DE3812848A1 - Vorrichtung zum sichtbarmachen von luftstroemen - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen.

Insbesondere soll eine Vorrichtung beschrieben werden, die das visuelle Erkennen von Luftströmen in Reinräumen für in­ dustrielle Zwecke, sogenannten "clean rooms", mittels zu diesem Zweck hergestellten, besonders reinen Nebels ermög­ licht.

Beispiele bekannter Vorrichtungen zum visuellen Erkennen unsichtbarer Luftströme sind:

• 1. Eine Vorrichtung, bei der Mücken abwehrender Duftrauch verwendet wird;
• 2. eine Vorrichtung, bei der durch Reaktion von Chemikalien, wie z. B. Titantetrachlorid, entstehender Rauch verwendet wird;
• 3. eine Vorrichtung, die durch Erhitzung von Öl erzeugten Ölnebel verwendet und
• 4. eine Vorrichtung, die unter Verwendung von reinem Wasser reinen Wassernebel wie bei einem Ultraschall-Luftbefeuchter erzeugt.

Die genannten Vorrichtungen, die Mücken abwehrenden Rauch, durch Reaktion von Chemikalien erzeugten Rauch oder Ölnebel verwenden, unterliegen jedoch folgender Problematik: Wird nämlich versucht, einen reinen Luftstrom, der in einen Rein­ raum für industrielle Zwecke eingebracht wurde, sichtbar zu machen, wird nicht nur die reine Luft verunreinigt, sondern auch der Reinraum und die darin befindlichen Geräte und Aus­ rüstungsgegenstände. Daraus resultiert eine Verunreinigung des Herstellungsprozesses der Produkte, die Reinheit erfor­ dern. Infolgedessen können die genannten Vorrichtungen nicht benutzt werden. Insbesondere wenn durch Reaktion von Chemi­ kalien hergestellter Rauch benutzt wird, stellt die Giftig­ keit der Chemikalien eine Gefahr dar. Bei der Verwendung des reinen Wassernebels ist die erzeugbare Nebelmenge unzu­ reichend. Wird eine ausreichende Nebelmenge erzeugt, so fallen Tröpfchen auf den Boden und auf die Arbeitsflächen. Darüber hinaus löst sich der erzeugte Nebel kurze Zeit nach dem Einbringen in einen Luftstrom auf, was ein Sichtbarma­ chen des Luftstromes über längere Strecken unmöglich macht. Des weiteren neigt der Nebel dazu, aufgrund der Gravitation abwärts zu fließen und sich vom Luftstrom zu trennen, wodurch ein exaktes visuelles Erkennen des Luftstromes unmöglich wird.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung aufzuzeigen, die ein Sichtbarmachen von Luftströmen über län­ gere Strecken ermöglicht.

Auch soll eine Vorrichtung aufgezeigt werden, die ein nebliges Kennmedium hervorbringen kann, nach dem dieses so eingestellt wurde, daß es leicht von einem Luftstrom er­ faßt werden kann und die große Mengen eines reinen und un­ giftigen Kennmediums erzeugen kann.

Des weiteren soll die vorliegende Erfindung eine Vorrichtung aufzeigen, die ein nebliges Kennmedium so erzeugen kann, daß das Entstehen von Tröpfchen auf ein Minimum beschränkt werden kann und die eine entsprechende Betriebssicherheit gewähr­ leistet.

Die Lösung der Aufgabe ergibt sich aus den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruches 1. Unteransprüche zeigen bevorzugte Ausführungsformen.

Gemäß der vorliegenden Erfindung soll eine Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen aufgezeigt werden, die die genannten Nachteile nicht aufweist. Das wird dadurch erreicht, daß von einer Dampferzeugungsvorrichtung er­ zeugter reiner Dampf in eine Isolierkammer eingebracht wird, in der sich entweder flüssiger Stickstoff, flüssiger Sauerstoff oder verflüssigtes Kohlendioxid oder ähnliches befinden, um durch schnelle Abkühlung ein nebliges Kennmedium zu erzeugen. Das erzeugte neblige Kennmedium wird entweder direkt in einen sichtbar zu machenden Luft­ strom eingebracht, oder es wird ausgegeben, nachdem seine Temperatur so eingestellt wurde, daß es vom Luftstrom leicht erfaßt werden kann.

Im folgenden soll die Erfindung anhand der Zeichnungen näher erläutert werden. Es zeigt

Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen;

Fig. 2 ein abgewandeltes Ausführungsbeispiel der vorgenannten Vorrichtung;

Fig. 3 die schematische Darstellung eines weiteren Bei­ spieles der Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen;

Fig. 4 ein Beispiel mit einer teilweisen Veränderung der vorgenannten Vorrichtung;

Fig. 5 eine schematische Darstellung einer Steuervorrich­ tung der vorgenannten Vorrichtung und

Fig. 6 die schematische Darstellung eines weiteren Beispieles der Steuervorrichtung der vorgenannten Vorrichtung.

Die folgende Beschreibung einer Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung bezieht sich auf die Fig. 1 und 2. Bezugs­ zeichen 1 stellt eine Dampferzeugungsvorrichtung dar mit einer Wasserzuführungsleitung 4 zur Versorgung eines Tankes 2 mit Wasser 3, einer Heizung 5 zur Erwärmung des Wassers 3, einer Wasserstandsanzeige 6 zur Messung des Wasserstandes und einer Dampfauslaßleitung 7. Bezugszeichen 8 bezeichnet eine Isolierkammer, in der zum Beispiel flüssiger Stick­ stoff 9 als Kühlmittel enthalten ist. Die Isolierkammer 8 hat ein Zuleitungsrohr 11, das in einem vorgegebenen Abstand D von der Oberfläche 10 des flüssigen Stickstoffes 9 gehal­ tert wird und ein Auslaßrohr 12 zum Ausbringen des in der Isolierkammer 8 gekühlten Dampfes. Bezugszeichen 13 bezeich­ net ein Rohr, durch das Dampf von der Dampferzeugungsvorrich­ tung 1 in die Isolierkammer 8 eingeleitet wird. Ein Ende des Rohres 13 ist mit der Dampfauslaßleitung 7 verbunden, das andere Ende mit dem Zuleitungsrohr 11. Bezugszeichen 14 kenn­ zeichnet eine Heizung, die am Rohr 13 angebracht ist, und Be­ zugszeichen 15 bezeichnet eine Flüssigkeitsstandanzeige zur Bestimmung der Flüssigkeitsoberfläche 10. Bezugszeichen 16 kennzeichnet eine Steuervorrichtung, die den Abstand D zwischen der Flüssigkeitsoberfläche 10 und dem Zuleitungsrohr 11 kon­ stant hält. Die Steuervorrichtung 16 wird mittels eines von der Flüssigkeitsstandanzeige 15 ermittelten Wertes geregelt. Bezugszeichen 17 bezeichnet einen an der Dampferzeugungsvor­ richtung 1 angebrachten Druckschalter, der Veränderungen des Dampfdruckes im Tank 2 mißt und entsprechend über einen Schalter die Stromversorgung der Heizung 5 steuert. Bezugs­ zeichen 18 kennzeichnet eine Temperaturkontrollvorrichtung, die am Auslaßrohr 12 vorgesehen ist und Bezugszeichen 19 bezeichnet ein Ausstoßrohr, welches mit dem Auslaßrohr 12 verbunden ist und durch das einneblige Kennmedium in einen Luftstrom ausgebracht wird.

Beim Betrieb der Vorrichtung wird dem Tank 2 durch die Wasser­ zuführungsleitung 4 Wasser 3 zugeführt, das sodann von der Heizung 5 erwärmt wird, um Dampf zu erzeugen. Der erzeugte Dampf wird durch die Dampfauslaßleitung 7, das Rohr 13 und das Zuleitungsrohr 11 in die Isolierkammer 8 eingebracht. Dort wird der Dampf vom flüssigen Stickstoff 9 schnell abge­ kühlt und als nebliges Kennmedium 20, dessen Temperatur ge­ ringfügig höher ist als die des Luftstromes, durch das Auslaß­ rohr 12 und das Ausstoßrohr 19 in den Luftstrom ausgebracht. Das ausgestoßene Kennmedium 20 bleibt lange sichtbar und kann leicht vom Luftstrom erfaßt werden.

Während des beschriebenen Ausstoßes des Kennmediums 20 in den Luftstrom geht der flüssige Stickstoff 9 allmählich in gasför­ migen Zustand über, wodurch sich der Flüssigkeitsspiegel ab­ senkt. Dieses Absinken wird von der Flüssigkeitsstandanzeige 15 gemessen und die Steuervorrichtung 16 wird, entsprechend der gemessenen Größe, so betätigt, daß der Abstand D zwischen der Flüssigkeitsoberfläche 10 und dem Zuleitungsrohr 11 konstant gehalten wird. Das Übersteigen eines vorgegebenen Dampfdruckes im Tank 2 wird vom Druckschalter 17 festge­ stellt, welcher daraufhin die Stromversorgung der Heizung 5 unterbricht. Dadurch kann die Erzeugung einer vorgegebenen Dampfmenge gesteuert werden. Das Rohr 13 wird von der Heizung 14 erwärmt, um so der Kondensation des Dampfes zu Wasser durch ein Absinken der Temperatur vorzubeugen.

Der Tank 2 ist mit einem Ablaßventil 21, einem Überdruckventil 22 zum Ablassen überschüssigen Dampfes und einem Schwimmer­ schalter 23, der die Stromversorgung der Heizung 5 unter­ bricht, um ein Überhitzen des Tankes 2 bei unzureichender Füllung mit Wasser 3 zu verhindern, versehen. An der Wasser­ zuführungsleitung 4 ist ein Wasserzufuhrventil 24 angebracht. Die Dampfauslaßleitung 7 ist mit einem Steuerventil 25 ver­ sehen, welches die Durchflußmenge des Dampfes steuert oder die Dampfversorgung unterbricht. Am Auslaßrohr 12 können wärme­ isolierendes Material oder eine Heizung angebracht werden, um die Temperatur des ausgestoßenen Dampfes 20 im Verhältnis zu der des Luftstromes zu steuern. Die Temperaturkontrollvorrich­ tung 18 kann dazu benutzt werden, den Fluß des Kennmediums 20 in Übereinstimmung mit der Temperaturveränderung des gekühlten Dampfes, der durch das Auslaßrohr 12 austritt, zu überwachen, oder zur Unterbrechung der Stromversorgung der Heizung 5, oder zum Schließen des Steuerventiles 25, falls die Temperatur innerhalb der Isolierkammer 8 ansteigt, weil der flüssige Stickstoff (9) in der Isolierkammer 8 verbraucht ist. Der Auf­ bau der Steuervorrichtung 16 kann dem in Fig. 1 gezeigten entsprechen. Mit dem Absinken der Flüssigkeitsoberfläche 10 wird die Isolierkammer 8 von einem Motor 26 angehoben. Die Steuervorrichtung 16 kann aber auch wie in Fig. 2 gezeigt aufgebaut sein. Mit dem Absinken der Flüssigkeitsoberfläche 10 wird das Zuleitungsrohr 11 von einem Motor 26 abgesenkt. Das Zuleitungsrohr 11 kann auch ohne Verwendung der Steuer­ vorrichtung 16 von Hand betätigt werden. Um freie Beweglich­ keit zu ermöglichen, können die Dampferzeugungsvorrichtung 1 und die Isolierkammer 8 auf einem mit Rollen versehenen Wagen 33 befestigt sein; sie können jedoch auch an einem vor­ gegebenen Platz fest installiert sein.

Im folgenden wird eine weitere Ausführungsform der vorlie­ genden Erfindung unter Bezug auf die Fig. 3 bis 6 beschrie­ ben.

Bezugszeichen 1 kennzeichnet eine Dampferzeugungsvorrichtung mit einer Wasserzuführungsleitung 4 zur Zufuhr von Wasser 3 zu einem Tank 2, einer Heizung 5 zur Erwärmung des Wassers 3 und einer Leitung 7 als Auslaß für den Dampf 66. Bezugszeichen 8 bezeichnet eine Isolierkammer, in der z. B. flüssiger Stick­ stoff 9 als Kühlmittel enthalten ist, und die mit einem Zuleitungsrohr 11 und einem Auslaßrohr 113 zur Ausbrin­ gung eines nebligen Kennmediums 112, welches entsteht, nachdem Dampf 66 in der Isolierkammer 8 abgekühlt wurde, versehen ist. Bezugszeichen 114 bezeichnet ein Rohr zur Überleitung des Dampfes 66 von der Dampferzeugungsvorrichtung 1 in die Iso­ lierkammer 8. Ein Ende des Rohres 114 ist mit der Leitung 7 verbunden, das andere Ende ist mit dem Zuleitungsrohr 11 ver­ bunden. Bezugszeichen 15 bezeichnet eine Flüssigkeitsstand­ anzeige, die an der Isolierkammer 8 angebracht ist und die den Stand der Flüssigkeitsoberfläche 10 mißt und so die Menge des flüssigen Stickstoffes 9 anzeigt. Bezugszeichen 116 be­ zeichnet ein Umgehungsrohr, dessen eines Ende von der Leitung 7 abzweigt, während das andere Ende mit dem Auslaßrohr 113 verbunden ist. Bezugszeichen 117 kennzeichnet ein Steuerven­ til, welches in der Mitte des Umgehungsrohres 116 angeordnet ist und welches beispielsweise als elektromagnetisches Ventil ausgeführt sein kann. Bezugszeichen 18 bezeichnet eine Temperaturkontrollvorrichtung, die an dem Auslaßrohr 113 angebracht ist und das Kontrollventil 117 so regelt, daß es sich öffnet, wenn die Temperatur des durch das Auslaß­ rohr 113 austretenden Kennmediums 112 unter einen vorge­ gebenen Wert absinkt. Bezugszeichen 119 kennzeichnet einen Druckschalter, der an der Dampferzeugungsvorrichtung 1 angebracht ist und Veränderungen des Dampfdruckes im Tank 2 mißt und entsprechend über einen Schalter die Stromver­ sorgung der Heizung 5 ein- oder ausschaltet. Bezugszeichen 120 bezeichnet ein Ausstoßrohr für das Kennmedium, welches mit dem Auslaßrohr 113 verbunden ist und durch welches das Kenn­ medium 112 in einen sichtbar zu machenden Luftstrom 30 aus­ gebracht wird.

Beim Betrieb der Vorrichtung wird Wasser 3 durch die Wasser­ zuführungsleitung 4 dem Tank 2 zugeführt. Das Wasser 3 wird dann von der Heizung 5 erwärmt, um so Dampf 66 zu erzeugen. Der so erzeugte Dampf 66 wird durch die Leitung 7 und das Rohr 114 in die Isolierkammer 8 eingeleitet. Hier wird der Dampf 66 durch den flüssigen Stickstoff 9 schnell abgekühlt, wodurch das neblige Kennmedium 112 erzeugt wird. Das Kennmedium 112 tritt durch das Auslaßrohr 113 und wird durch das Ausstoßrohr 120 ausgebracht. Das Steuerventil 117 wird von einem von der Temperaturkontrollvorrichtung 18 ausgehenden Steuersignal ge­ öffnet, wenn die Temperatur des Kennmediums 112 unter einen vorgegebenen, an der Temperaturkontrollvorrichtung 18 einge­ stellten Wert absinkt, und der durch die Leitung 7 strömende Dampf 66 wird somit teilweise durch das Umgehungsrohr 116 dem Auslaßrohr 113 zugeführt. Dadurch erhöht sich die Temperatur des Kennmediums 112 auf den genannten vorgegebenen Wert. Er­ reicht die Temperatur des Kennmediums 112 den vorgegebenen Wert, so wird das Steuerventil 117 durch ein Steuersignal der Temperaturkontrollvorrichtung 18 geschlossen. Damit wird dem Auslaßrohr 113 kein Dampf 66 mehr zugeführt und ein Ansteigen der Temperatur des Kennmediums 112 verhindert. Aufgrund dieses von der Temperaturkontrollvorrichtung 18 durchgeführ­ ten Regelvorganges wird das Kennmedium 112 mit einer vorgege­ benen Temperatur durch das Ausstoßrohr 120 ausgebracht. Die an der Temperaturkontrollvorrichtung 18 einzustellende Tem­ peratur wird unter Berücksichtigung der Lufttemperatur, Luft­ feuchtigkeit und anderer Faktoren, die in dem Reinraum, durch den der Luftstrom 30 fließt, herrschen, bestimmt. Die Tem­ peratur wird so eingestellt, daß das Kennmedium 112 leicht vom Luftstrom 30 erfaßt wird, z. B. bei einer Temperatur von 23° bis 25°C im Reinraum liegt die vorgegebene Temperatur des Kennmediums 112 im Bereich von etwa 50°C.

Das ausströmende Kennmedium 112 vermischt sich mit der Umgebungsluft, nachdem es aus dem Ausstoßrohr 120 ausge­ stoßen wurde. Da die relative Feuchtigkeit des Kennmediums 112 100% beträgt, während die der Raumluft gewöhnlich 50 bis 80% beträgt, sinkt die relative Feuchtigkeit des Kennmediums 112 unmittelbar nachdem es sich mit der Raumluft vermischt hat, wenn das Kennmedium 112 die gleiche Temperatur wie die Umgebungsluft hat. Dadurch beginnen kleine Wasser­ tröpfchen im Kennmedium 112 zu verdampfen, wodurch sich ihr Durchmesser verringert. In der Folge verdunsten sie und werden unsichtbar.

Ist jedoch die Temperatur des Kennmediums 112 höher als die Raumtemperatur, so fällt die Temperatur des Kennmediums ebenso wie der maximale Dampfdruck, sobald sich das Kennmedium 112 mit der Umgebungsluft vermischt. Dadurch verdampfen die kleinen Wassertröpfchen nicht und bleiben über eine gewisse Strecke von dem Punkt an, an dem das Kenn­ medium 112 ausströmt, im Luftstrom erhalten. Die Tröpfchen kondensieren vielmehr, und das Kennmedium 112 fließt weiter, bis es mit der Raumluft ausreichend vermischt ist; erst dann verdunsten die kleinen Wassertröpfchen. Wie bereits beschrie­ ben, kann die Strecke, in der das Kennmedium 112 nicht ver­ dampft, vergrößert werden, so daß das Kennmedium 112 über eine längere Strecke sichtbar bleibt.

Bei der in den Fig. 1 und 2 gezeigten Ausführungsform wird die Temperatur des Kennmediums 20 auf einen höheren Wert als die Raumtemperatur gebracht, indem der Abstand zwischen der Flüssigkeitsoberfläche 10 und dem Zuleitungsrohr 11 gesteuert wird. Bei der in den Fig. 3 bis 6 gezeigten Ausführungsform wird durch Steuerung der Dampfmenge, die über das Umgehungs­ rohr 116 dem Auslaßrohr 113 zugeführt wird, die Temperatur des Kennmediums 112 über den Wert der Raumtemperatur erhöht.

Wenn in der Betriebsphase, in der die Dampferzeugungsvor­ richtung 1 Dampf 66 erzeugt, der Druck im Tank 2 einen vorgegebenen Wert überschreitet, wird durch der Druck­ schalter 119 betätigt, wodurch die Stromversorgung der Heizung 5 unterbrochen und die Erzeugung des Dampfes 66 auf einem vorgegebenen Niveau gehalten wird.

Der Tank 2 hat ein Ablaßventil 21, ein Überdruckventil 22 zum Ablassen überschüssigen Dampfes, eine Auffangwanne 31, einen Schwimmerschalter 23, der die Stromversorgung der Heizung 5 unterbricht, wenn die vorhandene Wassermenge nicht mehr ausreicht, und eine Meßvorrichtung 32 zur Messung des Wasserstandes. Zur Füllung wird reines Wasser 3 verwendet. An der Wasserzuführungsleitung 4 ist ein Wasser­ zufuhrventil 24 angebracht. Ein Steuerventil 25 zur Steuerung des Dampfflusses und zur Unterbrechung der Dampfversorgung ist an der Leitung 7 angebracht. Das Umgehungsrohr 116 kann auch wie in Fig. 4 gezeigt, so ausgeführt sein, daß es nicht von der Leitung 7 abzweigt, sondern mit dem Tank 2 über ein Kontrollventil 25′ verbunden ist. Die Rohre 114 und 116 können mit wärmeisolierendem Material oder einer Heizung versehen sein, um ein Absinken der Temperatur des Dampfes 66 und damit die Rückverwandlung in Wasser während des Durchflusses durch die Rohre 114 und 116 zu verhindern. Die Temperaturkontrollvorrichtung 18 kann so eingesetzt werden, daß sie die Stromversorgung der Heizung 5 unterbricht oder das Steuerventil 25 oder die Steuerventile 25 und 25′ schließt, wenn der flüssige Stickstoff 9 in der Isolierkammer verbraucht ist und deshalb die Temperatur im Inneren der Isolierkammer 8 ansteigt. Während des Ausstoßes des Kennmediums 112 in den Luft­ strom 30 senkt sich die Flüssigkeitsoberfläche 10 des flüssigen Stickstoffes 9 aufgrund des Überganges des flüssigen Stickstoffes 9 in gasförmigen Zustand. Dabei muß der Abstand D zwischen der Flüssigkeitsoberfläche 10 und dem Zuleitungsrohr 11 konstant gehalten werden. Ein Beispiel für eine entsprechende Steuervorrichtung ist Vorrichtung 27 in Fig. 5. Dabei wird bei Absinken der Flüssigkeitsoberfläche 10 das Zuleitungsrohr 11 mittels eines Motors 26 entsprechend einem Steuer­ signal der Flüssigkeitsstandanzeige 15 abgesenkt. Ein weiteres Beispiel ist die in Fig. 6 dargestellte Vor­ richtung 29. Dabei wird mit sinkender Flüssigkeitsober­ fläche 10 die Isolierkammer 8 von einem Motor 28, der von einem entsprechenden Steuersignal der Flüssigkeits­ standanzeige 15 gesteuert wird, angehoben. Alternativ zu den vorgenannten Vorrichtungen kann auch eine Handbe­ tätigung des Zuleitungsrohres 11 vorgesehen werden.

Die Dampferzeugungsvorrichtung 1 und die Isolierkammer 8 können auf einem mit Rollen versehenen Wagen installiert sein, um die freie Beweglichkeit der Vorrichtung zu ermöglichen; sie können aber auch an einem vorgegebenen Platz fest installiert werden.

Aufgrund ihres Aufbaues hat die erfindungsgemäße Vorrichtung folgende Vorteile:

Die sichtbare Menge des nebligen Kennmediums kann auf bis zu 100% des erzeugten Dampfes erhöht werden, da der erzeugte Dampf auf ein Kühlmittel aufgeblasen wird und so schnell abgekühlt wird. Im Gegensatz dazu verwertet eine Vorrichtung, bei der der Dampf nicht durch ein Kühlmittel abgekühlt wird, nur einen Teil des erzeugten Dampfes als sichtbares nebliges Kennmedium.

Durch die genaue Temperatursteuerung des ausgebrachten Kennmediums, die eine Anpassung an die Temperatur des sichtbar zu machenden Luftstromes erlaubt, kann die Ver­ bleibdauer des nebligen Kennmediums im Luftstrom erhöht werden. Das neblige Kennmedium kann vom Luftstrom über eine weite Strecke getragen werden, ohne daß eine Trennung vom Luftstrom auftritt, d. h. das Kennmedium wird vom Luftstrom gut erfaßt. Die Länge der Strecke ist dabei nur von den Aus­ wirkungen der Vermischung des Kennmediums mit dem Luftstrom abhängig. Dies ermöglicht ein genaues visuelles Erkennen des Verlaufes des Luftstromes mittels der Linien und Muster, die das Kennmedium bildet.

Eine große Menge eines reinen, ungiftigen und sicheren nebligen Kennmediums kann leicht erzeugt werden. Darüber hinaus ist die Erzeugung von Tröpfchen im Vergleich zu herkömmlichen Vorrichtungen, die reinen Wassernebel erzeugen, erheblich vermindert.

Beim Sichtbarmachen eines reinen Luftstromes in einem Reinraum für industrielle Zwecke können der Reinraum selbst und die Maschinen und Vorrichtungen, die in dem Reinraum installiert sind oder installiert werden sollen, und das Herstellungsverfahren, bei dem die genannten Maschinen und Vorrichtungen benutzt werden, ohne jeden nachteiligen Einfluß, wie Verschmutzung oder ähnliches, reingehalten werden.

Das Sichtbarmachen des Luftstromes kann sogar während des Betriebes der Maschinen und Vorrichtungen, auch mit im Raum befindlichen Bedienungspersonal, erfolgen.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung kann zum Sichtbarmachen von reinen Luftströmen in hochreinen Räumen eingesetzt werden. Die Vorrichtung kann auch zum Festlegen der Aufstel­ lung und der Anordnung von Maschinen und Vorrichtungen in Reinräumen für industrielle Zwecke oder anderen Räumen mit Luftströmen verwendet werden.

Die Sicherheit während des Betriebes der Vorrichtung ist gewährleistet.

Claims (11)

1. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen, da­ durch gekennzeichnet, daß eine Dampferzeugungsvorrichtung (1), eine Isolierkammer (8), in der flüssiger Stickstoff (9) oder ein anderes Kühlmittel ent­ halten ist, ein Rohr (13, 114), welches die Dampferzeugungsvor­ richtung (1) und die Isolierkammer (8) verbindet und durch welches Dampf (66) aus der Dampferzeugungsvorrichtung (1) in die Isolierkammer (8) geleitet wird, vorgesehen sind, wobei die Isolierkammer (8) mit einem Auslaßrohr (12, 113) zum Ausbringen eines nebligen Kennmediums (20, 112), welches durch Abkühlen des Dampfes (66) durch das Kühlmittel (9) erzeugt wurde, versehen ist.

2. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Temperatur des ausgebrachten Kennmediums (20, 112) höher ist als die des sichtbar zu machenden Luftstromes.

3. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeich­ net, daß die Dampferzeugungsvorrichtung (1) und das Auslaßrohr (113) durch ein mit einem Steuerventil (117) ver­ sehenes Umgehungsrohr (116) verbunden sind, wobei das Aus­ laßrohr (113) mit einer Temperaturkontrollvorrichtung (18) versehen ist, die die Öffnung des Steuerventils (117) steuert, wenn die Temperatur des Kennmediums (112), welches durch das Auslaßrohr (113) fließt, unter einen vorgegebenen Wert sinkt.

4. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Umgehungsrohr (116) von dem Rohr (114) abzweigt, durch das Dampf (66) aus der Dampferzeugungsvorrichtung (1) in die Isolierkammer (8) geleitet wird.

5. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäß Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Isolierkammer (8) mit einem Zu­ leitungsrohr (11) versehen ist, welches in einem vorgegebenen Abstand (D) von der Flüssigkeitsoberfläche (10) des flüssigen Stickstoffes (9) oder eines ähnlichen Kühlmittels, welches sich in der Isolierkammer (8) befindet, gehaltert wird und mit dem Rohr (13, 114) zur Zuführung des Dampfes verbunden ist.

6. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Zuleitungsleitungsrohr (11) mit einer Steuervorrich­ tung (27) versehen ist, durch die das Zuleitungsrohr (11) so bewegt wird, daß ein vorgegebener Abstand (D) von der Flüssig­ keitsoberfläche (10) in Übereinstimmung mit der Veränderung des Flüssigkeitsstandes, die von einer Flüssigkeitsstandan­ zeige oder Meßvorrichtung (15) zur Messung des Flüssigkeits­ standes des flüssigen Stickstoffes (9) oder eines ähnlichen Kühlmittels, welches in der Isolierkammer (8) enthalten ist, gemessen wird, eingehalten wird.

7. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Isolierkammer (8) mit einer Steuervorrichtung (16) versehen ist, die die Isolierkammer (8) bewegt, wenn sich der Stand der Flüssigkeitsoberfläche (10) verändert, um den Abstand (D) zwischen dem Zuleitungsrohr (11) und der Flüssig­ keitsoberfläche (10) konstant zu halten, wobei dies von einer Flüssigkeitsstandanzeige oder Meßvorrichtung (15) zur Messung des Standes des flüssigen Stickstoffes (9) oder eines ähn­ lichen Kühlmittels, welches in der Isolierkammer (8) ent­ halten ist, gesteuert wird.

8. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäß einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch ge­ kennzeichnet, daß das Rohr (13, 114) zur Über­ leitung des Dampfes zur Isolierkammer (8) mit einer Heizvor­ richtung (14) versehen ist.

9. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäß einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Dampferzeugungsvorrich­ tung (1) mit einem Druckschalter (17) versehen ist, der Ver­ änderungen des Dampfdruckes mißt und den Betrieb der Heizung (5) steuert.

10. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäß einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch ge­ kennzeichnet, daß ein Tank (2), der Bestandteil der Dampferzeugungsvorrichtung (1) ist, mit einer Wasser­ standsanzeige (6, 32) zur Messung des Wasserstandes im Tank (2) versehen ist.

11. Vorrichtung zum Sichtbarmachen von Luftströmen gemäß einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekenn­ zeichnet, daß eine Temperaturkontrollvorrichtung (18) zur Messng der Temperatur des zubringenden Kennmediums (2, 112) an dem Auslaßrohr (12, 113) der Isolierkammer (8) vorgesehen ist.