DE3627213A1 - Widerstands-teilernetzwerk - Google Patents

Description

Vorrichtung und Verfahren zum Vergrößern der Stabilität des Widerstandsverhältnisses bei einem Widerstands- Teilernetzwerk.

Die Erfindung betrifft das Gebiet der Dünn- und Dickschicht- Widerstands-Netzwerke und bezieht sich insbesondere auf die Vergrößerung der Stabilität des Widerstandsverhältnisses bei Widerstands-Teilernetzwerken.

Zum Genauigkeitsmessen und Testen in der Elektronik werden Widerstands-Teilernetzwerke mit sehr stabilem Widerstandsverhältnnis benötigt. Dies bedeutet, daß die Verhältnisse der Widerstandswerte so stabil wie möglich sein sollen, wenn das Netzwerk Umwelt- und betriebsmäßigen Einflüssen, wie z. B. Temperatur- und Spannungsschwankungen, unterliegt.

Bisher mußten bei Hochgenauigkeits-Instrumenten in den Teilernetzwerken sehr teuere, körperlich große Drahtwiderstände verwendet werden. Schichtwiderstands-Netzwerke waren zwar für Instrumente geringerer Genauigkeit zufriedenstellend, konnten jedoch im allgemeinen die geforderte Stabilität des Widerstandsverhältnisses nur bei ausgesuchter Güte erfüllen, wodurch sie sehr teuer wurden. Es handelt sich hier darum, das Widerstandsverhältnis auf einem Niveau von 0,5 · 10^-6 je Kelvin bei Schwankungen der Umgebungstemperatur und auf einem Niveau von 2 · 10^-6 je Änderung der Eingangsspannung um 1000 V stabil zu halten.

Die Stabilität des Widerstandsverhältnisses wird von drei Hauptfaktoren beeinflußt:
1. Der Unterschied zwischen den Widerstandstemperaturkoeffizienten (TKR) der das Teilernetzwerk bildenden Widerstände (der auch als Temperaturgang bekannt ist).

2. Der Unterschied zwischen den Widerstandsspannungskoeffizienten (UKR) der Widerstände (der auch als Spannungsgang bekannt ist).

3. Der Unterschied zwischen den Temperaturen der Widerstände.

Für die Untersuchung der Auswirkung des ersten Faktors wird der Widerstandstemperaturkoeffizient TKR folgendermaßen definiert: worin R ₂ und R ₁ die Widerstandswerte eines einzelnen Widerstandes bei den Temperaturen t ₂ und t ₁ bedeuten. Der TKR kann positiv oder negativ sein.

Die Unterschiede zwischen den TKR der Widerstände im Netzwerk, oder der Temperaturgang, sind von höchst bedeutsamer Auswirkung auf die Stabilität des Widerstandsverhältnisses. Wenn bei einem aus zwei Widerständen aufgebauten Netzwerk deren TKR gleich ist, bleibt das Verhältnis zwischen beiden bei Änderungen der Umgebungstemperatur konstant. Haben jedoch die beiden Widerstände, wie üblich, verschiedene TKR, ändert sich das durch die Auswirkungen der TKR bedingte Widerstandsverhältnis mit der Umgebungstemperatur. Zwar können TKR-Werte positiv oder negativ sein, was bedeutet, daß der Widerstand bei ansteigender Temperatur zunehmen oder abnehmen kann, je größer jedoch der Unterschied zwischen den TKR der beiden Widerstände ist, umso größer ist die Änderung des Widerstandsverhältnisses oder umso kleiner ist dessen Stabilität.

Im Zusammenhang mit den Auswirkungen des an zweiter Stelle genannten Faktors wird der Widerstandsspannungskoeffizient UKR folgendermaßen definiert: worin R ₂ und R ₁ die Widerstandswerte eines einzelnen Widerstandes bei den angelegten Spannungen U ₂ und U ₁ bezeichnen.

Der UKR von Aufdampf-Schichtwiderständen ist stets negativ und bei durchkonstruierten, einwandfrei hergestellten Dünnschichtwiderständen im allgemeinen recht niedrig. Beispielsweise betragen bei Dünnschichtwiderständen aus einem Material mit 100 bis 200 Ohm je Quadratfläche des Materials typische UKR zwischen 10^-9 1/V und 10^-8 1/V. Folglich nimmt der Widerstandswert eines 10-Megaohm-Widerstandes um 10 bis 100 Ohm ab, wenn die angelegte Spannung um 1000 Volt (beispielsweise von 100 auf 1100 V) erhöht wird.

Bei Widerstands-Teilernetzwerken bzw. ist die Spannungsänderung proportional zu den Widerstandswerten. Bei Teilernetzwerken mit Widerstandsverhältnissen größer als 10:1 ist folglich nur der UKR des Widerstandes mit dem höheren Widerstandswert signifikant.

Der UKR wirkt sich, auf die Zeit bezogen, auf den absoluten Wert eines Schichtwiderstandes im wesentlichen sofort aus, wogegen die Wirkung des TKR auf den absoluten Wert eines Schichtwiderstandes von dessen Wärmeträgheit abhängig ist. Typischerweise sind 90% des Temperaturanstiegs in weniger als einer Minute abgeschlossen. Die kombinierte Auswirkung von UKR und TKR auf den Widerstandswert wird als Widerstandsleistungskoeffizient oder NKR bezeichnet und ist die algebraische Summe der Änderung des Widerstandswertes eines Widerstandselementes, hervorgerufen durch dessen UKR und einen Anstieg der ihm zugeführten Spannung (stets negativ), und der Änderung des Widerstandswertes desselben Widerstandselementes, hervorgerufen durch dessen TKR und die Eigenerwärmung, welche auf denselben Anstieg der angelegten Spannung zurückgeht (kann positiv oder negativ sein). Die kombinierte Wirkung (NKR) kann dazu führen, daß der Widerstandswert entweder zunimmt, abnimmt oder auch - in seltenen Fällen - konstant bleibt.

Zur Auswirkung des an dritter Stelle genannten Faktors: Die relative Temperatur der beiden Widerstände hängt von drei Parametern ab:
1) die durch jeden Widerstand hervorgerufene Verlustleistung je Flächeneinheit;
2) der Abstand zwischen den beiden Widerständen;
3) die Wärmeleitfähigkeit des Substrates.

Die von jedem Widerstand im Netzwerk hervorgerufene Verlustleistung je Flächeneinheit ist ein gegebener Wert und zum ohmschen Wert jedes Widerstandes direkt proportional. Bei unendlich großer Fläche des Netzwerkes würde der Temperaturanstieg aller Netzwerksteile, und folglich der Temperaturunterschied zwischen Netzwerksteilen, im wesentlichen Null betragen. Bei unendlich kleiner Fläche des Netzwerkes dagegen wäre der Temperaturanstieg sehr groß, aber, weil alle Widerstände denselben Raum einnähmen, würde zwischen Netzwerksteilen kein Temperaturunterschied bestehen. Beide Fälle kommen in der Praxis offensichtlich nicht vor, dienen daher nur als theoretische Grenzfälle. Praktische Netzwerke, bei denen die einzelnen Widerstandselemente nebeneinander auf dem Substrat angeordnet sind, haben möglicherweise mittlere Abmessungen von etwa 12,5 × 25 × 0,63 (Dicke) mm. Je größer die Gesamtverlustleistung und je größer der Unterschied zwischen den durch die einzelnen Widerstände hevorgerufenen Verlustleistungen ist, umso größer ist der Temperaturunterschied zwischen den Widerständen.

Die Wärmeleitfähigkeit der meisten heute gebräuchlichen Materialien - Steatit, Glass, Aluminiumoxid usw. - ist im Vergleich zu derjenigen von Kupfer relativ gering. Folglich werden Netzwerkteile mit großer und niedriger Verlustleistung stets unterschiedliche mittlere Temperaturen aufweisen.

Zu dem unter (2) genannten Abstand zwischen den Widerständen auf dem Substrat ist zu bemerken, daß unabhängig davon, wie eng nebeneinander die Widerstände gewöhnlich angeordnet sind, zwischen Netzwerksteilen mit hoher und niedriger Verlustleistung stets unterschiedliche mittlere Temperaturen auftreten werden. Auch dies geht auf die unvollkommene Wärmeleitfähigkeit des Substrates zurück.

