DE4405986A1 - Sonde zur Darstellung einer turbulenzarmen Strömung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Sonde zur Darstellung einer turbulenz­ armen Strömung, insbesondere zur Darstellung der Umströmung von Strömungshindernissen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung der Reinraumtechnik.

Um bei der Herstellung feiner Strukturen im Bereich der Herstellung von Baukomponenten für die Mikroelektronik diese ungestört formen zu können, um in zumindest einigen Bereichen pharmazeutischer Fertigun­ gen unter den Bedingungen der "Good Manufacturing Technics" und ste­ ril arbeiten zu können oder um im Bereich der Medizin Patienten, de­ ren Immumsystem durch ihre Erkrankung oder durch Therapie ausge­ schaltet ist, die unter immunsuppresiver Therapie stehen (Transplan­ tationschirurgie) oder die wegen großflächiger Verletzung ihrer Kör­ peroberfläche besonders infektionsgefährdet sind, frei von einer Übertragung von Verunreinigungen arbeiten zu können, bedient man sich reinraumtechnischer Maßnahmen, etwa der Technik der turbulenz­ armen Verdrängungsströmung. Hier wird der gesamte Querschnitt eines Raumes, in dem reinraumtechnische Bedingungen gefordert werden, von einer gleichgerichteten Luftströmung durchsetzt, deren Geschwindig­ keitsverteilung über einen rechtwinklig zur Strömungsrichtung lie­ genden Querschnitt uniform sein muß, wobei die Strömungsgeschwin­ digkeit bei 0.45 m/s liegt. In der Reinraumtechnik hängt der Erfolg eines kontaminationsfreien Arbeitens wesentlich von der Beachtung der Strömungsverläufe ab. Strömungstote Gebiete hinter einem um­ strömten Körper führen zu Rückströmungen; damit ist die Möglichkeit einer Kontaminationsübertragung gegeben, wenn im Bereich dieses strömungstoten Bereichs Quellen für Verunreinigung vorhanden sind. Als derartige Quellen sind auch im Bereich tätige Personen anzuse­ hen, deren Partikelabgabe in Abhängigkeit von ihrer Arbeitsaktivität schon früher bestimmt worden ist (Austin et.al.). Weiter ist die Durchflutung eines Arbeitsbereichs zu prüfen, in dem Produktions­ schritte unter reinraumtechnischen Bedingungen ablaufen. Diese Durchflutung soll bei dem Arbeitsschritt freigesetzte Verunreini­ gungen aus diesem abführen, so daß eine "Selbst-Kontamination" un­ terbunden wird.

Zur Überprüfung stehen dabei die üblichen Mittel der Strömungsunter­ suchung zur Verfügung, die vom einfachen Wetterstrom-Prüfröhrchen bis hin zur Verteilung von Flocken im Luftraum reichen. Dabei werden Fremdstoffe wir Titandioxid und Chlorwasserstoff (bei Wetterstrom­ prüfröhrchen) oder Methacrylat (bei Strömungsuntersuchungen mit Flocken) freigesetzt. Es ist auch bekannt, zu Strömungsuntersuchun­ gen Paraffinöl-Nebel oder Nebel höherer Phtalate (z. B. das aus der Filterprüftechnik bekannte Dioctylphtalt) einzusetzen. Auch hier werden verunreinigende organische Stoffe freigesetzt, die sich an reinzuhaltende Oberflächen an lagern und zu störenden Oberflächen­ belägen führen, insbesondere, wenn die Substanzen auf den Oberflä­ chen polymerisieren. Zur Strömungsüberprüfung sind nicht nur die zum Sichtbarmachen der Strömung eingesetzten Mittel von Bedeutung, son­ dern auch die Art ihres Einbringens in die Strömung. Während bei den Wetterstrom-Prüfröhrchen der Ausstoß der TiO₂-Nebels mit Handluft­ pumpe erfolgt und somit ohne Kontrolle der Ausstoßgeschwindigkeit, werden die einen Strömungsverlauf sichtbar machenden Flocken allein durch von der Flockenquelle ausgehenden thermischen Auftrieb in der Strömung verteilt, wobei der thermische Auftrieb die Strömung stört.

Hier setzt die Erfindung ein, der die Aufgabe zugrunde liegt, eine Vorrichtung zum Sichtbarmachen einer turbulenzarmen Verdrängungs­ strömung anzugeben, bei der die Nachteile des Standes der Technik vermieden werden und mit der der die Strömung anzeigende Nebel strö­ mungsgerecht in diese eingeführt werden kann und die einfach und wirtschaftlich herstellbar ist; weiter soll ein Verfahren angegeben werden, mit dem ein nicht kontaminierender Nebel strömungsgerecht in die Strömung eingeführt wird.

Die Lösung der Aufgabe ist durch die im Kennzeichen des Hauptan­ spruchs enthaltenen Merkmale gegeben; vorteilhafte Ausführungsformen und bevorzugte Ausführungsformen beschreiben die Unteransprüche.

Zur Verteilung eines eine Strömung sichtbar machenden Nebels wird die Sonde zur Strömungsdarstellung so ausgebildet, daß das Einführen des in einer Trägerluft verteilten Nebels in die Strömung isokine­ tisch erfolgt. Um dabei ein einwandfreies Abströmen ohne strömungs­ totes Gebiet zu erreichen, sind die Anströmkante abgerundet und die Abströmkante des Lanzenkopfes keilförmig ausgebildet, so daß der Lan­ zenkopf ein symmetrisches Tragflächenprofil aufweist. Das Verhältnis von der Dicke des Lanzenkopfes zu seiner Länge im Bereich von 1 : 12 bis 1 : 15 liegt so, daß der Winkel des keilförmigen Teils im Bereich von 8° bis 4° liegt.

Der Lanzenkopf ist dabei mit mindestens zwei Kammern versehen, eine Druckkammer, an die der Aerosolgenerator anschließbar ist, und eine der Druckkammer nachgeschaltete Ausströmkammer, die mit der Druck­ kammer in Verbindung steht, und in die ihrerseits eine Vielzahl von Ausströmöffnungen direkt münden. Diese Ausströmöffnungen sind mit der Ausströmkammer über Kanäle verbunden, die vorzugsweise als Boh­ rungen ausgeführt sind, die im Bereich der Abströmseite des Lanzen­ kopfes verlaufen, und deren Länge mindestens dem 10fachen ihres Durchmessers entspricht. Durch diese Ausbildung wird eine Kapillar­ strömung im Bereich dieser Ausströmöffnungen erreicht, die eine gute Laminarität aufweist, da die Einlaufstörungen nach etwa 3 bis 5 d (d = Durchmesser der Kanäle zu den Ausströmöffnungen) abgeklungen sind.

Um eine isokinetische Einführung zu erhalten, wird der Druck in der Druckkammer mittels eines Bypasses so eingestellt, daß die Geschwin­ digkeit, mit der die nebel-beladene Trägerluft aus den Ausströmöff­ nungen ausritt, gleich der ungestörten Strömungsgeschwindigkeit am Ort der Messung ist. Dabei sind die Durchlässe von Druckkammer zur Ausströmkammer so gelegt, daß sie nicht mit den Ausströmöffnungen fluchten.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform sind zwischen Druckkammer und Ausströmkammer/-kammern mindestens eine weitere, vorzugsweise zwei weitere Ausgleichskammer/Ausgleichskammern geschaltet, die mit der jeweils vorgeschalteten Kammer und mit der/den jeweils nachgeschal­ teten Kammer/-n über jeweils mindestens eine Überströmöffnung ver­ bunden sind. Die zwischengeschalteten Ausgleichskammer/-kammern wir­ ken als Puffer und sorgen für eine Vergleichmäßigung des Ausströmens und somit für eine Verbesserung und Vergleichmäßigung des in die zu untersuchende Strömung eingebrachten Nebel s. Jede der einzelnen Kam­ mer, Druckkammer, erste Ausgleichskammer, zweite Ausgleichskammer und so fort bis zur Ausströmkammer sind mit der jeweils folgenden durch Überströmöffnungen verbunden, die mit denen fluchten, die die Ausströmkammern mit den vorgeschalteten Ausgleichskammern verbinden, jedoch gegenüber den Auströmöffnungen versetzt angeordnet sind und daher nicht fluchten; dabei sind im Regelfall weniger Überströmöff­ nungen vorgesehen, als Ausströmöffnungen, so daß jeder Überströmboh­ rung mehr als eine Ausströmöffnung zugeordnet sein kann. Durch diese Ausbildung wird die Herstellung vereinfacht: Die Überströmbohrungen werden von der Anströmseite des Profils des Lanzenkopfes zusammen eingebracht, wobei das Fluchten erreicht wird. Im Gegensatz dazu werden die Ausströmöffnungen von der Kantenseite der Abströmseite her eingebracht, so daß ihr Einbringen unabhängig ist von dem der Überströmöffnungen. Bei dieser Art des Einbringens versteht es sich von selbst, daß die dadurch entstehende Öffnung der Druckkammer nach außen durch geeignete Mittel verschlossen wird. Durch diese Eintei­ lungen werden von der Einspeisung herrührende Störungen abgepuffert und die Verteilung vergleichmäßigt, wobei das Versetzen der fluch­ tenden Überströmöffnungen gegenüber den Auströmöffnungen eine direkte Beaufschlagung letzterer über eine mögliche Strahlbildung verhindert.

Diese Ausgestaltung läßt sich in einfacher und wirtschaftlicher Form dadurch erzielen, daß der Lanzenkopf als stranggepreßtes Aluminium­ profil ausgebildet ist. Das so hergestellte Profil wird abgelängt und mit seitlichen Abdichtungen versehen, die die notwendigen An­ schlüsse, zumindest für die Einführung des als Strömungsindikator eingesetzten Aerosols, ggf. auch für die Drucküberwachung der Druck­ kammer, aufweist. Die Bohrungen der Ausströmöffnungen lassen sich in ein derartige Profil ebenso einfach einbringen. Die zu den Ausström­ öffnungen nicht fluchtenden Überströmbohrungen werden vorteilhaft von der abgerundeten Anströmkante her eingebracht und wie gewünscht wieder verschlossen, so daß die Überströmöffnungen zwischen der Druckkammer zum einen und der ersten Ausgleichskammer, der ersten und der zweiten Ausgleichskammer sowie ggf. weiteren Ausgleichskam­ mern sowie der letzten der Ausgleichskammern und der Ausströmkammer von dieser Seite her gebildet werden.

Zur Strömungsdarstellung wird ein Nebel in die Druckkammer einge­ führt, der unter einem gewissen, kontrollierten Überdruck steht. Dabei ist der Überdruck so gewählt, daß der in Trägerluft verteilte Prüfnebel mit einer Geschwindigkeit aus den Ausströmöffnungen aus­ tritt, die der Strömungsgeschwindigkeit am Ort der Strömungsdarstel­ lung, im allgemeinen um 0,4 bis 0,5 m/s, entspricht. Dieser einmal gefundene Überdruck, der für andere Geschwindigkeiten in Kurvenform oder in Tabellen ebenfalls dargestellt werden kann, wird überwacht, so daß das isokinetische Einbringen des Prüfnebels gewährleistet ist.

Um Kontaminationen durch organische Dämpfe zu vermeiden, wird die Sonde nach der Erfindung vorteilhaft mit einem Reinstwassernebel be­ trieben, der in einem Aerosolgenerator mit nachgeschaltetem Massen­ kraftabscheider, etwa einem Zyklon, zur Begrenzung des Tröpfchen­ größenspektrums nach oben erzeugt werden kann. Das so erzeugte Ae­ rosol wird in einen Trägerluftstrom eingemischt, mit dem das Aerosol zur Sonde gefördert wird. Im allgemeinen werden mit solchen Mitteln Aerosolkonzentrationen von um 10⁷ Partikel pro Milliliter Luft erreicht.

Vorteilhaft wird das Aerosol mittels einer in dem Aerosolgenerator vorgesehenen Zweistoffdüse mit Druckluft erzeugt. Dabei versteht es sich von selbst, daß die hierfür eingesetzte Druckluft den Anfor­ derungen der Reinraumtechnik gerecht wird, und frei von Partikeln und von Öldämpfen ist. Der Druck, ggf. auch die Menge pro Zeitein­ heit der der Zweistoffdüse zugeführten Druckluft wird ggf. geregelt, wobei vorzugsweise der an der Zweistoffdüse angelegte Druck zum Konstanthalten von Menge und Teilchengrößenspektrum überwacht. Um die Stabilität des Wassernebels zu erhöhen, ist dem zu vernebelnden Reinstwasser vorteilhaft ein Zusatz von höchstens 2% Glyzerin mit hohem Reinheitsgrad zugesetzt. Durch diesen Zusatz des hygroskopi­ schen Glyzerins wird der Nebel stabilisiert, so daß die Nebelfäden auch über (relativ) lange Laufwege beobachtbar bleiben. Das Glyzerin bleibt wasserlöslich, es polymerisiert nicht, so daß es bei den mit den unter reinraumtechnischen Bedingungen durchzuführenden, üblichen Produktionstechniken verbundenen Reinigungsschritten nicht stört, wobei es sich von selbst versteht, daß hier Anpassungen möglich sind, wenn etwa ein solcher höherer Alkohol das Produktionsergebnis ungünstig beeinflußt.

Alternativ wird das Aerosol mittels eines im Aerosolgenerator vorge­ sehenen Ultraschallverneblers erzeugt, dessen Ultraschallschwinger eine zur Zerstäubung des Wassers hinreichende elektrische Leistung im benutzten Frequenzbereich zugeführt wird. Diese Leistung kann zur Anpassung der in der Zeiteinheit erzeugten Nebelmenge sowie zu deren Konstanthaltung überwacht, ggf. geregelt werden.

In einer vorteilhaften Weiterbildung wird dem so erzeugten Aerosol verdampfendes Kältemittel beigemischt, wobei das verdampfende Kälte­ mittel einem in dem Aerosolgeneraor enthaltenen Vorrat entnommen wird, wobei vorzugsweise die in der Zeiteinheit erzeugte Wasser­ dampfmenge zur Konstanthaltung der in der Zeiteinheit erzeugten Ae­ rosol-Menge überwacht, ggf. geregelt wird. Als zu verdampfendes Käl­ temittel wird etwa Kohlendioxid oder vorzugsweise flüssige Luft bzw. flüssiger Stickstoff eingesetzt. Der freigesetzte Wasserdampf kommt mit dem verdampften Kältemittel in Berührung, so daß sich ein stabi­ les Wassereis-Aerosol bildet. Das Kältemittel ist dabei in einem im Aerosolgenerator angeordneten, drucklosen Tank bevorratet, der - im Gegensatz zu sonstigen Vorratsbehältern von flüssiger Luft o. dgl. (Dewar-Gefäße) - keine besondere Isolation aufweist, oder der im In­ neren eine Wärmequelle aufweist, so daß die zum Verdampfen des Käl­ temittels notwendige Wärme von außen zufließen kann, oder im Inneren erzeugt wird, wobei es sich von selbst versteht, daß auch die Zufüh­ rung dieser Wärme zur Einstellung von Menge und Tröpfchengrößen- Spektrum des Aerosol-Ausganges eingestellt bzw. geregelt wird. Die­ ser so erzeugte Nebel ist sehr fein und beständig; er hinterläßt nur geringste Niederschläge von Wasser auf den umströmten Oberflächen. Um ein isothermes Ausströmen zu erreichen, wird die Nebeltemperatur an die Raumlufttemperatur angepaßt, so daß mögliche Dichteunter­ schiede zur Raumluft außerordentlich gering gehalten werden können.

Um das Aerosol isokinetischen in die Strömung einführen zu können, wird der Vordruck der Trägerluft am Aerosolgenerator oder an der Sonde mit einem Druckmeßgerät eingestellt und überwacht. Mit dieser Maßnahme kann sichergestellt werden, daß der Nebel zur Darstellung der Strömung mit etwa der gleichen Geschwindigkeit aus den Ausströmöffnungen austritt, wie sie die strömende Luft an dieser Stelle aufweist. Dabei wird vorher experimentell die Ausflußkonstan­ te des Lanzenkopfes mit seinen Ausström- und ggf. Überströmöffnungen ermittelt, so daß die Menge der in der Zeiteinheit ausströmenden, mit Aerosol beladenen Trägerluft beispielsweise in Kurvenform vor­ liegt.

Das Wesen der Erfindung wird an Hand des in den Fig. 1 und 2 nä­ her dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert; dabei zeigen

Fig. 1 Eine teilgeschnittene Ansicht eines Lanzenkopfes;

Fig. 2 Lanzenkopf, geschnitten gemäß Schnittlinie II-II, Fig. 1.

Die Fig. 1 zeigt den Lanzenkopf 1 in gebrochener Darstellung, da die Länge des Lanzenkopfes 1 von der gewünschten Breite der Strö­ mungsdarstellung abhängt und dann nur durch die Leistungsfähigkeit des Aerosolgenerators begrenzt ist. Die Fig. 2 zeigt den Lanzenkopf im Schnitt, wobei der Schnitt gemäß der Schnittlinie II-II (Fig. 1) so geführt ist, daß er im Bereich der Ausströmkammer 10 so versprun­ gen ist, daß zum einen die Überströmöffnungen 5, 7 und 9 und zum an­ deren die Ausströmöffnung 11.1 erkennbar sind. Der Lanzenkopf 1 bil­ det mit seiner abgerundeten Anströmkante 1.1 und seiner spitz zulau­ fenden Abströmkante 1.2 ein symmetrisches Tragflächenprofil, das von der turbulenzarmen Verdrängungsströmung mit einer (relativ) niedri­ gen Strömungsgeschwindigkeit schlicht umflossen wird, so daß Strö­ mungsablösungen nicht zu befürchten sind.

Der Lanzenkopf 1 wird mit einer (nicht näher dargestellten) Halte­ rung, über die gleichzeitig auch das als Nebel zur Strömungsdar­ stellung verwandte Aerosol zugeführt wird, gehalten und bildet mit dieser Halterung, mit der der Lanzenkopf 1 in Meßposition gebracht und gehalten wird, die Sonde zur Strömungsdarstellung. Dabei ist der hier dargestellte Lanzenkopf 1 ein durchgehendes Profilstück, das die Druckkammer 4, die Ausgleichskammern 6 und 8 sowie die Ausström­ kammer 10 enthält. Wegen des durchgehenden Profils ist dieses beid­ seitig mit Endplatten 3 versehen, die die Kammern beidseitig ver­ schließen, wobei zur besseren Halterung der Endplatten 3 Zapfen 3.1 angeformt sind, die zumindest in die Ausgleichskammern 6 und 8 ein­ greifen. Zum Anschluß ist die Druckkammer 4 mit einer Aufnahmeboh­ rung 2 versehen, in die das Mundstück der Halterung eingesteckt und festgelegt wird. Das Aerosol tritt aus dem Mundstück der Halterung aus und gelangt in die Druckkammer 4, von der aus über die Über­ strömöffnungen 5 in die erste Ausgleichskammer 6, deren Strömungs­ widerstand dabei der Vergleichmäßigung dient. Aus der ersten Aus­ gleichskammer tritt das Aerosol durch die Überströmöffnungen 7 in eine zweite Ausgleichskammer 8 ein, wobei wiederum die Überström­ öffnungen mit ihrem Strömungswiderstand zur Vergleichmäßigung bei­ tragen. Aus dieser zweiten Ausgleichskammer strömt das Aerosol durch deren Überströmöffnungen 9 ab und gelangt nochmals vergleichmäßigt in die Ausströmkammer 10. Die Überströmöffnungen 5, 7 und 9, die über die Länge des Lanzenkopfes 1 verteilt sind, fluchten dabei. Durch dieses Fluchten lassen sich diese Öffnungen mit einer Bohrung herstellen, die von der abgerundeten Anströmkante 1.1 her einge­ bracht werden; die dabei mitentstehenden Öffnungen 12 in dieser An­ strömkante 1.1 werden mit den Schrauben 13 verschlossen, so daß ein ungewollter Nebelaustritt zur Anströmseite hin unterbunden wird. Die Ausströmöffnungen 11.1 sind die Mündungen der Bohrungen 11, die von der Abströmseite her so eingebracht werden, daß sie außerhalb der Flucht der Überströmöffnungen liegen. Dabei können die Überström­ öffnungen 5, 7 und 9 in gleichem Abstand angeordnet sein, wie die Ausströmöffnungen 11.1, jedoch um einen halben Abstand versetzt. Es können jedoch auch andere Abstandsbedingungen gewählt werden, so daß nicht jeder Überströmbohrung eine Ausströmbohrung zuzuordnen ist.

Die Form der einzelnen Ausgleichskammer 6 und 7 ist ohne Bedeutung; die Ausströmkammer 10 bildet in ihrer Grundform einem Konfusor, in dem die Strömung zum Übergang in die Ausströmbohrungen 11 beschleu­ nigt wird.

Claims (14)

1. Sonde zur Darstellung einer turbulenzarmen Strömung, ins­ besondere zur Darstellung der Umströmung von Strömungshin­ dernissen mit turbulenzarmer Verdrängungsströmung der Rein­ raumtechnik, dadurch gekennzeichnet, daß die Sonde als Verteilerlanze mit einem Lanzenkopf (1) ausgebildet ist, der mindestens eine mit einem Aerosolgenerator verbundene Druckkammer (4) und eine Ausströmkammer (10) aufweist, wo­ bei der Lanzenkopf (1) eine abgerundete Anströmkante und eine keilförmig auslaufende Abströmkante aufweist, in der Auströmöffnungen (11.1) münden, über die ein an den Lanzen­ kopf (1) anschließbarer Aerosolgenerator mit der Umgebung, in der die Strömung darzustellen ist, in Verbindung steht, und wobei das Verhältnis von Dicke des Lanzenkopfes (1) zu seiner Länge im Bereich von 1 : 4 bis 1 : 8 liegt.

2. Sonde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Lanzenkopf eine Druckkammer (4) mit einem Anschluß an ei­ nen Aerosolgenerator, und eine Ausströmkammer (10), die über eine Anzahl von Ausströmöffnungen (11.1) mit der Umge­ bung in Verbindung steht, aufweist, wobei Druckkammer (4) und Ausströmkammer (11.1) über Überströmöffnungen (5; 7; 9) miteinander in Verbindung stehen.

3. Sonde nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Überströmöffnungen (5; 7; 9) gegenüber den Ausströmöffnun­ gen (11.1) so versetzt angeordnet sind, daß diese nicht miteinander fluchten.

4. Sonde nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abströmkante (1.2) des Lanzenkopfes (1) als keil­ förmiges Massivteil ausgebildet ist, in dem vorzugsweise gebohrte Kanäle (11) verlaufen, deren Mündungen die Aus­ strömöffnungen (11.1) bilden, wobei die Länge der Kanäle mindestens dem 10fachen ihres Durchmessers entspricht.

5. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zwischen Druckkammer (4) und Ausströmkammern (10) mindestens eine weitere, vorzugsweise zwei weitere Ausgleichskammer/-kammern (6; 8) vorgesehen ist/sind, die mit der jeweils vorgeschalteten Kammer und mit der/den je­ weils nachgeschalteten Kammer/-n über jeweils mindestens eine Überströmöffnung (5; 7; 9) verbunden sind.

6. Sonde nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß jede der Ausgleichskammer (6; 8) über mindestens eine Über­ strömöffnung (5; 7) mit der vorgeschalteten und über min­ destens eine Überströmöffnung (7; 9) mit der folgenden Ausgleichskammer (6; 8) bzw. mit der Ausströmkammer (10) verbunden ist, wobei die Überströmöffnungen (5, 7, 9) je­ weils fluchten.

7. Sonde nach einem der Anspruch 1 bis 6, dadurch gekenn­ zeichnet, daß die Ausströmöffnungen (11.1) gegenüber den Überströmöffnungen (5, 7, 9) versetzt angeordnet sind, so daß die Ausströmöffnungen (11.1) mit den Überströmöffnun­ gen (5, 7, 9) nicht fluchten.

8. Sonde nach einen der vorstehenden Ansprüche 1 bis 7, da­ durch gekennzeichnet, daß der Lanzenkopf (1) als strangge­ preßtes Aluminiumprofil ausgebildet ist.

9. Verfahren zur Darstellung der turbulenzarmen Verdrängungs­ strömung in der Reinraumtechnik mit der Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß der Sonde als Nebel ein Reinstwasseraerosol zugeführt wird, erzeugt von einem Aerosolgenerator, wobei das Tropfen­ größenspektrum durch einen vorgeschalteten Massekraftab­ scheider, vorzugsweise einem Zyklon, auf unter 2 µm be­ grenzt ist.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet daß das das Aerosol mittels einer in dem Aerosolgenerator vorgese­ henen Zweistoffdüse erzeugt wird, wobei vorzugsweise der an der Zweistoffdüse angelegte Druck zum Konstanthalten von Menge und Teilchengrößenspektrum überwacht, ggf. gere­ gelt wird.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß dem Reinstwasser Glycerin zugesetzt ist, wobei der Zusatz höchstens 2%, vorzugsweise höchsten 1% beträgt.

12. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß das Aerosol mittels eines im Aerosolgenerator vorgesehenen Ul­ traschallverneblers erzeugt wird, wobei vorzugsweise die an den Ultraschallgeber abgegebene Leistung zum Konstant­ halten von Menge und Teilchengrößenspektrum überwacht, ggf. geregelt wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß dem erzeugten Aerosol verdampfendes Kältemittel beige­ mischt wird, wobei das verdampfende Kältemittel einem in dem Aerosolgenerator enthaltenen Vorrat entnommen wird, wobei vorzugsweise die in der Zeiteinheit erzeugte Was­ serdampfmenge zur Konstanthaltung der in der Zeiteinheit erzeugten Aerosol-Menge überwacht, ggf. geregelt wird.

14. Verfahren nach einem der Ansprüche 9 bis 13, dadurch ge­ kennzeichnet, daß zum isokinetischen Einführen des Nebel s in die zu überwachende Strömung der Vordruck der Träger­ luft am Aerosolgenerator oder an der Sonde mit einem Druckmeßgerät eingestellt und überwacht wird.