DE3639350C2 - Verfahren und Gerät zur Lichtmessung mittels Frequenzmodulation - Google Patents

Verfahren und Gerät zur Lichtmessung mittels Frequenzmodulation

Info

Publication number
DE3639350C2
DE3639350C2 DE3639350A DE3639350A DE3639350C2 DE 3639350 C2 DE3639350 C2 DE 3639350C2 DE 3639350 A DE3639350 A DE 3639350A DE 3639350 A DE3639350 A DE 3639350A DE 3639350 C2 DE3639350 C2 DE 3639350C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
frequency
generating
signal
pulse sequence
electrical signal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
DE3639350A
Other languages
English (en)
Other versions
DE3639350A1 (de
Inventor
Kenji Nakamura
Yasutaka Tokuhara
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shimadzu Corp
Original Assignee
Shimadzu Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shimadzu Corp filed Critical Shimadzu Corp
Publication of DE3639350A1 publication Critical patent/DE3639350A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3639350C2 publication Critical patent/DE3639350C2/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/10Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
    • G01J1/16Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void using electric radiation detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • G01J2001/4242Modulated light, e.g. for synchronizing source and detector circuit

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und ein Gerät zur Messung eines Lichtsignals durch Frequenzmodulation und insbe­ sondere auf ein Verfahren und ein Gerät zur synchronen Messung des Lichtsignals in einem Spektralphotometer, das den ultravio­ letten und sichtbaren oder den infraroten Wellenbereich ab­ deckt, und zwar mittels Frequenzdiskrimination des mit einer bestimmten Frequenz modulierten Signals und Demodulation des modulierten Signals synchron mit dem Modulationsbetrieb.
Gemäß einem firmeninternen Stand der Technik sind, um das Lichtsignal einer Zelle bzw. Meßzelle zu modulieren, Spektral­ photometer mit einer Vorrichtung, wie z. B. einem rotierenden Zerhacker oder Chopper, zum wechselweisen Unterbrechen und Durchlassen des Lichtstrahls von der Zelle ausgerüstet. Wenn der zu choppende Lichtstrahl eine so große Querschnittsfläche besitzt, daß sie gegenüber der mechanischen Abmessung des Choppers nicht vernachlässigt werden kann, ändert sich, da die Größe des Lichtstrahls und dessen relative Lage zu dem Chopper sich mit den Proben ändert, auch die optimale Phase des Signals für die Synchron­ gleichrichtung bzw. Synchronisierung.
Das Signal für die Synchrongleichrichtung wird durch Erfassen der Drehung des Choppers mittels eines Detektors, wie z. B. eines Photokopplers, erhalten, und die Phase des Signals der Synchrongleichrichtung wird durch mechanische Einstellung der Lage des Photokopplers relativ zum Chopper festgelegt.
Es sei angenommen, daß ein durch eine verhältnismäßig große Probe bestimmter Lichtstrahl eine Querschnittsfläche und eine Lage relativ zu einem Chopper 2, wie mit dem Bezugszei­ chen 4 gemäß Fig. 4 gezeigt, und ein durch eine verhältnis­ mäßig kleine Probe bestimmter Lichtstrahl eine Querschnitts­ fläche und eine Lage relativ zum Chopper, wie mit dem Bezugs­ zeichen 6 in Fig. 4 angegeben, besitzen. Wenn das Signal zur Synchrongleichrichtung eine optimale Phase für den Lichtstrahl 4 gemäß dem Bezugszeichen A in Fig. 5 besitzt, ergibt sich ein Signal gemäß dem Bezugszeichen B in Fig. 5 nach Synchrongleichrichtung des vom Lichtstrahl 4 erzeugten Signals mit dem synchronen Gleichrichtsignal A. Wenn das vom Lichtstrahl 6 erzeugte Signal mit dem gleichen Synchron­ gleichrichtsignal A gleichgerichtet wird, ergibt sich jedoch ein gleichgerichtetes Signal, wie mit dem Bezugszeichen C nach Fig. 5 gezeigt. Das Signal C wird als ein kleineres Signal erfaßt mit einer sich daraus ergebenden Verschlechterung des Signal/Rausch-Verhältnisses unter der Voraussetzung, daß das vom Detektor und den anderen Elemen­ ten erzeugte Rauschen unverändert bleibt.
Bei der Anordnung nach diesem firmeninternen Kenntnisstand ist die Phase des synchronen Gleichrichtsignals ebenfalls festge­ legt, da die Position des Detektors, wie beispielsweise ein Pho­ tokoppler zur Erfassung der Drehung der Modulationsvorrichtung oder des sich drehenden Choppers, nach dem Einstellen des De­ tektors festgelegt ist, so daß es unmöglich ist, die Phase des synchronen Gleichrichtsignals nachzuregeln, wenn sich der Lichtstrahl, wie in Fig. 4 gezeigt, geändert hat.
Weiterhin ist aus der Offenlegungsschrift DE 35 28 345 A1 eine Phasensynchronisationseinrichtung für schrittantriebsgesteuerte Modulationseinrichtungen bekannt, bei der ein Schrittantrieb einen Modulationsspiegel antreibt, der einen Lichtstrahl op­ tisch taktet. An dem Modulationsspiegel ist ein optoelektroni­ scher Reflexkoppler angeordnet, dessen optischer Strahlengang durch die Bewegung des Modulationsspiegels geschaltet wird. Der Reflexkoppler erzeugt ein Synchronisationssignal, das mit dem optischen Analogsignal und einer modulationsfrequenz­ erzeugenden Taktfrequenz phasenstarr gekoppelt ist. Unter Ver­ wendung der vorgenannten Signale werden mittels einer digitalen Schaltungsanordnung durch logische Verknüpfung eines Auswerte­ signals einer Analog-Digital-Wandlung und eines impulsverkürz­ ten Synchronisationssignals Auswertesignale zur Kennung des op­ tischen Signals erzeugt.
Darüber hinaus offenbart die Patentschrift US 4 248 536 eine Photometereinrichtung, die ein photometrisches optisches System zum Abgeben von Lichtstrahlen mit jeweils vorbestimmten Wellen­ längen durch Übertragen von Licht ausgehend von einer Licht­ quelle hin zu einer über unterschiedliche Lichtpfade zu messen­ den Proben aufweist. Die Lichtpfade weisen jeweils einen Filter, einen Detektor zum Konvertieren jeder Lichtabgabe in ein elektrisches, Signal, einen Schalter zum Gewinnen erster elektrischer Signale für eine vorbestimmte Wellenlänge und zweiter elektrischer Si­ gnale für eine andere vorbestimmte Wellenlänge aus den Aus­ gangssignalen des Detektors, sowie eine Signalverarbeitungs- Schaltung zum Verarbeiten der ersten und zweiten elektrischen Signale zum Erhalt eines Lichtabsorptionsmaßes der Probe. Hier­ zu wird das von der Lichtquelle ausgesandte Licht mittels eines rotierenden Spiegels, der in sich abwechselnde Reflexions- und Durchlaßabschnitte unterteilt ist, auf die beiden unterschied­ lichen Lichtpfade gelenkt. Die Lichtpfade vereinigen sich vor der Probe zu einem gemeinsamen Lichtpfad. Der rotierende Spie­ gel rotiert zwischen einem Lichtsender und einem Lichtempfän­ ger, die aus der Rotation des Spiegels ein Synchronisations­ signal zur Synchronisation einer Wellenlängen-Unterscheidungs­ schaltung erzeugen, die das hinter der Probe erfaßte gemeinsa­ me Signal erneut in Komponenten entsprechend der unterschied­ lichen Wellenlängen aufteilt.
Ferner ist aus der Patentschrift US 4 577 106 ein Zweistrahl- Spektrophotometer für Analysen im Infrarotbereich bekannt, bei dem Eingangssignale für einen Lichtaufnehmer in fester Reihen­ folge zwischen Dunkelheit, Bezugslicht, Abtastlicht und Bezugs­ licht umgeschaltet werden. Das Bezugslicht und das Abtastlicht werden hierzu auf getrennten Lichtpfaden durch eine Bezugszelle und eine Abtastzelle geführt und treffen auf einen in vier Sek­ toren oder Quadranten unterteilten Spiegel auf, der diese unter Drehung zyklisch schaltet und unterbricht.
Die vorgenannten Druckschriften zeigen Anordnungen, bei denen gesteuerte rotierende Zerhacker im Lichtweg eines Arbeitslicht­ strahls den Arbeitslichtstrahl beeinflussen. Keine dieser An­ ordnungen berücksichtigt jedoch eine durch die Änderung des Ar­ beitslichtstrahls verursachte Phasenänderung bei Ableitung ei­ nes Synchronisationssignals aus der Drehbewegung des Zerhackers, da jeweils die Position des Detektors, wie beispielsweise ein Photokoppler zur Erfassung der Drehung der Modulationsvor­ richtung oder des sich drehenden Choppers, nach dem Einstellen des Detektors festgelegt ist. Es ist demzufolge auch bei diesem Stand der Technik unmöglich, die Phase des Synchronsignals nachzuregeln, wenn sich der Lichtstrahl geändert hat.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und ein Gerät zur Optimierung der Phase das synchronen Gleich­ richtsignals zu schaffen, bevor die Messung einer Probe durch­ geführt wird, wenn der zu messende Lichtstrahl seine Abmessung und/oder Lage geändert hat.
Diese Aufgabe wird durch die Gegenstände mit den Merkmalen in den Ansprüchen 1, 4, 9 und 12 gelöst.
Kurz gesagt, beschreibt das Verfahren der Erfindung:
  • a) das Choppen eines zu messenden Lichtstrahls mittels eines rotierenden Choppers,
  • b) das Erfassen des zerhackten Licht­ strahls zum Erzeugen eines entsprechenden frequenzmodulierten elektrischen Signals,
  • c) die Erzeugung einer ersten Impulsfol­ ge synchron mit dem Choppen des Lichtstrahls,
  • d) die Erzeugung einer zweiten Pulsfolge in Abhängigkeit von und mit einer vorbestimmten Zeitverzögerung nach der ersten Impulsfolge,
  • e) das Ändern der Zeitverzögerung zum Festlegen der Phase der zweiten Impulsfolge in der für eine spezifische zu messende Probe geeignetsten Weise und
  • f) das Gleichrichten des frequenzmodulierten elektrischen Signals synchron mit der zweiten Impulsfolge, deren Phase so festgelegt worden ist, daß sie ein demoduliertes elektrisches Signal erzeugt.
Die Vorrichtung der Erfindung umfaßt:
  • a) einen Chopper zum Choppen eines zu messenden Lichtstrahls,
  • b) einen Photodetektor zum Erfassen des zerhackten Licht­ strahls zum Erzeugen eines entsprechenden frequenzmodulierten elektrischen Signals,
  • c) eine Vorrichtung zum Erfassen der Drehung des Choppers zum Erzeugen einer ersten Impuls­ folge synchron mit dem Chopperbetrieb des Choppers,
  • d) eine Verzögerungsschaltung zum Aufnehmen der ersten Impuls­ folge und zur Erzeugung einer zweiten Impulsfolge nach einer vorbestimmten Verzögerungszeit,
  • e) einen Synchron­ gleichrichter zum Gleichrichten des frequenzmodulierten Signals synchron mit der zweiten Impulsfolge zum Erzeugen eines demodulierten elektrischen Signals und
  • f) einen Zentral­ rechner zum derartigen Ändern der Verzögerungszeit, daß eine Verzögerungszeit festgelegt wird, die zum höchsten Wert des demodulierten elektrischen Signals führt, und zum Einstellen der festgelegten Verzögerungszeit in der Verzögerungsschaltung.
Die Erfindung wird anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigt
Fig. 1 ein Blockschaltbild eines Einfachstrahl- Spektralphotometers gemäß einem ersten Ausführungs­ beispiel,
Fig. 2 die Kurvenformen von Signalen an verschiedenen Stellen gemäß Fig. 1,
Fig. 3 ein Flußdiagramm, das beispielhaft die bei dem Verfahren zur Lichtmessung mittels Frequenzmodulation gewählten Schritte zur Bestimmung der optimalen Verzögerungszeit für das synchrone Gleichrichtsignal wiedergibt,
Fig. 4 eine Vorderansicht, die schematisch einen sich drehenden Chopper und einen von dem Chopper zu zerhackenden Lichtstrahl wiedergibt,
Fig. 5 die Kurvenform des Signals für die Synchrongleich­ richtung und diejenigen der durch die Synchron­ gleichrichtung verschiedener modulierter Signal­ kurven erhaltenen Signale und
Fig. 6 ein Blockschaltbild eines Zweifachstrahl- Spektralphotometers gemäß einem zweiten Ausführungs­ beispiel.
Fig. 1 zeigt eine schematische Ansicht eines Einfachstrahl- Spektralphotometers gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel des Ver­ fahrens und der Vorrichtung zur Lichtmessung mittels Frequenzmodulation. Gezeigt ist eine Lichtquelle LS, deren Licht in einen Monochromator MC mit einem nicht gezeigten Zerlegungsteil eintritt. Das monochromatische Licht des Monochromators MC läuft durch eine Zelle Ss mit einer zu messenden Probe. Ein von einem Antrieb DR angetrie­ bener Chopper 2 choppt oder moduliert den von der Zelle Ss kommenden Lichtstrahl. Das modulierte Lichtsignal L wird von einem Detektor/Vorverstärker 8 erfaßt, dessen verstärktes Signal einem auf die Modulationsfrequenz abge­ stimmten Schmalbandverstärker 10 zugeführt wird. Der Ver­ stärker 10 verstärkt ein ausgewähltes Band des Signals, so daß sich ein in Fig. 2 gezeigtes Signal A in Form einer Sinuskurve mit einem verbesserten Signal/Rausch-Verhältnis ergibt.
Ein Photokoppler 12 erfaßt die Drehung des Choppers 2 und erzeugt ein in Fig. 2 gezeigtes Pulssignal C. Das Signal C wird einer Verzögerungsschaltung 14 zugeführt, die ein Pulssignal D zur Synchrongleichrichtung nach einer vorbe­ stimmten Zeitverzögerung T erzeugt. In Abhängigkeit vom Signal D richtet ein Synchrongleichrichter 16 das Signal A des Verstärkers 10 synchron mit dem Betrieb des rotie­ renden Choppers 2 gleich, so daß sich ein Signal B ergibt, das über eine Glättungsschaltung 18 ausgegeben wird.
Ein eine Zentraleinheit enthaltendes System 20 gibt über eine Schnittstelle 22 eine Folge von Signalen Tn an die Verzögerungsschaltung 14 ab, die darin nacheinander verschie­ dene Verzögerungszeiten einstellen, und empfängt über einen Analog/Digital-Wandler 24 das Ausgangssignal En der Glättungs­ schaltung 18 nach Verstreichen der jeweiligen Verzögerungszeit und bestimmt diejenige Verzögerungszeit, die das größte Ausgangssignal En erzeugt. Um eine solche Bestimmung auszufüh­ ren, weist das System 20 zusätzlich zu der Schnittstelle 22 und dem A/D-Wandler 24 eine zentrale Recheneinheit (CPU) 26, einen Programmspeicher 28, einen Datenspeicher 30 zum Speichern des Wertes des Ausgangssignals En der Glättungs­ schaltung 18 bei jeder Verzögerungszeit und einen Rechenspei­ cher 32 zum Speichern der Parameter N,Tn und X auf, die nachfolgend beschrieben werden.
Nun wird unter Bezugnahme auf Fig. 3 ein Verfahren zur Bestimmung der optimalen Verzögerungszeit erläutert.
Zunächst werden in einem Schritt S₁ sowohl die Verzögerungs­ zeit Tn als auch die Anzahl N von Verzögerungszeiten Tn auf Null gesetzt.
Im Schritt S₂ gibt das System 20 an die Verzögerungsschal­ tung 14 ein Signal entsprechend der auf Null gesetzten Verzögerungszeit T₀ ab und erhält im Schritt S₃ von der Steuerschaltung 18 das Ausgangssignal E₀, das unter der Adresse Nr. 0 des Datenspeichers 30 im Schritt S₄ gespeichert wird. Dann wird im Schritt S₆ eins zu der Anzahl N hinzu­ addiert und im Schritt S₇ wird die nächste Verzögerungs­ zeit T₁ gemäß dem Ausdruck
TN = (Δt/m) N
berechnet, worin Δt der eingestellte größte Wert der Verzöge­ rungszeit und m die eingestellte größte Anzahl N von Wiederho­ lungen ist, mit der die Verzögerungszeit Tn zu ändern ist.
Mit der neuen Verzögerungszeit T₁ werden die Schritte S₂ bis S₄ durchgeführt, so daß das Ausgangssignal E₁ unter der Adresse Nr. 1 des Datenspeichers 30 gespeichert wird.
Auf diese Weise werden mit den nacheinander geänderten Verzögerungszeiten T₂, T₃ . . . Tm die Schritte S₂ bis S₇ wiederholt, so daß die aufeinanderfolgenden Daten E₂, E₃ . . . Em unter den entsprechenden Adressen Nr. 2, 3, . . . m im Datenspeicher 30 abgespeichert werden.
Wenn N gleich m wird, d. h. N = m, werden im Schritt die im Speicher 30 gespeicherten Daten E₀ bis Em miteinander verglichen, so daß sich die Anzahl N ergibt, die den höchsten Wert der Daten E₀ bis Em ergeben hat. Die Anzahl N wird mit X bezeichnet.
Die durch den Ausdruck
Tx = (Δt/m) X
erhaltene Verzögerungszeit Tx verursacht, daß das Ausgangs­ signal Ex der Glättungsschaltung 18 am größten wird, und ist die geeignetste für die Synchrongleichrichtung des dann zu messenden Signals.
Die Verzögerungszeit Tx = (Δt/m) X wird dann in der Ver­ zögerungsschaltung 14 im Schritt S₉ eingestellt, so daß die Messung einer Probe ausgeführt werden kann.
Fig. 6 zeigt eine schematische Ansicht eines Zweifach­ strahl-Spektralphotometers gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiel des Verfahrens und der Vorrichtung zur Lichtmessung mittels Frequenzmodulation. Gleiche Bezugszeichen wie in Fig. 1 bezeichnen entsprechende Bestandteile, so daß nur nötigen­ falls eine Erklärung gegeben wird. In Fig. 6 bedeuten die Indizes s und r der Bezugszeichen, daß die mit den indizierten Symbolen bezeichneten Bestandteile mit der Probe bzw. der Bezugsgröße in Zusammenhang stehen.
Das Licht der Quelle LS wird mittels des Strahlteilers BS in Proben- und Bezugsstrahl Lr und Ls aufgeteilt. Der Probenstrahl Ls wird am Planspiegel Ms reflektiert und geht durch eine Probenzelle Ss, die ein zu messendes Probenmaterial enthält. Ein von einem Antrieb DRs gedrehter Chopper 2 s zerhackt das Licht der Probe, so daß sich ein moduliertes Lichtsignal LSs mit einer ersten Frequenz fs entsprechend der Drehgeschwindigkeit des Choppers 2 s ergibt. Das modulierte Lichtsignal LSs verläuft weiter zu einem Strahlvereiniger BC.
Der Bezugsstrahl Lr wird durch eine Bezugszelle Sr geleitet, die ein Bezugsmaterial enthält (die Bezugszelle kann weg­ gelassen werden). Ein von einem Antrieb DRr gedrehter zweiter Chopper 2 zerhackt das Licht der Bezugsgröße, so daß sich ein moduliertes Lichtsignal LSr mit einer von der ersten Frequenz fs verschiedenen zweiten Frequenz fr gemäß der Drehgeschwindigkeit des zweiten Choppers 2 r ergibt. Das modulierte Lichtsignal LSr wird von einem Planspiegel Mr reflektiert und von dem Strahlvereiniger BC mit dem Proben­ lichtsignal LSs zu einem einzigen Strahl L vereinigt, der in einen Monochromator MC geführt wird, dessen monochro­ matisches Licht einem Detektor/Vorverstärker 8 zugeführt wird, der ein entsprechendes frequenzmoduliertes elektrisches Signal erzeugt, das zwei Bestandteile mit der ersten und der zweiten Frequenz fs bzw. fr enthält. Die zwei Bestand­ teile werden mittels zweier Bandpaßfilter BFs und BFr, die Frequenzen fs bzw. fr durchlassen, getrennt.
Die Drehungen der Chopper 2 s und 2 r werden von den Photo­ kopplern 12 s bzw. 12 r erfaßt, die Impulssignale Cs und Cr erzeugen, die den Verzögerungsschaltungen 14 s bzw. 14 r zugeführt werden, die nach einer vorbestimmten Zeitver­ zögerung Ts, Tr Impulssignale Ds und Dr erzeugen. In Ab­ hängigkeit der Signale Ds und Dr richten die Synchrongleich­ richter 16 s und 16 r die Ausgangssignale As und Ar der Filter BFs und BFr synchron mit der Drehung der Choppers 2 s und 2 r gleich, so daß Ausgangssignale Bs bzw. Br erzeugt werden, die über Glättungsschaltungen 18 s und 18 r ausgegeben werden.
Das System 20 mit einer zentralen Recheneinheit (CPU) gibt über eine Schnittstelle 22 s eine Folge von Signalen Tsn an die Verzögerungsschaltung 14 s, so daß darin verschiedene Verzöge­ rungszeiten eingestellt werden, und über eine Schnittstelle 22 r eine Folge von Signalen Trn an die andere Verzögerungs­ schaltung 14 r ab, so daß darin verschiedene Verzögerungs­ zeiten eingestellt werden. Andererseits erhält das System 20 nach Verstreichen der jeweiligen Verzögerungszeit über einen Analog/Digital-Wandler 24 s das Ausgangssignal Esn der Glättungsschaltung 18 s und über einen Analog/Digital- Wandler 24 r das Ausgangssignal Ern der Glättungsschaltung 18 r und bestimmt die Verzögerungszeiten, die die größten Ausgangssignale Esn und Ern erzeugen, auf eine ähnliche Weise wie im Zusammenhang mit Fig. 1 beschrieben. Die so bestimmten Verzögerungszeiten werden in den Verzögerungs­ schaltungen 14 s bzw. 14 r zur Messung einer Probe einge­ stellt.
Der Monochromator MC kann zwischen der Lichtquelle LS und dem Strahlteiler BS anstelle zwischen dem Strahlvereiniger BC und dem Detektor/Vorverstärker 8 gemäß Fig. 6 angeordnet werden.
In Übereinstimmung mit der Erfindung kann die beste Bedingung zur Messung einer bestimmten Probe gewählt werden, da die beste Phase des synchronen Gleichrichtsignals vor der Messung mittels Änderung der Verzögerungszeit des Signals fest­ gelegt wird. Es ist auch möglich, automatisch die für die Meßbedingungen geeignetste Phase des synchronen Gleich­ richtsignals auszuwählen.

Claims (15)

1. Verfahren zur Lichtmessung mittels Frequenzmodu­ lation, mit den Schritten:
Zerhacken eines zu messenden Lichtstrahls mittels eines rotierenden Choppers,
Erfassen des zerhackten Lichtstrahls zur Erzeugung eines entsprechendem frequenzmodulierten elektrischen Signals,
Erzeugen einer ersten Impulsfolge synchron mit dem Zer­ hacken des Lichtstrahls,
Erzeugen einer zweiten Impulsfolge in Abhängigkeit von und mit einer Zeitverzögerung gegenüber der ersten Im­ pulsfolge,
Ändern der Verzögerungszeit zur Bestimmung der für eine bestimmte zu messende Probe geeignetsten Phase der zwei­ ten Impulsfolge und
Gleichrichten des frequenzmodulierten elektrischen Si­ gnals in Abhängigkeit von der zweiten Impulsfolge festge­ legter Phase zur Erzeugung eines demodulierten elektri­ schen Signals.
2. Verfahren nach Anspruch 1, ferner mit einer Fre­ quenzdiskrimination des frequenzmodulierten elektrischen Signals zur Erzeugung eines Signals eines vorbestimmten schmalen Frequenzbandes.
3. Verfahren nach Anspruch 1, ferner mit einer Glät­ tung des demodulierten Signals zur Erzeugung eines ent­ sprechenden Ausgangssignals.
4. Gerät zur Lichtmessung durch Frequenzmodulation, mit
einem Chopper (2; 2 s, 2 r) zum Zerhacken eines zu messen­ den Lichtstrahls,
einem Photodetektor (8) zum Erfassen des zerhackten Licht­ strahls zur Erzeugung eines entsprechenden frequenzmodu­ lierten elektrischen Signals,
einer Erfassungsvorrichtung (12; 12 s, 12 r) zum Erfassen der Drehung des Choppers (2; 2 s, 2 r) zur Erzeugung einer ersten Impulsfolge synchron mit dem Chopperbetrieb des Choppers,
einer Verzögerungsschaltung (14; 14 s, 14 r) zum Empfangen einer ersten Impulsfolge und zur Erzeugung einer zweiten Impulsfolge nach einer vorbestimmten Verzögerungszeit,
einem Synchrongleichrichter (16; 16 s, 16 r) zum Gleich­ richten des frequenzmodulierten Signals in Abhängigkeit von der zweiten Impulsfolge zum Erzeugen eines demodu­ lierten elektrischen Signals und
einer Änderungsvorrichtung (20) zum Ändern der in der Verzögerungsschaltung einzustellenden Verzögerungszeit, zur Bestimmung einer Verzögerungszeit, mit der das demo­ dulierte elektrische Signal den höchsten Wert erreicht, und zum Einstellen der bestimmten Verzögerungszeit in der Verzögerungsschaltung.
5. Gerät nach Anspruch 4, ferner mit einem zwischen den Photodetektor (8) und den Synchrongleichrichter (16; 16 s, 16 r) geschalteten schmalbandigen Verstärker (10; BFs, BFr).
6. Gerät nach Anspruch 4, ferner mit einer Glät­ tungsschaltung (18; 18 s, 18 r) zum Glätten des demodulier­ ten elektrischen Signals.
7. Gerät nach Anspruch 5, ferner mit einer Glät­ tungsschaltung (18; 18 s, 18 r) zum Glätten des demodulier­ ten elektrischen Signals.
8. Gerät nach Anspruch 4, bei dem die Erfassungsvor­ richtung (12; 12 s, 12 r) einen Photokoppler (12; 12 s, 12 r) aufweist.
9. Spektralphotometer, mit
einer Zelle (Ss, Sr) zur Aufnahme einer zu messenden Pro­ be,
einer Erzeugungsvorrichtung (MC) zum Erzeugen eines durch diese Probe zu leitenden monochromatischen Lichtstrahls, einem Chopper (2; 2 s, 2 r) zum Zerhacken des von der Probe ausgehenden Lichts,
einem Photodetektor (8) zum Erfassen des zerhackten Lichtstrahls zur Erzeugung eines entsprechenden frequenz­ modulierten elektrischen Signals,
einer Erfassungsvorrichtung (12; 12 s, 12 r) zum Erfassen der Drehung des Choppers zum Erzeugen einer ersten Im­ pulsfolge synchron mit dem Chopperbetrieb des Choppers,
einer Verzögerungsschaltung (14; 14 s, 14 r) zum Empfang der ersten Impulsfolge und zur Erzeugung einer zweiten Impulsfolge nach einer vorbestimmten Zeitverzögerung,
einem Synchrongleichrichter (16; 16 s, 16 r) zum Gleich­ richten des frequenzmodulierten Signals in Abhängigkeit von der zweiten Impulsfolge zur Erzeugung eines demodu­ lierten elektrischen Signals und
einer Änderungsvorrichtung (20) zum Ändern der Verzöge­ rungszeit zur Bestimmung einer Verzögerungszeit, bei der das demodulierte elektrische Signal den höchsten Wert er­ reicht, und zur Einstellung der bestimmten Verzögerungs­ zeit in der Verzögerungsschaltung.
10. Spektralphotometer nach Anspruch 9, ferner mit einem zwischen dem Photodetektor (8) und dem Synchron­ gleichrichter (16; 16 s, 16 r) angeordneten schmalbandigen Verstärker (10; BFs, BFr).
11. Spektralphotometer nach Anspruch 10, ferner mit einer Glättungsschaltung (18; 18 s, 18 r) zum Glätten des demodulierten elektrischen Signals.
12. Spektralphotometer, mit
einer Vorrichtung (BS) zum Erzeugen eines ersten und ei­ nes zweiten Lichtstrahls,
einer eine zu messende Probe enthaltende und in dem Lichtweg eines der Lichtstrahlen angeordneten Zelle (Ss),
einem ersten Chopper (2 s) zum Zerhacken des ersten Licht­ strahls zur Erzeugung eines ersten modulierten Lichtsi­ gnals mit einer ersten Frequenz,
einem zweiten Chopper (2 r) zum Zerhacken des zweiten Lichtstrahls zur Erzeugung eines zweiten modulierten Lichtsignals mit einer zweiten Frequenz,
einer Vereinigungsvorrichtung (BC) zum Vereinigen des er­ sten und zweiten modulierten Lichtstrahls zu einem einzi­ gen Strahl,
einer Vorrichtung (MC), die den Lichtstrahl monochroma­ tisch macht,
einem Photodetektor (8) zum Erfassen des Lichtstrahls zur Erzeugung eines entsprechenden frequenzmodulierten elek­ trischen Signals mit einem ersten Bestandteil der ersten Frequenz und einem zweiten Bestandteil der zweiten Fre­ quenz,
einer Trennungsvorrichtung (BFs, BFr) zum Trennen des er­ sten und zweiten Bestandteils des frequenzmodulierten Si­ gnals,
einer Vorrichtung (12 s) zum Erzeugen einer ersten Impuls­ folge mit der ersten Frequenz synchron mit dem ersten mo­ dulierten Lichtsignal der ersten Frequenz,
einer Vorrichtung (12 r) zum Erzeugen einer ersten Impuls­ folge mit der zweiten Frequenz synchron mit dem zweiten modulierten Lichtsignal der zweiten Frequenz,
einer ersten Verzögerungsschaltung (14 s) zum Empfangen der ersten Impulsfolge mit der ersten Frequenz zum Erzeu­ gen einer zweiten Impulsfolge mit der ersten Frequenz nach einer vorbestimmten ersten Verzögerungszeit,
einer zweiten Verzögerungsschaltung (14 r) zum Empfangen der ersten Impulsfolge mit der zweiten Frequenz zum Er­ zeugen einer zweiten Impulsfolge mit der zweiten Frequenz nach einer vorbestimmten zweiten Verzögerungszeit,
einem ersten synchronen Gleichrichter (16 s) zum Gleich­ richten des getrennten ersten Bestandteils des frequenz­ modulierten elektrischen Signals in Abhängigkeit von der zweiten Impulsfolge mit der ersten Frequenz zum Erzeugen eines ersten demodulierten elektrischen Signals,
einem zweiten synchronen Gleichrichter (16 r) zum Gleich­ richten des getrennten zweiten Bestandteils des frequenz­ modulierten elektrischen Signals in Abhängigkeit von der zweiten Impulsfolge mit der zweiten Frequenz zum Erzeugen eines zweiten demodulierten elektrischen Signals und
einer Änderungsvorrichtung (20) zum Ändern der ersten und zweiten Verzögerungszeiten zum Bestimmen einer ersten und zweiten Verzögerungszeit, bei der das erste bzw. zweite demodulierte elektrische Signal seinen höchsten Wert er­ reicht, und zum Einstellen der bestimmten ersten und zweiten Verzögerungszeit in der ersten bzw. zweiten Ver­ zögerungsschaltung.
13. Spektralphotometer nach Anspruch 12, ferner mit einer ersten und einer zweiten Glättungsschaltung (18 s, 18 r) zum Glätten des ersten bzw. zweiten demodulierten elektrischen Signals.
14. Spektralphotometer nach Anspruch 12, bei dem die Vorrichtungen (12 s) und (12 r) Photokoppler zum Erfassen der Drehung des ersten (2 s) bzw. zweiten (2 r) Choppers sind.
15. Spektralphotometer nach Anspruch 12, ferner mit einer zweiten Zelle (Sr) zur Aufnahme eines Bezugsmateri­ als.
DE3639350A 1985-11-19 1986-11-18 Verfahren und Gerät zur Lichtmessung mittels Frequenzmodulation Expired - Fee Related DE3639350C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP60259214A JPS62118221A (ja) 1985-11-19 1985-11-19 周波数変調測光方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3639350A1 DE3639350A1 (de) 1987-05-21
DE3639350C2 true DE3639350C2 (de) 1995-06-01

Family

ID=17330979

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE3639350A Expired - Fee Related DE3639350C2 (de) 1985-11-19 1986-11-18 Verfahren und Gerät zur Lichtmessung mittels Frequenzmodulation

Country Status (4)

Country Link
US (1) US4807993A (de)
JP (1) JPS62118221A (de)
CN (1) CN1014827B (de)
DE (1) DE3639350C2 (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107219062A (zh) * 2017-06-20 2017-09-29 南京航空航天大学 相位调制器的频响测量方法及装置

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4991106A (en) * 1983-03-02 1991-02-05 Alfa-Laval Ab Method and apparatus for aligning and analyzing sample and control signals
DE4041851A1 (de) * 1990-12-24 1992-07-02 Wandel & Goltermann Verfahren zum messen der leistung einer optischen strahlung, anordnung zur durchfuehrung des verfahrens, und temperaturmessquarz zur verwendung in der anordnung zur durchfuehrung des verfahrens
JP2884037B2 (ja) * 1994-06-09 1999-04-19 科学技術庁金属材料技術研究所長 耐放射線性・不純物補償型光検知器
JP3757854B2 (ja) * 2001-12-06 2006-03-22 株式会社島津製作所 複数の蛍光物質を含む試料の分析方法及び装置
CN104501954B (zh) * 2014-12-10 2016-06-22 四川大学 基于脉冲同步测量技术的光谱特性测试仪
EP4000250A1 (de) * 2019-07-17 2022-05-25 ams International AG Haltevorgänge für licht-zu-frequenz-sensoren

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3345907A (en) * 1963-06-17 1967-10-10 Wada Akiyoshi Dichroism spectroscopes
US4171913A (en) * 1972-12-20 1979-10-23 Varian Techtron Proprietary Limited Spectrophotometer
GB1455774A (en) * 1974-02-07 1976-11-17 Pye Ltd Radiation detecting system
JPS5937767B2 (ja) * 1977-04-20 1984-09-12 オリンパス光学工業株式会社 測光装置
JPS59162424A (ja) * 1983-03-05 1984-09-13 Japan Spectroscopic Co 位相補償型レシオ式分光光度計
US4577106A (en) * 1983-09-12 1986-03-18 Japan Spectroscopic Co., Ltd. Spectrophotometer
JPS6070318A (ja) * 1983-09-27 1985-04-22 Shimadzu Corp 分光光度計
DD228058A1 (de) * 1984-11-01 1985-10-02 Zeiss Jena Veb Carl Phasensynchronisationseinrichtung fuer schrittantriebgesteuerte modulationseinrichtungen

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107219062A (zh) * 2017-06-20 2017-09-29 南京航空航天大学 相位调制器的频响测量方法及装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE3639350A1 (de) 1987-05-21
CN86107777A (zh) 1987-07-15
JPS62118221A (ja) 1987-05-29
CN1014827B (zh) 1991-11-20
US4807993A (en) 1989-02-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3889734T2 (de) Gasanalysiergerät mit doppelter musterzelle.
DE2153315C3 (de) Verfahren zur interferometnschen Spektralanalyse einer optischen Eigenschaft einer Probe, sowie Interferenz· Spektralphotometer hierfür
DE60009285T2 (de) Optische dreidimensionalabtastung
GB1530547A (en) Optical apparatus for analysing the spectrum of a light source
DE2350004A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum messen des anteils einer komponente eines strahlungsdurchlaessigen stoffgemisches
DE69030621T2 (de) Optisches vielkanal-überwachungssystem
JPH0575261B2 (de)
DE3639350C2 (de) Verfahren und Gerät zur Lichtmessung mittels Frequenzmodulation
DE2817333A1 (de) Photometrische vorrichtung
DE2853458C3 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Messung der relativen Helligkeit einer Probe
EP0169664B1 (de) Vorrichtung zum Bestimmen des Oxydationsgrades einer Oxydbeschichtung
DE4009737C2 (de)
DE1648885A1 (de) Geraet zum Analysieren von Stroemungen
DE69717603T2 (de) Verfahren und apparat zur reduzierung von unerwünschten rauscheffekten in einem dreidimensionalen farbbilderzeugungssystem
DE3405886A1 (de) Verfahren und vorrichtung zum polarimetrischen messen des rollwinkels eines beweglichen maschinenteiles
DE4105509C2 (de) Streulichtmeßanordnung zur Untersuchung der Oberflächenrauheit
US4462687A (en) Apparatus for spectral analysis of a broad beam of radiation using a dispersive element interposed between two modulators
DE69633041T2 (de) Laser-Doppler-Geschwindigkeitsmessgerät
US4035080A (en) Apparatus of spectroscopy of scattering light
DE3878362T2 (de) Optischer heterodynempfaenger.
DE69212066T2 (de) Ultraschall-Doppler-Abbildungsgerät
DE3202807C2 (de) Phasensynchronisierungsvorrichtung in einem Spektralanalysegerät
DE2255300A1 (de) Verfahren und geraet zur kolorimetrischen untersuchung von substanzen auf signifikante bestandteile
JP3593559B2 (ja) 高速分光観測装置
DE2939733A1 (de) Fotometer zur gaskonzentrationsmessung

Legal Events

Date Code Title Description
8110 Request for examination paragraph 44
D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee