DE4018507A1 - Verfahren und vorrichtung zum asynchronen abbilden unter ueberspringen von linien - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf Laser-Raster­ abtastgeräte, insbesondere auf ein bei Laser-Abtastgerä­ ten eingesetztes Verfahren und eine Vorrichtung zum asynchronen Abbilden unter Überspringen von Linien.

Optische Hochgeschwindigkeits-Abtastsysteme, wie Präzi­ sionsplotter, Drucker und dgl., sind in der Technik be­ kannt. Diese Geräte sind direkte Abbildungssysteme und werden zum Herstellen von Leiter- und Druckplatten durch Rasterabtastung eines Belichtungsstrahls über ei­ ne Filmemulsion benutzt, welche in eine photographische Vorlage für eine Leiter- oder Druckplatte weiterverar­ beitet wird. Ein typisches System, wie es von der Ger­ ber Scientific Instrument Company, der Anmelderin der vorliegenden Erfindung, vertrieben wird, besteht aus ei­ nem Magnetbandgerät, einer Festplatte, einem interakti­ ven graphischen Computerterminal, einem Bildprozessor und einem optischen Tisch mit einem Abtastgerät. Das Sy­ stem kann weiterhin derartige optische Einrichtungen, Mediumträger und Elektronik-Schaltungen enthalten, wie sie notwendig sind, um Daten von rechnerunterstützten Systemen (CAD) direkt in eine photographische Vorlage oder um Schriftart-, Graphik- oder Halbton-Bilder in ei­ ne Druckplattenvorlage zu übertragen.

Im Betrieb ist das Direkt-Abbildungssystem so konfigu­ riert, daß es auf einer Schreibplatte ein planares Film­ substrat aufnimmt, welches auf seiner Oberfläche ein optisch empfindliches Medium aufweist. Der Rechner lie­ fert Signale an einen Belichtungsstrahlgenerator, der die Intensität eines optischen, üblicherweise von einem Laser gelieferten Belichtungs-Abtaststrahls moduliert, um ausgewählte Teile des Substrats zu belichten. Typi­ scherweise tastet ein Referenzstrahl eine Referenzmaske und gleichzeitig mit dem Belichtungsstrahl einen Detek­ tor ab, wodurch ein Zeit-Abtastsignal geliefert wird, um die Position des Belichtungs- (oder Schreib-)Strahls auf dem Substrat genau anzuzeigen. Ein Flachbett-Abtast­ system wird manchmal dazu verwendet, die Strahlen zu fo­ kussieren und das gleichzeitige Abtasten der Strahlen über einer Referenzmaske bzw. dem Substrat zu bewerk­ stelligen. Präzisionsluftlager werden oftmals dazu be­ nutzt, die Schreibplatte zu führen, wenn das Substrat abgetastet oder "abgebildet" wird.

In bekannten Laser-Rasterabtastgeräten, bei denen das optische Ablenkelement ein Viel-Facetten-Spiegel ist, wird der Spiegel mit einer festen, ausgewählten Ge­ schwindigkeit gedreht, so daß der Belichtungsstrahl mit einer konstanten Geschwindigkeit vorwärtsbewegt wird. Es ist jedoch bei diesen bekannten Systemen möglich, daß die Berechnungsgeschwindigkeit von Pixelsignalen oder "Pixeln" vom Rechner her geringer wird als die Ab­ bildgeschwindigkeit des Belichtungsstrahls. Wenn dies auftritt, wird nur ein Teil der Abtastlinie belichtet.

Es wäre vorteilhaft, ein Laser-Rasterabtastgerät zur Verfügung zu haben, welches nicht annehmbare Unterschie­ de zwischen der Geschwindigkeit, mit der der Rechner Si­ gnale zum Modulieren des Belichtungsstrahls erzeugt, und der System-Abtast- bzw. -Abbildgeschwindigkeit auto­ matisch kompensiert. Die vorliegende Erfindung befaßt sich mit einem derartigen System.

Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur Verwendung mit einem Laser-Abtastsystem zu schaffen, welches eine Kompensation der Differenzen zwischen der Geschwindigkeit der Pixelsignalerzeugung und der Geschwindigkeit bietet, mit der diese Pixelsi­ gnale auf ein Substrat aufgeprägt werden können.

Entsprechend der vorliegenden Erfindung weist ein Laser- Rasterabtastgerät einen adressierbaren Belichtungs­ strahl-Generator mit einem Modulator und einem Viel-Fa­ cetten-Spiegel mit einer Vielzahl von reflektierenden Facetten auf, der sich mit einer ausgewählten Geschwin­ digkeit dreht. Das Abtastgerät bewegt wiederholend ei­ nen modulierten Belichtungsstrahl über eine Abtastlinie auf einem Substrat. Eine Schreibplatte nimmt das Sub­ strat auf und bewegt es mit einer vorgewählten Geschwin­ digkeit in einer Richtung senkrecht zur Abtastrichtung. Eine Steuerung umfaßt einen Rechner zum Empfang von Ein­ gangsdatensignalen und zum Erzeugen von Belichtungssi­ gnalen aus diesen. Die Belichtungssignale werden in se­ quentiellen Speicheranordnungen gruppiert, von denen je­ de einer der gewählten Abtastlinien zugeordnet ist. Der Rechner erzeugt weiterhin Signale zum Vorwärtsbewegen der Schreibplatte mit einer vorgewählten Geschwindig­ keit von einer gegenwärtigen Position entsprechend der gegenwärtigen Abtastung zu folgenden Positionen entspre­ chend folgenden Abtastlinien. Jede der Belichtungs­ strahlanordnungen entspricht einem modulierten Belich­ tungsstrahl, der auf eine der reflektierenden Spiegelfa­ cetten fällt, wenn der Spiegel aus einer ersten in eine zweite Position dreht, entsprechend jeweils dem Anfang und dem Ende einer Abtastlinie. Ein dem Belichtungs­ strahlgenerator zugeordneter Puffer speichert eine Be­ lichtungsstrahlanordnung entsprechend der nächsten zu schreibenden bzw. abzubildenden Abtastlinie. Ein Sensor bestimmt, ob alle dieser nächsten Abtastlinie zugeordne­ ten Pixel in den Puffer geladen worden sind. Ein Rechner bestimmt rekursiv, wann die gegenwärtige Spie­ gelfacette in der ersten Position ist. Falls zu dieser Zeit der Sensor anzeigt, daß die Ladung des Signalpuf­ fers unvollständig ist, werden Steuersignale vom Rechner abgegeben, wodurch die Abgabe der gepufferten Signale an den Belichtungsstrahlgenerator angehalten wird und die Bewegung der Schreibplatte entsprechend ge­ ändert wird.

Entsprechend einem weiteren Aspekt der vorliegenden Er­ findung weist ein Laser-Rasterabtastgerät einen adres­ sierbaren Belichtungsstrahlgenerator mit einem Modula­ tor und einem Viel-Facettenspiegel mit einer Vielzahl von reflektierenden Facetten auf, der sich mit einer ausgewählten Geschwindigkeit dreht. Das Abtastgerät be­ wegt einen modulierten Belichtungsstrahl über eine Ab­ tastlinie auf einem Substrat. Eine Schreibplatte nimmt das Substrat auf und bewegt es mit einer vorgewählten Geschwindigkeit in einer Richtung senkrecht zur Ab­ tastrichtung. Eine Steuerung umfaßt einen Rechner zum Empfang von Eingangsdatensignalen und zum Erzeugen von Belichtungssignalen aus diesen. Die Belichtungssignale werden in sequentiellen Speicheranordnungen gruppiert, von denen jede einer der gewählten Abtastlinien zugeord­ net ist. Der Rechner erzeugt weiterhin Signale zum gleichförmigen Vorwärtsbewegen der Schreibplatte mit ei­ ner vorgewählten Geschwindigkeit von einer gegenwärti­ gen Position entsprechend der gegenwärtigen Abtastlinie zu folgenden Positionen entsprechend folgenden Abtastli­ nien. Jede der Belichtungsstrahlanordnungen entspricht einem modulierten Belichtungsstrahl, der auf eine der reflektierenden Spiegelfacetten fällt, wenn der Spiegel aus einer ersten in eine zweite Position dreht, entspre­ chend jeweils dem Anfang und dem Ende einer Abtastli­ nie. Ein dem Belichtungsstrahlgenerator zugeordneter er­ ster Puffer speichert eine Belichtungsstrahlanordnung entsprechend der nächsten zu schreibenden Abtastlinie. Ein erster Sensor bestimmt, ob alle dieser nächsten Ab­ tastlinie zugeordneten Pixel im ersten Puffer vorlie­ gen. Ein dem Rechner zugeorneter zweiter Puffer ist vor­ gesehen, um eine Anzahl von Belichtungssignalanordnun­ gen vor Abgabe an den Belichtungsstrahlgenerator zu speichern. Ein zweiter Sensor bestimmt die Anzahl der Belichtungsstrahlanordnungen im zweiten Puffer, welche zum Abbilden im Puffer bereit sind. Falls die Anzahl von im zweiten Puffer gespeicherten Belichtungsstrahlan­ ordnungen einem vorgewählten Wert entspricht, werden vom Rechner Steuersignale zum Ändern der Geschwindig­ keit der Abgabe der Belichtungsstrahlanordnungen an den Belichtungsstrahlgenerator-Puffer und Signale zum ent­ sprechenden Ändern der Bewegung der Schreibplatte abge­ geben. Der Rechner bestimmt rekursiv, wann die gegenwär­ tige Spiegelfacette in der ersten Position ist. Falls der erste Sensor anzeigt, daß der erste Puffers nicht alle Belichtungssignale für die nächste Abtastlinie ent­ hält, werden Steuersignale vom Rechner abgegeben, wo­ durch die Abgabe der ersten gepufferten Signale an den Belichtungsstrahlgenerator angehalten wird und die Bewe­ gung der Schreibplatte angepaßt wird.

Fig. 1 ist eine vereinfachte Schemadarstellung eines La­ ser-Abtastgeräts zum asynchronen Abbilden unter Über­ springen von Linien.

Fig. 2 ist eine Draufsicht auf einen im Abtastgerät nach Fig. 1 verwendeten Belichtungsstrahlgenerator.

Fig. 3 ist eine schematische Darstellung der Steuerung nach Fig. 1

Fig. 4 ist eine Darstellung, die schematisch einen von der Steuerung nach Fig. 3 benutzten Algorithmus zeigt.

Fig. 5 ist eine schematische Darstellung einer alterna­ tiven Steuerung zu der nach Fig. 3.

Fig. 6 ist eine Darstellung, die schematisch einen von der Steuerung nach Fig. 5 benutzten Algorithmus zeigt.

In Fig. 1 ist schematisch eine Darstellung eines Laser- Rasterabtastgeräts 10 entsprechend der vorliegenden Er­ findung gezeigt. Das Abtastgerät weist einen Belich­ tungsstrahlgenerator 12 auf, der im folgenden unter Be­ zug auf Fig. 2 näher beschrieben wird. Der Generator 12 gibt selektiv einen Belichtungsstrahl 14 auf eine photo­ empfindliche Oberfläche auf einem Träger oder Substrat 16 ab, das auf einem Vorschubelement wie z.B. einer be­ wegbaren Schreibplatte 18 positioniert ist.

Sowohl die Schreibplatte als auch der Generator 12 emp­ fangen Signale von einer Steuerung 20. Wie im folgenden unter Bezug auf Fig. 3 beschrieben wird, empfängt die Steuerung Signale von einem Dateneingabegerät 22 und er­ zeugt daraus Pixelsignale zum entsprechenden Modulieren des Belichtungsstrahls. Wie oben erwähnt, ist es mög­ lich, daß die Geschwindigkeit, mit der die Steuerung Pi­ xel- oder Modulationssignale (entsprechend einzelnen Pi­ xeln im abtastenden Belichtungsstrahl) erzeugt, auf ei­ nen Wert unterhalb der Abtast- oder "Abbild"-Geschwin­ digkeit abnimmt, d.h. die Geschwindigkeit, mit der der Belichtungsstrahl über eine einzelne Abtastlinie bewegt wird. Weiterhin ist es möglich, daß die Datengeschwin­ digkeit der Steuerung auf einen derartigen Wert ab­ nimmt, daß die Geschwindigkeit, mit der die Schreibplat­ te von Abtastlinie zu Abtastlinie bewegt oder geschal­ tet wird, im Vergleich zur Datengeschwindigkeit der Steuerung zu groß wird. Die vorliegende Erfindung ist durch eine Steuerung und eine Abbildvorrichtung gekenn­ zeichnet, die die mögliche Differenz zwischen diesen Da­ tengeschwindigkeiten kompensieren.

In Fig. 2 ist eine vereinfachte Darstellung des Belich­ tungsstrahlgenerators 12 nach Fig. 1 gezeigt. In einem Gehäuse 24 ist eine Lichtquelle 26 untergebracht, vor­ zugsweise ein 3 mW-Cyonics-Argonlaser, der einen Strahl 28 liefert, welcher von einem ersten Drehspiegel 30 empfangen wird und danach einer Strahlformoptik 32 zuge­ führt wird. Die Strahlformoptik ist von konventioneller Art und kann z.B. eine Bandbreitenlinse, eine negative Linse, ein Loch und eine Umwandlerlinsenanordnung auf­ weisen, wie im besonderen Anwendungsfall gefordert.

Der geformte Strahl wird von einem ersten Strahlteiler 34 empfangen, der einen Referenzstrahl 36 abspaltet. Der Strahl 28 wird einem konventionellen akusto-opti­ schen Modulator 38 zugeführt, der die Intensität des Strahls entsprechend den auf Leitung 40 von der Steuerung 20 empfangenen Pixelsignalen moduliert. Dem Modulator 38 ist ein Puffer 39 zugeordnet, der die Pixelsignale vor Abgabe an den Modulator speichert. Der Puffer 39 ist in Fig. 2 schematisch gezeigt und umfaßt einen Li­ nienpuffer (oder mehrere Linienpuffer) bekannter Art zum Empfangen der Anordnung von Pixelsignalen entspre­ chend der nächsten Abtastlinie. In ähnlicher Weise wird der Referenzstrahl von einem zweiten Drehspiegel 44 ge­ dreht und wird einer Referenzstrahl-Formoptik 46 zuge­ führt, welche typischerweise Linsen und andere optische Bauteile aufweist, ähnlich zu der oben erwähnten Strahl­ formoptik. Der Referenzstrahl läuft durch eine Öffnung in der Wand 48, während der Strahl 28 durch die Öffnung 50 läuft. Der Referenzstrahl wird von einem Drehspiegel 52 empfangen und einem Strahl-Kombinator 54 zugeführt. Der Strahl-Kombinator 54 empfängt auch den Strahl 28 und führt den kombinierten Strahl der Sammellinse 56 in der Prismenanordnung 58 zu.

Der kombinierte Strahl wird von einer optischen Anord­ nung 60 empfangen, die einen aus einer Vielzahl von Spiegelfacetten 64 bestehenden Polygonspiegel 62 auf­ weist, der um eine Achse 66 entsprechend den von der Steuerung auf Leitung 68 empfangenen Signalen gedreht wird. Der Referenzstrahl 36 und ein Belichtungsstrahl 69 werden von einer konventionellen F-Theta-Linse 70 empfangen. Der Belichtungsstrahl wird schließlich von einem Faltspiegel 72 empfangen und der Schreibplatte au­ ßerhalb der Ebene des Abtastgeräts zugeführt. Der Refe­ renzstrahl wird gleichzeitig einer Referenzmaske 74 zu­ geführt und letztlich von einer Photoempfänger-Anord­ nung 76 empfangen. Die Photoempfänger-Anordnung liefert ein Signal entsprechend dem empfangenen Referenzstrahl auf Leitung 78 zwecks Steuerung des Zeitverhaltens und somit der Modulation der Abtaststrahlen an die Steue­ rung. Diese weist derartige Prozessor- und Speicherele­ mente auf, wie sie für die Ausführung der hier beschrie­ benen Funktionen notwendig sind.

Fig. 3 ist eine vereinfachte Darstellung der Steuerung 20 für das Laser-Abtastgerät nach Fig. 1. Die Steuerung empfängt Signale vom Dateneingabegerät 22 und berechnet mittels des Rechners 80 die auf Leitung 82 dem akusto­ optischen Modulatorpuffer 39 (Fig. 2) zuzuführenden Pi­ xelsignale, wobei der Puffer 39 Teil des Belichtungs­ strahlgenerators 12 ist. Diese Pixelsignale werden in Anordnungen gruppiert, wobei jede Anordnung einer ein­ zelnen Abtastlinie entspricht.

Wie oben angemerkt, ist die Datengeschwindigkeit der Steuerung variabel, zum Teil abhängig von dem Informa­ tionsinhalt der Dateneingabesignale. Die höchste der Steuerung zugeordnete Datengeschwindigkeit tritt bei Da­ ten geringer Komplexität auf, welche gleich der maxima­ len Geschwindigkeit des Belichtungsstrahlgenerators sein kann. Die kleinste Datengeschwindigkeit tritt auf, wenn eine Anordnung von Datensignalen einer Abtastlinie Signale umfaßt, deren Wert zwischen einer logischen "1" oder "0" wechselt.

Die Datengeschwindigkeit des Belichtungsstrahlgenera­ tors in der Ausführungsform nach Fig. 3 ist eine Funk­ tion einer festen Drehzahl des Viel-Facettenspiegels, ebenso wie die Geschwindigkeit, mit der die Signale im Puffer 39 empfangen werden. Der Fachmann wird feststel­ len, daß die Geschwindigkeit, mit der die Daten den Puf­ fer 39 verlassen, der Geschwindigkeit entsprechen muß, mit der der Belichtungsstrahl sich über eine Abtastli­ nie bewegt (z.B. die Abtast- oder Abbildgeschwindig­ keit). Daher wird die maximale Datengeschwindigkeit des Belichtungsstrahlgenerators so gewählt, daß sie größer ist als die Datengeschwindigkeit der Steuerung. In ande­ ren Worten, die Geschwindigkeit zugeführter Daten kann niemals größer sein als die maximale Geschwindigkeit im Verbrauch, so daß Daten nicht verloren gehen können. Ty­ pischerweise hat der Belichtungsstrahlgenerator eine ma­ ximale Datengeschwindigkeit (oder Geschwindigkeit, mit der Pixelsignale verbraucht werden) von 33 Millionen Pi­ xel pro Sekunde.

