DE3819671C2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- DE3819671C2 DE3819671C2 DE3819671A DE3819671A DE3819671C2 DE 3819671 C2 DE3819671 C2 DE 3819671C2 DE 3819671 A DE3819671 A DE 3819671A DE 3819671 A DE3819671 A DE 3819671A DE 3819671 C2 DE3819671 C2 DE 3819671C2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- semiconductor layer
- region
- semiconductor
- solar cell
- semiconductor region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 123
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 76
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 15
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 14
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 13
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 9
- 230000006870 function Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 5
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 3
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 3
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010748 Photoabsorption Effects 0.000 description 2
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 2
- JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N carbonyl sulfide Chemical compound O=C=S JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 230000003915 cell function Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 1
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/04—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices
- H01L31/06—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier
- H01L31/068—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells
- H01L31/0693—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof adapted as photovoltaic [PV] conversion devices characterised by at least one potential-jump barrier or surface barrier the potential barriers being only of the PN homojunction type, e.g. bulk silicon PN homojunction solar cells or thin film polycrystalline silicon PN homojunction solar cells the devices including, apart from doping material or other impurities, only AIIIBV compounds, e.g. GaAs or InP solar cells
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/142—Energy conversion devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/0248—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies
- H01L31/0352—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions
- H01L31/035272—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by their semiconductor bodies characterised by their shape or by the shapes, relative sizes or disposition of the semiconductor regions characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/03529—Shape of the potential jump barrier or surface barrier
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/184—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof the active layers comprising only AIIIBV compounds, e.g. GaAs, InP
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/544—Solar cells from Group III-V materials
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S438/00—Semiconductor device manufacturing: process
- Y10S438/965—Shaped junction formation
Description
Die Erfindung betrifft eine Solarzelle mit einer integrierten
antiparallelen Schutzdiode, umfassend eine erste Halbleiterschicht
von einem ersten Leitfähigkeitstyp; eine zweite Halbleiterschicht
vom zweiten Leitfähigkeitstyp auf der Lichteinfallseite
der ersten Halbleiterschicht, die in Kontakt miteinander
einen ersten p-n-Übergang bilden, der für die Funktion
der Solarzelle maßgeblich ist; eine weitere Halbleiterschicht
vom zweiten Leitfähigkeitstyp auf der Rückseite der
ersten Halbleiterschicht, die in Kontakt miteinander einen
p-n-Übergang bilden, der für die Funktion der Schutzdiode
maßgeblich ist; und erste und zweite Verbindungseinrichtungen,
welche die erste Halbleiterschicht mit der zweiten
Halbleiterschicht bzw. die erste Halbleiterschicht mit der
weiteren Halbleiterschicht elektrisch miteinander verbinden
und äußere Verbindungselektroden bilden. Die Erfindung betrifft
weiterhin ein Verfahren zur Herstellung einer derartigen
Solarzelle mit einer integrierten antiparallelen Schutzdiode.
Der grundsätzliche Aufbau einer Solarzelle besteht
aus einer Diode mit einem p-n-Übergang. Wenn eine solche
Solarzelle in der Praxis zur Stromerzeugung verwendet
wird, so werden eine Vielzahl von
Solarzellen in Reihe geschaltet, so daß die Gesamtspannung,
die durch Zusammensetzen der in den jeweiligen Solarzellen
erzeugten Spannungen erhalten wird, einen gewünschten
Spannungspegel erreicht.
Wenn ein Teil der miteinander in Serie geschalteten Solar
zellen beim Stromerzeugungsbetrieb abgeschattet wird,
verlieren nur die abgeschatteten Solarzellen ihre Energie
erzeugungsfunktion. In diesem Falle wird eine Spannung, die
in den anderen, in Serie geschalteten Solarzellen erzeugt
wird, an die abgeschatteten Solarzellen als Sperrspannung
ihrer Dioden angelegt.
Wenn die Durchbruchspannung in Sperrichtung der Solarzelle
niedrig ist, erfolgt infolgedessen ein Durchbruch der
abgeschatteten Solarzelle, so daß ihre Funktion, die für
die fotovoltaische Energieerzeugung erforderlich ist,
schlechter wird oder verloren geht. Um zu verhindern, daß
bei einer abgeschatteten Solarzelle ein Durchbruch erfolgt,
muß daher die Durchbruchsspannung in Sperrichtung der
Solarzelle verbessert bzw. erhöht werden; alternativ dazu
kann eine andere Diode in antiparalleler Schaltung zur
jeweiligen Solarzelle vorgesehen sein, deren
Spannungsabfall insgesamt niedriger ist als die Durchbruchsspannung
in Sperrichtung der einzelnen Solarzelle.
Die Verbesserung der Durchbruchsspannung in Sperrichtung
der Solarzelle kann erreicht werden, indem man die Ver
unreinigungskonzentration in ihrer Basisschicht verringert.
Im allgemeinen soll eine Solarzelle einen p-n-Übergang
haben, der sich in einem flachen Bereich ihrer Lichtempfangs
oberfläche befindet; insbesondere muß bei einer Solarzelle,
die im kosmischen Raum verwendet wird, der p-n-Übergang
in einem flachen Bereich vorgesehen sein, der von der
Lichtempfangsoberfläche um einen Abstand von 0,3 µm bis
0,5 µm oder weniger entfernt ist.
Obwohl es in einem Laboratorium möglich ist, den p-n-Übergang
durch einen Diffusionsprozeß bezüglich der Basisschicht
durchzuführen, die eine geringe Verunreinigungskonzentration
hat, welche für eine Durchbruchsspannung in Sperrichtung
von einigen hundert Volt erforderlich ist, läßt sich dieser
Prozeß bei der Massenherstellung von Solarzellen kaum anwenden.
Insbesondere ist es bei einer GaAs-Solarzelle schwierig,
die geringe Verunreinigungskonzentration beim Kristallwachs
tumsverfahren zu erhalten, und somit kann eine Durchbruchs
spannung in Sperrichtung über einigen zehn Volt nicht
erreicht werden.
Daraus ergibt sich, daß eine Verbesserung der Durchbruchs
spannung in Sperrichtung einer Solarzelle bei herkömmlicher
Technik begrenzt ist, so daß sich eine herkömmliche Solarzelle
kaum wirkungsvoll in einem Hochspannungs-Erzeugungssystem
verwenden läßt.
Das Einsetzen einer zusätzlichen Diode ist andererseits
wirksam für den Schutz einer Solarzelle. Dieses Einsetzen
bringt jedoch eine Zunahme der Anzahl von Bauteilen mit sich,
so daß die Herstellungskosten der Solarzellen zunehmen und
die Zuverlässigkeit des Systems verringert wird. Insbesondere
ist die geringe Zuverlässigkeit ein ernsthaftes Problem beim
Einsatz im kosmischen Raum, wo eine extrem hohe Zuverlässigkeit
erforderlich ist.
Eine Solarzelle der eingangs genannten Art ist aus der
US-PS 43 23 719 bekannt und weist eine integrierte und antiparallel
geschaltete Schutzdiode auf. Sowohl die Schutzdiode
als auch die erforderlichen Anschlußkontakte der Solarzelle
nehmen aber bei der bekannten Solarzelle einen beträchtlichen
Raum ein, der auf der Lichteinfallseite der Solarzelle verlorengeht.
Ähnliche Solarzellen sind auch aus der JP 57-91 566 A,
der FR 13 20 775 sowie der DE 30 05 560 A1 bekannt, die
aber den Anforderungen der Praxis insofern nicht genügen, als
sowohl eine hohe Zuverlässigkeit im Betrieb als auch eine
weitgehende Integration erforderlich sind, um die zur Verfügung
stehende Fläche optimal zu nutzen.
Aus der JP 60-783 A ist eine
Solarzelle bekannt, bei der
zur Vergrößerung der nutzbaren
Lichteinfallfläche die der Lichteinfallseite zugewandte Halbleiterschicht
durch einen diffundierten Bereich von der Rückseite der Zelle her kontaktiert wird.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Solarzelle,
bei der eine zusätzliche Diodenstruktur in antiparalleler
Schaltung ausgebildet ist, sowie ein Verfahren zu ihrer Herstellung
anzugeben, derart, daß
durch die Schutzdiode keine
nutzbare Fläche verlorengeht.
Die erfindungsgemäße Lösung besteht darin, eine Solarzelle
der eingangs genannten Art so auszubilden, daß ein Teil der
zweiten Halbleiterschicht sich von der einen Hauptfläche auf
der Lichteinfallseite der ersten Halbleiterschicht durch
diese Halbleiterschicht hindurch zur anderen Hauptfläche auf
der Rückseite erstreckt und die erste Halbleiterschicht in
einen ersten, relativ großen Halbleiterbereich und einen
zweiten, relativ kleinen Halbleiterbereich teilt, daß die
weitere Halbleiterschicht als dritter Halbleiterbereich in
einem Teil des zweiten Halbleiterbereiches ausgebildet und
von der zweiten Halbleiterschicht getrennt ist und daß beide
Verbindungseinrichtungen als äußere Verbindungselektroden auf
der Rückseite der Solarzelle angebracht sind.
In Weiterbildung der erfindungsgemäßen Solarzelle ist vorgesehen,
daß die erste äußere Verbindungselektrode sich von einem
Bereich auf dem Teil der zweiten Halbleiterschicht zu einem
Bereich auf dem zweiten Halbleiterbereich erstreckt und
daß die zweite äußere Verbindungselektrode sich von einem Bereich
auf dem ersten Halbleiterbereich zu einem Bereich auf
dem dritten Halbleiterbereich erstreckt und eine Isoliereinrichtung
aufweist, die die zweite äußere Verbindungselektrode
gegenüber der zweiten Halbleiterschicht und dem zweiten Halbleiterbereich
isoliert. Dabei erweist es sich als zweckmäßig,
wenn die Isoliereinrichtung aus einer Isolierschicht aus
Siliziumnitrid besteht.
In Weiterbildung der erfindungsgemäßen Solarzelle ist vorgesehen,
daß die zweite äußere Verbindungselektrode den p-n-Übergang
bedeckt, der von dem zweiten Halbleiterbereich und
dem dritten Halbleiterbereich gebildet wird.
Bei einer speziellen Bauform der erfindungsgemäßen Solarzelle
ist vorgesehen, daß die erste Halbleiterschicht, die zweite
Halbleiterschicht und der dritte Halbleiterbereich im wesentlichen
aus GaAs mit Verunreinigungen bestehen.
In Weiterbildung der erfindungsgemäßen Solarzelle ist vorgesehen,
daß der von dem zweiten Halbleiterbereich und dem
dritten Halbleiterbereich gebildete p-n-Übergang sich in einem
Abstand von mehr als etwa 20 µm von einem Kantenbereich
der ersten Halbleiterschicht befindet.
Bei der erfindungsgemäßen Solarzelle ist zweckmäßigerweise
der erste Leitfähigkeitstyp der n-Typ und der zweite Leitfähigkeitstyp
der p-Typ. Bei einer speziellen Ausführungsform
ist der p-Typ erhalten durch Einführen von Zn-Atomen als Verunreinigungen
in einen GaAs-Kristall.
Das erfindungsgemäße Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle
mit einer integrierten antiparallelen Schutzdiode umfaßt
folgende Schritte:
- a) Herstellen einer ersten Halbleiterschicht von einem ersten Leitfähigkeitstyp,
- b) selektives Eindiffundieren von Verunreinigungen in die erste Halbleiterschicht zur Bildung der zweiten Halbleiterschicht vom zweiten Leitfähigkeitstyp, die in Kontakt miteinander einen ersten p-n-Übergang bilden, wobei ein durchgehender Teil der zweiten Halbleiterschicht sich von der einen Hauptfläche auf der Lichteinfallseite der ersten Halbleiterschicht durch diese Halbleiterschicht hindurch zur anderen Hauptfläche auf der Rückseite erstreckt und die erste Halbleiterschicht in den ersten, relativ großen Halbleiterbereich und den zweiten, relativ kleinen Halbleiterbereich teilt;
- c) selektives Eindiffundieren von Verunreinigungen von der Rückseite inselförmig in einem Teil des zweiten Halbleiterbereiches getrennt von der zweiten Halbleiterschicht zur Bildung des dritten Halbleiterbereiches vom zweiten Leitfähigkeitstyp; und
- d) Anbringen der ersten und zweiten elektrischen Verbindungseinrichtungen auf der Rückseite der Solarzelle in Form von äußeren Verbindungselektroden.
In Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen,
daß die zweite äußere Verbindungselektrode gegenüber
der zweiten Halbleiterschicht und dem zweiten Halbleiterbereich
isoliert wird. Für diese Isolierung der zweiten äußeren
Verbindungselektrode wird zweckmäßigerweise eine Isolierschicht
aus Siliziumnitrid verwendet.
In Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen,
daß die zweite äußere Verbindungselektrode so ausgebildet
wird, daß sie den p-n-Übergang bedeckt, der von dem
zweiten Halbleiterbereich und dem dritten Halbleiterbereich
gebildet wird.
Bei einer speziellen Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens ist vorgesehen, daß die erste Halbleiterschicht,
die zweite Halbleiterschicht und der dritte Halbleiterbereich
im wesentlichen aus GaAs mit Verunreinigungen gebildet werden.
In Weiterbildung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist vorgesehen,
daß der dritte Halbleiterbereich in der Weise gebildet
wird, daß der von dem zweiten Halbleiterbereich und dem dritten
Halbleiterbereich gebildete p-n-Übergang sich in einem
Abstand von mehr als etwa 20 µm von einem Kantenbereich der
ersten Halbleiterschicht befindet.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend
unter Bezugnahme auf die Zeichnungen
näher erläutert. Die Zeichnungen zeigen in
Fig. 1(a) bis 1(e) Querschnitte durch eine Halbleiterscheibe
zur Erläuterung der Folge von Herstellungs
schritten bei der Herstellung einer Solar
zelle gemäß einer Ausführungsform der
Erfindung;
Fig. 2(a) und 2(b) eine Draufsicht und eine Unteransicht
der erfindungsgemäßen Solarzelle gemäß
Fig. 1;
Fig. 3(a) bis 3(e) Querschnitte einer Halbleiterscheibe
zur Erläuterung der Folge von Verfahrens
schritten bei der Herstellung einer
Solarzelle gemäß einer anderen Ausführungs
form der Erfindung; und in
Fig. 4(a) und 4(b) eine Draufsicht und eine Unteransicht
der Solarzelle gemäß Fig. 3.
In den Fig. 1(a) bis Fig. 1(e) sind Querschnitte eines Halb
leiterplättchens dargestellt zur Erläuterung der Folge von
Verfahrensschritten bei der Herstellung einer GaAs-Solarzelle
gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 2(a) zeigt eine Draufsicht und Fig. 2(b) zeigt eine
Unteransicht der Solarzelle, die mit den jeweiligen Ver
fahrensschritten gemäß Fig. 1 hergestellt worden ist. Dabei
entspricht Fig. 1(e) einem Querschnitt der Solarzelle längs
der Linie I-I in Fig. 2(a). Dementsprechend werden in
Fig. 1 und 2 gleiche Bezugszeichen für gleiche bzw. ent
sprechende Komponenten verwendet. Das Verfahren zur Herstellung
der Solarzelle wird anhand der einzelnen Schritte unter
Bezugnahme auf Fig. 1 und 2 näher erläutert.
Zunächst einmal wird gemäß Fig. 1(a) eine Siliziumnitrid
schicht 21, die als Maske zur selektiven Diffusion dient,
auf den beiden Oberflächen eines n-Typ GaAs-Substrats (einer
ersten Halbleiterschicht) 10 hergestellt, und zwar
mit einem chemischen Dampfabscheidungsverfahren.
Wie in Fig. 1(b) dargestellt, wird ein vorgegebener Bereich
der Siliziumnitridschicht 21 mit einem fotolithografischen
Verfahren entfernt, um Fenster 24a, 24b und 24c auf beiden
Oberflächen des n-Typ GaAs-Substrats 10 zu erhalten.
Von beiden Oberflächen des n-Typ GaAs-Substrats 10 werden
durch die Fenster 24a und 24b Zn-Atome eindiffundiert, so
daß eine p-Typ GaAs-Schicht (eine zweite Halbleiterschicht)
12 gebildet wird, die Verunreinigungen aus Zink (Zn) enthält.
Die p-Typ GaAs-Schicht 12 erstreckt sich durch das n-Typ
GaAs-Substrat 10 und teilt somit das n-Typ GaAs-Substrat 10
in einen n-Typ GaAs-Bereich (einen ersten Halbleiterbereich)
11 und einen n-Typ GaAs-Bereich (einen zweiten Halbleiter
bereich) 13.
Gleichzeitig mit der Bildung der p-Typ GaAs-Schicht 12
werden Zn-Atome durch das Fenster 24c eindiffundiert, so
daß ein p-Typ GaAs-Bereich (ein dritter Halbleiterbereich) 14,
der von der p-Typ GaAs-Schicht 12 getrennt ist, in der Boden
fläche des n-Typ GaAs-Bereiches 13 gebildet wird, wie es
Fig. 1(c) zeigt. Nach dem Entfernen der Siliziumnitridschicht
21 wird eine p-Typ GaAs-Schicht
15 von etwa 0,5 µm Dicke, die mit der p-Typ GaAs-
Schicht 12 verbunden ist, auf der Oberseite der Oberfläche
gebildet, die als Lichtempfangsfläche dient, und zwar mit
einem Kristallwachstumsverfahren oder dergleichen, um einen
p-n-Übergang mit Solarzellenfunktion zu bilden, wie es
Fig. 1(d) zeigt. Eine p-Typ AlGaAs-Schicht 16 mit etwa
0,05 µm bis 0,1 µm Dicke wird dann auf der p-Typ GaAs-Schicht
15 ausgebildet.
Als nächstes wird eine Siliziumnitridschicht (S3N4), die als
Antispiegelungsschicht dient, auf der oberen Oberfläche des
Halbleiterplättchens ausgebildet, und eine andere Silizium
nitridschicht, die als Isolierschicht dient, wird auf seiner
Unterseite ausgebildet. Vorgegebene Bereiche der
Siliziumnitridschichten der beiden Oberflächen werden dann
mit einem Fotolithografie-Verfahren entfernt, und die p-Typ
AlGaAs-Schicht 16 wird ebenfalls, mit Ausnahme eines Teiles,
entfernt. Infolgedessen erhält man die Antispiegelungsschicht
22 gemäß Fig. 2(a) und die Isolierschicht 23 gemäß Fig. 2(b)
auf der Oberseite bzw. der Unterseite des Halbleiterplättchens.
Wie in Fig. 1(e) dargestellt, wird dann eine Gitterelektrode
31 auf der oberen Oberfläche ausgebildet, und eine Anode 32
sowie eine Kathode 33, die als erste und zweite äußere
Anschlußelektroden dienen, werden auf der Bodenfläche ausge
bildet.
Die Anode 32 erstreckt sich vom Bereich der p-Typ GaAs-Schicht
12 zum Bereich des n-Typ GaAs-Bereiches 13. Die Kathode 33
erstreckt sich vom Bereich des n-Typ GaAs-Bereiches 11 zum
Bereich des p-Typ GaAs-Bereiches 14 über die Bereiche der
p-Typ GaAs-Schicht 12 und des n-Typ GaAs-Bereiches 13, wie
es in Fig. 2(b) dargestellt ist. Da die Kathode 33 auf der
p-Typ GaAs-Schicht 12 und dem n-Typ GaAs-Bereich 13 mit der
Isolierschicht 23 dazwischen vorgesehen ist, verbindet die
Kathode 33 die p-Typ GaAs-Schicht 12 nicht mit dem n-Typ
GaAs-Bereich 13.
In der so hergestellten Solarzelle besteht ein Solarzellen
bereich aus den p-Typ GaAs-Schichten 12 und 15 sowie dem
n-Typ GaAs-Bereich 11, und ein Diodenbereich, der mit dem Solar
zellenbereich in Antiparallelschaltung verbunden ist, wird
von dem p-Typ GaAs-Bereich 14 und dem n-Typ GaAs-Bereich 13
gebildet.
Wenn auf der oberen Oberfläche der Solarzelle mit derartigem
Aufbau Licht empfangen wird, so wird fotovoltaische Energie
zwischen der p-Typ GaAs-Schicht 15 und dem n-Typ GaAs-Bereich
11 erzeugt, so daß die Struktur als Solarzelle funktioniert,
bei der positive und negative Potentiale an der Anode 32
bzw. der Kathode 33 auftreten.
Während des Energieerzeugungsbetriebes sind die p-Typ GaAs-
Schicht 12, die mit der p-Typ GaAs-Schicht 15 und dem n-Typ
GaAs-Bereich 13 verbunden ist, elektrisch miteinander kurz
geschlossen. Somit trägt fotovoltaische Energie, die zwischen
der p-Typ GaAs-Schicht 15 und dem n-Typ GaAs-Bereich 13
erzeugt wird, nicht zu der fotovoltaischen Energieerzeugung
bei, um elektrische Energie von der Solarzelle nach außen
abzugeben.
Andererseits hat ein p-n-Übergang, bestehend aus dem n-Typ
GaAs-Bereich 13 und dem p-Typ GaAs-Bereich 14 die Funktion,
daß er eine fotovoltaische Energie in einer Richtung ent
gegengesetzt zur ursprünglichen Energieerzeugungsrichtung
der Solarzelle erzeugt. Dieser p-n-Übergang zwischen den
Bereichen 13 und 14 verschlechtert jedoch die Funktion der
Solarzelle nicht wesentlich, indem er eine entgegengesetzt
gerichtete Energie erzeugt, und zwar aus den folgenden
Gründen:
- a) Da der p-n-Übergang an der Unterseite entgegengesetzt zur Oberseite, also der Lichtempfangsfläche vorgesehen ist, erreicht nur ein extrem kleiner Teil des Lichtes den p-n- Übergang; dies gilt insbesondere bei einer GaAs-Solarzelle oder dergleichen mit einem hohen Fotoabsorptionskoeffizienten, bei der Licht mit einer Wellenlänge, die für die fotovoltaische Energieerzeugung erforderlich ist, kaum den p-n-Übergang erreicht;
- b) die Fläche des p-n-Überganges kann bei entsprechender Ausge staltung so verringert werden, daß sie ausreichend kleiner ist als die effektive Energieerzeugungsfläche; und
- c) es kann verhindert werden, daß das empfangene Licht den p-n-Übergang erreicht, indem man eine Metallelektroden schicht auf der Oberseite vorsieht.
Bei der obigen Beschreibung ist der Einfluß von Licht, das
auf die Rückseite oder Seitenflächen der Solarzelle trifft,
welche keine Lichtempfangsfläche der Solarzelle bilden,
vernachlässigt. Dieser Einfluß kann jedoch in den meisten
Fällen vernachlässigt werden. Sofern dies nicht der Fall ist,
ist dafür eine andere Ausführungsform gemäß der Erfindung
vorgesehen, die nachstehend beschrieben ist.
Fig. 3(a) bis Fig. 3(e) zeigen Querschnitte zur Erläuterung
der Herstellungsschritte einer GaAs-Solarzelle gemäß einer
anderen Ausführungsform der Erfindung. Die Fig. 4(a) und
Fig. 4(b) zeigen eine Draufsicht bzw. eine Unteransicht einer
derartigen Solarzelle, die mit den Schritten gemäß Fig. 3
hergestellt worden ist. Insbesondere zeigt dabei Fig. 3(e)
einen Querschnitt längs der Linie II-II in Fig. 4(a).
Dabei sind in den Detaildarstellungen von Fig. 3 und Fig. 4
gleiche oder entsprechende Komponenten mit gleichen Bezugs
zeichen bezeichnet. Unter Bezugnahme auf diese Figuren werden
die einzelnen Herstellungsschritte nachstehend näher erläutert.
Die Schritte gemäß Fig. 3(a) bis Fig. 3(d) werden in ähnlicher
Weise durchgeführt wie die Schritte gemäß Fig. 1(a) bis
Fig. 1(d), mit Ausnahme der Positionierung des Fensters 24c.
Das Fenster 24c wird in einem Abstand von mehr als etwa
20 µm von dem Kantenbereich des n-Typ GaAs-Substrats 10
ausgebildet. Somit wird der durch das Fenster 24c definierte
p-Typ GaAs-Bereich 14 ebenfalls in einem Abstand von mehr
als 20 µm vom Kantenbereich des n-Typ GaAs-Substrats 10
ausgebildet, d. h. dem Kantenbereich der Solarzelle.
Die Herstellung der Elektroden auf der rückseitigen Oberfläche
des Substrats 10 geschieht folgendermaßen. Eine Silizium
nitridschicht, die als Isolierschicht dient, wird auf der
rückseitigen Oberfläche ausgebildet. Die Siliziumnitridschicht
wird dann in den vorgegebenen Bereichen mit einem Fotolithografie-
Verfahren entfernt, um den Isolierfilm 23 bzw. 23a und 23b
zu erhalten, wie es in Fig. 3(e) und Fig. 4(b) dargestellt ist.
Dann wird die Anode 32 sowohl auf der p-Typ GaAs-Schicht 12
und dem n-Typ GaAs-Bereich 13 ausgebildet, während die Kathode
33 ausgebildet wird, daß sie sich von der Oberfläche des
n-Typ GaAs-Bereiches 11 zur Oberfläche des p-Typ GaAs-Bereiches
14 erstreckt, und sie ist gegenüber der p-Typ GaAs-Schicht 12
und dem n-Typ GaAs-Bereich 13 durch die Isolierschicht 23
isoliert.
Ein p-n-Übergang, der von dem p-Typ GaAs-Bereich 14 und dem
n-Typ GaAs-Bereich 13 gebildet wird, wird mit der Isolier
schicht 23b überzogen und die Kathode 33 darauf ausgebildet,
wie es Fig. 3(e) und Fig. 4(b) zeigen. Die Kathode 33 ist
elektrisch mit dem p-Typ GaAs-Bereich 14 im zentralen Bereich
14c der Oberfläche des p-Typ GaAs-Bereiches 14 verbunden.
Die Herstellung der Elektrode 31 usw. auf der oberen Ober
fläche des Substrats 10 erfolgt in gleicher Weise wie bei
der Ausführungsform gemäß Fig. 1 und 2, so daß ihre Beschreibung
entbehrlich ist.
Die erfindungsgemäße Solarzelle gemäß dieser Ausführungsform
hat die folgenden Vorteile zusätzlich zu den oben beschriebenen
Vorteilen der Ausführungsform gemäß Fig. 1 und 2.
Der p-Typ GaAs-Bereich 14 wird in einem Abstand von mehr als
etwa 20 µm vom Kantenbereich der Solarzelle ausgebildet, und
somit befindet sich der p-n-Übergang, der von dem p-Typ
GaAs-Bereich 14 und dem n-Typ GaAs-Bereich 13 gebildet wird,
in einem Abstand von mehr als etwa 20 µm von dem Kantenbereich
der Solarzelle.
Infolgedessen kann Licht, das auf den Kantenbereich der Solar
zelle auftrifft, den p-n-Übergang der antiparallel
geschalteten Diode nicht erreichen, die von dem p-Typ GaAs-
Bereich 14 und dem n-Typ GaAs-Bereich 13 gebildet wird,
da die GaAs-Solarzelle aufgrund des verwendeten Materials
GaAs einen großen Fotoabsorptionskoeffizienten besitzt, wie
es oben beim Vorteil (a) erläutert worden ist, so daß die
Infiltrationstiefe des Lichtes mit einer effektiven Wellen
länge für die fotovoltaische Energieerzeugung etwa 20 µm
beträgt.
Weiterhin wird Licht, das auf die rückseitige Oberfläche der
Solarzelle auftrifft, reflektiert und von der Kathode 33
absorbiert, welche den p-n-Übergang der antiparallel ge
schalteten Diode bedeckt, so daß sie den p-n-Übergang nicht
erreicht.
Somit wird der Einfluß von Licht, das auf die rückseitigen
und seitlichen Oberflächen der Solarzelle auftrifft, beseitigt.
Dadurch kann die Erzeugung von Energie durch den p-n-Übergang
der antiparallel geschalteten Diode entgegengesetzt zu
der Energieerzeugung der Solarzelle in perfekter Weise ver
hindert werden.
Wenn bei einem Solarzellenmodul, der durch Verbindung der
Solarzellen in Serienschaltung durch die entsprechenden äußeren
Verbindungen der jeweiligen Anoden 32 und Kathoden 33 herge
stellt wird, ein Teil der Solarzellen abgeschattet wird,
so wird eine Sperrspannung an die jeweilige abgeschattete
Solarzelle angelegt, so daß die Anode 32 und die Kathode 33
mit negativen bzw. positiven Potentialen vorgespannt werden.
Da der antiparallele Diodenbereich, bestehend aus dem p-Typ
GaAs-Bereich 14 und dem n-Typ GaAs-Bereich 13 in der abge
schatteten Solarzelle in Durchlaßrichtung vorgespannt ist,
fließt ein Strom von der Kathode 33 zur Anode 32 durch die
abgeschattete Solarzelle, der die Spannung zwischen der
Kathode 33 und der Anode 32 verringert. Infolgedessen beauf
schlagt die Sperrspannung den Solarzellenbereich nicht in
wesentlicher Weise, die somit im wesentlichen eine Energie
erzeugungsfunktion behält, die bei der Solarzelle erforderlich
ist.
Obwohl bei den oben beschriebenen Ausführungsformen GaAs-Solar
zellen verwendet werden, kann die Erfindung auch Anwendung
finden auf eine Si-Solarzelle sowie andere Typen von Solar
zellen. Bei der beschriebenen Ausführungsform ist die Kathode 33
so ausgebildet, daß sie den n-Typ GaAs-Bereich 11 und den
p-Typ GaAs-Bereich 14 kurzschließt. Es ist jedoch klar, daß
die Elektroden für den n-Typ GaAs-Bereich 11 und den p-Typ
GaAs-Bereich 14 auch unabhängig voneinander ausgebildet
sein können und sich bei einem Montagevorgang über einen
Verbinder miteinander verbinden lassen, so daß eine ähnliche
Wirkung wie bei der beschriebenen Ausführungsform erzielt wird.
Claims (15)
1. Solarzelle mit einer integrierten antiparallelen Schutzdiode,
umfassend
- - eine erste Halbleiterschicht (11, 13) von einem ersten Leitfähigkeitstyp,
- - eine zweite Halbleiterschicht (12, 15) vom zweiten Leitfähigkeitstyp auf der Lichteinfallseite der ersten Halbleiterschicht (11, 13), die in Kontakt miteinander einen ersten p-n-Übergang bilden, der für die Funktion der Solarzelle maßgeblich ist,
- - eine weitere Halbleiterschicht (14) vom zweiten Leitfähigkeitstyp auf der Rückseite der ersten Halbleiterschicht (11, 13), die in Kontakt miteinander einen p-n-Übergang bilden, der für die Funktion der Schutzdiode maßgeblich ist, und
- - erste und zweite Verbindungseinrichtungen (32, 33), welche die erste Halbleiterschicht mit der zweiten Halbleiterschicht (13; 12) bzw. die erste Halbleiterschicht mit der weiteren Halbleiterschicht (11; 14) elektrisch miteinander verbinden und äußere Verbindungselektroden bilden,
dadurch gekennzeichnet,
- - daß ein Teil (12) der zweiten Halbleiterschicht (12, 15) sich von der einen Hauptfläche auf der Lichteinfallseite der ersten Halbleiterschicht (11, 13) durch diese Halbleiterschicht hindurch zur anderen Hauptfläche auf der Rückseite erstreckt und die erste Halbleiterschicht (11, 13) in einen ersten, relativ großen Halbleiterbereich (11) und einen zweiten, relativ kleinen Halbleiterbereich (13) teilt,
- - daß die weitere Halbleiterschicht als dritter Halbleiterbereich (14) in einem Teil des zweiten Halbleiterbereiches (13) ausgebildet und von der zweiten Halbleiterschicht (12, 15) getrennt ist
- - und daß beide Verbindungseinrichtungen als äußere Verbindungselektroden (32, 33) auf der Rückseite der Solarzelle angebracht sind.
2. Solarzelle nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste äußere Verbindungselektrode (32) sich von
einem Bereich auf dem Teil (12) der zweiten Halbleiterschicht
zu einem Bereich auf dem zweiten Halbleiterbereich
(13) erstreckt,
und daß die zweite äußere Verbindungselektrode (33) sich
von einem Bereich auf dem ersten Halbleiterbereich (11)
zu einem Bereich auf dem dritten Halbleiterbereich (14)
erstreckt und eine Isoliereinrichtung (23, 23a, 23b) aufweist,
die die zweite äußere Verbindungselektrode (33)
gegenüber der zweiten Halbleiterschicht (12) und dem
zweiten Halbleiterbereich (13) isoliert.
3. Solarzelle nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Isoliereinrichtung aus einer Isolierschicht (23,
23a, 23b) aus Siliziumnitrid (Si₃N₄) besteht.
4. Solarzelle nach Anspruch 2 oder 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß die zweite äußere Verbindungselektrode (33) den p-n-Übergang
bedeckt, der von dem zweiten Halbleiterbereich
(13) und dem dritten Halbleiterbereich (14) gebildet
wird.
5. Solarzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Halbleiterschicht (11, 13), die zweite
Halbleiterschicht (12, 15) und der dritte Halbleiterbereich
(14) im wesentlichen aus GaAs mit Verunreinigungen
bestehen.
6. Solarzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß der von dem zweiten Halbleiterbereich (13) und dem
dritten Halbleiterbereich (14) gebildete p-n-Übergang
sich in einem Abstand von mehr als etwa 20 µm von einem
Kantenbereich der ersten Halbleiterschicht (13) befindet.
7. Solarzelle nach einem der Ansprüche 1 bis 6,
dadurch gekennzeichnet,
daß der erste Leitfähigkeitstyp der n-Typ und der zweite
Leitfähigkeitstyp der p-Typ ist.
8. Solarzelle nach Anspruch 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß der p-Typ erhalten wird durch Einführen von Zn-Atomen
als Verunreinigungen in einen GaAs-Kristall.
9. Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle mit einer integrierten
antiparallelen Schutzdiode nach einem der Ansprüche
1 bis 8, das folgende Schritte umfaßt:
- a) Herstellen einer ersten Halbleiterschicht (10) von einem ersten Leitfähigkeitstyp,
- b) selektives Eindiffundieren von Verunreinigungen in die erste Halbleiterschicht (10) zur Bildung der zweiten Halbleiterschicht (12, 15) vom zweiten Leitfähigkeitstyp, die in Kontakt miteinander einen ersten p-n-Übergang bilden, wobei ein durchgehender Teil (12) der zweiten Halbleiterschicht (12, 15) sich von der einen Hauptfläche auf der Lichteinfallseite der ersten Halbleiterschicht (10) durch diese Halbleiterschicht hindurch zur anderen Hauptfläche auf der Rückseite erstreckt und die erste Halbleiterschicht (10) in den ersten, relativ großen Halbleiterbereich (11) und den zweiten, relativ kleinen Halbleiterbereich (13) teilt,
- c) selektives Eindiffundieren von Verunreinigungen von der Rückseite inselförmig in einem Teil des zweiten Halbleiterbereiches (13) getrennt von der zweiten Halbleiterschicht (12, 15) zur Bildung des dritten Halbleiterbereiches (14) vom zweiten Leitfähigkeitstyp und
- d) Anbringen der ersten und zweiten elektrischen Verbindungseinrichtungen (32, 33) auf der Rückseite der Solarzelle in Form von äußeren Verbindungselektroden.
10. Verfahren nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die zweite äußere Verbindungselektrode (33) gegenüber
der zweiten Halbleiterschicht (12) und dem zweiten Halbleiterbereich
(13) isoliert wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet,
daß zur Isolierung der zweiten äußeren Verbindungselektrode
(33) eine Isolierschicht (23, 23a, 23b) aus Siliziumnitrid
(Si₃N₄) verwendet wird.
12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß die zweite äußere Verbindungselektrode (33) so ausgebildet
wird, daß sie den p-n-Übergang bedeckt, der von
dem zweiten Halbleiterbereich (13) und dem dritten Halbleiterbereich
(14) gebildet wird.
13. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 12,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Halbleiterschicht (11, 13), die zweite
Halbleiterschicht (12, 15) und der dritte Halbleiterbereich
(14) im wesentlichen aus GaAs mit Verunreinigungen
gebildet werden.
14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13,
dadurch gekennzeichnet,
daß der dritte Halbleiterbereich (14) in der Weise gebildet
wird, daß der von dem zweiten Halbleiterbereich (13)
und dem dritten Halbleiterbereich (14) gebildete p-n-Übergang
sich in einem Abstand von mehr als etwa 20 µm
von einem Kantenbereich der ersten Halbleiterschicht (13)
befindet.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62171596A JPS6414974A (en) | 1987-07-08 | 1987-07-08 | Inverse conductive solar battery cell |
JP62281613A JPH0831614B2 (ja) | 1987-11-06 | 1987-11-06 | 太陽電池セル |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3819671A1 DE3819671A1 (de) | 1989-01-19 |
DE3819671C2 true DE3819671C2 (de) | 1993-09-02 |
Family
ID=26494275
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE3819671A Granted DE3819671A1 (de) | 1987-07-08 | 1988-06-09 | Solarzelle und verfahren zu ihrer herstellung |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4846896A (de) |
DE (1) | DE3819671A1 (de) |
GB (1) | GB2206732B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19609189A1 (de) * | 1996-03-09 | 1997-09-11 | Webasto Karosseriesysteme | Solargenerator mit Anpaßwandler |
DE10125036B4 (de) * | 2000-05-24 | 2012-01-26 | Sharp K.K. | Verfahren zum Schützen einer Solarzelle |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01205472A (ja) * | 1988-02-10 | 1989-08-17 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池セル |
JPH02135786A (ja) * | 1988-11-16 | 1990-05-24 | Mitsubishi Electric Corp | 太陽電池セル |
EP0369666B1 (de) * | 1988-11-16 | 1995-06-14 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Sonnenzelle |
JP3754841B2 (ja) * | 1998-06-11 | 2006-03-15 | キヤノン株式会社 | 光起電力素子およびその製造方法 |
GB2341273A (en) * | 1998-09-04 | 2000-03-08 | Eev Ltd | Solar cell arrangements |
GB2341721B (en) * | 1998-09-04 | 2003-08-27 | Eev Ltd | Manufacturing method for solar cell arrangements |
DE19845658C2 (de) | 1998-10-05 | 2001-11-15 | Daimler Chrysler Ag | Solarzelle mit Bypassdiode |
US6239354B1 (en) | 1998-10-09 | 2001-05-29 | Midwest Research Institute | Electrical isolation of component cells in monolithically interconnected modules |
US6300557B1 (en) | 1998-10-09 | 2001-10-09 | Midwest Research Institute | Low-bandgap double-heterostructure InAsP/GaInAs photovoltaic converters |
US7866035B2 (en) * | 2006-08-25 | 2011-01-11 | Coolearth Solar | Water-cooled photovoltaic receiver and assembly method |
BRPI0924530A2 (pt) * | 2009-05-25 | 2015-06-30 | Day4 Energy Inc | "disposição de grupos de módulos fotovoltaicos e proteção de sombreamento para os mesmos" |
DE102009034317A1 (de) | 2009-07-23 | 2011-02-03 | Q-Cells Se | Verfahren zur Herstellung durchbruchsicherer p-Typ Solarzellen aus umg-Silizium |
JP5583093B2 (ja) * | 2011-09-21 | 2014-09-03 | シャープ株式会社 | 光発電モジュールおよび光発電モジュールアレイ |
CN112151601A (zh) * | 2020-11-24 | 2020-12-29 | 浙江里阳半导体有限公司 | 半导体器件及其制造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1320775A (fr) * | 1962-01-12 | 1963-03-15 | Europ Des Semi Conducteurs Soc | Dispositif photovoltaïque à semi-conducteurs pour piles solaires |
DE2253831C3 (de) * | 1972-11-03 | 1981-01-22 | Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt | Solarzellenbatterie |
JPS5664475A (en) * | 1979-08-23 | 1981-06-01 | Unisearch Ltd | Solar battery with branching diode |
DE3005560A1 (de) * | 1980-02-14 | 1981-08-20 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Reihenschaltung von solarzellen |
US4481378A (en) * | 1982-07-30 | 1984-11-06 | Motorola, Inc. | Protected photovoltaic module |
-
1988
- 1988-06-07 US US07/202,507 patent/US4846896A/en not_active Expired - Lifetime
- 1988-06-09 DE DE3819671A patent/DE3819671A1/de active Granted
- 1988-06-10 GB GB8813737A patent/GB2206732B/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19609189A1 (de) * | 1996-03-09 | 1997-09-11 | Webasto Karosseriesysteme | Solargenerator mit Anpaßwandler |
DE10125036B4 (de) * | 2000-05-24 | 2012-01-26 | Sharp K.K. | Verfahren zum Schützen einer Solarzelle |
DE10125036B8 (de) * | 2000-05-24 | 2012-04-26 | Sharp K.K. | Verfahren zum Schützen einer Solarzelle |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB2206732B (en) | 1990-07-11 |
GB2206732A (en) | 1989-01-11 |
US4846896A (en) | 1989-07-11 |
GB8813737D0 (en) | 1988-07-13 |
DE3819671A1 (de) | 1989-01-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3615515C2 (de) | ||
DE3819671C2 (de) | ||
DE4136827C2 (de) | Solarzelle mit einer Bypassdiode | |
EP1790015B1 (de) | Solarzellenanordnung sowie verfahren zum verschalten eines solarzellenstrings | |
DE69837143T2 (de) | Ein Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle | |
DE3036869C2 (de) | Integrierte Halbleiterschaltung und Schaltkreisaktivierverfahren | |
DE69632939T2 (de) | Solarzelle mit integrierter Umleitungsdiode und Herstellungsverfahren | |
DE102005025125B4 (de) | Verfahren zur Herstellung einer einseitig kontaktierten Solarzelle und einseitig kontaktierte Solarzelle | |
DE102011122252B4 (de) | Solarzelle und Verfahren zu deren Herstellung | |
DE2246115A1 (de) | Photovoltazelle mit feingitterkontakt und verfahren zur herstellung | |
DE3031907A1 (de) | Solarzelle und solarzellenverbund sowie verfahren zu ihrer herstellung. | |
DE3826721A1 (de) | Festkoerper-solarzelle mit nebenschluss-diodensystem | |
WO2005112131A1 (de) | Solarzelle mit integrierter schutzdiode | |
DE2917564A1 (de) | Verfahren zum herstellen von solarzellen und dadurch hergestellte gegenstaende | |
DE2607005C2 (de) | Integrierte Tandem-Solarzelle | |
DE2363120B2 (de) | Sonnenzellenanordnung | |
DE112012006610T5 (de) | Solarzelle, Solarzellenmodul und Verfahren zum Fertigen einer Solarzelle | |
DE3517414A1 (de) | Solargenerator | |
DE3727823A1 (de) | Tandem-solarmodul | |
DE10125036B4 (de) | Verfahren zum Schützen einer Solarzelle | |
DE3903837C2 (de) | ||
WO2009149841A2 (de) | Solarzelle und verfahren zu deren herstellung | |
DE2456131A1 (de) | Fotosensible vorrichtung | |
EP2347448B1 (de) | Verfahren zur herstellung einer waferbasierten, rückseitenkontaktierten hetero-solarzelle und mit dem verfahren hergestellte hetero-solarzelle | |
DE102016116192B3 (de) | Photovoltaikmodul mit integriert serienverschalteten Stapel-Solarzellen und Verfahren zu seiner Herstellung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8320 | Willingness to grant licences declared (paragraph 23) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |