DE3534792C2

DE3534792C2 -

Info

Publication number: DE3534792C2
Application number: DE3534792A
Authority: DE
Inventors: Reinhard 6472 Altenstadt De Kraft; Horst Dr. 8755 Alzenau De Ranke
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1985-09-30
Filing date: 1985-09-30
Publication date: 1989-02-23
Also published as: EP0217210A2; JPS62115634A; EP0217210A3; DE3670177D1; EP0217210B1; DE3534792A1; US4803398A; JPH0550093B2

Description

Die Erfindung betrifft einen Elektronenstrahlerzeuger mit einer direkt beheizbaren ersten Katode, die entgegen der Strahlrichtung gesehen hinter einer indirekt beheizbaren zweiten Blockkatode ange ordnet ist, die über mehrere abstehende Tragstreben mit einem zentrisch durchbohrten scheibenförmigen Teil einer Fokussierungselektrode verbunden ist.

Derartige z. B. aus der DE-OS 26 27 862 bekannte Elektronenstrahlerzeuger werden als Quelle von Elektronenstrahlen hoher Leistung verwendet, wie sie für das Schmelzen und/oder Verdampfen von Werk stoffen im Vakuum benötigt werden. Dabei wird die im wesentlichen aus einer massiven Kreisscheibe be stehende Blockkatode im allgemeinen durch eine aus Draht bestehende, wendelförmig gebogene direkt be heizte Katode aufgeheizt und sendet nun ihrerseits aufgrund einer in dem System vorhandenen Be schleunigungsspannung einen gebündelten Elektronen strahl aus.

Durch die US-PS 32 73 003 sind verschiedene Formen einer indirekt beheizbaren Blockkatode bekannt, wobei jedoch lediglich angegeben ist, daß die freien Enden der abstehenden Tragstreben mit einer konventionellen Haltevorrichtung verbunden sind. Man ist dabei in der Praxis bisher so verfahren, daß die freien Enden der Tragstreben abgewinkelt und unter Vorspannung in achsparallele Durchgangs löcher eines scheibenförmigen Teils eingesetzt wurden. Dieser scheibenförmige Teil wurde nun seinerseits wiederum durch Niete mit dem Stirn flansch eines hohlzylindrischen Teils verbunden. Der scheibenförmige und der hohlzylindrische Teil bildeten dabei zusammen die Fokussierungselektrode, häufig auch als Wehnelt-Zylinder bezeichnet.

Bei der bekannten Lösung bestand jedoch folgende Problematik: Das Abwinkeln der Tragstreben war relativ schwierig und nicht immer mit der gewünschten Genauigkeit durchführbar, und auch die kraft schlüssige Halterung in den achsparallelen Durchgangs löchern des scheibenförmigen Teils führte nur nach umständlichen Justierarbeiten zu einer einigermaßen koaxialen Ausrichtung zu einer Mittenbohrung im scheibenförmigen Teil. Diese koaxiale Ausrichtung ist aber wichtig, da durch die geometrische Form der Mittenbohrung die eigentliche Strahlformung bewirkt wird. Durch die weiter oben beschriebene Vernietung entstand eine Unregelmäßigkeit in der Oberfläche der Fokussierungselektrode, die zu un erwünschten Spannungsspitzen mit örtlich überhöhten Feldstärken führte. Gelegentlich ragten auch die unterschiedlich langen abgewinkelten Enden der Tragstreben aus der Stirnseite der Fokussierungs elektrode hervor, so daß sich weitere Spannungs spitzen ergaben. Durch diese Spannungsspitzen wurden Oberschläge begünstigt, die in Vakuumanlagen soweit wie irgend möglich vermieden werden müssen.

Weiterhin sind sowohl die Blockkatode als auch der scheibenförmige Teil der Fokussierungselektrode in Abhängigkeit von der Belastung einem nicht vernach lässigbaren Verschleiß ausgesetzt, und auch im Falle einer Umrüstung des Elektronenstrahlerzeugers müssen die Blockkatode und der scheibenförmige Teil ausge wechselt werden. In beiden Fällen werden die vor stehend beschriebenen Niete durch Aufbohren ent fernt. Ein solcher Aufbohrvorgang kann nur wenige Male durchgeführt werden, bis die betreffenden Teile unbrauchbar werden.

Auch bei dem aus der DE-OS 26 27 862 bekannten Strahlerzeuger ist die Justierung der Blockkatode relativ zum scheibenförmigen Teil, sowie die Anwendung dieser Teile nur erschwert möglich, da die Blockkatode und der scheibenförmige Teil jeweils für sich über Halter an einer Tragplatte gehalten sind.

Bei dem durch die DE-OS 26 27 862 bekannten Elektronenstrahlerzeuger wird die mit einer Umfangsnut versehene Blockkatode von tangential verlaufenden Stangen gehalten, deren entgegengesetztes Ende zwischen Metallbacken eingespannt ist. Dadurch wird eine genaue Zentrierung zeitraubend und schwierig. Zwar ist es möglich, die Metallstäbe einzeln von der Vorderseite her aus den Klemmbacken zu lösen, jedoch ist es nicht möglich, ohne ein vollständiges Zerlegen des Strahlerzeugers die Blockkatode als Baueinheit mit einem ringförmigen Katodenhalter auszubauen, der seinerseits die Klemmbacken trägt. Dies liegt daran, daß der Katodenhalter von der Rückseite einer Isolierstoffplatte her mittels Schrauben verspannt ist, die nicht ohne weiteres zugänglich sind. Auch dient die scheibenförmige Wehnelt-Elektrode beim Stande der Technik nicht zur Halterung der Blockkatode; sie besitzt für deren Aufnahme auch keinerlei Zentrierfläche.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen Elektronenstrahlerzeuger der eingangs be schriebenen Gattung anzugeben, bei dem die Block katode relativ zum scheibenförmigen Teil exakt justiert werden kann, bei dem das Auswechseln der Blockkatode und des scheibenförmigen Teils auf ein fache Weise möglich sind und bei dem auf der Ober fläche der Fokussierungselektrode keinerlei Ober flächenunregelmäßigkeiten auftreten können.

Die Lösung der gestellten Aufgabe erfolgt erfindungs gemäß dadurch, daß

a) der scheibenförmige Teil eine erste Zentrierfläche aufweist, die zur Bohrung konzentrisch ausgerichtet ist,
b) die Blockkatode mittels ihrer Tragstreben kon zentrisch in einem Tragring befestigt ist, der eine zur ersten Zentrierfläche komplementäre zweite Zentrierfläche aufweist,
c) die Blockkatode mittels des Tragrings von der der ersten Katode zugewandten Seite her in den scheibenförmigen Teil einge setzt ist, und daß
d) der Tragring und der scheibenförmige Teil mittels eines Verriegelungsringes gegeneinander verspann bar sind.

Bei einem solchen Elektronenstrahlerzeuger sind allein durch Lösen des Verriegelungsringes sowohl die Block katode als auch der scheibenförmige Teil zum Innern der Fokussierungselektrode hin ausbaubar. Die Block katode läßt sich relativ zum Tragring durch die Tragstreben außerordentlich genau positionieren, ge gebenenfalls unter Verwendung einer Lehre, so daß die aus Blockkatode, Tragstreben und Tragring be stehende Baueinheit beim Einsetzen in den scheiben förmigen Teil äußert exakt justiert wird. Dabei ist auch eine einwandfreie elektrische Verbindung der Tragstreben mit dem Tragring möglich, so daß asymmetrische Stromzuführungen ausgeschaltet sind. Zum Auswechseln brauchen auch keinerlei Nietver bindungen durch Ausbohren gelöst werden, so daß ins besondere der relativ teure scheibenförmige Teil sehr häufig wieder verwendet werden kann. Die Ober fläche der Fokussierungselektrode läßt sich zusätz lich sehr glatt gestalten, so daß Spannungspitzen mit ihren nachteiligen Wirkungen gleichfalls ver mieden werden. Durch den Erfindungsgegenstand ent fällt insbesondere die bei der bekannten Lösung äußerst aufwendige Justierung durch unterschiedliches Ver biegen der freien Enden der Tragstreben. Hierbei ist zu berücksichtigen, daß eine solche Justiermöglichkeit nach der ersten Inbetriebnahme nicht mehr gegeben ist, weil das üblicherweise für die Tragstreben verwendete Material beim Aufheizen stark versprödet.

Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen des Erfindungs gegenstandes ergeben sich aus den Unteran sprüchen.

Ein Ausführungsbeispiel des Erfindungsgegenstandes und seine wesentlichen Teile werden nachfolgend an hand der Fig. 1 bis 4 näher erläutert.

Es zeigen:

Fig. 1 einen Axialschnitt durch einen voll ständigen Elektronenstrahlerzeuger,

Fig. 2 einen Axialschnitt durch eine aus Block katode, Tragstreben und Tragring be stehende Baueinheit in vergrößertem Maß stab,

Fig. 3 eine Draufsicht auf den Gegenstand von Fig. 2 und

Fig. 4 eine Unteransicht des Verriegelungsringes in einem gegenüber Fig. 2 und 3 ver kleinertem Maßstab.

In Fig. 1 ist ein Elektronenstrahlerzeuger 1 ge zeigt, der eine direkt beheizbare erste Katode 2 und eine durch die erste Katode indirekt beheizbare zweite Katode 3, die sogenannte Blockkatode auf weist. Die erste Katode 2 besteht in ihrem zentralen Teil aus einem spiralförmig gebogenen Teil, der über zwei nach hinten und außen führende Anschlußenden mit metallischen Tragstützen 4 und 5 verbunden sind, über die gleichzeitig die Stromzufuhr bewirkt wird. Die Tragstützen 4 und 5 sind mittels zweier Anschluß bolzen 6 und 7 an einem Isolierkörper 8 gehalten, der seinerseits wieder an einer Tragstange 9 be festigt ist, die gleichzeitig zur Stromzu führung zum rechten Anschlußbolzen 7 führt. Die Stromzuführung zum Anschlußbolzen 6 ist nicht näher gezeigt. Die vorstehend beschriebene Anordnung ist in einer inneren Fokussierungselektrode 10 unter gebracht, die in ihrer Stirnseite 11 eine koaxiale Bohrung 12 aufweist, in der die erste Katode 2 konzentrisch angeordnet ist. Dadurch wird ein im Betrieb nach oben (bezogen auf Fig. 1) gerichtetes Strahlenbündel er zeugt, das auf die Blockkatode 3 auftrifft und in Ab hängigkeit von der Steuerung der Potentialdifferenz eine mehr oder weniger starke Aufheizung der Block katode 3 bewirkt, so daß diese nun ihrerseits ein wiederum nach oben gerichtetes Strahlenbündel aus sendet.

Die innere Fokussierungselektrode 10 ist konzentrisch von einem Hohlzylinder 13 umgeben, der einen Stirn flansch 14 aufweist. In die dadurch gebildete kreis förmige Öffnung ist ein scheibenförmiger Teil 15 so eingesetzt, daß seine zentrische Bohrung 16 kon zentrisch zur gemeinsamen Achse A-A des gesamten Systems verläuft. Der scheibenförmige Teil 15 stützt sich über eine nicht näher bezeichnete Schulterfläche am Stirnflansch 14 ab. Der Hohl zylinder 13 und der scheibenförmige Teil 15 bilden zusammen eine äußere Fokussierungselektrode 17.

Im scheibenförmigen Teil 15 befindet sich eine zur Bohrung 16 konzentrische erste Zentrierfläche 18, die als schmale Zylinderfläche ausgebildet ist. Die von der Zentrierfläche 18 begrenzte zylindrische Aus nehmung dient zur Aufnahme der Baugruppe nach den Fig. 2 und 3, zu der ein Tragring 19 gehört. Dieser Tragring besitzt eine zur ersten Zentrier fläche 18 komplementäre zweite Zentrierfläche 20, welche gleichfalls eine schmale Zylinderfläche ist. Im Innern des Tragrings 19 befindet sich die Block- Katode 3, in der eine Umfangsnut 21 angeordnet ist, in die in etwa tangentialer Ausrichtung und äquidistant auf dem Umfang verteilt vier Tragstreben 22 ange ordnet sind. Die Tragstreben 22 sind als Zylinderbolzen ausgeführt und mit ihren inneren Enden in die Umfangs nut 21 eingepreßt. Mit ihrem jeweils anderen Ende ist jede der Tragstreben 24 in eine entsprechende Nut 23 im Tragring 19 eingepreßt, wobei jede dieser Nuten entlang einer Sehne verläuft, die um das Maß "s" parallel zu einer diametralen Linie versetzt ist. Wie insbesondere aus Fig. 3 ersichtlich ist, entspricht das Maß "s" dem Radius "R" der Block katode 3 abzüglich dem halben Durchmesser der Trag streben 22. Es versteht sich, daß zwischen der Block katode 3 und dem Innendurchmesser des Tragrings 19 ein ausreichend großer Abstand vorhanden ist.

Wie wiederum aus Fig. 1 ersichtlich ist, wird der Tragring 19 im scheibenförmigen Teil 15 durch einen Verriegelungsring 24 gehalten, dessen Einzelheiten anhand von Fig. 4 erläutert werden. Der Innendurch messer des Verriegelungsrings 24 entspricht dabei im wesentlichen dem Innendurchmesser des Tragrings 19. Auf seinem äußeren Umfang 25 besitzt der Verriegelungs ring 24 zwei radiale Nuten 26, die sich über die gesamte Dicke des Verriegelungsrings erstrecken. Von diesen Nuten 26 gehen zwei in Umfangsrichtung verlaufende schiefe Ebenen 27 aus, deren Endkanten 28 in der unteren Begrenzungsfläche 29 des Verriegelungs rings 24 liegen. Weiterhin sind zwei Bohrungen 30 vorhanden, die zum Ansetzen eines Werkzeugs zum Zwecke des Verdrehens des Verriegelungsringes 24 dienen.

Zur Festlegung des Verriegelungsringes, dessen Außen durchmesser etwa dem Innendurchmesser des Hohl zylinders 13 entspricht, sind in diesem Hohlzylinder an diametral gegenüberliegenden Stellen (entsprechend der Lage der Nuten 26) zwei Zylinderzapfen 31 angeordnet, von denen nur einer gezeigt ist. Aufgrund der Nuten 26 läßt sich der Verriegelungsring 24 zwischen die Zylinderzapfen 31 und das scheibenförmige Teil 15 bringen. Durch Verdrehen des Verriegelungsringes 24 im Uhrzeigersinn (bezogen auf Fig. 4) gleiten die schiefen Ebenen 27 über die Zylinderzapfen 31 in Richtung auf die Endkanten 28, so daß der Ver riegelungsring 24 gegen die Zylinderzapfen 31 einer seits und gegen den scheibenförmigen Teil 15 anderer seits verspannt wird. Dabei wird der Teil 15 seiner seits gegen den Stirnflansch 14 gepreßt.

Es ergibt sich aus Fig. 1, daß durch die beschriebene Ausbildung eine außerordentlich exakte geo metrische Ausrichtung bzw. Justierung sämtlicher Teile zueinander ermöglicht wird. Außerdem ist eine außerordentlich einfache Auswechselbarkeit der be treffenden Teile gewährleistet.

Gemäß Fig. 1 sind die den Strahlerzeuger 1 bildenden Teile in einer Halterung 32 befestigt, die jedoch nur strichpunktiert angedeutet ist, weil sie nicht zur Erläuterung der Erfindung notwendig ist.

Claims

1. Elektronenstrahlerzeuger mit einer direkt beheiz baren ersten Katode, die entgegen der Strahlrichtung gesehen hinter einer indirekt beheizbaren zweiten Blockkatode angeordnet ist, die über mehrere abstehende Tragstreben mit einem zentrisch durchbohrten scheibenförmigen Teil einer Fokussierungselektrode verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, daß

a) der scheibenförmige Teil (15) eine erste Zentrierfläche (18) aufweist, die zur Bohrung (16) konzentrisch ausgerichtet ist,
b) die Blockkatode (3) mittels ihrer Trag streben (22) konzentrisch in einem Trag ring (19) befestigt ist, der eine zur ersten Zentrierfläche (18) komplementäre zweite Zentrierfläche (20) aufweist,
c) die Blockkatode (3 ) mittels des Tragrings (19) von der der ersten Katode zugewandten Seite her in den scheibenförmigen Teil (15) eingesetzt ist, und daß
d) der Tragring (19) und das scheibenförmige Teil (15) mittels eines Verriegelungsringes (24) gegeneinander verspannbar sind.

2. Elektronenstrahlerzeuger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Tragstreben (22) als Zylinderbolzen ausgeführt und mit ihrem einen Ende in mindestens eine Umfangsnut (21) der Blockkatode (3) und mit ihrem anderen Ende in eine entlang einer Sehne des Tragrings (19) verlaufenden Nut (23) derselben eingesetzt sind.

3. Elektronenstrahlerzeuger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Verriegelungsring (24) auf seinem äußeren Umfang (25) mindestens zwei radiale Nuten (26) und von diesen Nuten aus gehend in Umfangsrichtung verlaufende schiefe Ebenen (27) aufweist.