Die vorliegende Erfindung liefert eine Kompensation für die Fälle, in denen die Datengeschwindigkeit des Rech­ ners hinter der des Belichtungsgenerators zurückbleibt, und ist gekennzeichnet durch einen dem Modulator zuge­ ordneten Sensor 84, der in bekannter Weise bestimmt, ob der Puffer 39 alle die der nächsten Abtastlinie zugeord­ neten Pixelsignale empfangen hat. Der Rechner 20 emp­ fängt auch Signale auf der Leitung 87 von einem Sensor 86, der die Position der Spiegelfacetten-Drehung be­ stimmt. Falls zum Zeitpunkt, daß der Spiegel in einer Position entsprechend dem Anfang einer Abtastlinie und bereit zum Belichten des Substrats mit der nächsten Ab­ tastung ist, nicht alle der entsprechenden Pixelsignale für diese Anordnung im Puffer empfangen worden sind, wird der Rechner die Abgabe derselben an den akusto­ optischen Modulator und des Belichtungsstrahls an die gegenwärtige Spiegelfacette unterbrechen, wodurch diese Facette übersprungen wird. Diese Entscheidung wird re­ kursiv nacheinander für jede Spiegelfacette getroffen, falls die Diskrepanz zwischen den Werten der Datenge­ schwindigkeiten so bedeutsam ist, daß eine unvollständi­ ge Signalanordnung im Puffer 39 entsteht.

Weiterhin muß die Steuerung die Bewegung der Schreib­ platte in Übereinstimmung mit der obigen Entscheidung über die Abgabe von Pixelsignalen ändern. In der Ausfüh­ rungsform von Fig. 3 hält die Steuerung die Bewegung der Schreibplatte mittels auf Leitung 88 abgegebener Steuersignale an, falls eine oder mehr Facetten über­ sprungen werden, und bewegt dann die Schreibplatte ent­ sprechend vorwärts. Falls die Schreibplatte anderer­ seits kontinuierlich bewegt wird, paßt die Steuerung auch die Geschwindigkeit der Schreibplatte entsprechend der gewünschten Datengeschwindigkeit an. Das Laser-Ab­ tastgerät würde in diesem Fall auch einen Generator be­ kannten Typs, wie im folgenden beschrieben, zur opti­ schen Verschiebung des Belichtungsstrahls durch einen Betrag entsprechend der Änderung der Schreibplattenge­ schwindigkeit aufweisen.

Die Funktionsweise der Steuerung kann anhand des Fluß­ diagramms in Fig. 4 beschrieben werden. Am Anfang bei "A" bestimmt die Steuerung 20 die Position des Drehspie­ gels (Block 89). Wenn der Spiegel sich so gedreht hat, daß die gegenwärtige Facette in einer ersten Position ist, entsprechend dem Anfang der nächsten Abtastlinie, fragt die Steuerung 20 den Puffer 39 ab, um festzustel­ len, ob alle Pixelsignale für die nächste Abtastlinie empfangen worden sind (Block 90). Falls alle Signale im Puffer 39 vorliegen, aktiviert die Steuerung den Modula­ tor (Block 91), schreibt die Abtastlinie und schaltet die Schreibplatte (Block 92) weiter. Falls der Puffer 39 nicht alle Pixelsignale enthält, wird die gegenwärti­ ge Facette übersprungen (Block 93).

In Fig. 5 ist schematisch eine bevorzugte Steuerung 94 gezeigt, die im wesentlichen der Steuerung 20 ent­ spricht, die jedoch durch einen Puffer 96 bekannten Typs gekennzeichnet ist, der etwa 500 bis 1000 Anordnun­ gen von Abtastliniensignalen vor Weitergabe an den Modu­ latorpuffer 39 speichert. Die Steuerung empfängt über Leitung 98 auch Signale, die die Spiegelposition am Sen­ sor 99 und den Inhalt des Modulatorpuffers (Leitung 100) vom Puffersensor 84 anzeigen. Der Rechner 102 er­ zeugt anfangs Anordnungen von Abtastliniensignalen ent­ sprechend den Dateneingabesignalen in einer Weise, wie sie oben unter Bezug auf Fig. 3 beschrieben wurde.

Der Puffer 39 umfaßt vorzugsweise drei sequentiell adressierte, kreisförmige Pufferelemente für die Abtast­ liniendaten, die zum Lesen oder Schreiben geeignet sind. Zu jeder gegebenen Zeit empfängt das erste Puffer­ element eine Pixelsignalanordnung, im zweiten sind Pi­ xelsignalanordnungen gespeichert, während das dritte ei­ ne Pixelsignalanordnung an den Modulator mit der Belich­ tungsdatengeschwindigkeit abgibt. Der Puffer 39 emp­ fängt Daten vom Anordnungspuffer 96 mit einer vorgewähl­ ten Datengeschwindigkeit, welche als Puffer-zu-Puffer- Übertragungsgeschwindigkeit bezeichnet wird. Der bevor­ zugte Puffer 96 ist in sechzehn kreisförmig nacheinan­ der aufgerufene Bänder mit 32 Anordnungen pro Band auf­ geteilt. Die Steuerung bestimmt die Differenz der Adres­ sen zwischen dem gegenwärtigen geschriebenen Band und dem abgelesenen Band, um somit die Anzahl der gespei­ cherten Datenanordnungen zu bestimmen, und steuert der­ art die Puffer-zu-Puffer-Übertragungsgeschwindigkeit.

Die Funktionsweise der bevorzugten Steuerung kann an­ hand von Fig. 4 und 6 verstanden werden. Die Entschei­ dung zum Abbilden oder Abtasten der nächsten Abtastli­ nie oder zum Überspringen der gegenwärtigen Facette ba­ siert in der bevorzugten Ausführungsform auf den glei­ chen Kriterien wie in der Ausführungsform nach Fig. 3. Das heißt, ob alle Signale für die nächste Abtastlinie im Belichtungstrahlgenerator-Puffer 39 beim Beginn der gegenwärtigen Facette vorliegen oder nicht. Die bevor­ zugte Steuerung umfaßt dagegen auch noch einen Sensor 104, der die Anzahl im Puffer 96 gespeicherter Signalan­ ordnungen bestimmt und danach die Puffer-zu-Puffer-Über­ tragungsgeschwindigkeit einstellt. Diese Übertragungsge­ schwindigkeit wird variiert, um die variierende Pixeler­ zeugungsgeschwindigkeit der Steuerung zu kompensieren. Die variable Übertragungsgeschwindigkeit erlaubt schließlich die Variierbarkeit der Abtast- bzw. Abbild­ geschwindigkeit, welche die Gesamtgeschwindigkeit ist, mit der der Belichtungsstrahlgenerator Pixelsignale ver­ braucht und Daten auf das Substrat abdruckt.

Wie oben angemerkt, wird die Obergrenze der Geschwindig­ keit, mit der der Belichtungsstrahlgenerator Daten auf das Substrat abdruckt (die Pixel-Verbrauchs-bzw. -Ab­ bildgeschwindigkeit) durch die Drehzahl des Drehspie­ gels bestimmt, und ist daher für eine einzelne Abtastli­ nie an einem Maximalwert fest. Vorzugsweise wird die Va­ riierbarkeit der Abbildgeschwindigkeit als Ergebnis der übersprungenen Spiegelfacetten und somit möglicher von der Änderung der Puffer-zu-Puffer-Übertragungsgeschwin­ digkeit bewirkter Abtastlinien erzielt. Die Anzahl der zu überspringenden Facetten ist dann automatisch von der Übertragungsgeschwindigkeit abhängig.

Falls zum Beispiel die Datengeschwindigkeit der Steue­ rung sich von einem Anfangswert (Block 106, Fig. 6) ab verlangsamt hat, beginnt die Anzahl der gespeicherten Anordnungen abzunehmen. Der Sensor 104 mißt die Anzahl der gepufferten Datenanordnungen und stellt die Übertra­ gungsgeschwindigkeit entsprechend nach unten ein (Block 108). Eine Abnahme der Übertragungsgeschwindigkeit re­ sultiert in den Fällen, in denen der Modulatorpuffer 39 nicht alle Signale entsprechend der nächsten Abtastli­ nie aufweist, wenn die nächste Facette in der Position zum Schreiben von Daten ist, und damit wird eine be­ stimmte Anzahl von Facetten übersprungen. Die Steuerung muß auch die Geschwindigkeit der Schreibplatte einstel­ len (Block 110). In Fig. 6 stellen die Blöcke 112-114 die Tätigkeiten der Steuerung dar, wenn die Anzahl ge­ pufferter Anordnungen oberhalb der gewählten Anzahl ist. Alternativ kann die Anzahl gepufferter Signalanord­ nungen auch durch Auswahl der Anzahl von Facetten einge­ stellt werden, die übersprungen werden, um in etwa die Pixelsignalerzeugungsgeschwindigkeit des Rechners zu er­ reichen und dadurch eine vorgewählte Anzahl von Signal­ anordnungen im Steuerungspuffer aufrechtzuerhalten.

Für die bevorzugte Steuerung ist die maximale Abbildge­ schwindigkeit auf 33 Millionen Pixel pro Sekunde (Mp/s) eingestellt. Falls die Geschwindigkeit der Steuerung für die Pixelsignalerzeugung (Datengeschwindigkeit der Steuerung) auf die Hälfte dieses Werts abfallen sollte (16,5 Mp/s), erzeugt die Steuerung Signale, um sowohl die Geschwindigkeit der Datenübertragung als auch der Schreibplatte auf die Hälfte zu reduzieren. In ähnli­ cher Weise stellt der Rechner die Geschwindigkeit der Schreibplatte in Inkrementen von einem Achtel des vol­ len Werts im Verhältnis zur Anzahl der angefertigten Si­ gnalanordnungen im Puffer ein, so daß das Abbilden an vollen Acht/Achteln, Sieben/Achteln, Sechs/Achteln, Fünf/Achteln, Vier/Achteln, Drei/Achteln, Zwei/Achteln oder Einem/Achtel stattfindet. Natürlich erlaubt das Ab­ bilden bei langsamerer Geschwindigkeit mehr Zeit für die Pixelsignalerzeugung durch den Rechner, welcher da­ zu tendiert, das Niveau der verfügbaren Signalanordnun­ gen zu erhöhen.

Die Bewegung der Schreibplatte ist vorzugsweise kontinu­ ierlich variabel, wie oben beschrieben. Die Steuerung der Geschwindigkeit in der "schnellen" Abtastrichtung (d.h. entlang der Abtastlinie) kann jedoch nicht so leicht erreicht werden, da die Bewegung des Spiegels kontinuierlich und glatt ist. Wie oben angemerkt, hängt die Geschwindigkeit der Schreibplatte von der Anzahl von Signalanordnungen im Puffer ab. Die Geschwindigkeit der Signalabgabe an den Belichtungsstrahlgenerator wird abhängig gestaltet von der Anzahl von Signalanordnungen im Datenpuffer und an die Geschwindigkeit der Platte an­ gepaßt. Es ist dann sofort einleuchtend, da die Datenge­ schwindigkeit des Rechners geringer (oder gleich) ist als die Maximalgeschwindigkeit des Pixelsignalver­ brauchs, daß es Fälle gibt, in denen die Anzahl gepuf­ ferter Signalanordnungen unannehmbar klein ist durch die Zeit, in der sich eine Spiegelfacette in der ersten Position entsprechend dem Anfang der gegenwärtigen Ab­ tastlinie befindet. In diesem Fall wird diese Spiegelfa­ cette in der oben beschriebenen Weise übersprungen. Die­ se "Überspring"-Entscheidung findet rekursiv an der er­ sten Position jeder Facette statt, vorzugsweise nur da­ von abhängig, ob eine vollständige Signalanordnung im Modulatorpuffer vorliegt, oder alternativ z.B. von der Anzahl der Signalanordnungen im Steuerungspuffer abhän­ gig.

Wie oben beschrieben, ist die Bewegung der Schreibplat­ te in der bevorzugten Ausführungsform kontinuierlich va­ riabel und muß gesteuert werden, um die durchschnittli­ che Geschwindigkeit der Datenberechnung aufzunehmen. Da­ her wird ein Abtastlinienfehler in der Position der Schreibplatte eingegeben, wenn eine Facette übersprun­ gen wird, so daß der tatsächliche Ort einer Abtastlinie abweichend von der gewünschten Position ist. Eine Steue­ rung gemäß der vorliegenden Erfindung bestimmt die Posi­ tion der Abtastlinie in bekannter Weise durch auf Lei­ tung 116 von einem optischen Ablenkmechanismus 118 emp­ fangene Signale und liefert dorthin Signale zum geeigne­ ten Verschieben des Belichtungsstrahls in Richtung der Plattenbewegung, um diesen Fehler zu beseitigen (Block 120, Fig. 6). Der optische Ablenkmechanismus kann von bekanntem Aufbau sein. Auch ist es normalerweise ausrei­ chend, daß Signale entsprechend allen "0′s" und "1′s" bei überspringen einer Abtastlinie für diese zum Modula­ tor gesendet werden, wie es für die Polarität des Medi­ ums geeignet ist.

Obwohl die Erfindung nur anhand einer bevorzugten Aus­ führungsform dargestellt und beschrieben wurde, dürfte es für den Fachmann klar sein, daß diverse weitere Ände­ rungen, Auslassungen und Ergänzungen hierzu durchge­ führt werden können, ohne daß vom Geist und vom Umfang der vorliegenden Erfindung abgewichen wird.

Ein Verfahren und eine Vorrichtung zum asynchronen Ab­ bilden unter Überspringen von Linien ist gekennzeichnet durch eine Steuerung, die Pixelsignale in einer Folge von Anordnungen berechnet und diese Anordnungen in ei­ nem Puffer speichert. Eine Steuerung stellt die Ge­ schwindigkeit der Vorwärtsbewegung der Schreibplatte ein und synchronisiert damit die Abgabe einer Signalan­ ordnung an eine Spiegelfacette, falls die Steuerung feststellt, daß die nächste Datenlinie nicht bereit zum Abbilden ist.

Claims (13)

1. Steuervorrichtung zur Verwendung in einem Laser-Ra­ sterabtastgerät, bei dem entsprechend Eingabedatensigna­ len mit einem Belichtungsstrahl über einem an einer be­ wegbaren Schreibplatte angebrachten Substrat in einer Folge von Abtastlinien mittels eines Belichtungsstrahl­ generators mit einem drehenden Viel-Facettenspiegel ab­ getastet wird, wobei ein Berechnungselement (80) zum Empfangen der Eingabedatensignale und zum Erzeugen von Belichtungssignalen aus diesen vorgesehen ist, wobei diese Belichtungssignale in sequentiellen Anordnungen gruppiert sind, von denen jede einer ausgewählten Ab­ tastlinie zugeordnet ist und wobei das Berechnungsele­ ment (80) weiterhin Signale zum Vorwärtsbewegen der Schreibplatte (18) von einer gegenwärtigen Position ent­ sprechend der gegenwärtigen Abtastlinie zu folgenden Po­ sitionen entsprechend folgenden Abtastlinien erzeugt, wobei jede der Belichtungssignalanordnungen einem modu­ lierten, einer der Spiegelfacetten (64) zugeführten Be­ lichtungsstrahl (14) entspricht, wenn diese Facette aus einer ersten Position in eine zweite Position gedreht wird, wobei diese Positionen jeweils dem Anfang und dem Ende einer Abtastlinie entsprechen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Puffer (39) zum Empfan­ gen einer Signalanordnung für die nächste Abtastlinie, ein Detektorelement (86) zum Liefern von Signalen, die die Drehposition der Spiegelfacette anzeigen, und ein Sensor (84) zum Erzeugen von Signalen vorgesehen sind, die die vom Puffer empfangenen Belichtungssignale anzei­ gen, wobei das Berechnungselement (80) rekursiv von dem Sensor (84) Signale und von dem Detektorelement (86) Si­ gnale bestimmt, die die Position des Spiegels (62) an­ zeigen, wenn die gegenwärtige Spiegelfacette (64) in der genannten ersten Position ist, und Steuersignale an den Belichtungsstrahlgenerator (12) zum Abschalten der Abgabe der Signalanordnung der nächsten Abtastlinie und zum Ändern der Bewegung der Schreibplatte (18) liefert, falls nicht alle der nächsten Abtastlinie entsprechen­ den Belichtungssignale vom Puffer (39) empfangen worden sind.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Laser-Raster­ abtastgerät Mittel zum kontinuierlichen Vorwärtsbewegen der Schreibplatte aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß ein Mittel (74, 76) zum Mes­ sen des Verschiebungsfehlers des Belichtungsstrahls, de­ finiert als die Differenz der Verschiebung zwischen der tatsächlichen Position des Belichtungsstrahls auf dem Substrat und einer vorgesehenen Position des Belich­ tungsstrahls, und ein optisches Ablenkmittel (118) zum selektiven Verschieben des Belichtungsstrahls von der Abtastlinie in Richtung der Bewegung der Schreibplatte (18) vorgesehen sind, wobei das Berechnungselement (80) weiterhin ein Mittel zum Feststellen, ob die Abgabe der gepufferten Belichtungssignalanordnung aktiviert ist, sowie ein Mittel zum Liefern von Signalen an das opti­ sche Ablenkmittel (118) zum Verschieben des Belichtungs­ strahls um einen ausgewählten Betrag von der Abtastli­ nie aufweist, wodurch der Verschiebungsfehler des Be­ lichtungsstrahls korrigiert wird.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei das Laser-Raster­ abtastgerät ein Mittel zum Weiterschalten der Schreib­ platte in Positionen entsprechend der Folge von Abtast­ linien aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß das Berechnungselement (80) weiterhin ein Mittel zum Anhalten der Vorwärtsbewegung der Schreibplatte (18) zu einer nächsten Abtastlinienpo­ sition aufweist, nur falls das Berechnungselement (80) die Abgabe der nächsten Abtastliniensignalanordnung an­ hält.

4. Laser-Rasterabtastgerät mit einem adressierbaren Be­ lichtungsstrahlgenerator (12) mit einem Viel-Facetten- Drehspiegel und einem Belichtungsstrahlmodulator, wobei der Generator einen Belichtungsstrahl über ein Substrat in einer Folge von Abtastlinien bewegt, einer bewegba­ ren Schreibplatte zur Aufnahme des Substrats, einer Steuervorrichtung mit einem Berechnungselement zum Emp­ fangen der Eingabedatensignale und zum Erzeugen von Be­ lichtungssignalen aus diesen mit einer bestimmten Si­ gnalerzeugungsgeschwindigkeit, wobei die Belichtungssi­ gnale in sequentiellen Anordnungen gruppiert sind, von denen jede einer ausgewählten Abtastlinie zugeordnet ist, und wobei das Berechnungsmittel weiterhin Signale zum Vorwärtsbewegen der Schreibplatte (18) aus einer ge­ genwärtigen Position entsprechend der gegenwärtigen Ab­ tastlinie in eine folgende Position entsprechend folgen­ den Abtastlinien erzeugt, wobei jede der Belichtungssi­ gnalanordnungen einem modulierten Belichtungsstrahl ent­ spricht, der einer der reflektierenden Spiegelfacetten (64) zugeführt wird, wenn die Facette (64) aus einer er­ sten Position in eine zweite Position dreht, die je­ weils dem Anfang und dem Ende einer Abtastlinie entspre­ chen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Detektorelement (99) zum Liefern von Signalen, die die Drehposition der Spie­ gelfacette anzeigen, ein erster Puffer (96) zum Empfan­ gen und Speichern einer Vielzahl von Signalanordnungen von der Steuervorrichtung (94), ein zweiter, dem Belich­ tungsstrahlgenerator (12) zugeordneter Puffer (39) zum sequentiellen Empfangen jeder der im ersten Puffer (96) gespeicherten Signalanordnungen mit einer Puffer-zu-Puf­ fer-Übertragungsgeschwindigkeit vor Abgabe an den Modu­ lator, ein erstes Sensorelement (104) zum Erzeugen von Signalen, die die Anzahl der vom ersten Puffer (96) ge­ speicherten Signalanordnungen anzeigen, und ein zweites Sensorelement (84) zum Erzeugen von Signalen vorgesehen sind, die die Anzahl der Belichtungsstrahlsignale einer nächsten, im zweiten Puffer (39) vorliegenden Signalan­ ordnung anzeigen, wobei die Steuervorrichtung die er­ sten und zweiten Sensorsignale und die die Spiegelposi­ tion anzeigenden Detektorelementsignale zum Einstellen der Datenübertragungsgeschwindigkeit in Abhängigkeit von der Anzahl der gespeicherten Signalanordnungen im er­ sten Puffer und zum rekursiven Bestimmen empfängt, ob eine Spiegelfacette (64) sich in der ersten Position be­ findet, und Steuersignale an den Belichtungsstrahlgene­ rator (12) liefert, der die Abgabe der Signalanordnun­ gen von Abtastlinien des zweiten Puffers anhält und die Bewegung der Schreibplatte (18) ändert, falls nicht al­ le der nächsten Signalanordnung enstprechenden Signale im zweiten Puffer (39) empfangen worden sind.

5. Laser-Rasterabtastgerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Mittel (74, 76) zum Mes­ sen des Verschiebungsfehlers des Belichtungsstrahls, de­ finiert als die Verschiebungsdifferenz zwischen einer tatsächlichen Belichtungsstrahlposition auf dem Sub­ strat und einer vorgegebenen Belichtungsstrahlposition, und ein optisches Ablenkmittel (118) zum selektiven Lie­ fern einer Verschiebung für den Belichtungsstrahl von der Abtastlinie in einer Bewegungsrichtung der Schreib­ platte (18) vorgesehen sind, wobei das Berechnungsmit­ tel (102) weiterhin ein Mittel zum Feststellen, ob das Berechnungsmittel (102) die Abgabe der gepufferten Be­ lichtungssignalanordnung zunächst angehalten und dann wieder aktiviert hat, und ein Mittel zum Liefern von Si­ gnalen an das optische Ablenkmittel (118) aufweist, um den Belichtungsstrahl um einen vorgewählten Betrag von der Abtastlinie zu verschieben, wodurch der Verschie­ bungsfehler des Belichtungsstrahls korrigiert wird.

6. Laser-Rasterabtastgerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Berechnungsmittel (102) ein Mittel zum Auswählen einer Anzahl von zu übersprin­ genden Spiegelfacetten (64) aufweist, je nach der An­ zahl von im ersten Puffer (96) gespeicherten Signalan­ ordnungen.

7. Laser-Rasterabtastgerät nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein Mittel zum Weiterschal­ ten der Schreibplatte (18) in Positionen entsprechend einer Folge von Abtastlinien vorgesehen ist, und daß das Berechnungsmittel (102) ein Mittel zum Anhalten der Vorwärtsbewegung der Schreibplatte (18) zu einer näch­ sten Abtastlinienposition aufweist, nur falls das Be­ rechnungselement (80) die Abgabe der nächsten Abtastli­ niensignalanordnung anhält.

8. Verfahren zum Rasterabtasten mit einem Laserstrahl über ein auf einer bewegbaren Schreibplatte angebrach­ tes Substrat mit den Schritten: Schaffen eines adres­ sierbaren Belichtungsstrahlgenerators mit einem Belich­ tungsstrahlmodulator und einem mit einer vorgewählten Drehzahl drehenden Viel-Facetten-Spiegel, wodurch ein modulierter Belichtungsstrahl über eine Abtastlinie auf dem Substrat bewegt wird, Bewegen der Schreibplatte mit einer vorgewählten Geschwindigkeit in einer Richtung in etwa senkrecht zur Abtastlinie entsprechend empfangenen Signalen, Berechnen der Belichtungsstrahlsignale mit­ tels einer Steuervorrichtung, die Eingabedatensignale empfängt, wobei die Belichtungsstrahlsignale in sequen­ tiellen Anordnungen gruppiert sind, wobei jede von die­ sen einer bestimmten Abtastlinie entspricht, und die weiterhin Signale zum Vorwärtsbewegen der Schreibplatte aus einer gegenwärtigen Position entsprechend der gegen­ wärtigen Abtastlinie in folgende Positionen entsprechend folgenden Abtastlinien erzeugt, wobei jede der Belich­ tungssignalanordnungen einem modulierten, einer der re­ flektierenden Spiegelfacetten zugeführten Belichtungs­ strahl entspricht, wenn die Facette sich aus einer er­ sten Position in eine zweite Position bewegt, die je­ weils dem Anfang und dem Ende einer Abtastlinie entspre­ chen, dadurch gekennzeichnet, daß die Schritte vorgesehen sind: Speichern einer der Belichtungssignalanordnungen vor Abgabe an den Belichtungsstrahlmodulator (38) in ei­ nem ersten Puffer (39), Erfassen der Anzahl der Belich­ tungsstrahlsignale im ersten Puffer (39), rekursives Be­ stimmen, ob die gegenwärtige Spiegelfacette (64) in der ersten Position ist, und Liefern von Steuersignalen an den Belichtungsstrahlgenerator (12), der die Abgabe der gepufferten Abtastliniensignalanordnung anhält und die Bewegung der Schreibplatte (18) ändert, falls nicht al­ le der der gepufferten Signalanordnung zugeordneten Be­ lichtungsstrahlsignale im ersten Puffer (39) empfangen worden sind.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die weiteren Schritte vorge­ sehen sind: Speichern einer Vielzahl von Belichtungs­ strahlanordnungen in einem zweiten, einem Berechnungs­ element (102) zugeordneten Puffer (96), Erfassen der An­ zahl gespeicherter Signalanordnungen im zweiten Puffer (96), Liefern der gespeicherten Signalanordnungen an den ersten Puffer mit einer Puffer-zu-Puffer-Übertra­ gungsgeschwindigkeit, und Einstellen dieser Übertra­ gungsgeschwindigkeit in Abhängigkeit von der Anzahl von im zweiten Puffer (96) gespeicherten Belichtungsstrahl- Signalanordnungen.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Schritte vorgesehen sind: Bestimmen, ob eine Facette (64) übersprungen wor­ den ist, und eines Werts für einen optischen Verschie­ bungsfehler, definiert als die Differenz zwischen einer tatsächlichen Position des Belichtungsstrahls auf dem Substrat und einer vorgewählten Position darauf, und optisches Verschieben des Belichtungsstrahls (14) ent­ lang dem Substrat (18), um den optischen Verschiebungs­ fehler zu beseitigen.

11. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Schritte vorgesehen sind: Weiterschalten der Schreibplatte (18) in Positio­ nen entsprechend einer Folge von Abtastlinien und Anhal­ ten der Vorwärtsbewegung der Schreibplatte (18) zu ei­ ner nächsten Abtastlinienposition, nur falls das Berech­ nungselement (102) die Abgabe der nächsten Abtastlinien­ signalanordnung anhält.

12. Laser-Rasterabtastgerät mit einem adressierbaren Belichtungsstrahlgenerator mit einem Belichtungsstrahl­ modulator und einem Viel-Facetten-Spiegel, wodurch ein modulierter Belichtungsstrahl über eine Folge von Ab­ tastlinien auf einem Substrat bewegt wird, einer beweg­ baren Schreibplatte zum Aufnehmen des Substrats, einer Steuervorrichtung mit einem Berechnungselement zum Emp­ fangen der Eingabedatensignale und zum Erzeugen von Be­ lichtungssignalen mit einer Signalerzeugungsgeschwindig­ keit, wobei die Belichtungssignale in sequentiellen An­ ordnungen gruppiert sind, wobei jede von diesen einer bestimmten Abtastlinie entspricht, und wobei das Be­ rechnungselement weiterhin Steuersignale zum Vorwärtsbe­ wegen der Schreibplatte aus einer gegenwärtigen Posi­ tion entsprechend der gegenwärtigen Abtastlinie in fol­ gende Positionen entsprechend folgenden Abtastlinien er­ zeugt, wobei jede der Belichtungssignalanordnungen ei­ nem modulierten, einer der reflektierenden Spiegelfacet­ ten zugeführten Belichtungsstrahl entspricht, wenn die Facette sich aus einer ersten Position in eine zweite Position bewegt, die jeweils dem Anfang und dem Ende ei­ ner Abtastlinie entsprechen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Detektorelement (96) zum Liefern von Signalen, die die Drehposition der Spie­ gelfacette (64) anzeigen, ein erster Puffer (96) zum Empfangen und Speichern einer Vielzahl von Signalanord­ nungen von der Steuervorrichtung (12), ein dem Belich­ tungsstrahlgenerator (12) zugeordneter zweiter Puffer (39) zum sequentiellen Empfangen jeder der gespeicher­ ten Signalanordnungen vom ersten Puffer mit einer Puf­ fer-zu-Puffer-Übertragungsgeschwindigkeit vor Abgabe an den Modulator (38), ein erster Sensor (104) zum Erzeu­ gen von Signalen, die die Anzahl von vom ersten Puffer (96) gespeicherten Signalanordnungen anzeigen, und ein zweiter Sensor (84) zum Erzeugen von Signalen vorgese­ hen sind, die die Anzahl der Belichtungsstrahlsignale einer nächsten, im zweiten Puffer (39) vorliegenden Si­ gnalanordnung anzeigen, wobei die Steuervorrichtung (12) die ersten und zweiten Sensorsignale und die die Spiegelposition anzeigenden Detektorelementsignale zum Einstellen der Datenübertragungsgeschwindigkeit in Ab­ hängigkeit von der Anzahl der gespeicherten Signalanord­ nungen im ersten Puffer (96) und zum rekursiven Bestim­ men empfängt, ob eine Spiegelfacette (64) sich in der ersten Position befindet, und Steuersignale an den Be­ lichtungsstrahlgenerator (12) liefert, der die Abgabe der Signalanordnungen von Abtastlinien des zweiten Puf­ fers anhält und die Bewegung der Schreibplatte (18) än­ dert, falls die Anzahl der im ersten Puffer (96) gespei­ cherten Signalanordnungen kleiner als ein dafür ausge­ wählter Wert ist.

13. Laser-Rasterabtastgerät zum Belichten von Bildern auf einem Träger mit einem Halter zum Halten eines Trä­ gers mit einer photoempfindlichen Oberfläche, einem Ab­ tastelement zum wiederholten Abtasten mit einem Belich­ tungsstrahl entlang einer zum Abtastelement festen und sich über die photoempfindliche Oberfläche eines vom Halter gehaltenen Trägers erstreckenden Grundlinie, Vor­ schubmitteln zum Vorwärtsbewegen des Abtastelements und des Halters relativ zueinander entlang einer im wesent­ lichen zu der Grundlinie senkrechten Linie, wodurch mit dem Strahl nacheinander Abtastlinien auf der photoemp­ findlichen Oberfläche abgetastet werden, Mit­ teln zum Erzeugen von in sequentiellen Anordnungen grup­ pierten Pixelsignalen, wobei jede der Anordnungen einer der Abtastlinien zugeordnet ist, Mitteln zum Modulieren der Intensität des Strahls während seiner Bewegung ent­ lang der Grundlinie entsprechend einer der Pixelsignal­ anordnungen, dadurch gekennzeichnet, daß ein Puffer (39) zum Empfan­ gen einer Signalanordnung für die nächste Abtastlinie des Strahls (14), ein Detektor (84) zum Liefern eines Signals, das den Anfang jeder Abtastlinie des Strahls (14) entlang der Grundlinie anzeigt, ein Sensor (84) zum Liefern eines Signals, das die Vollständigkeit der im Puffer (39) gespeicherten Pixelsignalanordnung an­ zeigt, und Mittel vorgesehen sind, die auf den Detektor und den Sensor derart reagieren, daß sie das Modulier­ element und das Vorschubelement anhalten, falls bei Be­ ginn der nächsten Abtastlinie des Strahls (14) entlang der Grundlinie der Puffer (39) keine vollständige Anord­ nung von Pixelsignalen enthält, so daß während der näch­ sten Abtastung mit dem Strahl (14) die Bewegung des Ab­ tastelements (62) relativ zum Halter (18) unterbrochen wird, und der Strahl (14) während dieser Abtastung auf einer nicht-belichtenden Intensität gehalten wird, um die Füllung des Puffers mit einer vollständigen Anord­ nung von Pixelsignalen zu ermöglichen, bevor das Modu­ lierelement (38) und das Vorschubelement (20) beim Be­ ginn einer weiteren Abtastung der Grundlinie mit dem Strahl (14) wieder aktiviert werden.