DE3926349A1 - Optische fehlerinspektionsvorrichtung - Google Patents

Optische fehlerinspektionsvorrichtung

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Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0528031A1 (en) * 1991-03-06 1993-02-24 The Furukawa Electric Co., Ltd. Method of automatically detecting defects of object to be inspected
FR2681429A1 (fr) * 1991-09-13 1993-03-19 Thomson Csf Procede et dispositif d'inspection du verre.
FR2697086A1 (fr) * 1992-10-20 1994-04-22 Thomson Csf Procédé et dispositif d'inspection de matériau transparent.
WO1996037348A1 (en) * 1995-05-25 1996-11-28 The Gillette Company Inspection of edges
US5664025A (en) * 1992-10-16 1997-09-02 Insinooritoimisto Data Oy Apparatus for the quality control of a print produced by a printing machine
EP0856728A2 (en) * 1996-12-17 1998-08-05 Prolaser Ltd. Optical method and apparatus for detecting defects
NL1006378C2 (nl) * 1997-06-23 1998-12-24 Tno Werkwijze en inrichting voor het inspecteren van een voorwerp met betrekking tot verstoringen.
WO1999064845A1 (en) * 1998-06-05 1999-12-16 Glaverbel Defect detecting unit
WO2001023870A1 (de) * 1999-09-29 2001-04-05 Friedrich-Schiller-Universität Jena Verfahren und vorrichtung zur erkennung von defekten in und an transparenten objekten
WO2002001206A1 (en) * 2000-06-27 2002-01-03 Photon Dynamics Canada Inc. Stereo vision inspection system for transparent media
WO2002035181A1 (de) * 2000-10-23 2002-05-02 Sensor-Tech Messtechnik Gmbh Vorrichtung zur überprüfung und kontrolle einer einzel-glasscheibe, eines isolierglas-elements oder eines laminatglases
US6437357B1 (en) 1998-10-30 2002-08-20 Photon Dynamics Canada Inc. Glass inspection system including bright field and dark field illumination
US6501546B1 (en) 2000-05-05 2002-12-31 Photon Dynamics Canada Inc. Inspection system for edges of glass
DE10209593A1 (de) * 2002-03-05 2003-10-02 Schott Glas Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätskontrolle und Schnittoptimierung von optischen Rohmaterialien
US6633377B1 (en) 2000-04-20 2003-10-14 Image Processing Systems Inc. Dark view inspection system for transparent media
WO2003085389A1 (en) * 2002-04-03 2003-10-16 3M Innovative Properties Company Imaging method and apparatus
WO2005073698A1 (de) * 2004-01-30 2005-08-11 Isra Glass Vision Gmbh Verfahren zur bestimmung der tiefe eines fehlers in einem glasband
WO2006087213A2 (de) * 2005-02-18 2006-08-24 Schott Ag Verfahren und vorrichtung zur erfassung und/oder klassifizierung von fehlstellen
EP1816466A1 (en) * 2004-11-24 2007-08-08 Asahi Glass Company, Limited Method and device for inspecting defect of transparent plate body
WO2011117539A1 (fr) * 2010-03-23 2011-09-29 Msc & Sgcc Methode et installation pour detecter la presence et l'altitude de defauts dans un composant optique
DE102011082793A1 (de) * 2011-09-15 2013-03-21 Carl Zeiss Smt Gmbh Vorrichtungen zur Bestimmung eines Verschmutzungsgrads und/oder zur Schichtdickenbestimmung eines Bandes
EP3232184A1 (en) 2016-04-15 2017-10-18 Sorter Spolka Jawna Konrad Grzeszczyk Michal Ziomek Surface source of side light
EP3929532A1 (de) 2020-06-26 2021-12-29 Baumer Inspection GmbH Vorrichtung zum bestimmen eines höhenprofils eines objekts

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004029014B4 (de) * 2004-06-16 2006-06-22 Leica Microsystems Semiconductor Gmbh Verfahren und System zur Inspektion eines Wafers
DE102007037863A1 (de) * 2007-08-10 2009-02-12 Hans Joachim Bruins Messeinrichtung und Verfahren zur spektroskopischen Untersuchung einer Probe

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1207489A (en) * 1966-12-06 1970-10-07 North Atlantic Res Products Lt A system for detecting surface flaws in objects
CH601793A5 (zh) * 1974-02-01 1978-07-14 Ciba Geigy Ag
DE3534019A1 (de) * 1985-09-24 1987-04-02 Sick Optik Elektronik Erwin Optische bahnueberwachungsvorrichtung
DE3717274A1 (de) * 1987-05-22 1988-12-01 Sick Erwin Gmbh Optische fehlerinspektionsvorrichtung
DE3800053A1 (de) * 1988-01-04 1989-07-13 Sick Optik Elektronik Erwin Optische fehlerinspektionsvorrichtung

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1207489A (en) * 1966-12-06 1970-10-07 North Atlantic Res Products Lt A system for detecting surface flaws in objects
CH601793A5 (zh) * 1974-02-01 1978-07-14 Ciba Geigy Ag
DE3534019A1 (de) * 1985-09-24 1987-04-02 Sick Optik Elektronik Erwin Optische bahnueberwachungsvorrichtung
DE3717274A1 (de) * 1987-05-22 1988-12-01 Sick Erwin Gmbh Optische fehlerinspektionsvorrichtung
DE3800053A1 (de) * 1988-01-04 1989-07-13 Sick Optik Elektronik Erwin Optische fehlerinspektionsvorrichtung

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
DE-Buch: MÜTZE, Karl, et.al.: ABC der Optik. Verlag Werner Dausien, Hanau/Main 1961, S.235 *

Cited By (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0528031A1 (en) * 1991-03-06 1993-02-24 The Furukawa Electric Co., Ltd. Method of automatically detecting defects of object to be inspected
EP0528031A4 (en) * 1991-03-06 1993-10-20 The Furukawa Electric Co., Ltd. Method of automatically detecting defects of object to be inspected
FR2681429A1 (fr) * 1991-09-13 1993-03-19 Thomson Csf Procede et dispositif d'inspection du verre.
WO1993006467A2 (fr) * 1991-09-13 1993-04-01 Thomson-Csf Procede et dispositif d'inspection du verre
WO1993006467A3 (fr) * 1991-09-13 1993-05-13 Thomson Csf Procede et dispositif d'inspection du verre
US5664025A (en) * 1992-10-16 1997-09-02 Insinooritoimisto Data Oy Apparatus for the quality control of a print produced by a printing machine
WO1994009358A1 (fr) * 1992-10-20 1994-04-28 Thomson-Csf Procede et dispositif d'inspection de materiau transparent
FR2697086A1 (fr) * 1992-10-20 1994-04-22 Thomson Csf Procédé et dispositif d'inspection de matériau transparent.
WO1996037348A1 (en) * 1995-05-25 1996-11-28 The Gillette Company Inspection of edges
EP1170584A2 (en) * 1995-05-25 2002-01-09 The Gillette Company Inspection of edges
CN100489505C (zh) * 1995-05-25 2009-05-20 吉莱特公司 检查器
EP1170584A3 (en) * 1995-05-25 2002-02-13 The Gillette Company Inspection of edges
US6046764A (en) * 1995-05-25 2000-04-04 The Gillette Company Visual inspection system of moving strip edges using cameras and a computer
EP1167952A3 (en) * 1995-05-25 2002-02-13 The Gillette Company Inspection of edges
EP1167952A2 (en) * 1995-05-25 2002-01-02 The Gillette Company Inspection of edges
EP0856728A2 (en) * 1996-12-17 1998-08-05 Prolaser Ltd. Optical method and apparatus for detecting defects
EP0856728A3 (en) * 1996-12-17 1998-09-09 Prolaser Ltd. Optical method and apparatus for detecting defects
US6075591A (en) * 1996-12-17 2000-06-13 Prolaser Ltd. Optical method and apparatus for detecting low frequency defects
NL1006378C2 (nl) * 1997-06-23 1998-12-24 Tno Werkwijze en inrichting voor het inspecteren van een voorwerp met betrekking tot verstoringen.
US6346713B1 (en) 1997-06-23 2002-02-12 Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno Method and installation for inspecting an article for defects
WO1998059236A1 (en) * 1997-06-23 1998-12-30 Nederlandse Organisatie Voor Toegepast-Natuurwetenschappelijk Onderzoek Tno Method and installation for inspecting an article for defects
WO1999064845A1 (en) * 1998-06-05 1999-12-16 Glaverbel Defect detecting unit
US6437357B1 (en) 1998-10-30 2002-08-20 Photon Dynamics Canada Inc. Glass inspection system including bright field and dark field illumination
WO2001023870A1 (de) * 1999-09-29 2001-04-05 Friedrich-Schiller-Universität Jena Verfahren und vorrichtung zur erkennung von defekten in und an transparenten objekten
US6633377B1 (en) 2000-04-20 2003-10-14 Image Processing Systems Inc. Dark view inspection system for transparent media
US6501546B1 (en) 2000-05-05 2002-12-31 Photon Dynamics Canada Inc. Inspection system for edges of glass
US6512239B1 (en) 2000-06-27 2003-01-28 Photon Dynamics Canada Inc. Stereo vision inspection system for transparent media
WO2002001206A1 (en) * 2000-06-27 2002-01-03 Photon Dynamics Canada Inc. Stereo vision inspection system for transparent media
WO2002035181A1 (de) * 2000-10-23 2002-05-02 Sensor-Tech Messtechnik Gmbh Vorrichtung zur überprüfung und kontrolle einer einzel-glasscheibe, eines isolierglas-elements oder eines laminatglases
DE10209593A1 (de) * 2002-03-05 2003-10-02 Schott Glas Verfahren und Vorrichtung zur Qualitätskontrolle und Schnittoptimierung von optischen Rohmaterialien
DE10209593B4 (de) * 2002-03-05 2005-03-24 Schott Ag Verfahren zur Qualitätskontrolle und Schnittoptimierung von optischen Rohmaterialien
WO2003085389A1 (en) * 2002-04-03 2003-10-16 3M Innovative Properties Company Imaging method and apparatus
US7023542B2 (en) 2002-04-03 2006-04-04 3M Innovative Properties Company Imaging method and apparatus
WO2005073698A1 (de) * 2004-01-30 2005-08-11 Isra Glass Vision Gmbh Verfahren zur bestimmung der tiefe eines fehlers in einem glasband
EP1816466A1 (en) * 2004-11-24 2007-08-08 Asahi Glass Company, Limited Method and device for inspecting defect of transparent plate body
EP1816466A4 (en) * 2004-11-24 2009-11-11 Asahi Glass Co Ltd METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING DEFECT OF A REVERSE PLATE BODY
US7796248B2 (en) 2004-11-24 2010-09-14 Asahi Glass Company, Limited Defect inspection method and apparatus for transparent plate-like members
WO2006087213A3 (de) * 2005-02-18 2007-03-29 Schott Ag Verfahren und vorrichtung zur erfassung und/oder klassifizierung von fehlstellen
WO2006087213A2 (de) * 2005-02-18 2006-08-24 Schott Ag Verfahren und vorrichtung zur erfassung und/oder klassifizierung von fehlstellen
WO2011117539A1 (fr) * 2010-03-23 2011-09-29 Msc & Sgcc Methode et installation pour detecter la presence et l'altitude de defauts dans un composant optique
FR2958040A1 (fr) * 2010-03-23 2011-09-30 S G C C Methode et installation pour detecter la presence et l'altitude de defauts dans un composant optique
DE102011082793A1 (de) * 2011-09-15 2013-03-21 Carl Zeiss Smt Gmbh Vorrichtungen zur Bestimmung eines Verschmutzungsgrads und/oder zur Schichtdickenbestimmung eines Bandes
US9250062B2 (en) 2011-09-15 2016-02-02 Carl Zeiss Smt Gmbh Devices for determining layer thickness and/or contamination level of a belt
EP3232184A1 (en) 2016-04-15 2017-10-18 Sorter Spolka Jawna Konrad Grzeszczyk Michal Ziomek Surface source of side light
EP3929532A1 (de) 2020-06-26 2021-12-29 Baumer Inspection GmbH Vorrichtung zum bestimmen eines höhenprofils eines objekts
DE102020003850A1 (de) 2020-06-26 2021-12-30 Baumer Inspection Gmbh Vorrichtung zum Bestimmen eines Höhenprofils eines Objekts

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DE3926349C2 (zh) 1992-08-13

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