DE3708147C2 - - Google Patents
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- DE3708147C2 DE3708147C2 DE3708147A DE3708147A DE3708147C2 DE 3708147 C2 DE3708147 C2 DE 3708147C2 DE 3708147 A DE3708147 A DE 3708147A DE 3708147 A DE3708147 A DE 3708147A DE 3708147 C2 DE3708147 C2 DE 3708147C2
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70283—Mask effects on the imaging process
- G03F7/70291—Addressable masks, e.g. spatial light modulators [SLMs], digital micro-mirror devices [DMDs] or liquid crystal display [LCD] patterning devices
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- G—PHYSICS
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70425—Imaging strategies, e.g. for increasing throughput or resolution, printing product fields larger than the image field or compensating lithography- or non-lithography errors, e.g. proximity correction, mix-and-match, stitching or double patterning
- G03F7/70475—Stitching, i.e. connecting image fields to produce a device field, the field occupied by a device such as a memory chip, processor chip, CCD, flat panel display
Description
Die Erfindung betrifft einen Photoplotter der im Oberbegriff
des Anspruchs 1 angegebenen Art sowie ein Verfahren zum Betrieb
dieses Photoplotters nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 3.
Ein derartiger Photoplotter ist aus der DE 28 12 206 A1 bekannt.
Dieser bekannte Photoplotter arbeitet mit ortsfester
Lichtmodulatorplatte, wobei eine Mehrfachbelichtung des
Bogens photoempfindlichen Materials zu einer vorbestimmten
Graustufung des Musters auf dem Bogen führt. Nachteilig
an diesem bekannten Photoplotter ist, daß die erzeugbare
Belichtungsdichte auf dem Bogen photoempfindlichen Materials
zu wünschen übrig läßt. Dieser Nachteil ergibt sich daraus,
daß die ortsfest angeordnete Lichtmodulatorplatte ein Abbildungsmuster
schafft, das zwischen den den Matrixzellen
entsprechenden Belichtungsbereichen der Lichtmodulatorplatte
einen Abstand beläßt, welcher den regelmäßigen Abständen der
Zellen zueinander entspricht. Dieser Abstand ist zwar durchweg
kleiner als die Ausdehnung der Zellen, jedoch durchaus so
groß, daß er auf der zu erzeugenden Abbildung auf dem Bogen
photoempfindlichen Materials mit bloßem Auge erkennbar ist.
Aus der US 36 95 154 ist es bekannt, das Belichtungselement
eines Photoplotters zum Zwecke der Abbildung in zwei Koordinatenrichtungen
zu verschieben.
Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, einen
Photoplotter der eingangs genannten Art, sowie ein Verfahren zu dessen Betrieb zu schaffen, mit dem
eine nahtlose Belichtung des photoempfindlichen Bogens gewährleistet
ist.
Gelöst wird diese Aufgabe durch die kennzeichnenden Merkmale
der Ansprüche 1 und 3. Eine vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung
ist in dem Unteranspruch 2 angegeben.
Der Nachteil einer geringen Bilddichte bei dem vorstehend
genannten Photoplotter der eingangs genannten Art wird erfindungsgemäß
dadurch vermieden, daß die Lichtmodulatorplatte
verschiebbar angeordnet ist, wobei der Verschiebehub
der Lichtmodulatorplatte in den beiden orthogonalen Richtungen
der Zeilen und Spalten der Zellenmatrix im wesentlichen
der Kantenlänge der quadritischen Zellen entspricht, die in
jeder orthogonalen Richtung im wesentlichen mit der doppelten
Zellkantenlänge voneinander beabstandet sind. Durch den
erfindungsgemäß vorgesehenen Verschiebehub der Lichtmodulatorplatte
wird erreicht, daß auch die Bereiche zwischen den
Zellen nahtlos belichtbar sind, so daß sich in zuverlässiger
Weise der gewünschte Grauwert für das abzubildende Muster
einstellen läßt.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Zeichnung
näher erläutert. Es zeigt
Fig. 1 ein Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Photoplotters, bei dem
die erfindungsgemäße Verschiebeeinrichtung für die Lichtmodulatorplatte nicht
mit dargestellt ist;
Fig. 2 den erfindungsgemäß mit einer Lichtmodulatorplatten-Verschiebeeinrichtung
versehenen Photoplotter von Fig. 1;
Fig. 3 eine teilweise aufgeschnittene Teil-Draufsicht auf die Lichtmodulatorplatte des Photoplotters
von Fig. 2;
Fig. 4 eine vergrößerte Teil-Ansicht eines Abschnitts
der Lichtmodulatorplatte von Fig. 3, wobei bestimmte
Teile weggebrochen sind, um die Struktur anderer Teile
besser zu offenbaren;
Fig. 5 eine perspektivische Ansicht,
eines anderen Ausführungsbeispiels
des erfindungsgemäßen
Photoplotters;
Fig. 6 eine schematische, perspektivische Ansicht
eines weiteren Ausführungsbeispiels
des erfindungsgemäßen Photoplotters;
Fig. 7 eine Teil-Ansicht im Schnitt im allgemeinen auf
der Linie 7-7 in Fig. 6 und
Fig. 8 und 9 schematische, perspektivische Ansichten
weiterer Ausführungsbeispiele des
erfindungsgemäßen Photoplotters.
Fig. 1 zeigt einen allgemein mit 10 bezeichneten Photoplotter,
der zum Erzeugen einer graphischen Dar
stellung auf einem Bogen 12 aus photoempfindlichem Material
verwendet wird. Die Beschaffenheit des Bogens 12 kann ver
schieden sein. Zu Veranschaulichungszwecken wird ange
nommen, daß der Bogen ein photographischer Film ist, der
bei Entwicklung nach der Belichtung ein photographisches Negativ
ergibt, das zum Herstellen nachträglicher Positivabzüge dient,
oder der durch Belichtung direkt ein photographisches Positiv wird.
Eine auf dem Bogen 12 durch Belichtung erzeugte graphische Darstellung ist
beispielsweise mit 14 bezeichnet.
Der Photoplotter 10 in Fig. 1 schließt eine Einrichtung zum
derartigen Abstützen des Bogens 12 an einer Belichtungsstation
ein, daß seine lichtempfindliche Oberfläche für eine Belichtung
zugänglich ist. Diese
Einrichtung besteht aus einem Tisch 16 mit einer flachen Auflage
fläche 18, die als Belichtungsstation dient und den Bogen 12
in flach ausgebildetem Zustand trägt. Zum Halten des Bogens 12 an der
Auflagefläche 18 während des Belichtungsvorgangs kann irgend
ein passendes, nicht bildlich dargestelltes Mittel wie eine
Ansaugeinrichtung verwendet werden.
Über der Auflagefläche 18 befindet sich eine Lichtquelle 20,
mit der kolli
miertes, von den Strahlen 22, 22 dargestelltes Licht auf die
Auflagefläche 18 ausgesandt wird. Die kollimierten Strahlen
22, 22 verlaufen im wesentlichen lotrecht zur Auflage
fläche 18, und das gesamte, von der Lichtquelle 20 ausgehende
Strahlenbündel weist eine Quer
schnittsform und -größe auf, die wenigstens so groß sind wie die
des Bogens 12, so daß der ganze Bogen 12 vom Bündel belichtet
werden kann, ohne daß die Lichtquelle oder irgendwelche ande
ren Teile relativ zur Auflagefläche 18 bewegt werden müssen.
Vorzugsweise ist die Intensität des Lichtbündels auch über
ihren Querschnitt gleichmäßig.
Der Photoplotter 10 umfaßt eine
Lichtmodulatorplatte 24, die zwischen der Auflagefläche 18
und der Lichtquelle 20 angeordnet ist. Die Platte 24
umfaßt eine Aktivfläche 26, die parallel
zur Auflagefläche 18 verläuft und wenigstens so groß wie der Bogen
12 ist. Die Aktivfläche 26 enthält eine große Anzahl von matrixartig angeordneten Zellen 28,
deren jeweilige Durchlässigkeit einzeln
verändert werden können, um den Lichtdurchtritt durch die Zellen 28
von der Lichtquelle 20 zum Bogen 12 zu steuern.
Die Verwendung einer Lichtquelle, die kollimiertes Licht
auf die Lichtmodulatorplatte 24 aussendet, hat den Vorteil,
daß eine hohe Auflösung erreicht werden kann, d. h. daß die
bildlichen Darstellungen der von der Lichtmodulatorplatte
definierten Abbildungen auf den lichtempfindlichen Bogen 12
scharf abgesetzt übertragen werden trotz eines gewissen Ab
standes zwischen der waagerechten Gegenstandsebene der Modulator
platte 24
und
der waagerechten Ebene des Bogens 12, wobei dieser Abstand
möglicherweise auf die Dicke der Platten 24
zurückzuführen ist
und/oder auf einen tatsächlichen Abstand zwischen der Boden
fläche der Platte 24 und dem Bogen 12. Alternativ
können auch andere Arten von Lichtquellen
verwendet werden. So kann z. B., wenn der Boden der Modulator
platte 24 ziemlich dicht am Bogen 12 zu liegen kommt, eine Punkt
lichtquelle wie eine Glüh- oder eine Lichtbogenlampe mit
zufriedenstellenden Ergebnissen verwendet
werden, und zwar insbesondere dann, wenn die Punktlichtquelle
durch eine lange Strahlenbahn von der Platte 24 beabstan
det ist, so daß die die Platte 24 illuminierenden Strahlen
nur geringfügig divergieren.
Die Lichtmodulatorplatte 24 hat im wesentlichen die gleiche
Funktion wie ein photographisches Negativ, ein Transparent
bild oder eine Maske, wie sie in vielen herkömmlichen Photo
reproduktionsprozessen Verwendung finden, wobei der Unter
schied darin liegt, daß die von der Platte 24 hervorge
rufene "bildliche Darstellung" von einem zugeordneten Computer
od. dgl. zum Zeitpunkt der Belichtung digital definiert wird,
momentan veränderlich ist und gesteuert werden kann, während
das herkömmliche Negativ eine feststehende, vor der Belichtung
erstellte bildliche Darstellung ist. Daher kann ein gewisser
Teil derselben Ausrüstung und der gleichen Techniken, wie sie
in der Vergangenheit zum Illuminieren von Negativen in einem
Photoreproduktionsprozeß verwendet wurden, zusammen mit der
Lichtmodulatorplatte 24 Verwendung finden.
Beispielsweise kann die Platte 24 fortschreitend ausgeleuchtet werden, etwa durch
Verwendung einer Laserstrahl-Abtasteinrichtung.
Alternativ hierzu kann die mittels der Platte 24 er
stellte graphische Darstellung über eine
geeignete Linse oder ein geeignetes Linsensystem
auf den Bogen 12
projiziert werden.
Zugunsten
einer guten Auflösung und Detail
wiedergabe in der belichteten graphischen Darstellung sind
die Zellen 28 von recht
geringer Größe.
Bei der
dargestellten Lichtmodulatorplatte 24 sind längs eines Randabschnitts 30
eine nicht dargestellte Klemme für jede Reihe der Zellen 28
und längs eines anderen Rand
abschnitts 32 eine nicht dargestellte Klemme
für jede Spalte von Zellen 28 vorgesehen und
die Lichtdurchlässigkeit der
Zellen 28 wird von an diese Klemmen angelegten elektrischen Signalen
gesteuert, und zwar
mit Hilfe eines Computers 34, der mit den Randabschnitten
30 und 32 der Lichtmodulatorplatte 24 durch Kabel 36 und 38 verbunden
ist. Dieser Computer 34 ist auch mit der Lichtquelle 20 über
ein Kabel 40 verbunden und steuert deren Ein- und Ausschalten.
Daten, die die auf dem Bogen 12 zu belichtende graphische
Darstellung definieren, werden in den Computer
beispielsweise über eine Tastatur 42 oder eine andere
Dialogvorrichtung oder mittels einer Aufzeichnung wie eines
Magnetbandes oder einer Magnetplatte eingegeben und von dem Computer 34 zur
Steuerung der Lichtmodulatorplatte verarbeitet.
Das von der Lichtquelle 20 ausgesendete kollimierte Licht ist
derart ausgewählt, daß es zur Empfindlichkeit des zu belich
tenden Bogens 12 paßt. Im allgemeinen ist dies sichtbares Licht.
Dies braucht jedoch nicht immer der Fall
zu sein, und die Lichtquelle 20 ist z. B. dort, wo der zu be
lichtende Bogen 12 gegenüber ultraviolettem
Licht empfindlich ist
eine Lichtquelle, die ultraviolettes Licht aussendet.
Weiter kann die Lichtquelle 20, wenn der Bogen 12 ein Kodacolor-
oder Kodachrome-Film ist, der gegenüber der Farbe des belich
tenden Lichts empfindlich ist,
eine Lichtquelle sein, die dazu ausgelegt
ist, Licht aus einer Anzahl verschiedener Farben wie Rot,
Blau und Grün, je nachdem, wie dies für das spezielle, für den
Bogen 12 verwendete Material erforderlich ist, zu unterschied
lichen Zeitpunkten in Aufeinanderfolge auszusenden. In diesem
Fall erregt der Computer 34 die
Lichtmodulatorplatte 24 während der Zeit, wo sie mit
jeder einzelnen Lichtfarbe verwendet wird, so daß das Licht
von einer Farbe, das den Bogen 12 erreicht, von dem Licht von
einer anderen Farbe, das den Bogen 12 erreicht, getrennt ge
steuert wird, wie dies üblicherweise zum Erstellen von
vielfarbigen graphischen Darstellung erforderlich
ist. Auf diese Weise kann die Lichtmodulatorplatte in einem Belichtungs
schritt als erste Farbtrennungsmaske wirken, um eine erste
Primärfarbbilddarstellung auf dem Bogen 12 abzubilden, und
in darauffolgenden Belichtungsschritten kann sie als zweite und
als dritte Trennungsmaske wirken, um eine zweite Primärfarbbild
darstellung und dann eine dritte Primärfarbbilddarstellung auf
dem Bogen 12 abzubilden.
Die vorstehend erwähnte Lichtquelle, die in der Lage ist, Licht
aus einer Anzahl unterschiedlicher Farben auszusenden, kann
in Gestalt einer Anzahl von einzelnen, monochromatischen Lichtquellen
ausgeführt sein, welche jeweils Licht aus einer anderen Farbe
erzeugen, oder durch eine einzige, weiße Lichtquelle in Kombi
nation mit einer Anzahl von Filtern aus unterschiedlichen Farben,
die zwischen die Quelle und die Lichtmodulatorplatte 24 wahlweise einge
fügt werden können. Als Alternative dazu kann jedoch bei der
Erstellung einer vielfarbigen graphischen Darstellung die
Lichtquelle eine Quelle weißen Lichts und die Lichtmodulatorplatte 24
derart konstruiert sein, daß sie auch als Lichtfilter dient,
so daß jede Zelle der Platte 24 nicht nur
zwischen einem nicht-lichtdurchlasssenden Zustand und einem
licht-durchlassenden Zustand umgeschaltet werden kann, son
dern
des weiteren wahl
weise konditionierbar ist derart, daß beispielsweise entweder
rotes, blaues oder grünes Licht oder Licht aus anderen Primär
farben durchgelassen wird. Zellen, die eine
Steuerung der durchgelassenen Lichtfarbe ermöglichen, können
so ausgeführt sein, daß jede Zelle
aus drei kleineren Unterzellen besteht,
welche innerhalb der Begrenzungen der umfassenden Zelle
dicht nebeneinander angeordnet sind, wobei jede
Unterzelle ein Filterelement aufweist, das
den Durchlaß von Licht aus nur einer der drei Primär
farben gestattet, und wobei jedes der Filterelemente der drei
Unterzellen eine andere
der drei Primärfarben durchläßt. Als weitere Verfeinerung
ist die Lichtmodulaturplatte 24 derart ausgestaltet,
daß sie leicht in eine und relativ zu einer festen
waagerechten Bezugsebene bewegt werden kann und daß ihr
zweckgemäße Antriebseinrichtungen (wie sie nachstehend in
Verbindung mit Fig. 2 beschrieben werden) zugeordnet sind,
so daß jede Unterzelle
eine gegebene, feste Position in der Bezugsebene
einnimmt, damit die von den drei Unterzellen
vorgenommenen Belichtungen auf dem Bogen 12 einander
überlappen. In einigen Fällen kann es jedoch erwünscht
sein für jede Zelle mit unter
schiedlichen Farben drei kleine, dicht benachbarte, aber
nicht überlappende Bereiche des Bogens 12 zu belichten.
In diesem Fall ist ein Verschieben der Platte 24 zwischen
Belichtungen mit unterschiedlichen Farben nicht erforderlich.
Die Lichtmodulatorplatte 24 kann auch so ausgebildet sein,
daß sämtliche Zellen 28 zum Steuern des jeweiligen
Lichtdurchlasses gleichzeitig erregbar sind.
Der Photoplotter 10
kann auch entweder zum Erzeugen graphischer Doppeltondarstellungen oder
von graphischen Darstellungen mit Halbtönen oder wechselnder
Grauskala verwendet werden kann. Für eine graphische Doppelton
darstellung wird die Lichtmodulatorplatte 24 derart betrieben,
daß jede Zelle 28 zwischen zwei Durchlässigkeitspegeln
umgeschaltet werden kann, wobei einer ein Pegel von
im wesentlichen Nulldurchlässigkeit und der andere ein im
wesentlichen fester Durchlässigkeitspegel ist. Für graphische
Halbtondarstellungen kann die Lichtmodulatorplatte 24 derart betrieben
werden, daß jede Zelle 28 zwischen einer Anzahl von
unterschiedlichen Durchlässigkeitspegeln umgeschaltet werden
kann, wobei einer ein Pegel von im wesentlichen Nulldurchlässigkeit
ist. Bei einer aus Flüssigkristallen
aufgebauten Modulatorplatte 24 (Fig. 4)
kann dies durch Verändern des
elektrischen Feldes erreicht werden, das quer über
die Flüssigkristallage jeder Abbildung erzeugt wird, um
die Kristalle in einen lichtdurchlassenden Zustand zu versetzen.
Bei
letzterer Betriebsart wird angenommen, daß immer dann, wenn
die Flüssigkristalle einer Zelle erregt werden, diese für eine feste Zeitperiode
erregt ist, so daß die Belichtung des zugeordneten Bereichs
des Bogens 12 einzig und allein durch Verändern der
Durchlässigkeit der Zelle 28 gesteuert wird. Die Belichtung eines
Bereichs des Bogens 12 kann jedoch, falls erwünscht, des
weiteren durch Variieren des Zeitmaßes gesteuert werden, während
dessen jede Zelle 28 Licht hindurchläßt.
Auf diese Weise können auch Halbtonwerte erzeugt werden,
wenn die Zellen 28 nur zwischen zwei Durchlässigkeits
pegeln geschaltet werden, wobei einer ein Pegel von im wesent
lichen Nulldurchlässigkeit und der andere ein im wesentlichen
fester Durchlässigkeitspegel ist.
Halbtonabbildungen können
alternativ auch gemäß den Fig. 2 und 3 erzeugt werden. In Fig. 2 ist die
Lichtmodulatorplatte 24 die gleiche wie die in Fig. 1 mit
der Ausnahme, daß ihr zwei mechanische Antriebseinrichtungen
25 und 27, beispielsweise piezoelektrischer Art zum
Verschieben der Platte 24 um geringe Beträge
in zwei Koordinatenrichtungen, angedeutet durch die Pfeile 29
und 31, in der waagerechten Ebene, rela
tiv zur Auflagefläche 18 und dem Bogen 12 aus lichtempfind
lichem Material zugeordnet
sind. Wie in Fig. 3 gezeigt ist, sind die steuerbaren lichtdurchlässigen
Zellen 28, 28 der Modulatorplatte 24, wie sie in
Fig. 2 Verwendung findet, in voneinander beabstandeten Reihen
und Spalten angeordnet. Daher wird, wenn die Lichtmodulatorplatte
24 sich in irgendeiner gegebenen, festen Position
relativ zum gerade belichteten lichtempfindlichen Bogen 12
befindet, jede Zelle 28 nur einen äquivalenten kleinen
Bereich oder ein ebensolches Feld auf dem Bogen 12 belichten.
Durch Verschieben der Lichtmodulatorplatte 24 in der waage
rechten Ebene relativ zum Bogen 12 mittels
der Antriebseinrichtungen 25 und 27 kann
jede Zelle 28 über aufeinanderfolgende Belichtungen
und durch Verschieben zwischen den Belichtungsvorgängen veranlaßt werden,
eine Anzahl von Feldern auf dem licht
empfindlichen Bogen 12 zu belichten (oder nicht zu be
lichten), die in einem kleinen Bereich oder einer kleinen Ab
bildung dieser Oberfläche zusammengefaßt sind. Unterschiedliche
Halbtonwerte können daher durch Steuern der Anzahl von
Feldern, die bei jedem Belichtungsvorgang des
lichtempfindlichen Bogens 12 belichtet werden, erhalten werden.
Wie aus
Fig. 3 hervorgeht, weisen die lichtdurchlässigen
Zellen 28, 28 Quadratform mit einer Länge d auf jeder Seite auf und sind
in Reihen und Spalten angeordnet, die um die Abmessung 2d von
einander beabstandet sind. In Fig. 2 befindet sich die Licht
modulatorplatte 24 in einer neutralen Stellung relativ zum
lichtempfindlichen Bogen 12, in welcher jede lichtdurchlässige
Zelle 28 über dem mittleren von neun Feldern 33
liegt, die sich innerhalb einer Neun-Felder-Abbildung 35
befinden. Die Antriebseinrichtung 25 bewirkt ein Verschieben
der Platte 24 um die Entfernung d in irgendeiner Rich
tung entlang der Koordinatenachse, welche durch den Pfeil 29
angedeutet ist, aus der dargestellten neutralen Stellung
in Fig. 2, und ebenso bewirkt die Antriebseinrichtung 27
ein Verschieben derselben um eine Entfernung d in irgend
einer Richtung entlang der Koordinatenachse, welche durch den
Pfeil 31 angedeutet ist. Auf diese Weise kann jede Zelle
28 nacheinander in Übereinstimmung mit jedem der neun
Felder 33 seiner zugeordneten Abbildung 35 auf dem Bogen 12
bewegt werden. Beim Belichtungsvorgang wird die
Platte 24 schrittweise durch eine Reihe von neun verschiedenen Stel
lungen relativ zum Bogen 12 bewegt, wodurch jede
Zelle 28 nacheinander mit jedem der neun Felder 33 seiner Abbil
dung 35 auf dem Bogen 12 in Übereinstimmung gebracht wird,
und am Ende jedes Schrittes wird eine neue Belichtung vorge
nommen, wobei die Durchlässigkeiten der Zellen 28
während jeder der neun getrennten Belichtungen, die für jede
vollständige Belichtung erforderlich sind, unterschiedlich
gesteuert werden. Daher kann bei abgeschlossenem Belich
tungsvorgang eine beliebige Anzahl der neun Felder jeder Abbildung 35
des Bogens 12 belichtet worden sein, um den für diese Abbildung
gewollten und gewünschten Halbtonwert zu erzeugen.
Abgesehen davon, daß die Vorrichtung in Fig. 2 und 3 zum Er
zeugen von graphischen Halbtondarstellungen verwendet wird,
kann sie darüber hinaus auch zum Erzeugen von graphischen
Doppeltondarstellungen Verwendung finden. Aus
konstruktionstechnischen Gründen ist es schwierig Zellen die
Lichtmodulatorplatte mit lichtdurchlässigen Zellen
28 zu versehen, die unmittelbar nebeneinander oder sehr dicht bei
einander liegen. Dieser konstruktionstechnische Nachteil wird durch das vorstehend beschriebene Verschieben der
Platte 24 sowie durch Mehrfachbelichtungen ausgeglichen, wodurch
die Räume ausgefüllt werden, die ansonsten auf dem belichteten
Bogen 12 auftreten würden, wenn die Lichtmodulatorplatte 24
nicht relativ zum Bogen 12 bewegt werden würde.
Die Lichtmodulatorplatte 24
ist vorzugsweise aus Flüssigkristallen aufgebaut, wie
beispielsweise in Fig. 4 dargestellt. In
dieser Figur ist ein kleiner Abschnitt der Platte 24 ge
zeigt, bei dem die Dicken der verschiedenen Platten-Lagen übertrieben
stark wiedergegeben sind. Die dargestellte Platte 24
besteht aus einer vorderen, dem Bogen 12 zugewandten transparenten Platte 44 und einer
hinteren, der Lichtquelle 20 zugwandten transparenten Platte 46 mit einer Lage 48 aus Flüssig
kristallmaterial zwischen diesen Platten. Neben der Stirnfläche 50 der
vorderen Platte 44 befindet sich eine vordere Polarisierlage 52,
und neben der Rückfläche 54 der hinteren Platte 46 befindet
sich eine hintere Polarisierlage 56. Auf der Rückfläche 58
der vorderen Platte 44 befindet sich eine Vielzahl von extrem
dünnen, transparenten, metallischen, leitenden Streifen 60,
die sich in einer Richtung quer über die Lichtmodulatorplatte 24 er
strecken und in der anderen Richtung gleichmäßig voneinander
beabstandet sind. Auf der Stirnfläche 62 der hinteren Platte 46
befindet sich eine Vielzahl von ähnlichen extrem dünnen, trans
parenten, metallischen, leitenden Streifen 64, die sich quer
über die Platte 24 in der Richtung erstrecken, die ortho
gonal zu der Längserstreckung der Streifen 60 verläuft. Der Bereich, über dem
jeder Streifen 60 einen der Streifen 64 überlappt, definiert
eine Zelle 28. Eine dieser Zellen ist in
Fig. 4 durch die unterbrochenen Linien angedeutet. Auf diese
Weise kann durch Anlegen von geeigneten Spannungssignalen an
die Streifen 60 und 64 das quer über der Flüssigkristallage 48
auftretende elektrische Feld an jeder Zelle verändert
werden, wobei eine solche Veränderung des elektrischen Feldes
die Polarisierung von Licht steuert, das durch die Flüssig
kristallage 48 im Bereich der jeweiligen Zelle hindurchtritt, und
in Verbindung mit der hinteren Polarisierlage 56 und der vor
deren Polarisierlage 52, die Lichtdurchlässigkeit bestimmt. Zur Steuerung
der Flüssigkristallage 48 sind
die leitenden, metallischen Streifen 60 mit Klemmen im Rand
abschnitt 30 der Vorrichtung 24 und die leitenden Streifen 64
mit anderen Klemmen im Randabschnitt 32 der Vorrichtung, wie
in Fig. 1 gezeigt, verbunden, so daß Spannungssignale
an die Streifen 60 und 64 unter der Steuerung des Computers 34
angelegt werden können. Die Streifen 60 definieren Reihen, in
denen die Zellen 28 angeordnet sind, und die Streifen 64
definieren Spalten. In einer typischen Betriebsart werden die
Streifen 60 nacheinander in Reihenfolge erregt, und während
jeder Streifen 60 erregt wird, werden die Streifen 64 entweder
parallel (gleichzeitig) oder seriell (in Aufeinanderfolge) erregt.
Bei den in Fig. 1 bis 4 dargestellten Ausführungsformen des
Photoplotters 10 sind die Lichtmodulatorplatte 24 und die
Lichtquelle 20 entsprechend groß, um die ganze gewünschte
graphische Darstellung auf dem Bogen 12 zu erzeugen, ohne daß
der Bogen 12 relativ zur Platte 24 zwecks vollständiger Belichtung bewegt werden muß mit Aus
nahme der geringen Verschiebe-Beträge, die vorstehend in Ver
bindung mit Fig. 2 und 3 behandelt wurden, um Halbtonbilddar
stellungen zu erzeugen oder die Räume mitzubelichten, die zwischen
den Zellen 28 der Lichtmodulatorplatte
24 bestehen. Wenn große graphische Darstellungen zu
belichten sind, kann es unpraktisch sein, eine
Lichtmodulatorplatte in der Größe des Bogens 12 vorzusehen. In einem solchen Fall
kann es zweckmäßig sein,
die Lichtmodulatorplatte relativ zum lichtempfind
lichen Bogen derart zu verschieben, daß der Bogen schrittweise
oder fortschreitend Bereich für Bereich belichtet werden kann.
Ein derartiger Photoplotter 64′ ist in Fig. 5 dargestellt und
umfaßt einen Photokopf 68, der aus einer Lichtquelle wie der
Lichtquelle 20 in Fig. 1 und einer Lichtmodulatorplatte 24 wie
in Fig. 1 besteht, welche relativ zuein
ander in einer Einheit verbunden sind. Dieser Photokopf
68 ist am Y-Schlitten 70 einer X-Y-Positioniervorrichtung 72
angebracht. Diese Vorrichtung 72 umfaßt, abgesehen von dem Y-
Schlitten 70, noch einen X-Schlitten 74, der in der angedeu
teten X-Koordinatenrichtung bewegbar ist, wobei der Y-Schlitten
70 auf demselben lagert zum Zwecke einer Bewegung in der ange
deuteten Y-Koordinatenrichtung. Daher kann der Photokopf 68
schrittweise zu verschiedenen Bereichen 76 eines Bogens aus
lichtempfindlichem Material 78, der auf der Auflagefläche 80
der Vorrichtung 72 aufliegt, bewegt werden. Ein Computer 82
steuert den Betrieb sowohl der X-Y-Positioniervorrichtung 72
als auch des Photokopfes 68.
Ein anderer Photoplotter 84 zum fortschreitenden Belichten
einer graphischen Darstellung auf einem Bogen aus licht
empfindlichem Material ist in Fig. 6 und 7 dargestellt.
Bei diesem Photoplotter 84 ist der Bogen aus lichtempfind
lichem Material 86 auf zwei Rollen 88 und 90 gewickelt und
wird in der X-Koordinatenrichtung über eine Auflagerplatte 92
durch Abwickeln von der Rolle 88 und Aufwickeln auf die Rolle
90 unter der Steuerung eines Motors 94 und einer Kupplungs
bremse 96 bewegt. Ein Photokopf 98 erstreckt sich quer über
den Bogen 86 in der Y-Koordinatenrichtung, und ein Computer 100
steuert die Bewegung des Bogens 86 in der X-Koordinatenrich
tung und den Betrieb des Photokopfes.
Der in Fig. 7 dargestellte Photokopf 98 umfaßt ein Gehäuse 102,
das eine Lichtquelle 104 enthält, die im allgemeinen der Licht
quelle 20 in Fig. 1 ähnlich ist, und eine Lichtmodulatorplatte
106, wobei die Lichtquelle 104 durch die Strahlen 108 an
gedeutetes Licht auf die Lichtmodulatorplatte 106 aussendet.
Die Lichtmodulatorplatte 106 in Fig. 7 entspricht in ihrem Aufbau
der Platte 24 in Fig. 1, nur daß
der lichtempfindliche
Bogen 86 schrittweise in der X-Koordinatenrichtung vorgerückt wird,
so daß ein neuer, sich in Querrichtung erstreckender Streifen
von wesentlicher Abmessung in der X-Koordinatenrichtung während
jedes Arbeitsvorgangs des Photokopfes 98 belichtet wird.
Wie vorstehend erwähnt, kann die Lichtquelle in
Rasterabtastart über die obere Fläche der
Lichtmodulatorplatte bewegt werden. Eine entsprechende Anordnung
ist beispielsweise in Fig. 8 gezeigt, in der der
Photoplotter 112 einen Tisch 16 und eine Lichtmodulatorplatte
24 einschließt, die denjenigen des Photoplotters 10 in
Fig. 1 ähnlich sind. Als Lichtquelle schließt der Photoplotter
112 eine Illuminiereinheit 114 ein, um ein Abtasten nach Raster
art über die obere Fläche der Platte 24 mittels eines Licht
flecks 116 auszuführen. Die Einheit 114 besteht aus einer Licht
quelle 118, vorzugsweise einem Laser, die bzw. der einen Licht
strahl 120 auf einen sich drehenden, facettierten Spiegel 122
aussendet, der den Strahl 120 in einen Abtaststrahl 124 ablenkt,
welcher sich wiederholt über die Oberfläche der Platte 24
in Richtung des Pfeils 126 zwischen den dargestellten Vorder-
und Hinterrändern 128 und 130 der Platte 24 bewegt. Die
Einheit 114 kann weiter in einer durch den Pfeil 132 angedeu
teten Koordinatenrichtung rechtwinklig zur Abtastbewegung 126
des Strahls 124 bewegt werden, so daß immer dann, wenn der Licht
fleck 116, der vom Strahl 124 hervorgerufen wird, quer über
die obere Fläche der Platte 24 abtastet, er sich entlang
einer neuen Linie auf der Platte bewegt. Eine derartige
abtastartige Illuminierung der oberen Fläche
der Platte 24 ist in Situationen von Vorteil, in denen es
erwünscht ist, daß der Strahl von der Modulatorplatte 24
ausgeht und den vom Tisch 16 gehaltenen Bogen 12 mit hoher Intensität be
lichtet.
Auch kann, wie vorstehend erwähnt,
eine Linse zwischen die Licht
modulatorplatte und den lichtempfindlichen Bogen eingefügt
sein, um die mit der Modulatorplatte erzeugte bildliche Dar
stellung auf den Bogen zu projizieren. Dies ist von besonderem
Nutzen in Fällen, bei denen die Lichtmodulatorplatte eine nicht zu ver
nachlässigende Dicke aufweist und die Gegenstandsebene - die Ebene, in der
die mit der Lichtmodulatorplatte erzeugte bildliche Dar
stellung erscheint - in einem gewissen Abstand
über der unteren Fläche der Modulatorplatte positioniert ist, so
daß es bei einer Abbildung nach dem Kontaktdruckverfahren unmög
lich ist, die Gegenstandsebene in äußerst dichte Nähe zur
Oberfläche des Bogens 12 zu bringen. Ein solcher Photoplotter 134
ist in Fig. 9 dargestellt und umfaßt,
ähnlich wie der Photoplotter 10 in Fig. 1, einen Tisch 16, eine Licht
modulatorplatte 24 und eine Lichtquelle 20. Die Licht
modulatorplatte 24 liegt jedoch in einem größeren Abstand vom Tisch 16,
als dies in Fig. 1 der Fall ist, und zwischen diese beiden
Bauelemente ist eine projizierende Linse oder ein Linsensystem 136
eingefügt. Die Linse 136 ist derart eingestellt, daß sie auf
der Gegenstandsebene der Platte 24 und auf der Oberfläche
des Bogens 12 scharf fokussiert, und projiziert daher eine
scharfe bildliche Darstellung von dem, was in dieser Gegen
standsebene erscheint, auf den Bogen 12. So kommt beispiels
weise, wenn die Platte 24 aus Flüssigkristallen
wie die in Fig. 4 dargestellt aufgebaut ist, die
mit dieser Platte 24 geschaffene bildliche Darstellung
in der Ebene der Flüssigkristallage 48 zustande, die wegen der Dicke der Lagen 52 und 44 in einem
nicht unerheblichen Abstand von der unteren Fläche der Vorrichtung 24
liegt. Die Linse 136 ist
daher so eingestellt, daß sie auf der Lage 48 fokussiert.
Claims (3)
1. Photoplotter zum Erzeugen graphischer Darstellungen auf
einem Bogen photoempfindlichen Materials, mit einer Lichtmodulatorplatte,
die zwischen einer Lichtquelle und dem zu
belichtenden Bogen parallel zu diesem angeordnet ist und
aus einer Vielzahl von in ihrer Lichtdurchlässigkeit
steuerbaren, gleichgroßen und gleichförmigen Zellen besteht,
die in Matrixart mit Abstand zueinander angeordnet
sind, wobei bei in einer Neutralstellung ruhender
Lichtmodulatorplatte auf dem Bogen ein Muster abgebildet
wird, das der Matrixform der Zellen entspricht, dadurch
gekennzeichnet, daß die Zellen in jeder orthogonalen
Richtung dieselbe Kantenlänge d aufweisen, daß der Abstand
der Zellen voneinander in jeder orthogonalen
Richtung im wesentlichen 2d beträgt, und daß eine Einrichtung
(25, 27) zum Verschieben der Lichtmodulatorplatte
(24) relativ zu dem Bogen (12) in den beiden orthogonalen
Richtungen vorgesehen ist, wobei der Verschiebehub der
Lichtmodulatorplatte (24) aus der Neutralstellung heraus
im wesentlichen der Zellenkantenlänge d entspricht.
2. Photoplotter nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die Lichtmodulatorplatte (24) eine Flüssigkristallage (48)
umfaßt.
3. Verfahren zum Betrieb des Photoplotters gemäß den Ansprüchen
1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtmodulatorplatte
in einem ersten Belichtungsschritt relativ
zu dem Bogen photoempfindlichen Materials ortsfest
gehalten und gleichzeitig die Durchlässigkeit einer jeden
Zelle der Lichtmodulatorplatte zum wahlweisen Belichten
zugeordneter Bereiche des Bogens individuell gesteuert
wird, daß die Lichtmodulatorplatte daraufhin in eine neue
Stellung relativ zu dem Bogen verschoben wird, und daß die
Lichtmodulatorplatte in einem zweiten Belichtungsschritt
bei relativ zu dieser Platte feststehendem Bogen in der
neuen Stellung gehalten wird und gleichzeitig die Durchlaßfähigkeit
jeder der Zellen zum wahlweisen Belichten
weiterer Bogenbereiche individuell gesteuert wird, wobei
der Betrag, um welchen die Lichtmodulatorplatte relativ
zum Bogen zwischen dem ersten und dem zweiten Belichtungsschritt
verschoben wird, im wesentlichen der Zellenkantenlänge
d entspricht.
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