DE3926349C2 - - Google Patents

Info

Publication number
DE3926349C2
DE3926349C2 DE19893926349 DE3926349A DE3926349C2 DE 3926349 C2 DE3926349 C2 DE 3926349C2 DE 19893926349 DE19893926349 DE 19893926349 DE 3926349 A DE3926349 A DE 3926349A DE 3926349 C2 DE3926349 C2 DE 3926349C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
error
inspection
line
optical
inspection device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE19893926349
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE3926349A1 (de
Inventor
Karl Dipl.-Phys. Dr. 8192 Geretsried De Pietzsch
Klaus Dipl.-Ing. Ostertag
Iris Dipl.-Phys. Dr. 8000 Muenchen De Grieger
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Erwin Sick Optik-Elektronik 7808 Waldkirch De GmbH
Original Assignee
Erwin Sick Optik-Elektronik 7808 Waldkirch De GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Erwin Sick Optik-Elektronik 7808 Waldkirch De GmbH filed Critical Erwin Sick Optik-Elektronik 7808 Waldkirch De GmbH
Priority to DE19893926349 priority Critical patent/DE3926349A1/de
Publication of DE3926349A1 publication Critical patent/DE3926349A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3926349C2 publication Critical patent/DE3926349C2/de
Granted legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/8901—Optical details; Scanning details
    • G01N21/8903—Optical details; Scanning details using a multiple detector array
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/89—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles
    • G01N21/892—Investigating the presence of flaws or contamination in moving material, e.g. running paper or textiles characterised by the flaw, defect or object feature examined
    • G01N21/896—Optical defects in or on transparent materials, e.g. distortion, surface flaws in conveyed flat sheet or rod

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Textile Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
DE19893926349 1989-08-09 1989-08-09 Optische fehlerinspektionsvorrichtung Granted DE3926349A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893926349 DE3926349A1 (de) 1989-08-09 1989-08-09 Optische fehlerinspektionsvorrichtung

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19893926349 DE3926349A1 (de) 1989-08-09 1989-08-09 Optische fehlerinspektionsvorrichtung

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3926349A1 DE3926349A1 (de) 1991-02-14
DE3926349C2 true DE3926349C2 (zh) 1992-08-13

Family

ID=6386815

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19893926349 Granted DE3926349A1 (de) 1989-08-09 1989-08-09 Optische fehlerinspektionsvorrichtung

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3926349A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004029014A1 (de) * 2004-06-16 2006-01-12 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Verfahren und System zur Inspektion eines Wafers
DE102007037863A1 (de) * 2007-08-10 2009-02-12 Hans Joachim Bruins Messeinrichtung und Verfahren zur spektroskopischen Untersuchung einer Probe

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1992015864A1 (en) * 1991-03-06 1992-09-17 The Furukawa Electric Co., Ltd. Method of automatically detecting defects of object to be inspected
FR2681429B1 (fr) * 1991-09-13 1995-05-24 Thomson Csf Procede et dispositif d'inspection du verre.
FI92255C (fi) * 1992-10-16 1994-10-10 Data Instmsto Oy Laite painokoneella tuotetun painojäljen laadun valvontaan
FR2697086B1 (fr) * 1992-10-20 1994-12-09 Thomson Csf Procédé et dispositif d'inspection de matériau transparent.
AR002082A1 (es) * 1995-05-25 1998-01-07 Gillette Co Metodo para producir un borde cortante en una tira de metal y el aparato para realizarlo
IL119850A (en) * 1996-12-17 2000-11-21 Prolaser Ltd Optical method and apparatus for detecting low frequency defects
NL1006378C2 (nl) * 1997-06-23 1998-12-24 Tno Werkwijze en inrichting voor het inspecteren van een voorwerp met betrekking tot verstoringen.
GB9812091D0 (en) * 1998-06-05 1998-08-05 Glaverbel Defect detecting unit
CA2252308C (en) 1998-10-30 2005-01-04 Image Processing Systems, Inc. Glass inspection system
DE19948140A1 (de) * 1999-09-29 2001-04-05 Friedrich Schiller Uni Jena Bu Verfahren und Vorrichtung zur Erkennung von Defekten in und an transparenten Objekten
US6633377B1 (en) 2000-04-20 2003-10-14 Image Processing Systems Inc. Dark view inspection system for transparent media
US6501546B1 (en) 2000-05-05 2002-12-31 Photon Dynamics Canada Inc. Inspection system for edges of glass
US6512239B1 (en) 2000-06-27 2003-01-28 Photon Dynamics Canada Inc. Stereo vision inspection system for transparent media
AT410257B (de) * 2000-10-23 2003-03-25 Mte Innovative Measurement Sol Vorrichtung zur überprüfung und kontrolle einer einzel-glasscheibe oder eines isolierglas-elements
DE10209593B4 (de) * 2002-03-05 2005-03-24 Schott Ag Verfahren zur Qualitätskontrolle und Schnittoptimierung von optischen Rohmaterialien
US7023542B2 (en) 2002-04-03 2006-04-04 3M Innovative Properties Company Imaging method and apparatus
DE102004005019A1 (de) * 2004-01-30 2005-08-18 Isra Glass Vision Gmbh Verfahren zur Bestimmung der Tiefe eines Fehlers in einem Glasband
KR100897223B1 (ko) * 2004-11-24 2009-05-14 아사히 가라스 가부시키가이샤 투명 판상체의 결함 검사 방법 및 장치
WO2006087213A2 (de) * 2005-02-18 2006-08-24 Schott Ag Verfahren und vorrichtung zur erfassung und/oder klassifizierung von fehlstellen
FR2958040B1 (fr) * 2010-03-23 2012-05-25 S G C C Methode et installation pour detecter la presence et l'altitude de defauts dans un composant optique
DE102011082793A1 (de) * 2011-09-15 2013-03-21 Carl Zeiss Smt Gmbh Vorrichtungen zur Bestimmung eines Verschmutzungsgrads und/oder zur Schichtdickenbestimmung eines Bandes
PL416867A1 (pl) 2016-04-15 2017-10-23 Sorter Spółka Jawna Konrad Grzeszczyk, Michał Ziomek Powierzchniowe źródło światła bocznego
DE102020003850A1 (de) 2020-06-26 2021-12-30 Baumer Inspection Gmbh Vorrichtung zum Bestimmen eines Höhenprofils eines Objekts

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1207489A (en) * 1966-12-06 1970-10-07 North Atlantic Res Products Lt A system for detecting surface flaws in objects
DE2404972A1 (de) * 1974-02-01 1975-08-07 Ciba Geigy Ag Vorrichtung zur ermittlung von fehlstellen auf der oberflaeche eines bewegten reflektierenden materials
DE3534019A1 (de) * 1985-09-24 1987-04-02 Sick Optik Elektronik Erwin Optische bahnueberwachungsvorrichtung
DE3717274A1 (de) * 1987-05-22 1988-12-01 Sick Erwin Gmbh Optische fehlerinspektionsvorrichtung
DE3800053A1 (de) * 1988-01-04 1989-07-13 Sick Optik Elektronik Erwin Optische fehlerinspektionsvorrichtung

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004029014A1 (de) * 2004-06-16 2006-01-12 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Verfahren und System zur Inspektion eines Wafers
DE102004029014B4 (de) * 2004-06-16 2006-06-22 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Verfahren und System zur Inspektion eines Wafers
DE102007037863A1 (de) * 2007-08-10 2009-02-12 Hans Joachim Bruins Messeinrichtung und Verfahren zur spektroskopischen Untersuchung einer Probe

Also Published As

Publication number Publication date
DE3926349A1 (de) 1991-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3926349C2 (zh)
DE3034903C2 (zh)
DE2935716C2 (zh)
DE3013244A1 (de) Automatische fehlstellen-detektorvorrichtung
DE3048053C2 (zh)
DE2256736B2 (de) Meßanordnung zur automatischen Prüfung der Oberflächenbeschaffenheit und Ebenheit einer Werkstückoberfläche
DE3728210C2 (zh)
DE2428123A1 (de) Anordnung zum nachweisen von fehlstellen mittels abtastung durch einen laserstrahl
DE2827704C3 (de) Optische Vorrichtung zur Bestimmung der Lichtaustrittswinkel
DE4211875A1 (de) Optischer Abstandssensor
EP0716287B1 (de) Vorrichtungen zum Messen einer Lage von Bahnen oder Bogen
EP0811146B1 (de) Verfahren zum messen einer lage einer kante von bahnen oder bogen
DE4444079C2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens zum Messen der Lage einer Kante von einer Bahn oder einem Bogen
DE2354141A1 (de) Verfahren zum untersuchen einer oberflaeche und vorrichtung zur durchfuehrung dieses verfahrens
DE102014203645A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zum optischen Bestimmen eines Abstandes
WO2005073698A1 (de) Verfahren zur bestimmung der tiefe eines fehlers in einem glasband
EP0708325A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Inspektion von Gegenständen, insbesondere von Flaschen
DE19914962C2 (de) Optoelektronische Vorrichtung
DE3312203C2 (zh)
DE10153581A1 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Ermittlung der Wirkkontur von Rotationswerkzeugen
EP0218865B1 (de) Prüfanordnung zur berührungslosen Ermittlung von Defekten in nicht strukturierten Flächen
DE2718711C2 (zh)
DE3232885A1 (de) Verfahren zur automatischen pruefung von oberflaechen
DE2655704C3 (de) Vorrichtung zum Ermitteln von Fremdkörpern in Glasflaschen
DE60110341T2 (de) Anordnung und Verfahren zur Entfernungsmessung

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee