DE3687220T2

DE3687220T2 - Verfahren und vorrichtung zur detektion von musterfehlern.

Info

Publication number: DE3687220T2
Application number: DE8686117339T
Authority: DE
Inventors: Tetsuo Dainippon Screen M Hoki; Ltd Kitakado; Ltd Kodama; Ltd Onishi; Ltd Sano; Ltd Tsujinaka
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1985-12-13
Filing date: 1986-12-12
Publication date: 1993-07-01
Anticipated expiration: 2006-12-13
Also published as: EP0225651B1; KR910007789B1; JPS62140009A; DE3687220D1; EP0225651A2; US4803734A; JPH0621769B2; KR870006621A; EP0225651A3

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Feststellen von Musterdefekten, die bei der Musterfehlerinspektion von gedruckten Leiterplatten, IC-Maskenmustern, Leitungsrahmen und dergleichen anwendbar sind.
Bei der Musterfehlerinspektion von gedruckten Leiterplatten und dergleichen werden im Grundsatz Musterübereinstimmungs- und Merkmalsextrahierverfahren zum Feststellen von Musterdeffekten verwendet. Bei früheren Verfahren wurde das Bildmuster eines Referenzgegenstands über Bildmuster von Gegenständen, die der Inspektion zur Feststellung fehlerhafter Abschnitte unterworfen wurden, gelegt und damit verglichen (z. B. Japanese Patent Laying-Open Gazette No. 2069/1984, Japanese Patent Publication Gazette No. 61604/1985). Bei letzterem Verfahren werden verschiedene Merkmale des Referenzbildmusters, wie etwa Linienbreite, Winkel, ein spezielles Muster und dergleichen, gespeichert und mit den Merkmalen von inspizierten Bildmustern verglichen. Beobachtete Merkmale, die mit solchen Bezugsmerkmalen nicht zusammenfallen geben das Vorhandensein eines Defekts an (z. B. Japanese Patent Laying-Open Gazette No. 9905/1982)
Bei einer Musterdefektfeststellungstechnik, die das vorgenannte Musterübereinstimmungsverfahren anwendet, müssen jedoch inspizierte Objekte, exakt auf eine bestimmte Position in Ausrichtung gebracht werden, bevor zu inspizierende Bildmuster eingegeben werden. Dementsprechend ist eine erhebliche Genauigkeit bei einem solchen Inspektionsmechanismus erforderlich. Wenn ein inspiziertes Objekt selbst verzerrt ist, vermischt sich eine durch eine solche Verzerrung verursachte Fehlausrichtung mit dem Problem mechanischer Fehlausrichtung. Diese Erscheinungen verursachen extreme Schwierigkeiten beim Feststellen von tatsächlichen Defekten allein über die Musterübereinstimmung.
Solche Probleme berücksichtigend, wurden Musterdefektfeststellungsverfahren vorgeschlagen, wie sie etwa in der Japanese Patent Laying-Open Gazette No. 57929/1985 und japanischen Patentanmeldung Nr. 100148/1985 der Dainippon Screen Mfg. Co., Ltd. beschrieben sind. Bei diesen Musterdefektfeststellungsverfahren werden die digitalisierten Signale eines inspizierten Bildmusters und diejenigen des Referenzbildmusters in bezug aufeinander in zwei Dimensionen innerhalb eines bestimmten Bereiches verzögert. Ein Vergleich der jeweiligen Pixel des zweidimensionalen inspizierten Bildes mit den jeweiligen Pixeln des Referenzbildmusters wird durchgeführt. Bei einem solchen Vergleich der Pixel werden die fehlpassenden gezählt und die Fehlausrichtung auf der Grundlage einer Verzögerungsposition mit dem minimalen Zählwert korrigiert. Digitalisierte Signale, die einem Pixelmuster zum Vergleichen entsprechen, werden zweidimensional aus einer Gruppe von so korrigierten digitalen Signalen extrahiert. Ein Signalvergleich zwischen den extrahierten digitalen Signalen und den digitalen Signalen des Pixelmusters wird zur Feststellung von Musterdefekten angewandt. Eine Fehlpassung zwischen den Mustern wird mit dem minimalen Zählwert bei diesem Musterdefektfeststellungsverfahren korrigiert, während die Position mit der Minimalzahl fehlpassender Pixel, wie gezählt , nicht notwendigerweise die optimale Passungsposition ist. Dementsprechend kann ein Fehler bei der Musterfeststellung bewirkt werden.
Es sei nun ein Fall betrachtet, bei dem ein Gegenstandsmuster, wie es in Fig. 17A gezeigt ist und das eine Konkavität M von ungefähr 2·2 Pixel hat, mit einem Muttermuster, wie es in Fig. 17B gezeigt ist, verglichen wird. Es sei angenommen, daß Quantisierungsfehler N, die sich auf sechs Pixel belaufen, in Randabschnitten erscheinen, wie dies in den Fig. 17A und 17B gezeigt ist. Wenn das Gegenstandsmuster mit dem Muttermuster in ursprünglich ausgerichteter Position, d. h. einer Position in der die Konkavitäten M der Muster aufeinander ausgerichtet sind, verglichen wird, werden zwölf fehlpassende Pixel gezählt, wie dies in Fig. 17C gezeigt ist. Andererseits erhält man die minimale Fehlpassungszahl in einer Position, wie sie in Fig. 17D gezeigt ist, bei der die Quantisierungsfehler N der Muster aufeinanderpassen, was dazu führt, daß acht fehlpassende Pixel gezählt werden. Die Fehlausrichtung wird also auf der Grundlage des Minimalwerts fehlpassender Pixel bei dem oben erwähnten Musterdefektfeststellungsverfahren nicht notwendigerweise optimal korrigiert.
Unter der Annahme, daß verglichene/gezählte Bereiche eines Gegenstandsmusters und eines Muttermusters eine Große von ungefähr 508·508 Pixel, acht Muster enthaltend, wie dies in Fig. 18A gezeigt ist, haben, erstrecken sich unstabile Bereiche mit Quantisierungsfehlern längs der Oberflächengrenzen auf 508·2·8 8000 Pixel. Wenn kein Defekt vorhanden ist, kann daher eine Fehlpassungszahl von bis zu maximal ungefähr 8000 möglicherweise erscheinen, während sich der Zählwert lediglich um ungefähr 5·5·2= 50 Pixel in Positionen zum Vergleichen des Objektmusters mit dem Muttermuster, d. h., den Positionen, in welchen die Muster in Fehlausrichtung sind, erhöht, selbst wenn Konkavitäten von 5·5 Pixel in den Originalmustern vorhanden sind. Wenn also der Ausrichtungsgrad der Quantisierungsfehler bei dem oben erwähnten Vergleich verbessert wird, kann die falsche Position, wie sie in Fig. 18B gezeigt ist, möglicherweise als optimale Position für den Vergleich, d. h., also die Position mit dem minimalen Fehlpassungszählwert, ähnlich dem Fall der Fig. 17C, ausgewählt werden.
Die vorliegende Erfindung ist auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Feststellen von Musterdefekten durch Vergleich eines durch digitale Bildsignale gebildeten sequentiell abgetasteten zweidimensionalen Objektmusters mit einem zweidimensionalen Muttermuster über einen bestimmten Bereich hinweg gerichtet.
Das Verfahren gemäß der Erfindung ist wie im Patentanspruch 1 beansprucht.
In einem Musterdefektfeststellungsverfahren gemäß der Erfindung wird ein ausgeweiteter Bereich durch Skalieren und Ausrichten des Randes eines einem Bereich eines Gegenstandsmusters zu entsprechenden Bereichs eines Muttermusters um eine erforderliche Anzahl von Pixeln angenommen. Dies setzt eine Anzahl von Muttermusterbereichen, die zweidimensional pixelweise um bestimmte Beträge über den ausgeweiteten Bereich fehlausgerichtet sind. In den Muttermusterbereichen enthaltene digitale Signale werden dadurch mit den in dem Bereich des Gegenstandsmusters enthaltenen digitalen Bildsignalen per Muttermusterbereich zur Fehlerfeststellung verglichen. Im Rahmen des Vergleichens eines der Anzahl von Muttermusterbereichen mit dem Bereich des Gegenstandsmusters werden Fehlerfeststellungsfenster in der Größe einer Anzahl von Pixeln die gesamten Muttermusterbereiche abtasten gelassen, um zu bestimmen, daß die Muster in Fehlpassung sind, wenn alle der digitalisierten Signale entsprechender Pixel beider in den Fenster enthaltener Muster in irgendeiner Abtastrichtung in Fehlpassung sind. Wenn der Gegenstandsmusterbereich als fehlpassend in bezug auf alle der Anzahl von Muttermusterbereichen festgestellt wird, gilt das Gegenstandsmuster als defekt. Das Gegenstandsmuster gilt als nicht defekt, wenn die Musterfehlpassung in bezug auf wenigstens einen der Muttermusterbereiche nicht festgestellt wird.
Die Musterdefektfeststellungsvorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung ist so eingerichtet, daß ein zweidimensionales Gegenstandsmuster mit einem zweidimensionalen Muster per Bereich vorgegebener Größe verglichen wird, um so Musterdefekte festzustellen, und ist wie im Patentanspruch 3 beansprucht. Sie enthält Mittel zum Eingeben digitalisierter Signale des Gegenstandsmusters in sequentieller Weise und Mittel zum Auslesen digitalisierter Signale des Muttermusters aus einem Speicherin einer sequentiellen Weise synchron mit der Eingabe des Gegenstandsmusters. Die Vorrichtung weist ferner erste Extraktionsmittel zum Herausziehen digitalisierter Signale aus einem speziellen Bereich des Gegenstandsmusters synchron mit der Gegenstandsmusterabtastung in einer sequentiellen Weise längs einer Hauptabtastrichtung, und zweite der Extraktionsmittel zum Definieren eines ausgedehnten bzw. ausgeweiteten Bezugsbereichs durch Versetzen eines speziellen Bereichs des Muttermusters um eine erforderliche Anzahl von Pixeln, so daß er dem speziellen Bereich des Gegenstandsmusters entspricht, dessen digitalisierte Signale durch die ersten Extraktionsmittel herausgezogen werden, und Extrahieren digitalisierter Signale einer Anzahl spezieller Bereiche, die zweidimensional pixelweise in Ausrichtung in vorgeschriebenen Beträgen über den ausgeweiteten Bereich in einer sequentiellen Weise längs der Abtastrichtung verschoben werden. Die Vorrichtung enthält ferner eine Anzahl von Vergleichs-/Entscheidungsmitteln zum sequentiellen Vergleichen der mit den ersten Extraktionsmitteln herausgezogenen digitalen Signale aus dem speziellen Bereich des Gegenstandsmusters mit den mit den zweiten Extraktionsmitteln herausgezogen digitalisierten Signalen aus den entsprechenden Bereichen des Muttermusters in Bereichen vorgeschriebener Größe beider Muster zur Speicherung von Fehlpassungsergebnissen, wenn alle der digitalisierten Signale der entsprechenden Pixel in den speziellen Bereichen in wenigstens einem Abschnitt in Fehlpassung sind. Die Vorrichtung enthält ferner erste Entscheidungsmittel zur Bestimmung, daß der Bereich vorgeschriebener Größe des Gegenstandsmusters defekt ist, wenn alle der Vergleichs-/Entscheidungsmittel Musterfehlpassungsentscheidungsergebnisse halten, während bestimmt wird, daß der Bereich vorgeschriebener Größe des Gegenstandsmusters nicht defekt ist, wenn wenigstens eines der Vergleichs-/Entscheidungsmittel kein Musterfehlpassungsentscheidungsergebnis hält.
Dementsprechend ist es die Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Feststellung von Musterdefekten zu schaffen, die Musterdefekte schnell und mit hoher Genauigkeit auch dann feststellen können, wenn ein Gegenstand durch Fehlausrichtung oder Verzerrung Registerfehler hat, und zwar durch Kompensierung der Ausrichtungsfehler.
Gemäß der vorliegenden Erfindung, wie sie in den beigefügten Ansprüchen definiert ist, wird ein ausgeweiteter Bereich angenommen, indem der Rand eines Bereichs eines Muttermusters um eine benötigte Anzahl von Pixeln ausgeweitet wird, um eine Anzahl von Muttermusterbereichen zweidimensional Pixel um Pixel fehlausgerichtet über den ausgeweiteten Bereich zu setzten. Dies ermöglicht, Musterdefekte durch Mustervergleich der betreffenden Muttermusterbereiche mit dem Gegenstandsmusterbereich festzustellen. Daher entspricht auch dann, wenn ein Gegenstand Fehlausrichtungsfehler hat der Gegenstandsmusterbereich positionell einem der Muttermusterbereiche, wodurch das Ergebnis eines korrekten Mustervergleichs in dem besagten Teil positionaler Entsprechung gewonnen wird, während Musterfehlpassungsergebnisse in allen verbleibenden Abschnitten gewonnen werden. Wenn Musterfehlpassungsergebnisse in allen der verglichenen Abschnitte erhalten werden, kann also das Gegenstandsmuster als defekt bestimmt werden, während dasselbe als nicht defekt bestimmt werden kann, wenn wenigstens ein Musterpassungsergebnis gewonnen wird. Eine Musterdefektfeststellung wird also in einem Fall möglich, in dem ein Gegenstand Ausrichtungsfehler enthält.
Gemäß der vorliegenden Erfindung, wie sie in den beigefügten Ansprüchen definiert ist, werden ferner Defektinspektionsfenster in der Größe einer Anzahl von Pixeln die gesamten Musterbereiche in Vergleichung jeweils eines der Anzahl von Muttermusterbereichen mit dem Gegenstandsmusterbereich abtasten gelassen, um zu bestimmen, daß das Gegenstandsmuster defekt ist, wenn alle der digitalisierten Signale entsprechender Pixel in den in den Fenstern enthaltenen Mustern in irgendeiner Abtastrichtung in Fehlpassung sind. Dementsprechend lassen sich Musterdefekte schnell und mit hoher Genauigkeit feststellen.
Die obigen und andere Aufgaben, Merkmale, Aspekte und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der folgenden detaillierten Beschreibung der vorliegenden Erfindung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen, auf welchen
Fig. 1A und 1B das Konzept eines Verfahrens zum Feststellen von Musterdefekten gemäß der Erfindung zeigen,
Fig. 2A ein Beispiel eines Gegenstandsmusters veranschaulicht,
Fig. 2B ein Beispiel eines Muttermusters veranschaulicht,
Fig. 2C das Konzept eines Vergleichs des Gegenstandsmusters der Fig. 2A mit dem Muttermuster der Fig. 2B zeigt,
Fig. 3A ein weiteres Beispiel eines Gegenstandsmusters zeigt,
Fig. 3B im Konzept einen Vergleich des Gegenstandsmusters der Fig. 3A mit dem Muttermuster der Fig. 2B zeigt,
Fig. 4A ein weiteres Beispiel eines Gegenstandsmusters zeigt,
Fig. 4B einen Vergleich des Gegenstandsmusters der Fig. 4A mit dem Muttermuster der Fig. 2B zeigt,
Fig. 4C ein Beispiel des Muttermusters in einem weiteren Bereich als demjenigen der Fig. 2B veranschaulicht,
Fig. 5 ein Schaltungsdiagramm ist, welches einen Fehlerinspektionsteil eines Musterdefektfeststellungsgeräts zeigt,
Fig. 6A und 6B Zustände des Abtastens eines Gegenstandsmusters und eines Muttermusters im Gerät der Fig. 5 veranschaulichen,
Fig. 7A und 7B Beispiele von Bereichen in einem Gegenstandsmuster und einem Muttermuster zeigen, die zum Eingeben gegebener Daten in Vergleichs-/Nachweisblöcke festgesetzt sind,
Fig. 8 ein detailliertes Schaltbild eines Vergleichs-/Nachweisblocks ist,
Fig. 9 Positionen von Bereichen im Muttermuster zeigt, die in den entsprechenden Vergleichs/Nachweisblöcken verriegelten Nachweisresultaten entsprechen,
Fig. 10A und 10B Erläuterungsdarstellungen zur Veranschaulichung des Abtastens eines Gegenstandsmusters und eines Muttermusters in einem Musterdefektfeststellungsgerät sind,
Fig. 11 ein schematisches Blockschaltbild eines Musterdefektfeststellungsgeräts ist,
Fig. 12A und 12B ein Schaltbild eines Defektinspektionsabschnitts des in Fig. 11 gezeigten Geräts sind,
Fig. 13A und 13B beispielsmäßig Positionen von in betreffenden Flipflops des Defektinspektionsabschnitts zu einer bestimmten Zeit verriegelten Daten zeigen,
Fig. 14A und 14B detaillierte Schaltbilder eines Vergleichs-/Nachweisblocks sind,
Fig. 15A-15E Schaubilder zur Erläuterung des Arbeitens des Musterdefektfeststellungsgeräts sind,
Fig. 16A und 16B ein Beispiel eines Vergleichs mit Neigung zeigen, und
Fig. 17A-17D, 18A und 18B Nachteile der bekannten Beispiele zeigen.

BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN

A. Grundprinzipien

(1) Hintergrund grundlegender Musterpassung

Die folgende Diskussion der Fehlerfeststellung durch ein grundlegendes Musteranpassungsverfahren, wie es im folgenden beschrieben wird, nimmt an, daß ein inspizierter Gegenstand korrekt im Register in einer bestimmten Position eines Inspektionsmechanismuses mit keinem Quantisierungsfehler ist. Fig. 2A zeigt ein Beispiel eines Gegenstandsmusters P1, das durch Eingabe eines Bildes, das keine Defekte aufweist, und durch Digitalisierung desselben gewonnen ist. Fig. 2B zeigt ein Beispiel eines in einem Speicher gespeicherten und dem Gegenstandsmuster P1 entsprechenden Muttermusters M. Die folgende Beschreibung nimmt aus Gründen der Einfachheit der Diskussion an, daß ein inspizierter Bereich (bestimmter Gegenstandsmusterbereich) des Gegenstandsmusters P1 die Größe x= 3 bis 34 mal y = 3 bis 34 hat, obwohl derzeit gängige Geräte typischerweise einen tatsächlichen inspizierten Bereich von 508·508 Pixel verwenden. In den in Fig. 2A und 2B gezeigten Beispielen ist das Gegenstandsmuster P1 in Position und Abmessungen dem Muttermuster M absolut gleich. Zum Vergleich legt Fig. 2C das Muttermuster M und das Gegenstandsmuster P1 übereinander, wobei gekreuzte schräge Linien übereinstimmende Abschnitte der Muster Pl und M darstellen. In dieser Situation läßt man ein Inspektionsfenster W, welches eine Anzahl von Pixeln (2·2 Pixel im vorliegenden Fall), die einer Minimumdefektgröße entspricht, das Gegenstandsmuster P1 abtasten, während man ein Inspektionsfenster W' der gleichen Pixelgröße das Muttermuster M mit Lageentsprechung zum Inspektionsfenster W abtasten läßt. Wenn die digitalen Signale einer Anzahl von in den Inspektionsfenstern W und W' enthaltenen Bildern mit entsprechenden Pixeln in den jeweiligen Abtastpositionen verglichen werden, gibt es keinen Abschnitt, in welchem alle Pixel in den Inspektionsfenstern in Fehlpassung sind, auch wenn ein Quantisierungsfehler von einem Pixel (ursprünglich + 0,5 Pixel) in jedem Muster an der Grenze von Linienabschnitten vorhanden ist, wie anhand Fig. 2C festgestellt wird (unter der Annahme, daß ein Quantisierungsfehler von + einem Pixel in jedem Muster vorhanden ist, gilt das gleiche auch für ein Inspektionsfenster einer Größe von 3·3 Pixel). In dem Falle eines Gegenstandsmusters P2, wie es in Fig. 3A gezeigt ist, die ein inspiziertes Objekt mit Defekten wiedergibt, gibt es Abschnitte, in welchem alle der digitalisierten Signale entsprechender Pixel in den Inspektionsfenstern W und W' in Fehlpassung sind bzw. nicht übereinstimmen (im folgenden als "Inspektionsfensterfehlpassung" bezeichnet). Dies tritt ein, wenn die Inspektionsfenster W und W' in defekten Abschnitten K positioniert werden, wie dies in Fig. 3B gezeigt ist, wo über das Gegenstandsmuster P2 das Muttermuster M der Fig. 2B gelegt ist.
Im Falle eines korrekt im Register befindlichen Gegenstands läßt man die Inspektionsfenster W und W' über die gesamten Bereiche (oder bestimmte Bereiche) der Muster fahren, um den vorgenannten Vergleichsvorgang durchzuführen, um so festzustellen, wann das Gegenstandsmuster defekt ist, wie dies durch wenigstens eine Inspektionsfensterfehlpassung, die festgestellt wird, angegeben wird, wohingegen bestimmt wird, daß das Gegenstandsmuster nicht defekt ist, wenn keine Inspektionsfensterfehlpassung festgestellt wird.

(2) Prinzipien grundlegender Musterpassung

Wenn der inspizierte Gegenstand korrekt ausgerichtet ist, läßt sich eine Fehlerfeststellung durch das vorgenannte Musterpassungsverfahren angemessen durchführen . Tatsächliche Gegenstände enthalten jedoch im allgemeinen Fehlausrichtungsfehler, die durch Fehlausrichtung (einschließlich derjenigen, die durch Neigung verursacht ist, zusätzlich zu einer vertikalen und horizontalen) und Verzerrung, wie oben beschrieben, verursacht sind, wodurch Fehler bei der Fehlerfeststellung über das vorgenannte Verfahren verursacht werden.
Es wird nun angenommen, daß ein nicht defekter Gegenstand, d. h. ein keinen Defekt enthaltender, entsprechend dem in Fig. 2A gezeigten, in einen Inspektionsmechanismus in einem fehlausgerichteten Zustand eingesetzt wird und daß das Bild mit Fehlausrichtung um beispielsweise -2 Pixel (zwei Pixel in der Richtung nach links) in einer Richtung·(Hauptabtastrichtung) und -2 Pixel (zwei Pixel in der Richtung nach oben) in einer Richtung y (Nebenabtastrichtung), wie dies in Fig. 4A gezeigt ist, eingegeben wird, um so ein Gegenstandsmuster P0' zu gewinnen. Wenn das Gegenstandsmuster P0' mit dem Muttermuster M der Fig. 2 zur Durchführung einer Defektfeststellung nach dem vorgenannten grundlegenden Musterpassungsverfahren verglichen wird, werden Inspektionsfensterfehlpassungen in einer verhältnismäßig großen Anzahl von Abtastpositionen festgestellt. Diese Fehlpassungen sind in Fig. 4B dargestellt, die einen Vergleich des Gegenstandsmusters P0 mit dem Muttermuster M zeigt, wodurch das Gegenstandsmuster als defekt bestimmt wird, obwohl es keinen Defekt hat.

(3) Musterpassung gemäß der Erfindung

Unter Berücksichtigung der vorgenannten Probleme schafft die Erfindung ein Verfahren, welches Fehler genau feststellt, auch wenn ein inspizierter Gegenstand fehlausgerichtet ist. Fig. 1 zeigt das Konzept eines Musterdefektfeststellungsverfahrens gemäß der Erfindung. Eine Anzahl von Muttermusterbereichen M11 bis M77 sind in zwei Dimensionen Pixel für Pixel in bestimmten Beträgen fehlausgerichtet. Diese Muttermusterbereiche werden geschaffen, indem der Rand eines Bereiches M0, der hinsichtlich seiner Lage der Referenzlage P0 entspricht, um eine erforderliche Anzahl von Pixeln verschoben wird, wobei die Muttermusterbereiche M11 bis M77 jeweils mit einem Gegenstandsmuster P0' zur Durchführung der Defektfeststellung verglichen werden. Die Muttermusterbereichsverschiebung wird in einen Bereich eingestellt, der in der Lage ist, Fehlausrichtungsfehler, die durch Fehlausrichtung und Verzerrung des Gegenstands verursacht sind, aufzunehmen. Fig. 1 veranschaulicht die Fähigkeit der Kompensierung von Fehlausrichtungen von bis zu drei Pixeln in sowohl vertikaler als auch horizontaler Richtung. Selbst wenn also ein inspizierter Gegenstand fehlausgerichtet ist, entspricht einer der Muttermusterbereiche M11 bis M77 lagemäßig dem Gegenstandsmuster P. Im Falle der Fig. 1 ist das Gegenstandsmuster P als um zwei Pixel in der Aufwärtsrichtung und zwei Pixel in der Richtung nach links in bezug auf die Referenzlage P0 fehlausgerichtet angenommen. Folglich ist der Muttermusterbereich M66, der nach unten um zwei Pixel und nach rechts um zwei Pixel in bezug auf den Bereich M0 (M44) verschoben ist, in bezug auf das Gegenstandsmuster P0', das in der Referenzposition P0 vorhanden ist, ausgerichtet. Fig. 4C zeigt abschließend beispielhaft ein Musterbild, das in der Gruppe von Muttermusterbereichen enthalten ist, wobei Bereiche M44 und M66, die durch gestrichelte Linien umschlossen sind, den Muttermusterbereichen M44 und M66, wie sie in Fig. 1 gezeigt sind, entsprechen.
Mit Erzeugung einer solchen Gruppe von Muttermusterbereichen wird das Gegenstandsmuster P (wie es in den Figuren 1, 2A oder 3A gezeigt ist) mit den Muttermusterbereichen M11 bis M77 (wie in Fig. 1 oder 4C gezeigt) mittels des oben erwähnten grundlegenden Musterpassungsverfahrens für jeden Muttermusterbereich verglichen. Mit anderen Worten, Defektinspektionsfenster W und W', jeweils in der Größe einer Anzahl von Pixeln, werden in dem fehlausgerichteten Gegenstandsmuster P0' (Fig. 4A) und den jeweiligen Muttermusterbereichen M11 bis M77 gesetzt. Mit den Inspektionsfenstern W und W' werden die gesamten Muttermusterbereiche in lagemäßiger Entsprechung überstrichen, wobei Muster, die fehlpassend sind, festgestellt werden, wenn wenigstens eine Inspektionsfensterfehlpassung auftritt. Im vorherigen Beispiel des Vergleichens des Gegenstandsmusters P0' und eines lagemäßigen entsprechenden Muttermusterbereichs (M66 im Falle der Fig. 1) werden also die Muster als in Übereinstimmung seiend bestimmt, wenn gefunden wird, daß der Gegenstand nicht defekt ist, während sie als fehlpassend bestimmt werden, wenn gefunden wird, daß der Gegenstand defekt ist. Es ist darauf hinzuweisen, daß, wenn das Muster nicht defekt ist, und unter der Annahme, daß kein Quantisierungsfehler vorhanden ist, eine Fehlausrichtung von bis zu einem Pixel in einer oder beiden Achsen nicht als Fehlpassung festgestellt wird, wenn ein 2·2 Pixel Abtastfenster verwendet wird. Die Muttermusterbereiche M55, M56, M57, M65, M67, M75, M76 und M77 werden im Falle der Fig. 1 zusätzlich zum Muttermusterbereich M66 auch als in Passung seiend bestimmt. Der Vergleich des Gegenstandsmusters P0' mit anderen Muttermusterbereichen (M11 bis M77 unter Ausnahme von M55, M56, M57, M65, M66, M67, M75, M76 und M77 im Falle der Fig. 1), wobei die verglichenen Muster fehlausgerichtet sind, resultieren in Inspektionsfensterfehlpassungen, wodurch diese Muster als fehlpassend bestimmt werden.
Die Musterfehlerfestsstellung kann also so durchgeführt werden, daß ein Muster als defekt bestimmt wird, wenn Mutterfehlpassungen in bezug auf alle Muttermusterbereiche M11 bis M77, die in der Muttermusterbereichsgruppe enthalten sind, gefunden werden, während bestimmt wird, daß das Muster nicht defekt ist, wenn ein Zusammenpassen in bezug auf wenigstens einen Muttermusterbereich gefunden wird.
Gemäß diesem Verfahren wird die Anzahl von Muttermusterbereichen M11 bis M77, die zweidimensional pixelweise in einem bestimmten Bereich fehlausgerichtet sind, für den Vergleich mit dem Gegenstandsmuster P0' erzeugt, was eine Musterdefektfeststellung mit hoher Genauigkeit gestattet, wobei gleichzeitig Fehlausrichtungs- und Ausrichtungsfehler, die im Gegenstand vorhanden sind, absorbiert werden. Selbst wenn das Gegenstandsmuster P und die Muttermusterbereiche M11 bis M77 Quantisierungsfehler enthalten, wie es der Fall ist, wenn Musterkanten in Einpixelbereichen vorhanden sind, oder wenn Quantisierungsfehler durch eine geneigte Anordnung der Muster verursacht werden, wird kein Abschnitt vorhanden sein, in welchem alle der entsprechenden digitalisierten Signale von Pixeln, die in den Inspektionsfenstern W und W' enthalten sind, in den Muttermusterbereichen in Fehlpassung sind. Dies führt zu einer Milderung von quantisierungsfehlerinduzierten Defektfeststellungsfehlern.
Obiges Defektfeststellungsverfahren erfordert eine umfangreiche Schaltung, wenn das Verfahren direkt durchgeführt wird. Eine vereinfachte Schaltungsausführung wird im folgenden beschrieben.