Folglich, selbst wenn die Widerstandstemperaturkoeffizienten TKR der beiden Widerstände gleich sind, ändern sich die Widerstandsverhältnisse bei Ansteigen der angelegten Spannung (außer wenn bei jedem Widerstand der TKR null ist, was praktisch unmöglich ist). Unabhängig auch von dem Verfahren, nach dem das Widerstandsmaterial auf das Substrat aufgebracht wird, besteht immer eine zufällige Schwankung in der Metallurgie der Schicht. Folglich ändert sich der TKR der erhaltenen Metallschicht von einem zum entgegengesetzten Rand des Substrates hin gleichförmig, wenngleich nicht notwendigerweise linear, mit der Entfernung vom Bezugsrand. Die Herstellung von Widerständen mit gleichen TKR ist also praktisch unmöglich.

Es besteht seit langem Bedarf an einem aus Schichtwiderständen aufgebauten Teilernetzwerk, bei dem der Unterschied zwischen den Widerstandstemperaturkoeffizienten der einzelnen Widerstände im Betriebstemperaturbereich nach Null geht und der Temperaturunterschied zwischen den einzelnen Widerständen im Betriebsspannungsbereich nach Null geht.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Widerstands- Teilernetzwerk zu schaffen, das in besonders vorteilhafter und zuverlässiger Weise den angegebenen Bedarf befriedigt und die gestellten Forderungen erfüllt.

Diese Aufgabe ist mit einem Widerstands-Teilernetzwerk und einem Verfahren zu seiner Herstellung gelöst, die in Anspruch 1 bzw. 13 und mit weiteren vorteilhaften Ausgestaltungen in den zugehörigen Unteransprüchen gekennzeichnet sind.

Bei dem erfindungsgemäßen Widerstands-Teilernetzwerk ist jeder seiner Widerstände in einer Vielzahl von Widerstandselementen unterteilt, die mit Zwischenabstand auf dem Substrat angeordnet und so miteinander verbunden sind, daß sie diskrete Widerstände bilden. Die Widerstandselemente des Widerstandes, der den geringeren Leistungsverlust hervorruft, greifen kammartig in die Widerstandselemente des die größere Verlustleistung hervorrufenden Widerstandes ein. Wird bei jedem Widerstandselement die Möglichkeit eines Widerstandsabgleiches geschaffen, lassen sich gewünschte absolute Werte und Widerstandsverhältnisse erzielen.

Bei einem erfindungsgemäßen Widerstands-Teilernetzwerk beträgt die erzielbare Verbesserung beim Temperaturgang typischerweise mehr als 1000 Prozent.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand schematischer Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 einen elektrischen Schaltplan eines typischen aus zwei Widerständen aufgebauten Teilernetzwerkes,

Fig. 2 eine Draufsicht auf ein herkömmliches Widerstands- Teilernetzwerk, und

Fig. 3 eine Draufsicht auf ein Widerstands-Teilernetzwerk gemäß der Erfindung.

Das in Fig. 1 dargestellte Widerstands-Netzwerk 10 hat einen Eingangsanschluß 12, der mit einem ersten Widerstand 14 verbindbar ist. Dieser ist mit einem Ausgangsanschluß 16 und einem zweiten Widerstand 18 verbindbar, welcher mit einem Masseanschluß 20 verbindbar ist.

Die Bezugnahme auf Anschlüsse erfolgt nur aus Gründen der Übersichtlichkeit, weil Teilernetzwerke in andere Bauelemente integriert und somit nicht mit Anschlüssen versehen sein können. In ähnlicher Weise werden die Begriffe Eingangs-, Ausgangs- und Masseanschluß lediglich zur größeren Deutlichkeit verwendet, weil Mehrfach- Widerstands-Netzwerke mehrere Eingangs-, Ausgangs- und Masseanschlüsse haben können. Ferner werden die Widerstände als "verbindbar" betrachtet, weil es, wenn sie als vollständiges Netzwerk hergestellt werden, sein kann, daß sie nicht mit einem Anschluß verbunden werden; es ist möglich, daß alle Verbindungen getrennt vom Netzwerk selbst durchgeführt werden.

Bei Genauigkeits-Widerstandsteilern ist es häufig notwendig, daß (1) die Widerstandsverhältnisse sich über dem Betriebstemperaturbereich um nicht mehr als 0,5 · 10^-6 1/K und (2) über dem Betriebsspannungsbereich um nicht mehr als 2,0 · 10^-6 ändern. Bisher konnten solche strengen Forderungen nur durch die Verwendung von mehreren sorgfältig aufeinander abgestimmten Drahtwiderständen erfüllt werden, die sehr teuer und von recht großen körperlichen Abmessungen waren.

Bei dem in Fig. 2 dargestellten Dünnschicht-Widerstands- Teilernetzwerk war die Stabilität des Widerstandsverhältnisses für einige, aber nicht für alle Anwendungen ausreichend, für die zuvor Drahtwiderstände erforderlich waren.

Der Schichtwiderstand 22 umfaßt ein Substrat 24, das aus Glas oder einem anderen Material sein kann, vorzugsweise aus Aluminiumoxid (Al₂O₃) ist, dessen Wärmeleitfähigkeit etwa 5% derjenigen des Kupfers beträgt. Ein typisches Substrat 24 ist etwa 19 mm lang, 12,5 mm breit und 0,63 mm dick.

Auf das Substrat 24 wird durch Aufstäuben, im Vakuum oder auf andere Weise ein Widerstandsmaterial aufgebracht, das in nachfolgenden Herstellungsphasen mit einem Fotoresistmaterial beschichtet, mit einer Fotomaske versehen, mit UV-Licht belichtet und dann chemisch geätzt wird, um durch Wegnahme des unerwünschten Materials die gewünschten Widerstände 26 und 28 übrigzulassen, die entsprechend einer Schlangenlinie so fein gemustert sein können, daß sie dem Betrachter als Ganzes rechteckig erscheinen. Das Schlangenlinienmuster umfaßt herkömmlicherweise auch Nebenanschlußleitungen, die beim "Laser-Abgleich" durch Verdampfen mittels Laserstrahl entfernt werden, um für Widerstand und Widerstandsverhältnis die exakten Werte herzustellen. Als Widerstandsmaterial wird nahezu ausschließlich die Legierung Nichrome (eingetragenes Warenzeichen der Driver Harris Company) verwendet, die 60% Nickel, 24% Eisen, 16% Chrom und 0,1% Kohlenstoff enthält. Aufgrund metallurgischer Schwankungen in der auf das Substrat aufgebrachten Schicht ändert sich der Widerstands-Temperaturkoeffizient TKR der erzielten Metallschicht von einem Rand zum gegenüberliegenden Rand des Substrats. Der TKR ändert sich über der Strecke von einem Rand des Substrats zum gegenüberliegenden Rand gleichförmig, aber nicht notwendigerweise linear. Von den beiden Widerständen 26 und 28 verursacht der Widerstand 26 die größere Verlustleistung.

Der erste Widerstand 26 ist mit einem Eingangsanschluß 30 und einem Ausgangsanschluß 32 verbindbar, der auch an den zweiten Widerstand 28 anschließbar ist. Der zweite Widerstand 28 ist ferner mit einem Masseanschluß 34 verbindbar.

Wenngleich der Wirkungsgrad des Wärmeübergangs zwischen den beiden Widerständen 26 und 28 mit kleiner werdenden Abmessungen und kleinerem Zwischenabstand der Widerstände 26 und 28 größer wird, werden durch mehrere Faktoren größenmäßige Beschränkungen auferlegt.

Gemäß Fig. 3 ist ein Widerstands-Teilernetzwerk 40 auf einem Substrat 42 angeordnet. Gegenüber einem herkömmlichen ähnlichen Widerstands-Teilernetzwerk ist das Substrat 42 mit einer Länge von etwa 37,5 mm, einer Breite von etwa 16 mm und einer Dicke von etwa 0,63 mm etwas größer. Auf das Substrat 42 ist ein Widerstandsmaterial aufgebracht, das in mehrere Abschnitte unterteilt ist. Ein Abschnitt bildet einen ersten Widerstand, der sich aus ersten Widerstandselementen 46 bis 50 zusammensetzt. In diese greifen kammartig zweite Widerstandselemente 52 bis 55 ein, die einen zweiten Widerstand bilden.

Die Widerstandselemente 46 bis 50 sind miteinander verbunden und bilden ein Äquivalent zum ersten Widerstand 26 der Ausführungsform gemäß Fig. 2, und in ähnlicher Weise sind die Widerstandselemente 52 bis 55 miteinander verbunden und bilden ein Äquivalent zum zweiten Widerstand 28 gemäß Fig. 2.

Das erste Widerstandselement 46 auf einer Seite des Substrates 42 ist mit einem Eingangsanschluß 56, das letzte Widerstandselement 50 auf der anderen Seite mit einem Ausgangsanschluß 58 verbindbar. Das erste Widerstandselement 52 auf einer Seite ist mit einem Masseanschluß 60 verbindbar, wogegen das letzte Widerstandselement 55 an den Ausgangsanschluß 58 anschließbar ist.

Ein Vergleich zwischen den Widerstands-Teilernetzwerken entsprechend Fig. 2 und 3 zeigt, daß eine wesentliche Verbesserung der Stabilität des Widerstandsverhältnisses gerade beim TKR- bzw. Temperaturgang erzielbar ist.

Es sei beispielsweise angenommen, daß bei beiden Ausführungsformen entsprechend Fig. 2 und 3 der TKR des Widerstandsmaterials sich zwischen 10,00 · 10^-6 1/K am linken Substratrand und 6,00 · 10^-6 1/K am rechten Substratrand ändert.

Beim Netzwerk 22 beträgt der ungefähre TKR am rechten Rand des Widerstandes 26 6,50 · 10^-6 1/K. Der mittlere TKR für den Widerstand 26 ist dann (10,00 + 6,50)/2 oder 8,25 · 10^-6 1/K. Wenn die linke Seite des zweiten Widerstandes 28 etwa 6,40 · 10^-6 1/K hat, beträgt der mittlere TKR des Widerstandes 28 (6,40 + 6,00)/2 oder 6,20 · 10^-6 1/K. Es wird dann ersichtlich, daß der Unterschied zwischen den TKR, also der Temperaturgang, (8,25-6,20) oder 2,05 · 10^-6 1/K ist.

Bei dem erfindungsgemäßen Widerstands-Teilernetzwerk 40 könnten bei Annahme eines nichtlinearen, aber von links nach rechts ständig abnehmenden TKR die mittleren Widerstands- Temperaturkoeffizienten für die verschiedenen Widerstandselemente 46 und 50 des ersten Widerstandes typischerweise betragen: 10,00 für das Widerstandselement 46; 8,50 für das Widerstandselement 47; 8,00 für das Widerstandselement 48; 7,00 für das Widerstandselement 49 und 6,20 für das Widerstandselement 50. Der mittlere TKR für den ersten Widerstand wäre dann (10,00 + 8,50 + 8,00 + 7,00 + 6,20)/5 oder 7,94 · 10^-6 1/K. Beim zweiten Widerstand ergeben sich als interpolierte TKR- Werte für die Widerstandselemente 52 bis 55: 9,25 - 8,25 - 7,50 bzw. 6,60. Der mittlere Widerstands-Temperaturkoeffizient für den zweiten Widerstand wäre dann (9,25 + 8,25 + 7,50 + 6,60)/4 oder 7,90 · 10^-6 1/K. Der Unterschied zwischen den TKR-Mittelwerten, d. h. der Temperaturgang für das Widerstands-Teilernetzwerk 40 würde dann (7,94 - 7,90) oder 0,04 · 10^-6 1/K betragen.

Gegenüber der herkömmlichen Konstruktion ist bei der erfindungsgemäßen Konstruktion mit kammartig ineinandergreifenden Mustern der Temperaturgang im Verhältnis 2,05 zu 0,04 · 10^-6 1/K oder 51:1 verbessert. Mit anderen Worten, die Verbesserung bei der erfindungsgemäßen Ausführungsform beträgt etwa 5100 Prozent.

Aus dem Vorstehenden wird ersichtlich, daß mit größer werdender Zahl der Widerstandselemente sich der Temperaturkoeffizient für das Widerstandsverhältnis verbessert und dabei nach Null geht. Wenn ferner die Veränderung beim TKR von einer Substratseite zur anderen linear ist, wird der Temperaturgang eines aus zwei Widerständen aufgebauten Teilers stets einwandfrei (null) sein, unabhängig von der Anzahl der verwendeten Widerstandelemente, vorausgesetzt daß ihre Gesamtzahl stets ungerade ist.

Ferner ist ersichtlich, daß der Stand der Technik an ungleichmäßiger Temperaturverteilung über den Widerständen leidet, weil die Temperatur von der durch jeden Widerstand hervorgerufenen Verlustleistung je Flächeneinheit direkt abhängig ist. Durch kammartiges Ineinandergreifenlassen der Widerstandselemente der große und kleine Verlustleistung hervorrufenden Widerstände und Anordnen der Widerstandselemente des Widerstandes mit der größeren Verlustleistung an den Substratseiten in der Weise, daß sie die Widerstandselemente des Widerstandes mit der kleinen Verlustleistung effektiv einschließen, kann über dem Substrat eine sehr viel gleichmäßigere Temperatur erzielt werden.

Zur Bewertung der Erfindung wurden als Prüflinge 17 Dünnschichtwiderstands-Netzwerke mit einem Teilerverhältnis 1 : 64 durch Aufstäuben einer Nichrome-Schicht auf ein Substrat aus hochreinem Aluminiumoxid hergestellt.

Die fünf Widerstandselemente 46 bis 50 wurden ebenso wie die Widerstandselemente 52 bis 55 mittels Laserstrahl je auf einen ungefähr gleichen Wert abgeglichen. Der Gesamtwiderstand der Widerstandselemente 46 bis 50 betrug 9,84500 Megaohm ± 0,1%. Der Gesamtwiderstand der Widerstandselemente 52 bis 55 betrug 0,15619 Megaohm ± 0,1%. Das Nenn-Teilerverhältnis betrug oder 64 : 1. Über entsprechende Programmbefehle wurde dieses Verhältnis mittels einer rechnergesteuerten Laser-Abgleichvorrichtung auf eine Genauigkeit von ± 0,05% des Nennwertes verbessert.

Von den beiden Widerstandselemente-Grupppen wurden die Widerstands-Temperaturkoeffizienten in einem Temperaturbereich von 18 bis 58°C getestet, und für jedes Netzwerk wurde der Unterschied tabellarisch erfaßt. Die absoluten TKR lagen in einem Bereich von etwa 1 · 10^·t6 1/K bis 6 · 10^-6 1/K, die TKR für das Widerstandsverhältnis im Bereich von 0,02 · 10^-6 1/K bis 0,30 · 10^-6 1/K. Der Mittelwert betrug 0,12 · 10^-6 1/K und war viermal besser als der Vorgabewert von 0,50 · 10^-6 1/K.

Die Widerstands-Leistungskoeffizienten (NKR) lagen bei einer Änderung der Eingangsspannung um 1000 Volt (von 100 V auf 1100 V) in einem Bereich von 0,09 · 10^-6 bis 0,44 · 10^-6. Der durchschnittliche Leistungskoeffizient (NK) für das Widerstandsverhältnis betrug 0,27 · 10^-6, was achtmal besser ist als der Vorgabewert von 2,0 · 10^-6.

Zum Vergleich seien typische Leistungszahlen für das herkömmliche Netzwerk 22 angegeben: Sie betragen 2 · 10^-6 für den Temperaturgang und 10 · 10^-6 für den NK des Widerstandsverhältnisses.

Claims (14)

1. Widerstands-Netzwerk,
gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
Ein Substrat;
ein erster Widerstand auf dem Substrat mit zwei miteinander verbundenen Abschnitten, von denen der eine an einen Eingangsanschluß und der andere an einen Ausgangsanschluß anschließbar ist;
ein zweiter Widerstand auf dem Substrat zwischen den zwei Abschnitten des ersten Widerstandes, mit einem an einen Masseanschluß anschließbaren Ende und einem an den Ausgangsanschluß anschließbaren zweiten Ende.

2. Widerstands-Netzwerk nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
Der zweite Widerstand ist ungefähr rechteckig;
die Abschnitte des ersten Widerstandes sind ungefähr rechteckig und beiderseits des zweiten Widerstandes angeordnet,

3. Widerstands-Netzwerk nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch folgende Merkmale: Die Abschnitte des ersten Widerstandes haben ungefähr gleiche Widerstandswerte.

4. Widerstands-Netzwerk, gekennzeichnet durch folgende Merkmale: Ein Substrat (42);
ein erster Widerstand, der vom Substrat (42) getragen ist und eine Vielzahl von mit Zwischenabstand auf dem Substrat (42) angeordneten, miteinander verbindbaren Widerstandselementen (46, 47, 48, 49, 50) umfaßt, von denen das in der Reihenfolge erste Widerstandselement (46) an einen Eingangsanschluß (56) und das in der Reihenfolge letzte Widerstandselement (50) an einen Ausgangsanschluß (58) anschließbar ist;
ein zweiter Widerstand, der vom Substrat (42) getragen ist und wenigstens ein auf dem Substrat (42) zwischen und in der Nähe der Widerstandselemente (46, 47, 48, 49 50) angeordnetes Widerstandselement (52, 53, 54 bzw. 55) umfaßt, welches einen mit dem in der Reihenfolge letzten aus der Vielzahl von Widerstandselementen (46, 47, 48, 49, 50) des ersten Widerstandes anschließbaren Abschnitt und einen an einen Masseanschluß (60) anschließbaren Abschnitt aufweist.

5. Widerstands-Netzwerk nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch folgende Merkmale: Der zweite Widerstand umfaßt eine Vielzahl von auf dem Substrat (42) mit Zwischenabstand angeordneten und mit der Vielzahl von Widerstandselementen (46, 47, 48, 49, 50) des ersten Widerstandes kammartig ineinandergreifenden, miteinander verbindbaren Widerstandselementen (52, 53, 54, 55).

6. Widerstands-Netzwerk nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch folgende Merkmale: Der erste Widerstand umfaßt eine ungerade Anzahl von Widerstandselementen (46, 47, 48, 49, 50);
der zweite Widerstand umfaßt eine gerade Anzahl von Widerstandselementen (52, 53, 54, 55).

7. Widerstands-Netzwerk nach Anspruch 6, gekennzeichnet durch folgende Merkmale: Die Widerstandselemente (46, 47, 48, 49, 50) des ersten Widerstandes und die Widerstandselemente (52, 53, 54, 55) des zweiten Widerstandes haben je ungefähr gleiche Widerstandswerte.

8. Widerstands-Netzwerk nach Anspruch 5, 6 oder 7, gekennzeichnet durch folgendem Merkmale: Der erste Widerstand ist entsprechend einer Schlangenlinie auf das Substrat (42) aufgebracht;
der zweite Widerstand ist entsprechend einer Schlangenlinie auf das Substrat (42) aufgebracht;
von den Widerstandselementen des zweiten Widerstandes ist das erste an einen Masseanschluß (60) und das letzte (55) an den Ausgangsanschluß (58) anschließbar.

9. Widerstands-Netzwerk nach einem der Ansprüche 5 bis 8, gekennzeichnet durch folgende Merkmale: Die Widerstandselemente des ersten und/oder des zweiten Widerstandes (46, 47, 48, 49, 50 und/oder 52, 53, 54, 55) sind rechteckig.

10. Widerstands-Netzwerk nach einem der Ansprüche 1 bis 9, gekennzeichnet durch folgende Merkmale: Der erste Widerstand hat denselben oder einen größeren Widerstandswert als der zweite Widerstand.

11. Widerstands-Netzwerk nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch folgende Merkmale: Die Widerstände umfassen Dünnschichtwiderstände.

12. Widerstands-Netzwerk nach einem der Ansprüche 1 bis 10, gekennzeichnet durch folgende Merkmale: Die Widerstände umfassen Dickschichtwiderstände.

13. Verfahren zum Herstellen eines Widerstands-Netzwerkes, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:
a) Aufbringen eines Widerstandsmaterials auf ein Substrat;
b) Entfernen des Widerstandsmaterials, um einen ersten Widerstand mit einem ersten und einem zweiten Abschnitt zu definieren;
c) Entfernen des Widerstandsmaterials, um einen zweiten Widerstand mit einem mit den Abschnitten des ersten Widerstandes kammartig ineinandergreifenden Abschnitt zu definieren;
d) Abgleichen des ersten und des zweiten Abschnittes vom ersten Widerstand mittels Laserstrahl, um ungefähr gleiche Widerstandswerte herzustellen.

14. Verfahren nach Anspruch 13, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:
Abgleichen des Abschnitts vom zweiten Widerstand mittels Laserstrahl, um zwischen erstem und zweitem Widerstand ein vorbestimmtes Widerstandsverhältnis herzustellen.