DE3244783A1 - Verfahren und vorrichtung zur messung der brechzahl von fluessigkeiten und gasen - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur messung der brechzahl von fluessigkeiten und gasen

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DE3244783A1 DE19823244783 DE3244783A DE3244783A1 DE 3244783 A1 DE3244783 A1 DE 3244783A1 DE 19823244783 DE19823244783 DE 19823244783 DE 3244783 A DE3244783 A DE 3244783A DE 3244783 A1 DE3244783 A1 DE 3244783A1
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    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/17Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
    • G01N21/41Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length
    • G01N21/45Refractivity; Phase-affecting properties, e.g. optical path length using interferometric methods; using Schlieren methods

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Description

  • Verfahren und Vorrichtung zur Messung der
  • Brechzahl von Flüssigkeiten und Gasen Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Brechzahl von Flüssigkeiten und Gasen Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung der Brechzahl einer Flüssigkeit oder eines Gases mit Hilfe von Interferenzen, die durch parallele Grenzflächen der Flüssigkeit oder des Gases erzeugt werden.
  • Geräte zur Messung der Brechzahl von Flüssigkeiten und Gasen sind seit vielen Jahrzehnten bekannt und in der Literatur an zahlreichen Stellen beschrieben (z.B. Kohlrausch, Praktische Physik oder ABC der Optik). In vielen Fällen werden dabei Interferenzerscheinungen ausgenutzt.
  • Bekannt sind Zweistrahleninterferometer zur Messung der Brechzahlen von Flüssigkeiten oder Gasen, welche die Brechzahlmessung auf den Vergleich der optischen Weglängen in zwei geometrisch gleichen, voneinander getrennten Zellen zurückführen. In der einen Zelle befindet sich die zu untersuchende Substanz, in der anderen eine Substanz mit bekannter Brechzahl oder Vakuum.
  • In den meisten derartigen Interferometern werden zwei Streifensysteme durch zwei getrennte aber gleichartige Strahlengänge erzeugt, von denen der eine nicht durch das Messobjekt geht und desholb während der Messung unverändert bleibt und damit als Ableseindex für das andere Streifensystem dient, das sich bei der Messung ändert. Interferometer mit zwei Streifensystemen haben den Vorteil, daß sie weitgehend unempfindlich gegen Temperatureinflüsse und mechanische Deformationen des Gerätes sind.
  • Die Ermittlung der Brechzahl erfolgt, indem die Auswanderung des Streifensystems entweder an einer vorgesehenen Skala abgelesen wird oder indem die Streifen durch einen optischen Kompensator im Strahlengang der Meßzelle wieder in die Nullstellung geschoben werden, wobei die Verschiebegröße den Meßwert ergibt.
  • Aus der DBP 10 22 032 ist ein Interferometer bekannt, bei dem jedem Streifensystem eine verschiebbare Meßmarke zugeordnet ist, wobei die Meßmorken miteinander gekuppelt sind. Wenn die Marke im Vergleichsstreifensystem auf Null eingestellt wird, dann wird die Marke im Meßstreifensystem automatisch um den gleichen Betrag verstellt. Zur automatischen Messung wird die Meßmarke im auswandernden Streifensystem durch einen oder mehrere Spalten ersetzt. Durch diese Spolte fällt Licht auf eine Photozelle. Wandert das Meßstreifensystem aus der Nullstellung aus, dann wird durch das von der Photozelle erzeugte Signal über einen Motor ein im eßstrahlengong befindlicher Kompensator so weit verstellt, bis das auswandernde Streifensystem in seine Nullstellung zurückgekehrt ist.
  • Eine öhnliche Anordnung für ein automatisch messendes Interferometer mit zwei Streifensystemen ist in der DE-OS 25 07 183 beschrieben.
  • In der DE-PS 23 06 091 ist ein Interferenz-Refraktometer beschrieben, bei der Meß- und Referenzzelle als getrennte Fabry-Perot-Interferometer ausgebildet sind, deren Längen mit Hilfe einer gemeinsamen, elektrostriktiven Einrichtung periodisch verändert werden. Beide Zellen hoben kugelförmig gekrümmte Interferenzspiegel mit hohem Reflexionsvermögen, so daß das eingestrahlte Licht erst nach sehr vielen Reflexionen wieder austritt. Beim Durchfahren des Bereiches der elektrostriktiven Einrichtung treten bei monochromatischem Licht scharf begrenzte Resonanzdurchlössigkeiten auf, welche deutlich gegen vergleichsweise breite Bereiche abgegrenzt sind, in denen die Zellen lichtundurchlässig sind. Gelangt ein Medium mit geändertem Brechungsindex in die Meßzelle so verschieben sich über die Änderung der optischen Weglänge die Resononzfrequenzen der Meßzelle gegenüber den Resonanzfrequenzen der Referenzzelle; die Größe der Verschiebung ist ein Maß für die Änderung des Brechungsindex. Störeinflüsse, welche in gleicher Weise die Resonanzfrequenzen beider Zellen ändern, gehen nicht in die Messung ein.
  • Bei den bisher aufgeführten Geräten ist die Bestimmung der Brechzahl in Abhängigkeit von der Wellenlänge - wenn sie überhaupt möglich ist - nur durch Einzelmessungen bei verschiedenen Wellenlängen möglich und daher sehr umständlich und zeitraubend.
  • Aus der DE-PS 21 53 315 ist ein Verfahren und ein Interferenz-Spektralphotometer bekannt, mit dem der spektrale Verlauf des Brechungsindex oder der Durchlässigkeit einer Probe bestimmt werden kann. Dabei wird das von einem Kontinumusstrahler ausgehende Lichtbündel in zwei Teilstrahlbündel aufgeteilt, die mit unterschiedlichen Frequenzen intensitätsmoduliert werden, eine Interferometeranordnung parallel zueinander durchlaufen, in dieser in je zwei Teilstrahlen aufgespalten und anschließend wieder vereinigt und einem gemeinsamen Strahlungsempfänger zugeführt werden. Die Interferometeronordnung enthölt in bekannter Weise einen Scanningspiegel zur einstellbaren Veränderung der optischen egdifferenzen des einen Interferometerzweiges und liefert aus der Auswertung des Empfängersignales infolge der zwei Teilstrahlbündel gleichzeitig das Proben- und das Hintergrund-Interferogramm, aus denen mit Hilfe eines geeigneten Rechners der spektrale Verlauf des Brechungsindex oder der Durchlässigkeit der Probe gewonnen wird.
  • Praktische Anwendungen dieses Gerätes zur Brechzahlmessung sind nicht bekannt geworden, was nicht verwunderlich ist, weil die Dispersion in dem für dos Gerät angegebenem Spektralbereich von 5 bis 500 pm nicht besonders interessant ist. Außerdem eignet sich das Gerät auch nicht für Messungen bei starker Absorption.
  • Schließlich ist aus der Literatur bekannt, die Brechzahl aus den Interferenzüberlagerungen bei Transmissions- oder Reflexionsspektren zu bestimmen. Meist wird in der Spektroskopie bei bekannter Brechzahl aus den Interferenzüberlagerungen die genaue Schichtdicke bestimmt. Es sind jedoch auch Arbeiten bekannt, in denen bei bekannter Schichtdicke die Brechzahl bestimmt wird. So hoben z.B. D.H.Rank u.M. (J.o.t.Optical Society o.America 44, 13 (1954)) den Brechungsindex von einem 3 mm dik--ken Germaniumkristall im Wellenlängenbereich von 2,0 bis 2,4 um durch Auswertung der Interferenzüberlogerungen des Transmissionsspektrum bestimmt. N.J. Harrik (Applied Optics lû, 2345 (1971)) hat durch Messung der Reflexionsspektren bei verschiedenen Einfollswinkeln sowohl die Brechzahl als auch die Dicke von Folien bestimmt. Im letzteren Fall muß jedoch vorausgesetzt werden1 daß die Brechzahl im Auswerteintervall konstant ist. Nach diesen Methoden kann der Brechzahiverlouf, nur dann bestimmt werden, wenn die Schichtdicke bekonnt ist. Die Genauigkeit der Bestimmung ist durch das kleinstmögliche Auswerteintervall, d.h. durch den Abstand benachbarter Maxima bzw. Minima und dessen Meßgenauigkeit, begrenzt, vorausgesetzt, daß die Schichtdicke genügend genau bekannt ist. Außerdem sind diese Bestimmungsverfahren zwar bei Forschungsvorhaben anwendbar, infolye ihres Aufwandes jedoch nicht für Routineaufgoben geeignet.
  • Alle bekannten Meßverfahren sind schlecht oder garnicht geeignet bei starker Absorption, d.h. in dem interessanten Gebiet anomaler Dispersion.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung anzugeben, mit der sich die Brechzahl von Flüssigkeiten und Gasen auch im Gebiet anomaler Dispersion, d.h. im Gebiet starker Absorption, möglichst genau und zugleich in einer für Routineoufgaben geeigneten einfachen Weise messen läßt. Der Erfindung liegt ferner die Aufgabe zugrunde, eine Ausbaumöglichkeit zur Messung des spektralen Verloufes der Brechzahl anzugeben.
  • Die gestellte Aufgabe wird bei einem Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruches 1 erfindungsgemäß dodurch gelöst, daß der Abstond der Grenzflächen definiert verändert wird und daß während dieser Veränderung die Anzahl der durchgelaufenen Interferenzmaxima und/oder -minima (Ordnungen) gemessen wird.
  • Für die Messung des spektralen Verloufes der Brechzahl wird während der Veränderung des Abstandes der Grenzflächen für mehrere Wellenlängen die Anzahl der durchgeloufenen Interferenzmaxima und/oder -minima gemessen.
  • Eine vorteilhafte Ausführungsform besteht aus zwei porallel zueinander angeordneten, lichtdurchlässigen Platten, zwischen denen die Flüssigkeit oder dos Gas eingeschlossen ist, einer Vorrichtung zur definierten Änderung des Abstandes der Platten, einer Beleuchtungseinrichtung zur Erzeugung von Interferenzen an den Grenzflächen zwischen der Flüssigkeit oder dem Gas und den Platten, geyebenenfalls einer Einrichtung zur Aussonderung eines genügend schmolen Spektralbereiches und einem Empfänger zur Messung der durch die Interferenzen hervorgerufenen Intensitätsänderungen.
  • Für die Messung des spektralen Verlaufes der Brechzahl wird eine Einrichtung zur Messung der Intensitätsänderungen bei mehreren Wellenlängen verwendet.
  • Ein Vorteil des erfindungsgemäßen Meßverfahrens gegenüber den üblichen interferometrischen Verfahren besteht dorin, daß in dos Meßergebnis nicht die absolute Schichtlänge, sondern nur ihre Änderung eingeht. Das ergibt einen einfachen Aufbau der Meßeinrichtung.
  • Es ist nicht notwendig, daß die die Flüssigkeit oder das Gas begrenzenden Platten planparallel sind; sie können auch gekrümmt sein. Es ist vorteilhaft die Begrenzungsplatten aus Saphir zu machen, da dieses Materiol mechanisch sehr stabil und chemisch sehr beständig ist. AuBerdem hat es eine hohe Brechzahl, so daß starke Interferenzen auftreten.
  • In einer vorteilhoften Ausführungsform ist für die Änderung des Platten abstandes eine piezoelektrische Verschiebung vorgesehen. Dabei kann die an die Piezokeramik ongelegte Spannungsdifferenz als Maß für die Änderung des Plattabstandes verwendet werden. Bei größeren Anforderungen an die Meßgenauigkeit ist es besonders vorteilhaft, eine piezoelektrische Verschiebung einer Platte vorzusehen, die mit der beweglichen Platte eines Luftabstonds-Fabry-Perot derart verbunden ist, daß dessen Luftabstand sich im gleichen Maß ändert.
  • Als Beleuchtung für die Erzeugung der Interferenzen an den Grenzflächen der Flüssigkeit oder des Gases kommen grundsätzlich alle in der Photometrie und Interferometrie bekannten Lichtquellen in Betracht: Für die Messung bei einer oder wenigen Wellenlängen sind Linienstrahler mit entsprechenden Sperrfiltern geeignet. Bei hohen Anforderungen an die Monachromosie können Laser verwendet werden. Für die Messung bei zahlreichen Wellenlängen sind Kontinuumstrohler vorteilhaft.
  • Für die Bestimmung des spektrolen Verlaufes der Brechzahl sind Diodenzeilenspektrometer besonders günstig, weil mit ihnen bei zahlreichen Wellenlängen praktisch gleichzeitig gemessen werden kann. Für genaue Messungen des Brechzahlverlaufes von Gasen sind hochauflösende Spektrometer notwendig. Dagegen genügen bei Messungen für nur eine oder wenige Wellenlängen, wenn die Strahlung - gegebenenfalls durch Verwendung geeigneter Filter - ausreichend monochromatisch ist, die in der Photometrie bekannten Empfänger.
  • In einer bevorzugten Ausführungsform sind die Beleuchtungseinrichtung und der Empfänger bzw. die Einrichtung zur Messung der Intensitätsänderungen über Lichtleiter mit dem Meßort verbunden.
  • Für die Bestimmung der Abstandsänderung des Luftabstands-Fabry-Perot kann in bekannter Weise eine Beleuchtung mit monochromotischem Licht und ein photoelektrischer Empfänger zur Messung der durch die Interferenzen hervorgerufenen Intensitätsänderungen verwendet werden. Eine größere Meßgenauigkeit läßt sich durch eine Beleuchtung mit weißem Licht und einem Diodenzeilenspektrometer erreichen, weil damit bei zahlreichen Wellenlängen gemessen werden kann.
  • Es ist vorteilhaft, für die Auswertung der Meßergebnisse einen Rechner vorzusehen, der zweckmäßigerweise auch die Steuerung und/oder Kontrolle des Abstandes der Platten durchführt.
  • Die Vorteile der vorliegenden Erfindung liegen in dem für interferometrische Meßanordnungen verhältnismäßig einfachen Aufbau, in der sehr leichten Handhabung und in der kurzen Meßzeit. Temperatur- und sonstige Störeinflüsse gehen in das Meßergebnis nur entsprechend der kurzen Meßzeit ein.
  • Das der Erfindung zugrunde liegende Meßprinzip wird im folgenden am Beispiel für ein Diodenzeilenspektrometer näher erläutert: Bei einem zufällig eingestellten Anfangsabstand do liegt auf der Diode i bei der Wellenlänge ii ein Maximum des Interferenzsignales. Dann gilt 2n (Äi) do = m wobei n die Brechzahl und m die sog. Ordnungszahl ist. Verändert man die Schichtdicke so, daß auf der Diode i wieder ein Maximum liegt, z.B. dos Maximum der (m+p)-ten Ordnung, dann gilt 2n (X i> i) (d0+Äd) = (map)i wobei Ad die Änderung der Schichtdicke ist. Aus diesen beiden Gleichun gen folgt für den Brechungsindex Diese Messung kann man für alle Dioden durchführen während die Schichtdicke einmal im notwendigen Bereich durchfahren wird. Bei einem Diodenzeilenspektrometer mit 512 Dioden erhält man auf diese Weise 512 Werte für den Brechungsindex n( ), verteilt über den zur Verfügung stehenden Spektralbereich.
  • Die Dicke do der Schicht geht in die Auswertung nicht ein; sie beeinflußt jedoch indirekt die Messung: Mit zunehmender Dicke der Schicht werden die Extrema schärfer und sind daher genouer bestimmbor, was zu einer genaueren Bestimmung der Brechzahl führt. Da mit zunehmender Dicke jedoch auch der Wellenlängenabstand der Extrema kleiner wird, läßt sich die Dicke nicht beliebig vergrößern; sie ist durch die Auflösung o! des Spektrometers begrenzt.
  • Für ein Diodenzeilenspektrometer mit einer Auflösuny A)k = 2nm ist für 400nm die optische Dicke n-d = 40m noch gerade meßbar. Die notwendige Änderung der Schichtdicke beträgt ca. 400nm und die Meßgenauigkeit für den Brechungsindex n ca. 1.10-4.
  • Die Erfindung wird im folgenden anhand eines in den Fig. 1 bis 2 dorgestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. Dabei zeigen: Fig. 1 einen Schnitt durch das Meßsystem und Fig. 2 eine Darstellung der gesamten Meßeinrichtung.
  • In Fig. 1 ist mit 11 eine Flüssigkeit bezeichnet, von welcher der spektrale Verlauf der Brechzahl gemessen wird. Die Flüssigkeit 11 befindet sich zwischen zwei planparallelen Platten 12a und 12b, deren gegenseite ger Abstand die Schichtdicke der Flüssigkeit bestimmt. (Diese ist der Deutlichkeit halber sehr viel größer gezeichnet als sie nach den obigen Ausführungen tatsächlich ist.) Die Platten 12a und 12b sind über das Gehäuse 13 und den piezokeramischen Zylinder 14 miteinander verbunden.
  • Eine an die Elektroden 14a und 14b der Piezokeramik 14 angelegte Sponnung verändert daher die Schichtdicke der Flüssigkeit 11. Zur Erzeugung von Interferenzen durch die Grenzflächen 10a und lib zwischen der Flüssigkeit 11 und den Platten 12a und 12b wird über den Lichtleiterzweig 15a und den gemeinsamen Lichtleiterteil 15 Strahlung zugeführt. Die von den Grenzflächen 11o und lib reflektierte - und miteinander interferierende Strahlung - wird von dem gemeinsamen Lichtleiterteil 15 und dem Lichtleiterzweiy 15b einem Diodenzeilenspektrometer zugeführt. Die Lichtleiterzweige 15a und 15b bestehen aus zahlreichen Lichtleitfasern, die im gemeinsamen Lichtleiterteil 15 statistisch miteinander vermischt sind. Zwischen dem stumpfen Ende 15c des gemeinsamen Lichtleiters 15 und der Platte 12a ist ein Luftabstond 15d, der soeingestellt wird, daß ein optimaler Signalpegel für die Interferenzen entsteht.
  • Zur genauen Messung der Schichtdickenänderung der Flüssigkeit 11 ist die Platte 12b über ein optisch isolierendes Schworzglas 17 mit der Platte 16a eines Luftabstands-Fabry-Perot verbunden, dessen zweite Platte 16b fest mit dem Gehäuse 13 verbunden ist. Der Luftabstand 18 zwischen diesen beiden Platten 16a und 16b ändert sich daher im gleichen Maße wie die Schichtdicke der Flüssigkeit 11. Zur interferometrischen Bestimmung der Änderung des Luftabstondes 18 wird über den Lichtleiterzweig 19a und den gemeinsamen Lichtleiterteil 19 Strahlung zugeführt. Die von den Grenzflächen 18a und 18b reflektierte Strahlung wird von dem gemeinsamen Lichtleiterteil 19 und dem Lichtleiterzweig 19b einem Gerät zur Auswertung zugeführt. Auch im Lichtleiterzweig 19 sind die Lichtleitfasern für Zu- und Rückführung der Strahlung statistisch miteinonder vermischt.
  • Fig. 2 zeit den Gesamtaufbau der Meßeinrichtung. Mit 10 ist das mit Fig. 1 beschriebene Meßsystem bezeichnet. Die Lichtleiterzweige 15a und 19a führen zu der gemeinsamen Beleuchtungseinrichtung 21 mit der Xenonlampe 21a und dem elliptischen Hohlspiegel 21b, der den Brennfleck der Xenonlampe auf den gemeinsamen Anfangsteil 21c der Lichtleiterzweige 15a und 19a abbildet. Die vom Meßsystem 10 reflektierte Strahlung gelangt über den Lichtleiter 15b zu einem bekannten Diodenzeilenspektrometer 22, das aus dem holografischen Konkavgitter 22a und der Diodenzeile 22b besteht. Letztere ist mit der Elektronikeinheit 22c verbunden1 welche ihre Signale vorverorbeitet und über die Leitung 22d zur Auswertung an den Rechner 25 weitergibt.
  • Die vom Luftabstands-Fabry-Perot reflektierte Strahlung wird - in dem dargestellten Ausführungsbeispiel - einem zweiten Diadenzeilenspektrome ter 23 zugeführt, welches ebenso aufgebaut sein kann wie das Diodenzeilenspektrometer 22. Die in der Elektronikeinheit 23c aufbereiteten Signole werden über die Leitung 23d ebenfalls an den Rechner weitergegeben und dort ausgewertet. Der Rechner 25 ist ferner mit einer Elektronikein heit 24 verbunden, in der eine regelbare Spannungsdifferenz für den pie zokeramischen Zylinder 14 erzeugt wird, welche über die Leitungen 24a und 24b an die Elektroden 14a und 14b gelegt wird.
  • Für die Messung des Brechzahlverlaufes in Abhangigkeit von der Wellenlänge wird dos Gehäuse 13 an der Stelle 13a - in bekannter, nicht näher gezeichneter Weise - auseinandergenommen und ein Tropfen der Flüssigkeit 11 auf die Platte 12a gebracht. Nach dem Verschließen des Gehäuses 13 wird z.B. gesteuert vom Rechner 25 durch Anlegen der regelbaren Spannung an die Piezokeramik 14 die Schichtdicke der Flüssigkeit in einem vorgegebenem Bereich geändert und gleichzeitig werden die Meßergebnisse der Diodenzeilenspektrometer 22 und 23 an den Rechner zur Auswertung übertragen. Eine derartige Messung dauert bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel ca. 10 sec. Nach einer kurzen Rechenzeit für die Auswertung kann der Verlauf der Brechzohl in Abhängigkeit von der Wellenlänge z.B.
  • direkt auf dem Bildschirm 25a des Rechners, auf einem (nicht gezeichneten) Plotter oder von einem (ebenfalls nicht gezeichneten) Drucker ausgegeben werden.
  • Für die Messung von Gasen wird das Meßsystem 10 gasdicht mit einem Ein-und einem Auslaß ausgeführt. Eine bekannte Druckausgleichkammer sorgt für einen konstanten Druck trotz Veränderung der Schichtdicke.

Claims (12)

  1. Patentansprüche 1. )Verfahren zur Messung der Brechzohl einer Flüssigkeit oder eines Gases mit Hilfe von Interferenzen, die durch parallele Grenzflächen der Flüssigkeit oder des Gases erzeugt werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der Grenzflächen definiert verändert wird und daß während dieser Veränderung die Anzahl der durchgeloufenen Interferenzmaxima und/oder -minima (Ordnungen) gemessen wird.
  2. 2. Verfahren zur Messung des spektralen Verlaufes der Brechzahl (Dispersion) einer Flüssigkeit oder eines Gases mit Hilfe von Interferenzen, die durch parallele Grenzflächen der Flüssigkeit oder des Gases erzeugt werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand der Grenzflächen definiert verändert wird und daß während dieser Veränderung für mehrere Wellenlängen die Anzahl der durchgelaufenen Interferenzmaxima und/oder -minima (Ordnungen) gemessen wird.
  3. 3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch zwei porollel zueinander angeordnete, lichtdurchlässi ge Platten (12a,12b), zwischen denen die Flüssigkeit oder das Gas (11) eingeschlossen ist, eine Vorrichtung zur definierten Änderung des Abstandes der Platten, eine Beleuchtungseinrichtung zur Erzeugung von Interferenzen durch die Grenzflächen zwischen der Flüssigkeit oder dem Gas und den Platten, gegebenenfalls eine Einrichtung zur Aussonderung eines genügend schmalen Spektralbereiches und einen Empfänger zur Messung der durch die Interferenzen hervorgerufenen Intensitätsänderungen.
  4. 4. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch zwei parallel zueinander angeordnete, lichtdurchlässi ge Platten (12a,12b), zwischen denen die Flüssigkeit oder das Gas (11) eingeschlossen ist, eine Vorrichtung zur definierten Änderung des Abstandes der Platten, eine Beleuchtungseinrichtung (21) zur Erzeugung von Interferenzen durch die Grenzflächen zwischen der Flüs sigkeit oder dem Gas und den Platten und eine Einrichtung (22) zur Messung der durch die Interferenzen hervorgerufenen Intensitätsänderungen bei mehreren Wellenlängen.
  5. 5. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß für die Änderung des Abstandes der Platten eine piezoelektrische Verschiebung (14,14a,14b,24) vorgesehen ist und daß die an die Piezokeromik angelegte Spannungsdifferenz ein EAaß für die Änderung des Plot tenabstandes ist.
  6. 6. Vorrichtung nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß für die Änderung des Abstandes der Platten eine piezoelektrische Verschiebung (14,14a,14b,24) einer Platte vorgesehen ist und daß diese Platte mit der beweglichen Platte (16a) eines Luftobstonds-Fabry-Perot (16a, 16b) derart verbunden ist, daß dessen Luftobstond sich im gleichen Maß ändert.
  7. 7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß als Einrichtung zur Messung der durch die Interferenzen hervorgerufenen Intensitätsänderungen bei mehreren Wellenlängen ein Dioden zeilenspektrometer (22) vorgesehen ist.
  8. 8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 bis 7, dodurch gekennzeichnet, daß die Beleuchtungseinrichtung (21) und/oder der Empfänger bzw. die Einrichtung zur Messung der durch die Interferenzen hervorgerufenen Intensitätsänderungen bei mehreren Wellenlängen über Lichtleiter (15a,15b) mit dem aus den Platten (12o,12b) bestehenden Meßsystem verbunden sind.
  9. 9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß für die Bestimmung der Abstondsänderung des Luftobstonds-Fabry-Perot eine Beleuchtung mit manochromatischem Licht (21) und ein Empfänger zur Messung der durch die Interferenzen hervorgerufenen Intensitätsänderungen vorgesehen ist.
  10. 10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß für die Bestimmung der Abstandsänderung des Luftabstonds-Fabry-Perot eine Beleuchtung mit weißem Licht (21) und ein Diodenzeilenspektrometer (23) zur Messung der durch die Interferenzen hervorgerufenen Intensitätsänderungen bei mehreren Wellenlängen vorgesehen ist.
  11. 11. Vorrichtung noch einem der Ansprüche 3 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß für die Auswertung der Meßergebnisse ein Rechner (25) vorgesehen ist.
  12. 12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Rechner (25) zusätzlich für die Steuerung des Abstandes der Platten (12a, 12b) vorgesehen ist.
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