DE3031907A1 - Solarzelle und solarzellenverbund sowie verfahren zu ihrer herstellung. - Google Patents
Solarzelle und solarzellenverbund sowie verfahren zu ihrer herstellung.Info
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Description
UNISEARCH LIMITED, 221-227 Anzac Parade, Kensington, New South Wales, Australia
Solarzelle und Solarzellenverbund sowie Verfahren zu ihrer Herstellung
Die Erfindung betrifft eine Solarzelle mit einer Platte aus halbleitendem Material und ein Verfahren zur Herstellung
derselben sowie integrierte Anordnungen einer Vielzahl von Solarzellen und Verfahren zu deren Herstellung.
Solarzellen verwandeln unter Ausnutzung des Fotoeffektes in einem Halbleiter Sonnenlicht direkt in elektrische
Energie. Sie liefern im wesentlichen hohe Ströme bei geringen Spannungen und müssen deshalb in einer Vielzahl
hintereinandergeschaltet werden, um brauchbare Spannungen zu erzeugen.
710
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BOEHMERT & BOEHMEKΓ
Eine Fehlanpassung der Eigenschaften der so verbundenen
Solarzellen kann Betriebsprobleme in einer derartigen Anordnung von Solarzellen verursachen. Eine solche Fehlanpassung
kann z.B. durch physikalische Unterschiede der einzelnen Solarzellen bedingt sein, die sich während
des Herstellungsprozesses nicht vermeiden lassen, oder auch durch den Defekt einer Solarzelle. Aber auch durch
Vorgänge außerhalb der Solarzellen sind Fehlanpassungen möglich; z.B. durch eine teilweise Abschattung «ines Solarzellenverbundes
durch gefallene Blätter oder Vogelmist.
Unabhängig vom Ursprung kann eine solche Fehlanpassung zweierlei unerwünschte Auswirkungen nach sich ziehen. Der
Ausgangsstrom einer Reihe von verbundenen Solarzellen wird durch die schwächste Zelle bestimmt. Das bedeutet,
daß durch eine Fehlanpassung ein Teil der Stromerzeugungskapazität der verbundenen Zellen vergeudet wird. Darüber
hinaus werden Reihen von hintereinandergeschalteten Solarzellen häufig mit geringen Ausgangsspannungen betrieben,
z.B. bei einigen Spannungs- Steuerungsanordnungen oder während der Wartung der Solarzellenanordnung. In diesen
Fällen wird praktisch die gesamte durch die Anordnung erzeugte Leistung in der schwächsten Zelle verbraucht, wodurch
eine lokale Überhitzung und ein Bruch der Solarzellenummantelung
verursacht werden kann.
Die erwähnten unerwünschten Wirkungen einer Fehlanpassung der Solarzellen können durch Parallelschaltung einer Nebenschluß-
Diode zu jeder Solarzelle,bzw. zu einer kleinen Gruppe von Solarzellen,vermieden werden. Eine solche Diode
kann entweder eine getrennte Vorrichtung sein oder, auch in die Solarzellenstruktur integriert sein.
0-Qi Ϊ-/07
BOEHMERT & E-OSHMERT
Die Solarzellen können eine Vielzahl von Strukturen aufweisen, z.B. kann es sich um eine herkömmliche
pn-übergangsstruktur oder um eine MIS-Struktur handeln.
Die große Mehrzahl der zur Zeit gefertigten Solarzellen verwendet Silizium und weist pn-übergänge auf. Es handelt
sich dabei um Dioden mit großflächigen Sperrschichten, deren Struktur zur bestmöglichen Ausnutzung des Sonnenlichtes
optimiert ist. üblicherweise wird bei der Herstellung eines solchen pn-Überganges von einer dünnen Siliziumscheibe
ausgegangen, deren Durchmesser etwa 50-125 mm und deren Stärke etwa 0,25 - 0,6 mm beträgt. Diese Scheibe
wird üblicherweise mit p-leitenden Fremdatomen (wie z.B. Bor) dotiert. In die Oberfläche der Scheibe werden bei
hohen Temperaturen Störstellenatome (üblicherweise Phosphor) mit η-leitenden Eigenschaften diffundiert. Dadurch
wird eine sehr dünne n-leitende Schicht von etwa 0,2 - 0,5 /im
und damit ein pn-übergang geschaffen. Die gesamte rückwärtige Oberfläche der Solarzelle wird mittels einer aufgetragenen
Metallschicht mit einem Ohmschen Kontakt versehen, der üblicherweise erhitzt wird, um durch eine darunterliegende
dünne Oxidschicht oder einen Diffusionsbereich einen guten elektrischen Kontakt sicherzustellen.
Mittels eines Metallnetzes wird die Diffusionsschicht im Oberteil der Solarzelle mit einem Ohmschen Kontakt versehen.
Das Netz hält den Reihenwiderstand gering und schattet nur einen geringen Teil der Sonnenzellenoberflache
gegen einfallendes Licht ab. Optische Verluste werden durch Auftragung einer"Viertel- Wellenllänge"Antireflexionsbeschichtung
auf das Oberteil der Solarzelle oder durch chemische Ätzung zu einem früheren Zeitpunkt des
Herstellungsverfahrens, bzw. durch eine Kombination dieser
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BOEHMERT & BOEHMERT
beiden Verfahren,verringert.
Der andere oben erwähnte Typ von Solarzellen verwendet eine MIS-Technik. Solche Vorrichtungen zeigen ähnliche elektronische
Eigenschaften wie ideale pn-übergangs- Dioden und sind deshalb in der Lage, ähnliche Konversionswirkungsgrade
zu erreichen.
Ein bevorzugtes Verfahren, solche MIS-Solarzellen herzustellen
verläuft folgendermaßen. Mit p-leitenden Störstellen dotiertes Silizium wird als Grundmaterial verwendet.
Nach der chemischen Reinigung wird eine dünne Oxidschicht auf der oberen und der unteren Oberfläche geformt; z.B.
durch Erhitzung in Luft oder in einem anderen oxidierenden Milieu. Im nächsten Schritt wird ein Metallkontakt am
Boden des Silizium- Grundmaterials ausgeformt. Zu diesem Zweck wird eine geeignete Metallschicht (z.B. Aluminium)
auf die Rückseite gebracht und für ein kurzes Zeitintervall (z.B. 15 Min.) bei etwa 500° C gesintert, so daß das
Metall einen nicht gleichrichtenden Kontakt durch die dünne Oxidschicht erzeugt. Danach wird der Metallkontakt
am Oberteil des Grundmaterial angebracht. Die unterliegende Schicht dieses Metallkontaktes weist vorzugsweise
Aluminium, Magnesium, Titan oder einen ähnlichen Leiter mit geringer Austrittsarbeit für p-leitendes Grundmaterial
auf. Der Oberteil des Kontaktes besteht aus einem feinen Gitter, das z.B. durch eine Metallmaske oder durch
fotolitographische Methoden erzeugt wird. Abschließend wird zwecks Reduzierung der Reflektion eine Antireflektionsbeschichtung
(z.B. aus SiO) auf die Oberfläche der Vorrichtung aufgetragen. Eine solche Antireflektionsbeschichtung
dient auch zur Passivierung der Oberfläche des darunter-
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BOEHMERT & BOEHMERT
liegenden Siliziums.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine neue Anordnung für eine Nebenschluß- Diode einer Solarzelle zu
schaffen, durch die die Toleranz einer Anordnung von Solarzellen gegenüber Fehlanpassungen der Zellen erhöht
wird. Dabei sollen bei Verwendung der Erfindung nur die üblichen Solarzellen- Verbindungen erforderlich sein.
Eine Aufgabe der Erfindung liegt darin, ein Verfahren zur Herstellung einer Vielzahl von verbundenen Solarzellen
mittels einer einstückigen Platte aus halbleitendem Material (wie z.B. Silizium) zu schaffen, wodurch sowohl die
Herstellungskosten als auch die Betriebssicherheit eines in Reihe geschalteten Verbundes von Solarzellen verbessert
werden.
Ein weiteres Ziel der Erfindung ist es, einen Verbund von Solarzellen zu schaffen, wobei jeder einzelnen Solarzelle
eine Diode parallelgeschaltet ist. Eine solche Anordnung hat alle erwähnten Vorteile und kann darüber hinaus Solarzellen,
die schon seit ihrer Herstellung unbrauchbar sind, aufnehmen, ohne daß die Leistungsfähigkeit der gesamten
Anordnung wesentlich beeinträchtigt wird.
Erfindungsgemäß werden die obengenannten Aufgaben gelöst durch eine integral ausgeformte Nebenschluß- Diode; Boden-
und Oberteilkontakte, die zumindest teilweise entweder einen direkten elektrischen Kontakt oder einen indirekten
elektrischen Kontakt durch eine zwischenliegende anders dotierte Schicht oder eine Isolationsschicht
mit dem halbleitenden Material haben; und eine Unterteilung der Solarzelle in drei benachbarte Bereiche; eine
Nebenschluß- Diode, eine Hauptzelle und einen dazwischenliegenden, isolierenden Abschnitt, wobei die Hauptzelle
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aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und Boden- und Oberteilkontakte aufweist, von denen einer
direkten oder indirekten elektrischen Kontakte mit dem halbleitenden Material hat, während der andere davon durch
eine dazwischenliegende andere dotierte oder isolierende
Schicht getrennt ist; der isolierende Abschnitt aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und sowohl vom
Boden- als auch vom Oberteilkontakt durch eine dazwischenliegenden
anders dotierte oder eine isolierende Schicht getrennt ist; die Nebenschluß- Diode aus einem Teil des
halbleitenden Materials besteht und einer ihrer Boden- bzw. Oberteilkontakte in direktem oder indirektem
elektrischen Kontakt mit dem halbleitenden Material steht, während der andere Kontakt durch eine dazwischenliegende
anders dotierte oder isolierende Schicht getrennt ist; und die Nebenschluß- Diode durch eine elektrische Leitung mit der
Hauptzelle verbunden ist.
Daneben offenbart die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Solarzelle und gibt darüber hinaus
an, wie eine Vielzahl solcher Solarzellen zu einem integrierten Verbund angeordnet werden können.
Auch für eine solche integrierte Anordnung einer Vielzahl von Solarzellen wird ein Herstellungsverfahren angegeben.
Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus den Ansprüchen und aus der nachfolgenden Beschreibung,
in der ein Ausführungsbeispiel anhand der Zeichnung im einzelnen erläutert ist. Dabei zeigt bzw. zeigen:
Fig. 1a eine erfindungsgemäße Solarzelle mit
einer Nebenschluß- Diode, die integral in der Solarzelle ausgeformt ist;
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BOEHMFRT & BOEHMERT
Fig. 1b ein,Ersatzschaltbild der in Fig.
1a gezeigten Anordnung;
Fig. 2 eine halbkreisförmige Anordnung für eine integrierte Nebenschluß- Diode;
Fig.3a,3b,3c'p3d schematisch drei verschiedene Herstellungsverfahren
zur Herstellung der Nebenschluß- Diode;
Fig. 4 die Dunkelstromcharakteristik einer Solarzelle mit pn-übergang und einer
integrierten Nebenschluß- Diode (diese Ausführung der Nebenschluß- Diode wird mit "BD3" bezeichnet);
Fig. 5 eine graphische Darstellung der Ausgangs- Charakteristik einer Solarzelle
mit pn-übergang und integrierter Nebenschluß- Diode - als BD3 bezeichnet - bei Beleuchtung im Vergleich mit der Ausgangs-Charakteristik
einer Solarzelle - mit C6 bezeichnet -, die vergleichbar»aber
ohne Nebenschluß- Diode hergestellt ist;
Fig. 6 eine graphische Darstellung der Ausgangsspannung der gleichen Zelle mit einer
integrierten Nebenschluß- Diode (BD3), die mit anderen Zellen in Reihe geschaltet ist, bei
unterschiedlich abgeschatteten Beleuchtungen;
Fig. 7 einen schematischen Schnitt durch eine Anordnung von integrierten Solarzellen;
Fig. 8a,8b eine Draufsicht bzw. eine Seitenansicht • einer in Reihe geschalteten Anordnung
von Mis-Solarzellen;
Fig. 9 die Strom- Spannungscharakteristik sowohl
einer einzelnen MIS-Solarzelle als auch
von zwei auf demselben Grundmaterial miteinander verbundenen MIS-Solarzellen;
Fig. 10 schematisch eine Reihenschaltung von
Solarzellen, wobei jede Solarzelle mit einer Nebenschluß- Diode versehen ist;und
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BOEHMERT & BOEHMERT
Fig.11ä,11b schematische Ansichten einer integrierten
Solarzelle mit Nebenschluß-Diode von oben bzw. von unten.
Fig. 1a zeigt eine erfindungsgemäße Solarzelle mit einer
Nebenschluß- Diode. Die Solarzelle weist eine mit p-leitenden
Fremdatomen dotierte Siliziumplatte 1 auf, die oben und unten mit η-leitenden oder isolierenden Schichten 2 und
3 versehen ist, auf denen ein oberer bzw. ein unterer metallischer Kontakt 4 und 5 angebracht sind. Eine Diode
mit der Solarzelle entgegengesetzter Polarität ist in die Solarzellenstruktur integriert und von der Hauptzelle durch
den Lateralwiderstand des Zellenkörpers isoliert. Gemäß Fig. la ist die Solarzelle in drei Bereiche unterteilt:
eine Hauptzelle 1, einen isolierenden Abschnitt 7 und eine Nebenschluß- Diode 6.
Das Ersatzschaltbild einer solchen Struktur ist in Fig. 1b gezeigt. Im Ersatzschaltbild ist nicht nur die Nebenschluß-
Diode 6 hinzugefügt, sondern auch ein parasitärer Reihenwiderstand R5 und ein parasitärer Parallelwiderstand
R3J1" hinzugefügt. Durch Wahl der Fläche der Nebenschluß-Diode
sowie der Breite des isolierenden Abschnittes 7 ist es möglich, die Größe der parasitären Widerstände zu bestimmen
und die Solarzelle den gegebenen Anforderungen anzupassen.
Der Parallelwiderstand bewirkt bei Normalbetrieb der Solarzelle einen zusätzlichen Leistungsverlust, wohingegen der
Reihenwiderstand einen Leistungsverlust bei Betrieb der Nebenschluß- Diode verursacht. Darüberhinaus geht die für
die Nebenschluß- Diode 6 und einen Teil des isolierenden Abschnittes 7 erforderliche Fläche für die Spannungserzeugung
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mittels Fotoeffekt verloren. Die Nebenschluß- Diode 6 ist so ausgeformt, daß solche Verluste möglichst gering
bleiben. Für Solarzellen nach dem gegenwärtigen Stand der Technik können solche Verluste vernachlässigbar klein
gehalten werden;Z*B· kann für eine Solarzelle mit 100 mm
Durchmesser der Gesamtverlust durch die Nebenschluß-Diode 6 unterhalb von 3 % der gesamten Solarzellenleistung
gehalten werden. Weiterhin ist es möglich, die Nebenschluß- Diode 6 unter Kontaktstreifen oder Zuleitungsschienen zu plazieren, um zusätzlich die durch die Nebenschluß-
Diode 6 beanspruchte wirksame Fläche der Solarzelle zu reduzieren.
Die günstigste Geometrie der Nebenschluß- Diode 6 hängt von der speziellen Konstruktion der Solarzelle ab. Eine
für den allgemeinen Gebrauch günstige Geometrie der Nebenschluß- Diode ist durch die Halbkreisform gemäß Fig. 2
gegeben, wobei die Hauptzelle 8 durch einen isolierenden Abschnitt 9 von der Nebenschluß- Diode 10 in einer durch
die Radien r-j und r2 bestimmten Weise getrennt ist.
Ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung von pn·-Übergangsund
MIS-Solarzellen mit integrierter Nebenschluß- Diode
sieht folgende Modifikationen der oben beschriebenen Verfahren vor: entsprechend Fig. 3a wird ein p-leitendes
Material 11 beidseitig mit n-leitenden Schichten 12 und 13
oder dünnen isolierenden Schichten versehen. Gemäß Fig. 3a ist der rückwärtige Kontakt (Metallschicht 14) in
einem bestimmten Bereich angebracht. Bevor der obere Kontakt angebracht wird, wird eine zusätzliche Metallschicht
15 in einem definierten Größenverhältnis in Bezug auf den schraffierten Kontakt 16, der sich gemäß Fig.3a auf der
Rückseite der Platte befindet, auf dem Oberteil der Silizium-
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platte aufgetragen. Durch nachfolgendes Heizen des Materials wird diese Metallschicht 15 durch die dünne
Diffusionsschicht oder dünne Oxidschicht 12 hindurch einen Ohmschen Kontakt mit dem darunterliegenden p-leitenden
Material herstellen, wie bei 17 angedeutet. Entsprechend der herkömmlichen Anbringung des Oberteil- Kontaktes
(Metallschicht 18) auf der Solarzelle wird der Boden-Kontakt (Metallschicht 19) auf der Unterseite der Solarzelle
angebracht. Dieser steht mit der dünnen Diffusionsschicht in Verbindung oder wirkt als gleichrichtender
MIS-Kontakt mittels der dünnen, darunterliegenden Oxidschichten 12 oder 13. Ein etwas raffinierteres Verfahren
könnte eine örtlich begrenzte Heizung, z.B.durch Laser- oder Elektronenpulse, vorsehen, durch die Ohmschen Kontaktflächen
definiert werden.
Ein anderes Verfahren zur Herstellung von Solarzellen, die keine Nebenschluß- Diode vorsehen, verwendet das obenbeschriebene
Verfahren mit folgenden Modifikationen: die Schicht mit dotierten Fremdatomen oder die dünne Oxidschicht
(20 und 21) wird selektiv gemäß Fig. 3b im halbleitenden Material 22 geformt. Dies kann durch selektive Maskierung
vor der Bildung dieser Schicht oder durch selektive Abtragung nach der Bildung der Schicht erreicht werden.
Das weitere Herstellungsverfahren ist bekannt und besteht
in der Aufbringung von Boden- und Oberteilkontakten 23 und 24.
Andere Verfahren, die die gleichrichtenden Eigenschaften von Metall- Halbleiterkontakten verwenden, sind in den
Fig. 3c und 3d gezeigt, wobei eine Metall- Halbleiterschicht 25 selektiv in oder auf dem p-leitenden Material
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ausgeformt wird, nachdem die untere Metall- Kontaktschicht 26 angebracht ist.
Fig. 4 zeigt die Strom- Spannungskurve einer Solarzelle mit pn-übergang und integrierter Nebenschluß- Diode,
die gemäß dem oben zuerst dargestellten Verfahren hergestellt ist. Der spezifische Widerstand dieser Solarzelle
beträgt 1 ilcm, ihre Stärke beträgt 280 /um und der Durchmesser
beträgt 50 mm. Es wurde eine halbkreisförmige Nebenschluß- Diode mit einem Radius von 3 mm benutzt, wobei
der Radius des Isolationsabschnittes 10,5 mm beträgt. Diese Abmessungen sind nicht optimal. Fig. 4 zeigt eindeutig
die erwartete Dioden- Charakteristik des Dunkelstroms der mit einer Nebenschluß- Diode versehenen Solarzelle.
Bei: Belichtung zeigt dieselbe Solarzelle die in Fig. 5 mit
"BD3" bezeichnete Strom- Spannungscharakteristik. Bei gleicher Belichtung zeigt eine Vergleichs- Solarzelle, die
nicht mit einer Nebenschluß- Diode versehen ist, die mit "C6" bezeichnete Charakteristik. Ein Verlust an Ausgangs-Spitzenleistung
ist offenkundig, doch kann dieser Verlust durch eine optimale Konstruktion der Nebenschluß- Diode
gering gehalten werden. Wenn eine Solarzelle mit einer integrierten Nebenschluß- Diode mit 18 herkömmlichen
Solarzellen vergleichbarer Größe in Reihe geschaltet wird, ergibt sich die in Fig. 6 mit "Gesamtleistung" bezeichnete
Kurve für die Strom- Spannungscharakeristik. Wird eine der
herkömmlichen Solarzellen der Anordnung abgeschattet, so fällt die Leistung wie erwartet gemäß der gepunkteten
Linie in Fig. 6 dramatisch ab. Andererseits ist im Falle einer vollständigen Abschattung der mit einer Nebenschluß-Diode
versehenen Solarzelle wie erwartet nur ein gering-
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BOEHMERT & BOEHMERi
fügiger Verlust an Ausgangsleistung zu verzeichnen.
Die Solarzellen können gemäß Fig. 7 auf einem einzigen Stück halbleitenden Materials ausgeformt sein. Diese
Technik ist insbesondere dann von Vorteil, wenn das Material einstückig produziert wird, wie es z.B. für
Siliziumstreifen der Fall ist. Die einzelnen Solarzellen in der Anordnung (die Hauptzelle ist in Fig. 7 mit dem
Bezugszeichen 31 bezeichnet) sind mittels der "Kurzschluß-Bereiche"
29 gemäß Fig. 7 in Reihe geschaltet. Aufeinanderfolgende Solarzellen sind durch den Lateralwiderstand des
isolierenden Bereiches 30 voneinander isoliert. Durch den Innenwiderstand des Kurzschluß- Bereiches 29 wird ein
parasitärer Reihenwiderstand in die Reihenschaltung eingeführt, während durch den Lateralwiderstand des isolierenden
Bereiches 30 ein parasitärer Parallelwiderstand bewirkt wird. Diese Widerstände können durch Wahl der Abmessungen
der entsprechenden Bereiche beeinflußt werden. In einer jeden Anordnung von derart in Reihe geschalteten
Solarzellen wird die in Fig. 7 gezeigte Abfolge eines isolierenden Bereiches 30, der eine Hauptzelle 31 und
einen Kurzschluß- Bereich 29 trennt, entsprechend der Gesamtzahl von Solarzellen in der Anordnung wiederholt.
Ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung einer in Reihe geschalteten Anordnung von MIS-SolarzelLen besteht in der Verwendung
des beschriebenen Herstellungsverfahrens für einzelne Solarzellen unter Berücksichtigung folgender
Modifikationen: die Vielfachkontakte 37 und 35 werden gemäß der in den Fig. 8a und 8b gezeigten räumlichen Aufteilung
angeordnet. Dabei wird vor der Anbringung des oberen Vielfachkontaktes ein zusätzlicher Verfahrenschritt
eingeführt, durch den eine zusätzliche Metallschicht 34
130011/0774
BOEHMERT & SCEHMERT
in der Fig. 8b angedeuteten Weise auf dem Oberteil des Siliziununaterials 22 angebracht wird. Nachfolgend
wird das Material geheizt, so daß diese Metallschicht 34 in gutem Ohmschen Kontakt durch die dünne Oxidschicht 33
hindurch mit dem darunterliegenden Material 22 kommt. In einem etwas eleganteren Verfahren könnte dieser Schritt
durch selektive Heizung, z.B. durch Laser- oder Elektronenpulse, ohne die zusätliche Metallbeschichtung durchgeführt
werden. Auf ähnliche Weise wird durch die dünne Oxidschicht ein Ohmscher Kontakt zwischen dem unteren
Vielfachkontakt 35 und dem darüberliegenden Halbleiter 36 erzeugt, wie bei 36 in Fig. 8b gezeigt ist.
Ein ähnliches Verfahren kann auch der Herstellung von miteinander verbundenen Solarzellen mit pn-Übergängen
dienen, obwohl in diesem Falle ein zusätzlicher parasitärer Parallelwiderstand durch den Lateralwiderstand der dünnen
Störstellenschicht in den Bereichen 38 und 39 von Fig. 8b eingeführt wird. In diesem Falle besteht das bevorzugte
Verfahren darin, selektiv die Bereiche zu bestimmen, in denen die n-leitenden Störstellen lokalisiert sind. Dies
kann entweder durch selektive Maskierung vor der Dotierung oder durch selektive Entfernung nach der Dotierung mittels
chemischer Ätzung in bestimmten Bereichen geschehen.
In Fig. 8b stellt die Breite "a" die Verbindungsfläche j
zwischen benachbarten Zellen dar und bestimmt den parasitären I Reihenwiderstand. Die Breite "b" stellt die Isoliereung
zwischen benachbarten Zellen dar und bestimmt den parasitären Parallelwiderstand. I
Im Idealfall ist der parasitäre Parallelwiderstand I
ι maximiert, während der parasitäre Reihenwiderstand minimiert j
ist. Durch die Wahl von "a" und "b" können die parasitären j
130011fr077A
INSPECTED
BOEHMERT & 3GFHMERT
Widerstände den Anforderungen an die Solarzelle angepaßt werden.
Durch das beschriebene Verfahren können miteinander verbundene MIS-Solarzellen auf einer einzigen Halbleiterplatte
hergestellt werden. In einem Ausführungsbeispiel ist die Siliziumplatte 10 cm lang und 300 yum stark. Zwei Solarzellen
sind miteinander verbunden und nehmen eine Totalfläche von 5,7 cm2 ein. In Fig. 9 ist die Strom- Spannungskurve einer einzelnen Solarzelle bei Beleuchtung gezeigt.
Die ebenfalls in Fig. 9 gezeigte Kurve für die zwei verbundenen MIS-Solarzellen zeigt, daß der Ausgangsstrom
gleich bleibt, während erwartungsgemäß die Ausgangsspannung verdoppelt wird.
Durch Kombination der Eigenschaften einer Reihenschaltung von Solarzellen mit einer erfindungsgemäßen Nebenschluß-Diode
für jede ZeJLIe ergibt sich die in Fig. 10 dargestellte Anordnung, ödr'ch die dort gezeigte spezifische Anordnung
von oberen und unteren metallischen Kontakten 40, 41 und n-leitenden Bereichen auf der halbleitenden
Platte werden die unterschiedlichen Bereiche, nämlich der Kurzschluß- Bereich 42, die Nebenschluß- Diode 43, die
Isolierung 44 und die Hauptzelle 45,geschaffen. Auch
wenn eine Zelle in dieser Anordnung abgedunkelt ist, wird die Gesamtstromleistung der Anordnung nicht beeinträchtigt.
Darüber hinaus können aufgrund der durch die Nebenschluß- Diode erzeugten Redundanz schon nach der
Herstellung defekte Solarzellen in die Reihenschaltung aufgenommen werden, ohne daß die Leistung reduziert wird.
Wie aus Fig. 10 ersichtlich ist, ist nur ein isolierender Bereich 44 erforderlich, um sowohl die Reihenschaltung
als auch die Nebenschluß- Sicherung zu erreichen.
- 14 -
130011/0774
BOEHMßRT & SCEhMERl·
Durch die in den Fig. 11a und 11b gezeigten Ansichten einer mit einer Nebenschluß- Diode versehenen Solarzelle
von unten bzw. von oben wird eine mögliche Geometrie einer Nebenschluß- Diode dargestellt. Die Netz- Kontakte
und der Kurzschlußbügel 46 auf dem halbleitenden Material 47 sind in der in Fig. 11a gezeigten Draufsicht zu erkennen,
während die in Fig. 11b gezeigte Ansicht von unten den durch den isolierenden Bereich 50 von der benachbarten
Nebenschluß- Diode 51 bis auf eine schmale leitende Verbindung 49 getrennten unteren Kontakt 48 zeigt.
Ein bevorzugtes Verfahren zur Herstellung einer Serienschaltung von Solarzellen mit Nebenschluß- Dioden besteht
in einer Kombination der oben beschriebenen Einzelverfahren.
Zwar ist in den vorstehenden Ausführungen p-leitendes
Grund- Material mit n-leitenden Schichten verwendet, doch
versteht sich, daß umgekehrte Anordnungen möglich sind.
Die in der vorstehenden Beschreibung, der Zeichnung sowie in den Ansprüchen offenbarten Merkmale der Erfindung
können sowohl einzeln als auch in beliebiger Kombination für die Verwirklichung der Erfindung in ihren verschiedenen
Aus führungsformen wesentlich sein.
- 15 -
130011/0774
BOEHMERT *k BOEHMERf
:18)0752
BEZUGSZEICHENLISTE (LIST OF REFERENCE NUMERALS)
1 | Hauptzelle | 1 |
? | Isolierende Schicht (η-Typ) | ? |
3 | Isolierende Schicht (n-Typ) | |
4 | Kontakt | 4 |
5 | Kontakt | 5 |
6 | Nebenschluß- Diode | 6 |
7 | Isolierender Abschnitt | 7 |
8 | Hauptzelle | 8 |
9- | Isolierender Abschnitt | 9 |
10 | Nebenschluß- Diode | 10 |
11 | Material (p-Typ) | 11 |
12 | Schicht (n-Typ) | 12 |
13 | Schicht (n-Typ) | 13 |
14 | Metallschicht | 14 |
15 | Metallschicht | 15 |
16 | Kontakt | 16 |
17 | Position | 17 |
18 | Metallschicht | 18 |
19 | Metallschicht | 19 |
20 | Oxidschicht | 20 |
21 | Oxidschicht | 21 |
22 | Halbleitermaterial | 22 |
25 | Kontakt | 23 |
24 | Kontakt | 24 |
25 | Metall- Halbleiterschicht | 25 |
Metall- Knntaktsnhinht | 26 | |
27 | Kontakt | 27 |
28 | Kontakt | 28 |
29 | Kurzschluß- Bereich | 29 |
30 | Isolierender Bereich | 30 |
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BOEHMERl' & BOEiIMERT
Hauptzelle -z*
32 | Oxidschicht | 32 |
33 | Metallschicht | 33 |
34 | Vi e1fachkontakt | 34 |
35 | Position | 35 |
36 | Vielfachkontakt | 36 |
37 | Bereich | 37 |
38 | Bereich | 38 |
39 . | Metallkontakt | 39 |
40 | Metallkontakt | 40 |
41 | Kurzschluß | 41 |
42 | Nebenschluß- Diode | 42 |
45 | Isolation | 43 |
44 | Hauptzelle | 44 |
4? | Kurzschluß- | 45 |
46 | Material | 46 |
47 | Kontakt | 47 |
48 | Leitung | 48 |
49 | Isolierender Bereich | 49 |
^o | Nebenschluß- Diode | 50 |
51 | ||
52 | 52 | |
55 | 53 | |
54- | ||
?5 | 551 | |
56 | 56 | |
?7 | 57 | |
58 | 58 | |
5? | 59 | |
60 | 60 | |
61 | 6t | |
62 | 62 | |
&? | 63 | |
64- | 64 | |
65 | ||
-2 -UQ01
TY077A
ORIGINAL INSPECTED
-XS-
e e r s e
ite
Claims (6)
- UX 152Ansprüche1/ Solarzelle mit einer Platte aus halbleitendem Material, gekennzeichnet durch eine integral ausgeformte Nebenschluß-Diode (6); Boden- und Oberteilkontakte (4, 5), die zumindest teilweise entweder einen direkten elektrischen Kontakt oder einen indirekten elektrischen Kontakt durch eine zwischenliegende anders dotierte Schicht oder eine Isolationsschicht (2, 3) mit dem halbleitenden Material haben; und eine Unterteilung der Solarzelle in drei benachbarte Bereiche: eine Nebenschluß- Diode (6), eine Hauptzelle (8) und einen dazwischenliegenden, isolierenden Abschnitt (7), wobei die Hauptzelle (8) aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und Boden- und Oberteilkontakte (4, 5) aufweist, von denen einer direkten oder indirekten elektrischen Kontakt mit dem halbleitenden Material710 130011/0774hat, während der andere davon durch eine dazwischenliegende anders dotierte oder isolieren* Schicht getrennt ist; der isolierende Abschnitt (7) aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und sowohl vom Boden- als auch vom Oberteilkontakt durch eine dazwischenliegende anders dotierte oder eine isolierende Schicht (2, 3) getrennt ist; die Nebenschluß- Diode (6) aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und von ihren Boden- bzw. Oberteilkontakten (4, 5) einer in direktem oder indirektem elektrischen Kontakt mit dem halbleitenden Material steht, während der andere Kontakt durch eine dazwischenliegende anders dotierte oder isolierende Schicht (2, 3) getrennt ist; und die Nebenschluß-Diode (6) durch eine elektrische Leitung mit der Hauptzelle (8) verbunden ist.
- 2. Verfahren zur Herstellung einer Solarzelle, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer Platte aus halbleitendem Material metallische Boden- und Oberteilkontakte geformt werden, die zumindest teilweise entweder direkt oder indirekt durch dazwischenliegende anders dotierte oder isolierende Schichten in elektrischem Kontakt mit dem halbleitenden Material stehen, wobei die. Bildung der metallischen Kontakte und der anders dotierten oder isolierenden Schichten derart gesteuert wird, daß die Solarzelle in drei benachbarte Bereiche unterteilt wird, die eine Nebenschluß- Diode, eine Hauptzelle und einen dazwischenliegenden isolierenden Abschnitt aufweisen, wobei die Hauptzelle aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und Boden- und Oberteilkontakte aufweist, von denen einer direkten oder indirekten elektrischen Kontakt mit dem halbleitenden Material hat, während der andere davon durch eine dazwischenliegende anders dotierte oder eine isolierende Schicht getrennt ist; der isolierende1300-1 a /-077BOEHMERT & BOEHMEHTAbschnitt aus einem Teil des halbleitenden Materials
besteht, der sowohl vom Boden- als auch vom Oberteilkontakt durch eine dazwischenliegende anders dotierte oder eine isolierende Schicht getrennt ist; die Nebenschluß- Diode
aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und
einer ihrer Boden- bzw. Oberteilkontakte in direktem
oder indirektem elektrischen Kontakt mit dem halbleitenden Material steht, während der andere Kontakt durch
eine dazwischenliegende anders dotierte oder isolierende Schicht getrennt ist; und die Nebenschluß- Diode durch jeine elektrische Leitung mit der Hauptzelle verbundenist. ι - 3. Integrierte Anordnung einer Vielzahl von Solarzellen, dadurch gekennzeichnet, daß die Solarzellen aus ■ einer einstückigen Platte aus halbleitendem Material gebildet sind, die mit Boden- und Oberteilkontakten (27,
28) versehen ist, welche in Interallen abschnittweise in einem direkten oder indirekten elektrischen Kontakt durch eine zwischenliegende anders dotierte Schicht (2, 3)
oder eine Isolationsschicht mit dem halbleitenden Material stehen, wobei jede Solarzelle in drei Bereiche
unterteilt ist: einen Kurzschluß- Bereich (29) , eine Hauptzelle (31) und einen dazwischenliegenden isolierenden Bereich (30), wobei die Hauptzelle (31) aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht, mit metallischen Boden- und Oberteilkontakten (27, 28) versehen ist, von denen
einer durch eine anders dotierte oder isolierende Schicht vom halbleitenden Material getrennt ist und an den Kurzschluß-Bereich der benachbarten Solarzelle angrenzt; der an die Hauptzelle (31) angrenzende isolierende Bereich (30) aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und mit nur einem Kontakt (27) und einer dazwischenliegenden anders dotier-13 001 1 /Q77UORfGINAL INSPECTEDBOEHMERT & BOEHMEKTten oder isolierenden Schicht versehen ist, die beide einstückig mit dem Kontakt (27) und der anders dotierten bzw. isolierenden Schicht der angrenzenden Hauptzelle (31) ausgebildet sind; und der Kurzschlußbereich (29) ebenfalls aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und in direkten Kontakt mit Boden- und Oberteilkontakten (27, 28) steht, von denen einer auch mit der Hauptzelle (31) der benachbarten Solarzelle verbunden ist. - 4. Verfahren zur Herstellung einer integrierten Anordnung einer Vielzahl von Solarzellen, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer einstückigen Platte aus halbleitendem Material metallische Boden- und Oberteilkonakte ausgeformt werden, die zumindest teilweise in Intervallen abschnittweise direkt oder .indirekt durch eine zwischenliegende anders - dotierte oder^isolierende Schicht in Kontakt mit dem halbleitenden Material stehen, wobei die BJldung der metallischen Kontakte und der anders dotierten oder isolierenden Schichten derart gesteuert wird, daß jede Solarzelle in drei.benachbarte Bereiche unterteilt wird: einen Kurzschluß- Bereich, eine Hauptzelle und einen dazwischenliegenden isolierenden Bereich , wobei die Hauptzelle aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht, mit metallischen Boden- und Oberteilkontakten, versehen ist, von denen einer durch eine anders dotierte oder isolierende Schicht vom halbleitenden Material getrennt ist und an den Kurzschlußbereich der benachbarten Solarzelle angrenzt; der an die Hauptzelle angrenzende isolierende Bereich aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und mit nur einem Kontakt und einer dazwischenliegenden anders dotierten oder isolierenden Schicht versehen ist.# „die beide einstückig mit dem Kontakt und der anders dotierten bzw.13001*170774BOEHMERT & BOEHMEKTisolierenden Schicht der angrenzenden Hauptzelle ausgebildet sind; und der Kurzschlußbereich ebenfalls aus einem Tsil des halbleitenden Materials besteht und in direktem) Kontakt mit Boden- und Oberteilkontakten steht, von denen einer auch mit der Hauptzelle der benachbarten Solarzelle verbunden ist.
- 5. Integrierte Anordnung einer Vielzahl von Solarzellen, dadurch gekennzeichnet, daß die Solarzellen aus einer einstückigen Platte aus halbleitendem Material gebildet sind ; daß jeder Solarzelle eine Nebenschluß-Diode (43) parallelgeschaltet ist; daß Boden- und Oberteilkontakte (40, 41) in Intervallen abschnittweise in einem direkten oder indirekten elektrischen Kontakt durch eine zwischenliegende anders dotierte isolierende Schicht mit dem halbleitendem Material stehen; und daß die Solarzelle in mehrere Bereiche unterteilt ist: eine Nebenschluß- Diode (43) , eine Hauptzelle (45) , einen zwischen beiden letztgenannten angeordneten Isolationsbereich (44) und einen getrennten Kurzschluß- Bereich, der unter Abstand und elektrisch isoliert von der Nebenschluß- Diode (43) angeordnet ist, wobei die Hauptzelle (45) aus einem Teil des halbleitendem Materials besteht, mit metallischen Boden- und Oberteilkontakten .(40, 41) versehen ist, von denen einer durch eine anders dotierte oder isolierende Schicht vom halbleitenden Material getrennt ist und an den Kurzschlußbereich der benachbarten Solarzelle angrenzt; der der Hauptzelle benachbarte Isolationsbereich (44) aus einem Teil des halbleitendem Materials besteht und die Boden.- und Oberteilkontakte (40, 41) durch zwischenliegende -anders dotierte oder isolierende Schichten vom halbleitendem Material isoliert sind; die Nebenschluß-Diode (43) aus einem Teil des halbleitenden Materials1/0774BOEHMERT & BOEHMERT-6-besteht,über eine Leitung mit der Hauptzelle verbunden ist und einer ihrer Boden- bzw. Oberteilkontakte (4,5) in direktem oder indirektem elektrischen Kontakt mit dem halbleitenden Material steht, während der andere Kontakt durch eine dazwischenliegende anders dotierte oder isolierende Schicht getrennt ist; und der Kurzschluß- Bereich (42) aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und in Kontakt mit den Boden- und Oberteilkontakten (40, 41) steht, wobei einer der Kontakte auch mit der Hauptzelle (45) der benachbarten Solarzelle verbunden ist.
- 6. Verfahren zur Herstellung einer integrierten Anordnung einer Vielzahl von Solarzellen, dadurch gekennzeichnet, daß auf einer einstückigen Platte aus halbleitendem Material metallische Boden- und Oberteilkontakte ausgeformt werden, die in Intervalle abschnittweise direkt oder indirekt durch eine zwischenliegende anders dotierte oder isolierende Schicht in Kontakt mit dem halbleitenden Material stehen, wobei die Kontakte derart ausgeformt werden, daß jede Solarzelle in mehrere Bereiche unterteilt ist: eine Nebenschluß- Diode, eine Hauptzelle, einen zwischen beiden letztgenannten angeordneten Isolationsbereich und einen getrennten Kurzschluß- Bereich, der unter Abstand und elektrisch isoliert von der Nebenschluß- Diode angeordnet ist, wobei die Hauptzelle aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht, mit metallischen Boden- und Oberteilkontakten versehen ist, von denen einer durch eine anders dotierte oder isolierende Schicht vom halbleitenden Material getrennt ist und an den Kurzschluß- Bereich der benachbarten Solarzelle angrenzt; der der Hauptzelle benachbarte Isolationsbereich aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und die Boden- und Oberteilkontakte durch zwischenliegende anders dotierte oder isolierende130011/0774BOEHMERr & BOEHMERTSchichten vom halbleitenden Material isoliert sind; die Nehenschluß- Diode aus einem Teil des halbleitnden Materials besteht, über eine Leitung mit der Hauptzelle elektrisch verbunden ist und einer ihrer Boden- bzw. Oberteilkontakte in direktem oder indirektem elektrischen Kontakt mit dem halbleitenden Material steht, während der andere Kontakt durch eine dazwischenliegende anders dotierte oder isolierende Schicht getrennt ist; und der Kurzschluß- Bereich aus einem Teil des halbleitenden Materials besteht und in Kontakt mit den Boden- und Oberteilkontakten steht, wobei einer der Kontakte auch mit der Hauptzelle der benachbarten Solarzelle verbunden ist.130011/0774ORIGINAL INSPECTED
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