DE3620558A1 - Piezoelektrischer vibrator - Google Patents
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen piezoelektrischen
Vibrator mit einer piezoelektrischen schwingenden Platte
und einem Paar von Elektroden, welche an entgegengesetzten
Oberflächen der piezoelektrischen schwingenden Platte
angebracht sind und insbesondere einen piezoelektrischen
Vibrator zur Erzeugung von hauptsächlich
Oberwellenschwingungen in einem Dicken-Schermodus.
Bei piezoelektrischen Vibratoren bzw. Schwingern gibt
es verschiedene Moden, wie z. B. die Biegeschwingung,
Dickenlängsschwingung und Dickenscherschwingung. Um eine
Schwingungsfrequenz zu erzeugen, die höher liegt als im
Megaherzbereich, wird grundsätzlich der Dicken-Scher-Schwingmodus
verwendet. Eine Grundfrequenz einer
Dickenscherschwingung ist umgekehrt proportional zur
Dicke einer piezoelektrischen Schwingplatte, die aus
piezoelektrischem Material besteht. Z. B. wird im Fall der
Verwendung einer Quarzschwingplatte eines AT-Schnitts
(temperaturabhängiger Kristall) eine Grundfrequenz von
10 MHz erhalten, wenn man eine Schwingplatte verwendet,
die eine Dicke von 0,167 mm aufweist. Eine Grundfrequenz
von 30 MHz wird erzeugt, wenn eine Schwingplatte mit einer
Dicke von 0,056 mm verwendet wird. Wenn es daher gewünscht
ist, einen piezoelektrischen Schwinger zur Erzeugung
einer höheren Frequenz zu schaffen, ist es notwendig,
eine Schwingplatte zu verwenden, welche eine geringere
Dicke aufweist. Jedoch ist es praktisch schwierig, die
Schwingplatte mit einer Dicke kleiner als 0,1 mm mit
großer Präzision und hoher Ausbeute herzustellen. Daher
ist es allgemein geläufig, Oberwellen zu verwenden, z. B.
die dritte Oberwelle, um eine Frequenz höher als 20 MHz
zu erhalten.
Im allgemeinen kann der piezoelektrische Schwinger bei
jeder der beiden folgenden Frequenzen schwingen, nämlich
der Grundfrequenz und der Oberwellenfrequenz. Um daher
den piezoelektrischen Schwinger bei einer gewünschten
Oberwellenfrequenz schwingen zu lassen, ist es
gebräuchlich, eine variable Spule oder Kondensator
einzustellen, der bzw. die in einem Oszillator vorgesehen
ist, welche eine Frequenzauswahleigenschaft aufweist.
Dies wird im Detail mit Bezug auf Fig. 1 beschrieben.
Fig. 1 zeigt eine äquivalente Schaltung eines
piezoelektrischen Vibrators oder Schwingers 1 und eine
Oszillatorschwingung 2, die mit dem piezoelektrischen
Schwinger verbunden ist. Parallel zum piezoelektrischen
Vibrator oder Schwinger 1 ist in Serienschaltung ein
effektiver Lastwiderstand 3 und eine effektive
Lastkapazität 4 der Oszillatorschaltung 2 angeschlossen.
Um den piezoelektrischen Schwinger 1 positiv schwingen
zu lassen, ist es erforderlich, den Lastwiderstand 3
genügend groß zu machen, verglichen mit dem
Serienresonanzwiderstand einer Serienschaltung, die aus
einem Widerstand des piezoelektrischen Schwingers 1 und
der Lastkapazität 4 zusammengesetzt ist, wobei der
Serienresonanzwiderstand als Äquivalent des
Serienwiderstandes bestimmt ist. Um daher den
piezoelektrischen Schwinger 1 des Dicken-Schermodus bei
einer Oberwellenfrequenz in stabiler Weise schwingen zu
lassen, sollte der Widerstandswert des piezoelektrischen
Schwingers 1 bei der Oberwellenfrequenz ausreichend
kleiner sein als der bei der Grundfrequenz.
Jedoch ist bei den bekannten piezoelektrischen Schwingern
die Differenz zwischen dem Widerstandswert bei der
Oberwellenfrequenz und dem Widerstandswert bei der
Grundfrequenz gering. Z. B. sind der Widerstandswert von
piezoelektrischen Schwingern mit schwingenden
Quadratplatten von 8 mm×8 mm und einer Dicke von 0,21 mm
bei der Grundfrequenz von 8 MHz und der dritten
Oberwellenfrequenz von 24 MHz in der folgenden Tabelle 1
gezeigt:
Wie aus der Tabelle 1 ersichtlich ist, unterscheiden sich
der Widerstandswert des piezoelektrischen Schwingers bei
der Grundfrequenz und der Widerstandswert der dritten
Oberwellenfrequenz nur leicht voneinander. Daher wird in
der Oszillatorschaltung, welche den bekannten
piezoelektrischen Schwinger umfaßt, die dritte Oberwelle
unstabil, um die Oberwellenschwingung zu stoppen, und
beginnt daher bei der ungewünschten Grundfrequenz zu
schwingen. Wenn insbesondere die Oberwelle in Verbindung
mit einem C-MOS-Inverter und einem TTL-Inverter verwendet
wird, welcher jüngst entwickelt wurde, könnte der
piezoelektrische Schwinger nicht bei einer gewünschten
Oberwellenfrequenz schwingen, wenn die Charakteristiken
bzw. Kennlinien des Vibrators oder Schwingers und der
Oszillatorschaltung sich leicht oder geringfügig ändern.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe
zugrunde, einen neuen und nützlichen sowie anwendbaren
piezoelektrischen Schwinger vom Dicken-Schermodus zu
schaffen, welcher bei einer gewünschten Oberwellenfrequenz
in stabiler Weise schwingen kann, und daß die Schwingung
bei der Grundfrequenz wahlweise unterdrückt werden kann.
Gemäß der Erfindung wird diese Aufgabe bei einem
piezoelektrischen Schwinger, welcher bei einer
Oberwellenfrequenz schwingt und welcher eine schwingende
Platte aufweist, die aus einem piezoelektrischen Material
hergestellt ist und welche gegenüberliegende
Hauptoberflächen aufweist sowie ein Paar von Elektroden,
welche an die Hauptoberflächen der schwingenden Platte
gegenüberliegend zueinander angebracht sind, dadurch
gelöst, daß mindestens ein Bereich einer Kontur der
schwingenden Platte örtlich dichter zu den Konturen der
Elektroden vorgesehen ist bzw. verläuft.
In dem piezoelektrischen Schwinger nach der vorliegenden
Erfindung wird der Widerstandswert bei der Grundfrequenz
extrem groß, während der Widerstandswert bei der
Oberwellenfrequenz nicht wesentlich erhöht ist oder nur
geringfügig erhöht ist, so daß die Grundschwingung zu
einem großen Teil unterdrückt ist und der
piezoelektrische Schwinger stabil bei der gewünschten
Oberwellenfrequenz schwingen kann.
Gemäß der Erfindung kann die Kontur der schwingenden
Platte dichter an die Konturen der Elektroden im Wege
von unterschiedlichen Verfahrensschritten, die später
erklärt werden, herangeführt sein. In einem bevorzugten
Ausführungsbeispiel wird ein Teil der Kontur der
schwingenden Platte abgeschnitten oder abgetrennt, so daß
die Schwerenmitte (Schwerpunkt) der Schwingplatte
exzentrisch ist in bezug auf die Schwerenmitte der
Elektrode. Eine solche Ausführungsform ist insbesondere
im Hinblick auf die Charakteristiken und den
Herstellungsprozeß geeignet.
Außerdem kann gemäß der Erfindung der Widerstandswert
des piezoelektrischen Schwingers bei der Grundfrequenz
selektiv erhöht werden, und zwar durch gleichförmiges
bzw. stetiges Verringern einer Dimension der
Schwingplatte in bezug auf die Elektroden.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen finden sich in den
Unteransprüchen.
Im folgenden werden die Figuren beschrieben. Es zeigt
Fig. 1 eine Äquivalenzschaltung mit einem Oszillator,
welcher einen piezoelektrischen Schwinger
aufweist,
Fig. 2 eine Frontansicht, die ein Ausführungsbeispiel
des piezoelektrischen Schwingers veranschaulicht,
und zwar der erfindungsgemäßen Art,
Fig. 3 eine Kurvendarstellung, welche die Wirkung des
piezoelektrischen Schwingers von Fig. 2
veranschaulicht,
Fig. 4A bis 4E Frontansichten von einzelnen
Ausführungsformen des piezoelektrischen
Schwingers nach der Erfindung,
Fig. 5A und 5B Frontansichten, die andere
Ausführungsformen des piezoelektrischen
Schwingers nach der Erfindung zeigen,
Fig. 6 eine Kurvendarstellung, welche die
Widerstandscharakteristik des piezoelektrischen
Schwingers nach der Erfindung darstellt,
Fig. 7 eine Frontansicht eines weiteren
Ausführungsbeispieles des piezoelektrischen
Schwingers nach der Erfindung und
Fig. 8 eine Kurvendarstellung, die den
Widerstandscharakteristikverlauf des
piezoelektrischen Schwingers von Fig. 7 zeigt.
Fig. 2 zeigt die Frontansicht eines Ausführungsbeispiels
des piezoelektrischen Schwingers nach der Erfindung. Der
piezoelektrische Schwinger umfaßt eine Schwingplatte 11,
die aus einem AT-Schnitt-Quarz von einer Dicke von 0,21 mm
hergestellt ist. Die Schwingplatte 11 weist im allgemeinen
eine Quadratform mit einer Seitenlänge von 8 mm auf. Auf
der front- und rückseitigen Hauptoberfläche der
Schwingplatte 11 sind kreisförmige Elektroden 12 und 13
gegenüberliegend zueinander angebracht. In Fig. 2 ist
die Elektrode 13 auf der rückseitigen Hauptoberfläche der
Schwingplatte 11 angebracht, was jedoch nicht sichtbar
ist, ausgenommen ihr Anschlußbereich. Anschlußdrähte
14 und 15, welche jeweils mit den Elektroden 12 und 13
verbunden sind, sind durch einen Elektrodenfuß 16 aus
elektrisch isolierendem Material gestützt bzw. auf diesem
gelagert. In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist
eine Ecke der Schwingplatte 11 längs einer schrägen Linie
abgeschnitten, so daß ein Teil der Kontur der
Schwingplatte dichter zur Kontur der Elektroden 12 und 13
verläuft. In dieser Konfiguration ist die Schwerenmitte
der Schwingplatte 11 exzentrisch in bezug auf die
Schwerenmitte der Elektroden 12 und 13.
Bei der vorliegenden Ausführungsform ist die Ecke der
Schwingplatte 11 in der Weise abgeschnitten, daß ein
Bereich der Schwingplatte, der ein rechtwinkliges
gleichschenkeliges Dreieck bildet, mit einer Seite von
l mm entfernt wird. Die Widerstandswerte des
piezoelektrischen Wandlers wurden bei der Grundfrequenz
und der dritten Oberwellenfrequenz gemessen, während die
Länge l innerhalb eines Bereiches von 0 bis 4 mm geändert
wurde. Die Widerstandsmessung wurde mit Hilfe eines
Kristallwiderstandsmessers (CI-Messer) durchgeführt,
dessen Ergebnis in der folgenden Tabelle 2 dargestellt
ist.
Fig. 2 zeigt Widerstandskurven bei der Grundfrequenz und
der dritten Oberwellenfrequenz. Eine Kurve A verkörpert
die Widerstandsänderung bei der Grundfrequenz, und eine
Kurve B bezeichnet die Widerstandsänderung bei der
dritten Oberwellenfrequenz. Wie aus der oben genannten
Tabelle 2 verstanden werden kann sowie aus der
Kurvendarstellung von Fig. 3, ist der Widerstandswert von
18,6 Ω bei einer Schwingplatte 11 mit nicht
abgeschnittener Ecke (l =0) für die Grundschwingung im
wesentlichen gleich dem Widerstandswert von 17,1 Ω für
die dritte Oberwelle. Wenn jedoch die Ecke der
Schwingplatte 11 abgeschnitten wird, nimmt der
Widerstandswert der Grundwelle abrupt zu, während der
Widerstandswert der dritten Oberwellenfrequenz nicht
wesentlich erhöht wird, solange und soweit die Länge l
kleiner als 3 mm ist. Der Widerstandswert wird leicht
zunehmen, wenn die Länge l 3 mm überschreitet. Auf diese
Weise ist es durch Abschneiden der Ecke der Schwingplatte
möglich, den Widerstandswert des piezoelektrischen
Schwingers für die Grundschwingung extrem höher zu machen
als den Widerstandswert der dritten Oberwellenschwingung,
so daß die Grundschwingung im wesentlichen und
hauptsächlich unterdrückt ist und der piezoelektrische
Schwinger bei der dritten Oberwellenfrequenz in stabiler
Weise schwingen kann.
Die Fig. 4A bis 4E sind Frontansichten, die einige
Ausführungsformen des erfindungsgemäßen piezoelektrischen
Schwingers zeigen. In einem Ausführungsbeispiel gemäß
Fig. 4A sind beide Ecken einer oberen Seite einer
Schwingplatte 11 längs einer geneigten Linie abgeschnitten,
während in einem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4B die
obere Seite einer Schwingplatte 11 insgesamt abgeschnitten
ist, und zwar in einer Entfernung l von der
ursprünglichen Oberfläche. In einer Ausführungsform gemäß
Fig. 4C ist eine Ecke der Schwingplatte in solcher Weise
abgeschnitten, daß ein Bereich der Schwingplatte, der
eine rechtwinklige Dreiecksform mit Seitenlängen l H und
l V (l H ≠l V ) aufweist, entfernt ist. In diesen Ausführungsbeispielen
ist die Schwerenmitte der Schwingplatte exzentrisch in
bezug auf die Schwerenmitte der Elektrode. In den
Ausführungsformen gemäß den Fig. 4D und 4E ist die
Schwerenmitte der Schwingplatte konzentrisch mit der
Schwerenmitte der Elektrode. In einem Ausführungsbeispiel
gemäß Fig. 4D sind alle vier Ecken einer quadratischen
Schwingplatte 11 abgeschnitten, und zwar in ähnlicher
Weise, während im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4E
zahnförmige Einschnitte 11 A in Mittelbereichen aller vier
Seiten einer quadratischen Schwingplatte 11 ausgebildet
sind. Gemäß der Erfindung kann der piezoelektrische
Schwinger stabil bei der dritten Oberwellenfrequenz
schwingen, während die Grundschwingung wirksam und
selektiv unterdrückt werden kann, sogar dann, wenn die
Schwerenmitte der Schwingplatte identisch ist mit der
der Elektrode.
Fig. 5A und 5B sind Frontansichten, die weitere
Ausführungsformen des piezoelektrischen Schwingers nach
der Erfindung darstellen, in denen die Schwingplatte
nirgendwo abgeschnitten ist. In dem Ausführungsbeispiel
gemäß Fig. 5A sind Elektroden 12 und 13 auf entsprechenden
Hauptoberflächen einer quadratischen Schwingplatte 11
angebracht, und zwar in einer Position weg vom Mittelpunkt.
Im Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 5B sind die Elektroden
12 und 13 auf entsprechenden Hauptoberflächen einer
kreisförmigen Schwingplatte 11 in einer außermittigen
Position angebracht. In diesen Ausführungsbeispielen ist
die untere Seite der Schwingplatte 11 örtlich dichter an
die Elektroden 12 und 13 herangeführt, so daß die
Grundschwingung selektiv bis zu einem großen Ausmaße
unterdrückt werden kann.
Es werden nun einige Beispiele des piezoelektrischen
Schwingers nach der Erfindung beschrieben.
Eine Schwingplatte wurde aus einer quadratischen Platte
von einem AT-Schnitt-Quarz mit einer Dicke von 0,21 mm
und einer Seitenlänge des Quadrates von 8 mm gebildet.
Auf beiden Oberflächen der Platte wurden kreisförmige
Elektroden mit einem Durchmesser von 5 mm angebracht,
wobei die Schwerenmitte der Schwingplatte identisch ist
mit der Mitte der kreisförmigen Elektroden. Sodann werden
beide oberen Ecken der Schwingplatte allmählich
abgeschnitten, wie in Fig. 4A gezeigt, wobei die
Widerstandswerte des Schwingers für die Grundschwingung
bei 8 MHz und die dritte Oberwellenschwingung bei 24 MHz
durch den CI-Messer gemessen werden. Das Meßergebnis ist
durch die Kurven A und B in Fig. 6 veranschaulicht. Die
Kurve A stellt die Widerstandsänderung bei der
Grundfrequenz dar, während die Kurve B die
Widerstandsänderung bei der dritten Oberwellenfrequenz
bezeichnet. Der Widerstandswert der Grundschwingung
nimmt rapide zu, wenn die Länge l größer als 1 mm ist.
Im Gegensatz hierzu nimmt der Widerstandswert der dritten
Oberwelle nicht wesentlich zu bzw. ändert sich nicht
wesentlich, wenn die Länge l kürzer als ungefähr 2,5 mm
ist. Wenn die Ecken in beachtlichem Maße abgeschnitten
werden (l4 mm) nimmt der Widerstandswert für die dritte
Oberwelle nur bis ungefähr 40 Ω zu, was extrem gering
ist verglichen mit dem Widerstandswert für die
Grundschwingung. Zwanzig piezoelektrische Schwinger,
deren obere Ecken um l = 3 mm abgeschnitten wurden,
wurden hergestellt und in eine echte Oszillatorschaltung
eingeschaltet. Sodann wurden die piezoelektrischen
Schwinger bei der dritten Oberwellenfrequenz von 24 MHz
in Schwingung versetzt. Alle piezoelektrischen Wandler
arbeiteten stabil bei einer Nominalspannung von 5 V.
Sogar wenn die Spannung auf 60% vom Nominalwert, d. h.
auf 3 V, verringert wurde, schwangen alle zwanzig
piezoelektrischen Schwinger bei der dritten
Oberwellenfrequenz in äußerst stabiler Weise.
Wie in Fig. 7 veranschaulicht, wurde eine Platte 11 einer
kreisförmigen Quarzplatte von einer Dicke von 0,167 mm
und einem Durchmesser von 8 mm hergestellt. Auf
entsprechenden Hauptoberflächen der Schwingplatte 11
sind kreisförmige Elektroden 12 und 13 mit einem
Durchmesser von 4 mm angebracht. Anschließend wurde ein
Bereich der Peripherie der Schwingplatte 11 in einem
Abstand L abgeschnitten. Der Widerstandswert des
piezoelektrischen Schwingers dieser Formgebung wurde
mit Hilfe eines CI-Meßgerätes gemessen, während der
Abstand L von 0 bis 2 mm geändert wurde. Eine Kurve A,
die in Fig. 8 gezeigt ist, verkörpert die
Widerstandsänderung bei der Grundfrequenz von 10 MHz,
während eine Kurve B die Widerstandsänderung bei der
dritten Oberwellenfrequenz von 30 MHz zeigt. Der
Widerstandswert für die Grundschwingung nimmt abrupt
zu, wenn der Abstand L 0,7 mm übersteigt. Der
Widerstandswert der dritten Oberwelle ändert sich nicht
wesentlich bis zu einem Abstand L gleich 1,5 mm. Es sollte
erwähnt werden, daß der Widerstandswert für die
Grundschwingung niedriger ist als der für die dritte
Oberwelle, solange der Abstand L kleiner ist als 1 mm.
Wenn jedoch die kreisförmige Schwingplatte im Abstand L
abgeschnitten wird, und zwar bei L größer als 1 mm, wird
der Widerstandswert für die dritte Oberwelle kleiner als
der für die Grundschwingung. Es wurde experimentell
bestätigt, daß der piezoelektrische Schwinger bei der
dritten Oberwellenfrequenz in Schwingung versetzt werden
kann durch Wahl des Abstandes L derart, daß der
Widerstandswert für die dritte Oberwelle kleiner ist als
ein Drittel des Widerstandswertes für die Grundschwingung.
Zehn piezoelektrische Schwinger wurden hergestellt und
in eine aktuelle Oszillatorschaltung eingebaut, wobei
jeder Schwinger an der Peripherie in einem Abstand L von
1,75 mm abgeschnitten wurde. Alle zehn piezoelektrischen
Schwinger arbeiteten stabil bei der dritten
Oberwellenfrequenz von 30 MHz. Keine der
piezoelektrischen Schwinger schwangen bei der
Grundfrequenz.
Wie oben im Detail beschrieben, kann der Widerstandswert
bei der Grundfrequenz in einem piezoelektrischen
Schwinger vom Dicken-Schermodus nach der Erfindung
selektiv erhöht bzw. vergrößert werden, um die
Grundschwingung bis zu einem großen Ausmaß zu unterdrücken,
und zwar dadurch, daß ein Teil der Kontur der Schwingplatte
dichter an die Elektrode herangebracht wird. Daher kann
der piezoelektrische Schwinger stabil bei einer
Oberwellenfrequenz schwingen. Ein solcher piezoelektrischer
Schwinger kann in vorteilhafter Weise bei unterschiedlichen
Anwendungsmöglichkeiten angewendet und eingesetzt werden
und bewirkt einen bemerkenswerten Fortschritt in der
einschlägigen Industrie.
Claims (17)
1. Piezoelektrischer Schwinger, der mit einer
Oberwellenfrequenz schwingt, mit einer schwingenden
Platte aus piezoelektrischem Material und mit
gegenüberliegenden Hauptoberflächen sowie mit einem
Elektrodenpaar, welches an den Hauptoberflächen der
Schwingplatte in gegenüberliegender Stellung
angebracht ist,
dadurch gekennzeichnet, daß zumindest
ein Teil eines Konturenbereiches der Schwingplatte
örtlich dichter an den Konturen der Elektroden liegt.
2. Schwinger nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwerenmitte der Schwingplatte exzentrisch ist in
bezug auf die Schwerenmitte der Elektrode.
3. Schwinger nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte eine quadratische Platte ist, deren
eine Ecke längs einer geneigten Linie abgeschnitten
ist.
4. Schwinger nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte eine quadratische Platte ist, deren
benachbarte Ecken längs einer geneigten Linie
abgeschnitten sind.
5. Schwinger nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte aus einer quadratischen Platte gebildet
ist, deren eine Seite längs einer Linie parallel zur
gegenüberliegenden Seite abgeschnitten ist.
6. Schwinger nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet, daß die
geneigte Linie die benachbarten Seiten in Winkeln
schneidet, die von 45° unterschiedlich sind.
7. Schwinger nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte als quadratische Platte ausgebildet
ist und daß die Elektroden an entsprechenden
Hauptoberflächen der Schwingplatte jeweils in einer
Position angebracht sind, die gegenüber der Mitte der
Schwingplatte verschoben ist.
8. Schwinger nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte aus einer kreisförmigen Platte
hergestellt ist und die einen abgeschnittenen
peripheren Bereich aufweist.
9. Schwinger nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte als kreisförmige Platte ausgebildet ist
und daß die Elektroden aus entsprechenden
Hauptoberflächen der kreisförmigen Platte in einer
Position angebracht sind, welche gegenüber der Mitte
der kreisförmigen Platte verschoben ist.
10. Schwinger nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwerenmitte der Schwingplatte identisch ist mit der
Schwerenmitte der Elektroden.
11. Schwinger nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte aus einer quadratischen Platte gebildet
ist, deren vier Ecken längs geneigter Linien
abgeschnitten sind.
12. Schwinger nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte aus einer quadratischen Platte gebildet
ist, welche zahnförmige Einschnitte aufweist, die an
vier Seiten der quadratischen Platte eingeschnitten
sind.
13. Schwinger nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der
Widerstandswert des piezoelektrischen Schwingers für
die Grundschwingung kleiner ist als die Hälfte des
Widerstandswertes der Oberwellenschwingung.
14. Schwinger nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte aus Quarz hergestellt ist.
15. Schwinger nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß der
piezoelektrische Schwinger bei der dritten
Oberwellenfrequenz in Schwingung versetzt wird.
16. Schwinger nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte eine Dicke von ungefähr 0,21 mm aufweist
und daß der piezoelektrische Schwinger bei der
dritten Oberwellenfrequenz von 24 MHz in Schwingung
versetzt wird.
17. Schwinger nach Anspruch 15,
dadurch gekennzeichnet, daß die
Schwingplatte eine Dicke von ungefähr 0,167 mm
aufweist und daß der piezoelektrische Schwinger bei
der dritten Oberwellenfrequenz von 30 MHz in
Schwingung versetzt ist.
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