NL194885C - Werkwijze en inrichting voor het pyrolytisch vormen van een oxide-bekleding op een heet glassubstraat. - Google Patents

Description

1 194885

Werkwijze en inrichting voor het pyrolytisch vormen van een oxidebekleding op een heet glassubstraat

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het pyrolytisch vormen van een siliciumoxidebekleding 5 op een heet glassubstraat als het voortbeweegt langs een bekledingskamer door het in contact brengen van het substraat met een silaanbevattend bekledingsuitgangsmateriaal in aanwezigheid van zuurstof.

Een dergelijke werkwijze is bekend uit de Europese octrooipublicatie EP-A 0.213.045. Silaan ontleedt bij temperaturen boven 400°C waarbij een siliciumbekleding kan worden gevormd op een substraat. Omdat dergelijke siliciumbekledingen moeilijk in situ kunnen worden geoxideerd, waardoor een siliciUmoxidelaag 10 wordt gevormd, verdient het de voorkeur om het silaan direct met zuurstof te laten reageren. Teneinde er voor te zorgen dat deze reactie zodanig zal plaatsvinden dat het siliciumoxide op het glassubstraat wordt afgezet en niet op sommige delen van de bekledingsapparatuur, wordt volgens de bekende werkwijze het silaan uitgangsmateriaal pas in de bekledingskamer met zuurstof gemengd.

Deze bekende werkwijze heeft echter het nadeel dat daarmee geen gelijkmatige kwaliteit van de 15 siliciumoxidebekleding kan worden gevormd. In het bijzonder worden problemen verkregen met het verkrijgen van een gelijkmatige dikte over het substraat heen.

De onderhavige uitvinding heeft nu tot doel om een siliciumoxidebekleding met een gelijkmatige dikte op een substraat te vormen. In het algemeen heeft de uitvinding tot doel de bekende problemen te voorkomen.

Ter verkrijging van de hiervoor genoemde doelen verschaft de uitvinding een werkwijze als in de aanhef 20 genoemd en welke wordt gekenmerkt doordat het silaanbevattende bekledingsuitgangsmateriaal in de dampfase en gasvormig zuurstof innig worden gemengd, alvorens ze de bekledingskamer binnengaan om in contact te komen met het substraat.

Vanwege het vroegtijdig mengen van de bekledingsreagentia verschaft de uitvinding aanzienlijke voordelen bij het vormen van de bekleding op het substraat. De gevormde bekleding is zeer gelijkmatig.

25 Verrassenderwijs geeft het vroegtijdig mengen geen aanleiding tot een voortijdige reactie van het bekledingsuitgangsmateriaal zoals verwacht zou worden uit de algemene gedachte van de stand der techniek. Het vroegtijdig mengen is zelfs gunstig voor de productie van siliciumoxidebekledingen van hoge kwaliteit.

Volgens een voorkeursuitvoeringsvorm komt het bekledingsuitgangsmateriaal pas in contact met het glas 30 wanneer het glas een temperatuur heeft van ten minste 570°C. Glas wordt onttrokken uit de float-kamer voor doorvoer naar de temperingskoeloven bij een temperatuur die gewoonlijk in een gebied van 570°C tot 650°C ligt. Een glastemperatuur van ten minste 570°C is derhalve zeer geschikt om de pyrolytische bekledingsreactie plaats te laten vinden zodat het bekledingsstation in feite zeer dicht bij de uitgang van de float-kamer kan zijn gelokaliseerd. Als algemene regel geldt dat hoe hoger de temperatuur van het glas 35 tijdens de bekledingsvorming, hoe sneller de bekledingsreactie is, zodat de bekledingsopbrengst, dat wil zeggen de verhouding van bekledingsuitgangsmateriaal dat wordt omgezet in bruikbaar bekledingsoxide, wordt verhoogd en voor een gegevenssnelheid van stroomvoortgang (de transportsnelheid van het glas) is het mogelijk om een dikkere bekleding indien gewenst te vormen. Om die reden verdient het verder de voorkeur dat het bekledingsuitgangsmateriaal met het glas in contact komt wanneer het glas een tempera-40 tuur van ten minste 650°C heeft. Voor vele doeleinden kan het glas een temperatuur van tussen 700°C en 750°C hebben wanneer het eerst in contact komt met het bekledingsuitgangsmateriaal.

Volgens een verdere voorkeursuitvoeringsvorm wordt de werkwijze gekenmerkt doordat het voorgemengde zuurstof en bekledingsuitgangsmateriaal in contact wordt gebracht met een bovenvlak van een heet float-glas-substraat terwijl het glas in een float-kamer is, waarin het wordt vervaardigd. Volgens een 45 dergelijke uitvoeringsvorm van de uitvinding, waarbij de bekleding in de float-kamer wordt gevormd, wordt elke noodzaak voor het vinden van een ruimte voor het bekledingsstation in of nabij het stroomopwaarts gelegen uiteinde van een temperingskoeloven, voorkomen. Voorts is gebleken dat het mogelijk is dat de temperatuur van de glazen strook die de float-kamer verlaat in hoofdzaak onaangetast is, ongeacht het feit of de strook is bekleed of niet, en dienovereenkomstig is er geen noodzaak om het temperatuurregime in 50 een temperingskoeloven te modificeren bij het aan- of uitschakelen van die bekledingskamer.

Overigens is het nogal verrassend om voor te stellen een oxidebekleding te vormen in een float-kamer. Float-kamers bevatten een bad van gesmolten metalen, volledig of voornamelijk tin, dat nogal makkelijk oxideerbaar is bij de vereiste temperaturen voor de glasstrook om zich te verspreiden en om vuur-gepolijst te worden. Dienovereenkomstig is het een algemeen gebruik om een reducerende atmosfeer te handhaven 55 in de float-kamer aangezien iedere oppervlakte onzuiverheid, dat door de glasstrook wordt opgenomen van het oppervlak van het metaalbad, een bron van defecten in het geproduceerde glas zou zijn.

Kenmerkend bevat een dergelijke atmosfeer 95% stikstof en 5% waterstof en het wordt gehandhaafd bij 194885 2 een lichte overdruk teneinde te voorkomen dat zuurstof in de fioat-kamer lekt vanuit de omgevings-atmosfeer. Veel onderzoek is eveneens verricht op het verwijderen van onzuiverheden die zich bijna altijd vormen op het oppervlak van het metaalbad, ondanks al de genomen voorzorgen om te vermijden dat zuurstof in de fioat-kamer komt. Daarom is het tegengesteld aan de leer van de stand der techniek ten 5 aanzien van de productie van floatglas, om opzettelijk oxiderende omstandigheden in de fioat-kamer te handhaven. We hebben echter gevonden dat het mogelijk is om oxiderende omstandigheden te creëren in een fioat-kamer zonder dat dit aanleiding geeft tot de verwachte problemen. We menen dat dit ten minste het gevolg is van het feit dat het genoemde bekledingsuitgangsmateriaal in contact wordt gebracht met het genoemde vlak in een bekledingskamer. Het gebruik van een bekledingskamer vergemakkelijkt de 10 begrenzing van de oxiderende omstandigheden, van het bekledingsuitgangsmateriaal, en van de bekle-dingsreactieproducten, zodat hun effect op het bad van metaal in de fioat-kamer klein of verwaarloosbaar gehouden kan worden.

De bekleding kan worden gevormd op iedere plaats langs de fioat-kamer, stroomafwaarts van de plaats waar de strook zijn uiteindelijke breedte heeft bereikt. De gekozen feitelijke plaats zal afhangen van de 15 gewenste temperatuur voor het initiëren van de bekleding van het glas.

Een verdere voorkeursuitvoeringsvorm van de werkwijze volgens de uitvinding wordt gekenmerkt doordat het bekledingsuitgangsmateriaal in contact komt met het glas in de bekledingskamer, welke kamer wordt bepaald door het substraatpad en een kap met aan de onderzijde een opening, en waarin de bekiedings-kamer in wezen rondom zijn hele omtrek wordt afgezogen. Dit helpt bij het voorkomen van het ontsnappen 20 van ongebruikt bekledingsuitgangsmateriaal en bekledingsreactieproducten van de bekledingskamer naar de omringende omgeving. Bij voorkeur induceert een dergelijke afzuiging een inwaartse stroming van omgevingsatmosfeer die in wezen de gehele omtrek van de bekledingskamer omringt. Dit creëert een pneumatische afsluiting tussen de oxiderende omstandigheden in de bekledingskamer en de omgevingsatmosfeer.

25 Een verdere voorkeursuitvoeringsvorm van de werkwijze wordt gekenmerkt doordat silaan wordt geleid naar de bekfedingspadkamer in dampfase in een inerte dragergasstroom en waarbij turbulentie wordt geïnduceerd in de dragergasstroom teneinde het innig mengen van het dragergas en het silaan te verzekeren, en na het inbrengen van zuurstof daarin teneinde het innig mengen van het silaanhoudende draaggas en het zuurstof te verzekeren.

30 Hoewel het essentieel is bij het te werk gaan overeenkomstig deze uitvinding om zuurstof en het bekledingsuitgangssilaan innig vermengd te hebben alvorens het in de bekledingskamer gaat is het eveneens een voordeel om in staat te zijn de tijdslengte te beheersen waarin deze reagentia worden gemengd voorafgaand aan de toevoer naar de bekledingskamer. Het geleiden van silaan naar de bekledingskamer in een in wezen inerte dragergasstroom en daarna het inleiden van zuurstof in die 35 dragergasstroom maakt een keuze van het punt waar zuurstof moet worden ingeleid mogelijk, teneinde die beheersing te bereiken.

Een verdere voorkeursuitvoeringsvorm wordt gevormd doordat silaan als bekledingsuitgangsmateriaal in de bekledingskamer bij een partiële druk van tussen 0,1% en 1,5% wordt ingeleid. Een concentratie binnen dat bereik is geschikt voor bekledingen vanaf ongeveer 30 nanometer tot ongeveer 240 nanometer op een 40 substraat dat met de snelheid van tot en met 20 meter per minuut voortgaat.

Volgens een andere voorkeursuitvoeringsvorm wordt zuurstof in de bekledingskamer met een partiële druk van tussen 0,6% en 20% ingeleid. Een concentratie binnen dat bereik is geschikt voor het vormen van bekledingen vanaf ongeveer 30 nanometer tot ongeveer 240 nanometer op een substraat dat voortbeweegt bij tot en met 20 meter per minuut.

45 Volgens de verdere voorkeursuitvoeringsvorm wordt de werkwijze gekenmerkt doordat het bekledingsuitgangsmateriaal in de richting van het glas wordt gevoerd door een toevoerleiding welke is omringd door een koelmantel om de warmteoverdracht naar het bekledingsuitgangsmateriaal te beperken tijdens de verplaatsing daarvan naar het glas. Dit handhaaft de temperatuur van de bekledingsreagentia op een lager niveau dan de. omgevingsomstandigheden anders zouden dicteren en helpt verder bij het realiseren van 50 iedere neiging tot voortijdige reactie. Een dergelijke koelmantel staat beschreven in de hiernavolgende figuurbeschrijving.

De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting voor het pyrolytisch vormen van een oxidebekle-ding op een bovenvlak van een heet glassubstraat wordt gekenmerkt doordat een dergelijke inrichting hulpmiddelen voor het geleiden van het substraat via een pad langs een bekledingskamer omvat, bepaald 55 door het substraatpad en een kap met aan de onderzijde een opening, ten minste één venturi-buis welke is voorzien voor het inbrengen van ten minste één van het genoemde bekledingsuitgangsmateriaal in de dampfase en zuurstof in de draaggasstroom welke naar de bekledingskamer wordt gevoerd, en middelen 3 194865 voor het afzuigen van de atmosfeer met inbegrip van bekledingsreactieproducten en ongebruikt uitgangsmateriaal uit de bekiedingskamer. Een dergelijke inrichting kan erg gemakkelijk worden geconstrueerd teneinde het vroegtijdig mengen van het gasvormige zuurstof in het genoemde bekledingsuitgangsmateriaal te verwezenlijken alvorens deze de genoemde bekiedingskamer bereiken. Het is gebleken dat het 5 vroegtijdig mengen van de bekledingsreagentia in de dampfase op zijn beurt grote voordelen biedt bij de verwezenlijking van een gelijkmatige bekleding over de gehele breedte van het substraat. Verrassenderwijs leidt het vroegtijdig mengen niet tot een dergelijke voortijdige reactie van het bekledingsuitgangsmateriaal zoals zou worden verwacht, maar het is in feite gunstig voor de productie van bekledingen van hoge kwaliteit.

10 Een dergelijke inrichting kan, indien gewenst, gebruikt worden voor het bekleden van individuele opnieuw verhitte glasplaten. Alternatief is, zoals in sommige uitvoeringsvormen van de uitvinding, het genoemde bekledingsstation gelokaliseerd binnen, of stroomopwaarts van, een horizontale temperingskoeloven, die gevoed wordt met glas door middel van een glasstrookvormingsmachine. Dit heeft het voordeel dat de noodzaak tot het opnieuw verhitten van de inrichting wordt voorkomen.

15 Volgens een voorkeursuitvoeringsvorm is het genoemde hulpmiddel een bad van gesmolten metaal in een float-kamer, en is de bekiedingskamer gelokaliseerd binnen de float-kamer.

Een dergelijke inrichting heeft het voordeel van het vereenvoudigen van de constructie van een temperingskoeloven, die gevoed wordt met glas uit de float-kamer. Dit is vanwege het feit dat tijdens de benodigde tijd waarin de strook uit het bekledingsstation, verder langs de float-kamer en in de temperings-20 koeloven gaat, het temperatuurprofiel van de beklede strook tot een evenwichtstoestand kan terugkeren, die verstoord zal zijn door de onttrokken warmte tijdens het feitelijk bekledingsproces. Dienovereenkomstig hoeft de inrichting voor het reguleren van de temperatuur in de koeloven geen rekening te houden met enige verschillen tussen de productie van glas wanneer dat bekledingsstation in en uit wordt geschakeld, zodat de temperatuurbeheersing in de koeloven erg vereenvoudigd kan worden. Het voordeel van het vereenvoudi-25 gen van de constructie van een temperingskoeloven die gevoed wordt met het glas, is zelfs groter wanneer het gewenst is om glas te produceren met een multilaag-bekleding, omdat in het geval van het reeds bestaan van een glasproductiefabriek, er eenvoudigweg geen ruimte kan zijn buiten de float-kamer voor het gewenste aantal bekledingsstations, zonder een aanzienlijk reconstructie van die fabriek.

30 Een voorkeursuitvoeringsvorm van de uitvinding zal nu in meer detail worden beschreven door middel van een voorbeeld en met verwijzing naar de begeleidende schematische tekeningen, waarin: figuur 1 een transversale dwarsdoorsnede van een bekledingsinrichting overeenkomstig de uitvinding is, geplaatst in een float-kamer; figuur 2 een longitudinale dwarsdoorsnede is van de bekledingsinrichting van figuur 1; 35 figuur 3 een schematisch bovenaanzicht is van de bekledingsinrichting; en figuur 4 de toevoer illustreert van bekledingsreagentia naar een toevoerleiding voor het voeden van het bekledingsstation.

In de tekeningen wordt een strook 1 van glas langs een pad voortbewogen dat eveneens met 1 is 40 aangeduid, terwijl het gedragen wordt door een bad van gesmolten metaal 2 dat zich in een float-kamer 3 bevindt. Een bekledingsstation wordt omringd door een wand en een dakstructuur in het algemeen aangegeven bij 4.

Het bekledingsstation 4 omvat een kap 5, welke een bekiedingskamer 6 bepaalt, met een opening naar beneden gericht op het strookpad 1, een toevoerieiding 7 voor het voeden van bekledingsreagentia aan de 45 bekiedingskamer 6 en een pijp 8 voor het rondom afzuigen om de bekiedingskamer.

De toevoerleiding 7 wordt gevoed met een inert dragergas, zoals stikstof uit een bron die niet is aangegeven, en het bekledingsuitgangsmateriaal, zoals silaan, wordt in de dragergasstroom ingeleid bij eén eerste venturi-buis 9. De dragergasstroom met gedispergeerd bekledingsuitgangsmateriaal stroomt langs een toevoerleiding 7 naar een eerste vernauwing 10 welke is aangebracht om turbulentie in de dragergas-50 stroom te geven teneinde het innig mengen van het dragergas en het meegevoerde bekledingsuitgangsmateriaal te verzekeren. Verder stroomafwaarts is een tweede venturi-buis 11 voorzien voor de invoer van zuurstof, bijvoorbeeld als een bestanddeel van lucht. Een verdere turbulentie-inducerende vernauwing 12 verzekert het innig mengen van de zuurstof en het meegevoerde bekledingsuitgangsmateriaal in de dragergasstroom. De bekledingsreagentia worden gevoed door een toevoerleiding 7 naar een stroom-55 beheersingsblok 13 met een uitgangsgleuf 14 welke zich uitstrekt over het grootste gedeelte van de breedte van de kap 5.

Het is gemakkelijk om bekledingsuitgangsmateriaal en zuurstof naar de toevoerieiding 7 buiten de 194885 4 float-kamer 3 te voeden. Bij alle delen binnen de float-kamer 3 is de toevoerleiding omringd door een koelmantel 15 die uitgerust is met een koelwaterinlaat 16 en een uitlaat 17 zoals aangegeven in figuur 1. Indien gewenst, kan de koelmantel worden uitgestrekt binnen het stroombeheersingsblok 13 zoals weergegeven bij 18 met gestippelde lijnen in de figuren 2 en 4, zodat de bekledingsreagentia beschermd 5 zijn tegen oververhitting totdat zij uit de gleuf 14 gaan voor het contact met de strook 1 in de bekledings-kamer 6.

Zoals in figuur 2 is te zien, zijn de kap 5 en het stroombeheersingsblok 13 geschikt opgehangen aan het dak van de float-kamer 3 door middel van de stutten 19. Het is wenselijk om met draad voorziene stutten 19 te gebruiken, zodat de hoogte van de basis van de kap 5 kan worden ingesteld op een kleine speling, 10 bijvoorbeeld 2 cm of minder, van het strookpad 1.

De kap 5, de bekledingskamer 6, en het stroombeheersingsblok 13 zijn omgeven door. een langs de omtrek gelegen passage 20 via welke bekledingsreactieproducten en ongebruikt bekledingsuitgangs-materiaal tezamen met, indien gewenst, naar binnen afgezogen atmosferisch omgevingsmateriaal uit de float-kamer naar boven kunnen worden afgezogen door pijp 8. De kap 5 en de wandstructuur 4 van het 15 bekledingsstation zijn aangegeven, voorzien van eventueel zich aan de buitenzijde gelegen passage 20. Die randen zijn geschikt samengesteld uit buigzame vuurvaste gordijnen bijvoorbeeld gemaakt van Refrasil (handelsmerk).

Voorbeeld 1 20 In een specifieke praktische uitvoeringsvorm voor het bekleden van floatglass dat voortgaat met een snelheid van 7 meter per minuut langs een float-kamer, is het bekledingsstation, gelokaliseerd op een plaats langs de float-kamer waar het glas op een temperatuur van 700°C is. de toevoerleiding wordt gevoed met stikstof, en silaan wordt daarin ingeleid met een partiële druk van 0,25%, en zuurstof wordt ingeleid met een partiële druk van 0,5% (verhouding 0,5). Het bekledingsuitgangsmateriaal in zijn dragergas wordt gevoed via 25 de toevoerleiding 7 om uit te komen via een gleuf van 4 mm breedte met een zodanige snelheid, dat het toegevoerde materiaal verder stroomt tussen het glas en de kap 5, welke 15 mm boven het pad 1 van het glas is bij een snelheid van ongeveer 2 tot 3 meter per seconden in beide richtingen parallel aan de richting van de strookvoortgang. De kap 5 heeft een lengte in die richting van 40 cm. Atmosferisch materiaal wordt afgezogen via een pijp 8 met een zodanige snelheid om een opwaarts gerichte stroom van gassen te 30 genereren in de aan de buitenzijde gelegen passage 20 met een snelheid van 7 tot 8 meter per seconde, en dit veroorzaakt een continue binnenwaartse stroom van gas uit de float-kamer in de basis van de passage 20 rondom de gehele omtrek van de bekledingskamer 6, om zo het ontsnappen te voorkomen in de float-kamer van de bekledingsreagentia of hun reactieproducten. Natuurlijk onttrekt een dergelijke afzuiging ook bekledingsreactieproducten en ongebruikte bekledingsreagentia.

35 De gevormde bekleding is van siliciumdioxide met een dikte van 90 nm. In een daaropvolgende bekledingsstap, uitgevoerd op een wijze die op zich bekend is in een bekledingsstation die dicht gelokaliseerd is bij het stroomopwaarts gelegen uiteinde van een horizontale temperingskoeloven, wordt een bovenbekledingslaag van gedopet Sn02 gevormd tot een dikte van 500 nm. De gecombineerde bekleding is vrij van ongewenste kleurvariaties tengevolge van interferentie-effecten.

40 In variant-uitvoeringsvormen overeenkomstig alleen het tweede aspect van deze uitvinding is het bekledingsstation, zoals te zien in de tekeningen, gelokaliseerd in een temperingskoeloven. In de beschrijving van de tekeningen kunnen daarom verwijzingen naar het float-kamer vervangen worden door verwijzingen naar een temperingskoeloven, en verwijzingen naar het bad van gesmolten metaal kunnen vervangen worden door verwijzingen naar transportwalsen.

45

Voorbeeld 2

In een praktische uitvoeringsvorm voor het bekleden van floatglass nadat het is onttrokken uit de float-kamer, is het bekledingsstation gelokaliseerd in een temperingskoeloven waar de temperatuur van het glas 500°C is stroomafwaarts gelegen van een ander bekledingsstation voor het vormen van een bekledingslaag 50 van gedopet Sn02 350 nm in dikte. De kap heeft een lengte van ongeveer 1 meter. Bekledingsuitgangs-reagentia worden in dezelfde verhouding als in voorbeeld 1 ingebracht, teneinde een siliciumdioxidebekle-ding, welke 100 nm in dikte is, te vormen. Opnieuw is de gecombineerde bekleding in wezen vrij van ongewenste kleurvariaties tengevolge van interferentie-effecten.

Claims (10)

1. Werkwijze voor het pyrolytisch vormen van een siliciumoxidebekleding op een heet glassubstraat als het voortbeweegt langs een bekledingskamer door het in contact brengen van het substraat met een silaan- 5 bevattend bekledingsuitgangsmateriaal in aanwezigheid van zuurstof, met het kenmerk, dat het silaan-bevattend bekledingsuitgangsmateriaal in de dampfase en gasvormig zuurstof innig worden gemengd, alvorens ze de bekledingskamer binnengaan om in contact te komen met het substraat.

2. Werkwijze volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het bekledingsuitgangsmateriaal pas in contact komt met het glas wanneer het glas een temperatuur heeft van ten minste 570°C.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat het voorgemengde zuurstof en bekledingsuitgangsmateriaal in contact worden gebracht met een bovenvlak van een heet float-glas-substraat terwijl het glas in een float-kamer is, waarin het wordt vervaardigd.

4. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het bekledingsuitgangsmateriaal in contact komt met het glas in de bekledingskamer, welke kamer wordt bepaald door het 15 substraatpad en een kap met, aan de onderzijde een opening, en waarin de bekledingskamer in wezen rondom zijn hele omtrek wordt afgezogen.

5. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat silaan wordt geleid naar de bekiedingspadkamer in dampfase in een inerte dragergasstroom en waarbij turbulentie wordt geïnduceerd in de dragergasstroom teneinde het innig mengen van het dragergas en het silaan te verzekeren, en na het 20 inbrengen van zuurstof daarin teneinde het innig mengen van het silaanhoudende draaggas en het zuurstof te verzekeren.

5 194885

6. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat silaan als bekledingsuitgangsmateriaal in de bekledingskamer met een partiële druk van tussen 0,1% en 1,5% wordt ingeleid.

7. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat zuurstof in de bekledingskamer 25 met een partiele druk van tussen 0,6% en 20% wordt ingeleid.

8. Werkwijze volgens één der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het bekledingsuitgangsmateriaal naar het glas wordt toegevoerd door een toevoerleiding, welke is omringd door een koelmantel, om de overdracht van warmte-energie naar het bekledingsuitgangsmateriaal te beperken tijdens de verplaatsing daarvan naar het glas.

9. Inrichting voor het pyrolytisch vormen van een oxidebekleding op een bovenvlak van een heet glassubstraat, met het kenmerk, dat een dergelijke inrichting hulpmiddelen voor het geleiden van het substraat via een pad langs een bekledingskamer omvat, bepaald door het substraatpad en een kap met aan de onderzijde een opening, ten minste één venturi-buis welke is voorzien voor het inbrengen van ten minste één van het genoemde bekledingsuitgangsmateriaal in de dampfase en zuurstof in de draaggasstroom 35 welke naar de bekledingskamer wordt gevoerd, en middelen voor het afzuigen van de atmosfeer met inbegrip van bekledingsreactieproducten en ongebruikt uitgangsmateriaal uit de bekledingskamer.

10. Inrichting volgens conclusie 9, met het kenmerk, dat het hulpmiddel een bad van gesmolten metaal in een float-kamer is, en de bekledingskamer is gelokaliseerd in de float-kamer. Hierbij 2 biaden tekening