DE3829022A1 - Tischverstellvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Tischverstellvorrichtung zur Verwendung bei der Halbleiterfertigung bzw. einer Super­ präzisions-Bearbeitungseinrichtung und insbesondere auf eine Tischverstellvorrichtung, welche einen Tisch mit einer horizontal gehaltenen und in Vertikalrichtung be­ weglichen Ebene aufweist.

Im Verlauf der Fertigung von Halbleitern wird ein auf der Maske (oder Zwischenmaske) gebildetes Schaltkreis­ muster durch die Projektionslinse auf Halbleiterscheiben projiziert und belichtet. Um das Schaltkreismuster auf der Halbleiterscheibe genau zu projizieren, ist es er­ forderlich, daß der Tisch, auf welchem die Halbleiter­ scheiben aufgespannt werden, mit hoher Genauigkeit in einer vorbestimmten Position eingestellt wird. Im ein­ zelnen besitzt eine (bekannte) Tischverstellvorrichtung gemäß Darstellung in Fig. 1 einen X-Tisch 1, einen Y- Tisch 2 und einen Z-Tisch 3, welche sich jeweils in den Richtungen X, Y bzw. Z bewegen, um den nicht dargestellten Halbleiterscheibentisch in Horizontalrichtung (bzw. den zueinander senkrechten Richtungen X und Y) und in der Vertikalrichtung (bzw. der Z-Richtung) einzustellen. Der Z-Tisch 3 ist auf dem Y-Tisch 2 befestigt, und der (nicht dargestellte) Halbleiterscheibentisch ist auf dem Z-Tisch 3 befestigt.

Der Z-Tisch wird relativ zu dem Y-Tisch in der Z-Richtung durch den Z-Tisch-Bewegungsmechanismus verstellt, welcher später noch beschrieben wird. Das ringförmige Organ 4, welches die Axiallinie Z einschließt und um diese drehbar ist, ist auf dem Y-Tisch 2 montiert. Drei keilförmige Blöcke 5 mit jeweils einer abgeschrägten Oberfläche sind auf der oberen Horizontalfläche des ringförmigen Organs 4 befestigt, wobei zwischen den in der Umfangsrichtung des Organs 4 benachbarten Blöcken jeweils der gleiche Zwischenraum liegt. Eine Lagerkugel 6 ist auf der abge­ schrägten Fläche eines jeden der keilförmigen Blöcke 5 angeordnet, und der Z-Tisch 3 ist auf diesen Lagerkugeln 6 angeordnet. Wenn das ringförmige Organ 4 sich um die Axiallinie Z dreht, um die keilförmigen Blöcke 5 in Hori­ zontalrichtung zu bewegen, gleiten die Kugeln 6 deshalb auf deren entsprechenden abgeschrägten Oberflächen auf­ wärts und abwärts. Der Z-Tisch 3 wird auf diese Weise in Vertikalrichtung bzw. in Z-Richtung bewegt.

Im Falle des in Fig. 1 gezeigten Z-Tisch-Bewegungsme­ chanismus werden das ringförmige Organ 4, die keilförmigen Blöcke 5 und die Kugellager 6 in dieser Reihenfolge auf dem Y-Tisch 2 montiert. Der Z-Tisch 3 wird auf diese Weise auf dem Y-Tisch 2 verhältnismäßig hoch angebracht. Dieses ist ein erstes Problem. Je mehr der Z-Tisch 3 erhöht ist, umso größer ist die Trägheit, mit welcher sich der X-Tisch 1 in X-Richtung bzw. der Y-Tisch 2 in Y-Richtung bewegt. Je größer diese Trägheit ist, umso schwieriger ist es dann, den Z-Tisch 3 genau bezüglich der beiden Richtungen X und Y einzustellen.

Diejenige Oberfläche des Z-Tisches 3, auf welcher etwas wie eine Halbleiterscheibe angeordnet wird, wird im we­ sentlichen horizontal gehalten. Wenn diese Oberfläche des Z-Tisches 3 aus der Horizontalebene schräggestellt wird, wird deshalb angenommen, daß ein Fehler vorliegt. Anders ausgedrückt, wenn diese Oberfläche des Z-Tisches 3 aus der Horizontalebene schräggestellt und um die Axiallinie X verschwenkt wird, wird angenommen, daß ein Abstands­ fehler vorliegt, während dann, wenn sie um die Axiallinie Y verschwenkt wird, angenommen wird, daß ein Kippfehler vorliegt. Wenn diese Fehler verursacht werden, ergeben sich die folgenden Nachteile. Wenn die Oberfläche des Z- Tisches 3, auf welcher etwas, wie die Halbleiterscheibe, montiert ist, in einer exakten Position befestigt und horizontal gehalten wird, kann die Projektionslinse über die gesamte Halbleiterscheibe auf der Oberfläche des Z- Tisches 3 fokussiert werden. Wenn die Oberfläche des Z- Tisches 3 in einer exakten Position angeordnet, jedoch nicht horizontal gehalten und aus der Horizontalebene schräg verstellt ist, kann jedoch die Projektionslinse nicht über die gesamte Halbleiterscheibe, sondern ledig­ lich über einen Teil von ihr fokussiert werden. Im Ergeb­ nis kann das Schaltkreismuster auf der Maske auf dem übrigen Teil der Halbleiterscheibe, auf welchem die Pro­ jektionslinse nicht fokussiert werden kann, auch nicht genau projiziert und belichtet werden. Es ist in dem Fall des in Fig. 1 gezeigten Z-Tisch-Bewegungsmechanismus schwierig, die abgeschrägte Oberfläche des jeweiligen keilförmigen Blocks mit hoher Genauigkeit zu bearbeiten. Wenn diese abgeschrägte Oberfläche weder ausgezeichnet in ihrer Ebenheit ist noch genau im vorgegebenen Winkel ausgebildet ist, kann der Z-Tisch nicht entsprechend der Bewegung des ringförmigen Organs bewegt werden. Wenn die Ebenheit und der Winkel der abgeschrägten Oberfläche auf einem keilförmigen Block beispielsweise unterschiedlich von den entsprechenden Eigenschaften der beiden anderen ist, wird der Z-Tisch nach oben und unten bewegt, während er aus der Horizontalebene herauskippt, und sowohl ein Abstands- als auch ein Kippfehler werden auf diese Weise verursacht. Dieses ist ein zweites Problem.

In dieser Beschreibung wird der Ausdruck "Auflösung" ver­ wendet. Ein Objekt kann sich um jeweils 10 µm bewegen, während sich ein anderes Objekt lediglich um jeweils 1000 µm bewegen kann. Bei dem ersteren, welches sich in feineren Schritten bewegen kann, wird angenommen, daß seine Auflösung hoch oder gut ist, während bei dem letzteren, welches sich nur in groberen Schritten be­ wegen kann, angenommen wird, daß seine Auflösung gering oder schlecht ist. Natürlich kann im Falle des ersteren eine Einstellung mit hoher Genauigkeit erreicht werden, und im Falle des letzteren kann nur eine Einstellung mit geringer Genauigkeit erzielt werden.

Wenn die abgeschrägte Oberfläche nicht genügend glatt ist oder wenn die senkrechte Bewegung der Lagerkugeln nicht proportional zu derjenigen der keilförmigen Blöcke 5 ist, können sich die Kugeln 6 nur mit einer niedrigen Auflösung bewegen.

Im Ergebnis ist die Auflösung des Z-Tisches gering oder schlecht, und die Einstellgenauigkeit ist gering. Dieses ist ein drittes Problem.

Sei einem anderen Z-Tisch-Bewegungsmechanismus wird an­ gestrebt, den Z-Tisch so zu neigen, daß die Neigung der Oberfläche des Z-Tisches, auf welchem etwas nach Art der Halbleiterscheibe befestigt ist, korrigiert wird. Wie in Fig. 2 gezeigt ist, ist eine Hebeeinrichtung 7 zwi­ schen dem ringförmigen Organ 4 und einem jeden der keil­ förmigen Blöcke 5 zwischengeschoben. Wenn eine der Hebe­ einrichtungen 7 angetrieben wird, wird deshalb der Z-Tisch 3 an einem dieser Punkte, wo der Z-Tisch 3 auf Kugel­ lagern 6 angeordnet ist, angehoben und bewirkt dadurch, daß der Z-Tisch 3 geneigt wird. Die Höhe des Z-Tisches 3 auf dem Y-Tisch 2 wird jedoch allein durch die Höhe der Hebeeinrichtungen 7 vergrößert gegenüber derjenigen des Z-Tisches 3 auf dem Y-Tisch 2 bei dem in Fig. 1 gezeigten Mechanismus. Außerdem besteht die Gefahr, daß ein Abstands­ fehler und dgl. auch bei dem Tischverstellmechanismus ge­ mäß Fig. 2 wegen der hinsichtlich des Mechanismus nach Fig. 1 erwähnten Gründe verursacht wird.

Der Tischverstellmechanismus zum Zweck einer Neigung des Z-Tisches kann mit drei Betätigungselementen 8 gemäß Fig. 3 versehen werden. Jedes der Betätigungselemente 8 enthält ein Schieberorgan 9, welches sich in Vertikal­ richtung erstreckt und in dieser gleichen Richtung ver­ schiebbar ist, um den Z-Tisch zu heben. Wenn die drei Be­ tätigungselemente 8 gleichzeitig angetrieben werden, wird der Z-Tisch 3 nach oben und unten in Vertikalrichtung ver­ stellt, und wenn nur eines der Betätigungselemente 8 an­ getrieben wird, wird die Fläche des Z-Tisches 3, auf wel­ cher die Halbleiterscheibe oder dgl. befestigt ist, ge­ kippt. Es ist dabei jedoch erforderlich, daß jedes der Betätigungselemente ein Schieberorgan 9 besitzt, welches sich in Vertikalrichtung erstreckt und in dieser Richtung verschiebbar ist. Die Höhe des Z-Tisches 3 auf dem Y-Tisch 2 wird auf diese Weise verhältnismäßig groß.

Die Schieberorgane 9 der Betätigungselemente in dem Tisch­ verstellmechanismus gemäß Fig. 3 können durch Vorschub­ spindeln oder durch piezoelektrische Elemente bewegt wer­ den. In dem Fall, wo die Schieberorgane 9 durch Vorschub­ spindeln bewegt werden, ist der Bereich, in welchem sie sich bewegen können, groß, jedoch können sie nur sehr grob verstellt werden (bzw. ihre Auflösung ist niedrig oder schlecht). Der Bewegungsbereich des Z-Tisches wird auf diese Weise groß gemacht, jedoch ist seine Auflösung gering oder schlecht, und die Einstellgenauigkeit ist ent­ sprechend niedrig. Dies ist das oben erwähnte dritte Problem.

In dem anderen Fall, wo die Schieberorgane 9 durch die piezoelektrischen Elemente bewegt werden, können sie äußerst fein verstellt werden (bzw. ihre Auflösung ist hoch oder gut), doch ihr Bewegungsbereich ist verhältnis­ mäßig klein. Der Z-Tisch kann so mit hoher Genauigkeit bewegt werden, doch ist sein Bewegungsbereich klein. Dieses ist ein viertes Problem.

Eine wesentliche Aufgabe der Erfindung ist es, eine Tisch­ verstellvorrichtung zu schaffen, welche einen entlang einer eine Bezugsebene kreuzenden Linie bewegbaren Tisch aufweist, wobei der Abstand zwischen der Bezugsebene und dem beweglichen Tisch verhältnismäßig klein gemacht wer­ den kann.

Mit der Tischverstellvorrichtung soll auch das Auftreten von Abstands- und Kippfehlern des beweglichen Tisches ver­ hindert werden.

Weiterhin soll die Tischverstellvorrichtung in der Lage sein, die Auflösung des beweglichen Tisches so hoch oder gut zu machen, daß der bewegliche Tisch mit hoher Ge­ nauigkeit eingestellt wird, so gering oder schlecht auch immer die Auflösung dieser Bewegung sein möge, welche durch ein bewegliches Objekt zur Bewegung des beweglichen Tisches verursacht wird.

Ferner soll die Tischverstellvorrichtung in der Lage sein, den Bewegungsbereich des beweglichen Tisches groß zu hal­ ten, so klein der Bewegungsbereich für diese Bewegung auch sein mag, welche durch ein bewegliches Objekt zur Bewegung des beweglichen Tisches erzeugt wird.

Zur Lösung der Aufgabe besitzt eine erfindungsgemäße Tischverstellvorrichtung

• - einen eine Bezugsebene aufweisenden Bezugstisch,
• - ein bewegliches Objekt, welches entlang einer ersten Linie bewegbar ist, um eine entlang der ersten Linie wirksame Antriebskraft zu erzeugen,
• - ein Verstellorgan mit einer von dem Bezugstisch ge­ tragenen Drehachse, welches die Antriebskraft empfängt, um um die Drehachse zu schwenken und die Antriebskraft in eine zweite Kraft umzuwandeln, welche entlang einer zweiten, die Bezugsebene kreuzenden Linie wirkt, so­ wie
• - einen beweglichen Tisch, welcher von dem Bezugstisch getragen ist und die zweite Kraft empfängt, um sich entlang der zweiten Linie zu bewegen.

Die erfindungsgemäße Tischverstellvorrichtung macht es unnötig, die Lagerkugeln auf den keilförmigen Blöcken zu montieren. Außerdem macht sie es unnötig, die Schieber­ organe anzuordnen, welche sich zwischen der Bezugsebene und dem beweglichen Tisch erstrecken und zwischen diesen verschiebbar sind. Deshalb kann der Abstand zwischen der Bezugsebene und dem beweglichen Tisch kleiner gemacht werden als bei den in Fig. 1 bis 3 gezeigten Vorrich­ tungen.

