DE2153315C3 - Verfahren zur interferometnschen Spektralanalyse einer optischen Eigenschaft einer Probe, sowie Interferenz· Spektralphotometer hierfür - Google Patents
Verfahren zur interferometnschen Spektralanalyse einer optischen Eigenschaft einer Probe, sowie Interferenz· Spektralphotometer hierfürInfo
- Publication number
- DE2153315C3 DE2153315C3 DE2153315A DE2153315A DE2153315C3 DE 2153315 C3 DE2153315 C3 DE 2153315C3 DE 2153315 A DE2153315 A DE 2153315A DE 2153315 A DE2153315 A DE 2153315A DE 2153315 C3 DE2153315 C3 DE 2153315C3
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- partial
- beams
- sample
- bundles
- radiation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 23
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 238000010183 spectrum analysis Methods 0.000 title claims description 7
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 60
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 7
- 230000006798 recombination Effects 0.000 claims description 7
- 238000005215 recombination Methods 0.000 claims description 7
- 238000009499 grossing Methods 0.000 claims description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 3
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims description 3
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims 1
- 238000002798 spectrophotometry method Methods 0.000 description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 9
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 9
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 4
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 2
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000013558 reference substance Substances 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 2
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 2
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 1
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 1
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/28—Investigating the spectrum
- G01J3/45—Interferometric spectrometry
- G01J3/453—Interferometric spectrometry by correlation of the amplitudes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur interferomeischen
Spektralanalyse einer optischen Eigenschaft, isbesondere der Absorption oder des Brechungsindex,
iner Probe mittels einer lnterfcrometeranordnung, bei 'elchem ein von einer Strahlungsquelle erzeugtes,
trahlung verschiedener Wellenlängen, vorzugsweise eine KontinuumstrahJung, enthaltendes Meßstrahlbündel
in zwei Teilstrahlen aufgespaltet, die beiden Teilstrahlen nach Durchlaufen gesonderter Strahlengänge
mit einstellbar veränderlicher optischer Wegdifferenz rekombiniert und in Überlagerung einem
Strahlungsempfänger zur Erzeugung eines der Intensität der auffallenden Gesamtstrahlung proportionalen
Signals zugeführt werden, wobei die zu untersuchende Probe je nach der zu analysierenden Eigenschaft in den
Meßstrahlengang an einer Stelle vor der Aufteilung in die beiden Teilstrahlen, oder nach der Rekombination
der beiden Teilstrahlen, oder in einen der beiden Teilstrahlen eingebracht wird und durch Aufzeichnung
des Ausgangssignals für verschiedene optische Wegdifferenzen der beiden Teilstrahlen ein Interferogramm
erzeugt und aus den Interferogrammen mit und ohne Probe durch Fourier-Transformation die Spektralanalyse
der betreffenden Eigenschaft der Probe gewonnen wird.
Dieses Verfahren der interferometrischen Spektroskopie
und hierfür geeignete Interferenz-Spektralphotometer sind bekannt, vgl. beispielsweise »Beckman
Report«, 1,1969, S. 3 bis 8, insbesondere Figuren 5 und 6 auf den S. 5 und 6, sowie die britischen Patentschriften
10 56 566 und 1103 270. Der Hauptvorteil dieser interferometrischen Spektralphotometrie besteht darin,
daß am Strahlungsdetektor grundsätzlich die gesamte Intensität der im beobachteten Wellenlängenbereich
nach Absorption durch die Probe vorhandenen
)o Strahlung zur Verfügung steht und nicht nur, wie bei der
herkömmlichen dispersiven Spektralphotometrie, die verhältnismäßig geringe Strahlungsintensität der durch
die Wellenlängenaussonderungsvorrichtung (beispielsweise ein Prismen- oder Gitter-Monochromator)
v> ausgesonderten mehr oder weniger monochromatischen Strahlung. Hierdurch gewinnt die interferometrische
Spektroskopie besonderes Interesse für spektralphotometrische Untersuchungen in Wellenlängenbereichen,
wie etwa dem langwelligen fernen Infrarot (FIR), für welche nur verhältnismäßig intensitätsschwache
kontinuierliche Strahlungsquellen zur Verfügung stehen, woraus sich ernsthafte Schwierigkeiten bei der
Konzeption von Spektralphotometern üblicher Art ergaben, wenn Auflösungsvermögen und Meßzeiten
den im sichtbaren oder im klassischen Infrarotbereich üblichen Werten entsprechen sollen. Die Interferenz-Spektralphotometrie
erbringt hier eine prinzipielle Verbesserung des Signal-Rauschverhältnisses. Das
Prinzip der interferometrischen Spektralphotometrie beruht auf dem Grundgedanken, daß bei einer
Veränderung der Wegdifferenz der im Interferometer interferierenden Strahlenbündel sich das Interferenzmuster
der aus der Interferometeranordnuns austretenden Gesamtstrahlung ändert. Trägt man die Werte der
am Ausgang gemessenen Gesamtstrahlungsintensität in Abhängigkeit von der jeweiligen eingestellten Wegdifferenz
der interferierenden Teilstrahlbünde! auf, so erhält man ein sogenanntes Interferogramm, aus
welchem sich durch die mathematische Operation der
bo Fourier-Transformation die zugehörige Spektralverteilung
der gemessenen Strahlung, und damit bei Einbringung einer Probe in den Interferometerstrahlengang
und Auswertung der mit und ohne Probe erhaltenen Interferogramme, die Spektralverteilung
b5 einer bestimmten optischen Eigenschaft der Probe,
beispielsweise das Absorptions-Spektrum oder der spektrale Verlauf des Brechungsindex der Probe,
ermitteln läßt. Der wesentliche Unterschied gegenüber
der üblichen dispersiven Spektralphotometrie beruht somit darin, daß nach dem eigentlichen Meßvorgang
kein Spektrum, sondern ein Interferogramm vorliegt, das jedoch die eigentlich gewünschte Spektralinformation
in verborgener Form enthält.
Im einzelnen wird etwa bei der bevorzugten Verwendung einer Michelson-Interferometeranordnung
bei der interferometrischen Spektralphotometrie, wie sie etwa in Fig.5 des genannten »Beckman-Report«,
1, 1969 bzw. in den genannten britischen Patentschriften 10 56 566 und 11 03 270 vorgesehen ist,
bei der interferometrischen Spektralphotometrie in der Weise vorgegangen, daß man aufeinanderfolgende
Ablesungen der Intensität des aus dem Interferometer austretenden Ausgangsstrahlbündels im Verlauf der
Vorschubbewegung des »Scanning«- bzw. Abtastspiegels vornimmt, und zwar mit und ohne Probe im
Strahlengang.
Der in das Interferometer eintretende Strahl wird durch eine halbdurchlässige und reflektierende Membran
in zwei Teilstrahlen oder Komponentenstrahlen aufgespalten; der reflektierte und der durchgelassene
Teilstrahl werden durch zwei Spiegel in solcher Weise auf die Membran zurückreflektiert, daß diese Teilstrahlen
oder Komponentenstrahlen wieder zu einem Strahl rekombiniert werden, der dann das Interferometer
verläßt.
Einer dieser Spiegel, der sogenannte »Scanning«- oder Abtastspiegel, ist dabei in Richtung parallel zur
Einfallsrichtung des auf ihn auftreffenden Teilstrahls verstellbar. Bei der Verschiebung dieses Scanning-Spiegels
ändert sich der Gangunterschied zwischen den beiden Teilstrahlen (und zwar ist die Änderung des
Gangunterschieds zwischen den beiden Teilstrahlen für eine bestimmte Verschiebung des Scanning-Spiegels
gleich dem Zweifachen dieser Verschiebung); eine graphische Darstellung der Intensität des aus dem
Interferometer austretenden Strahls in Abhängigkeit von dem Gangunterschied zwischen den beiden
Teilstrahlen wird als sogenanntes Interferogramm bezeichnet. Ein Maß der Spektralverteilung des aus dem
Interferometer austretenden Strahls (d. h. die Darstellung der Energieverteilung der Strahlung in Abhängigkeit
von der Frequenz) läßt sich durch Fourier-Transformation des Interferogramms gewinnen.
Eine Information über die Absorptions-Eigenschaften einer Probe kann man erhalten, indem man ein
Interferogramm mit in den Strahlengang an einer Stelle entweder vor der Aufspaltung oder hinter der
Rekombination eingebrachter Probe aufnimmt und sodann ein weiteres sogenanntes »background«-Interferogramm
ohne Probe zur Ermittlung der Eigenschaften der Hintergrundstrahlung aufzeichnet Aus den
Fourier-Transformationen der beiden lnterferogramme kann der Absorptionskoeffizient für die betreffende
Probe als Funktion der Frequenz über eine gewählte Bandbreite ermittelt werden.
Eine Information über den Brechungsindex einer Probe läßt sich gewinnen, indem man die Probe so
anordnet, daß einer der Teilstrahlen des durch die halbdurchlässige und reflektierende Membran in dem
Michelson-Interferometer aufgespaltenen Strahls bzw. Strahlbündels nur teilweise, nicht zur Gänze durch die
Probe verläuft Ein mit der Probe in dieser Stellung aufgenommenes Interferogramm besitzt zwei Hauptspitzen; aus der Kenntnis des Abstands zwischen diesen
Spitzen und der Dicke der Probe läßt sich der durchschnittliche Brechungsindex über eine bestimmte
Bandbreite der Strahlung berechnen. Um jedoch der Brechungsindex der Probe als Funktion der Frequens
berechnen zu können, müssen zwei weitere lnterferogramme aufgenommen werden, und zwar eines mit dei
Probe im Strahlengang eines Teilstrahls, und das andere ein sogenanntes Hintergrund-Interferogramm, ohne
Probe im Strahlengang.
Den bekannten Verfahren und Vorrichtungen zui interferometrischen Spektralphotometrie haftet somr
ίο der Nachteil an, daß wenigstens zwei, ggf. sogar dre
gesonderte Durchgänge zur Messung der erforderli chen zwei bzw. drei lnterferogramme als Grundlage füi
die Gewinnung des eigentlich gewünschten Spektrum; der betreffenden Probeneigenschaft erforderlich sind
11S was nicht nur mühsam und zeitaufwendig, sondern aucr
meßtechnisch insofern nachteilig ist, als hierdurcl zeitliche Intensitälsschwankungen der Strahlungsquelle
zeitliche Änderungen der Detektorempfindlichkei sowie gegebenenfalls nicht auszuschließende zeitlich«
Änderungen des geometrischen Strahlengangverlaufs ir die Messung eingehen und die Meßgenauigkei
beeinträchtigen. Dies gilt grundsätzlich auch für das aui den eingangs erwähnten britischen Patentschrifter
10 56 566 und 1103 270 bekannte Verfahren, be welchem jeweils in jeder Einstellung der optischer
Wegdifferenz der beiden Teilstrahlen des einziger Meßstrahlenbündels jeweils zwei oder drei Werte (mi
Probe, ohne Probe bzw. mit einer Vergleichssubstanz gemessen und so insgesamt schrittweise zwei oder dre
jo lnterferogramme bestimmt werden, wobei entweder dis Probe und ggfs. eine Vergleichssubstanz abwechselnd ir
den stationären einzigen Meßstrahlengang eingebrach oder bei fest angeordneter Probe (und ggfs. fes
angeordneter Vergleichssubstanz) der einzige Meß strahlengang abwechselnd geometrisch umgeschalte
wird. Auch dieses Verfahren, bei dem jeweils für jede Einstellung der optischen Wegdifferenz zwei bzw. dre
Aufzeichnungen vorgenommen werden müssen, is mühsam und zeitaufwendig und mit Fehlermöglichkei
ten durch zeitliche Schwankungen der Strahlungsquel lenintensität bzw. der Detektorempfindlichkeit bzw
durch nicht genau reproduzierbare geometrische Strahlengangsverläufe behaftet.
Der Erfindung liegt somit als Aufgabe die Schaffung eines Verfahrens zur interferometrischen Spektralana
lyse einer Probeneigenschaft und eines Interferenz Spektralphotometers hierfür zugrunde, das in einen
einzigen Abtast-Durchgang des Interferometers ir einfacher, insbesondere zur automatischen Durchfuhr
rung geeigneter Weise die gleichzeitige Gewinnung eines Interferogramms der Probe und des »Hinter
grund«-Interferogramms mit hoher Meßgenauigkei gewährleistet
Zu diesem Zweck ist bei einem Verfahren dei eingangs genannten Art gemäß der Erfindung vorgese
hen, daß die Interferometeranordnung mit zwei vor einer gemeinsamen Strahlungsquelle abgeleiteter
Strahlenbündeln beaufschlagt wird, wobei die Probe ir den Strahlengang des einen Strahlenbündels einge
bracht wird, daß die beiden Strahlbündel die Interfero
meteranordnung parallel zueinander durchlaufen, ir gleicher Weise in je zwei Teilstrahlen aufgespalten unc
aus diesen wieder rekombiniert werden, daß die beider Strahlbündel mit unterschiedlichen Frequenzen intensi
tätsmoduliert werden und dem gemeinsamen Strah lungsempfänger zugeführt werden, aus dessen Aus
gangssignal die den beiden Strahlbündeln zugeordneter Signalkomponenten durch phasensynchrone Gleich
richtung abgetrennt werden, derart daß in einem einzigen Abtast-Durchgang der Interferometeranordnung
gleichzeitig die Inlerferogramme mit und ohne Probe gewonnen werden.
Indem nach dem Grundgedanken der Erfindung das Interferenz-Spektralphotometer eingangsseitig mit
zwei gesonderten, jedoch von der gleichen Strahlungsquelle abgeleiteten Eingangsstrahlbündeln beaufschlagt
wird, welche das Interferenzspektralphotometer parallel zueinander durchlaufen, als Informationsträger für
zwei Interferogramme dienen und am Ausgang des Interferometers von einem einzigen Strahlungsdetektor
empfangen werden, aus dessen gemeinsamen Ausgangssignal die beiden Interferogramm-Informationen durch
Demodulation getrennt gewonnen werden, wird erfindungsgemäß in einem einzigen Abtast-Durchgang die
gleichzeitige Gewinnung zweier Interferogramme in einfacher, für automatische Auswertung geeigneter
Form und mit hoher Meßgenauigkeit ermöglicht. Zeitliche Schwankungen der Strahlungsquellen-Intensitat
oder der Detektorempfindlichkeit oder geringfügige geometrische Strahlengangsverlagerungen bleiben
beim erfindungsgemäßen Verfahren ohne Auswirkung auf das Meßergebnis. Bei dem erfindungsgemäßen
Verfahren ist zuverlässig gewährleistet, daß für jede jeweilige Einstellung der optischen Weglängendifferenz
die Intensitäten der den beiden Parallel-Strahlbündeln entsprechenden Komponenten der Detektorausgangsgröße
im genau gleichen Zeitpunkt bestimmt werden. Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich insbeson- jo
dere zur spektralphotometrischen Vermessung des Absorptionsvermögens oder des Brechungsindex einer
Probe, wobei in beiden Fällen die erforderlichen Proben- und Hintergrund-Interferogramme in einem
einzigen Abtastvorgang gewonnen werden. Bei Anwendung zur Messung des Absorptionsspektrums sollte die
Probe dabei vorzugsweise an einer vor der Strahlaufspaltung oder an einer nach der Strahlrekombination
gelegenen Stelle in den Strahlengang eines der beiden Parallelstrahlbündels eingebracht werden; zur Bestimmung
des spektralen Verlaufs des Brechungsindex der Probe muß die Probe in den Strahlengang eines der
Teilstrahlen eines der beiden Parallelstrahlbündel eingebracht werden.