B. Schaltungsverwirklichung

Fig. 5A und 5B zeigen den Schaltungsaufbau eines Defektinspektionskomparators, der Teil des Musterdefektinspektionsgeräts zur Durchführung des Verfahrens der Fig. 1 ist. Bilddaten (Gegenstandsdaten) eines Gegenstandmusters P0', die durch Abtasten eines inspizierten Objekts gewonnen sind, werden digitalisiert und seriell auf den gezeigten Defektinspektionskomparatorabschnitt gegeben. Gleichzeitig werden digitalisierte Daten (Mutterdaten) eines Muttermusters M, die aus einem Speicher synchron mit der Eingabe der Gegenstandsdaten gewonnen werden, seriell auf den Komparator gegeben. Die Pixeldaten von Mustern P0' und M werden eingegeben, indem die Abtastposition um ein Pixel in der y-Richtung (Nebenabtastrichtung) pro Hauptabtastung der Muster über eine Zeile in der x-Richtung, wie in Fig. 6 gezeigt, verschoben wird. Da angenommen wird, daß das Gerät das Beispiel, wie es in Fig. 1 gezeigt ist, verarbeitet, ist die Größe der Muster P0' und M jeweils 32·32 Pixel in diesem Fall. Die Gegenstandsdaten werden auf Vergleichs/Nachweisblöcke B11 bis B77 in Form von Paaren gegeben, wobei Gegenstandsdaten um eine Zeile (32 Pixel) über ein Schieberegister SR1 verzögert sind. Neunundvierzig Vergleichs-/Nachweisblöcke B11 bis B77 werden insgesamt in Entsprechung zu den Muttermusterbereichen M11 bis M77, wie in Fig. 1 gezeigt, vorgesehen.
Die dem Defektinspektionskomparatorabschnitt der Schaltung eingegebenen Mutterdaten werden zeilenweise über Schieberegister SR2 bis SR9 verzögert, so daß die Daten in Form benachbarter Paare in der Nebenabtastrichtung, verschoben um eine Zeile pro Horizontalstufe der Vergleichs/Nachweisblöcke B11 bis B77, eingegeben werden, wobei sie um ein Pixel pro Vertikalstufe durch ein D-Flipflop D-FF, das in jeder Vertikalstufe eingefügt ist, verzögert werden. Alle den Vergleichs-/Nachweisblöcken B&ijlig; (i = 1 bis 7, j = 1 bis 7) in Form von Paaren zugeführten Mutterdaten sind zweidimensional pixelweise fehlausgerichtet. Die Zeiten für die Eingabe der Gegenstandsdaten und Mutterdaten in den Defektinspektionskomparatorabschnitt sind folgendermaßen: wenn der inspizierte Gegenstand korrekt in einem bestimmten Abschnitt des Inspektionsmechanismuses ausgerichtet ist, werden Daten über einen Bereich E1 eines Gegenstandsmusters B, wie er in Fig. 7A gezeigt ist, den Vergleich/Nachweisblöcken B11 bis B77 eingegeben. Datenbereiche E11 bis E77 eines Muttermusters M, wie sie in Fig. 7B gezeigt sind, dessen Bereiche E11 bis E77 zweidimensional pixelweise fehlausgerichtet sind, werden gleichzeitig in die entsprechenden Vergleich-/Nachweisblöcke B11 bis B77 eingegeben. Auch wenn der inspizierte Gegenstand aus dem Register ist, entspricht also der Bereich E1 des fehlausgerichteten Gegenstandsmusters P0' lagemäßig einem der Bereiche E11 bis E77 des Muttermusters M. Dies gilt in ähnlicher Weise auch für andere Bereiche des Gegenstandsmusters P0'.
Fig. 8 ist ein detailliertes Schaltbild, welche eine typische Schaltungsrealisierung eines der Vergleichs/Nachweisblöcke B&ijlig; (i = 1 bis 7, j = 1 bis 7) zeigt. Da die Vergleichs-/Nachweisblöcke B&ijlig; in ihrem Aufbau identisch sind, gilt die folgende Beschreibung für alle.
Der Vergleichs-/Nachweisblock B&ijlig; wird durch eine Vergleichschaltung 1, eine Nachweisschaltung 2 und eine Halteschaltung 3 gebildet. Die Vergleichschaltung 1 vergleicht Paare aus Gegenstandsdaten und Mutterdaten durch Exklusiv-ODER-Glieder EXR1 und EXR2 per entsprechende Pixel. Ein jedes solches Glied gibt eine "1" aus, wenn die digitalisierten Signale der entsprechenden Pixel fehlpassend sind, während es eine "0" ausgibt, wenn die Signale in Passung sind. Schieberegister R0 und R3 verriegeln die Ausgaben von EXR1 bzw. EXR2. Mit Eingabe nachfolgender Gegenstandsdaten und Mutterdaten vergleicht die Vergleichschaltung 1 die Daten unter Verwendung von Exklusiv-ODER-Gliedern EXR1 bis EXR2, wobei Schieberegister R0 und R3 erneut das Ergebnis des Vergleichs verriegeln, wobei die vorher in den Schieberegistern R0 und R3 verriegelten Daten in benachbarte Schieberegister R1 und R2 verschoben worden sind. Die Vergleichsschaltung 1 führt den Vergleich also über die Exklusiv-ODER-Glieder EXR1 und EXR2 jedesmal durch, wenn die Gegenstandsdaten und Mutterdaten eingegeben werden, wobei bewirkt wird, daß die Schieberegister R0 bis R3 sequentiell die Vergleichsergebnisse verschieben. Die in den Schieberegistern R0 bis R3 verriegelten Vergleichsergebnisse entsprechen den Ergebnissen des Vergleichs der entsprechenden Pixel in den Inspektionsfenstern W und W'.
Die Entscheidungsschaltung 2 gibt die in den Schieberegistern R0 bis R3 verriegelten Daten einem UND-Glied AND1 bei jeder Verschiebung der Schieberegister R0 bis R3 ein und gibt eine "1" auf die Halteschaltung 3, wenn alle in den Schieberegistern R0 bis R3 verriegelten Daten in Fehlpassung sind (d. h. fehlpassende Abschnitte, die der Defektgröße entsprechen, vorhanden sind), während sie eine "0" auf die Halteschaltung 3 gibt, wenn wenigstens ein passender Abschnitt vorhanden ist.
Die Halteschaltung 3 erhält das logische ODER eines Q-Ausgangssignals eines D-Flipflop D-FF1 und das Ausgangssignal des UND-Gliedes AND1, jedesmal wenn Bilddaten eingegeben werden, wobei das Ergebnis in dem Flipflop D-FF1 gehalten wird. Mit dem Fortschreiten der Abtastung mit den Inspektionsfenstern W und W' hält das Flipflop D-FF1 eine "0" bis das Erscheinen eines fehlpassenden Abschnitts, der der Defektgröße entspricht, festgestellt wird, während es mit Erscheinen wenigstens eines fehlpassenden Abschnitts, welcher der Defektgröße entspricht, eine "1" hält.
Wie oben beschrieben, erhalten die Vergleichs/Nachweisblöcke B&ijlig; gemeinsam die Gegenstandsdaten sowie die Mutterdaten zweidimensional pixelweise fehlausgerichtet. Wenn daher das Abtasten des Bereichs des Gegenstandsmusters P0' abgeschlossen ist, ist das Gegenstandsmuster P0', wie in Fig. 1 gezeigt, vollständig mit den Muttermusterbereichen M11 bis M77 in den Vergleichs/Nachweisblöcken B11 bis B77 verglichen worden. Infolgedessen werden die Vergleichsergebnisse in den Halteschaltungen 3 der jeweiligen Vergleichs-/Nachweisblöcke B11 bis B77 gehalten.
Zur Erleichterung des Verständnisses der vorliegenden Erfindung wird der Vergleichsvorgang in den Vergleichs/Nachweisblöcken B&ijlig; nun beschrieben. Fig. 9 zeigt das Konzept des Vergleichsvorgangs in den Vergleichs/Nachweisblöcken B&ijlig; an einem bestimmten Zeitpunkt. In Fig. 9 stellen die neunundvierzig Blöcke auf der rechten Seite der Figur Schieberegister R0 bis R3 des entsprechenden Vergleichs-/Nachweisblockes B&ijlig; dar. Die in den Blöcken gezeigten Zahlen sind die Nummer des entsprechenden Vierpixelbereichs im Muttermuster, der mit einem durch die vier Pixel a bis d gebildeten Gegenstandsbereich zu vergleichen ist. Die Nummern in den einzelnen Blöcken werden Pixel um Pixel pro Eingabe der Gegenstandsdaten nach links verschoben. Da die 49 Blöcke auf der rechten Seite der Fig. 9 die Schieberegister R0 bis R3 in den entsprechenden Vergleichs/Nachweisblöcken B&ijlig; darstellen, bedeutet ein Verschieben der darin befindlichen Daten nach rechts ein Abtastenlassen der Fenster W und W' nach rechts, wie dies in Fig. 1 gezeigt ist. Das gesamte Gegenstandsmuster P0', wie es in Fig. 1 gezeigt ist, ist also mit den Muttermusterbereichen M11 bis M77 in den Vergleichs-/Nachweisblöcken B&ijlig; mit Abschluß des Abtastens der gesamten Musterbereiche verglichen.
Die in den Halteschaltungen der Vergleichs/Nachweisblöcke B&ijlig; gehaltenen Daten werden, wie in Fig. 5 gezeigt, auf ein UND-Glied AND2 übertragen, wodurch ihre logischen Produkte gewonnen werden. Wie oben beschrieben, werden die in den Halteschaltungen 3 der Vergleichs/Nachweisblöcke B&ijlig; gehaltenen Daten zu 11111, wenn wenigstens ein fehlpassender Abschnitt, der einer wahlfreien Defektgröße entspricht, in den Mustern vorhanden ist, während sie zu "0" werden, wenn kein solcher fehlpassender Abschnitt, mit Abschluß des Abtastens des Gegenstandsmusters P0', vorhanden ist. Wenn wenigstens ein Defekt in dem inspizierten Gegenstand vorhanden ist, geben alle Vergleichs/Nachweisblöcke B&ijlig; "1" aus, was dazu führt, daß das UND- Glied AND2 eine "1" ausgibt während ein lagemäßig entsprechender der Vergleich-/Nachweisblöcke (B66 im Falle der Fig. 1) eine 11011 ausgibt, wenn der inspizierte Gegenstand keinen Defekt hat, so daß das UND-Glied AND2 eine "0" ausgibt. Musterdefekte werden also auf der Grundlage des vom UND-Glied AND2 mit Beendigung der Musterabtastung ausgegebenen Signals festgestellt. Wenn mit Beendigung der Musterabtastung Musterdefekte so festgestellt und auf eine nachfolgende Stufe (nicht gezeigt) übertragen werden, werden die Inhalte der Halteschaltung 3 durch ein Löschsignal auf "0" zurückgesetzt.

C. Schaltungsverwirklichung

Ein die Prinzipien der Erfindung verwendendes Musterdefektnachweisgerät, konstruiert und getestet, wird im folgenden beschrieben.
Wie in den Fig. 10A, 10B gezeigt, werden mehrere Stufen von Inspektionsbereichen A11, A12, . . . und A'11, A'12, . . ., jeder 508·508 Pixel groß, im Gegenstandsmuster und Muttermuster gruppiert als vier pro Stufe gesetzt, um einer Fehlerfeststellung unterworfen zu werden. Die Bildabtastung zur Gewinnung von Gegenstandsdaten wird durchgeführt, indem die Abtastposition um ein Pixel in der Nebenabtastrichtung nach Abtastung einer vollständigen Zeile (2032 Pixel), die aus den vier Inspektionsbereichen A11 bis A14 der ersten Stufe besteht, wie dies in Fig. 10A gezeigt ist, verschoben wird. Nachfolgendes Abtasten in bezug auf die vier Inspektionsbereiche einer jeden verbleibenden Stufe wird ähnlich von oben nach unten durchgeführt. Die Bildabtastung der Mutterdaten aus dem Speicher wird ähnlich in Entsprechung zur vorerwähnten Abtastung des Gegenstandsmusters durchgeführt, wie dies in Fig. 10B gezeigt ist. Es ist zu beachten, daß eine Zeile in diesem Fall durch 2048 Pixel gebildet wird. Eine Fehlerfeststellung wird also in einer Einheit aus vier Inspektionsbereichen einer jeden Stufe durchgeführt.
Fig. 11 ist ein Schema eines Musterdefektfeststellungsgeräts mit einem XY-Tisch 5, der einen inspizierten Gegenstand 4, wie etwa eine Leiterplatte mit Registriergenauigkeit innerhalb eines bestimmten Bereiches halten kann. Der XY-Tisch 5 wird in der X-Richtung (Hauptabtastrichtung) mit X-Richtungsantriebsmitteln, die einen Motor 6 enthalten, und in der Y-Richtung (Nebenabtastrichtung) mit Y-Richtungsantriebsmitteln, die einen Motor 7 enthalten, angetrieben.
Acht CCD-Liniensensoren 8 sind oberhalb des XY- Tisches 5 in regelmäßigen Abständen vorgesehen. Es ist zu beachten, daß Fig. 11 aus Gründen der Einfachheit der Darstellung nur einen solchen CCD-Liniensensor 8 zeigt. Jeder CCD-Liniensensor 8 hat 2048 photoelektrische Elemente, die in der X-Richtung angeordnete Pixel bilden. Die acht CCD- Liniensensoren 8 sind so eingerichtet, daß sie die Abtastung in der X-Richtung durchführen, während der XY-Tisch 5 in der Y-Richtung durch den Motor 7 bewegt wird, wobei die Leiterplatte 4 in Abtastbreite a vorwärts abgetastet wird. Mit Beendigung der Vorwärtsabtastung wird der XY- Tisch 5 in X-Richtung durch den Motor 6 um eine Breite bewegt, die geringfügig kleiner als die Abtastbreite a ist, so daß die Inspektionsbereiche einander überlappen wonach der XY-Tisch 5 in Y-Richtung zur Rückkehrabtastung bewegt wird. Es werden also alle Bereiche der Leiterplatte 4 zur Abbildung abgetastet. Fig. 10A zeigt ein Gegenstandsmuster P, das gewonnen ist, indem Bilddaten in der Vorwärtsrichtung durch nur einen CCD-Liniensensor 8 geholt werden.
Mit den CCD-Liniensensoren 8 gelesene analoge Bildsignale werden zur Umwandlung in digitale Bildsignale mit einem AD-Wandler 10 durch einen Pufferverstärker 9 verstärkt über ein Raumfilter 11 und durch eine Digitalschaltung 12 in Signale "1" und "0" umgewandelt.
Eine Schalterschaltung 13 ist mit dem Ausgang der Digitalisierschaltung 12 verbunden und wird auf eine Kontaktseite 13a mit Eingabe des Muttermusters und auf eine Kontaktseite 13b mit Eingabe des Gegenstandsmusters geschaltet.
Wenn das Muttermuster eingegeben wird, d. h., wenn die Leiterplatte 4 als eine Inspektionsreferenz auf dem XY- Tisch 5 angeordnet und ihr Bild durch die CCD-Liniensensoren 8 gelesen wird, werden digitalisierte Bildsignale seriell an der Schaltung 12 ausgegeben, die dann über Kontakt 13a einer Datenkompressionsvorrichtung 14 eingegeben werden. Das Signal wird darin kodiert, um die Speicheranforderungen mit der Datenkompressionsvorrichtung 14 zu reduzieren, und in einem Speicher 15 gespeichert. Wenn das Gegenstandsmuster eingegeben wird, d. h., wenn die Leiterplatte 4 als ein inspiziertes Objekt auf dem XY-Tisch 5 angeordnet und ihr Bild durch CCD-Liniensensoren 8 gelesen wird, werden digitale Bildsignale seriell an der Digitalisierschaltung 12 ausgegeben, die dann auf den einen Eingang einer Defekteninspektionsvorrichtung 16 über den Kontakt 13h geleitet werden (eine solche Technik ist beispielsweise in der japanischen Patentanmeldung Nr. 120992/1984 beschrieben).
Jedesmal wenn das Bildsignal sequentiell auf einen Eingang gegeben wird, führt der Defektinspektionsteil 16, dessen Einzelheiten im folgenden beschrieben werden, eine Defektinspektionsverarbeitung auf der Grundlage des Inspektions-Bildsignals, d. h., auf den Gegenstandsdaten und entsprechenden Mutterdaten, die aus dem Speicher 15 über einen Datenwiederherstellungsschaltungsteil 17 gewonnen sind, durch.
Die Fig. 12A und 12B zeigen den Schaltungsaufbau des Defektinspektionsteils 16, der gegenüber dem Defektinspektionsteil, wie er in Fig. 5 gezeigt ist, in folgenden Punkten abweicht: im Falle der Fig. 5 haben die Inspektionsfenster W und W' eine Größe von 2·2 Pixel, was zu einem Fluktuationsbereich von drei Pixel in vertikaler bzw. horizontaler Richtung führt. Diese Größe diktiert das Vorsehen von einem Schieberegister SR1 in der Gegenstandsdateneingabeseite, von acht Schieberegistern SR2 bis SR9 insgesamt in der Mutterdateneingabeseite und von 7·7 = 49 Vergleichs /Nachweisblöcken B11 bis B77 insgesamt. Bei dem Defektinspektionsteil 16, wie er in Fig. 12 gezeigt ist, haben einerseits die Inspektionsfenster W und W, eine Größe von 5 · 5 Pixeln, wobei der resultierende Fluktuationsbereich 15 Pixel in der Richtung nach oben und nach links und 16 Pixel in der Richtung nach unten und nach rechts ist. Dies erfordert daß vier Schieberegister SR11 bis SR14 in der Gegenstandsdateneingabeseite, 35 Schieberegister SR201 bis SR235 in der Mutterdateneingabeseite und 32·32 = 1024 Vergleichs-/Nachweisblöcke B1,1 bis B32,32 vorgesehen sind.
Zur Durchführung einer Defektfeststellung über vier Inspektionsbereiche pro Stufe, wie oben unter Bezug auf Fig. 10 beschrieben, ist jedes der Schieberegister SR11 bis SR14 und SR201 bis SR235 248 Bits weit, was einer vollstandigen Linie bzw. Zeile entspricht. Vergleichs/Nachweisblöcke B1,1 bis B32,32 sind, wie im folgenden beschrieben, teilweise verbessert, und vier UND-Glieder AND01 bis AND04 sind in Entsprechung zu den vier Inspektionsbereichen in jeder Stufe vorgesehen.
Die Defektinspektionsvorrichtung 16 arbeitet folgendermaßen: der Defektinspektionsvorrichtung 16 eingegebene Gegenstandsdaten werden gemeinsam den Vergleichs/Nachweisblöcken B1,1 bis B32,32 in Gruppen von fünf Datensätzen eingegeben. Gegenstandsdaten werden zeilenweise über die Schieberegister SR11 bis SR14 auf eine Gesamtzahl von vier Zeilen verzögert. Andererseits werden die Mutterdaten durch die Schieberegister SR201 bis SR235 separiert und zeilenweise verzögert und in Gruppen von fünf Sätzen von benachbarten Daten in der Nebenabtastrichtung in Fehlausrichtung um eine Zeile pro Horizontalstufe der Vergleich/Nachweisblöcke B1,1 bis B32,32, eingegeben, während sie pixelweise pro Vertikalstufe durch ein D-Flipflop D-FF, das in jeder Vertikalstufe eingefügt ist, verzögert werden. Alle den Vergleichs-/Nachweisblöcken B&ijlig; (i = 1 bis 32, j = 1 bis 32) zugeführten Mutterdaten sind zweidimensional pixelweise fehlausgerichtet. Fig. 13 zeigt Positionen von Daten, die in den Vergleichs-/Nachweisblöcken B&ijlig;, den D- Flipflops D-FF sowie den Schieberegistern SR11 bis SR14 und SR201 bis SR235 verriegelt sind, wenn die ersten Mutterdazen den letzten Vergleich-/Nachweisblock B32,32 erreichen und das Bild investiert wird.
Fig. 14 ist ein detailliertes Schaltbild, das einen Vergleichs/Nachweisblock B&ijlig; (i = 1 bis 32, j = 1 bis 32) zeigt. Da alle Vergleichs-/Nachweisblöcke B&ijlig; in ihrem Aufbau identisch sind, zeigt Fig. 14 die Schaltung nur eines Blocks.
Der Vergleichs-/Nachweisblock B&ijlig; wird durch eine Vergleichsschaltung 18, eine Entscheidungsschaltung 19 und eine Halteschaltung 20 gebildet. Die Vergleichsschaltung 18 vergleicht die Gegenstandsdaten und Mutterdaten, die in den Gruppen von fünf Daten pro entsprechende Pixel über Exkluviv-ODER-Glieder EXR11 bis EXR15 erhalten worden sind, und gibt "1" aus, wenn die Signale der entsprechenden Pixel fehlpassend sind, während sie "0" ausgibt, wenn die Signale in Passung sind, wobei Schieberegister R0, R3, R8, R15 und R24 der ersten Spalte dieselben verriegeln. Die Schieberegister R0 bis R24 sind in fünf Spalten, d. h. für 5·5 Pixel in der Entscheidungsschaltung 18 vorgesehen, so daß die Exklusiv-ODER-Glieder EXR11 bis EXR15 einen Vergleich mit jeder Eingabe der Daten durchführen. Die Ergebnisse dieser Vergleiche werden sequentiell nach rechts verschoben.
Die Entscheidungsschaltung 19 akzeptiert die Vergleichssignale nur spezieller Pixel, die verschiedenen defekten Mustern entsprechen, von den Schieberegistern R0 bis R24 wobei die logischen Produkte derselben durch die jeweiligen UND-Glieder AND11 bis AND21 gewonnen werden. Dies führt zu einer Ausgabe von "1" an einen Selektor S, wenn alle der extrahierten Daten fehlpassend sind (d. h., wenn Fehlpassungen vorhanden sind, die der Defektgröße entsprechen) während "0" auf den Selektor S ausgegeben wird, wenn wenigstens eines der extrahierten Daten in Passung ist. Der Selektor S wählt nur speziellen defekten Mustern entsprechende Daten auf der Grundlage von Steuersignalen MS0 bis MS2 auf, die seinem Steueranschluß zugeführt werden. Das sich ergebende Signal wird auf die Halteschaltung 20 in einer nachfolgenden Stufe ausgegeben.
Die Halteschaltung 20 ist mit vier Pufferschaltungen E11 bis E14 versehen, die durch Datenflipflops und ODER- Glieder in Entsprechung zu den vier Inspektionsbereichen in jeder Stufe, wie in Fig. 10 gezeigt, gebildet sind. UND- Glieder AND31 bis AND34 sind in vorderen Stufen der Pufferschaltungen E11 bis E14 angeschlossen, so daß von dem Selektor S ausgegebene Daten durch UND-Gliedern AND31 bis AND34 zugeführte Steuersignale EX0 bis EX3 sequentiell ausgewählt auf die Pufferschaltungen E11 bis E14 geschaltet werden.
Die Schaltzeiten werden nun unter Bezugnahme auf die Fig. 14 und 15A bis 15E erläutert. Es wird angenommen, daß die Datenflipflops der Pufferschaltungen E11 bis E14, so wie sie in Fig. 14 gezeigt sind, anfänglich auf "0" gelöscht sind. Wenn die erste Zeile eines ersten Inspektionsbereiches A11, wie in Fig. 15A gezeigt, abgetastet wird, wird nur EX0 der Steuersignale EX0 bis EX4 mit "1" zugeführt, während die anderen mit "0" zugeführt werden. Dies führt dazu, daß nur das UND-Glied AND31 aktiviert wird, wobei das Ergebnis dieser Musterdefektfeststellung, wie durch den Selektor S ausgewählt, sequentiell der Pufferschaltungen E11 eingegeben wird. In diesem Abtastintervall hält die Pufferschaltungen E11 eine "1", wenn wenigstens ein fehlpassender Abschnitt, der der Defektgröße entspricht, vorhanden ist, während sie eine "0" hält, wenn kein solcher fehlpassender Abschnitt vorhanden ist.
Wenn die erste Zeile eines zweiten Inspektionsbereiches A12, wie in Fig. 15B gezeigt, abgetastet wird, wird das Steuersignal EX0 mit "0" und das Steuersignal EX1 mit "1" zugeführt, so das UND-Glieds AND32 anstelle des UND- Glieds AND31 aktiviert wird. Die sich ergebende Ausgabe des Selektor S wird sequentiell der Pufferschaltung E12 zugeführt. In diesem Abtastintervall hält die Pufferschaltung E12 eine "1", wenn ein fehlpassender Abschnitt, der der Defektgröße entspricht, vorhanden ist, während sie eine ,1011 hält, wenn kein solcher fehlpassender Abschnitt vorhanden ist.
Wenn die erste Zeile eines dritten Inspektionsbereichs E13, wie in Fig. 15C gezeigt, abgetastet wird, wird das Steuersignal EX1 mit "011 und das Steuersignal EX2 mit "1" zugeführt, so daß das UND-Glied AND33 anstelle des UND- glieds AND32 aktiviert wird. Das sich ergebende Ausgangssignal des Selektor S wird der Pufferschaltung E13 seriell eingegeben. In diesem Abtastintervall hält die Pufferschaltung E13 eine "1", wenn ein fehlpassender Abschnitt entsprechend der Defektgröße vorhanden ist, während sie eine 11011 hält, wenn kein solcher fehlpassender Abschnitt vorhanden ist.
Wenn die erste Zeile eines vierten Inspektionsbereichs E14, wie in Fig. 15D gezeigt, abgetastet wird, wird das Steuersignal EX2 mit "0" und das Steuersignal EX3 mit "1" zugeführt, so daß das UND-Glied AND34 anstelle des UND- Glieds AND33 aktiviert wird. Das sich ergebende Ausgangssignal wird seriell der Pufferschaltung E14 eingegeben. In diesem Abtastintervall hält die Pufferschaltung E14 eine "1" wenn ein fehlpassender Abschnitt entsprechend der Defektgröße vorhanden ist, während sie, eine "01' hält, wenn kein solcher fehlpassender Abschnitt vorhanden ist.
Wenn der Abtastabschnitt auf die zweite Zeile des ersten Inspektionsbereichs A11 verschoben wird, wird das UND-Glied AND31 anstelle des UND-Glieds AND34 durch die Steuerschaltung EX0 erneut aktiviert, so daß die logische Ausgabe des Selektor S erneut der Pufferschaltung E11 eingegeben wird. Wenn anfänglich die Pufferschaltung E11 eine aus dem Abtasten der ersten Zeile des Inspektionsbereiches A11 resultierende "011 hielt, hält sie diesmal eine "1", wenn ein fehlpassender Abschnitt entsprechend der Defektgröße im Abtastintervall der zweiten Zeile vorhanden ist, während sie eine ,1011 hält, wenn kein solcher fehlpassender Abschnitt vorhanden ist. Wenn die Pufferschaltung E11 bereits eine durch das Abtasten der ersten Zeile des Inspektionsbereiches A11 erzeugte "1" hält, hält sie die "1" weiterhin, unabhängig davon, ob ein fehlpassender Abschnitt in der zweiten Zeile vorhanden ist oder nicht.
Ähnlich werden mit dem Fortschreiten des Abtastens der zweiten Zeile der Inspektionsbereiche A12, A13 und A14 die entsprechenden Pufferschaltung E12, E13 und E14 sequentiell aktiviert, so daß die Fehlerfeststellungsergebnisse der zweiten Zeilen der Inspektionsbereiche A12, A13 und A14 in den Pufferschaltungen E12, E13 und E14 gehalten werden.
Danach werden in ähnlicher Weise die verbleibenden Zeilen der Inspektionsbereiche A11 bis A14 abgetastet, und die entsprechenden Pufferschaltungen E11 bis E14 werden abwechselnd sequentiell aktiviert, so daß die entsprechenden Inspektionsergebnisse in den Pufferschaltungen E11 bis E14 gehalten werden (siehe Fig. 15E).
Wenn das Abtasten nach den 512. Zeilen fortgeschritten und damit das Abtasten über die gesamten Inspektionsbereiche A11 bis A14 beendet ist, halten die Pufferschaltungen E11 bis E14 die Resultate der Inspektion des entsprechenden Inspektionsbereichs A11 bis A14. Die Pufferschaltungen E11 bis E14 halten nämlich die "1", wenn wenigstens ein fehlpassender Abschnitt entsprechend der Defektgröße in den entsprechenden Bereichen vorhanden ist, währen sie die "0" halten, wenn kein solcher fehlpassender Abschnitt vorhanden ist.
Mit Beendigung des Abtastens der Inspektionsbereiche A11 bis A14 der ersten Stufe geben die Pufferschaltungen E11 bis E14 die Ergebnisse der Inspektion derselben auf eine nachfolgende Stufe (nicht gezeigt). Nachdem die Inspektionsergebnisse an den Pufferschaltungen E11 bis E14 ausgegeben worden sind, wird eine "0" den D-Flipflops der Pufferschaltungen E11 bis E14 in Fig. 14 als diese löschende Löschsignale CL0 in Vorbereitung für eine Inspektion der Bereiche in der nachfolgenden Stufe zugeführt.
Die Vergleich-/Nachweisblöcke B1,1 bis B32,32, wie sie in Fig. 12 gezeigt sind, geben die Inspektionsergebnisse der jeweiligen vier Inspektionsbereiche jeder Stufe jedesmal aus, wenn diese vollständig inspiziert sind. Die Inspektionsergebnisse werden auf ein UND-Glied AND01 in bezug auf die Inspektionsbereiche A11, A21, A31, . . . der ersten Spalte, auf ein UND-Glied AND02 in bezug auf die Inspektionsbereiche A12, A22, A32, . . . der zweiten Spalte, auf ein UND-Glied AND03 in bezug auf die Inspektionsbereiche A13, A23, A33, . . . der dritten Spalte und auf ein UND- Glied AND04 in bezug auf die Inspektionsbereiche A14, A24, A34, . . . der vierten Spalte ausgegeben.
Die UND-Glieder AND01 bis AND04 erhalten die logischen Produkte der Inspektionsergebnisse der entsprechenden Inspektionsbereiche, die von den Vergleichs-/Nachweisblöcken B1,1 bis B32,32 ausgegeben werden, jedesmal wenn die vier Inspektionsbereich einer jeden Stufe vollständig inspiziert sind. Die von den Vergleichs-/Nachweisblöcken B1,1 bis B32,32 ausgegebenen Inspektionsergebnisse sind folgendermaßen: die Vergleichs-/Nachweisblöcke, in welchen das Gegenstandsmuster lagemäßig dem Muttermuster entspricht, geben eine "0" aus, wenn in den Inspektionsbereichen kein Defekt vorhanden ist, während sie eine "1" ausgeben, wenn ein Defekt vorhanden ist. Die Vergleich-/Nachweisblöcke, in welchen das Gegenstandsmuster hinter dem Muttermuster in Fehlausrichtung ist, geben stets eine "1" aus, unabhängig davon, ob ein Defekt vorhanden ist oder nicht. Die die logischen Produkte erhaltenden UND-Glieder AND01 bis AND02 geben also eine "1" aus, wenn ein Defekt in den entsprechenden Inspektionsbereichen vorhanden ist, während sie eine "0" ausgeben, wenn kein solcher Defekt vorhanden ist. Es wird also eine Entscheidung darüber getroffen, ob der inspizierte Gegenstand defekt ist, sowie über die Defektlage desselben, auf der Grundlage von Feststellungssignalen, die von den UND-Gliedern AND01 bis AND04 jedesmal ausgegeben werden, wenn die vier Inspektionsbereiche in jeder Stufe vollständig inspiziert sind.

D. Modifikation

Bei der vorgenannten Ausführungsform werden die Bereiche des Muttermusters in zwei Dimensionen abgetastet und im Speicher 15, wie in Fig. 11 gezeigt, zwischengespeichert. Nachfolgend wird das Gegenstandsmuster anstatt des Muttermusters abgetastet. Alternativ können jedoch die Gegenstandsdaten und die Mutterdaten, wie sie in den Fig. 5 und 12 gezeigt sind, durch einander ersetzt werden, wobei die Anpassung der Zeiten für das Auslesen aus dem Speicher so durchgeführt wird, daß die verglichenen Positionen in Passung sind.

E. Vergleich von Gegenstandsmuster und Muttermuster in geneigten Zuständen.

Obige Beschreibung wurde unter der Annahme vorgenommen, daß das Gegenstandsmuster und das Muttermuster in vertikaler und horizontaler Richtung parallel fehlausgerichtet sind. Die Fig. 16A und 16B veranschaulichen die Situation, in welcher ein Gegenstandsmuster und ein Muttermuster mit einer Neigung fehlausgerichtet sind. Es wird angenommen, daß das Gegenstandsmuster und das Muttermuster mit einer Neigung unter einem Winkel 0 um Pixel 1P und 1M in Fig. 16A angeordnet sind. In diesem Fall ist Pixel 508 um 1/4 Pixel in der Y-Richtung in bezug auf ein Pixel 508M in einem Bereich A1 fehlausgerichtet. Dementsprechend ist die Fehlausrichtung in X-Richtung 1/4 Pixel·1/508 = 1/2032 Pixel, was vernachlässigbar ist.
Wie in Fig. 16A gezeigt, ist es nicht erforderlich, die Relativlagen des Gegenstandsmusters und des Muttermusters im Bereich Al zu verschieben, da die Positionen optimal sind. In bezug auf einen Bereich A4, wie er in Fig. 16A gezeigt ist, erweitert sich die Fehlausrichtung in der Y- Richtung auf 3/4 Pixel zwischen 1P und 1M und ferner auf 1 Pixel zwischen 508P und 508M. Es erfolgt also, wie in Fig. 16B gezeigt, ein optimaler Vergleich an einer Position, die um ein Pixel in der Y-Richtung in dem Bereich A4 verschoben ist, wie dies in Fig. 16B gezeigt ist. Mit anderen Worten sind, selbst wenn das Gegenstandsmuster und das Muttermuster, wie in den Fig. 16A und 16B gezeigt, winkelmäßig fehlausgerichtet sind, optimale Positionen unvermeidbar innerhalb der 512·512 Pixel Bereichseinheiten vorhanden. Fehlerhafte Information wird also nicht erzeugt.
Der maximal zulässige Wert für eine Winkelfehlausrichtung 0 muß die folgenden beiden Bedingungen erfüllen:
Erstens, die maximale Pixelzahl der Fehlausrichtung muß kleiner als die Zahl einer Anzahl von Muttermusterbereichen, wie sie in Fig. 1 gezeigt sind, sein. Zweitens, die Fehlausrichtung muß in einem solchen Bereich sein, daß die fehlpassenden Abschnitte des Gegenstandsmusters und des Muttermusters größenmäßig kleiner als die Inspektionsfenster, wie eingestellt, sind, wenn das Gegenstandsmuster und das Muttermuster jeweils um geeignete Anzahlen von Pixeln auf optimale Fehlerpositionen in den Bereichen von 508· 508 Pixeln, wie in Fig. 16 gezeigt, verschoben sind. Eine Fehlpassung um ein Pixel maximal wird dann notwendigerweise in irgendeinem Bereich im Falle der Fig. 16A bewirkt werden, weshalb die Inspektionsfenster größer als 2·2 Pixel sein müssen.

F. Resultate

Gemäß der Musterdefektfeststellungsvorrichtung der Erfindung können, selbst wenn ein Ausrichtungsfehler durch die vertikale und/oder horizontale Fehlausrichtung eines Gegenstands verursacht ist; oder eine Neigung eine Fehlausrichtung des Gegenstands verursacht hat; oder bei einer Verzerrung des Gegenstands, solche Ausrichtungsfehler absorbiert und eine genaue Musterdefektfeststellung durchgeführt werden. Da ferner eine Verarbeitung zur Korrektur von Fehlausrichtung und eine Verarbeitung zur Fehlerfeststellung gleichzeitig durchgeführt werden, läßt sich die Fehlerfeststellung über eine Schaltung durchführen, die um eine Stufe kleiner ist im Vergleich zu dem zweistufigen Vorgang einer Defektfeststellungsverarbeitung, nachdem zuerst eine Fehlausrichtung korrigiert worden ist, wie dies in der vorgenannten Japanese Patent Laying-Open Gazette No. 57929/1985 und der japanischen Patentanmeldung No. 100148/1985 beschrieben ist. Außerdem ist die Entscheidungsschaltung 19, wie sie in Fig. 14 gezeigt ist, mit einer durch die UND-Glieder AND11 bis AND21 gebildeten Logikschaltung versehen, die die Ergebnisse des Vergleichs von nur speziellen Pixelkombinationen extrahieren, die verschiedenen Defektmustern entsprechen, Fehlpassung wie verwendet bei Feststellung spezifischer Bedingungen etc. Der Selektor S bildet Mittel zum selektiven Ausgeben irgendeines der verfügbaren logischen Defektanzeigesignale, die den verschiedenen Defektmustern entsprechen. Dadurch läßt sich eine Defektfeststellung verschiedener Muster durch einfaches Schalten des Selektor S leicht zu durchführen.

Claims

1. Verfahren zur Feststellung von Musterdefekten durch Vergleichen eines zweidimensionalen Gegenstandsmusters (P&sub0;'), welches durch sequentiell längs Abtastzeilen gewonnene digitalisierte Bildsignale gebildet ist, mit einem digitalisierten zweidimensionalen Muttermuster (M&sub0;) über einen Vergleichsbereich festgelegter Größe, wobei das Verfahren die Schritte des

Definierens eines ausgeweiteten Bezugsbereichs durch Verschieben des Bereichs des Muttermusters (M&sub0;) um eine erforderliche Anzahl von Pixeln, damit dieser lagemäßig einem Bereich des Gegenstandsmusters entspricht, womit eine Anzahl von Muttermusterbereichen (M&sub1;&sub1;...M&sub7;&sub7;) eingestellt werden, die zweidimensional pixelweise in der Ausrichtung in vorgeschriebenen Beträgen über den erweiterten Bereich verschoben sind, und

Vergleichens der digitalisierten Signale der Muttermusterbereiche (M&sub1;&sub1;...M&sub7;&sub7;) mit den digitalisierten Signalen des Bereichs des Gegenstandsmusters (P&sub0;'), der dem Muttermusterbereich entspricht, um eine Defektfeststellung durchzuführen durch:

(a) Vergleichen, während der gesamte Bereich der Gegenstands- und Muttermusterbereiche mit Fehlerinspektionsfenstern der Größe einer Anzahl von Pixeln, die einer festzustellenden Minimaldefektgröße entspricht, abgetastet wird, eines der Anzahl von Muttermusterbereichen (M&sub1;&sub1;...M&sub7;&sub7;) mit dem Gegenstandsmusterbereich zur Bestimmung, daß die Muster fehlpassen, wenn alle digitalen Signale der entsprechenden Pixel beider in den Fenstern enthaltener Muster in wenigstens einer Abtastposition fehlpassen,

b) Bestimmen, daß das Gegenstandsmuster defekt ist, wenn das Gegenstandsmuster in Bezug auf alle der Anzahl von Muttermusterbereichen als fehlpassend bestimmt wird, und

c) Bestimmen, daß das Gegenstandsmuster nicht defekt ist, wenn das Gegenstandsmuster in Bezug auf wenigstens einen der Muttermusterbereiche als nicht fehlpassend bestimmt wird.

2. Verfahren zur Feststellung von Musterdefekten nach Anspruch l, bei welchem der Schritt des Vergleichens des Bereiches des zweidimensionalen Gegenstandsmusters mit dem Bereich des zweidimensionalen Muttermusters mit einer Anzahl von Bereichen (A&sub1;&sub1;-A&sub4;&sub4;) einer bestimmten Große, die in einer Hauptabtastrichtung angeordnet sind, parallel durchgeführt wird.

3. Vorrichtung zur Feststellung von Musterdefekten durch Vergleichen eines zweidimensionalen Gegenstandsmusters (P&sub0;') mit einem zweidimensionalen Muttermuster (M&sub0;) über einen Bereich einer bestimmten Größe, wobei die Vorrichtung

Mittel (5-12) zum Eingeben digitalisierter Signale des Gegenstandsmusters (P&sub0;') in sequentieller Weise,

Mittel (17) zum Lesen digitalisierter Signale des Muttermusters in sequentieller Weise aus einem Speicher (15) synchron mit dem Gegenstandsmuster,

erste Extraktionsmittel (SR&sub1;; SR&sub1;&sub1;-SR&sub1;&sub4;) zum Herausziehen digitalisierter Signale aus einem speziellen Bereich (E&sub1;) des Gegenstandsmusters (P&sub0;') in sequentieller Weise längs einer Hauptabtastrichtung synchron mit dem Abtasten des Gegenstandsmusters,

zweite Extraktionsmittel (SR&sub2;-SR&sub9;; SR&sub2;&sub0;&sub1;-SR&sub2;&sub3;&sub5;) zum Definieren eines erweiteren Bezugsbereichs durch Verschieben eines speziellen Bereichs des Muttermusters um eine erforderliche Anzahl von Pixeln, damit dieser dem speziellen Bereich (E&sub1;) entspricht, dessen digitalisierte Signale durch die ersten Extraktionsmittel (SR&sub1;) herausgezogen werden, und Herausziehen digitalisierter Signale in einer Anzahl von speziellen Bereichen (E&sub1;&sub1;-E&sub7;&sub7;), die zweidimensional pixelweise in der Ausrichtung in vorgeschriebenen Beträgen über den erweiteren Bereich in einer sequentiellen Weise jeweils längs der Abtastrichtung verschoben sind,

eine Anzahl von Vergleich/Entscheidungsmitteln (B&sub1;&sub1;- B&sub7;&sub7;; B1,1-B32,32) zum sequentiellen Vergleichen der durch die ersten Extraktionsmittel (SR&sub1;) herausgezogenen; digitalisierten Signale in dem speziellen Bereich (E&sub1;) des Gegenstandsmusters (P&sub0;') mit den durch die zweiten Extraktionsmittel (SR&sub2;-SR&sub9;) herausgezogenen digitalisierten Signalen in den speziellen Bereichen (E&sub1;&sub1;-E&sub7;&sub7;) des Muttermusters in Bereichen festgelegter Größe beider Muster, und zum Halten von Fehlpassungsergebnissen, wenn alle der digitalisierten Signale entsprechender Pixel in den speziellen Bereichen in wenigstens einem Abschnitt an irgendeiner Abtastposition fehlpassen, und

erste Entscheidungsmittel (AND&sub0;&sub1;-AND&sub0;&sub4;) zum Bestimmen, daß der Bereich festgelegter Größe des Gegenstandsmusters defekt ist, wenn alle der Vergleich/Entscheidungsmittel (B&sub1;&sub1;-B&sub7;&sub7;) Musterfehlpassungsentscheidungsergebnisse halten, und zum Bestimmen, daß der Bereich vorgeschriebener Größe des Gegenstandsmusters nicht defekt ist, wenn wenigstens eines der Vergleichs/Entscheidungsmittel (B&sub1;&sub1;-B&sub7;&sub7;) kein Musterfehlpassungsentscheidungsergebnis hält, aufweist.

4. Vorrichtung zum Feststellen von Musterdefekten nach Anspruch 3, bei welcher

die Vergleichs/Entscheidungsmittel (B&sub1;&sub1;-B&sub7;&sub7;) Mittel (E&sub1;&sub1;-E&sub1;&sub4;) zum Vergleichen des Bereichs des zweidimensionalen Gegenstandsmusters mit den Bereichen des zweidimensionalen Muttermusters parallel in Bezug auf eine Anzahl von Bereichen (A&sub1;&sub1;-A&sub1;&sub4;) festgelegter Größe, die in der Hauptabtastrichtung angeordnet sind, enthalten.

5. Vorrichtung zum Feststellen von Musterdefekten nach Anspruch 3, bei welcher

die Vergleichs/Entscheidungsmittel (B&sub1;&sub1;-B&sub7;&sub7;) Vergleichsmittel (1) zum Vergleichen von Passen und Fehlpassen von durch die ersten Extraktionsmittel (SR&sub1;) herausgezogenen digitalisierten Signalen in dem speziellen Bereich (E&sub1;) des Gegenstandsmusters mit den durch die zweiten Extraktionsmittel (SR&sub2;-SR&sub9;) herausgezogenen digitalisierten Signalen in den speziellen Bereichen (E&sub1;&sub1;-E&sub7;&sub7;) des Muttermusters per entsprechende Pixel,

zweite Entscheidungsmittel (2) zum Bestimmen, daß die Muster fehlpassen, wenn alle der Ergebnisse des Vergleichs der entsprechenden Pixel durch die Vergleichsmittel (l) fehlpassend sind, und

Haltemittel (3) zum Halten von Musterfehlpassungsergebnissen in einem Musterabtastintervall, wenn wenigstens ein Musterfehlpassungsentscheidungsergebnis der zweiten Entscheidungsmittel (2) vorliegt, aufweisen.

6. Vorrichtung zur Feststellung von Musterdefekten nach Anspruch 5, bei welcher

die Vergleich/Entscheidungsmittel (B&sub1;&sub1;-B&sub7;&sub7;) Mittel (AND&sub1;&sub1;-AND&sub2;&sub1;) zur Fällung von Fehlpassungsentscheidungen auf der Grundlage der Ergebnisse von Vergleichen, welche nur verschiedenen defekten Mustern entsprechende spezielle Pixel aus den Ergebnissen des Vergleichs aller Pixel in den speziellen Bereichen durch die Vergleichsmittel (18) herausziehen, und

Mittel (5) zum Auswählen irgendeines Entscheidungsergebnisses innerhalb der Ergebnisse der durch die Mittel (AND&sub1;&sub1;-AND&sub2;&sub1;) zur Fällung von Fehlpassungsentscheidungen gefällter Entscheidungen der verschiedenen fehlerhaften Muster für ein Ausgebenlassen derselben auf Haltemittel (20) aufweist.

7. Vorrichtung zum Feststellen von Musterdefekten nach Anspruch 5, bei welcher

jedes Vergleichsmittel (1) durch eine Anzahl von Exklusiv-ODER-Schaltungen (EXR&sub1;-EXR&sub2;) gebildet ist, welche digitalisierte Signale von jeweiligen in dem speziellen Bereich (E&sub1;) der Gegenstandsmuster enthaltenen Pixeln an jedem einen Eingang sowie digitalisierte Signale von in den speziellen Bereichen (E&sub1;&sub1;-E&sub7;&sub7;) des Muttermusters enthaltenen jeweiligen Pixeln auf anderen Eingängen erhalten,

jedes Entscheidungsmittel (2) durch eine erste UND- Schaltung (AND&sub1;), welche alle Ausgangssignale der Anzahl von Exklusiv-ODER-Schaltungen enthält, gebildet ist, und

jedes Haltemittel (3) durch ODER-Schaltung, welche Ausgangssignale der ersten UND-Schaltung (AND&sub1;) auf einem Eingang und D-Flip-Flop (D-FF&sub1;), welches Ausgangssignale der ODER-Schaltung erhält und Ausgangssignale desselben auf den anderen Eingang der ODER-Schaltung gibt, gebildet ist.

8. Vorrichtung zum Feststellen von Musterdefekten nach Anspruch 3, bei welcher

die ersten Extraktionsmittel eine Anzahl von ersten Schieberegistern (SR&sub1;&sub1;-SR&sub1;&sub4;) zum Verzögern der digitalisierten Signale des Gegenstandsmusters sequentiell um einen Abtastvorgang aufweisen, und

die zweiten Extraktionsmittel eine Anzahl von zweiten Schieberegistern (SR&sub2;&sub0;&sub1;-SR&sub2;&sub3;&sub5;) zum sequentiellen Verzögern der digitalisierten Signale des Muttermusters um einen Abtastvorgang aufweisen.

9. Vorrichtung zum Feststellen von Musterdefekten nach Anspruch 3, bei welcher

die ersten Entscheidungsmittel eine zweite UND-Schaltung (AND&sub2;), welche Ausgangssignale von betreffenden der Vergleichs/Entscheidungsmittel (B&sub1;&sub1;-B&sub7;&sub7;) erhält, enthalten,