DE4136882A1 - Positioniervorrichtung fuer eine bearbeitungsmaschine fuer werkstuecke - Google Patents
Positioniervorrichtung fuer eine bearbeitungsmaschine fuer werkstueckeInfo
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Description
Die Erfindung betrift eine Positioniervorrichtung
für eine Bearbeitungsmaschine für Werkstücke, mit
einem Werkstückhalter, mit einer
Werkstückhalteraufnahme, insbesondere einem Joch,
und mit mehreren Verstelleinrichtungen zum Ausführen
von Translationsbewegungen des Werkstückes in
mindestens zwei Richtungen (X, Z-Richtung) und
Rotationsbewegung des Werkstückes um drei Achsen
(X,Y,Z-Achse), wobei die Verstelleinrichtungen für
mindestens eine Translations- und eine
Rotationsbewegung zwischen dem Werkstückhalter und
der Werkstückhalteraufnahme angeordnet sind.
Derartige Positioniervorrichtungen werden
beispielsweise bei der Bearbeitung von Lagerschalen
eingesetzt. Die teilfertigen Lagerschalen müssen
nach dem Herstellungsprozeß an der Innenseite noch
geräumt werden, um eine vorgegebene Wanddicke zu
erzeugen und um die Exzentrizität der Lagerschalen
zu minimieren. Hierzu ist es erforderlich, daß die
Lagerschalen in mehrere Richtungen verschoben und um
mehrere Achsen gedreht werden können, wobei die
Positionierung im Mikrometerbereich erfolgen muß, um
die erforderliche Qualität der Lagerschale
sicherzustellen.
Aus dem deutschen Gebrauchsmuster G 89 08 458.6 ist
eine Einspann- und Verstelleinrichtung für eine
Räummaschine zum spanabhebenden Bearbeiten von
Werkstücken bekannt, die hydraulisch arbeitende
Verstelleinrichtungen aufweist, die an der
Werkstückaufnahme angreifen. Da lediglich unter und
über der Werkstückaufnahme hydraulische
Verstelleinrichtungen angeordnet sind, so daß der
Werkstückhalter zwischen den Druckkammern der
hydraulischen Verstelleinrichtungen eingespannt ist,
sind die Bewegungsmöglichkeiten beschränkt.
Weiterhin ist eine Positioniervorrichtung bekannt,
die insgesamt sieben hydraulische
Verstelleinrichtungen gemäß dem G 89 08 458.6
aufweist. Die Lageraufnahme ist von insgesamt drei
hydraulischen Verstelleinrichtungen umgeben, um eine
Rotation und Kippbewegung ausführen zu können. Für
die Vertikalbewegungen sind weitere vier
hydraulische Verstelleinrichtungen vorgesehen, die
an einem mit der Lageraufnahme fest verbundenem
Bauteil angreifen. Die Anordnung der
Verstelleinrichtungen ist hierbei so gewählt, daß
sich die Einzelbewegungen gegenseitig beeinflussen,
mit der Folge, daß eine gezielte und reproduzierbare
Positionierung nicht möglich ist.
Um die Lagerschale in der Aufnahme festzuspannen,
sind Spannpratzen mit einer Gelenkeinrichtung
vorgesehen, wobei der Kraftfluß dieser
Spanneinrichtung im wesentlichen senkrecht zur
Lagerachse durch die Positioniervorrichtung
verläuft. Da ein Teil der hydraulischen
Verstelleinrichtungen bei dieser bekannten
Positioniervorrichtung sich im Kraftfluß der
Spanneinrichtung befindet, werden diese
Verstelleinrichtungen nachteilig beeinflußt. Dies
beruht insbesondere darauf, daß die Druckkammern der
hydraulischen Verstelleinrichtungen - wie sie in
G 89 08 458.6 beschrieben sind - aus einer
schlauchförmigen Membran aus flexiblem Material
gebildet sind. Daher wird beim Einspannen der
Lagerschale diese flexible Membran komprimiert,
wodurch die Genauigkeit der Positionierung ebenfalls
beeinträchtigt wird.
Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine
Positioniervorrichtung zu schaffen, die sich durch
eine erhöhte Einstellgenauigkeit und verbesserte
Einstellmöglichkeit auszeichnet.
Diese Aufgabe wird mit einer Positioniervorrichtung
gemäß dem Patentanspruch 1 gelöst.
Die Erfindung geht von der Erkenntnis aus, daß eine
Verbesserung der Verstellgenauigkeit dann erreicht
wird, wenn bestimmte Verstellbewegungen voneinander
entkoppelt werden, so daß keine gegenseitige
Beeinflussung erfolgen kann. Diese Entkopplung wird
dadurch erreicht, daß die Werkstückhalteraufnahme
beweglich angeordnet ist, wobei ein Teil der
Verstelleinrichtungen zwischen dem Werkstückhalter
und der Werkstückhalteraufnahme und der andere Teil
der Verstelleinrichtungen zwischen der
Werkstückhalteraufnahme und einem ortsfesten
Maschinenteil der Bearbeitungsmaschine angeordnet
sind.
Die Verstelleinrichtungen lassen sich damit in zwei
Gruppen einteilen, wobei diejenigen
Verstelleinrichtungen, die zwischen dem
Werkstückhalter und der Werkstückhalteraufnahme
angeordnet sind, als erste Gruppe und die
Verstelleinrichtungen, die zwischen der
Werkstückhalteraufnahme und einem ortsfesten
Maschinenteil angeordnet sind, als zweite Gruppe
bezeichnet werden.
Die Anordnung der Verstelleinrichtungen ist so
gewählt, daß die erste Gruppe der
Verstelleinrichtung eine Translation beispielsweise
in X-Richtung und eine Rotation beispielsweise um
die Z-Achse ausführt und daß die zweite Gruppe die
Rotation um die X-Achse und eine Translation längs
der Z-Achse bewirkt und gegebenenfalls zusätzlich
noch eine Rotation um die Y-Achse ausführt.
Die Entkopplung der Bewegungen wird dadurch
erreicht, daß die zweite Gruppe der
Verstelleinrichtungen durch das Angreifen an der
Werkstückhalteraufnahme die erste Gruppe der
Verstelleinrichtungen einschließlich der
Werktückaufnahme und des Werkstücks mitbewegt, ohne
daß deren Verstellweg hierdurch beeinflußt wird.
Um die Positioniergenauigkeit weiter zu verbessern,
sind die Verstelleinrichtungen außerhalb des
Kraftflusses einer Einspanneinrichtung für das
Werkstück angeordnet, wodurch auch der
Einspannvorgang des Werkstückes und die Bewegungen
der Verstelleinrichtungen entkoppelt werden. Eine
Beeinflussung der Verstelleinrichtungen oder eines
Teils der Verstelleinrichtungen durch die
Einspanneinrichtung wird somit vermieden.
Vorzugsweise werden alle Verstelleinrichtungen in
einer gemeinsamen Ebene angeordnet, wobei diese
Ebene vorzugsweise senkrecht zum Kraftfluß der
Einspanneinrichtung liegt.
Als Verstelleinrichtungen können verschiedene
Bauarten zum Einsatz kommen, solange gewährleistet
ist, daß die Verstelleinrichtungen die erforderliche
Genauigkeit im Mikrometerbereich gewährleisten.
Bevorzugt sind Verstelleinrichtungen hydraulischer
Art und solche, die piezoelektrische Elemente
aufweisen. Die Positioniervorrichtung kann
ausschließlich hydraulische Verstelleinrichtungen
oder ausschließlich piezoelektrische
Verstelleinrichtungen aufweisen; es besteht aber
auch die Möglichkeit, daß eine Gruppe der
Verstelleinrichtungen hydraulischer Art sind und die
andere Gruppe der Verstelleinrichtungen mit
piezoelektrischen Verstelleinrichtungen bestückt ist.
Da die hydraulischen Verstelleinrichtungen gemäß
G 89 08 458.6 - wie oben beschrieben - mehrere
Nachteile aufweisen, wurde eine hydraulische
Verstelleinrichtung entwickelt, die einen
Grundkörper mit mindestens einer Druckmittel
enthaltenden Druckkammer und mindestens ein
Verstellelement aufweist, wobei das Verstellelement
vom Grundkörper geführt ist und einen Bestandteil
der Druckkammerbegrenzung bildet. Die vom
Druckmittel beaufschlagten Wände der Druckkammer
bestehen aus quasi nicht-flexiblem Material. Unter
quasi nicht-flexiblem Material werden Materialien
wie Stahl oder dergleichen verstanden, die bei den
in Verstelleinrichtungen auftretenden Drücken keine
Deformation zeigen. Es wird dadurch vermieden, daß
bei einer Druckbeaufschlagung aufgrund einer
Verformung der Druckkammerwände nicht der gewünschte
Verstellweg eingehalten werden kann.
Das Verstellelement besitzt eine konvexe
Außenoberfläche, so daß immer eine Punktauflage
gewährleistet ist, auch dann, wenn das am
Verstellelement anliegende Bauteil nicht exakt
ausgerichtet sein sollte oder während des
Verstellens kippen sollte.
Wenn mehrere dieser hydraulischen
Verstelleinrichtungen miteinander kombiniert sind
und diese Verstelleinrichtungen auch
Rotationsbewegungen der zu verstellenden Bauteile
ausführen sollen, können u. U. auch senkrecht zur
Verstellrichtung Kräfte auftreten, die den
eigentlichen Verstellweg beeinflussen. Um diese
Nachteile zu beseitigen, ist der Grundkörper der
Verstelleinrichtung auf der dem Verstellelement
abgewandte Seite auf einem zweidimensionalen
Kugellager gelagert. Es besteht somit die
Möglichkeit, daß beim Auftreten von Querkräften die
gesamte Verstelleinrichtung auf diesem Kugellager
entsprechend abrollen kann.
An den Innenraum der Druckkammer der hydraulischen
Verstelleinrichtungen ist eine Leitung
angeschlossen, die eine Verbindung zu einem
Temperiergerät herstellt, das zur Volumenänderung
der in der Leitung enthaltenen Flüssigkeit dient,
die beispielsweise ein Hydrauliköl oder eine
sonstige inkompressible Flüssigkeit sein kann. Durch
eine Temperaturänderung der Hydraulikflüssigkeit
wird somit eine Bewegung des Verstellelementes
bewirkt.
Vorzugsweise werden diese hydraulischen
Verstelleinrichtungen für die erste Gruppe der
Verstelleinrichtungen eingesetzt. Die erste Gruppe
besteht vorzugsweise aus vier Verstelleinrichtungen,
die paarweise an zwei gegenüberliegenden Seiten der
im wesentlichen rechteckig ausgebildeten
Werkstückaufnahme anliegen. Wenn es sich bei der
Werkstückaufnahme um eine Lageraufnahme für eine
Lagerschale (Lagerschalenachse ist die Y-Achse)
handelt, sind die Verstelleinrichtungen dieser
ersten Gruppe so angeordnet, daß sie eine
Verschiebung in X-Richtung und eine Rotation um die
Z-Achse bewirken.
Die piezoelektrischen Verstelleinrichtungen umfassen
jeweils mindestens ein linear arbeitendes
Piezoelement, wobei die Anzahl der Piezoelemente in
einer Verstelleinrichtung von dem gewünschten
Verstellweg abhängt. Piezoelektrische
Verstelleinrichtungen bieten den Vorteil, daß keine
Probleme mit einer eventuell auftretenden Leckage
bestehen. Hydraulikeinrichtungen benötigen auch eine
bestimmte Einschwingzeit und eine entsprechende
Regelzeit, die bei piezoelektrische
Verstelleinrichtungen nicht beachtet werden müssen,
da diese unmittelbar ansprechen.
Die piezoelektrischen Verstelleinrichtungen werden
vorzugsweise für die zweite Gruppe der
Verstelleinrichtungen eingesetzt, die zwischen einem
ortsfesten Bauteil der Bearbeitungsmaschine und der
Werkstückhalteraufnahme angeordnet sind. Diese
zweite Gruppe der Verstelleinrichtungen umfaßt
vorzugsweise vier Verstelleinrichtungen,
die - ebenfalls bezogen auf die Justierung einer
Lagerschale mit der Lagerschalenachse in
Y-Richtung - derart um das Werkstück angeordnet
sind, daß der Verstellweg in Z-Richtung liegt. Durch
die Anordnung der vier Verstelleinrichtungen können
somit Verstellwege in Z-Richtung als auch Rotationen
um die X- und Y-Achse realisiert werden, wenn die
Verstelleinrichtungen unterschiedlich ausgelenkt
werden.
Zusätzlich können die piezoelektrischen
Verstelleinrichtungen noch mit einer
Grobverstelleinrichtung versehen sein, mit der eine
Grobpositionierung im Hundertstelmillimeterbereich
möglich ist.
Um die Bearbeitungsqualität des Werkstückes weiter
zu verbessern, sind zumindest die piezoelektrischen
Verstelleinrichtungen an eine Versorgungs- und
Regeleinheit angeschlossen, die wiederum mit einer
Werkstückvermessungseinrichtung verbunden ist. Durch
die Rückkopplung werden Abweichungen in der
Fertigungstoleranz sofort erkannt und bei der
Bearbeitung nachfolgender Werkstücke berücksichtigt.
Durch das sofortige Ansprechen piezoelektrischer
Verstelleinrichtungen können die Meßergebnisse
unmittelbar berücksichtigt werden, ohne daß der
Bearbeitungsprozeß verzögert wird.
Zur beweglichen Anordnung der Werkstückaufnahme ist
die Werkstückhalteraufnahme mit einer Ringplatte
versehen, die zwischen dem Werkstückhalter und einem
am Werkstückhalter befestigten Haltepilz eingespannt
ist, wobei zwischen dem Haltepilz und der Ringplatte
ein oberes Kugellager und zwischen der Ringplatte
und dem Werkstückhalter ein unteres Kugellager
angeordnet ist. Vorzugsweise liegt die Ringplatte in
der X,Y-Ebene, so daß sich die Werkstückaufnahme um
die Z-Achse drehen und in X- und gegebenenfalls
Y-Richtung verschieben kann, ohne daß auch eine
Verschiebung in Z-Richtung erfolgt.
Die Einspanneinrichtung greift derart am Werkstück
an und ist derart an der Werkstückhalteraufnahme
befestigt, daß die Spannkräfte ausschließlich vom
unteren Kugellager aufgenommen werden. Die
Einspanneinrichtung übt somit keinen Einfluß auf die
Verstelleinrichtungen und auf die definierten
Bewegungen des Werkstückes aus.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung werden
nachfolgend anhand der Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 die Seitenansicht, teilweise im Schnitt,
der Positioniervorrichtung,
Fig. 2 eine zweite Seitenansicht der in Fig. 1
gezeigten Positioniervorrichtung,
Fig. 3 einen Schnitt längs der Linie III-III der
in Fig. 1 gezeigten Darstellung,
Fig. 4 einen Schnitt längs der Linie IV-IV der in
Fig. 1 gezeigten Darstellung,
Fig. 5 eine vergrößerte Darstellung einer
piezoelektrischen Verstelleinrichtung,
Fig. 6 eine Seitenansicht des unteren Teils der
Positioniervorrichtung gemäß einer weiteren
Ausführungsform,
Fig. 7 eine Seitenansicht, teilweise im Schnitt
der in Fig. 6 gezeigten
Positioniervorrichtung,
Fig. 8 eine vergrößerte Darstellung einer
hydraulischen Verstelleinrichtung in
Draufsicht und
Fig. 9 einen Schnitt längs der Linie IX-IX durch
die in Fig. 8 gezeigte Darstellung.
Im folgenden wird auf das links oben in Fig. 1
dargestellte Achsenkreuz Bezug genommen. In den
Fig. 1 und 2 ist eine Positioniervorrichtung 1
für eine Räummaschine (nicht dargestellt) für
Lagerschalen 20 dargestellt. Die Lagerschale 20,
deren Achse in Y-Richtung liegt, die auch die
Räumrichtung (s. Pfeil in Fig. 2) darstellt, sitzt
in einer Werkzeugaufnahme 25 und wird in dieser
Werkzeugaufnahme 25 mittels einer
Einspanneinrichtung gehalten, die Spannpratzen 21,
eine Gelenkeinrichtung 22 und einen Spannzylinder 23
aufweist. Die Einspanneinrichtung stützt sich an der
Werkstückhalteraufnahme 2 ab, die die Gestalt eines
Joches aufweist. Der obere Teil der
Werkstückhalteraufnahme 2, an der der
Einspannzylinder 23 angreift, bildet einen Bügel 3,
der sich nach unten im Basisteil 9 fortsetzt. Im
mittleren Bereich ist eine Ringplatte 4 angeformt,
die einen zentralen Durchgang aufweist. Zwischen dem
Bügel 3 und der Ringplatte 4 ist eine obere
Ausnehmung 7 und zwischen der Ringplatte 4 und dem
Basisteil 9 ist eine untere Ausnehmung 8
ausgebildet, in der der Werkstückhalter 25 mit der
Lagerschale 20 angeordnet ist.
Der Werkstückhalter 25 besitzt eine Deckplatte 28
sowie einen Haltepilz 30, der an der Deckplatte 28
befestigt ist und sich mit seinem Haltebolzen 32
durch die zentrale Öffnung der Ringplatte 4 nach
oben in die obere Ausnehmung 7 erstreckt, wo eine
Halteplatte 31 am Haltebolzen 32 befestigt ist. Die
Deckplatte 28 zusammen mit dem Haltepilz 30 umgreift
die Ringplatte 4, wobei zwischen der Deckplatte 28
und der Ringplatte 4 zwei untere Kugellager 13 und
zwischen der Halteplatte 31 und der Ringplatte 4
zwei obere Kugellager 12 angeordnet sind. Da die
Deckplatte 28 und auch der Haltepilz 30 fest mit der
Werkstückaufnahme 25 verbunden sind, kann sich die
gesamte das Werkstück 20 tragende Anordnung in Y-
und in X-Richtung weitgehend reibungsfrei bewegen.
Um die Lagerschale 20 in zwei Richtungen verschieben
und um drei Achsen drehen zu können, sind in der
hier gezeigten Darstellung insgesamt acht
Verstelleinrichtungen 40a, b, c, d, 60a, b, c, d
vorgesehen, wobei die Verstelleinrichtungen 40a bis
d die erste Gruppe der Verstelleinrichtungen und die
Verstelleinrichtungen 60a bis 60d die zweite Gruppe
der Verstelleinrichtungen bilden. Die erste Gruppe
der Verstelleinrichtungen besteht aus hydraulischen
Verstelleinrichtungen während die zweite Gruppe aus
piezoelektrischen Verstelleinrichtungen gebildet
ist.
Wie aus der Fig. 3 zu entnehmen ist, greifen die
Verstelleinrichtungen 40a, 40d an gegenüberliegenden
Seiten 15 und 16 des Werkstückhalters 25 an, so daß
der Verstellweg in X-Richtung liegt. Wenn die
Verstelleinrichtungen 40a und 40b ebenso wie die
Verstelleinrichtungen 40c und 40d in gleicher Weise
betätigt werden, erfolgt eine Verschiebung des
Werkstückhalters 25 in X-Richtung. Werden hingegen
beispielsweise die Verstelleinrichtungen 40b und 40d
betätigt, so erfolgt eine Rotation um die Z-Achse.
Die hydraulischen Verstelleinrichtungen 40a bis 40d
sind in den Fig. 8 und 9 im Detail dargestellt.
Wie in der Fig. 9 zu sehen ist, besitzt die
Verstelleinrichtung 40 einen Grundkörper 41, der
zwei trogartige Kammern aufweist, in denen die
Verstellelemente 42a und 42b angeordnet sind.
Zwischen der Bodenplatte 51 des Grundkörpers 41 und
den Unterseiten der Verstellelemete 42a und 42b ist
die Druckkammer 46a, 46b ausgebildet, die mit einer
Hydraulikflüssigkeit gefüllt ist, die über die
Zuführleitungen 43 mit einer nicht dargestellten
Heizeinrichtung verbunden sind. Die Verstellelemente
42a und 42b werden von den Wänden 52 und 53 geführt.
Zur Abdichtung besitzen die Verstellelemente 42a,
42b jeweils eine Ringdichtung 54, die in eine
entsprechene Außennut am Verstellelement 42a, 42b
angeordnet ist, so daß eine Abdichtung zwischen den
Verstellelementen 42a, 42b und den Wänden 52 und 53
gewährleistet ist. Der Grundkörper 41 liegt mit der
den Verstellelementen 42a, 42b abgewandten Seite
seiner Bodenplatte 51 auf einem Kugellager 45 auf,
des als zweidimensionales Kugellager mit Kugeln 44
ausgebildet ist. Das Verstellelement 40 kann somit
beim Auftreten von senkrecht zur Verstellrichtung
liegenden Querkräften auf dem Kugellager abrollen.
Die in den Fig. 8 und 9 dargestellte hydraulische
Verstelleinrichtung ist in der Fig. 4 im
eingebauten Zustand zu sehen. Der Werkstückhalter 25
wird von einer Andrückschraube 48 mit einer Feder 49
und einer Justierschraube 50 gehalten, mit der der
Haltepilz 30 in Y-Richtung positioniert werden kann.
Da mit der ersten Gruppe der Verstelleinrichtungen
40a bis 40d nur eine Rotation um die Z-Achse und
eine Translation in X-Richtung durchgeführt wird,
ist - wie in Fig. 1 zu sehen ist - eine zweite
Gruppe von Verstelleinrichtungen 60a bis 60d
vorgesehen, die an der Außenseite der
Werkstückhalteraufnahme 2 angeordnet ist und die
Rotationen um die Y- und X-Achse sowie eine
Translation längs der Z-Achse ermöglicht. Die
Verstelleinrichtungen 60a bis 60d, die als
piezoelektrische Verstelleinrichtungen ausgebildet
sind, liegen im wesentlichen in der gleichen Ebene
wie die Verstelleinrichtungen der ersten Gruppe. In
der Fig. 3 ist die Anordnung der
Verstelleinrichtungen 60a bis 60d bezüglich der
ersten Gruppe der Verstelleinrichtungen dargestellt.
Die Verstelleinrichtungen 60a bis 60d sind im
Bereich der Eckpunkte der Werkstückhalteraufnahme
angeordnet und liegen jeweils auf ortsfesten
Bauteilen 62 der Bearbeitungsmaschine auf.
Die Ausrichtung der Verstelleinrichtungen 60a bis
60d ist so gewählt, daß der Verstellweg in
Z-Richtung liegt. Wenn alle vier piezoelektrischen
Verstelleinrichtunge 60a bis 60d in der gleichen
Weise betätigt werden, erfolgt eine Verschiebung in
Z-Richtung. Wenn beispielsweise lediglich die
Verstelleinrichtungen 60a und 60b betätigt werden,
erfolgt eine Rotation um die Y-Achse. Eine Rotation
um die X-Achse kann durch Betätigen der
Verstellelemente 60a und 60d bewirkt werden.
Wie in der Fig. 3 schematisch dargestellt ist, sind
die piezoelektrischen Verstelleinrichtungen 60a bis
60d mit einer Versorgungs- und Steuereinrichtung 70
verbunden, die wiederum an eine
Werkstückvermessungseinrichtung 71 angeschlossen
ist. Die Ergebnisse der Werkstückvermessung können
somit direkt in die Steuerung der
Positioniervorrichtung einfließen, so daß evtl.
auftretende Fehler bei dem nachfolgenden Werkstück
ausgeglichen werden können.
Wie in der Fig. 1 dargestellt ist, sind jeder
piezoelektrischen Verstelleinrichtung 60a bis 60d
jeweils eine Spannbacke 81a-d zugeordnet, die an dem
ortsfesten Bauteil 62 befestigt sind und entgegen
der Verstellrichtung der piezoelektrischen
Verstelleinrichtung 60a bis 60d eine Kraft auf die
Werkstückhalteraufnahme 2 ausübt. Diese zusätzliche
Fixierung ist erforderlich, damit einerseits die
gesamte Einrichtung nicht senkrecht zur
Verstellrichtung der piezoelektrischen
Verstellelemente 60a bis 60d verrutschen kann und
damit andererseits die durch die piezoelektrischen
Verstellelemente gewährleistete Genauigkeit des
Verstellweges voll ausgenutzt werden kann.
