KR970001972B1 - 기류(air flow)의 가시화장치(可視化裝置) - Google Patents

기류(air flow)의 가시화장치(可視化裝置) Download PDF

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KR970001972B1 KR1019880004318A KR880004318A KR970001972B1 KR 970001972 B1 KR970001972 B1 KR 970001972B1 KR 1019880004318 A KR1019880004318 A KR 1019880004318A KR 880004318 A KR880004318 A KR 880004318A KR 970001972 B1 KR970001972 B1 KR 970001972B1
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나오키 스기타
유타카 핫타
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미도리안젠 고교가부시기가이샤
마쓰무라 모토코
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Abstract

내용없음.

Description

기류(air flow)의 가시화장치(可視化裝置)
제1도는 본 발명에 의한 기류의 가시화장치의 구성예를 나타낸 예시도.
제2도는 제1도의 일부를 변경한 예를 나타낸 도면.
제3도는 본 발명에 의한 기류의 가시화장치의 또 다른 실시예를 나타낸 개략 단면도.
제4도는 제3도의 구조일부를 변경한 예를 나타낸 도면.
제5도는 제3도의 제어기구의 한 예를 나타낸 개략 단면도.
제6도는 제3도의 제어기구의 또다른 실시예를 나타낸 개략 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 증기발생장치(steam generating device)
2 : 탱크(tank) 3 : 물
4 : 급수관(water supply pipe) 5 : 히터(heater)
6 : 수위제(water levele gauge)(제1도)또는 증기(제3도)
7 : 증기유출관(steam delivering pipe)
8 : 단열조(insulating chamber)
9 : 액화질소(liquid nitrogen) 10 : 액면(liquid level)
11 : 증기유입관(steam inlet pipe)
12 : 미스트유출관(mist outlet pipe)(제1도)
13 : 파이프(pipe)(제1도), 또는 미스트유출관(제3도)
14 : 히터(heater)(제1도) 또는 파이프(제3도)
15 : 액면제어기(liquid level controller)
16 : 제어기구(control mechanism)(제1도) 또는 바이패스관(by-pass pipe)(제3도)
17 : 압력스위치(pressure switch)(제1도) 또는 제어밸브(control valve)(제3도)
18 : 온도제어기(temperature controller)
19 : 미스트송출관(mist delivering pipe)(제1도) 또는 압력스위치(제3도)
20 : 미스트(mist)(제1도) 또는 미스트송출관(제3도)
21 : 배수관(drain pipe) 22 : 릴리프밸브(relief valve)
23 : 부동스위치(float switch) 24 : 급수밸브(water supply valve)
25, 25' : (control valve) 26, 28 : 모터
27 : 차량바퀴(caster)(제1도) 또는 제어기구(제5도)
29 : 제어기구(control mechanism)
30 : 기류(air flow) 31 : 배수팬(drain pan)
33 : 차량(car) 32 : 수위계(water level gauge)
D : 거리
본 발명은 눈에 보이지 않는 기류(air flow)를 가시화하는 장치에 관한 것으로 더 자세하게 말하면 공업용 클린룸(clean room)내의 기류를 가시화하기 위하여 발생시킨 깨끗한 미스트(mist)를 이용하여 기류를 눈에 보이도록 하는 기류의 가시화장치에 관한 것이다. 눈에 보이지 않는 기류를 눈에 보이도록 하기 위한 종래의 공지된 장치로는 다음과 같은 것을 예시할 수 있다.
(1) 모기박멸향(mosquito-repellent incense)의 연기(煙氣)를 이용한 장치.
(2) 티타늄테트라클로라이드(titanium tetrachloride)등의 화학약품의 화학반응에 의해 발생하는 연기를 이용한 장치.
(3) 오일(oil)을 가열함으로써 발생되는 오일미스트(oil mist)를 이용한 장치.
(4) 초음파가습기(ultrasonic humidfier)와 같이 순수한 물을 사용하여 순수한 물의 미스트를 발생시키는 장치.
상기 모기박멸향, 화학약품의 화학반응에 의해 발생한 연기 및 오일미스트를 이용하는 상기의 공지된 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.
공업용 클린룸(clean room)에 유입되는 깨끗한 기류를 가시화하려고 하면, 깨끗한 공기가 오염될 뿐만 아니라, 클린룸이나 클린룸내의 기계 및 장비가 오염(汚染)된다.
그 결과, 청정도(cleanness :淸淨度)가 요구되는 제품들이 제조공정을 오염시켜, 이들 장치의 사용을 불가능하게 하고, 특히 화학약품의 반응에 의한 연기를 이용할 경우, 그 독성 때문에 위험하다.
또, 순수한 물의 미스트를 발생시키려 할 경우, 미스트의 량이 적고 다량으로 미스트를 발생시키려고 하면, 액적이 바닥표면이나 작업대(work tables)에 떨어지며, 더욱이 발생한 미스트가 기류중으로 송출되면 짧은 시간내에 없어져서 보이지 않게 되고, 그 결과 먼거리까지의 기류의 가시화(可視化)가 불가능하게 된다.
또, 중력(gravity)의 영향을 받아 미스트가 아래쪽으로 흘러 기류에서 분리하기 쉽고, 기류를 정확하게 가시화할 수 없게 된다.
따라서, 본 발명의 목적을 증기발생장치(蒸氣發生裝置)에 의해 발생된 깨끗한 증기를 액체질소, 액체산소, 액화카본디옥시드등의 냉매의 어느 하나가 들어 있는 단열조에 유입시켜, 급격한 냉각에 의해 미스트트레이서(misty tracer)를 발생시킴으로써 상기의 문제점을 극복할 수 있는 기류의 가시화장치를 제공하는데 있다.
그리고, 여기서 발생한 미스트트레이서는 기류로 직접 유입되어 가시화되거나 미스트트레이서의 온도를 조절한 후 기류에 의해 쉽게 포착될 수 있도록 송출된다.
본 발명의 첫째 목적은 기류가 먼거리까지 가시화할 수 있는 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 둘째 목적은 기류에 의해 쉽게 포착할 수 있게 미스트트레이서(misty tracer)의 온도를 조절한 다음 미스트트레이서를 내보낼 수 있는 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 셋째 목적은 다량의 깨끗하고 독성이 없는 미스트트레이서를 발생할 수 있는 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 넷째 목적은 액적발생을 최소화할 수 있게 미스트트레이서를 발생할 수 있는 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다섯째 목적은 안전한 작업을 확실히 보장받을 수 있게 미스트트레이서를 발생할 수 있는 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 상기 목적과 특징은 첨부도면에 따라 구체화한 아래 설명에서 명백하게 알 수 있다.
제1도 및 제2도를 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하면 아래와 같다.
부호(1)은 탱크(2)에 물(3)을 공급하는 급수관(4)과, 물(3)을 가열하는 히터(5)와, 물(3)의 수위를 측정하는 수위계(水位計)(6) 및 발생된 증기를 유출하기 위한 증기유출관(7)으로 구성되어 있는 하나의 증기발생장치를 나타낸다.
부호(8)은 냉매로서 액화질소(9)가 봉입된 단열조를 나타낸다.
그 단열조(8)은 액화질소(9)의 액면(10)으로부터 소정거리 D만큼 떨어진 위치에서 지지되는 증기유입관(11)과, 단열조(8)내에서 냉각되는 증기를 유출하는 미스트유출관(12)로 구성되어있다.
부호(13)은 상기 증기발생장치(1)에서 단열조(8)로 증기를 도입하는 파이프를 나타낸다.
그 파이프(13)의 일단은 증기유출관(7)에 접속되고 그 타단은 증기유입관(11)에 연결되어 있다.
부호(14)는 파이프(13)에 부착된 히터를 나타내며, 부호(15)는 액면(10)의 수위를 검출하는 액면제어기를 나타낸다.
부호(16)은 액면(10)과 증기유입관(11)사이의 거리 D를 조정하는 제어기구(control mechanism)를 나타낸다.
제어기구(16)은 액면제어기(15)로부터의 검출신호에 의하여 작동된다.
부호(17)은 증기발생장치(1)에 설치되고, 히터(5)에 공급되는 전력을 개폐하는 스위치로 제어할 목적에서 탱크(2)내의 증기압력의 변화를 검출하는 압력스위치(pressure switch)를 나타낸다.
부호(18)은 미스트유출관(12)에 설치된 온도제어기를 나타내며, 부호(19)는 미스트유출관(12)에 접속된 미스트송출관을 나타낸다.
작용에 대하여 설명한다.
물(3)이 급수관(4)을 통하여 탱크(2)로 공급된 다음, 증기를 발생시키기 위하여 물(3)을 히터(5)에 의해 가열시킨다.
발생기는 증기유출관(7), 파이프(13) 및 증기유입관(11)을 통하여 단열조(8)로 도입된다.
도입된 증기는 액화질소(9)에 의해 급격히 냉각되어 기류의 온도보다 약간 높은 온도에서 미스트(20)을 형성하여 상기 미스트유출관(12)와 미스트송출관(19)을 통하여 기류로 방출(放出)된다.
방출된 미스트(20)은 가시화할 수 있는 긴 지속시간을 가지며 기류에 의해 쉽게 포착되는 경향이 있다.
미스트(20)을 기류로 방출할 때 액화질소(9)는 점차로 기화되어, 그 결과 액화질소(9)의 액면이 낮아진다.
이 액면의 낮아짐은 액면제어기(15)에 의해서 검출되며, 따라서 액면(10)과 증기유입관(11)사이에 항상 일정거리 D를 유지할 수 있도록 검출신호에 따라 제어기구(16)가 작동된다.
탱크(2)내의 증기압이 소정레벨을 초과할 경우 압력스위치(17)는 그러한 사실을 검출하며, 히터(5)에 공급되는 전류를 차단하도록 제어한다.
그 결과, 발생증기는 소정량으로 제어될 수 있다. 히터(14)는 증기의 온도가 내려가 물로 되는 것을 방지하기 위하여 파이프(13)를 가열한다.
상기 탱크(2)에는 배수관(21)과 과잉의 증기를 경감시키는 릴리프밸브(relief valve)(22)와, 물(3)의 량이 불충분하게 될 경우 과열로부터 탱크(2)를 보호하기 위하여 히터(5)에 공급하는 전류를 차단하는 부동스위치(float switch)(23)가 설치되어 있다.
급수밸브(24)는 급수관(4)에 설치되어 있다.
증기유출관(7)에는 증기의 유량을 조정하거나, 증기의 공급을 차단하도록 작용하는 제어밸브(25)가 설치되어 있다.
기류의 온도에 대하여 방출되는 미스트(20)의 온도를 조정하기 위하여 미스트유출관(12)에 단열재 또는 히터가 설치될 수 있다.
온도제어기(18)은 미스트유출관(12)를 통과하는 미스트(20)가 온도변화에 따라서 어떠한 미스트(20)가 흐르는지를 검사하며, 또 히터(5)에 공급되는 전류를 차단하거나 단열조(8)내의 액화질소가 소모되기 때문에 단열조(8)내부의 온도가 상승될 경우 제어밸브(25)를 잠그는데 사용된다.
제어기구(16)를 제1도에서와 같이 액면(10)이 낮아질 때 모터(26)에 의해서 단열조(8)의 액면이 올라가도록 구성되어 있으며, 또 제2도에서와 같이 액면(10)이 낮아질 때 모터(26)에 의해서 증기유입관(11)을 낮출 수 있도록 구성할 수 있고, 제어기구(16)을 사용하지 않고, 증기유입관(11)를 수동으로 조정할 수도 있다.
증기발생장치(1) 및 단열조(8)은 자유롭게 움직일 수 있도록 바퀴가 달린 차량(33)에 설치하거나 소정위치에 고정시킬 수도 있다.
본 발명의 또다른 실시예를 제3도 내지 제6도에 따라 설명한다.
부호(1)은 탱크(2)에 물(3)을 공급하는 급수관(4)과, 물(3)을 가열하는 히터(5)와, 발생증기(6)을 유출하는 증기유출관(7)이 설치된 증기발생장치를 나타낸다.
부호(8)은 냉매로서 액화질소(9)가 봉입된 단열조를 나타내며, 증기유입관(11)과 단열조(8)내에서 증기(6)을 냉각한후 발생한 미스트트레이서를 유출시키는 미스트유출관(13)이 설치되어 있다.
부호(14)는 증기(6)을 증기발생장치(1)에서 단열조(8)로 도입시키는 파이프를 나타내며, 그 파이프(14)의 일단은 증기유출관(7)에 연결되어 있으며, 그 타단은 증기유입관(11)에 연결되어 있다.
부호(15)는 단열조(8)에 설치되고 액면(10)을 측정하며 액화질소(9)의 량을 나타내는 액면제어기를 표시한다.
부호(16)을 바이패스관(by-pass pipe)을 나타내며, 그 일단은 증기유출관(7)에서 분기(分岐)되어 있고, 그 타단은 미스트유출관(13)에 접속되어 있다.
부호(17)은 제어밸브로서, 바이패스관(16)의 중간위치에 접속되어 있으며, 예로서 전자밸브(electromagnetic valve)를 사용한다.
부호(18)은 미스트유출관(13)에 설치되어 있는 온도제어기를 나타내며, 미스트유출관(13)을 통과하는 미스트트레이서(12)의 온도가 소정온도이하로 내려갈 때 제어밸브(17)를 개방하여 조정한다.
부호(19)는 증기발생장치(1)에 설치되어 있는 압력스위치를 나타내며, 탱크(2)내의 증기(6)의 압력변화를 검출하고 히터(5)에 공급되는 전류를 개폐하는 스위치의 조작을 제어한다.
부호(20)은 미스트유출관(13)에 접속되어 있는 미스트트레이서 송출관을 나타내며, 미스트트레이서(12)를 가시화하도록 기류(30)으로 방출한다.
그 작동(作動)을 아래에 설명한다.
급수관(4)를 통해 탱크(2)에 물(3)을 공급한다.
급수된 물(3)은 증기(6)를 발생시키기 위해 히터(5)에 의해 가열시킨다.
발생된 증기(6)은 증기유출관(7), 파이프(14) 및 증기유입관(11)을 통과하여 단열조(8)로 도입된다.
도입된 증기(6)는 액화질소(9)에 의해 신속하게 냉각되고, 그 결과 미스트트레이서(12)가 발생된다.
발생된 미스트트레이서(12)는 미스트유출관(13)을 통하여 미스트송출관(20)으로 보내어진다.
미스트트레이서(12)의 온도가 온도제어기(18)에 세트시킨 소정온도보다 낮을 때에는 온도제어기(18)의 제어신호에 따라 제어밸브(17)이 개방되므로 증기유출관(7)을 통과하는 증기(6)은 일부가 바이패스관(16)을 통해서 미스트유출관(13)으로 공급된다.
그 결과, 미스트트레이서(12)의 온도가 소정온도까지 상승한다.
미스트트레이서(12)의 온도가 소정온도에 이를 때 온도제어기(18)의 제어신호에 따라 제어밸브(17)가 닫힌다.
그 결과 미스트유출관(13)에 공급되는 증기(6)이 차단되고, 미스트트레이서(12)의 온도상승이 방지된다.
온도제어기(18)의 상기 제어에 의하여 미스트트레이서(12)는 소정온도로 유지된 미스트트레이서(12)의 온도에서 미스트송출관(20)을 통하여 보내어진다.
온도제어기(18)에서 세트되는 온도는 미스트트레이서(12)가 기류(30)으로 방출되는 클린룸(clean room)내의 습도와 온도등을 고려한 후에 결정한다.
그 온도는 기류(30)에 의해 미스트트레이서(12)가 쉽게 포착할 수 있도록 정한 온도로 결정되며, 예로서 그 클린룸내의 온도가 23℃∼25℃일 때 미스트트레이서(12)의 온도는 50℃의 범위전후의 소정치 또는 50℃의 일정범위이다.
미스트트레이서(12)거 미스트송출관(20)을 통해 기류도 방출된 후 주위의 공기와 혼합되어 흐른다.
클린룸의 공기의 상대습도가 보통50∼80%인 반면, 미스트트레이서(20)의 상대습도가 100%이므로 미스트트레이서(12)의 온도가 클린룸의 온도와 동일할 경우, 미스트트레이서(12)는 클린룸내의 공기와 혼합된 후에는 미스트트레이서(12)의 상대습도가 즉시 떨어진다.
그 결과, 미스트트레이서(12)의 작은 액적은 그 직경이 감소되면서 증발하기 시작한다.
따라서, 작은 액적은 기화되어 볼 수 없다.
그러나, 미스트트레이서(12)의 온도가 클린룸의 온도보다 높을 때 미스트트레이서(12)는 주위의 공기와 혼합하자마자 미스트트레이서(12)의 온도가 떨어지고 최대증기압도 떨어진다.
그 결과, 미스트트레이서(12)가 방출하기 시작하는 위치로부터 아래로 일정거리에서는 작은 액적이 증발되지 않는다. 사실상 작은 액적은 응축되고, 클린룸의 공기와 충분하게 혼합될 때까지 더 많은 미스트트레이서(12)가 흐르며, 그 결과 작은 액적은 증발한다.
위에서 설명한 바와 같이, 상기의 거리를 통과한 증발하지 않는 미스트트레이서(12)가 증가되어 미스트트레이서(12)는 더 먼거리에서도 가시화할 수 있다.
제1도와 제2도에 나타낸 실시예에서는 증기유입관(11)과 액면(10)사이의 거리(D)를 조정함으로써 클린룸의 온도를 초과하도록 미스트트레이서(20)의 온도는 높히며, 제3도 내지 제6도의 실시예에서는 바이패스관(16)에서 미스트유출관(13)으로 공급되는 증기량을 조정함으로써 클린룸의 온도를 초과하도록 미스트트레이서(12)의 온도는 높힌다.
상기 증기발생장치(1)에서 증기(6)을 발생시키는 상태에서 탱크(2)내의 증기압이 소정범위를 초과할 때에는 압력스위치(19)가 상기 사실을 검출하고 히터(5)에 공급되는 전류를 차단하도록 제어함으로써 항상 소정레벨로 증기(6)발생이 조정된다.
탱크(2)에는 배수밸브(21)과, 과잉증기를 경감시키는 릴리프밸브(22)와, 물(3)의 량이 불충분한 경우, 히터(5)에 공급되는 전류를 차단하는 부동스위치(float switch)(23)과, 물(3)의 수위를 측정하는 수위계(water level gauge)(6)이 설치되어 있다.
순수한 물이 상기 물(3)으로 사용된다.
급수밸브(24)는 급수관(4)에 부착되어 있다.
증기(6)의 공급을 차단하거나 증기(6)의 흐름을 조정하는 제어밸브(25)는 증기유출관(7)에 부착되어 있다.
제4도에서와 같이 바이패스관(16)은 증기유출관(7)로부터 분기없이 제어밸브(25')를 통하여 탱크(2)에 접속시킬 수 있다.
제4도에서 파이프(14),(16)에는 파이프(14)를 통과하는 동안 물이 되거나 증기(6)의 온도가 떨어지는 것을 방지하기 위한 히터 또는 단열재를 설치할 수 있다.
단열조(8)내의 액화질소가 소모되어 단열조내부의 온도가 올라갈 때, 제어밸브(25)를 조정하거나 또는 제어밸브(25)와 (25')닫거나, 또는 히터(5)에 공급되는 전류를 차단하는데는 온도제어기(18)를 사용할 수 있다.
기류(30)로 미스트트레이서(12)가 방출되는 동안 단열조(8)의 액화질소(9)가 점차로 가스화(gasfication)됨으로 액화질소(9)의 액면(10)이 낮아진다.
이러한 상태에서도, 증기유입관(11)과 액면(10)사이의 거리((D)는 항상 일정하게 유지되도록 조정되어야 한다.
이와 같은 조정방법은 제어기구(27)에 의한 예로서 제5도에서와 같이 증기유입관(11)은 단열조(8)내의 액면(10)이 낮아질 때 액면게이지(15)의 검출된 신호에 따라 모터(26)에 의해 낮아지도록 한다.
제6도에서와 같이 다른 제어기구(29)에 의한 실시예를 나타낸다.
단열조(8)은 단열조(8)내의 액면(10)의 낮아질 때 액면제어기(15)의 검출신호에 따라 모터(28)에 의해 상승되도록 한다.
상술한 제어기구 대신에 증기유입관(11)을 사용하여 수동으로 제어할 수 있다. 증기발생장치(1) 및 단열조(8)는 차량바퀴(caster)를 부착한 차량에 설치하여도 되고 자유롭게 이동할 수 있도록 하여도 되며 특정장소에 설치하도록 하여도 된다.
본 발명은 이상과 같이 구성되므로, 본 발명에 따른 기류의 가시화장치는 아래와 같은 이점이 있다.
발생시킨 증기가 냉매에 의해 냉각되지 않는 장치에서는 미스트트레이서의 가시량은 발생된 증기의 일부로 제한되는 량이나, 본 발명에서는 발생시킨 증기가 냉매에 분사되어 급격하게 냉각되기 때문에 미스트트레이서의 가시량은 증기 발생량이 100% 가까이까지 증대시킬 수 있다.
미스트트레이서의 방출온도를 기류에 대하여 적정온도로 조정함으로써, 기류중에서의 미스트트레이서의 지속시간을 길게 유지할 수 있다.
기류에서 분리되는 일없이 기류와 혼합되는 동안, 즉 기류에 의해 적절하게 포촉되는 동안 미스트트레이서는 기류의 작용효과에 따라 먼거리까지 보내질 수 있다.
이에 따라 기류상태의 가시화는 미스트트레이서에 의해 작성되는 선 및 패턴으로 정확하게 실현할 수 있다.
청정, 무독, 안전한 미스트트레이서를 대량으로 용이하게 발생시킬 수 있고, 더욱이 액적의 발생이 순수한 물의 미스트를 발생시키는 종래의 기류가시화장치와 비교하여 현저하게 감소시킬 수 있다.
공업용 클린룸에서 청정기류의 가시화를 실현할 때, 클린룸은 물론 클린룸에 설치되고 또는 설치하려는 기계와 장치들과, 상기 기계 및 장치를 사용하는 제조공정에 오염등의 악영향을 주지않고 청정상태를 유지할 수 있다.
기계, 장치등의 운전중이나 작업자들의 작업중이라도 기류의 가시화를 실현시킬 수 있다.
본 발명에 의한 가시화장치는 초청정공간에서의 청정기류의 가시화를 실현하는 장치에 적용할 수 있다. 또, 공업용 클린룸, 기타의 기타 기류가 있는 공간내의 기계, 장치의 설치위치와 레이아우트를 검토하기 위한 장치에도 적용할 수 있다.
또한, 장치가 운전중일 때는 안전성을 확보할 수 있다.

Claims (11)

  1. 증기발생장치와, 액화질소등의 냉매가 봉입되어 있는 단열조와, 상기 증기발생장치와 상기 단열조를 접속하고 증기발생장치에서 상기 단열조로 증기를 유입시키는 하나의 파이프(pipe)를 구성한 기류의 가시화장치에 있어서, 상기 단열조에는 냉매로 증기를 냉각시킴으로써 발생한 미스트트레이서(misty tracer)를 보내는 미스트유출관이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 미스트트레이서는 상기의 기사화한 기류보다 더 높은 온도로 방출되는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 증기발생장치와 상기 미스트유출관은 제어밸브가 부착된 바이패스관에 의해 접속되고, 상기 미스트유출관에는 상기 미스트유출관을 통과하는 상기 미스트트레이서의 온도가 소정온도 아래로 떨어질 때 개방되는 상기 제어밸브를 조정하는 온도제어기가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 바이패스관은 증기를 상기 증기발생장치에서 상기 단열조로 유입시키는 상기 파이프에서 분기되어 있는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 단열조에는 상기 단열조에 봉입된 액화질소등의 액면에서 소정거리만큼 떨어져 지지되는 증기유입관이 설치되고, 상기 증기유입관은 증기를 유입하기 위한 상기 파이프에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 증기유입관에 상기 단열조에 봉입된 액화질소등의 상기 액면을 검출하기 위한 액면제어기 또는 액면계에 의해 검출되는 상기 액면의 변화에 따라 상기 액면에서 소정거리를 상기 증기유입관이 유지하도록 이동시키는 제어기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
  7. 제5항에 있어서, 상기 단열조에는 그 단열조내의 봉입된 액화질소등의 상기 액면을 검출하기 위한 액면제어기 또는 액면계에 의해 상기 증기유입관과 상기 액면사이의 거리를 일정하게 유지시킬 목적에서 상기 액면이 변화될 때 상기 단열조를 이동시키는 제어기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
  8. 제1항에 있어서, 증기를 상기 단열조로 유입시키는 증기유입관에 가열장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 증기발생장치에는 증기압의 변화를 검출하여 히터등의 상기 가열장치의 동작을 제어하는 압력스위치가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
  10. 제1항에 있어서, 상기 증기발생장치를 구성하는 탱크에 상기 탱크내의 수위를 측정하는 수위계가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
  11. 제1항에 있어서, 상기 단열조의 배출구에 배출증기의 온도를 검출하는 온도제어기가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기류의 가시화장치.
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