Zweistrahlverfahren, bei welchen Licht einer gemeinsamen Strahlungsquelle längs zwei Strahlengängen
gelenkt wird, von welchen der eine als Proben- und der andere als Vergleichs- oder Bezugsstrahlengang dient,
und wobei die beiden Strahlengänge ggfs. auch wieder vereint und einem gemeinsamen Detektor zugeführt
werden, in Verbindung mit unterschiedlicher Modulation der beiden Strahiengänge zur Unterscheidung der
den beiden Strahlengängen zugeordneten Signalkomponenten im gemeinsamen Ausgangssignal eines gemeinsamen
einzigen Strahlungsdetektors, sind in der optischen Meßtechnik und speziell auch in der
herkömmlichen dispersiven Spektralphotometrie an sich bekannt, vgl. beispielsweise »Zeiss-Werkzeitschrift«,
1956, Nr. 21, S. 76 bis 81, »Revue de Physique Applique«, Bd. 1,1966, März, S. 32 bis 36, sowie deutsche
Patentschrift 10 75 856. Der Grundgedanke der vorliegenden
Erfindung, im Rahmen der Interferenz-Spektralphotometrie die Interferometeranordnung eingangsseitig
mit zwei von der gleichen Strahlungsquelle abgeleiteten Eingangsstrahlbündeln zu beaufschlagen, ts
welche die Interferometeranordnung parallel durchsetzen und ohne spektrale Auflösung einem gemeinsamen
Strahlungsdetektor zugeführt sind, wobei aus dem einen Ausgangssignal des gemeinsamen Strahlungsdetektors
zwei gesonderte Interferogramme gewonnen werden können, ist hieraus jedoch nicht bekannt und auch nicht
nahegelegt. Während bei den bekannten Zweistrahlverfahren auf dem Gebiet der herkömmlichen dispersiven
Spektralphotometrie ausgangsseitig jeweils spektral gleichartige Strahlbündel gleichzeitig gemessen und
miteinander verglichen werden, liegen beim erfindungsgemäßen Verfahren ausgangsseitig jeweils nach Intensität
und spektraler Zusammensetzung unterschiedliche Strahlbündel vor, so daß keine einfache Vergleichbarkeit
mit den bekannten Zweistrahlverfahren gegeben ist.
Aus der US-Patentschrift 35 35 024 ist es im Rahmen eines Michelson-Interferometers zur Spektralanalyse
ankommender Strahlung, beispielsweise der Strahlung eines Himmelskörpers bei Beobachtung von einem
Raumfahrzeug aus, bekannt, das Interferometer parallel zu der zu analysierenden Himmelskörperstrahlung von
Strahlung einer hiervon verschiedenen Bezugslichtquel-Ie
durchlaufen zu lassen; das mit einem gesonderten Detektor gemessene Ausgangsstrahlbündel der Bezugslichtquelle
dient dabei nicht zur Gewinnung eines eigenen Interferogramms, sondern als Teil eines
Regelsystems zur Stabilisierung der Interferometeranordnung gegen von dem Trägerfahrzeug auf das
Interferometer ausgeübte Vibrationen und Stöße. Das Ausgangssignal des Bezugsstrahlengangs dient dabei als
Korrektur-Regelsignal zur Verstellung der optischen Wegdifferenz-Einstellvorrichtung zur Kompensation
von durch fahrzeugbedingte Vibrationen und Stöße verursachten Verstellungen.
Der Grundgedanke der vorliegenden Erfindung, zur gleichzeitigen Gewinnung zweier Interferogramme ein
Interferenz-Spektralphotometer mit zwei von der gleichen Lichtquelle herrührenden und auf den gleichen
Detektor arbeitenden Parallelstrahlbündeln zu beaufschlagen, ist hieraus nicht bekannt.
Ähnliches gilt bezüglich der französischen Patentschrift 14 56 634, welche speziell die Durchführung der
Fourier-Transformation für ein herkömmlich erstelltes Interferogramm betrifft und in diesem Zusammenhang
eine ihrerseits optischinterferometrische Anordnung zur Gewinnung der Fourier-Koeffizienten betrifft. Auch
soweit gemäß den F i g. 2 und 3 das Interferometer zur Gewinnung des Interferogramms einerseits und das
Interferometer zur optischen Erzeugung der Fourier-Koeffizienten andererseits zu einer Interferometer-Anordnung
verschmolzen sind, welche von zwei Parallelstrahlbündeln durchlaufen wird, sind bei der bekannten
Anordnung notwendigerweise verschiedene Lichtquellen für die beiden Sirahiengänge vorgesehen, nämlich
die eine Strahlungsquelle, deren Licht untersucht werden soll, und eine weiße Lichtquelle zur interferometrischen
Gewinnung der Fourier-Koeffizienten. Im übrigen werden bei dieser bekannten Anordnung die
beiden Parallelstrahlbündel ausgangsseitig gesonderten Strahlungsdetektoren zugeführt, und zwar notwendigerweise,
weil das Ausgangsstrahlbündel der weißen Lichtquelle bei der bekannten Anordnung anschließend
in einem Dispersions-Spektrographen zerlegt werden muß, zur Gewinnung der erwähnten Fourier-Koeffizienten.
Das Meßverfahren der vorliegenden Erfindung ist auch hieraus nicht bekannt oder nahegelegt
Die Erfindung betrifft auch ein Interferenz-Spektralphotometer zur Durchführung des erfindungsgemäßen
Verfahrens. Ausgehend von einem Interferenz-Spektralphotometer nach dem Stand der Technik etwa
gemäß »Beckman-Report«, I, 1969, S. 3 bis 8, insbesondere
Figur 5 oder Figur 6, oder nach den britischen Patentschriften 10 56 566 oder 11 03 270 kennzeichnet
sich das Interferenz-Spektralphotometer gemäß der vorliegenden Erfindung durch eine Ausbildung der
Strahlerzeugungsvorrichtung zur Erzeugung zweier von der gleichen Lichtquelle abgeleiteter Eingangsstrahlbündel,
welche die Interferometeranordnung parallel zueinander durchlaufen, derart daß beide
Eingangsstrahlbündel in je zwei Teilstrahlen aufgespalten, die beiden Teilstrahlpaare in gleicher Weise zur
Erzeugung gleichartiger einstellbar veränderlicher optischer Wegdifferenzen beeinflußt und beide Teilstrahlenpaare
jeweils wieder zu einem Ausgangsstrahlbündel rekombiniert werden, durch eine Vorrichtung
zur Einbringung der zu untersuchenden Probe in den Strahlengang eines der Strahlbündel, durch eine
Vorrichtung zur Intensitätsmodulation der beiden Strahlbündel mit unterschiedlichen Frequenzen, durch
eine gemeinsame Empfängervorrichtung für die beiden rekombinierten Strahlbündel zur Erzeugung eines der
jeweiligen momentanen Gesamtintensität beider Sirahibünde! proportionalen Ausgangssignais, durch
der Meß- bzw. Registriervorrichtung zugeordnete, auf das gemeinsame Ausgangssignal der Empfängervorrichtung
ansprechende Schaltmittel zur Abtrennung von der jeweiligen Intensität der beiden Strahlbündel
proportionalen Signalkomponenten aus dem gemeinsamen Ausgangssignal, sowie durch Ausbildung der Meß-
bzw. Registriervorrichtung zur gesonderten Aufzeichnung bzw. Registrierung der den beiden Strahlbündeln
entsprechenden Signalkomponenten, derart daß in einem einzigen Abtastdurchgang der Vorrichtung zur
Erzeugung einer einstellbar veränderlichen optischen Wegdifferenz der beiden Teilstrahlpaare gleichzeitig
die Interferogramme mit und ohne Probe gewonnen werden.
