und
Mittel für das Absaugen von Atmosphäre einschließlich der
Beschichtungsreaktionsprodukte und von nicht verbrauchtem
Vorläufermaterial von der Beschichtungskammer.
Eine solche Vorrichtung kann sehr einfach gebaut sein, um
das frühe Mischen des gasförmigen Sauerstoffes und dieses
Beschichtungsvorläufermaterials zu bewirken, bevor sie die
Beschichtungskammer erreichen. Es wurde gefunden, daß dieses
frühe Mischen der Beschichtungsreagenzien in Dampfphase
wiederum eine sehr günstige Wirkung bei der Erzielung einer
gleichmäßigen Beschichtung über die Breite der Unterlage mit
sich bringt. Überraschenderweise führt das frühe Mischen
nicht zu der vorzeitigen Reaktion des
Beschichtungsvorläufermaterials, die man erwarten würde, und
es ist tatsächlich günstig für die Erzeugung von
Beschichtungen hoher Qualität.
Eine solche Vorrichtung kann gewünschtenfalls zur
Beschichtung von einzelnen wiedererhitzten Glasscheiben
benutzt werden. Alternativ, wie dies bei einigen bevorzugten
Ausführungsformen der Erfindung der Fall ist, befindet sich
diese Beschichtungsstation innerhalb oder stromaufwärts von
einer horizontalen Kühlbahn, die mit Glas von einer
Glasbandbildungsmaschine versorgt wird. Dies hat den
Vorteil, daß man das Erfordernis einer
Wiedererhitzungsvorrichtung vermeidet.
Es ist jedoch im allgemeinen bevorzugt, daß diese
Unterstützungsmittel ein Bad von geschmolzenem Metall in
einer Floatkammer sind und die Beschichtungskammer sich in
der Floatkammer befindet.
Eine solche Vorrichtung hat den Vorteil, daß die
Konstruktion einer Kühlbahn vereinfacht wird, die mit Glas
von der Floatkammer versorgt wird. Dies ist so, weil während
der Zeit, die das Glasband braucht, um von der
Beschichtungsstation weiter entlang der Floatkammer und in
die Kühlbahn zu laufen, das Temperaturprofil des
beschichteten Bandes zu einem Gleichgewichtszustand
zurückkehren kann, der durch die Wärme gestört wurde, die
während des tatsächlichen Beschichtungsverfahrens abgezogen
wurde. Demgemäß muß die Vorrichtung zur Einstellung der
Temperatur in der Kühlbahn keine Unterschiede ausgleichen,
die sich zwischen der Erzeugung von Glas ergäben, wenn die
Beschichtungsstation in Betrieb oder außer Betrieb ist, so
daß die Temperatursteuerung in der Kühlbahn stark
vereinfacht werden kann. Der Vorteil der vereinfachten
Konstruktion einer Kühlbahn, die mit dem Glas versorgt wird,
ist sogar noch größer, wenn man Glas erzeugen will, das eine
mehrschichtige Beschichtung hat, die im Falle einer schon
existierenden Glaserzeugungsanlage außerhalb der Floatkammer
einfach kein Platz für die erforderliche Anzahl von
Beschichtungsstationen sein kann, ohne daß man diese Anlage
einem größeren Umbau unterzieht.
Vorteilhafterweise wird diese Beschichtungskammer vom Weg
der Unterlage und einer stromabwärts sich öffnenden Haube
begrenzt, und es sind Absaugmittel um praktisch den gesamten
Umfang der Beschichtungskammer vorgesehen. Dies hilft, den
Austritt von nicht benutzten Beschichtungsreagenzien und
Beschichtungsreaktionsprodukten zu vermeiden, die eine
nachteilige Wirkung auf die Vorrichtung in der Nähe der
Beschichtungsstation haben könnten.
Vorzugsweise sind diese Absaugmittel so eingestellt, daß sie
einen nach innen gerichteten Strom von atmosphärischem
Material der Umgebung bewirken, das praktisch den gesamten
Umfang der Beschichtungskammer umgibt. Dies erleichtert die
Vermeidung des Austritts von Material von unterhalb der
Haube und erzeugt eine pneumatische Dichtung um die
Beschichtungskammer.
Vorteilhafterweise sind Mittel vorgesehen, um
Beschichtungsvorläufermaterial in einen Trägergasstrom und
um nachher Sauerstoff in den vorläuferhaltigen
Trägergasstrom einzuführen, bevor er in die
Beschichtungskammer eintritt. Während es erwünscht ist, wenn
man gemäß dem ersten Aspekt dieser Erfindung arbeitet und
tatsächlich notwendig ist, wenn man nach dem zweiten Aspekt
der Erfindung arbeitet, Mittel für das Vermischen von
Sauerstoff und Silan als Beschichtungsvorläufer vorzusehen,
bevor sie in die Beschichtungskammer eintreten, ist es auch
ein Vorteil, wenn man in der Lage ist, die Zeitspanne zu
steuern, für welche diese Reagenzien gemischt sind, bevor
sie der Beschichtungskammer zugeführt werden. Die Förderung
des Silans zur Beschichtungskammer in einem praktisch
inerten Trägergasstrom und das anschließende Einführen von
Sauerstoff in diesen Trägergasstrom gestatten die Wahl der
Stelle, wo der Sauerstoff eingeführt wird, um diese
Steuerung zu erzielen.
Vorzugsweise wird wenigstens ein Venturi-Lufttrichter zur
Einführung von wenigstens einem dieser Materialien,
Beschichtungsvorläufermaterial und gasförmiger Sauerstoff,
in den Trägergasstrom vorgesehen. Dies ist ein sehr
einfacher Weg der Einführung des jeweiligen Materials in
einen Trägergasstrom in solcher Weise, daß das eingeführte
Material mit diesem Gasstrom vermischt wird.
Bei bevorzugten Ausführungsformen sind Mittel vorgesehen, um
Turbulenz im Trägergasstrom zu erzeugen, um das innige
Mischen des Trägergases und des
Beschichtungsvorläufermaterials zu gewährleisten. Turbulenz
kann z. B. durch Verwendung einer Zufuhrleitung erzeugt
werden, die eine Verengung stromabwärts von der
Einführungsstelle für den Beschichtungsvorläufer hat. Eine
solche Verengung kann asymmetrisch sein. Das innige Mischen
des Vorläufers in das Trägergas wird durch die Erzeugung von
Turbulenz gewährleistet.
Aus ähnlichen Gründen ist es vorteilhaft, daß Mittel
vorgesehen sind, um Turbulenz im Trägergasstrom nach der
Einführung von Sauerstoff zu erzeugen, um das innige Mischen
des im Vorläufer enthaltenen Trägergases und des Sauerstoffs
zu gewährleisten.
Vorteilhafterweise wird für die Einführung des
Beschichtungsvorläufermaterials in die Beschichtungskammer
wenigstens ein Schlitz vorgesehen, der sich oder die sich
zusammen über wenigstens den größeren Teil der Breite der
Beschichtungskammer erstreckt bzw. erstrecken. Dies
erleichtert die Bildung eines Überzugs mit gleichmäßiger
Dicke über die Breite der Unterlage. Zum Beispiel kann ein
einziger Schlitz in der Mitte der Haube rechtwinklig zum Weg
der Unterlage vorgesehen sein.
Vorzugsweise sind Mittel vorgesehen, um die Überführung von
Wärmeenergie zum Beschichtungsvorläufermaterial zu
begrenzen, während es der Beschichtungskammer zugeführt
wird. Dies hält die Temperatur der Beschichtungsreagenzien
auf einem tiefen Niveau als dies die Umgebungsbedingungen
sonst vorschreiben würden und unterstützt weiter die
Verminderung jeder Neigung zur vorzeitigen Reaktion.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung wird nun
ausführlicher als Beispiel unter Bezugnahme auf die
beigefügte schematische Zeichnung beschrieben.
Fig. 1 ist ein Querschnitt über die Breite einer
Beschichtungsvorrichtung gemäß der Erfindung, die in einer
Floatkammer angeordnet ist,
Fig. 2 ist ein Längsschnitt der Beschichtungsvorrichtung
von Fig. 1,
Fig. 3 ist eine schematische Draufsicht auf die
Beschichtungsapparatur, und
Fig. 4 zeigt die Zufuhr von Beschichtungsreagenzien zu
einer Zufuhrleitung für die Versorgung der
Beschichtungsstation.
In der Zeichnung wird ein Band 1 aus Glas längs eines Weges
geführt, der ebenfalls mit 1 bezeichnet ist, während es von
einem Bad aus geschmolzenem Metall 2 unterstützt ist, das in
einer Floatkammer 3 enthalten ist. Eine Beschichtunsstation
ist von einer Wand und Dachstruktur umgeben, die allgemein
mit 4 bezeichnet ist.
Die Beschichtungsstation 4 umfaßt eine Haube 5, die eine
Beschichtungskammer 6 umgrenzt, die sich nach unten auf den
Weg des Bandes 1 öffnet, eine Zufuhrleitung für die Zufuhr
von Beschichtungsreagenzien zur Beschichtungskammer 6 und
einen Kamin 8 für die Umfangsabsaugung um die
Beschichtungskammer.
Die Zufuhrleitung 7 wird mit einem praktisch inerten
Trägergas, wie Stickstoff, aus einer Quelle versorgt, die
nicht gezeigt ist, und das Beschichtungsvorläufermaterial,
wie Silan, wird in den Trägergasstrom bei einem ersten
Lufttrichter 9 eingeführt. Der Trägergasstrom mit darin
verteiltem Beschichtungsvorläufer strömt entlang der
Zufuhrleitung 7 zu einer ersten Verengung 10, die eingebaut
ist, um Turbulenz im Trägergasstrom zu erzeugen und das
innige Mischen des Trägergases und des mitgeschleppten
Beschichtungsvorläufermaterials zu gewährleisten. Weiter
stromabwärts ist ein zweiter Lufttrichter 11 vorgesehen für
die Einführung von Sauerstoff, z. B. als Bestandteil von
Luft. Eine weitere Turbulenz erzeugende Verengung 12
gewährleistet das innige Mischen des Sauerstoffs und des
mitgeschleppten Beschichtungsvorläufermaterials im
Trägergasstrom. Die Beschichtungsreagenzien werden durch die
Zufuhrleitung 7 einem Strömungssteuerungsblock 13 mit einem
Ausgangsschlitz 14 zugeführt, der sich über den Hauptteil
der Breite der Haube 5 erstreckt.
Es ist zweckmäßig, Beschichtungsvorläufermaterial und
Sauerstoff der Zufuhrleitung 7 außerhalb der Floatkammer 3
zuzuführen. An allen Teilen innerhalb der Floatkammer 3 ist
die Zufuhrleitung von einem Kühlmantel 15 umgeben, der mit
einem Kühlwassereinlaß 16 und -auslaß 17 wie in Fig. 1
gezeigt ausgestattet ist. Gewünschtenfalls kann der
Kühlmantel sich auch in den Strömungssteuerungsblock 13
erstrecken wie dies mit 18 gestrichelt in Fig. 2 und 4
gezeigt ist, so daß die Beschichtungsreagenzien gegen
Überhitzung geschützt sind, bis sie aus dem Schlitz 14 für
den Kontakt mit dem Band 1 in der Beschichtungskammer 6
austreten.
Wie in Fig. 2 gezeigt, sind Haube 5 und
Strömungssteuerungsblock 13 geeignet am Dach der Floatkammer
3 mittels Streben 19 aufgehängt. Es ist zweckmäßig, mit
Gewinde versehene Streben 19 zu benutzen, so daß die Höhe
des Bodens der Haube 5 auf kleine Abstände, z. B. 2 cm oder
weniger, vom Weg des Bandes 1 eingestellt werden kann.
Die Haube 5, die Beschichtungskammer 6 und der
Strömungssteuerungsblock 13 sind von einer Umfangspassage 20
umgeben, über welche Beschichtungsreaktionsprodukte und
nicht benutztes Beschichtungsvorläufermaterial zusammen mit
gewünschtenfalls nach innen gesaugtem Material der
Umgebungsatmosphäre von der Floatkammer nach oben durch den
Kamin 8 abgesaugt werden können. Die Haube 5 und die
Wandstruktur 4 der Beschichtungsstation sind gezeigt, wie sie
mit ggfs. vorhandenen, sich um den Umfang erstreckenden
Schürzen 21 am Boden der Umfangspassage 20 versehen sind.
Diese Schürzen bestehen zweckmäßig aus biegsamen feuerfesten
Vorhängen, z. B. aus Refrasil (Warenzeichen).
Bei einer speziellen praktischen Ausführungsform zur
Beschichtungs von Floatglas, das mit einer Geschwindigkeit
von 7 m/min durch eine Floatkammer läuft, ist die
Beschichtungsstation an einer Stelle längs der Floatkammer
angeordnet, wo das Glas eine Temperatur von etwa 700°C hat.
Die Zufuhrleitung wird mit Stickstoff gespeist und Silan
wird mit einem Partialdruck von 0,25% und Sauerstoff mit
einem Partialdruck von 0,5% (Verhältnis 0,5) eingeführt. Das
Beschichtungsvorläufermaterial und sein Trägergas werden
durch die Zufuhrleitung 7 geführt und treten durch einen
Schlitz von etwa 4 mm Breite mit solcher Geschwindigkeit
aus, daß das zugeführte Material zwischen dem Glas und der
Haube 5, die etwa 15 mm über dem Weg 1 des Glases angeordnet
ist, mit einer Geschwindigkeit von etwa 2 bis 3 m/sec in
beiden Richtungen parallel zur Richtung der Bandvorbewegung
strömt. Die Haube 5 hat eine Länge in dieser Richtung von
etwa 40 cm. Atmosphärisches Material wird durch den Kamin 8
mit solcher Geschwindigkeit abgesaugt, daß man einen nach
oben gerichteten Strom von Gasen in der Umfangspassage 20
mit einer Geschwindigkeit von etwa 7 bis 8 m/sec erzeugt,
und dies bewirkt einen kontinuierlichen, nach innen
gerichteten Strom von Gas von der Floatkammer in das
Unterteil der Passage 20 um den gesamten Umfang der
Beschichtungskammer 6 und verhindert so das Entweichen von
Beschichtungsreagenzien oder deren Reaktionsprodukten in die
Floatkammer. Selbstverständlich zieht eine solche Absaugung
auch Beschichtungsreaktionsprodukte und nicht verbrauchte
Beschichtungsreagenzien ab.
Die gebildete Beschichtung besteht aus Siliziumdioxid von
etwa 90 nm Dicke. Bei einer darauffolgenden
Beschichtungsstufe, die in an sich bekannter Weise in einer
Beschichtungsstation erfolgt, die nahe dem Stromaufende
einer horizontalen Kühlbahn liegt, wird eine obere
Überzugsschicht von dotiertem SnO2 in einer Dicke von etwa
500 nm gebildet. Die kombinierte Beschichtung ist praktisch
frei von unerwünschten Farbänderungen aufgrund von
Interferenzeffekten.
Bei verschiedenen Ausführungsformen gemäß des zweiten
Aspektes dieser Erfindung sitzt die in den Zeichnungen
gezeigte Beschichtungsstation in einer Kühlbahn. In der
Beschreibung der Zeichnung können daher Bezugnahmen auf die
Floatkammer auch durch Bezugnahmen auf eine Kühlbahn ersetzt
werden und Bezugnahmen auf die Bahn von geschmolzenem Metall
können durch Bezugnahmen auf Transportrollen ersetzt werden.
Bei einer spezifischen praktischen Ausführungsform zur
Beschichtung von Floatglas, nachdem es aus der Floatkammer
abgezogen ist, sitzt die Beschichtungsstation in einer
Kühlbahn, wo die Temperatur des Glases etwa 500°C beträgt,
stromabwärts von einer anderen Beschichtungsstation zur
Bildung einer Überzugsschicht aus dotiertem SnO2 von etwa
350 nm Dicke. Die Haube hat eine Länge von etwa 1 m. Die
Beschichtungsvorläuferreagenzien werden in den gleichen
Mengen wie in Beispiel 1 eingeführt, um eine
Siliziumdioxidoberschicht von etwa 100 nm Dicke zu bilden.
Auch diese kombinierte Beschichtung ist wiederum frei von
unerwünschten Farbveränderungen aufgrund von
Interferenzeffekten.
Claims (28)
1. Verfahren zur pyrolytischen Bildung eines
Siliziumdioxidüberzuges auf einer heißen Glasunterlage,
die durch eine Beschichtungskammer läuft durch Kontakt
der Unterlage mit silanhaltigem
Beschichtungsvorläufermaterial in Gegenwart von
Sauerstoff, dadurch gekennzeichnet, daß das silanhaltige
Beschichtungsvorläufermaterial in der Dampfphase und
gasförmiger Sauerstoff innig gemischt werden, bevor sie
in die Beschichtungskammer eintreten und in Kontakt mit
der Unterlage kommen.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Unterlage die Beschichtungskammer mit einer
Temperatur von wenigstens 400°C erreicht.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
das Beschichtungsvorläufermaterial mit dem Glas zum
ersten Mal in Kontakt kommt, wenn das Glas eine
Temperatur von wenigstens 650°C hat.
4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das vorgemischte Material aus
Sauerstoff und Beschichtungsvorläufer in Kontakt mit der
Oberseite einer heißen Glasunterlage gebracht wird, die
aus frisch gebildetem Flachglas besteht.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß
Sauerstoff und Beschichtungsvorläufermaterial im
vorgemischten Zustand in Kontakt mit einer Oberseite
einer heißen Floatglasunterlage gebracht werden, während
das Glas sich in einer Floatkammer befindet, in der es
erzeugt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß
das Beschichtunsvorläufermaterial mit dem Glas an einer
solchen Stelle entlang der Floatkammer in Kontakt kommt,
wo das Glas eine Temperatur hat, die wenigstens 50°C und
vorzugsweise wenigstens 100°C höher ist als die
Temperatur, mit welcher das Glas aus der Floatkammer
austreten würde, wenn keine Beschichtung darin gebildet
würde.
7. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß das
Beschichtungsvorläufermaterial mit dem Glas in dieser
Beschichtungskammer in Kontakt kommt, die durch den Weg
der Unterlage und einer sich nach unten öffnenden Haube
umgrenzt ist und wobei die Beschichtungskammer um
praktisch ihren gesamten Umfang abgesaugt wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß
diese Absaugung einen nach innen gerichteten Strom von
Umgebungsatmosphäre bewirkt, welche praktisch den
gesamten Umfang der Beschichtungskammer umgibt.
9. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß Silan als
Beschichtungsvorläufermaterial zur Beschichtungskammer
in Dampfform in einem Strom von praktisch inertem
Trägergas gefördert wird und Sauerstoff in den
silanhaltigen Trägergasstrom eingeführt wird, bevor er
in die Beschichtungskammer eintritt.
10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß
Stickstoff als praktisch inertes Trägergas verwendet
wird.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch
gekennzeichnet, daß Luft dem Trägergasstrom zugeführt
wird, um Sauerstoff darin einzuführen.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 11, dadurch
gekennzeichnet, daß Turbulenz im Trägergasstrom erzeugt
wird, um das innige Mischen des Trägergases und des
Silans zu gewährleisten.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12, dadurch
gekennzeichnet, daß Turbulenz im Trägergasstrom erzeugt
wird, nachdem Sauerstoff in ihn eingeführt wurde, um das
innige Mischen des silanhaltigen und sauerstoffhaltigen
Trägergases zu gewährleisten.
14. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß Silan als
Beschichtungsvorläufermaterial in die
Beschichtungskammer mit einem Partialdruck von zwischen
0,1% und 1,5% eingeführt wird,
15. Verfahren nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß
Silan als Beschichtungsvorläufermaterial in die
Beschichtungskammer mit einem Partialdruck von zwischen
0,1% und 0,4% eingeführt wird.
16. Verfahren nach Anspruch 14 oder 15, dadurch
gekennzeichnet, daß Sauerstoff in die
Beschichtungskammer mit einem Partialdruck von zwischen
0,6% und 20% eingeführt wird.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß
Sauerstoff in die Beschichtungskammer mit einem
Partialdruck von zwischen 0,6% und 6,5% eingeführt wird.
18. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß Maßnahmen getroffen werden,
um den Übergang von Wärmeenergie zum
Beschichtungsvorläufermaterial zu begrenzen, während es
dem Glas zugeführt wird.
19. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
Beschichtungsvorläufermaterial so zugeführt wird, daß es
das Glas über wenigstens einen Schlitz kontaktiert, der
sich oder die sich zusammen über wenigstens den
Hauptteil der Breite der Beschichtung erstreckt bzw.
erstrecken, die auf dem Glas gebildet werden soll.
20. Vorrichtung zur pyrolytischen Bildung einer Oxidbeschichtung auf einer
Oberseite einer heißen Glasunterlage, dadurch gekennzeichnet, daß die
Vorrichtung
- - einen Weg der Unterlage, eine sich nach unten öffnenden Haube (5) und eine Beschichtungskammer (6), die von dem Weg der Unterlage und der sich nach unten öffnenden Haube (5) umgrenzt ist;
- - Unterstützungsmittel für den Transport der Unterlage entlang des Wegs der Unterlage durch die Beschichtungskammer (6),
- - Mittel zur Einführung vom Beschichtungsvorläufermaterial in Dampf phase in einen Trägergasstrom, welche Mittel zur Erzeugung von Turbulenz im Trägergasstrom einschließen, um das innige Mischen des Trägergases und des Beschichtungsvorläufermaterials zu gewährleisten;
- - Mittel, welche wenigstens einen Venturi-Lufttrichter (11) zur Einführung von Sauerstoff in den das Vorläufermaterial enthaltenden Trägergasstrom, bevor dieser in die Beschichtungskammer (6) eintritt, einschließen;
- - Mittel für die Zufuhr von Beschichtungsvorläufermaterial in Dampfphase zur Beschichtungskammer (6), welches mit Sauerstoff vorgemischt ist; und
- - Mittel für die Absaugung von Atmosphäre einschließlich von Beschich tungsreaktionsprodukten und nicht verbrauchtem Vorläufermaterial aus der Beschichtungskammer (6) umfaßt.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die
Beschichtungskammer (6) in oder stromaufwärts von einer horizontalen
Kühlbahn angeordnet ist, der ein frisch gebildetes Glasband zugeführt wird.
22. Vorrichtung nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die
Unterstützungsmittel ein Bad aus geschmolzenem Metall (2) in einer
Floatkammer (3) sind und die Beschichtungskammer (6) innerhalb der Floatkammer (3)
angeordnet ist.
23. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß Absaugmittel (8)
um praktisch den gesamten Umfang der Beschichtungskammer (6) vorgesehen
sind.
24. Vorrichtung nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet, daß diese
Absaugmittel (8) so eingestellt und angeordnet sind, daß sie einen nach innen
gerichteten Strom von atmosphärischem Material der Umgebung, das
praktisch den gesamten Umfang der Beschichtungskammer (6) umgibt,
aufrechterhalten.
25. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur
Erzeugung von Turbulenz im Trägergasstrom nach der Einführung von
Sauerstoff in diesen vorgesehen sind, um das innige Mischen des den
Vorläufer enthaltenden Trägergases und des Sauerstoffs zu gewährleisten.
26. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß für die
Einführung von Beschichtungsvorläufermaterial in die Beschichtungskammer (6)
wenigstens ein Schlitz (14) vorgesehen ist, der sich oder die sich zusammen über
wenigstens den größten Teil der Breite der Beschichtungskammer (6) erstreckt
bzw. erstrecken.
27. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel
vorgesehen sind, um den Übergang von Wärmeenergie auf das
Beschichtungsvorläufermaterial zu begrenzen, während es der
Beschichtungskammer (6) zugeführt wird.
28. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zur
Erzeugung von Turbulenz im Trägergasstrom wenigstens ein Venturi-
Lufttrichter (9) ist, um das innige Mischen des Trägergases und des
Beschichtungsvorläufermaterials zu gewährleisten.
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