DE3842675A1 - Photokopf-system zur positionierung eines aperturrads und verfahren zur herstellung einer aperturscheibe - Google Patents

Description

Die vorliegende Anmeldung bezieht sich auf die eben­ falls eingereichte Anmeldung Aktenzeichen 153,810, eingereicht am 8. Februar 1988, mit dem Titel "High Resonance Drive Table and Method of Making a Planar Work Surface", und auf die Anmeldung Aktenzeichen 158,338, eingereicht am 22. Februar 1988, mit dem Titel "Lamp Driver Scheme".

Diese Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum selektiven Anzeigen eines Aperturrads entlang am Umfang angeordneten Punkten, und insbesondere betrifft sie eine Vorrichtung, die präzise am Aperturrad ausge­ bildete Öffnungen in Ausrichtung mit einem Lichtbündel oder ähnlicher Strahlungsenergie positioniert, um durch Photobelichtung diverse Bilder auf einer photoempfind­ lichen Fläche zu erzeugen.

Beim Bilden von graphischen Informationen auf einer photoempfindlichen Fläche kann die auf die Fläche ge­ schriebene Linienbreite entsprechend dem Muster der Informationen durch selektives Positionieren von Öffnungen unterschiedlicher Größe in Deckung mit dem Lichtbündel zur Erzeugung eines einzelnen Lichtpunkts oder -flecks auf der photoempfindlichen Fläche variiert werden. Eine Linie wird auf der photoempfindlichen Fläche durch die relative Bewegung des Lichtflecks zur photoempfindlichen Fläche erzeugt. Beim Bilden diverser detaillierter graphischer Informationen, wie z.B. Mas­ ken mit präzisen darauf ausgebildeten Schaltkreisen, muß ein Photokopf schnell und genau aufeinanderfolgende Auswahlen von Öffnungen unterschiedlicher Größe und/oder Form bewirken. Da die Bewegung des Photokopfs relativ zur photoempfindlichen Fläche nicht stattfinden kann, bevor die Auswahl der geeigneten Öffnung abge­ schlossen ist, ergeben sich erhebliche Zeiteinspa­ rungen, wenn die ausgewählten Öffnungen schnell ange­ zeigt werden.

Im US-Patent 33 30 182, ausgegeben am 11. Juli 1967, wird ein Aperturrad zum selektiven Positionieren von Öffnungen unterschiedlicher Größe und/oder Form in Deckung mit einem Bilder auf einer photoempfindlichen Fläche belichtenden Lichtbündel verwendet. Eine mecha­ nische Klaue schwenkt in und außer Eingriff mit am Um­ fang angeordneten Stiften, um das Aperturrad zwangs­ läufig an einer ausgewählten Winkelstellung zu verrie­ geln. Die beim selektiven Positionieren einzelner Öffnungen erzielte Genauigkeit hängt von den Toleranzen zwischen den zusammenwirkenden Oberflächen von Klaue und Stift ab. Bei fortgesetztem Gebrauch ist es einseh­ bar, daß diese Genauigkeit mit dem fortschreitenden Verschleiß, der den ständigen Gebrauch begleitet, ab­ nimmt. Hinzu kommt, daß das Aperturrad nach diesem Patent nicht in die nächste gewünschte Position drehen kann, bevor die Klaue außer Eingriff mit dem jeweiligen Stift schwenkt. In gleicher Weise kann die Projizier­ vorrichtung nicht mit ihrer Bahn beginnen, bevor die Klaue zurück in Eingriff mit dem neu ausgerichteten Stift schwenkt. Somit ist die für das Schwenken der Klaue in und außer Eingriff mit den jeweiligen Stiften benötigte Zeit von Bedeutung, wenn aufeinanderfolgende Anzeigevorgänge bei der Bildung komplexer graphischer Informationen durchgeführt werden.

Es ist allgemein wünschenswert, einen Photokopf mit maximaler Geschwindigkeit in einem Koordinatenantriebs­ system zu bewegen, um schnell graphische Informationen auf der photoempfindlichen Fläche zu belichten. Das Ge­ wicht des Photokopfs sollte daher minimal sein, um die Trägheitskräfte, die entstehen, wenn der Photokopf schnell bewegt wird und dann vom Koordinatenantrieb angehalten wird, zu reduzieren. Somit erhöhen mecha­ nische Anzeigesysteme das Gewicht des Photokopfs und begrenzen in unerwünschter Weise die maximale, steuer­ bare Geschwindigkeit des Koordinatenantriebs, da das erhöhte Gewicht eine zusätzliche Trägheitskraft be­ wirkt, die durch eine Reduzierung der maximalen Geschwindigkeit ausgeglichen werden muß.

Entsprechend ist es ein allgemeines Ziel der Erfindung, ein verbessertes Anzeigemittel zur selektiven Positio­ nierung eines Aperturrads in einem Photokopf zu schaffen. Insbesondere ist es ein Ziel der vorliegenden Erfindung, ein Anzeigesystem für einen Photokopf mit einem elektronischen Sensor- und Steuermittel zu schaffen, um präzise und schnell ein in einem Photokopf angeordnetes Aperturrad an selektiv positionierten Positionen anzuzeigen.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, einen leichten Photokopf mit einem elektronischen Sensor- und Steuer­ mittel zu schaffen, um ein Aperturrad von geringem Ge­ wicht anzuzeigen und somit das bei der Verwendung von mechanischen Anzeigeelementen erzeugte zusätzliche Ge­ wicht zu vermeiden.

Noch ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, eine Vorrichtung der obenerwähnten allgemeinen Art zu schaf­ fen, bei der das Aperturrad schnell zu einer ausgewähl­ ten Position durch Drehen des Aperturrads in der günstigeren der beiden Drehrichtungen gedreht wird.

Noch ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, einen Photokopf mit einem Anzeigesystem zu schaffen, das ein Steuermittel zur Drehung des Aperturrads mit einer ersten Geschwindigkeit, bis die ausgewählte Öffnung in die Nachbarschaft des Lichtbündels gelangt, und dann zur Drehung des Aperturrads mit einer zweiten, langsameren Geschwindigkeit, bis die ausgewählte Öffnung in genauer Deckung mit dem Lichtbündel ist, aufweist.

Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, eine preisgün­ stige, leichte Aperturscheibe mit integrierten, ent­ sprechend den Öffnungen ausgerichteten Anzeigeelementen zu schaffen.

Die vorliegende Erfindung beruht in einem Anzeige-Aper­ tursystem mit einem elektronischen Sensor- und Steuer­ mittel zur selektiven Positionierung eines Aperturteils relativ zu einem Lichtbündel. Die Vorrichtung weist einen eine Bündelachse definierenden Rahmen, eine an einem Ende der Bündelachse angeordnete, Strahlungs­ energie emittierende Quelle und ein koinzident mit der Bündelachse zur Bildung eines Lichtbündels von der Strahlungsquelle angeordnetes Bündel-Abbildungsmittel auf. Das Aperturteil wird drehbar am Rahmen in einer zur Bündelachse orthogonalen Ebene gelagert. Am Aper­ turteil sind zwei radial in Abstand angeordnete Kurven­ bahnen definierende Lichtöffnungen vorgesehen. Die erste Bahn besteht aus Öffnungen unterschiedlicher Größe und/oder Form, und die zweite Bahn besteht aus einer Vielzahl von Anzeigeelementen. Das Aperturteil ist drehbar gelagert, um die erste Bahn in Deckung mit der vom Bündel-Abbildungssystem gebildeten Bündelachse zu positionieren. Antriebsmittel sind am Rahmen gela­ gert und wirken mit dem Aperturteil zusammen, um selek­ tiv das Aperturteil zur Positionierung einer ausgewähl­ ten Öffnung unterschiedlicher Größe und/oder Form in Ausrichtung mit der Bündelachse zu drehen. Ein Initialisiermittel zur Referenzbildung bei einem gege­ benen Anzeigeelement als Anfangspunkt ist ebenfalls vorgesehen. Die Bewegung der Anzeigeelemente wird von einem am Rahmen angebrachten und in Ausrichtung mit der zweiten Kurvenbahn angeordneten Sensor erfaßt, um ein Signal entsprechend der Bewegung eines Anzeigeelementes am Sensor vorbei zu erzeugen. Steuermittel sind mit dem Sensor und den Antriebsmitteln verbunden, um die vom Sensor erzeugten Signale zu empfangen und um aus den Signalen die Position des Aperturteils relativ zum gegebenen initialisierten Anzeigeelement festzustellen und um die Antriebsmittel anzuweisen, das Aperturteil zur selektiven Positionierung einer anderen der Öffnungen unterschiedlicher Größe in genaue Ausrichtung mit der Bündelachse zu drehen.

Das Aperturteil der vorliegenden Erfindung verwendet eine aus einer dünnen, ebenen Materialscheibe gebildete Aperturscheibe und wird nach einem Verfahren herge­ stellt, das Dünnfilm-Belichtungstechnik verwendet. Zu­ nächst werden die Öffnungen unterschiedlicher Größe und die Anzeigeelemente auf einen photoempfindlichen Film durch ein Lichtbündel gezeichnet, und dann wird der Film zur Bildung einer Vorlage belichtet und wird daraufhin zum Abdrucken von Kopien der Aperturscheibe verwendet.

Fig. 1 ist eine perspektivische Ansicht eines Koordi­ natensteuersystems mit dem Photokopf nach der vorlie­ genden Erfindung.

Fig. 2 ist eine Schnittansicht des Photokopfs entlang der Linie 2-2 in Fig. 3.

Fig. 3 ist eine Draufsicht des Photokopfs entlang der Linie 3-3 in Fig. 2.

Fig. 4 ist entlang der Linie 3-3 in Fig. 2 genommen, zeigt jedoch eine andere Ausführungsform des Apertur­ teils nach der Erfindung.

Fig. 5 ist ein Blockdiagramm und stellt das in der vorliegenden Erfindung verwendete Steuermittel zur Er­ zielung einer Zwei-Geschwindigkeits-Anzeige des Aper­ turteils dar.

Fig. 6 ist ein Blockdiagramm des in der vorliegenden Erfindung verwendeten Steuermittels und zeigt in grö­ ßerem Detail die im Zusammenwirken mit den Antriebsmit­ teln verwendete CPU-Logik.

Fig. 1 zeigt einen in einem Koordinatenantriebssystem verwendeten Photokopf nach der vorliegenden Erfindung. Der Photokopf 8 wird am Rahmen 20 gelagert und bewegt sich entlang einer ersten Koordinatenrichtung auf einem von der Brücke 34 gleitend getragenen Werkzeugschlitten vor und zurück. Das photoempfindliche Werkstück F wird auf einem beweglichen Arbeitstisch gelagert, der sich in einer zweiten Koordinatenrichtung orthogonal zur ersten Koordinatenrichtung vor- und zurückbewegt. Ein Lichtbündel wird vom Photokopf 8 zur selektiven Belich­ tung eines Musters auf dem Werkstück F emittiert. Prä­ zise relative Bewegungen zwischen dem Photokopf und dem Arbeitstisch belichten auf der photoempfindlichen Fläche F präzise graphische Informationen, die z.B. für die Bildung von miniaturisierten Schaltkreismustern verwendet werden.

Ein Bündel-Abbildungsmittel, wie in Fig. 2 gezeigt, er­ zeugt einen scharf fokussierten Lichtpunkt auf dem photoempfindlichen Werkstück F. Eine teilweise von einem Reflektor, der ansonsten divergierendes Licht zum photoempfindlichen Werkstück F reflektiert, abgedeckte Glühlampe 6 stellt ein Strahlungsenergie emittierendes Mittel dar. Strahlungsenergie wird von einer Sammel­ linse 2 in ein erstes Bündel und von einer Objektiv­ linse 4 in ein zweites, reduziertes Bündel fokussiert. Zu einer genaueren Beschreibung des Verhaltens der Sammellinse 2 und der Objektivlinse 4 wird auf das US-Patent 33 30 182 verwiesen. Es sollte deutlich werden, daß die Lampe 6 und die Linsen 2 und 4 in einer vertikalen Bündelachse 14 ausgerichtet sind, unter­ brochen von allgemein mit 10 bezeichneten Öffnungen. Die Bündelachse 14 ist im wesentlichen parallel zu einer Drehachse 12 des Aperturteils. Das Aperturteil oder Aperturrad 10 ist eine Baugruppe von Elementen, die drehbar an einem Rahmen 22 gelagert sind und für die Lampe 6 eine im wesentlichen undurchsichtige Ober­ fläche darstellen. Öffnungen 36 mit diversen Größen sind im Abstand voneinander angeordnet und sind konzen­ trisch mit der Drehachse 12 positioniert und sind mit der Bündelachse 14 ausgerichtet. Beim Drehen in Deckung mit der Bündelachse 14 erlaubt jede der Öffnungen 36 selektiv den Durchgang von unterschiedlichen Licht­ mengen durch das Aperturrad 10. Da die Öffnungen 36 Durchmesser aufweisen, die in der Größe entlang einer Kurvenbahn variieren, variiert die selektive Drehposi­ tionierung des Aperturrads 10 relativ zur Bündelachse 14 die Größe und/oder Form des auf das photoempfind­ liche Werkstück F fokussierten Lichtflecks.

Somit werden gemäß der Erfindung die Öffnungen 36 selektiv durch elektronische Steuermittel in genaue Ausrichtung mit der Bündelachse 14 gedreht. Ein Schrittmotor 16 wird am Rahmen 22 gelagert und weist einen mit einem kreisförmigen Zahnrad 25 zusammenwir­ kenden Ritzel 18 auf, um das Aperturrad 10 entweder im Uhrzeigersinn oder gegen den Uhrzeigersinn zu drehen. Das Aperturrad 10 weist eine leichte Trägerplatte 26, die am Zahnrad 25 befestigt ist, sowie eine von der Trägerplatte 26 getragene Aperturscheibe 28 auf. Die Aperturscheibe 28 ist ein im wesentlichen undurchsich­ tiges Element mit darin ausgebildeten Öffnungen unter­ schiedlicher Größe, die den selektiven Durchgang von Licht durch die undurchsichtige Oberfläche der Aperturscheibe 28 erlauben. Eine transparente Deck­ platte 30 liegt darauf und hilft, die Aperturscheibe 28 in Eingriff mit der Trägerplatte 26 zu halten. Ein vertikal herabhängender Stift 32 ist innerhalb der Trägerplatte 26 befestigt und wird in entsprechenden Öffnungen in der Aperturscheibe 28 und in der Deck­ platte 30 aufgenommen, um die zwangsläufige Übertragung der Drehung von der Trägerplatte 26 auf die Aperturscheibe 28 sicherzustellen. Hieraus sollte man verstehen können, daß die Trägerplatte 26 durchlöchert ist, wodurch Öffnungen entlang zwei kreisförmigen Bahnen gebildet werden, die den Durchgang von Licht durch die Platte 26 an Punkten in Deckung mit den Öffnungen in der Aperturscheibe erlauben. Diese Löcher haben Übergröße und stören daher das von einer Öffnung in der Scheibe 28 definierte Lichtbündel nicht. Weiter­ hin liefern Achsenlager 33 Mittel zum Lagern des Aperturrads 10 zur Drehung relativ zum Rahmen 22 um die Drehachse 12 und zum Positionieren des Aperturrad-Auf­ baus 10 in einem festen radialen Abstand von der Bündelachse 14. Im Betrieb treibt der Motor 16 das Aperturrad 10 entweder im Uhrzeigersinn oder gegen den Uhrzeigersinn an, um eine ausgewählte Öffnung 36 in Deckung mit der Bündelachse 14 zu positionieren.

Wie vorher diskutiert, ist die Aperturscheibe 28 eine dünne, im wesentlichen undurchsichtige Materialscheibe mit einem Muster von entlang einer ersten, mit der Mittelachse 12 konzentrischen Kurvenbahn ausgebildeten Öffnungen 36. Um das Vorhandensein von Öffnungen 36 entlang der Aperturscheibe 28 anzuzeigen, sind Anzeigeelemente 42 äquidistant entlang einer zweiten, mit der ersten Kurvenbahn der Öffnungen 36 konzentri­ schen Kurvenbahn auf der Aperturscheibe 28 angeordnet. Weiterhin befindet sich, wie in Fig. 3 gezeigt, jede der Öffnungen 36 und ein entsprechendes Anzeigeelement 42 in genauer radialer Ausrichtung mit dem Mittelpunkt des Aperturrads. Wie die Öffnungen 36 sind die Anzeigeelemente 42 optische Öffnungen, die es erlauben, daß Strahlungsenergie selektiv durch die undurchsich­ tige Oberfläche der Aperturscheibe 28 läuft. Die Anzeigeelemente 42 sind genau ausgebildete Schlitze mit einer gleichförmigen Breite und erstrecken sich radial von dem äußeren Umfang der Aperturscheibe 28 nach innen und zeigen den Winkelabstand zwischen den Öffnungen 36 an. Schlitze bildende Öffnungen sind aus der Träger­ platte 26 an Punkten in Deckung mit den Anzeige­ elementen 42 ausgeschnitten, um den Durchgang von Licht durch die Trägerplatte 26 zu erlauben, wie oben bereits diskutiert. Diese Öffnungen haben leichte Übergröße und stören somit den Durchgang von durch die Anzeige­ elemente 42 definierter Strahlungsenergie nicht.

Die zweite von den Anzeigeelementen 42 definierte Kur­ venbahn wird in Deckung mit einem elektronischen Sensor 44 mit einem Lichtsender 40 und einem Lichtdetektor 38 positioniert. Sowohl der Detektor 38 als auch der Lichtsender 40 sind am Rahmen 22 in Abstand voneinander angeordnet. Wie in Fig. 2 gezeigt, ist der äußere Teil der Aperturscheibe 28, der das Muster der Anzeige­ elemente 42 definiert, im vom Detektor 38 und vom Lichtsender 40 definierten Raum aufgenommen. Wenn die Aperturscheibe 28 am Sensor 44 vorbeidreht, fällt vom Sender 40 emittierte Strahlungsenergie auf die Anzeigeelemente 42, und ein durch eine Anzeige­ element-Breite definiertes Lichtbündel kann auf den Detektor 38 auftreffen und folglich das Vorhandensein einer Öffnung an dieser Winkelposition anzeigen. Ent­ sprechend vermeiden das Aperturrad 10 und der Sensor 44 die Verwendung eines mechanischen Anzeigesystems und resultieren in schneller und genauerer Positionierung ausgewählter Öffnungen in Deckung mit der Bündelachse 14.

Die vorliegende Erfindung betrifft auch ein Steuer­ mittel zum selektiven Drehen verschiedener der Öffnungen 36 in Deckung mit der Bündelachse 14. Eine wichtige Eigenschaft des Steuermittels der vorliegenden Erfindung ist die Eigenschaft der zweiteiligen Zelle des Detektors 38. Wie aus Fig. 3 ersichtlich, besteht der Detektor 38 aus einer zweiteiligen Zelle mit zwei Photodioden mit identischen Wölbungsprofilen, die in geraden entgegengesetzten Flächen enden. Diese geraden entgegengesetzten Flächen sind symmetrisch entlang einem Radius R zum Mittelpunkt C angeordnet. Wenn das vom Sender 40 emittierte Licht durch ein sich bewe­ gendes Anzeigeelement 42 läuft und zunächst auf eine Hälfte der zweiteiligen Zelle auftrifft, wird eine Spannungsdifferenz zwischen den Zellen erzeugt. Wenn weiterhin ein Anzeigeelement 42 symmetrisch entlang dem gegebenen Radius R angeordnet ist, wird die Spannung in jeder der beiden photoempfindlichen Dioden ausgegli­ chen. Da jedes passierende Anzeigeelement 42 an den beiden photoempfindlichen Dioden vorbeiläuft, zeigt der Punkt, an dem die beiden photoempfindlichen Dioden eine Gleichgewichtsspannung haben, dem Steuermittel an, daß ein Anzeigeelement in genauer radialer Symmetrie mit dem Radius R ist. Ein Schalter 45, in Fig. 2 gezeigt, ist mit dem Steuermittel verbunden und ist am Rahmen 22 zum Zusammenwirken mit einem am Zahnrad 25 in radialer Ausrichtung mit einem der Anzeigeelemente 42 angeordne­ ten Stift 46 befestigt, wobei dieses Anzeigeelement als Referenz-Anzeigeelement wirkt. Wenn der Schalter 45 vom Stift 46 aktiviert wird, zeigt er dem Steuermittel das Vorhandensein des Referenz-Anzeigeelementes am von der Position des Schalters 45 am Rahmen 22 definierten Referenzpunkt an. Das Steuermittel beginnt den Anzeige­ prozeß durch Drehen des Aperturrads 10 zum Initialisie­ ren des Referenz-Anzeigeelements mit dem Schalter 45.

Durch Zählen der Anzahl der vom Sensor 44 erzeugten Gleichgewichtspunkten, wenn das Aperturrad 10 in irgendeiner Richtung am Sensor 44 vorbeidreht, berech­ net das Steuermittel die Winkelverschiebung des Aperturrads relativ zum initialisierten Referenzpunkt und positioniert eine der Öffnungen 36 unterschied­ licher Größe in Deckung mit der Bündelachse 14. Es sollte angemerkt werden, daß der Lichtsender 40 eine Infrarotlichtquelle ist, daß der Detektor 38 auf Infra­ rotlicht empfindlich ist und daß der Schalter 45 von irgendeiner, auf Bewegung empfindlicher Art sein kann.

Fig. 5 ist ein Blockdiagramm des nach der vorliegenden Erfindung verwendeten Steuermittels zur genauen und präzisen Positionierung des Aperturrads 10 relativ zum Rahmen 22 durch Drehen der Apertur-Baugruppe mit zwei Drehgeschwindigkeiten. Wie vorher diskutiert, erzeugt der Detektor 38 mit zweiteiliger Zelle eine Gleich­ gewichtsspannung, wenn ein Anzeigeelement in präziser radialer Ausrichtung mit dem Radius R ist. Die in jeder zweiteiligen Zelle des Detektors 38 erzeugten Span­ nungen werden in einen Null-Indikator 600 eingegeben. Der Null-Indikator 600 wiederum identifiziert eine Gleichgewichtsspannung als ein einen Nullpunkt darstel­ lendes Signal und erzeugt ein Signal entsprechend dem Vorhandensein der Gleichgewichtsspannung. Ebenso werden als Eingänge in eine Steuerung oder eine CPU 100 Posi­ tionswerte entsprechend der Winkellage der Anzeigeelemente 42 entlang der Aperturscheibe 28 rela­ tiv zu dem gegebenen Referenz-Anzeigeelement einge­ geben. Weitere Eingabedaten für die CPU 100 weisen die CPU an, nacheinander verschiedene der Öffnungen 36 in Deckung mit der Bündelachse 14 zu positionieren. Der Null-Indikator erzeugt bei Erfassung eines Nullpunkts ein vom Impulsformer 500 empfangenes Signal. Der lm­ pulsformer 500 wiederum erzeugt einen Impuls, der in die CPU entsprechend des Vorhandenseins von Null einge­ geben wird. Die CPU 100 summiert die Impulse auf, wenn die Anzeigeelemente am Sensor 44 vorbeilaufen, und ver­ gleicht die Summe mit den eingegebenen, den Positions­ wert des Anzeigeelements identifizierenden Daten ent­ sprechend der gewünschten nächsten der Öffnungen 36. Eine detaillierte Beschreibung der speziellen, die Auf­ summierung und den Vergleich der Signale ermöglichenden Elemente findet in der Diskussion von Fig. 6 statt. Wenn der Unterschied oder das Ungleichgewicht zwischen aufsummierten Impulsen und dem nächsten gewünschten Positionswert anzeigt, daß das Aperturrad 10 zwei oder mehr Anzeigeelemente weg vom der nächsten gewünschten Position entsprechenden Anzeigeelement positioniert ist, erzeugt die CPU 100 ein Spannungssignal, das den Spannungssteueroszillator 700 ansteuert und wiederum den Mikroschrittschalter 800, wodurch der Schrittmotor 16 mit einer ersten, schnellen Geschwindigkeit dreht. Wenn die CPU 100 jedoch feststellt, daß das Ungleichge­ wicht zwischen den aufsummierten Impulsen und der näch­ sten gewünschten Position anzeigt, daß das Aperturrad sich innerhalb eines Anzeigeelements des der nächsten Position entsprechenden Anzeigeelements befindet, wird das Kommando des Schrittmotors 16 von der CPU 100 auf den Analogschalter 900 übertragen. Der Spannungssteuer­ oszillator 700 erhält jetzt als Eingang ein zweites, vom Analogschalter 900 erzeugtes Spannungssignal, um das ausgewählte Anzeigeelement präzise mit einer zweiten geringeren Geschwindigkeit mit dem gegebenen Radius R zu positionieren. Die vom Analogschalter er­ zeugte, zweite geringere Geschwindigkeit ist propor­ tional der den Detektor 38 mit zweiteiliger Zelle akti­ vierenden Lichtmenge. Wenn jedoch einmal ein Spannungs­ gleichgewicht im Detektor erzielt ist, endet die zweite geringere Geschwindigkeit, der Antriebsmotor 16 hält an und das ausgewählte Anzeigeelement wird in präziser symmetrischer Ausrichtung mit jeder Hälfte des zweitei­ ligen Detektors positioniert, wobei eine ausgewählte Öffnung 36 in genaue Deckung mit der Bündelachse 14 ge­ bracht wird. Somit liefert das Steuersystem der vorlie­ genden Erfindung eine erste Positionier-Geschwindigkeit und eine zweite, geringere Positionier-Geschwindigkeit zum schnellen Anzeigen eines ausgewählten Anzeigeelements innerhalb eines Anzeigeelements des Sensors mit der ersten Geschwindigkeit bzw. dann zum genauen Bewegen des ausgewählten Anzeigeelements in Deckung mit dem zweiteiligen Detektor 38 mit der zwei­ ten, geringeren Geschwindigkeit.

Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung dreht das Steuersystem das Aperturrad 10 von einer vorliegenden Position in die nächste gewünschte Position über den kürzesten Weg. Es sollte verständlich sein, daß beim schnellen Anzeigen von ausgewählten Öffnungen 36 erheb­ liche Zeiteinsparungen erzielbar sind bei der Bildung von graphischen Informationen unter Benutzung von Öffnungen unterschiedlicher Größe und Form. Fig. 6 stellt ein Blockdiagramm der bei der vorliegenden Er­ findung verwendeten CPU-Logik dar, wobei die Drehrich­ tung des Aperturrads 10 gesteuert wird. Wie vorher er­ wähnt, treibt der Motor 16 das Aperturrad 10 entweder im oder gegen den Uhrzeigersinn an. Die CPU-Logik ver­ knüpft steigende Werte entsprechend dem größeren Kurvenabstand jedes Anzeigeelements vom Referenz-An­ zeigeelement. Als Eingang 110 eingegebene Daten bezie­ hen spezielle Arten von Öffnungen auf Werte entspre­ chend einem ausgerichteten Anzeigeelement. Eine nächste anzuzeigende Position, die sich auf einen Anzeigeelement-Wert bezieht, wird ebenso als Eingang eingegeben und wird zeitweise in einem Register 200 der CPU 100 gespeichert und wird in ein Signal übersetzt, das in einen Vergleicher 300 eingegeben wird, wenn eine nächste ausgewählte Größe einer Öffnung anzuzeigen ist. Die CPU 100 verwendet einen Zähler 400 zum Aufsummieren der vorher erwähnten, durch die Vorbeibewegung der Anzeigeelemente am Sensor 44 erzeugten Impulse. Durch Zählen dieser Impulse relativ zum Referenz-Anzei­ geelement erhält der Zähler 400 einen aufsummierten Wert aufrecht entsprechend der Winkelposition der Aperturscheibe 28 relativ zum vom Schalter 45 definier­ ten, festen Referenzpunkt. Ein Signal entsprechend der vorliegenden Position des Aperturrads 10 wird vom Zähler 100 in den Vergleicher 300 eingegeben. Falls es gewünscht ist, eine andere der Öffnungen 36 in Deckung mit der Bündelachse 14 anzuzeigen, bestimmt die in Fig. 6 gezeigte CPU-Logik die Drehrichtung, die den kürze­ sten Weg zur nächsten Position bedingt, indem die auf­ summierten Werte der vorliegenden Position mit den Positionswerten der nächsten gewünschten Position ver­ glichen werden. Die CPU 100 verwendet den Komparator 300 zum Vergleichen der beiden Werte und zum Erkennen eines etwaigen Unterschieds in den Werten. Diese Ungleichheit wird vom Komparator ausgewertet, und ein erstes Richtungssignal wird erzeugt, wenn die Differenz der Werte kleiner Null ist, und ein zweites Richtungs­ signal wird erzeugt, wenn diese Differenz größer Null ist. Jedes Richtungssignal entspricht eindeutig einer der beiden Drehrichtungen des Aperturrads 10. Das kor­ rekte Richtungssignal wird in den Spannungssteueroszil­ lator 700 zum Antreiben des Motors 16 eingegeben, und somit dreht das Aperturrad 10 um den Differenzbetrag zwischen den Werten entweder im oder gegen den Uhr­ zeigersinn, um eine nächste ausgewählte Öffnung 36 in Deckung mit der Bündelachse über den kürzestmöglichen Weg zu positionieren. Wenn kein Ungleichgewicht zwischen den verglichenen Werten vorliegt, was anzeigt, daß die ausgewählte Öffnung bereits in Deckung mit der Bündelachse 14 ist, braucht der Motor 16 nicht akti­ viert zu werden. Daraufhin erzeugt der Komparator 300 ein Startsignal zur CPU-Logik, die die Bahnbewegungen des Photokopfs relativ zum Werkstück F steuert.

Ebenso gemäß der Erfindung besteht die im Photokopf 8 verwendete Aperturscheibe 28 aus einer ebenen, dünnen, transparenten Materialscheibe mit einer darauf ausge­ bildeten undurchsichtigen Oberfläche. Die Apertur­ scheibe 28 hat eine bevorzugte Dicke von etwa 1,0 Millimeter. Beide Bahnen von die Öffnungen 36 und die Anzeigeelemente 42 definierenden Markierungen sind die tranparenten Teile der Aperturscheibe 28, wodurch durch Kontrast mit entfernten Teilen der undurchsichtigen Oberfläche der Aperturscheibe 28 darin Lichtöffnungen ausgebildet werden. Diese Lichtöffnungen werden auf der Aperturscheibe 28 durch eine Dünnfilm-Belichtungsme­ thode gebildet. Beim Konzipieren der Aperturscheibe 28 werden die Öffnungen 36 und die Anzeigeelemente 42 von Lichtstellen unter Verwendung einer Präzisionslicht­ quelle auf einer Lage unbelichteten photographischen Films belichtet. Ein Photoplotter, wie der bei der vorliegenden Erfindung beschriebene, ist eine derartige Präzisionslichtquelle, die zum Belichten der präzisen Positionierungen und Formen der Öffnungen und Anzeigeelemente auf dem Film benutzt werden kann. Wenn die Stellen einmal auf dem Film belichtet sind, wird dann der Film entwickelt, und ein positives, Markie­ rungen definierendes Bild wird von den belichteten Stellen auf dem Film durchgeführt. Das Positiv wird dann als Vorlage beim Abdruck von Kopien des Musters der Markierungen auf ein Substrat benutzt. Das Sub­ stratmaterial ist eine transparente Scheibe, vorzugs­ weise aus durchsichtigem Kunststoff o.ä., welches die Form der Aperturscheibe bestimmt. Eine dünne, photoempfindliche Schicht einer undurchsichtigen Emul­ sion wird auf eine der Flächen des Substrats aufge­ bracht, um den Umriß des Musters der Markierungen von der Vorlage abzudrucken. Das Muster der auf der Vorlage entwickelten Markierungen wird auf die Emulsionsfläche auf dem Substrat durch Belichten von Teilen auf der photoempfindlichen Emulsion durch durch die Vorlage laufendes Licht übertragen. Beim Abdrucken von Kopien der Aperturscheibe wird die Vorlage in Kontakt mit der Emulsionsoberfläche gebracht, sodaß keine Verzerrung der durch die Vorlage laufenden Strahlungsenergie stattfindet.

Dann definieren die belichteten Flächen der photo­ empfindlichen Emulsion ein Präzisionsbild, das bei üblicherweise bekannten photolithographischen Techniken genau die Bahnen der von der Vorlage definierten Markierungen nachzeichnet.

Der Emulsionsfilm kann aus allen photoempfindlichen Komponenten ausgewählt werden, deren Löslichkeit sich beim Belichten mit Strahlungsenergie ändert, vorzugs­ weise bei Ultraviolettlicht. Auch wird ein Emulsions­ photoresist so ausgewählt, daß die Entfernung entweder der belichteten oder der unbelichteten Bereiche der Emulsion bei Verwendung eines geeigneten Lösungsmittels bewirkt werden kann. Somit brauchen die Bahnen von auf der Vorlage definierten Markierungen nicht notwendiger­ weise von einem positiven Bild definiert zu werden, sondern können auch von einem negativen Bild mit einem entsprechenden ausgewählten Photoresist zur Erzeugung des gewünschten Musters auf der Aperturscheibe 28 defi­ niert werden.

Es ist eine Eigenschaft der vorliegenden Erfindung, ein Aperturrad 10 mit leicht entfernbaren Apertursektoren zu liefern, die leicht entsprechend den Wünschen der Kunden angepaßt werden können. Fig. 4 zeigt eine zweite Ausführungsform der Aperturrad-Anordnung 10, die die an der modifizierten Trägerplatte 26 befestigten Apertur­ sektoren 48 verwendet. Die radial ausgerichtete Reihe von Stiften 32 ist an der Platte 26 und am Zahnrad 25 befestigt und sichert die Sektoren 48 an der Platte 26. Es sollte darauf hingewiesen werden, daß einer der Sektoren, die die Kurvenform der Markierungen defi­ nieren, in radialer Deckung mit dem Stift 46 angeordnet ist, um einen Initialisierpunkt für die CPU zu liefern. Jedes Paar von Stiften 32 sichert und positioniert eine am entfernbaren, tortenstückförmigen Sektor 48 ausge­ bildete Öffnung 52 in Deckung mit der Bündelachse 14 durch ein Paar von in jedem Sektor 48 ausgebildeten und mit den Stiften 32 zusammenwirkenden Positionieröffnun­ gen 46. Die das Anzeigeelement 42 und die Öffnung 52 auf dem Sektor 48 definierenden Markierungen können durch Kontaktabdruck dieser Markierungen auf einem tortenförmigen Stück Substratmaterial, in der gleichen Weise wie oben beschrieben, gebildet werden. Es sollte jedoch verständlich sein, daß beim Bilden des Sektors 48 nur ein kleiner Streifen nicht belichteten Films zu einer Zeit benutzt wird, um den Apertursektor 48 zu bilden. Zu Zeitpunkten, wenn der Benutzer nur eine kleine Anzahl von Öffnungen unterschiedlicher Größe oder Form benötigt oder wenn der Benutzer unterschied­ liche Größen der Öffnungen zu einem Konzept hinzufügt, ist die Benutzung der Apertursektoren somit jedoch wün­ schenswert. Weiterhin werden Einsparungen an unbenutz­ ten Teilen der Aperturscheibe 28 beeinträchtigt, wenn nur ein kleiner Anteil des Scheibenmaterials benötigt wird.

Während die vorliegende Erfindung anhand einer bevor­ zugten Ausführungsform beschrieben wurde, sollte es klar sein, daß diverse Änderungen und Substitutionen am offenbarten Aufbau und Prozeß verwendet werden können. Z.B. ist die Trägerplatte 26 ein leichtes Bauteil aus einer Aluminiumlegierung, könnte aber auch aus einer Substanz mit ähnlicher Festigkeit und ähnlichem Gewicht hergestellt sein. Entsprechend ist die vorliegende Erfindung in einer bevorzugten Ausführungsform nur als Erläuterung und nicht als Einschränkung beschrieben worden.

Claims (23)

1. Vorrichtung zur selektiven Belichtung diverser Bilder auf einer photoempfindlichen Fläche mit einem Rahmen (22) und einer Bündelachse (14), mit einem von dem Rahmen getragenen, in Deckung mit der Bündelachse Strahlungsenergie emittierenden Mittel zur Lieferung von Strahlungsenergie für die Belichtung von Bildern auf einer photoempfindlichen Fläche, mit koinzident mit der Bündelachse angeordneten Bündelabbildungsmitteln zur Bildung eines Lichtbündels aus der von dem emittie­ renden Mittel emittierten Strahlungsenergie, mit einem Aperturteil (10) mit einer Vielzahl von Öffnungen (36) von unterschiedlicher Größe und im Abstand voneinander entlang einer ersten und mit einer Drehachse konzentri­ schen Kurvenbahn, dadurch gekennzeichnet, daß Mittel zum Abstützen des Aperturteils zur Drehung relativ zum Rahmen (22) um die Drehachse vorgesehen sind, wobei die Drehachse im wesentlichen parallel zur Bündelachse und wobei die erste Kurvenbahn die Bündelachse schneidet; und daß vom Rahmen (22) getragene und mit dem Aperturteil zusam­ menwirkende Antriebsmittel (16, 18) selektiv eine der Öffnungen (10) in Ausrichtung mit der Bündelachse posi­ tionieren, wobei das Aperturteil (10) eine Vielzahl von äquidistant zueinander auf einer zweiten, zur ersten Bahn konzentrischen Kurvenbahn angeordneten Anzeige­ elementen (42) aufweisen und wobei jede der Öffnungen (36) in radialer Ausrichtung mit einem der Anzeigeele­ mente angeordnet ist; daß relativ zu den Anzeigeele­ menten feststehende und mit dem Rahmen (22) zusammen­ wirkende Initialisiermittel (45, 46) eines der Anzeige­ elemente auf eine Referenzposition relativ zum Rahmen initialisieren; daß ein am Rahmen (22) befestigter und in Ausrichtung mit der zweiten Bahn des Aperturteils angeordneter Sensor (44) jedesmal ein Anzeigesignal er­ zeugt, wenn eines aus der Vielzahl der Anzeigeelemente (42) sich am Sensor (44) vorbeibewegt; und daß ein mit dem Sensor und den Antriebsmitteln verbundenes Steuer­ mittel (100) die Anzeigesignale vom Sensor empfängt und aus diesen Signalen die jeweilige Position des Apertur­ teils (10) relativ zur Referenzposition bestimmt sowie die Antriebsmittel veranlaßt, das Aperturteil zu drehen, bis eine bestimmte der Öffnungen von unter­ schiedlicher Größe in genauer Ausrichtung mit der Bündelachse positioniert ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (44) einen auf einer Seite des Aperturteils angeordneten zweiteiligen Detektor (38) mit zwei photoempfindlichen Dioden auf­ weist, wobei beide Dioden identische, in geraden ent­ gegengesetzten Flächen endende Wölbungsprofile auf­ weisen und wobei diese geraden entgegengesetzten Flä­ chen symmetrisch entlang einem gegebenen Radius (R) von der Drehachse (12) des Aperturteils aus angeordnet sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vielzahl von Anzeige­ elementen (42) des Aperturteils (10) durch Schlitze mit jeweils gleichförmiger Breite definiert wird, die sich radial von der Drehachse des Aperturteils aus er­ strecken.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Sensor (44) weiterhin einen vom Rahmen (22) und auf der anderen Seite des Aperturteils (10) angeordneten Lichtsender (40) in Aus­ richtung mit dem zweiteiligen Detektor (38) aufweist, wobei der zweiteilige Detektor (38) auf die vom Licht­ sender (40) erzeugte Strahlungsenergie empfindlich ist, wenn die Vielzahl von Anzeigeelementen (42) am zwei­ teiligen Detektor vorbeidreht, wodurch elektrische Sig­ nale durch eine Spannungsdifferenz erzeugt werden, die entsteht, wenn die vom Lichtsender (40) emittierte Strahlungsenergie durch eine aus der Vielzahl von An­ zeigeelementen (42) hindurchläuft, wenn das Aperturteil (10) am Lichtsender (40) vorbeigedreht wird und eine der beiden photoempfindlichen Dioden beaufschlagt wird.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Aperturteil weiterhin eine leichte Trägerplatte (26) mit darin vorgesehenen Öffnungen auf zwei kreisförmigen Bahnen aufweist, wobei jede von den Öffnungen definierte Bahn in Deckung mit der Bündelachse (14) und dem Sensor (44) angeordnet ist und den Durchtritt der von jedem der Strahlungsenergie emittierenden Mittel (6) und dem Lichtsender (40) emit­ tierten Strahlungsenergie durch die Trägerplatte (26) erlaubt, und daß das Aperturteil weiterhin eine dünne, von der Trägerplatte getragene Materialscheibe (28) mit einer undurchsichtigen Oberfläche und darin ausgebilde­ ten transparenten Bereichen (36) aufweist, die die Öffnungen und die Anzeigeelemente definieren, wobei die transparenten Bereiche jeweils mit den Öffnungen auf der Trägerplatte zum Durchlassen der Strahlungsenergie durch die transparenten Bereiche an der ansonsten undurchsichtigen Oberfläche der dünnen Materialscheibe ohne Störung durch die Trägerplatte ausgerichtet sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die dünne Materialscheibe (28) als die Trägerplatte (26) kreisförmig abdeckende Scheibe ausgebildet ist und einen mit der Mittelachse (12) des Aperturteils koinzidenten Mittelpunkt auf­ weist, und daß die an der dünnen Materialscheibe ausge­ bildeten Öffnungen (36) voneinander unterschiedliche Größe und/oder Form aufweisen.

7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Aperturteil eine die dünne Materialscheibe (28) abdeckende transparente Deckplatte (30) aufweist, und daß sich ein Stift (32) von der Trägerplatte (26) nach oben in Deckung mit in der dünnen Materialscheibe (28) und in der transpa­ renten Deckplatte (28) ausgebildeten Positionieröffnun­ gen erstreckt.

8. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Aperturteil (10) eine leichte Trägerplatte (26) mit darin auf zwei kreis­ förmigen Bahnen ausgebildeten Öffnungen aufweist, wobei jede von den Öffnungen definierte Bahn in Deckung mit der Bündelachse (14) und dem Sensor (44) angeordnet ist und den Durchtritt der von jedem der Strahlungsenergie emittierenden Mittel (6) und dem Lichtsender (40) emit­ tierten Strahlungsenergie durch die Trägerplatte (26) erlaubt; daß das Aperturteil (10) eine Vielzahl von Apertursektoren aufweist, wobei jeder Sektor aus einer dünnen, auf der Trägerplatte getragenen Materialscheibe mit undurchsichtiger Oberfläche gebildet wird; daß jeder der Apertursektoren (48, Fig. 4) zwei transpa­ rente Bereiche aufweist, die jeweils eine der Öffnungen (52) und eines aus der Vielzahl der Anzeigeelemente (42) bilden, wobei jeder der transparenten Bereiche je­ weils mit der betreffenden Öffnung auf der Trägerplatte (26) zum Durchlassen der Strahlungsenergie durch die beiden transparenten Bereiche in der dünnen Material­ scheibe (28) ohne Störung durch die Trägerplatte (26) ausgerichtet ist.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Vielzahl von Apertur­ sektoren (48) tortenstückförmig ausgebildet sind und einen mit der Drehachse des Aperturteils konzentrischen Bogen bilden, und daß das Aperturteil weiterhin eine die Vielzahl von Apertursektoren abdeckende und von der Trägerplatte getragene Deckplatte (30) aufweist, wobei die Trägerplatte weiterhin in ausgerichteten Positio­ nieröffnungen in jedem der Apertursektoren und der Deckplatte aufgenommene, nach oben sich erstreckende Stifte aufweist; und daß die Vielzahl von Apertursekto­ ren (48) darauf ausgebildete Öffnungen (52) unter­ schiedlicher Größe und/oder Form aufweist.

10. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Lichtsender (40) eine Infrarotlichtquelle ist und daß die photoempfindlichen Dioden (38) infrarotempfindlich sind; und daß das die Strahlungsenergie emittierende Mittel eine Glühlampe (6) mit einem sonst divergierendes Licht zurückreflek­ tierenden Reflektor ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Steuermittel (5) ein erstes Geschwindigkeitssteuermittel (600, 500) zum schnellen Drehen des Aperturteils mit einer ersten Ge­ schwindigkeit an zwischen einer vorliegenden Position des Aperturteils und einer gewünschten nächsten Posi­ tion zum Sensor angeordneten Anzeigeelementen vorbei aufweist; und daß ein zweites Geschwindigkeitssteuer­ mittel (900) das der nächsten gewünschten Position ent­ sprechende Anzeigeelement genau in Ausrichtung mit dem Sensor mit einer zweiten, langsameren Geschwindigkeit als die erste Geschwindigkeit positioniert, nachdem das erste Geschwindigkeitssteuermittel das Aperturteil schnell innerhalb eines Anzeigeelements der gewünschten nächsten Position gedreht hat.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Geschwindigkeits­ steuermittel eine Steuerung (100) zum Empfangen als Eingang (110) der gewünschten nächsten Position, wobei die Steuerung (100) das Aperturteil schnell mit der er­ sten Geschwindigkeit an zwischen einer vorliegenden Position des Aperturteils und einer gewünschten nächsten Position angeordneten Anzeigeelementen vorbei dreht, wobei die Steuerung weiterhin feststellt, wenn das Aperturteil innerhalb eines Anzeigeelements des der gewünschten nächsten Position entsprechenden Anzeige­ elements gedreht ist; und daß das zweite Geschwindig­ keitssteuermittel einen Analogschalter (900) aufweist, der von der Steuerung (100) aktiviert wird, wenn das Aperturteil innerhalb eines Anzeigeelements des der ge­ wünschten nächsten Position entsprechenden Anzeigeele­ ments positioniert ist, und daß der Analogschalter (900) das Aperturteil mit der zweiten, langsameren Geschwindigkeit dreht, um das der gewünschten nächsten Position entsprechende Anzeigeelement genau in Deckung mit dem Sensor (44) auszurichten.

13. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Antriebsmittel das Aperturteil selektiv in einer seiner beiden Drehrich­ tungen dreht; und daß das Steuermittel Mittel (Fig. 6) aufweist zur Bestimmung des kürzesten Drehwegs zwischen einem der vorliegenden Position des Aperturteils ent­ sprechenden Anzeigeelement relativ zum Sensor und einem der nächsten gewünschten Position des Aperturteils entsprechenden Anzeigeelement und zur Steuerung des An­ triebsmittels, um das Aperturteil in einer seiner bei­ den Drehrichtungen zur Positionierung des der nächsten gewünschten Position entsprechenden Anzeigeelements in Deckung mit dem Sensor über den kürzesten Drehweg zu drehen.

14. Aperturscheibe (14) zur Verwendung in einem Photo­ kopf mit einer auf einer photoempfindlichen Fläche (F) diverse Bilder belichtenden Lichtquelle und mit einem die Position der Scheibe relativ zum Photokopf anzei­ genden Lichtsensor (44), dadurch gekennzeichnet, daß die Aperturscheibe eine dünne, ebene und die Form der Aperturscheibe definie­ rende Materialscheibe mit im wesentlichen undurchsich­ tiger Oberfläche aufweist, daß erste auf der Apertur­ scheibe ausgebildete Markierungen (36) in einer ersten Kurvenbahn um einen Mittelpunkt angeordnet sind, wobei jede der ersten Markierungen der ersten Bahn selektiv von einer Lichtquelle erzeugte Strahlungsenergie durch die ansonsten undurchsichtige Oberfläche der Apertur­ scheibe auf eine photoempfindliche Fläche durchläßt, daß zweite auf der Aperturscheibe ausgebildete Markie­ rungen (42) in einer zweiten, mit der ersten Bahn kon­ zentrischen Bahn angeordnet sind, wobei jede zweiten Markierungen (42) der zweiten Bahn von einem Licht­ sensor (44) emittierte Strahlungsenergie durch die ansonsten undurchsichtige Oberfläche der Aperturscheibe auf einen am Lichtsensor ausgebildeten Detektor (38) durchläßt; und daß jede der ersten Markierungen der ersten Bahn in radialer Ausrichtung mit einer zweiten Markierung der zweiten Bahn angeordnet ist, wodurch der Sensor das Vorhandensein einer der ersten, die erste Bahn definierenden Markierung identifiziert, wenn die entsprechende radial ausgerichtete, die zweite Bahn definierende Markierung am Sensor vorbeiläuft und die Aktivierung des Detektors (38) durch Strahlungsenergie erlaubt.

15. Aperturscheibe (28) nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die undurchsichtige Ober­ fläche ein dünner, auf der Oberfläche der dünnen, ebenen Scheibe ausgebildeter Film ist, wobei die dünne, ebene Scheibe aus einem transparenten Material gebildet ist und wobei die die erste Bahn definierenden Markie­ rungen entfernte Bereiche des dünnen, undurchsichtigen Films sind, wodurch transparente Bereiche der dünnen, ebenen Scheibe freigegeben werden, und wobei jede der ersten, die erste Bahn definierenden Markierungen (36) eine voneinander unterschiedliche Größe und/oder Form aufweist.

16. Aperturscheibe (28) nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die die zweite Bahn defi­ nierenden Markierungen (42) entfernte Bereiche des dünnen, undurchsichtigen Films sind, wodurch transpa­ rente Bereiche der dünnen, ebenen Scheibe freigegeben werden, und daß die die zweite Bahn definierenden Markierungen (42) auf dem Umfang angeordnete Schlitze mit gleichförmiger Breite sind.

17. Aperturscheibe (28) nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Apertur­ scheibe etwa 1,0 Millimeter ist.

18. Verfahren zur Herstellung einer Aperturscheibe, gekennzeichnet durch die Schritte, daß eine Scheibe von unbelichtetem Film verwendet wird, daß eine Präzisions­ lichtquelle zur Belichtung von im Abstand auf dem Film angeordneten Punkten benutzt wird, daß der Film ent­ wickelt wird, um ein die Punkte als Markierungen dar­ stellendes Bild zu erzeugen, daß dieses Bild als Vor­ lage benutzt wird, daß ein transparentes Substratmate­ rial für die allgemeine Form der Aperturscheibe verwen­ det wird, daß auf eine Oberfläche des Substrates ein dünner Film einer undurchsichtigen, photoempfindlichen Emulsion aufgebracht wird, daß Licht durch die die Markierungen darstellenden Bereiche auf der Vorlage und auf entsprechende Bereiche auf der Emulsion geschickt wird, daß die auf der Substratfläche gebildete Emulsion entwickelt wird, um Bereiche der Emulsion präzise zu entfernen und um das transparente Substratmaterial an den der Position der Markierungen auf der Vorlage entsprechenden Punkten zu belichten.

19. Verfahren zur Herstellung einer Aperturscheibe nach Anspruch 18, gekennzeichnet durch den Schritt, daß die Vorlage in Kontakt mit einer belichteten Fläche des Emulsionsfilms gebracht wird und daß Licht durch die die Markierungen darstellenden Bereiche auf der Vorlage geschickt wird, um das Licht ohne Verzerrung auf dem Emulsionsfilm zu belichten.

20. Verfahren zur Herstellung einer Aperturscheibe nach Anspruch 18, gekennzeichnet durch die Schritte, daß der Film ent­ wickelt wird, um ein positives Bild des Musters von Markierungen zu erzeugen, und daß das positive Bild als Vorlage zum Abdrucken des Musters von Markierungen auf Scheiben des transparenten Substratmaterials benutzt wird.

21. Verfahren zur Herstellung einer Aperturscheibe nach Anspruch 18, gekennzeichnet durch den Schritt, daß die Stellen in kreisförmigen Bahnen auf dem Film belichtet werden, um somit eine erste kreisförmige Bahn von Markierungen und eine zweite kreisförmige, konzentrisch mit der ersten kreisförmigen Bahn angeordnete Bahn auf der Vorlage zu bilden.

22. Verfahren zur Herstellung einer Aperturscheibe nach Anspruch 21, gekennzeichnet durch den Schritt, daß beim Belichten des Musters von kreisförmig angeordneten Stellen auf dem Film weiterhin diese Punkte derart belichtet werden, daß jede der Markierungen der ersten kreis­ förmigen Bahn sich in radialer Ausrichtung mit einer Markierung der zweiten kreisförmigen Bahn auf der Vor­ lage befindet.

23. Verfahren zur Herstellung einer Aperturscheibe nach Anspruch 22, gekennzeichnet durch den Schritt, daß beim Belichten des Musters von kreisförmig angeordneten Stellen auf dem Film weiterhin diese Punkte derart belichtet werden, daß Markierungen unterschiedlicher Größe und/oder Form entlang der ersten kreisförmigen Bahn auf der Vorlage und schlitzförmige Markierungen entlang der zweiten kreisförmigen Bahn auf der Vorlage gebildet werden.