Das Verstellorgan umfaßt zweckmäßigerweise ein Hebelele­ ment, welches einen ersten Punkt, an dem die Antriebs­ kraft angelegt wird, und einen zweiten Punkt, an welchem die zweite Kraft an den beweglichen Tisch angelegt wird, aufweist. Das Hebelelement wird dabei um die Drehachse schwenkbar getragen. Wenn der erste Punkt die Antriebs­ kraft empfängt, bewegt sich dieser erste Punkt entlang der ersten Linie, und das Hebelelement schwenkt um die Drehachse, um den zweiten Punkt entlang der zweiten Linie zu bewegen und die zweite Kraft auf den beweglichen Tisch anzulegen und um damit den beweglichen Tisch zu einer Bewegung entlang der zweiten Linie zu veranlassen.

Der Abstand zwischen der Drehachse und dem ersten Punkt bzw. zwischen der Drehachse und dem zweiten Punkt kann veränderlich sein, und das Verhältnis des Hebelelementes (oder der Bewegung des beweglichen Tisches im Verhältnis zur Bewegung des beweglichen Objektes) kann auf diese Weise leicht eingestellt werden. Selbst wenn das Verhält­ nis des Hebelelementes nicht richtig eingestellt wird, weil bei Anbringung des Hebelelementes ein Fehler gemacht wird, kann es deshalb leicht auf den genauen Wert hin korrigiert werden. Im Ergebnis kann der bewegliche Tisch entsprechend der Bewegung des beweglichen Objektes be­ wegt werden.

Wenn beispielsweise mehrere Hebelelemente durch die Tisch­ verstellvorrichtung betätigt werden, kommt es manchmal vor, daß das Verhältnis eines der Hebelelemente unter­ schiedlich ist zu denen der anderen Hebelelemente, weil ein Montagefehler bei diesem einen Hebelelement vorliegt. Auf diese Weise wird ein Abstandsfehler o.dgl. verursacht. Sei der erfindungsgemäßen Tischverstellvorrichtung kann jedoch das Hebelverhältnis des Hebelelementes leicht ein­ gestellt werden, und die Verhältnisse aller Hebelelemente können entsprechend leicht gleich eingestellt werden. Die Gefahr der Verursachung eines Abstandsfehlers und dgl. kann auf diese Weise klein gehalten werden.

Wenn das Hebelverhältnis eine Untersetzung ist, wird die Bewegung des beweglichen Objektes verkleinert, und die Bewegung des beweglichen Tisches wird entsprechend redu­ ziert. Selbst wenn die Aufl?sung der Sewegung des beweg­ lichen Tisches gering oder schlecht ist, kann deshalb die Bewegungsauflösung des beweglichen Tisches auf diese Weise hoch bzw. gut gemacht werden. Folglich kann der bewegliche Tisch mit hoher Genauigkeit eingestellt wer­ den. Der Bewegungsbereich des beweglichen Objektes wird dabei ebenfalls durch das Hebelelement reduziert, und der Bewegungsbereich des beweglichen Tisches kann auf diese Weise kleiner gemacht werden als in dem Fall, wo kein Hebelelement verwendet wird. Wie jedoch im Zusammenhang mit den bevorzugten Ausführungsbeispielen der Erfindung noch beschrieben wird, verursacht die Tatsache, daß der Bewegungsbereich des beweglichen Objektes durch das Hebel­ element reduziert wird, keinen praktischen Nachteil.

Wenn das Hebelverhältnis eine Übersetzung ist, wird die Bewegung des beweglichen Objektes vergrößert, und die Bewegung des beweglichen Tisches entsprechend ebenfalls vergrößert. Selbst wenn der Bewegungsbereich des beweg­ lichen Tisches klein ist, kann deshalb der Bewegungsbe­ reich des beweglichen Tisches auf diese Weise groß ge­ macht werden. Die Bewegungsauflösung des beweglichen Objektes wird in diesem Fall durch das Hebelelement ver­ größert. Deshalb kann die Auflösung des beweglichen Tisches niedriger oder schlechter gemacht werden als in dem Fall, wo kein Hebelelement verwendet ist. Wie jedoch im Zusammenhang mit den bevorzugten Ausführungsbeispielen der Erfindung noch beschrieben wird, ergibt sich kein praktischer Nachteil, selbst wenn die Bewegungsauflösung des beweglichen Objektes durch das Hebelelement vergrößert wird.

Die Erfindung wird nachfolgend an Ausführungsbeispielen anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht eines herkömmlichen Z-Tischverstellmechanismus zum Zweck einer Ver­ stellung des Z-Tisches in Vertikalrichtung,

Fig. 2 und 3 perspektivische Ansichten des herkömmlichen Tischverstellmechanismus zum Zweck einer Neigung des Z-Tisches,

Fig. 4 und 5 eine erste Ausführungsform der erfindungs­ gemäßen Tischverstellvorrichtung, wobei Fig. 4 eine perspektivische Ansicht der teilweise aus­ einandergenommenen Vorrichtung und Fig. 5 eine Schnittansicht dieser Vorrichtung zeigen,

Fig. 6 eine Schnittansicht zur Darstellung einer ersten Abwandlung der ersten Ausführungsform einer er­ findungsgemäßen Tischverstellvorrichtung,

Fig. 7 eine Schnittansicht einer zweiten Abwandlung der ersten Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Tischverstellvorrichtung,

Fig. 8 eine Schnittansicht einer zweiten Ausführungs­ form der erfindungsgemäßen Tischverstellvorrich­ tung,

Fig. 9 und 10 eine dritte Ausführungsform der erfindungs­ gemäßen Tischverstellvorrichtung, wobei Fig. 9 eine perspektivische Ansicht der teilweise aus­ einandergenommenen Vorrichtung und Fig. 10 eine Schnittansicht dieser Vorrichtung zeigen,

Fig. 11 und 12 eine vierte Ausführungsform der erfin­ dungsgemäßen Tischverstellvorrichtung, wobei Fig. 11 eine perspektivische Ansicht und Fig. 12 eine Schnittansicht zeigen,

Fig. 13 eine perspektivische Ansicht einer fünften Aus­ führungsform der erfindungsgemäßen Tischverstell­ vorrichtung, wobei die Vorrichtung teilweise auseinandergenommen ist,

Fig. 14 bis 16 Darstellungen zur Erläuterung einer ersten Abwandlung des Hebelelementes, wobei Fig. 14 eine Frontansicht zur Darstellung des bei der ersten bis fünften Ausführungsform ver­ wendeten Hebelelementes ist, Fig. 15 eine Front­ ansicht der ersten Abwandlung des Hebelelementes zeigt und Fig. 16 die Geschwindigkeitskomponenten an einem Wirkungs- bzw. zweiten Punkt des Hebel­ elementes zeigt,

Fig. 17 eine Frontansicht einer zweiten Abwandlung des Hebelelementes und

Fig. 18 eine perspektivische Ansicht einer dritten Ab­ wandlung des Hebelelementes.

Die Fig. 4 und 5 zeigen eine erste Ausführungsform der er­ findungsgemäßen Tischverstellvorrichtung. Die Tischver­ stellvorrichtung besitzt einen Bezugs- oder X-Tisch 11 mit einer Bezugsebene, welche horizontal gehalten ist und in der Horizontalrichtung (bzw. der Richtung X) verstell­ bar ist. Dieser Tisch kann so angeordnet sein, daß er sich in der Richtung Y bewegt. Oberhalb des X-Tisches 11 ist ein Z-Tisch 12 angeordnet, welcher eine horizontal gehal­ tene und in Vertikalrichtung (bzw. der Richtung Z) ver­ stellbare Ebene aufweist, auf welcher ein Objekt ange­ bracht ist. Ein nicht dargestellter Tisch, welcher eine Halbleiterscheibe einspannt, wird auf der Objektmontage­ ebene des Z-Tisches angeordnet. Ein Unter-Tisch 13 ist auf der Bezugsebene des X-Tisches 11 angeordnet, dieser Unter-Tisch 13 bewegt sich in der Richtung X, um den Z- Tisch 12 in der Richtung Z zu bewegen, wie nachfolgend noch beschrieben wird.

Der X-Tisch 11 wird entlang linearer Führungen 14, die sich in X-Richtung erstrecken, geführt und in X-Richtung durch einen Vorschubspindelmechanismus 15 verstellt. Der Unter-Tisch 13 wird entlang von linearen Führungen 16, welche sich in X-Richtung auf dem X-Tisch 11 erstrecken, geführt und in X-Richtung durch einen Vorschubspindelme­ chanismus 17 verstellt.

Eine Säule 18 steht auf der Bezugsebene des X-Tisches 11. Der Z-Tisch 12 und der Unter-Tisch 13 besitzen Durchbrüche 19 bzw. 20, durch welche die Säule 18 hindurchgeht. Ein Ende einer jeden von drei Blattfedern 21 ist an dem oberen Ende der Säule 18 befestigt, während ihr jeweiliges anderes Ende an dem Innenumfang des Durchbruchs 19 in dem Z-Tisch 12 befestigt ist. Der Z-Tisch 12 wird auf diese Weise von der Säule 18 über die Blattfedern 21 getragen, und wenn sich die Blattfedern 21 elastisch verformen, kann sich der Z-Tisch 12 in Z-Richtung bewegen.

Die erfindungsgemäße Tischverstellvorrichtung besitzt drei Hebelelemente 30 (in Fig. 4 sind zwei von ihnen zu sehen, während das andere nicht zu sehen ist, weil es sich hinter der Säule 18 befindet) zur Umwandlung einer Antriebskraft des Unter-Tisches 13 in X-Richtung in eine Kraft in Z-Richtung, um dadurch den Z-Tisch 12 in Z-Rich­ tung zu verstellen.

Das Hebelelement 30 besitzt eine Stange 31, welche als Drehachse dient, und es kann um diese Stange 31 schwenken. Die Stange 31 wird schwenkbar von einem (nicht gezeigten) Element auf dem X-Tisch 11 getragen. Das Hebelelement 30 besitzt einen ersten Arm 32, welcher sich von der Po­ sition der Stange 31 in senkrechter Richtung erstreckt und in ein rechteckiges Loch 22 des Unter-Tisches 13 ein­ gesteckt ist, und einen zweiten Arm 33, welcher sich von der Position der Stange 31 in horizontaler Richtung er­ streckt. Ein erster Vorsprung 34 ist an der Innenseite des rechteckigen Loches 22 in dem Unter-Tisch 13 ange­ ordnet und mit dem ersten Arm 32 an dessen äußerstem Ende in Berührung. Das äußerste Ende des ersten Vorsprungs 34 dient als erster Punkt (oder Druckpunkt), an welchen die Antriebskraft des Unter-Tisches 13 in X-Richtung an­ gelegt wird. Ein zweiter Vorsprung 35 ist auf der Ober­ seite des zweiten Arms 33 angeordnet und mit der Unter­ seite des Z-Tisches 12 an dessen äußerstem Ende in Be­ rührung. Das äußerste Ende des zweiten Vorsprungs 35 dient als zweiter Punkt (oder Druckpunkt) zur Anlegung der Kraft in Z-Richtung an den Z-Tisch.

Die Unterseite des Z-Tisches 12 drückt den zweiten Vor­ sprung 35 aufgrund der Elastizität der Blattfedern 21 nach unten. Die Position des ersten Vorsprungs 34, wel­ cher an der Innenseite des Loches 22 in dem Unter-Tisch 13 angebracht ist, kann in Z-Richtung verstellt werden. Die Position des zweiten Vorsprungs 35, welcher an dem zweiten Arm 33 angebracht ist, kann in X-Richtung ver­ stellt werden.

Wenn der Unter-Tisch 13 in X-Richtung verstellt wird (oder nach links in Fig. 5), drücken die ersten Vor­ sprünge 34 des Unter-Tisches 13 gegen die ersten Arme (oder Druckpunkte) 32 der Hebelelemente 30. Jedes der Hebelelemente 30 wird auf diese Weise in Uhrzeigerrich­ tung um die Stange (bzw. die Drehachse) 31 verschwenkt. Folglich drücken die zweiten Vorsprünge (oder Druckpunkte) 35 an den zweiten Armen 33 der Hebelelemente 30 gegen die Unterseite des Z-Tisches 12. Der Z-Tisch 12 wird auf diese Weise nach oben in Z-Richtung gegen die elastische Vorspannung der Blattfedern 21 gedrückt. Wenn der Unter- Tisch 13 nach rechts in Fig. 5 bewegt wird, wird der Z- Tisch 12 durch die Blattfedern 21 nach unten in Z-Rich­ tung verstellt, und jedes der Hebelelemente 30 wird in Gegenuhrzeigerrichtung um die Stange (oder Drehachse) 31 verschwenkt.

Die erste Ausführungsform der Erfindung macht es unnötig, Lagerkugeln auf keilförmigen Blöcken entsprechend der Darstellung in den Fig. 1 und 2 vorzusehen. Außerdem macht sie es unnötig, Schieberelemente, welche sich zwi­ schen dem X- und dem Z-Tisch erstrecken und zwischen ihnen verschiebbar sind, vorzusehen. Die Höhe des Z- Tisches über dem X-Tisch kann geringer gemacht werden als bei den Mechanismen gemäß der Darstellung in den Fig. 1 bis 3.

Der Z-Tisch wird durch drei Hebelelemente verstellt, und die Objektmontageebene des Z-Tisches kann auf diese Weise genau horizontal gehalten werden. Außerdem legt der Unter- Tisch die Antriebskraft in X-Richtung an die drei Hebel­ elemente gleichzeitig an. Deshalb können ein Abstands­ fehler und dgl. viel schwerer verursacht werden als in dem Fall, wo die Antriebskraft in X-Richtung an ein Hebel­ element unabhängig von den anderen beiden angelegt wird.

Wie in den Fig. 5 und 6 gezeigt, bestimmt das Verhältnis zwischen dem Abstand (a) von der Drehachse zu dem ersten Punkt (oder Druckpunkt) und dem Abstand (b) von der Dreh­ achse zu dem zweiten Punkt (oder Druckpunkt) gewöhnlich das Hebelverhältnis des Hebelelementes (oder das Verhält­ nis der Bewegung des Z-Tisches zur Bewegung des Unter- Tisches). Genauer gesagt, besitzt das Hebelelement einen ersten Kreuzungspunkt (c), wo eine durch den ersten Punkt gehende und sich in X-Richtung erstreckende Linie eine zu dieser Linie senkrechte und durch die Drehachse gehende Ebene kreuzt sowie einen zweiten Kreuzungspunkt (d), wo eine durch den zweiten Punkt gehende und sich in Z-Rich­ tung erstreckende Linie eine zu dieser Linie senkrechte und durch die Drehachse gehende Ebene kreuzt. Das Verhält­ nis des Abstands (e) zwischen dem ersten Kreuzungspunkt (c) und der Drehachse und des Abstandes (f) zwischen dem zweiten Kreuzungspunkt (d) und der Drehachse bestimmt das Hebelverhältnis der Hebelelemente.

Dieses Verhältnis kann leicht durch Verstellung der Po­ sitionen des ersten und zweiten daran angebrachten Vor­ sprungs 34 bzw. 35 eingestellt werden. Selbst wenn das Hebelverhältnis des Hebelelementes aufgrund eines Montage­ fehlers des Hebelelementes nicht richtig eingestellt ist, kann es deshalb leicht auf den richtigen Wert korrigiert werden. Der Z-Tisch kann deshalb entsprechend der Be­ wegung des Unter-Tisches verstellt werden.

Wenn das Hebelverhältnis eines der Hebelelemente unter­ schiedlich zu dem der anderen beiden eingestellt ist, wird ein Abstandsfehler o.dgl. verursacht. Das Hebelver­ hältnis der Hebelelemente kann jedoch leicht eingestellt werden, und die Hebelverhältnisse aller Hebelelemente können so leicht auf den gleichen Wert eingestellt wer­ den. Der Z-Tisch kann deshalb aufwärts und abwärts ver­ stellt werden, wobei er seine Objektmontageebene horizon­ tal hält, so daß die Möglichkeit des Auftretens eines Abstandsfehlers o.dgl. gering gehalten werden kann.

Wenn a < b oder genauer e < f, wie in Fig. 5 gezeigt, dann ist das Hebelverhältnis des Hebelelementes eine Unter­ setzung. Die Verstellung des Unter-Tisches wird deshalb untersetzt, und die Verstellung des Z-Tisches wird pro­ portional untersetzt. Selbst wenn die Auflösung des Unter- Tisches gering oder schlecht ist, wird deshalb die Auf­ lösung des Z-Tisches hoch und gut gemacht, und die Po­ sitionierung des Z-Tisches kann auf diese Weise mit hoher Genauigkeit erreicht werden.

Wenn das Hebelverhältnis eine Untersetzung ist, wird der Vorschubspindelmechanismus 17 dazu verwendet, den Unter- Tisch zu verstellen. Der Vorschubspindelmechanismus 17 enthält einen Motor, eine Vorschubspindel und ein Ver­ schiebeelement, welches durch die Vorschubspindel in deren Axialrichtung verschoben wird. Wenn das Verschiebeelement in X-Richtung verstellt wird, wird der Unter-Tisch in X- Richtung verstellt. Die Auflösung dieses Verschiebeele­ mentes ist gewöhnlich niedrig oder schlecht, jedoch kann die Auflösung des Z-Tisches hoch bzw. gut gemacht werden.

Der Verstellbereich des Verschiebeelementes wird durch die Hebelelemente in diesem Fall reduziert. Der Verstell­ bereich des Z-Tisches kann entsprechend kleiner gemacht werden als in dem Fall, wo kein Hebelelement verwendet wird. Ein Vorschubspindelmechanismus 17 kann jedoch ge­ wöhnlich das Verschiebeelement in einem extrem großen Be­ reich verstellen. Obwohl er ein wenig verringert werden kann, wird der Verstellbereich des Z-Tisches nicht so klein gemacht, daß dies praktische Nachteile verursachen würde. Deshalb bringt es keine praktischen Nachteile mit sich, daß der Verstellbereich des Verschiebeelementes durch die Hebelelemente verringert wird.

Wenn das Hebelverhältnis eine Untersetzung ist, kann ein piezoelektrisches Element zur Verstellung des Unter-Tisches verwendet werden, dessen Auflösung extrem hoch bzw. gut ist. Die Auflösung des Z-Tisches kann in diesem Fall extrem hoch bzw. gut gemacht werden.

Fig. 6 zeigt eine erste Abwandlung der ersten Tischver­ stellvorrichtung nach der Erfindung. Wenn a < b, oder genauer, wenn e < f, wie in Fig. 6 gezeigt, dann ist das Hebelverhältnis des Hebelelementes eine Übersetzung, und die Verstellung des Unter-Tisches wird vergrößert, und auch die Bewegung des Z-Tisches wird entsprechend ver­ größert. Selbst wenn der Bewegungsbereich des Unter- Tisches klein ist, kann deshalb derjenige des Z-Tisches groß gemacht werden.

Wenn das Hebelverhältnis eine Übersetzung beinhaltet, wird ein piezoelektrisches Element 23 zur Verstellung des Unter-Tisches verwendet. Das piezoelektrische Element kann gewöhnlich den Unter-Tisch nicht über einen großen Abstand verstellen. Wie oben beschrieben, kann jedoch der Be­ wegungsabstand des Z-Tisches groß gemacht werden, selbst wenn der Bewegungsbereich des Unter-Tisches klein ist.

Die Auflösung des Unter-Tisches wird also durch die Hebel­ elemente in diesem Fall vergrößert. Deshalb kann die Auf­ lösung des Z-Tisches niedriger bzw. schlechter gemacht werden als in dem Fall, wo kein Hebelelement verwendet wird. Das piezoelektrische Element kann jedoch den Unter- Tisch in einer hohen Auflösung verstellen. Selbst wenn sie auf diese Weise ein wenig klein bzw. schlecht sein sollte, kann die Auflösung des Z-Tisches nicht so gering oder schlecht gemacht werden, daß sie praktische Nachteile verursachen würde. Es bringt deshalb keinerlei praktischen Nachteil mit sich, daß die Auflösung des Unter-Tisches durch die Hebelelemente vergrößert wird.

Fig. 7 zeigt eine zweite Abwandlung der ersten erfindungs­ gemäßen Tischverstellvorrichtung. Der erste Punkt (oder Druckpunkt), an welchem der Unter-Tisch 13 auf das Hebel­ element wirkt, ist in diesem Fall unter dem X-Tisch ange­ ordnet. Denn in dem X-Tisch ist ein Durchbruch 36 ausge­ bildet. Ein Arm 37, der sich von dem Unter-Tisch 13 nach unten erstreckt, geht durch den Durchbruch 36. Ein erster Vorsprung 34 ist an dem unteren Endabschnitt des Armes 37 angeordnet und mit dem ersten Arm 32 an dessen äußersten Ende in Berührung, um den ersten Punkt (bzw. Druckpunkt) zu definieren).

Der erste Punkt (oder Druckpunkt) ist bei dieser zweiten Abwandlung unterhalb des X-Tisches angeordnet. So kann die Höhe des Z-Tisches bezüglich des X-Tisches geringer gemacht werden als in dem Fall der ersten Ausführungsform, wie sie in den Fig. 4 und 5 gezeigt ist.

Fig. 8 zeigt eine zweite Ausführungsform der erfindungs­ gemäßen Tischverstellvorrichtung. Die Z-Tischverstellvor­ richtung soll dabei den Z-Tisch sowohl kippen als auch auf und ab bewegen. Wenn der Z-Tisch geneigt ist, kann die Objektmontageebene des Z-Tisches, welche fehlerhaft geneigt ist, korrigiert werden.

Der erste Arm 32 des Hebelelementes 30 erstreckt sich nach unten und geht durch den Durchbruch 36 des X-Tisches 11. Drei Betätigungselemente 38 (zwei Hebelelemente und Be­ tätigungselemente sind in Fig. 8 gezeigt, während die übrigen Teile nicht zu sehen sind) zum Anlegen der An­ triebskraft an ihre entsprechenden drei Hebelelemente sind an den Armen 44 befestigt, welche sich von dem X- Tisch 11 nach unten erstrecken. Das Betätigungselement 38 ist ein Vorschubspindelmechanismus. Das Betätigungsele­ ment 38 enthält einen Codierer 39, einen Motor 40, einen Geschwindigkeitsreduzierer 41, eine mit der Drehwelle des Geschwindigkeitsreduzierers 41 verbundene Vorschubspindel 42 und ein Schieberelement 43, welches durch die Vorschub­ spindel in X-Richtung verschoben wird. Das äußerste Ende des Schieberelementes 43 schlägt gegen den ersten Arm des Hebelelementes, um den ersten Punkt (bzw. Druckpunkt) zu definieren.

Wenn drei Betätigungselemente 38 gleichzeitig angetrieben werden, legt deshalb jedes der Hebelelemente die Antriebs­ kraft eines jeden Schieberelementes 43 der Betätigungs­ elemente 38 an den Z-Tisch 12, um ihn aufwärts und abwärts zu verstellen.

Wenn eines der Betätigungselemente 38 angetrieben wird, legt sein entsprechendes Hebelelement die Antriebskraft des Schieberelementes 43 an den Z-Tisch 12. Folglich wird der Z-Tisch 12 an einem Punkt aufwärts bzw. abwärts ver­ stellt und somit gekippt.

Das Verhältnis (e : f) des Abstandes (e) zwischen der Drehachse des Hebelelementes und dem ersten Kreuzungs­ punkt (c) und des Intervalls (f) zwischen der Drehachse und dem zweiten Kreuzungspunkt (d) ist bei dieser zwei­ ten Tischverstellvorrichtung auf 1 : 3 eingestellt. Die Auflösung und der Bewegungsbereich des Z-Tisches kann in diesem Fall vom Gesichtspunkt der praktischen Verwendung möglichst zweckmäßig eingestellt werden. Deshalb ist die zweite Tischverstellvorrichtung vorteilhafter als der in Fig. 3 gezeigte Tischverstellmechanismus, da die Auflösung des Z-Tisches höher bzw. besser gemacht werden kann als die des in Fig. 3 gezeigten Mechamismus.

Das Betätigungselement kann ein piezoelektrisches Element sein. Die Auflösung des Z-Tisches kann in diesem Fall extrem hoch bzw. gut gemacht werden. Außerdem kann das Hebelverhältnis des Hebelelementes auf eine Übersetzung eingestellt werden.

Die Fig. 9 und 10 zeigen ein drittes Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Tischverstellvorrichtung. Diese dritte Tischverstellvorrichtung ist so gestaltet, daß sie den Z-Tisch neigen kann.

Die dritte Tischverstellvorrichtung ist weitgehend der ersten ähnlich, gegenüber dieser jedoch darin unter­ schiedlich, daß die Betätigungselemente auf dem Unter- Tisch angeordnet sind. Jedes der Betätigungselemente 51 ist auf dem Unter-Tisch 13 angeordnet, um die Antriebs­ kraftbewegung an ein jedes der Hebelelemente 30 anzu­ legen. Das äußerste Ende eines jeden Schieberelementes 52 für die Betätigungselemente 51 schlägt jeweils gegen den ersten Arm 32 des jeweiligen Hebelelementes 30, um den ersten Punkt (bzw. Druckpunkt) festzulegen. Das Be­ tätigungselement 51 kann ein Vorschubspindelmechanismus oder ein piezoelektrisches Element sein.

Wenn der Unter-Tisch 12 in X-Richtung bewegt wird, wird deshalb die Antriebskraft des Unter-Tisches an die drei Hebelelemente gleichzeitig angelegt, und die drei Hebel­ elemente legen die Kraft an den Z-Tisch an, um diesen auf­ wärts bzw. abwärts zu verstellen. Wenn nur eines der Be­ tätigungselemente 51 angetrieben wird, kann der Z-Tisch geneigt werden.

Sowohl diese dritte Tischverstellvorrichtung als auch die in Fig. 3 gezeigte sind derart ausgelegt, daß sie den Z-Tisch neigen und auf- bzw. abbewegen können. Die bei­ den unterscheiden sich voneinander jedoch darin, daß die drei Betätigungselemente bei dem in Fig. 3 gezeigten Me­ chanismus dazu dienen, den Z-Tisch zu neigen als auch ihn aufwärts bzw. abwärts zu bewegen, während bei der dritten Tischverstellvorrichtung der Unter-Tisch dazu dient, ihn aufwärts bzw. abwärts zu bewegen und die Be­ tätigungselemente dazu dienen, ihn (den Z-Tisch) zu nei­ gen. Wenn er (der Z-Tisch) deshalb bei dem in Fig. 3 ge­ zeigten Mechanismus aufwärts und abwärts bewegt wird, ist es notwendig, daß drei Betätigungselemente 8 gleich­ zeitig angetrieben werden und daß die Schieberelemente 9 über den gleichen Abstand bewegt werden. Es ist jedoch schwierig, drei Betätigungselemente 8 auf diese Weise zu steuern. Entsprechend wird leicht ein Abstandsfehler o.dgl. verursacht. Im Gegensatz dazu wird die Kraft des Unter- Tisches im Fall der dritten Tischverstellvorrichtung gleichzeitig an die drei Hebelelemente angelegt, um den Z-Tisch aufwärts bzw. abwärts zu bewegen. Die zur Steuerung der Aufwärts- bzw. Abwärtsbewegung des Z-Tisches erforder­ liche Steuerung kann deshalb leicht vorgenommen werden, und die Möglichkeit des Auftretens eines Abstandsfehlers o.dgl. kann entsprechend gering gehalten werden.

Außerdem ist bei der dritten Tischverstellvorrichtung das Hebelverhältnis des Hebelelementes eine Untersetzung. Die dritte Tischverstellvorrichtung ist deshalb auf diese Weise vorteilhafter als der in Fig. 3 gezeigte Mechanismus, da ein Abstandsfehler nicht so leicht verursacht wird und die Auflösung des Z-Tisches besser ist.

Wenn das Betätigungselement 51 ein piezoelektrisches Ele­ ment ist, dessen Auflösung hoch bzw. gut ist, kann der Unter-Tisch den Z-Tisch grob verstellen, während die Be­ tätigungselemente ihn fein verstellen können.

Die Fig. 11 und 12 zeigen eine vierte Ausführungsform der erfindungsgemäßen Tischverstellvorrichtung. Diese vierte Tischverstellvorrichtung unterscheidet sich von der dritten darin, daß der Angriffspunkt bzw. erste Punkt eines jeden der Hebelelemente unterhalb des X-Tisches liegt. Die Höhe des Z-Tisches bezüglich des X-Tisches kann auf diese Weise bei der vierten Tischverstellvor­ richtung niedriger als bei der dritten gemacht werden. In dem X-Tisch sind Durchbrüche 53 ausgebildet. Ein Arm 54, der sich von dem Unter-Tisch 13 nach unten erstreckt, geht durch einen jeden der Durchbrüche 53. An dem unteren Ende des Arms 54 ist jeweils ein Betätigungselement 51 angebracht. Das äußerste Ende des Schieberelementes 52 dieses Betätigungselementes schlägt gegen den zweiten Arm 33, um den ersten Punkt (bzw. Druckpunkt) zu definieren.

Fig. 11 zeigt, daß die Drehachse eines jeden Hebelelementes 30 durch den X-Tisch durch einen Bügel 55 gehalten ist. Außerdem ist in Fig. 11 ein Mechanismus 56 zur Verstellung des Unter-Tisches 13 gezeigt. Der Mechanismus 56 verstellt den Unter-Tisch 13 in X-Richtung durch Verstellung eines keilförmigen Blocks 57 in Y-Richtung und durch Verschieben einer Lagerkugel 58 auf der abgeschrägten Oberfläche des keilförmigen Blocks 57.

Fig. 13 zeigt eine fünfte Ausführungsform der erfindungs­ gemäßen Tischverstellvorrichtung. Diese fünfte Ausführungs­ form ist mit einem Tisch bzw. R-Tisch 61 versehen, welcher sich um eine Axiallinie Z dreht. Hebelelemente 30 sind auf dem Außenumfang des R-Tisches 61 in jeweils einem be­ stimmten Abstand angeordnet. Ein erster Vorsprung 34 er­ streckt sich von dem Außenumfang des R-Tisches 61 nach außen und ist mit dem ersten Arm 32 eines jeden Hebel­ elementes in Berührung. Wenn der R-Tisch 61 sich dreht, drücken deshalb die ersten Vorsprünge 34 gegen die ersten Arme 32, und die Hebelelemente 30 werden auf diese Weise so geschwenkt, daß sie den Z-Tisch 12 nach oben bzw. nach unten verstellen.

Die Fig. 14 bis 16 sollen eine erste Abwandlung des Hebel­ elementes erläutern. Der zweite Punkt (bzw. Druckpunkt) ist in dem Fall des in Fig. 14 gezeigten Hebelelementes höher angeordnet als der zweite Kreuzungspunkt (d). Wenn beispielsweise die Kraft des Unter-Tisches an das Hebel­ element angelegt wird, um es zu verschwenken, enthalten die Bewegungskomponenten an dem zweiten Punkt jeweils solche in den Richtungen Z und X, wie in Fig. 16 gezeigt ist. Das macht es unmöglich, daß die Bewegung des Z-Tisches proportional zur Bewegung des Unter-Tisches ist. Im Gegen­ satz dazu ist im Fall des in Fig. 15 gezeigten Hebelele­ mentes der zweite Punkt (bzw. Druckpunkt) auf der gleichen Höhe wie der zweite Kreuzungspunkt (d) angeordnet. Wie in Fig. 16 gezeigt, existiert deshalb an dem zweiten Punkt lediglich eine Bewegungskomponente in Z-Richtung. Dies macht es möglich, daß die Bewegung des Z-Tisches pro­ portional zu der Bewegung des Unter-Tisches ist. Es ist deshalb vorzuziehen, daß der zweite Punkt des Hebelele­ mentes auf der gleichen Höhe wie der zweite Kreuzungs­ punkt (d) angeordnet wird. Das gleiche kann man bezüglich des ersten Punktes (bzw. Druckpunktes) sagen.

Fig. 17 zeigt eine zweite Abwandlung des Hebelelementes. Ein Betätigungselement 71 ist an dem zweiten Arm 33 des Hebelelementes angebracht. Das äußerste Ende des Schieber­ elementes 72 des Betätigungselementes 71 schlägt gegen die Unterseite des Z-Tisches 12, um den zweiten Punkt (bzw. Druckpunkt) zu definieren.

Der Z-Tisch wird durch das Betätigungselement an einem Punkt bewegt und entsprechend in diesem Fall geneigt. Wenn das Betätigungselement 71 ein piezoelektrisches Ele­ ment ist, wird der Z-Tisch durch das Betätigungselement äußerst fein verstellt.

Fig. 18 zeigt eine dritte Abwandlung des Hebelelementes. Der erste und der zweite Punkt (bzw. Druckpunkt) sind in den oben beschriebenen Ausführungsformen auf der Ebene Z-X angeordnet, sie können jedoch auch in Y-Richtung gegeneinander verschoben sein, wie in Fig. 18 gezeigt ist.

Es versteht sich, daß die Erfindung nicht auf die oben beschriebenen Ausführungsbeispiele beschränkt ist. Es versteht sich auch, daß der Tisch, welcher durch die Tischverstellvorrichtung nach der Erfindung verstellt wird, nicht auf einen in Vertikalrichtung verstellbaren Z-Tisch beschränkt ist. Der Tisch kann auch auf einer die Bezugsebene kreuzenden Linie verstellt werden.

Claims (24)

1. Tischverstellvorrichtung mit

• - einem eine Bezugsebene aufweisenden Bezugstisch (11),
• - einem beweglichen Objekt, welches entlang einer ersten Linie bewegbar ist, um eine entlang der ersten Linie wirksame Antriebskraft zu erzeugen, und
• - einem von dem Bezugstisch (11) getragenen beweglichen Tisch (12), gekennzeichnet durch ein Verstellorgan mit einer von dem Bezugstisch (11) getragenen Drehachse, welches die Antriebskraft empfängt, um dadurch um die Drehachse zu schwenken und die Antriebskraft in eine zweite Kraft umzuwandeln, welche entlang einer zweiten, die Bezugsebene kreuzen­ den Linie wirkt, so daß der bewegliche Tisch (12) die zweite Kraft empfängt und sich entlang der zweiten Linie bewegt.

2. Verstellvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Verstellorgan ein Hebelelement (30) aufweist, welches einen ersten Punkt, an dem die An­ triebskraft angelegt wird, und einen zweiten Punkt, an welchem die zweite Kraft an den beweglichen Tisch (12) angelegt wird, aufweist, daß das Hebelelement (30) um die Drehachse schwenkbar gehalten ist und daß dann, wenn der erste Punkt die Antriebskraft empfängt, dieser erste Punkt sich ent­ lang der ersten Linie bewegt und das Hebelelement (30) um die Drehachse schwenkt, um den zweiten Punkt entlang der zweiten Linie zu bewegen und die zweite Kraft an den beweglichen Tisch (12) anzulegen und damit den be­ weglichen Tisch (12) zu einer Bewegung entlang der zweiten Linie zu veranlassen.

3. Verstellvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Abstand zwischen der Drehachse und dem ersten Punkt kleiner ist als der zwischen der Dreh­ achse und dem zweiten Punkt.

4. Verstellvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Abstand zwischen der Drehachse und dem ersten Punkt größer ist als der zwischen der Dreh­ achse und dem zweiten Punkt.

5. Verstellvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Hebelelement (30) eine Einrichtung zur Einstellung der Abstände zwischen der Drehachse und dem ersten Punkt sowie zwischen der Drehachse und dem zweiten Punkt aufweist.

6. Verstellvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der erste Punkt des Hebelelementes (30) auf einer Seite der Bezugsebene und der zweite Punkt sowie der bewegliche Tisch (12) auf der anderen Seite der Bezugsebene angeordnet sind.

7. Verstellvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Hebelelement (30) einen ersten Kreuzungspunkt (c) aufweist, wo die durch den ersten Punkt gehende erste Linie eine zu dieser Linie recht­ winkelige und durch die Drehachse gehende Ebene kreuzt, und daß es einen zweiten Kreuzungspunkt (d) aufweist, wo die durch den zweiten Punkt gehende zweite Linie eine zu dieser Linie rechtwinkelige und durch die Dreh­ achse gehende Ebene kreuzt.

8. Verstellvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Abstand zwischen der Drehachse und dem ersten Kreuzungspunkt (c) kleiner ist als der zwi­ schen der Drehachse und dem zweiten Kreuzungspunkt (d).

9. Verstellvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Abstand zwischen der Drehachse und den ersten Kreuzungspunkt (c) größer ist als der zwi­ schen der Drehachse und dem zweiten Kreuzungspunkt (d).

10. Verstellvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das Hebelelement (30) eine Einrichtung zur Einstellung der Abstände zwischen der Drehachse und dem ersten Kreuzungspunkt (c) sowie zwischen der Drehachse und dem zweiten Kreuzungspunkt (d) aufweist.

11. Verstellvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der bewegliche Tisch (12) eine Objekt­ montageebene parallel zu der Bezugsebene aufweist und daß die erste Linie sich entlang einer zu der Bezugs­ ebene parallelen Ebene erstreckt, während sich die zweite Linie entlang einer zu der Bezugsebene senk­ rechten Ebene erstreckt.

12. Verstellvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der bewegliche Tisch (12) auf dem Be­ zugstisch (11) durch ein elastisches Element (21) getragen wird und deshalb gewöhnlich durch das elastische Element (21) entlang der zweiten Linie gegen den zweiten Punkt des Hebelelementes (30) ge­ drückt wird.

13. Verstellvorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Verstellelemente mindestens drei Hebelelemente (30) aufweisen und daß die zweiten Punkte dieser Hebelelemente (30) voneinander getrennt sind.

14. Verstellvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das bewegliche Objekt eine Einrichtung zum Anlegen der Antriebskraft gleichzeitig an die mehreren Hebelelemente (30) aufweist.

15. Verstellvorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Anlegeeinrichtung einen Unter-Tisch (13) aufweist, der von dem Bezugstisch (11) getragen wird und entlang der ersten Linie bewegbar ist, so daß der Unter-Tisch (13) die Antriebskraft gleich­ zeitig an die ersten Punkte anlegt.

16. Verstellvorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die ersten Punkte der Hebelelemente (30) auf einer Seite der Bezugsebene und ihre zweiten Punkte sowie der bewegliche Tisch (12) auf der anderen Seite der Bezugsebene angeordnet sind.

17. Verstellvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das bewegliche Objekt Betätigungsele­ mente (38) aufweist, welche von dem Bezugstisch (11) getragen werden und dazu dienen, die Antriebskraft jeweils an die ersten Punkte anzulegen.

18. Verstellvorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die ersten Punkte der Hebelelemente (30) und die Betätigungselemente (38) auf einer Seite der Bezugsebene und ihre zweiten Punkte sowie der beweg­ liche Tisch (12) auf der anderen Seite der Bezugsebene angeordnet sind.

19. Verstellvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das bewegliche Objekt einen von dem Be­ zugstisch getragenen und entlang der ersten Linie be­ wegbaren Unter-Tisch (13) sowie von dem Unter-Tisch (13) getragene und zum Anlegen der Antriebskraft an die ersten Punkte dienende Betätigungselemente (51) aufweist und daß bei Nichtbetätigung der Betätigungselemente (51) der Unter-Tisch (13) die Antriebskraft gleichzeitig an die ersten Punkte anlegt.

20. Verstellvorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die ersten Punkte der Hebelelemente (30) und die Betätigungselemente (51) auf einer Seite der Bezugsebene und ihre zweiten Punkte sowie der beweg­ liche Tisch (12) auf der anderen Seite der Bezugs­ ebene angeordnet sind.

21. Verstellvorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekenn­ zeichnet, daß das bewegliche Objekt einen von dem Be­ zugstisch (11) getragenen und um die zweite Linie be­ wegbaren Drehtisch (61) aufweist, daß die erste Linie mit der Umfangsrichtung des Drehtisches übereinstimmt und daß dann, wenn sich der Drehtisch (61) dreht, dieser die in Umfangsrichtung wirkende Antriebskraft gleichzeitig an die ersten Punkte anlegt.

22. Verstellvorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der erste und der zweite Punkt jeweils dem ersten bzw. zweiten Kreuzungspunkt (c, d) ent­ sprechen.

23. Verstellvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Hebelelemente (30) ein Betätigungs­ element (71) zum Anlegen der zweiten Kraft von dem zweiten Punkt an den beweglichen Tisch (12) auf­ weist.

24. Verstellvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der erste und der zweite Punkt des Hebelelementes (30) gegeneinander in einer Richtung verschoben sind, die sich entlang der Axiallinie der Drehachse erstreckt.