Eine piezoelektrische Verstelleinrichtung ist in der
Fig. 5 im Detail dargestellt. Kernstück der
piezoelektrischen Verstelleinrichtung 60 ist ein
linear arbeitendes Piezoelement 61, an dessen
Unterseite ein balliges Auflageelement 63 befestigt
ist, das auf dem ortsfesten Bauteil 62 aufliegt.
Nach oben ist an dem Piezoelement eine Stellmutter
68 befestigt, in der eine Stellspindel 64 für die
Grobverstellung mit ihrem Außengewinde 66 angreift.
Die Stellspindel 64 besitzt im oberen Bereich einen
Abschnitt mit einem weiteren Außengewinde 65, das am
Spindelblock 67 angreift, der mit dem Basisteil 9
der Werkstückhalteraufnahme 2 fest verbunden ist.
Durch ein Drehen der Stellspindel 64 kann in
Z-Richtung ein Grobverstellung vorgenommen werden.
Zur Fixierung der Stellmutter 68 ist noch eine
Arretierschraube 72 als Drehsicherung vorgesehen.
Die Feinverstellung erfolgt mittels des
Piezoelementes 61, das sich je nach angelegter
Spannung in Z-Richtung ausdehnt oder zusammenzieht.
In der Fig. 6 ist eine weitere Ausführungsform
dargestellt, wobei die piezoelektrischen
Verstellelemente 60a bis 60b durch hydraulische
Verstellelemente 80a bis 80d ersetzt sind. Diese
hydraulischen Verstellelemente 80a bis 80d sind
unter der Werkstückhalteraufnahme 2 angeordnet und
sind im ortsfesten Bauteil 82 eingelassen. Die
Verstellelemente 83 besitzen eine sektorkorkenförmige
Ausgestaltung mit einer konvexen Außenoberfläche,
mit der das Verstellelement an der Unterseite der
Werkstückhalteraufnahme 2 angreift. Die Anordnung
der vier Verstelleinrichtungen 80a bis 80d
entspricht in etwa der Anordnung der
piezoelektrischen Verstellelemente 60a bis 60d, wie
sie in der Fig. 3 dargestellt ist. Auch diese
Verstellelemente 83 werden von dem Grundkörper
geführt, der in der hier gezeigten Darstellung mit
dem ortsfesten Bauteil 82 identisch ist. Das
Verstellelement besitzt ebenso wie das in den
Fig. 8 und 9 dargestellte hydraulische
Verstellelement eine Ringdichtung, die allerdings in
der Fig. 6 nicht zu sehen ist. Das Verstellelement
besitzt einen zapfenförmigen Fortsatz, der sich nach
unten in die Druckkammer erstreckt. Dieser
zapfenförmige Fortsatz stellt lediglich einen
Verdrängungskörper dar, damit nicht zuviel
Druckmittel in der Druckkammer benötigt wird.
Wie in der Fig. 7 dargestellt ist, werden die
Druckkammern der Verstelleinrichtungen 80a bis 80d
durch in dem ortsfesten Bauteil 82 befindliche
Versorgungskanäle 84a bis 84d versorgt, die wiederum
an eine nicht gezeigte Heizeinrichtung zum Erwärmen
der Hydraulikflüssigkeit angeschlossen sind.
Bezugszeichenliste
1 Positioniervorrichtung
2 Werkstückhalteraufnahme
3 Bügel
4 Ringplatte
5 Oberseite
6 Unterseite
7 oberer Ausnehmung
8 unterer Ausnehmung
9 Basisteil
10 Innenfläche
11 Außenseite
12 oberes Kugellager
13 unteres Kugellager
14 Auflageplatte
15 Außenseite des Werkstückhalters
16 Außenseite des Werkstückhalters
17
18
19
20 Lagerschale
21 Spannpratze
22 Hebeleinrichtung
23 Spannzylinder
24
25 Werkstückhalter
26 Außenseite
27 Oberseite
28 Deckplatte
29
30 Haltepilz
31 Halteplatte
32 Haltebolzen
33
34
35
36
37
38
39
40 hydraulische Verstelleinrichtung
41 Grundkörper
42 Verstellelement
43 Versorgungskanal
44 Kugeln
45 Kugellager
46 Druckkammer
47 konvexer Außenoberfläche
48 Andrückschraube
49 Feder
50 Justierschraube
51 Bodenplatte
52 Außenwand
53 Trennwand
54 Ringdichtung
55
56
57
58
59
60 piezoelektrische Verstelleinrichtung
61 Piezoelement
62 ortsfestes Maschinenteil
63 balliges Auflageelement (mit gehärtetem Einsatzstück)
64 Stellspindel
65 erstes Außengewinde
66 zweites Außengewinde
67 Spindelblock
68 Stellmutter
69 gehärtetes Einsatzstück
70 Versorgungs- und Regeleinrichtung
71 Werkstückvermessungseinrichtung
72 Arretierschraube (Drehsicherung)
73
74
75
76
77
78
79
80 hydraulische Verstelleinrichtung
81 Spannbacke
82 ortsfestes Maschinenteil
83 Verstellelement
84 Versorgungskanal
85 zapfenförmiger Fortsatz
2 Werkstückhalteraufnahme
3 Bügel
4 Ringplatte
5 Oberseite
6 Unterseite
7 oberer Ausnehmung
8 unterer Ausnehmung
9 Basisteil
10 Innenfläche
11 Außenseite
12 oberes Kugellager
13 unteres Kugellager
14 Auflageplatte
15 Außenseite des Werkstückhalters
16 Außenseite des Werkstückhalters
17
18
19
20 Lagerschale
21 Spannpratze
22 Hebeleinrichtung
23 Spannzylinder
24
25 Werkstückhalter
26 Außenseite
27 Oberseite
28 Deckplatte
29
30 Haltepilz
31 Halteplatte
32 Haltebolzen
33
34
35
36
37
38
39
40 hydraulische Verstelleinrichtung
41 Grundkörper
42 Verstellelement
43 Versorgungskanal
44 Kugeln
45 Kugellager
46 Druckkammer
47 konvexer Außenoberfläche
48 Andrückschraube
49 Feder
50 Justierschraube
51 Bodenplatte
52 Außenwand
53 Trennwand
54 Ringdichtung
55
56
57
58
59
60 piezoelektrische Verstelleinrichtung
61 Piezoelement
62 ortsfestes Maschinenteil
63 balliges Auflageelement (mit gehärtetem Einsatzstück)
64 Stellspindel
65 erstes Außengewinde
66 zweites Außengewinde
67 Spindelblock
68 Stellmutter
69 gehärtetes Einsatzstück
70 Versorgungs- und Regeleinrichtung
71 Werkstückvermessungseinrichtung
72 Arretierschraube (Drehsicherung)
73
74
75
76
77
78
79
80 hydraulische Verstelleinrichtung
81 Spannbacke
82 ortsfestes Maschinenteil
83 Verstellelement
84 Versorgungskanal
85 zapfenförmiger Fortsatz
Claims (12)
1. Positioniervorrichtung für eine
Bearbeitungsmaschine für Werkstücke, mit einem
Werkstückhalter, mit einer
Werkstückhalteraufnahme, insbesondere einem
Joch, und mit mehreren Verstelleinrichtungen zum
Ausfuhren von Translationsbewegungen des
Werkstücks in mindestens zwei Richtungen
(X,Z-Richtungen) und Rotationsbewegungen des
Werkstückes um drei Achsen (X,Y,Z-Achse), wobei
die Verstelleinrichtungen für mindestens eine
Translations- und eine Rotationsbewegung
zwischen dem Werkstückhalter und der
Werkstückhalteraufnahme angeordnet sind, dadurch
gekennzeichnet,
daß die Werkstückhalteraufnahme (2) beweglich angeordnet ist und
daß die Verstelleinrichtungen (60, 80) für die übrigen Translations- und Rotationsbewegungen des Werkstückes (20) zwischen der Werkstückhalteraufnahme (2) und einem ortsfesten Maschinenteil (62, 82) der Bearbeitungsmaschine angeordnet sind.
daß die Werkstückhalteraufnahme (2) beweglich angeordnet ist und
daß die Verstelleinrichtungen (60, 80) für die übrigen Translations- und Rotationsbewegungen des Werkstückes (20) zwischen der Werkstückhalteraufnahme (2) und einem ortsfesten Maschinenteil (62, 82) der Bearbeitungsmaschine angeordnet sind.
2. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, daß die Verstelleinrichtungen
(60, 80) außerhalb des Kraftflusses einer
Einspanneinrichtung (21, 22) für das Werkstück
(20) angeordnet sind.
3. Positioniervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Verstelleinrichtungen (40, 80) hydraulischer Art
sind.
4. Positioniervorrichtung nach einem der Anspruche
1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die
Verstelleinrichtungen (40, 60) piezo
elektrische Verstelleinrichtungen sind, die
jeweils mindestens ein linear arbeitendes
Piezoelement (61) umfassen.
5. Positioniervorrichtung nach einem der Anspruche
1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Verstelleinrichtungen (40, 60, 80) in einer
gemeinsamen Ebene angeordnet sind.
6. Positioniervorrichtung nach einem der Ansprüche
4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
Piezoelemente (61) über jeweils eine
Grobverstelleinrichtung (64, 67, 68) an der
Werkstückhalteraufnahme (2) angreifen.
7. Positioniervorrichtung nach einem der Ansprüche
4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest
die piezoelektrischen Verstelleinrichtungen an
mindestens eine gemeinsame Versorgungs- und
Regeleinheit (70) angeschlossen sind, die mit
einer Werkstückvermessungseinrichtung (71)
verbunden ist.
8. Positioniereinrichtung nach einem der Ansprüche
1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die
hydraulische Verstelleinrichtung (40) einen
Grundkörper (41) mit mindestens einer
Druckmittel enthaltenden Druckkammer (46) und
mindestens ein Verstellelement (42) aufweist,
wobei das Verstellelement (42) vom Grundkörper
(41) geführt ist und einen Bestandteil der
Druckkammerbegrenzung bildet und
daß die vom Druckmittel beaufschlagten Wände der
Druckkammer (46) aus quasi nicht-flexiblem
Material bestehen.
9. Positioniervorrichtung nach Anspruch 8, dadurch
gekennzeichnet, daß das Verstellelement (42)
eine konvexe Außenoberfläche (47) aufweist.
10. Positioniervorrichtung nach Anspruch 8 oder 9,
dadurch gekennzeichnet, daß der Grundkörper (41)
auf der dem Verstellelement (42) abgewandten
Seite auf einem zweidimensionalen Kugellager
(45) gelagert ist.
11. Positioniervorrichtung nach einem der Ansprüche
1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß die
Werkstückhalteraufnahme (2) eine Ringplatte (4)
aufweist, die zwischen dem Werkstückhalter (25)
und einem am Werkstückhalter (25) befestigten
Haltepilz (30) eingespannt ist, wobei zwischen
dem Haltepilz (30) und der Ringplatte (4) ein
oberes Kugellager (12) und zwischen der
Ringplatte (4) und dem Werkstückhalter (25) ein
unteres Kugellager (13) angeordnet ist.
12. Positioniervorrichtung nach einem der Ansprüche
1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß die
Einspanneinrichtung (21, 22) derart am Werkstück
(20) angreift und derart an der
Werkstückhalteraufnahme (2) befestigt ist, daß
die Spannkräfte ausschließlich vom unteren
Kugellager (13) aufgenommen werden.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19914136882 DE4136882A1 (de) | 1991-11-09 | 1991-11-09 | Positioniervorrichtung fuer eine bearbeitungsmaschine fuer werkstuecke |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19914136882 DE4136882A1 (de) | 1991-11-09 | 1991-11-09 | Positioniervorrichtung fuer eine bearbeitungsmaschine fuer werkstuecke |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4136882A1 true DE4136882A1 (de) | 1993-05-13 |
Family
ID=6444415
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19914136882 Withdrawn DE4136882A1 (de) | 1991-11-09 | 1991-11-09 | Positioniervorrichtung fuer eine bearbeitungsmaschine fuer werkstuecke |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE4136882A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4335980A1 (de) * | 1993-10-21 | 1995-04-27 | Wacker Chemitronic | Werkstückhalterung für Rotationsschleifmaschinen zum Schleifen von Halbleiterscheiben und Verfahren zum Positionieren der Werkstückhalterung |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3849857A (en) * | 1973-07-05 | 1974-11-26 | M Murray | Machine element alignment positioner |
EP0244645A1 (de) * | 1986-04-29 | 1987-11-11 | Friedrich Deckel Aktiengesellschaft | Bohr- und Fräsmaschine mit einem zwei rotatorische Achsen aufweisenden Werkstücktisch |
DE3829022A1 (de) * | 1987-08-26 | 1989-03-16 | Toshiba Kawasaki Kk | Tischverstellvorrichtung |
-
1991
- 1991-11-09 DE DE19914136882 patent/DE4136882A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3849857A (en) * | 1973-07-05 | 1974-11-26 | M Murray | Machine element alignment positioner |
EP0244645A1 (de) * | 1986-04-29 | 1987-11-11 | Friedrich Deckel Aktiengesellschaft | Bohr- und Fräsmaschine mit einem zwei rotatorische Achsen aufweisenden Werkstücktisch |
DE3829022A1 (de) * | 1987-08-26 | 1989-03-16 | Toshiba Kawasaki Kk | Tischverstellvorrichtung |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE4335980A1 (de) * | 1993-10-21 | 1995-04-27 | Wacker Chemitronic | Werkstückhalterung für Rotationsschleifmaschinen zum Schleifen von Halbleiterscheiben und Verfahren zum Positionieren der Werkstückhalterung |
US5567199A (en) * | 1993-10-21 | 1996-10-22 | Wacker-Chemitronic Gesellschaft fur Elektronik-Grundstoffe AG | Workpiece holder for rotary grinding machines for grinding semiconductor wafers, and method of positioning the workpiece holder |
DE4335980C2 (de) * | 1993-10-21 | 1998-09-10 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Verfahren zum Positionieren einer Werkstückhalterung |
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