Vorzugsweise kann vorgesehen sein, daß die Modulationsvorrichtung zur intensitätsmodulation der beiden
Strahlen so angeordnet ist, daß das Strahlbündel, in dessen Strahlengang die Probe eingebracht wird, vor
seinem Durchtritt durch die Probe moduliert wird. Hierdurch wird jegliche Beeinflussung des betreffenden
Interferogramms durch von der Probe emittierte Strahlung eliminiert.
Die Vorrichtung zur teilweisen Reflexion und die Vorrichtung zur Überlagerung der reflektierten und
durchgelassenen Teilstrahlen können beispielsweise einen Bestandteil eines Mach-Zehnder-lnterferometers
bilden; vorzugsweise sind sie jedoch Bestandteil eines Interferometers vom Michelson-Typ, wobei die Reflektorvorrichtung
den Scanning- oder Vorschubspiegel des Interferometers bildet.
Vorzugsweise weist die Vorrichtung zur Modulation der Strahlungsintensität der beiden Strahlen jeweils
eine Vorrichtung zur periodischen Unterbrechung jedes der beiden Strahlen auf. Vorzugsweise wird diese
Unterbrechung der Strahlen durch periodisches Einbringen und Wiederentfernen eines strahlungsundurchlässigen
Gegenstandes in den betreffenden Strahlengang bewirkt Diese Art der Strahlmodulation gewährleistet,
daß die Eigenschaften der Strahlung in den betreffenden Strahlengängen durch die Modulation
nicht beeinflußt werden, während gleichzeitig die Messung der Amplituden der entsprechenden Komponenten
der Detektorausgangsgröße erleichtert wird.
Als Vorrichtungen zur periodischen Unterbrechung der Strahlen dienen vorzugsweise zwei rotierende
Zerhacker, deren jeder jeweils einen der beiden Strahlen unterbricht und die jeweils mit konstanter
Drehzahl angetrieben sind. Mit einer solchen Anordnung ist es möglich, die Länge jeder Unterbrechung des
betreffenden Strahls sowie die Unterbrechungsfrequenz über lange Zeitperioden mit hohem Genauigkeitsgrad
konstant zu halten. Die Zerhacker können jeweils aus einer Platte mit einer öffnung oder mit einer Anzahl
von in gleichen Abständen und gleicher Erstreckung in
ίο Umfangsrichtung bezüglich der Drehachse angeordneten
öffnungen bestehen. Alternativ kann jeder Zerhakker mehrere in gleichen Abständen und mit gleicher
Erstreckung in Umfangsrichtung bezüglich der Drehachse angeordnete Zerhackerklingen bzw. -Sektoren
aufweisen.
Zum Drehabtrieb der beiden Zerhacker kann ein gemeinsamer Motor vorgesehen sein. Die Zerhacker
können dann jeweils durch den gemeinsamen Motor beispielsweise über eine geeignete Übersetzung angetrieben
werden. Alternativ können zwei Antriebsmotoren, je einer für jeden Zerhacker, vorgesehen sein, die
mit einer Wechselspannung vom gleichen Oszillator beaufschlagt werden, wobei die Frequenzen der
Antriebsspannungen gleich der Oszillatorfrequenz oder gleich einem Bruchteil der Oszillatorfrequenz sein
können.
Nach einer zweckmäßigen Ausgestaltung kann vorgesehen sein, daß das Modulationsaggregat für die
Intensitätsmodulation der beiden Strahlbündel zwei rotierende Zerhacker, deren jeder jeweils einen der
Strahlen bzw. Strahlbündel unterbricht, sowie Vorrichtungen zum Antrieb der beiden Zerhacker mit
konstanter Drehzahl aufweist.
Nach einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung kann vorgesehen sein, daß die Vorrichtung zur
Bestimmung der Amplituden der den beiden Strahlen entsprechenden Komponenten der Detektor-Ausgangsgröße
eine Vorrichtung zur phasenempfindlichen Gleichrichtung der Detektor-Ausgangsgröße mit den
Modulationsfrequenzen der Strahlen mitteis Bezugsschwingungen, die jeweils in Phase mit den Modulationen
der beiden Strahlen sind, sowie Glättschaltungen für die Signale nach der phasenempfindlichen Gleichrichtung
aufweist. Die phasenempfindliche Gleichrichtung mit nachfolgender Glättung ergibt zwei Gleichstromsignale,
deren Amplituden ein Maß der betreffenden, von den beiden Strahlen herrührenden Komponenten
der Detektor-Ausgangsgröße darstellen. Vorzugsweise werden die Bezugsschwingungen nach Maßgabe
so der Ausgangsgrößen von zwei Photozellen erzeugt, die jeweils einem der beiden Strahlen zugeordnet sind und
wobei jeweils das auf die Photozellen auffallende Licht durch die die Intensitätsmodulation der betreffenden
Strahlen bewirkende Modulationsvorrichtung mit der gleichen Frequenz und in konstanter Phasenbeziehung
zur Modulation der betreffenden Strahlen moduliert wird.
Den nach der phasenempfindlichen Gleichrichtung erhaltenen, den beiden Komponenten der Detektorausgangsgröße
entsprechenden Signalen werden im allgemeinen verschiedene Harmonische der betreffenden
Modulationsfrequenz sowie Wechselstromkomponenten mit Frequenzen überlagert sein, welche der Summe
bzw. der Differenz zwischen der einen Modulationsgrundfrequenz und ihren Harmonischen und der
anderen Modulationsgrundfrequenz und ihren Harmonischen entsprechen. Einer der besonderen Vorteile der
erfindungsgemäß vorgesehenen phasenempfindlichen
Gleichrichtung besteht darin, daß die Harmonischen gleicher Ordnung in den den beiden Komponenten der
Detektorausgangsgröße nach der phasenempfindlichen Gleichrichtung entsprechenden Signalen nicht mehr
vorliegen. Die anderweitigen unerwünschten Wechselstromkomponenten können im allgemeinen durch
geeignete Filterschaltungen vor und/oder nach der phasenempfindlichen Gleichrichtung weitgehend eliminiert
werden.
Als Glättungsschaltungen können jeweils Tiefpaßfilier
verwendet werden, deren Grenzfrequenz niedriger als die Frequenz, mit welcher der betreffende Strahl
moduliert ist und auch niedriger als die Differenz zwischen den Modulationsfrequenzen der beiden
Strahlen liegt.
Vorzugsweise können die Modulationsfrequenzen der beiden Parallelstrahlen bzw. -Strahlbündel und der
Empfindlichkeitsbereich des Detektors so gewählt sein, daß die Detektor-Ausgangsgröße für Strahlung, die mit
einer der Differenz zwischen den Modulationsfrequenzen der beiden Parallelstrahlen entsprechenden Frequenz
moduliert ist, klein ist im Vergleich zur Detf ktor-Äusgangsgröße für die gleiche Strahlung bei
Modulation mit einer der Modulationsfrequenzen der beiden Parallelstrahlen. Dies trägt zur Unterdrückung
der Grunddifferenzfrequenz und damit zur Erhöhung der Genauigkeit, mit welcher die Amplituden der den
beiden Strahlen entsprechenden Komponenten der Detektor-Ausgangsgröße gemessen werden können,
bei.
Der Detektor kann vom Golay-Typ sein und einen flexiblen, gasgefüllten Behälter aufweisen, wobei der
Behälter die auf einem Teil seiner Oberfläche auffallende Strahlung absorbiert und ein Wechselstromsignal
erzeugt, das proportional den sich ausbildenden Änderungen der Krümmung eines von dem strahlungsabsorbierenden
Teil verschiedenen Teils der Behälteroberfläche ist. Das Wechselstromsignal kann von einer
Photozelle erzeugt werden, auf welche Licht auffällt, das von dem erwähnten anderen Oberflächenteil des
Detektorbehälters reflektiert wird. Alternativ kann an dem erwähnten anderen Oberflächenteil ein biegsames
Metallteil befestigt sein, oder dieser andere Oberflächenteil aus einem derartigen flexiblen Metallteil
bestehen, das die eine Seite eines Kondensatormikrophons in einer geeigneten Detektorschaltung bildet. Ein
derartiger Detektor kann für Strahlung im Wellenlängenbereich von 5 χ 10-' cm bis 5 χ 10-4 cm verwendet
werden.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele des Verfahrens und der spektroskopischen Vorrichtung
gemäß der Erfindung zur Spektraluntersuchung von Proben anhand der Zeichnung beschrieben; in dieser
zeigt
F i g. 1 eine schematische Teilansicht der Vorrichtung;
F i g. 2 eine Schnittansicht durch die Modulationsvorrichtung für die Strahlen, wobei der Schnitt längs der
Linie X-Xin F i g. 1 gelegt ist;
F i g. 3 ein Blockschaltbild der dem Detektor zugeordneten elektronischen Schaltungen.
F i g. 1 zeigt zwei von der gleichen Strahlungsquelle ausgehende, zueinander parallele Lichtstrahlen bzw.
-Strahlbündel, die über eine Modulationseinheit 1, in welcher sie mit unterschiedlichen Frequenzen zerhackt
werden, einem Michelson-Interferometer 2 zugeführt werden. Die beiden aus dem Interferometer austretenden
Strahlen bzw. Strahlbündel werden auf einen gemeinsamen Detektor fokussiert; mittels geeigneter
elektronischer Schaltungen können die Amplituden der jeweils von den beiden Strahlbündeln erzeugten
Komponenten der Detektor-Ausgangsgröße (die ein Maß für die jeweilige Intensität der auf den Detektor
auftreffenden beiden Strahlen sind) gleichzeitig bestimmt werden. Für Durchlässigkeitsmessungen (Absorptionsmessungen)
wird die Probe in den Strahlengang eines der Strahlbündel vor der Strahlteilung oder
nach der Wiedervereinigung eingebracht; für Messungen des Brechungsindex wird die Probe in den
reflektierten oder durchgelassenen Teilstrahl eines der Strahlbündel eingebracht.
Das Michelson-Interferometer weist — wie üblich — eine halbdurchlässige und reflektierende Membran 3
π auf, die mit ihrer Ebene unter 45° bezüglich der Ebenen
von zwei zueinander rechtwinklig angeordneten Spiegeln 4 und 5 geneigt angeordnet ist. Die beiden
Parallelstrahlen bzw. -Strahlbündel sind so angeordnet, daß sie normalerweise senkrecht auf den Spiegel 4
auffallen. Der sogenannte Scanning- oder Abtastspiegel 5 ist in einer zu seiner Normalen parallelen Richtung mit
einer konstanten Geschwindigkeit mittels einer (nicht dargestellten) Antriebsvorrichtung verstellbar, die so
einstellbar bzw. regelbar ist, daß der Betrag der Verstellgeschwindigkeit des Scanning- bzw. Abtastspiegels
für jede beliebige spezielle Abtastbewegung einstellbar ist.
Die in F i g. 2 dargestellte Modulationseinheit 1 weist einen Kasten 6 auf, in dessen Vorder- und Rückwandung
zwei öffnungen 7 und 8 zum Durchtritt der beiden parallelen Strahlen bzw. Strahlbündel vorgesehen sind.
Die Größe jeder der öffnungen 7 und 8 ist veränderlich, derart, daß die Strahlungsintensität in jedem Strahl bzw.
Strahlbündel variiert werden kann. In dem Kasten 6 sind zwei drehbare Organe 9 und 10 angeordnet, die aus drei
bzw. vier sich nach außen erstreckenden Schaufeln bzw. Blendensektoren bestehen. Die Organe 9 bzw. 10 sind so
angeordnet, daß sie bei ihrer Rotation jeweils periodisch einen der beiden Parallelstrahlen bzw. -Strahlbündel
unterbrechen. Die Kanten der Blendensektoren jedes der beiden Blendenorgane verlaufen in radialen, zur
Drehachse der betreffenden Blende senkrechten Richtungen und sind in Umfangsrichtung bezüglich der
Drehachse mit gleichen Winkelabständen angeordnet.
Die beiden Zerhackerblenden 9 und 10 werden von Motoren 11 bzw. 12, die jeweils von dem gleichen
Oszillator angetrieben bzw. gesteuert sind, mit der gleichen Drehzahl angetrieben. Wegen der unterschiedlichen
Anzahl von Blendensektoren ergeben sich trotz der gleichen Antriebsdrehzahl der beiden Zerhackerblenden
9 und 10 unterschiedliche Unterbrecher- bzw. Zerhackerfrequenzen für die Lichtstrahlen.
In dem Kasten 6 sind ferner auch zwei (nur schematisch angedeutete) Photozellen-Aggregate 13
und 14 angeordnet, die jeweils aus einer Photozelle und einer Lichtquelle in solcher Anordnung bestehen, daß
die Sektoren der Zerhackerblenden 9 und 10 bei ihrer Drehung das auf die Photozellen auffallende Licht
unterbrechen. Das auf die Photozellen auffallende Licht wird dabei jeweils für die gleiche Zeitdauer und mit der
gleichen Frequenz wie der zugehörige Strahl und damit in einer konstanten Phasenbeziehung mit der Strahlmodulation
unterbrochen. Die Photozellen-Aggregate 13 und 14 sind in horizontaler Richtung verschiebbar, um
die Phase der Unterbrechungen der jeweiligen Photozelle bezüglich der Phase der Unterbrechungen des
zugehörigen Strahls bzw. Strahlbündels einstellen zu können. Die Ausgangsgrößen der Photozellen dienen
zur phasenempFindlichen Gleichrichtung der Ausgangsgröße
des Detektors.
Als Strahlungsdetektor dient ein Golay-Detektor 15.
Der Umstand, daß das Ansprechverhalten des Golay-Detektors von der Frequenz einer Intensitätsänderung
der auf ihn auffallenden Strahlung abhängig ist, bedeutet eine Einschränkung hinsichtlich der Wahl der Modulationsfrequenzen
für die Strahlmodulation. Für die spezielle beschriebene Vorrichtung haben sich Modulationsfrequenzen
von 10 Hz für den einen Strahl und
15 Hz für den anderen Strahl sowie 10,5 Hz für den einen Strahl und 13 Hz für den anderen Strahl als
zufriedenstellend erwiesen.
Wie im einzelnen aus Fig.3 ersichtlich, wird die
Ausgangsgröße des Golay-Detektors 15 in zwei Teile aufgespalten, die jeweils getrennten Signalpfaden
zugeleitet werden. Mit Hilfe der in jedem dieser Signalpfade bzw. -kanäle vorgesehenen elektronischen
Schaltungen kann jeweils die Amplitude einer Komponente der Detektor-Ausgangsgröße bestimmt werden.
Im einzelnen werden die beiden Teile der Ausgangsgröße
des Golay-Detektors jeweils einem Bandpaßfilter
16 bzw. 17 zugeführt, die jeweils Frequenzen gleich der jeweiligen Grundfrequenz des betreffenden Signals
durchlassen, hingegen Frequenzen gleich oder größer als die dritte Harmonische des betreffenden Signals
unterdrücken. Die Bandpaßfilter 16 bzw. 17 unterdrükken ferner auch einen gewissen Teil der den
Komponenten der Detektorausgangsgröße zugeordneten Summen- und Differenzfrequenzen.
Die Ausgangsgrößen der Bandpaßfilter 16 bzw. 17 werden über Verstärker 18 bzw. 19 phasenempfindlichen
Gleichrichtern 20 bzw. 21 zugeführt, wo sie nach Maßgabe der Ausgangsgrößen der Photozellen 13 bzw.
14 phasenempfindlich gleichgerichtet werden. Im praktischen Betrieb werden die Photozellen-Aggregate
anfänglich zunächst horizontal so lange verschoben, unter gleichzeitiger Änderung der Phasen der Modulationen
der Photozellen-Ausgangsgrößen bezüglich der Phasen der Unterbrechung der betreffenden Strahlen,
bis die Ausgangsgrößen der phasenempfindlichen Detektoren 20 bzw. 21 ein Maximum zeigen.
Die Ausgangsgrößen der phasenempfindlichen Gleichrichter 20 und 21 werden zur Glättung Tiefpaßfiltern
22 bzw. 23 zugeführt. Unter Zugrundelegung der oben erwähnten speziellen Modulationsfrequenzen
können die Filter beispielsweise eine Grenzfrequenz von 1 Hz besitzen, d. h. daß sje Frequenzen unterhalb
1 Hz durchlassen. Die Ausgangsgrößen der Tiefpaßfilter 22 und 23 stellen jeweils Gleichstromsignale dar,
deren Amplitude ein Maß der Amplitude derjenigen Komponenten der Detektor-Ausgangsgröße darstellt,
die von dem betreffenden zugeordneten, auf den Detektor auffallenden Strahl herrührt.
Der Golay-Detektor und die Bauteile in den beiden Signalkanälen in welchen die Detektor-Ausgangsgröße
aufgeteilt wird, sind so ausgebildet und angeordnet, daß die Ausgangsgrößen der beiden Signalkanäle in linearer
Beziehung zu der Intensität des entsprechenden auf den Detektor auffallenden Lichtstrahls bzw. -Strahlbündels
stehen.
Die Differenzfrequenz, die normalerweise die größte Amplitude hätte, d. h. die Differenzfrequenz zwischen
den beiden Grundfrequenzen, mit welchen die Strahlen moduliert sind, kann bis zu einem gewissen Grad durch
eine geeignete Wahl der Modulationsfrequenzen durch den Golay-Detektor selbst reduziert werden. Bei
Verwendung der erwähnten Modulationsfreauenzen von 10 Hz und 15 Hz oder 10,5 Hz und 13 Hz wird die
jeweilige Grunddifferenz-Frequenz von 5 Hz bzw. 2,5 Hz durch den Detektor reduziert, da die Ausgangsgröße
des Detektors für mit einer Frequenz von 5 Hz und 23 Hz modulierte Strahlung klein im Vergleich zu
seiner Ausgangsgröße für die gleiche Strahlung bei Modulation mit Frequenzen von 10 Hz bis 15 Hz ist
Die geglätteten Signale werden schließlich über eine logische Kontrollschaltung 24 einem Analog-Digital-Konverter
23 zugeführt, und die so gewonnene Digital-Informa.ion kann auf Papierstreifen oder
Magnetband registriert oder in dem Konverter gespeichert werden.
Die Betriebs- und Arbeitsweise der Vorrichtung ist wie folgt: Nach Einbringen der Probe in den
Strahlengang eines der Strahlen bzw. Strahlbündel vor dessen Strahlteilung bzw. nach der Rekombination oder
in den Strahlengang eines der Teilstrahlen eines der beiden Hauptstrahlen, wird der Scanning- bzw. Abtastspiegel
des Michelson-Interferometers in bekannter Weise mit einer konstanten Geschwindigkeit verschoben,
und es werden aufeinanderfolgend Ablesungen der von den beiden Tiefpaßfiltern durchgelassenen Signale
jeweils gleichzeitig und in gleichen Zeitabständen im Verlauf der Abtastbewegung des Scanning-Spiegels
vorgenommen. Jede dieser Ablesungen wird kurzzeitig gespeichert, wobei die logische Kontrollschaltung den-Analog-Digital-Konverter
zunächst die dem einer Strahl zugeordnete Ablesung und sodann die (gleichzeitige)
zu dem anderen Strahl gehörige Ablesung zuführt Alternativ können jeweils paarweise aufeinanderfolgen
de Ablesungen der Ausgangsgröße der Tiefpaßfilter in Verlauf der Vorschubbewegung des Scanning-Spiegel·
um gleiche Abstände in aufeinanderfolgende Vorschub Stellungen vorgenommen werden.
Aus den so erhaltenen Interferogrammen kann mi Hilfe eines geeigneten Computers die gewünscht«
Information über die Durchlässigkeit und/oder dei Brechungsindex einer Probe gewonnen werden.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (11)
1. Verfahren zur interferometrischen Spektralanalyse
einer optischen Eigenschaft, insbesondere der Absorption oder des Brechungsindex, einer Probe
mittels einer Interferometeranordnung, bei welchem
ein von einer Strahlungsquelle erzeugtes, Strahlung verschiedener Wellenlängen, vorzugsweise eine
Kontinuumstrahlung, enthaltendes Meßstrahlbündel in zwei Teilstrahlen aufgespaltet, die beiden
Teilstrahlen nach Durchlaufen gesonderter Strahlengänge mit einstellbar veränderlicher optischer
Wegdifferenz rekombiniert und in Überlagerung einem Strahlungsempfänger zur Erzeugung eines
der Intensität der auffallenden Gesamtstrahlung proportionalen Signals zugeführt werden, wobei die
zu untersuchende Probe je nach der zu analysierenden Eigenschaft in den Meßstrahlengang an einer
Stelle vor der Aufteilung in die beiden Teilstrahlen, oder nach der Rekombination der beiden Teilstrahlen,
oder in einen der beiden Teilstrahlen eingebracht wird und durch Aufzeichnung des Ausgangssignals
für verschiedene optische Wegdifferenzen der beiden Teilstrahlen ein Interferogramm erzeugt
und aus den Interferogrammen mit und ohne Probe 2·;
durch Fourier-Transformation die Spektralanalyse der betreffenden Eigenschaft der Probe gewonnen
wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Interferometeranordnung mit zwei von einer gemeinsamen
Strahlungsquelle abgeleiteten Strahl- jo bündeln beaufschlagt wird, wobei die Probe in den
Strahlengang des einen Strahlbündels eingebracht wird, daß die beiden Strahibündel die Interferometeranordnung
parallel zueinander durchlaufen, in gleicher Weise in je zwei Teilstrahlen aufgespalten )5
und aus diesen wieder rekombiniert werden, daß die beiden Strahlbündel mit unterschiedlichen Frequenzen
intensitätsmoduliert werden und dem gemeinsamen Strahlungsempfänger zugeführt werden, aus
dessen Ausgangssignal die den beiden Sirahlbündeln zugeordneten Signalkomponenten durch phasensynchrone
Gleichrichtung abgetrennt werden, derart daß in einem einzigen Abtast-Durchgang der
Interferometeranordnung gleichzeitig die Interferogramme mit und ohne Probe gewonnen werden.
2. Interferenz-Spektralphotometer zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, mit einer
Strahlung verschiedener Wellenlängen, vorzugsweise Kontinuumsstrahlung, in dem interessierenden
Wellenlängenbereich emittierenden Strahlungsquel- w Ie, mit einer von der Strahlungsquelle beaufschlagten
Strahlerzeugungsvorrichtung zur Erzeugung eines Eingangsstrahlbündels, mit einer Vorrichtung zur
Aufspaltung des Eingangsstrahlbündels in zwei Teilstrahlen, mit einer Vorrichtung zur Erzeugung
einer einstellbar veränderlichen optischen Wegdifferenz der beiden Teilstrahlen, mit einer Vorrichtung
zur Rekombination der beiden Teilstrahlen, mit einer Vorrichtung zur Einbringung der zu untersuchenden
Probe in den Strahlengang an einer vor der Aufspaltung, nach der Rekombination, bzw. in einem
der Teilstrahlengänge gelegenen Stelle, mit einer Empfängervorrichtung für das rekombinierte Ausgangsstrahlbündel
zur Erzeugung eines dessen Intensität proportionalen Ausgangssignals, sowie ^
mit einer auf dieses Ausgangssignal ansprechenden Meß- bzw. Registriervorrichtung zur Aufzeichnung
eines Interferogramms in Abhängigkeit von einem Abtastvorgang der Vorrichtung zur einstellbaren
Veränderung der optischen Wegdifferenz der beiden Teilstrahlen, gekennzeichnet durch eine
Ausbildung der Strahlerzeugungsvorrichtung zur Erzeugung zweier von der gleichen Lichtquelle
abgeleiteter Eingangsstrahlbündel, welche die Interferometeranordnung parallel zueinander durchlaufen,
derart daß beide Eingangsstrahlbündel in je zwei Teilstrahlen aufgespalten, die beiden Teilstrahlpaare
in gleicher Weise zur Erzeugung gleichartiger einstellbar veränderlicher optischer Wegdifferenzen
beeinflußt und beide Teilstrahlenpaare jeweils wieder zu einem Ausgangsstrahlbündel rekombiniert
werden, durch eine Vorrichtung zur Einbringung der zu untersuchenden Probe in den Strahlengang
eines der Strahlbündel, durch eine Vorrichtung zur Intensitätsmodulation der beiden Strahlbündel
mit unterschiedlichen Frequenzen, durch eine gemeinsame Ernpfängervorrichtung für die beiden
rekombinierten Strahfbündel zur Erzeugung eines der jeweiligen momentanen Gesamtintensität beider
Strahlbündel proportionalen Ausgangssignals, durch der Meß- bzw. Registriervorrichtung zugeordnete,
auf das gemeinsame Ausgangssignal der Empfängervorrichtung ansprechende Schaltmittel zur Abtrennung
von der jeweiligen Intensität der beiden Strahlbündel proportionalen Signalkomponenten
aus dem gemeinsamen Ausgangssignal, sowie durch Ausbildung der Meß- bzw. Registriervorrichtung zur
gesonderten Aufzeichnung bzw. Registrierung der den beiden Strahlbündeln entsprechenden Signalkomponenten,
derart daß in einem einzigen Abtastdurchgang der Vorrichtung zur Erzeugung einer einstellbar veränderlichen optischen Wegdifferenz
der beiden Teilstrahlpaare gleichzeitig die Interferogramme mit und ohne Probe gewonnen
werden.
3. Interferenz-Spektralphotometer nach Anspruch 2, in Ausbildung als Michelson-Interferometer,
dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung zur Aufspaltung der von der Strahlerzeugungsvorrich'.urig
gelieferten beiden Parallel-Eingangsstrahlbündel in die beiden Teilstrahlpaare und zur
Rekombination dieser beiden Teilstrahlpaare zu den beiden Ausgangsstrahlbündeln einen teildurchlässigen,
teilreflektierenden Strahlenteiler aufweist, welcher die beiden auffalllenden Eingangsstrahlbündel
jeweils in einen teilweise reflektierten und einen teilweise durchgelassenen Teilstrahl aufspaltet und
die beiden Teilstrahlpaare nach Reflexion der einen bzw. anderen Teilstrahlen jedes Teilstrahlpaars an je
einem Reflektor (4, 5) durch Überlagerung zu den beiden Ausgangsstrahlbündeln rekombiniert, und
daß die Vorrichtung zur Erzeugung jeweils gleicher, einstellbar veränderlicher optischer Wegdifferenzen
zwischen den beiden Teilstrahlen jedes Teilstrahlpaars die beiden Reflektoren (4,5) des Michelson-Interferometers
umfaßt, von welchen wenigstens der eine (5) in Richtung parallel zur Einfallsrichtung der
auf ihn auffallenden einen Teilstrahlen der beiden Teilstrahlpaare verschieblich angeordnet ist.
4. Interferenz-Spektralphotometer nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die
Vorrichtung zur Erzeugung gleicher, einstellbar veränderlicher optischer Wegdifferenzen zwischen
den beiden Teilstrahlen jedes Teilstrahlpaars wenigstens einen Teil eines Michelson-Interferometers
aufweist, dessen Scanning- bzw. Abtastspiegel (5)
einen verschiebbaren gemeinsamen Reflektor für die einen Teilstrahlen der beiden Teilstrahlpaare
bildet.
5. Interferenz-Spektralphotometer nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 4, dadurch
gekennzeichnet, daß die Modulatioiisvorrichtung (1,
Fig. 1) jeweils einen rotierenden Zerhacker (9, 10)
für jedes der beiden Parallelstrahlbündel aufweist
6. Interferenz-Spektralphotometer nach Anspruch S, dadurch gekennzeichnet, daß die den
beiden Parallelstrahlbündeln zugeordneten Zerhakker nach Anzahl oder Form unterschiedliche
Zerhackerblenden aufweisen und von einem Motor mit konstanter Drehzahl angetrieben sind.
7. Interferenz-Spektralphotometer nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 6, dadurch
gekennzeichnet, daß die auf das Ausgangssignal des gemeinsamen Strahlungsdetektors (15) ansprechenden
Schaltmittel zur Abtrennung der den Intensitäten der beiden Ausgangsstrahlbündel proportionalen
Signalkomponenten jeweils einen auf die Modulationsfrequenzen der beiden Strahlbündel
abgestimmten Phasensynchrondetektor (20 bzw. 21, Fig.3) sowie Glättungsschaltungen (22 bzw. 23)
aufweisen, welchen die betreffenden Signalkomponenten nach der phasensynchronen Demodulation
zugeführt sind.
8. interferenz-Spektralphotometer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Glättungsschaltungen
jeweils ein Tiefpaßfilter (22 bzw. 23) aufweisen, dessen Grenzfrequenz unter der
Modulationsfrequenz des zugeordneten Strahlbündels liegt und auch kleiner als die Differenz zwischen
den Modulationsfrequenzen der beiden Parallelstrahlbündel ist.
9. Interferenz-Spektralphotometer nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Modulationsvorrichtung
eine Vorrichtung (11, 12, Fig. 1) zur Erzeugung von Phasenbezugssignalen für die
phasensynchrone Demodulation zugeordnet ist.
10. Interferenz-Spektraiphotometer nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 9, dadurch
gekennzeichnet, daß die auf das Ausgangssignal des gemeinsamen Strahlungsdetektors (15) ansprechenden
Schaltmittel zur Abtrennung der der Intensität der beiden Parallelstrahlen entsprechenden Signalkomponenten
je ein Bandpaßfilter (16 bzw. 17) mit einem Durchlaßband entsprechend der jjweiligen
Modulationsfrequenz des zugeordneten Parallelstrahlbündels aufweisen.
11. Interferenz-Spektralphotometer nach einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis 10, dadurch
gekennzeichnet, daß die den jeweiligen Intensitäten der beiden Ausgangsstrahlbündeln entsprechenden
Signalkomponenten über eine Logikschaltung (24) einem Analog-Digital-Wandler zur Gewinnung und
gegebenenfalls Aufzeichnung der beiden Interferogramme zugeführt sind.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB5097570A GB1383639A (en) | 1970-10-27 | 1970-10-27 | Interference spectoscopy |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2153315A1 DE2153315A1 (de) | 1972-06-29 |
DE2153315B2 DE2153315B2 (de) | 1979-06-07 |
DE2153315C3 true DE2153315C3 (de) | 1980-02-14 |
Family
ID=10458149
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2153315A Expired DE2153315C3 (de) | 1970-10-27 | 1971-10-26 | Verfahren zur interferometnschen Spektralanalyse einer optischen Eigenschaft einer Probe, sowie Interferenz· Spektralphotometer hierfür |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3753619A (de) |
JP (1) | JPS5127396B1 (de) |
CA (1) | CA939528A (de) |
DE (1) | DE2153315C3 (de) |
FR (1) | FR2111850B1 (de) |
GB (1) | GB1383639A (de) |
IT (1) | IT939127B (de) |
SE (1) | SE392344B (de) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2306091C3 (de) * | 1973-02-08 | 1975-10-30 | Hewlett-Packard Gmbh, 7030 Boeblingen | Interferenz-Refraktometer |
US3972618A (en) * | 1974-11-18 | 1976-08-03 | Uti-Spectrotherm Corporation | Interferometer for testing materials of different sizes |
FR2300999A1 (fr) * | 1975-02-11 | 1976-09-10 | Anvar | Spectrometre double faisceau |
US4009962A (en) * | 1975-10-03 | 1977-03-01 | Sun Oil Company Of Pennsylvania | Emission spectroscopic system having compensation for background radiation |
JPS5323776U (de) * | 1976-08-06 | 1978-02-28 | ||
US4128337A (en) * | 1977-06-13 | 1978-12-05 | Visidyne, Inc. | Method of and apparatus for interferometric background suppression |
US4183669A (en) * | 1977-09-06 | 1980-01-15 | Laser Precision Corporartion | Dual beam Fourier spectrometer |
US4511986A (en) * | 1982-08-30 | 1985-04-16 | International Business Machines | Method and apparatus for simultaneously recording multiple FT-IR signals |
DE3244783A1 (de) * | 1982-12-03 | 1984-06-07 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Verfahren und vorrichtung zur messung der brechzahl von fluessigkeiten und gasen |
DE3585758D1 (en) * | 1984-07-18 | 1992-05-07 | Philips Nv | Interferometer. |
DE3541165A1 (de) * | 1985-11-21 | 1987-05-27 | Hellige Gmbh | Vorrichtung zur kontinuierlichen bestimmung von konzentrationsaenderungen in stoffgemischen |
US4999010A (en) * | 1989-07-31 | 1991-03-12 | Mattson Instruments, Inc. | Dual beam optical nulling interferometric spectrometer |
US5196903A (en) * | 1990-03-29 | 1993-03-23 | Jeol Ltd. | Pulsed light source spectrometer with interferometer |
EP0458601B1 (de) * | 1990-05-22 | 1996-08-28 | Research Development Corporation Of Japan | Verfahren und Apparat zur Messung spektraler Absorption in undurchsichtigem Material und Verfahren und Apparat zur Messung einer Verteilung mikroskopischer Absorption |
US5170223A (en) * | 1990-12-03 | 1992-12-08 | Advanced Fuel Research, Inc. | Device for blocking of divergent radiation, as in spectroscopy and instrument and method utilizing same |
EP0767361B1 (de) * | 1993-07-22 | 2000-02-23 | Applied Spectral Imaging Ltd. | Verfahren und Vorrichtung zur Spektralen Bilderfassung |
US6088100A (en) * | 1997-07-14 | 2000-07-11 | Massachusetts Institute Of Technology | Three-dimensional light absorption spectroscopic imaging |
US7079252B1 (en) * | 2000-06-01 | 2006-07-18 | Lifescan, Inc. | Dual beam FTIR methods and devices for use in analyte detection in samples of low transmissivity |
US7268881B2 (en) * | 2004-02-17 | 2007-09-11 | The Curators Of The University Of Missouri | Light scattering detector |
US7903252B2 (en) * | 2005-01-13 | 2011-03-08 | The Curators Of The University Of Missouri | Noise cancellation in fourier transform spectrophotometry |
WO2009152321A1 (en) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | The Curators Of The University Of Missouri | Liquid chromatography detector and flow controller therefor |
CN101905800B (zh) * | 2009-06-08 | 2014-11-12 | 花王株式会社 | 物品搬送装置 |
FR3030043B1 (fr) * | 2014-12-12 | 2017-12-22 | Commissariat Energie Atomique | Procede d'etude d'une zone d'un objet pour en determiner une epaisseur massique et une composition en utilisant un faisceau d'electrons et des mesures d'intensite d'un rayonnement x |
JP7226243B2 (ja) * | 2019-10-29 | 2023-02-21 | 横河電機株式会社 | フーリエ分光分析装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB595940A (en) * | 1945-07-10 | 1947-12-23 | Tor Stuland | Method and apparatus for counting or examining optical interference rings or lines |
GB1056566A (en) * | 1964-02-26 | 1967-01-25 | Parsons & Co Sir Howard G | Optical interferometers |
GB1103270A (en) * | 1965-06-10 | 1968-02-14 | Parsons & Co Sir Howard G | Improvements in and relating to optical interferometers |
FR1456634A (fr) * | 1965-07-27 | 1966-07-08 | Centre Nat Rech Scient | Perfectionnements apportés aux moyens pour calculer la transformée de fourier d'une fonction |
US3521958A (en) * | 1969-01-30 | 1970-07-28 | Kettering Scient Research Inc | Rapid scanning spectrophotometer |
-
1970
- 1970-10-27 GB GB5097570A patent/GB1383639A/en not_active Expired
-
1971
- 1971-10-21 FR FR7137882A patent/FR2111850B1/fr not_active Expired
- 1971-10-25 CA CA125,977A patent/CA939528A/en not_active Expired
- 1971-10-26 US US00192598A patent/US3753619A/en not_active Expired - Lifetime
- 1971-10-26 DE DE2153315A patent/DE2153315C3/de not_active Expired
- 1971-10-27 IT IT30409/71A patent/IT939127B/it active
- 1971-10-27 JP JP46084767A patent/JPS5127396B1/ja active Pending
- 1971-10-27 SE SE7113663A patent/SE392344B/xx unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA939528A (en) | 1974-01-08 |
US3753619A (en) | 1973-08-21 |
GB1383639A (en) | 1974-02-12 |
SE392344B (sv) | 1977-03-21 |
DE2153315B2 (de) | 1979-06-07 |
JPS5127396B1 (de) | 1976-08-12 |
FR2111850A1 (de) | 1972-06-09 |
IT939127B (it) | 1973-02-10 |
DE2153315A1 (de) | 1972-06-29 |
FR2111850B1 (de) | 1974-09-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2153315C3 (de) | Verfahren zur interferometnschen Spektralanalyse einer optischen Eigenschaft einer Probe, sowie Interferenz· Spektralphotometer hierfür | |
EP0098423B1 (de) | Gitterspektrometer | |
DE2350004A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum messen des anteils einer komponente eines strahlungsdurchlaessigen stoffgemisches | |
EP0076356A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Konzentration einer IR-, NDIR-, VIS- oder UV-Strahlung absorbierenden Komponente eines Komponentengemischs | |
DE2340862A1 (de) | Interferometrische uebertragung periodischer spektren | |
DE2452500B2 (de) | Derivativspektrometer | |
DE2525788A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur spektroskopischen bestimmung der temperatur von gasen | |
EP0195039A1 (de) | Messanordnung zur analyse elektromagnetischer strahlung. | |
DE19933290A1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur optischen Spektroskopie | |
DE2550561A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur messung der anzahl der wellen einer optischen strahlung | |
DE1472207B2 (de) | Vorrichtung zur Messung des zirkulären Dichroismus | |
DE2405369C2 (de) | Vorrichtung zur Strahlungsanalyse durch Interferenzspektrometrie | |
DE2623857A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur spektroskopischen temperaturmessung | |
DE4428600A1 (de) | Zeitaufgelöste optische Fouriertransform-Spektroskopie | |
DE2948590C2 (de) | Vorrichtung zur Absorptionsmessung von Gasgemischen | |
DE60301764T2 (de) | Gerät und Verfahren zum Nachweis von Zirkulardichroismus im Infrarotbereich | |
DE1497549C3 (de) | ||
DE1472144A1 (de) | Spektralphotometer | |
DE3542161C2 (de) | ||
DE102019203562B4 (de) | Verfahren zur Ermittlung einer Korrekturgrößenfunktion und Verfahren zur Erzeugung eines frequenzkorrigierten Hyperspektralbildes | |
EP3792606A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur nichtlinearen spektroskopie an einer probe | |
DE3322713A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur laufenden messung des rollwinkels eines beweglichen maschinenteiles | |
DE3938841A1 (de) | Fotografisches farbkopiergeraet und verfahren zur analyse einer vorlage | |
DD287098A5 (de) | Mehrkanal-fourier-spektrometeranordnung | |
DE2939733A1 (de) | Fotometer zur gaskonzentrationsmessung |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |