DE3013244A1 - Automatische fehlstellen-detektorvorrichtung - Google Patents
Automatische fehlstellen-detektorvorrichtungInfo
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- G01N21/8901—Optical details; Scanning details
- G01N21/8903—Optical details; Scanning details using a multiple detector array
Description
Patentanwälte 3 O 1 3 2 A 4
Dipl.-Ing. Dipl-Chem. Dipl.-lng.
E. Prinz - Dr. G. Hauser - G. Leiser
Ernsbergerstrasse 19
8 München 60
- 4 -
- 4 -
ARMCO INC. 3. April 1980
703 Curtis Street
Middletown, Ohio / V.St.A.
Middletown, Ohio / V.St.A.
Unser Zeichen: A 1837
Automatische Fehlstellen-Detektorvorrichtung
Die Erfindung betrifft allgemein eine Vorrichtung zur automatischen
Kontrolle der Oberfläche von sich bewegenden Materialschichten, Blechen oder Folien, insbesondere nach dem
Oberbegriff des Anspruchs 1.
Die kontinuierliche Kontrolle halbfertiger Produkte bei der kontinuierlichen Herstellung ist kritisch im Hinblick auf
die Gewährleistung, daß Endprodukte frei von Fehlstellen
oder Mängeln sind. Wenn diese Fehlstellen rechtzeitig erfaßt und eingeordnet werden, können sie behoben werden, bevor
das halbfertige Produkt zur nächsten Verarbeitungsstation weiterbewegt wird. Ein besonderes Gebiet, bei dem die Fehlstellenermittlung
sehr wichtig ist, ist die Verarbeitung und Kontrolle von Metallplatten oder Blechmaterial, bei denen
die Fehlstellen bzw. Mängel in Form von Perforierungen, Rissen, Einzackungen, Materialeinschlüssen usw. auftreten können.
Wenn von der Materialoberfläche Licht reflektiert wird,
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können diese Fehlstellen ein optisches Aussehen haben, das
von der übrigen Oberfläche verschieden/Lst, und zwar infolge
des von der Fehlstelle reflektierten oder absorbierten Lichtes.
Wenn das Material heiß ist, wie z.B. bei heißen Stahlplatten, können die Fehlstellen als dunklere oder hellere
Bereiche erscheinen, je nach der davon emittierten Strahlung.
Es wurde gefunden, daß ein unterschiedliches Aussehen bei Fehlstellen einerseits und der umgebenden Materialoberfläche
andererseits derart ist, daß die Fehlstellen in vielen Fällen allein durch Sichtkontrolle erfaßt und klassifiziert werden
können. Dies trifft besonders dann zu, wenn das Material sich mit relativ langsamer Geschwindigkeit bewegt, so daß
der Beobachter die Oberfläche im Hinblick auf Fehlstellen leicht kontrollieren kann. In manchen Fällen ist es nicht
erforderlich, daß der Beobachter sich direkt an der Kontrollstation befindet, weil eine Abbildung der Materialoberfläche
zu einer entfernten Stelle übertragen werden kann, wo ein Beobachter die Bedingungen einer oder mehrerer Kontrollstationen
überwacht. Ein solches Verfahren ist in der US-PS 3 176 306 beschrieben.
Bei höherer Geschwindigkeit des an der Kontrollstation vorbeilaufenden
Materials wird es jedoch immer schwieriger für einen Beobachter, Fehlstellen oder Mängel an der Oberfläche
des sich schnell bewegenden Materials optisch auszumachen. Daher wurden verschiedene Techniken zum automatischen Ermitteln
von Fehlstellen bei sich schnell bewegenden Materialschichten bzw. Flächen, Platten oder Folien entwickelt. Eine
solche automatische Kontrolltechnik ist z.B. in der US-PS 3 096 443 beschrieben.
Bei dieser Anordnung wird die Oberfläche der zu kontrollierenden Streifen, Bloche oder Platten von einer geeigneten
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Lichtquelle beleuchtet. Eine Vidicon-Bildwandlerröhre ist
so angeordnet, daß sie das Licht aus der Lichtquelle empfängt, das von der Oberfläche der Streifen oder Platten reflektiert
wird, derart, daß diese Oberfläche von der Vidicon-Bildwandlerröhre in einer Richtung im wesentlichen transversal zur
Bewegungsrichtung des Materials abgetastet wird. Die an der Oberfläche des Materials erscheinenden Fehlstellen haben
ein anderes Reflexionsvermögen und erscheinen daher dunkler
oder heller. Wenn das kontrollierte Material auf hohe Temperaturen erhitzt wird und daher Strahlung aussendet, erscheinen
Fehlstellen an seiner Oberfläche heller oder dunkler als der übrige Teil des Materials.In allen Fällen erzeugt die
Vidicon-Bildwandlerröhre ein Videosignal, das Impulse mit Pulsbreiten enthält, die proportional der Breite der an der
Oberfläche der Streifen oder Platten erscheinenden Fehlstellen sind. Diese Impulse und Informationen, welche die Geschwindigkeit
und die Abmessungen der Streifen oder Platten angeben, können danach verarbeitet werden, um Informationen
über Größe, Lage, Charakteristik oder Häufigkeit des Auftretens von Fehlstellen zu liefern.
Mit Vidicon-Bildwandlern ausgerüstete Oberflächen-Kontrollsysteme
haben sich zwar allgemein als geeignet zur Erfassung von Fehlstellen an der Oberfläche von bewegten Blechen oder
Platten erwiesen, dies jedoch mit bestimmten Einschränkungen. Neuere Sensortypen haben eine Anzahl von Vorteilen, die sie
gegenüber einer Vidicon-Bildwandlerröhre für die automatische Oberflächenkontrolle überlegen machen. Solche Sensoren sind
lineare Festkörper-Ladungsverschiebeeinrichtungen (z.B. ladungsgekoppelte Silizium-Gruppierungen, SiIiζium-Fotodiodenanordnungen)
. Solche Anordnungen oder Gruppierungen enthalten eine Reihe von kleinen einzelnen lichtempfindlichen Elementen
(Größe z.B. 25 χ 25 ym), die Seite an Seite angeordnet sind.
Auf diese Elemente erfolgt der Zugriff mit elektronischen
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Mitteln, zur Erzeugung einer seriellen Ausgangsspannungscharakteristik
des Lichtes, das auf jedes der Elemente ausgehend von einer bestimmten Stelle an der Oberfläche
fällt, die auf die Gruppierung oder Anordnung fokussiert wurde. Ein Beispiel für die Anwendung derartiger Gruppierungen
bei Fehlstellen-Detektionssystemen findet sich in der US-PS 3 877 821. Die Vorteile von solchen linearen Festkörper-Gruppierungen
im Vergleich zu Vidicon-Bildwandlern sind unter anderem: keine Bildverzögerung bei hoher Abtastfrequenz,
kein "Einbrennen" von Bildern bei hohen Lichtintensitäten, bessere Überstrahlungs- bzw. Fluoreszenzeigenschaften,
sehr genaue Positionsinformation bezüglich der Fehlstellenlokalisierung auf dem abgetasteten Gegenstand infolge
der festliegenden Geometrie der Fotosensoren, geringeres Systemrauschen und höheres Signal/Störgeräusch-Verhältnis
bei höheren Lichtpegeln, niedrigere Betriebsspannungen, längere Lebensdauer und eingebauter Taktgeber zum Synchronisieren
der weiteren Digitalverarbeitung der Fehlstelleninformation. Die Erfindung befaßt sich mit einem Verfahren
zur weiteren Verbesserung der charakteristischen Betriebswerte von selbsttätig abtastenden Gruppierungsfeld-Kameras
gegenüber Vidicon-Bildwandlern, und zwar durch Verbesserung der Empfindlichkeit gegenüber Fehlstellen in transversaler
Richtung zu der abgetasteten Zeile des Gruppierungsfeldes.
Im allgemeinen enthält die bei Vidicon-Bildwandlern verwendete Optik eine einfache Sammellinse, die beide Dimensionen
einer zweidimensionalen Bildebene gleich vergrößert. Diese
Eigenschaft ist zwar für Fernsehanwendungen erwünscht, z.B. wenn ein gleichmäßig verstärktes, unverzerrtes Bild gewünscht
wird; zur Anwendung bei der Ermittlung von Fehlstellen ist diese Eigenschaft jedoch unbrauchbar. Dies beruht
auf der Tatsache, daß gleiche Vergrößerung in beiden Richtungen bzw. Dimensionen der Bildebene die Empfindlichkeit
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einer Zeilen-Abtastkamera für kurze Fehlstellen begrenzt,
deren Abmessung eine geringe Länge in Richtung der Materialbewegung aufweist- Wenn also eine gegebene Materialbreite
kontrollierb werden soll, kann eine Kameralinse mit geeigneter
Vergrößerung für die gewünschte Brennweite so gewählt werden, daß gerade die Materialbreite auf das fotoempfindliche
Gruppierungsfeld fokussiert werden kann. Wenn diese Sichtfeldbreite einmal gewählt ist, ist die Länge des Sichtfeldes
festgelegt. Da die Befähigung zur Erfassung einer gegebenen Fehlstelle bestimmt wird durch den Prosentsatz des Sichtfeldes,
der von der Fehlstelle eingenommen wird, können Fehlstellen mit einer relativ kurzen Abmessung in Richtung der
Materialbewegung nicht erfaßt werden.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine automatische Fehlstellen-Detektorvorrichtung
zu schaffen, durch die diese Schwierigkeiten behoben werden, und zur Lösung wird insbesondere vorgeschlagen,
die Länge des Sichtfeldes von seiner Breite zu entkoppeln, indem ein anamorphes Optiksystem, z.B. eine oder
mehrere Zylinderlinsen, zwischen das sich bewegende Material und die Kameralinse eingefügt werden. Die zylindrische Linse
ist so orientiert, daß die Länge des Sichtfeldes vergrößert wird, ohne seine Breite zu beeinflussen. Das Bild der auf
die fotoempfindliche Feldgruppierung der Kamera fokussierten Fehlstelle nimmt also einen höheren Prozentsatz der fotoempfindlichen
Gruppierung ein, und zwar aufgrund der vergrößerten Länge der Fehlstelle. Auf diese Weise wird eine
verbesserte Empfindlichkeit für Fehlstellen erreicht, die eine relativ geringe Länge aufweisen, innerhalb der Grenzen,
die durch die jeweiligen Materialbreiten auferlegt sind.
Durch die Erfindung wird also eine automatische Fehlstellen-Detektor
vorrichtung zur Kontrolle und Erfassung von Fehlstellen an der Oberflächen von bewegten Materialschichten,
Blechen, Platten und dgl. geschaffen, wobei die Fehlstellen
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ein anderes Aussehen als der übrige Teil der Schichtoberfläche haben, mit einer Lichtquelle zur Beleuchtung eines
ausgewählten Teils der Schichtoberfläche, einer Einrichtung
zur Abtastung des ausgewählten Teils der Schichtoberfläche
transversal zur Bewegungsrichtung der Schicht, zur Erzeugung
eines Video-Ausgangssignals entsprechend der optischen Intensität
der abgetasteten Fläche, und mit einer Einrichtung 7.ur
Verarbeitung des Video-Ausgangssignals zu Informationen, welche die Art der optischen Intensität der abgetasteten Fläche
angeben, wobei diese Vorrichtung erfindungsgemäß gekennzeichnet
ist durch optische Einrichtungen zwischen der bewegten Materialschicht und der Abtasteinrichtung zur Steigerung der
Empfindlichkeit der Abtasteinrichtung in Richtung der Materialbewegung,
während die Empfindlichkeit der Abtasteinrichtung
in einer zur Materialbewegung transversalen Richtung praktisch unverändert bleibt.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist
eine Einrichtung vorgesehen, um eine lineare Lichtquelle mit einer Frequenz anzuregen, die deutlich höher ist als
die Abtastfrequenz der Abtasteinrichtung.
Gemäß einer v/eiteren bevorzugten Ausführungsform ist die Abtasteinrichtung gekennzeichnet durch eine Feldgruppierung
aus optisch empfindlichen Elementen, die Seite an Seite angeordnet
sind, wobei die Gesamtbreite der Feldgruppierung dem Sichtfeld der optischen Einrichtung transversal zur Materialbewegung
entspricht, wobei ferner die optisch empfindlichen Elemente sequentiell abgelesen werden, um eine serielle
Videoimpulsfolge zu erzeugen, die das Video-Ausgangssignal
enthält, und wobei jeder der Impulse dem Ausgangssignal eines einzelnen Elements entspricht.
Vorzugsweise enthält ferner die optische Einrichtung ein anamorphot; optisches System.
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Weitere Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen
anhand der Zeichnung. In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines bekannten Fehlstellen-Detektionssystems;
Ficf. 2 eine schematische Darstellung der Abbildungsanordnurig
eines bekannten Fehlstellen-Detektionssystems;
Fig. 3 eine schematische Darstellung der erfindungsgemäßen
Abbildungs anordnung;
Fig. 4 eine schematische Darstellung des erfindungsgemäßen
Fehlstellen-Detektionssystems mit einer einzelnen Zylinderlinse;
Fig. 5 eine schematische Darstellung der Abbildungsanordnung
bei dem in Fig. 4 gezeigten Fehlstellen-Detektionssystem;
Fig. 6 eine schematische Darstellung der Abbildungsanordnung
bei dem Fehlstellen-Detektionssystem nach Fig. 4, wobei jedoch zwei Zylinderlinsen verwendet werden;
und
Fig. 7 ein Blockdiagramm zur Erläuterung der Arbeitsweise bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Fehlstellen-Detektionssystems.
Fig. 1 zeigt schematisch ein übliches bekanntes automatisches Fehlstellen-Fehlstellendetektionssystem zum Analysieren von
Fehlstellen oder Mängeln in oder auf sich bewegenden Streifen, Blechen oder Platten S. Die Streifen oder Platten S, die
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irgendeine Breite oder Länge aufweisen können, werden durch Führungsrollen getragen und geführt, von denen eine mit R
bezeichnet ist, und zwar in der gezeigten Richtung, so daß die Streifen, Bleche bzw. Platten S unter der Kontrollstation
mit relativ konstanter Geschwindigkeit durchlaufen.
Bei einigen Anwendungen, v,·. die Streifen, Bleche oder Platten
S erhitzt sind, z.B. bei heißen Stahlplatten, sendet die Oberfläche des Materials Strahlung aus, wodurch die Fehlstellen
als dunklere oder hellere Bereiche in Erscheinung treten, je nach der jeweils ausgesandten Strahlung. In anderen Fällen
kann gemäß Fig. 1 eine äußere Lichtquelle L erforderlich sein, um die Oberfläche der sich bewegenden Streifen, Bleche oder
Platten S zu beleuchten. In vielen Fällen kann die Lichtquelle L, wie in der US-PS 3 096 443 beschrieben ist, eine lineare
Lichtquelle sein, z.B. eine Leuchtstofflampe o.dgl., die
einen schmalen Lichtstrahl auf die Materialoberflache wirft,
und zwar entlang einer Bahn,die sich im wesentlichen senkrecht
zur Bewegungsrichtung erstreckt. Zwischen der Lichtquelle L
und der Oberfläche des bewegten Materials können fokussierende Optikeinrichtungen vorgesehen sein, um das Licht weiter zu
konzentrieren und bündeln, so daß eine scharf begrenzte Beleuchtungsfläche
entsteht.
Einige Lichtstrahlen 1, die auf die Oberfläche der bewegten
Schicht (Streifen, Bloche oder Platten) S gerichtet sind,
werden von dem Material oder von Fehlstellen auf oder in dein Material absorbiert oder gestreut. Die übrigen Strahlen
1' werden in Richtung zu einer optisch empfindlichen Vorrichtung
V reflektiert, bei der es sich um eine Vidicon-Bildwandlerröhre
bzw. -Kamera handelt, die nach dem Stand der Technik üblich ist.
Dir- Vid icon-Kaniera V tastet die Oberfläche des sich bewegen-
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den Materials innerhalb eines Bereiches ab, der durch die Linsenparameter und die Abmessungen der Kameraröhre festgelegt
ist. Die an der Oberfläche des Materials erscheinenden Fehlstellen mit geringerem oder stärkerem Reflexionsvermögen
führen zu einem dunkleren oder holleren Aussehen, wodurch
die Vidicon-Kamera V ein Videosignal erzeugt, das Impulse mit Pulsbreiten enthält, die proportional zur Breite der an
der Oberfläche des Materials erscheinenden Fehlstellen sind. Diese Videoinformation kann gemeinsam mit anderen Informationen
über die; Geschwindigkeit und die Abmessungen der
Materialschicht in einem Prozessor P weiter verarbeitet werden, um eine Ausgabeinformation betreffend Größe, Lage,
Charakteristik oder Häufigkeit des Auftretens von Fehlstellen oder Mangeln zu liefern.
Das erfindungsgemäße Fehlstellen-Detektionssystem ist leistungsfähiger,
und zwar aufgrund der Verwendung einer fotoempfindlichen Feldgruppierung 2, die aus einer Anzahl getrennten
Fotodetektorelementen besteht, von denen in Fig. 3 eines gezeigt und mit 4 bezeichnet ist. Eine solche Anord-,
nung ist sehr verschieden von dem Aufbau einer Vidicon-Röhre, die einen einzigen fotoleitenden Schirm aufweist,
auf den der Zugriff durch einen abgelenkten Elektronenstrahl erfolgt. Die aktive Abtastfläche 2 in Fig» 3 enthält eine
Mehrzahl von einzelnen Lichtfühlerelementen 4, die Seite an Seite angeordnet sind und eine lichtempfindliche Matrix
bilden, wobei der Zugriff auf die einzelnen Elemente 4 derart erfolgt, daß eine serielle Ausgangssignalcharakteristik
für das Licht erzeugt wird, das auf die jeweiligen Elemente von einer bestimmten Stelle des bewegten Materials ausgehend
auftrifft. Dir Verwendung einer ähnlichen Feldgruppierung ist bereits in der US-PS 3 377 821 beschrieben. Eine solche
Anordnung ermöglicht genaue Fehlstellenbreitenmessungen,
indem einfach die Anzahl von Elementen 4 abgezählt wird,
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bei denen ein gegebener Schwellwert überschritten wird, und dann diese Zahl mit der tatsächlichen Raumauflösung
jedes Elements multipliziert wird. Durch Feststellung der
jeweiligen von der Fehlstelle überdeckten Elemente kann ferner eine genaue Bestimmung der Lage der Fehlstelle innerhalb
des Lichtfelilos erfolgen. Bei dem in Fig. 3 gezeigten
Beispiel überdeckt z.B. die Fehlstelle D Teile der Elemente a und b, wodurch angezeigt wird, daß die Fehlstelle etwa in
der Mitte der Materdalschicht S aufgetreten ist.
Die optisch empfindlichen Vorrichtungen, z.B. Vidicon-Kameras
oder Festkörper-Zellenabtastkameras, wie sie bisher in Fehlstellen-Detektions-
und Kontrollsystemen verwendet wurden,
enthalten eine Optik mit einer oder mehreren Linsen, die beide Dimensionen einer zweidimensionalen Bildebene gleichmäßg
vergrößern, wie die herkömmliche Optikanordnung gemäß Fig. 2 zeigt. Bei einer solchen Anordnung wird es im allgemeinen
bevorzugt, eine einfache Sammellinse 1 der Kamera V in einem vorbestimmten Abstand von der Oberfläche der
Schicht S anzuordnen, so daß die von der Materialoberfläche reflektierten Lichtstrahlen 1· exakt die aktive Abtastfläche
2 der Kamera V ausfüllen. Die Lage der Linse 1 in bezug auf die Materialschicht S und den aktiven Abtastbereich 2 hängt
von dem gewünschten Sichtfeld und von der Brennweite der
Linse ab. Bei Fehlstellen-Detektions- und -Kontrollanwendungen wird die mit (FV) bezeichnete Sichtfeldbreite im
allgemeinen so gewählt, daß sie die gesamte Breite der Materialschicht S überdeckt, während die Sichtfeldlänge, die
gewöhnlich mit (FV)1 bezeichnet wird, im allgemeinen so gewählt
wird, daß eine Länge der sich bewegenden Materialschicht S überdeckt wird, die der Länge der kleinsten Fehlstelle entspricht,
die das System auflösen kann. Um eine optimale Empfindlichkeit zu gewährleisten, muß dieses Sichtfeld
(E1V) χ (FV)1 den aktiven Abtastbereich 2 genau ausfüllen,
nachdem es durch dio Gammellinse 1 fokussiert wurde. Der
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aktive Abtastbereich 2 ist im allgemeinen rechtwinkelig und hat eine Breite (AW), die rechtwinkelig zur Bewegungsrichtung
der Bleche oder Platten ausgerichtet ist, und eine Länge (AL), die in Richtung dieser Bewegung ausgerichtet ist.
Die Vergrößerung einer Sammellinse 1 steht bekanntlich mit dem Sichtfeld und dem aktiven Abtastbereich über folgende
Gesetzmäßigkeit in Beziehung:
M = (AL)Z(FV)1 = (AW)/(FV)w.
Die Vergrößerung ist also die maximale Bildlänge bzw. Länge des Abtastelementes (AL) dividiert durch die maximale Objektlange,
die auf diese Feldgruppierung (FV)1 gerade noch fokussiert werden kann. Da die Kameralinse 1 eine zweidimensionale
Vergrößerungseinrichtung ist, ist diese selbe Vergrößerung M auch gleich der maximalen Bildbreite bzw. Breite
des Abtastelements (AW) dividiert durch die maximale Objektbreite, die auf die Feldgruppierung fokussiert ist bzw. entsprechende
maximale Sichtfeldbreite, die auf diese Feldgruppierung (FV) gerade noch fokussiert werden kann. Ein
rechtwinkeliges Feld ergibt also ein rechtwinkeliges Sichtfeld, da die Feldabmessungen so aufgefaßt werden können, als
würden sie durch die Kameralinse nach rückwärts auf das Objekt proj iziert.
Wie diese Beziehungen zeigen, bestimmen die Brennweite der Kameralinse und der Objektabstand die von der Gruppierung
abgetasteten Sichtfeldabmessungen, sobald eine Gruppierung mit festen Abmessungen gewählt ist. Die Linsenvergrößerung
wird durch die Breite des abzutastenden Materials bestimmt. Der Abstand zwischen Linse und Objekt wird dann so eingestellt,
daß die Breite des Gruppierungsfeldes diese Objektabmessung für die jeweilige Linsenbrennweite genau ausfüllt.
Da die Länge (FV)1 des Sichtfeldes durch die Wahl der Breite
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(FV) des Sichtfeldes bestimmt ist, kann eine Fehlstelle,
deren Länge äquivalent einem kleinen Prozentsatz der Sichtfeldlänge ist, nicht erfaßt werden, da sich die von dem
Segment des Sichtfeldes, das von dieser Fehlstelle belegt wird, reflektierte Lichtintensität nicht genügend von dem
Licht unterscheiden kann, das von den angrenzenden, fehlerfreien Segmenten des sich bewegenden Materials reflektiert
wird.
Durch die Erfindung wird eine beträchtliche Verbesserung
der Empfindlichkeit bzw. Signal/Störsignal-Verhältnisses
gegenüber den bekannten automatischen Kontroll- bzw. Fehlerdetr^tionssystemen
erreicht, indem die Sichtfeldlänge von seiner Breite entkoppelt wird, was dadurch erzielt wird,
daß ein anamorphes optisches System zwischen das sich bewegende Material und die Kameralinse eingefügt wird, wie in
Fig. 4 gezeigt ist. Bei der in Fig. 4 gezeigten bevorzugten Ausführungsform ist eine Zylinderlinse 3 so angeordnet, daß
sie die von der Oberfläche der bewegten Streifen, Bleche oder Platten S reflektierten Lichtstrahlen 1' auffängt,
und sie ist so orientiert, daß sie die Sichtfeldlänge vergrößert, die Sichtfeldbreite jedoch nicht beeinflußt. Das
auf die fotoempfindliche Anordnung 2 fokussierte Fehlstellenbild
überdeckt also einen höheren Prozentsatz des fotoempfindlichen
Gruppierungsfeldes aufgrund der vergrößerten Länge der Fehlstelle. Auf diese Wei:;e kann eine? höhere
Emj}£indlichkeit für Fehlstellen erreicht werden, die eine
relativ kleine Länge aufweisen, innerhalb der Grenzen, die durch die jeweiligen Materialbreiten auferlegt werden. Das
hier beschriebene Ausf ührungsbe ispiel des erf indungf;gemäßen
automatischen Kontroll- und Fehl:;tellen-Detektion.ssystems
enthält als anamorphes Optiksystem eine Zylinderlinse; es können jedoch anamorphe Optiknysteme mit Prismen und dgl.
Anwendung finden. Die Linse 3 kann eine einzelne konvexe
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Zylinderlinse sein gemäß der dargestellten Ausführungsform, sie kann jedoch auch andere Gestalt aufweisen, z.B.
bikonvex usw.
In einigen Fällen zeigt es sich, daß die gewählte Zylinderlinse 3 eine zu kurze Brennweite aufweist, wodurch es erforderlich
ist/ daß sie in der Nähe der sich bewegenden Streifen, Bleche oder Platten S angeordnet wird, was bei
einigen Anwendungen unerwünscht sein kann. In solchen Fällen ist die Anordnung gemäß Fig. 6 günstig, bei welcher eine
zweite Zylinderlinse 5 zwischen der Zylinderlinse 3 und einer einfachen Sammellinse 1 angeordnet ist, um ein einfaches
galileisches Teleskop zu bilden. Das von der ersten Zylinderlinse 3 erzeugte reale Bild \.j.rd im allgemeinen in
den Hauptbrennpunkt der zweiten Linse 5 gelegt, so daß ein vergrößertes virtuelles Bild erzeugt wird, das von der
Sammellinse 1 fokussiert wird. Die Vergrößerung des Systems ist also gleich derjenigen der Sammellinse 1 in einer Richtung
senkrechte zur Bewegungsrichtung der Materialschicht S, während die Vergrößerung parallel zur Bewegungsrichtung
gleich dem Produkt aus der Vergrößerung des Zylinderlinsen-Teleskops und der Sammellinse 1 ist. Die Zylinderlinsen 3
und 5 können also in größerem Abstand von dem sich bewegenden Material angeordnet werden, wobei dieselbe Vergrößerung
in Richtung der Länge von Fehlstellen an der Materialoberfläche beibehalten wird, um ein gutes Signal/Störsignal-Verhältnis
zu erzielen. Die Vergrößerung des aus den Zylinderlinsen 3 und 5 gebildeten Teleskops ist so gewählt, daß
die kürzesten noch interessierenden Fehlstellen ausreichend vergrößert werden, um die Länge eines oder mehrerer Elemente
4 innerhalb des Gruppierungsfeldes 2 vollständig auszufüllen. Die Länge der Zylinderlinsen 3 und 5 wird im allgemeinen
durch die Breite der zu kontrollierenden Streifen oder Platten S bestimmt, ebenso wie die Abstände der Zylinderlinsen
von dienen Streifen oder Platten.
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Fig. 7 zeigt ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel des allgemein
mit 10 bezeichneten automatischen Kontroll- und Fehlstellen-Detektionssystems,
bei denen die Eigenschaften des beschriebenen Zylinderlinsensystems ausgenutzt werden.
Die Beleuchtung der Materialschicht S erfolgt durch die
Lichtquelle L, bei der es sich um ei.no lineare Lichtquelle
handeln kann, z.B. eine Leuchtstofflampe o.dgl., die einen
schmalen Lichtstrahl auf die Materialschichtoberfläche S entlang einer Bahn wirft, die sich im wesentlichen senkrecht
zur Bewegungsrichtung erstreckt. Um ein Flimmern des Lichtsignals aus der Lampe L zu verhindern, kann diese mit relativ
hoher Frequenz angesteuert werden, z.B. 40 kHz, und zwar mittels eines Leistungsoszillators 11. Für sehr hohe Abtastfrequenzen
kann auch eine Hochintensitätslichtquelle mit konstanter Ausgangsleistung verwendet werden, z.B. eine
Wolfram-Glühfadenlampe. Die von der Lichtquelle L erzeugten
Lichtstrahlen 1 können auf der Oberfläche der bewegten Materialschicht S durch eine Zylinderlinse 12 oder eine andere
geeignete Optik weiter konzentriert bzw. gesammelt werden.
Die Materialschicht S (Streifen, Bleche, Platten o.dgl.) ist auf Führungsrollen R gelagert und wird von diesen in der
gezeigten Richtung geführt, so daß sie unter der Kontrollstation mit relativ konstanter Geschwindigkeit durchläuft.
Ein Tachometer bzw. Wellenkodierer 13 kann an einer der Führungsrollen R angeordnet sein, um ein zur Geschwindigkeit
der Materialschicht S proportionales Ausgangssignal zu erzeugen. Diese Information wird, wie später im einzelnen erläutert
wird, dazu verwendet, die Lage einer an der Materialoberfläche auftretenden Fehlstelle in Längsrichtung zu
bestimmen.
Die von der Oberfläche der sich bewegenden Materialschicht
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reflektierten Lichtstrahlen 1' werden durch ein Teleskop
aus den Zylinderlinsen 3 und 5 geführt und gelangen von dort zu der Objektiv-Sammellinse 1 der Kamera V, wie zuvor
beschrieben wurde. Bei einer bevorzugten Ausführungsform ist die Kamera V eine solche, die ein Abtastelement aus einer
Mehrzahl von getrennten, aneinander angrenzenden Fotodetektorelementen enthält, die seriell abgetastet werden, um ein
Video-Ausgangesignal zu erzeugen, das sich ansprechend auf
das von der Oberfläche der bewegten Materialschicht S reflektierte Licht ändert, wenn diese Oberfläche von der Kamera
V entlang einer zur Bewegungsrichtung senkrechten Linie abgetastet wird. Fehlstellen mit höherem Reflexionsvermögen
als die umgebenden Bereiche des Materials verursachen also positiv gerichtete Impulse, deren Pulsbreite proportional
der Breite der gemessenen Fehlstelle ist, gemessen senkrecht zur Bewegungsrichtung des Materials. Umgekehrt erzeugen
Fehlstellen mit geringerem Reflexionsvermögen als die umgebenden Bereiche negativ gerichtete Impulse, die ebenfalls
Pulsbreiten aufweisen, welche der Fehlstellenbreite entsprechen, und zwar ebenfalls senkrecht zur Bewegungsrichtung
des Materials gemessen. Da durch das beschriebene Zylinderlinsensystem das Bild der Fehlstelle parallel zur Bewegungs richtung
des Materials gestreckt wird, kann eine Fehlstelle von der Kamera V mehrere Male abgetastet werden. Die gemäß
der Erfindung vorgeschlagene neuartige, zwischen dem sich bewegenden Material und der optisch empfindlichen Vorrichtung
bzw. Kamera V angeordnete Optikeinrichtung erhöht also die Empfindlichkeit der Vorrichtung in Richtung der Materialbewegung.
Die Kamera V kann ferner Taktsignale erzeugen, die jedes fotoempfindliche Element 4 in dem Abtastfeld seriell abfragen,
um das Videosignal zu erzeugen, welches die auf das jeweilige Element 4 auftroffende Lichtintensität wiedergibt. Die Kamera
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V erzeugt ferner Freigabesignale, die anzeigen, wenn der Zugriff zu den Fotodioden bzw. Elementen erfolgt.
Das von der Kamera V erzeugte Video-Ausgangssignal durchläuft
ein Störschutzfilter 14, das die Hochfrequenz-Taktsignalkomponenten
aus dem Videosignal entfernt. Das gefilterte Videosignal wird gemeinsam mit dem Taktsignal einer schnellen Abtast-
und Halteschaltung 15 als Eingangssignal zugeführt, die ebenfalls eine Unterdrückung des störenden Taktsignals
bewirkt, indem die Amplitude jedes Videoimpulses auf einem Pegel festgelegt wird, der der relativ konstanten Amplitude
des Impulses folgt, der auf den unstabilen Vorderflanken-Impulsübergang
folgt.
Eine Null-Linien-Extraktionsschaltung 16 eliminiert Signale, die auf Hintergrundenergie beruhen, um die Systemempfindlichkeit
über die gesamte Materialbreite gleichmäßig zu machen.
Diese Eigenschaft ist besonders bei solch· η Anwendungen wichtig,
wo das Reflexionsvermögen über die Materialbreite hinweg
unterschiedlich sein kann, z.B. wenn Lichtflecken auf der Materialoberfläche vorhanden sind. Bei einer bevorzugten
Ausführungsform siebt die Null-Linien-Extraktionsschaltung
das Videosignal aus, um das sich mit niedrigerer Frequenz verändernde flintergrundsignal zu entfernen. Ein konstantes,
festes oder von einem berechneten Mittelwert abhängiges Hintergrundsignal wird von dem Videosignal subtrahiert. Diese
Signalverarbeitung ist an sich bekannt und wird daher nicht
weiter erläutert.
Eine Flankrn-Detektorschaltung 17 vergleicht einen festen Spannungspegel mit dem verarbeiteten Videosignal, um ein
digitales Ausgangesignal zu erzeugen, dessen Breite der
Breite dos abgetasteten Materials entspricht. Ein Ausgangsimpuls
wird also von der Flanken-Detektorschaltung 17 immer
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dann erzeugt, wenn das verarbeitete Videosignal den voreingestellten
Schwellwert überschreitet. Die Gesamtmaterialbreite-Ermittlungsschaltung
18 zählt die Anzahl von Taktimpulsen, die während des Ausgangssignals der Flanken-Detektorschaltung
17 auftreten, um einen relativen Meßwert für die Breite des untersuchten Materials zu liefern.
Die verarbeiteten Videosignale aus der Null-Linien-Extraktionsschaltung
und der Flanken-Detektorschaltung werden von einem Negativdiskriminator 19 verarbeitet, der digitale Ausgangsimpulse
erzeugt, deren Breite der Breite der negativ gerichteten Videoimpulse entspricht, welche geringeren Lichtintensitäten
des an der Oberfläche der bewegten Materialschicht S reflektierten Lichtes entsprechen. Eine gleiche
Positiv-Diskriminatorschaltung 20 erzeugt digitale Ausgangsimpulse,
deren Pulsbreiten den positiv gerichteten Videosignalen entsprechen» Die entstehenden Ausgangssignale des
Negativ-Diskriminators 19 werden durch eine Verarbeitungsschaltung 21 verarbeitet,- die einen Längendetektor 22, Pulsbreitendetektor
23 und einen Detektor 24 für periodische Fehlstellen enthält. Die gleiche Verarbeitung wird in einer
Verarbeitungseinrichtung 26 durchgeführt,, und zwar bei den
Ausgangssignalen der Positiv-Diskriminatorschaltung 20.
Bei der in Fig« 7 gezeigten bevorzugten Ausführungsform
verwertet der Längendetektor 22 die Positionsinformation aus dem Wellenkodierer 13 für jede Fehlstelle, so daß die
Fehlstellen nach ihren Längen eingeteilt werden können. Der Pulsbreitendetektor 23 klassifiziert die erfaßten Fehlstellen
unter Ausnutzung der Pulsbreite als Kriterium, indem die Anzahl von Videoelementen berücksichtigt wird, die
von der jeweiligen Fehlstelle überdeckt werden. Der Detektor 24 für periodische Fehlstellen klassifi"iert die Fehlstellen,
die durch periodische Störungen verursacht werden, z.B. durch
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periodische Glättungsstellen, Löcher, Kerben, Schlagstellen
usw. Die vorstehend beschriebene Verarbeitung und die Verarbeitungseinrichtungen
zur Klassifizierung sind an sich bekannt und werden daher nicht weiter erläutert.
Die sich ergebenden Ausgangssignale der Schaltung 18 für die Gesamtmaterialbreite des Prozessors 21 und des Prozessors
26 werden gemeinsam mit den Takt- und Freigabesignalen einem
Rechner 29 zugeführt, die die Information in eine Tabelle umsetzt, aus der das Auftreten von Fehlstellen, die Verteilung
und ihre Lage hervorgehen. Der Rechner 29 kann z.B. das Verhältnis der Oberfläche der Materialschicht zu der Gesamtoberfläche
der Fehlstellen berechnen. Es kann auch die jeweilige Lage jeder Fehlstelle aufgezeichnet werden, und ein Drucker
30 kann das Auftreten dieser Fehlstellen oder die Fehlstellen-Lage information aufzeichnen, um das Bedienungspersonal durch
ein Alarmsignal zu informieren, daß eine Fehlstelle aufgetreten ist; die Information kann auch dazu verwendet werden,
eine (nicht dargestellte) periphere Fehlstellen-Behandlungsvorrichtung automatisch zu steuern, z.B. Anschrägmaschinen
usw. Die von dem Rechner 29 zu einer Tabelle zusammengefaßten
Daten können auch zur Steuerung eines auf höherer Ebene liegenden Rechners verwendet werden, der den Betrieb einer Mehrzahl
von Fehlstellen-Detektionssystemen überwacht.
030041/0843
Claims (8)
1. Automatische Fehlstellen-Detektorvorrichtung zur Kontrolle
bzw. Feststellung von Fehlstellen auf der Oberfläche (S) einer sich bewegenden Materialschicht, wobei diese Fehlstellen
ein von der übrigen Oberfläche verschiedenes Aussehen aufweisen, mit einer Lichtquelle (L) zur Beleuchtung
eines ausgewählten Teils der Schichtoberfläche, einer Einrichtung (V) zum Abtasten des ausgewählten Teils
der Schichtoberfläche in einer Richtung transversal zur
Bewegung der Schicht, zur Erzeugung eines Video-Ausgangssignals, das der optischen Intensität der abgetasteten
Fläche entspricht, und einer Einrichtung (P) zur Verarbeitung des Video-Ausgangssignals in eine Information, welche
die Art der optischen Intensität des abgetasteten Bereichs anzeigt, gekennzeichnet durch eine zwischen der sich bewegenden
Materialschicht und der Abtasteinrichtung angeordnete optische Einrichtung (3, 5) zur Steigerung der
Empfindlichkeit der Abtasteinrichtung in Richtung der
030041/0843
Materialbewegung, während die Empfindlichkeit der Abtasteinrichtung
in einer zur Materialbewegung transversalen Richtung praktisch unverändert bleibt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtquelle eine lineare Lichtquelle (1) enthält.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (11) zur Erregung der linearen Lichtquelle
auf einer Frequenz, die beträchtlich höher als die Abtastfrequenz der Abtasteinrichtung ist.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtasteinrichtung eine Gruppierung (2) aus optisch
empfindlichen Elementen (4) enthält, die Seite an Seite angeordnet sind, wobei die gesamte Breite der Gruppierung
dem Sichtfeld der optischen Einrichtung in einer zur Bewegungsrichtung transversalen Richtung entspricht, daß
sequentiell zu diesen Elementen Zugriff erfolgt, um eine serielle Folge von Videoimpulsen zu erzeugen, die das
Video-Ausgangssignal enthalten, und daß jeder dieser Impulse dem Ausgangesignal eines einzelnen Elementes
entspricht.
5. Vorrichtung nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einrichtung (3, 5)
ein anamorphes optisches System enthält.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die optische Einrichtung eine Zylinderlinse (3) enthält,
deren Sichtfeldlänge der Breite der Materialschicht entspricht.
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7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Zylinderlinse eine bikonvexe Linse ist.
8. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß die optische Einrichtung eine zweite Zylinderlinse
(5) enthält, die zwischen der Materialschicht und der ersten Zylinderlinse angeordnet ist, wobei diese Linsen
ein galileisches Teleskop bilden.
030041/0843
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Legal Events
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---|---|---|---|
OAP | Request for examination filed | ||
OD | Request for examination | ||
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