DE892802C - Elektronenmikroskop - Google Patents

Description

• Elektronenmikroskop Die Erfindung bezieht sich auf ein Elektronenmikroskop, bei dem ein Bestrahlungsapparat einen Elektronenstrahl erzeugt, der durch eine Elektronenlinse, z. B. eine Magnetspule, auf dem zu vergrößernden Objekt gesammelt wird und mittels einer oder mehrerer zur Vergrößerung dienender Elektronenlinsen die Abbildung des Objektes bewirkt. Die Erfindung zielt darauf ab, die Einstellung des Elektronenstrahles zu verbessern. Erfindungsgemäß ist die Anordnung so gewählt, daß der Bestrahlungsapp#rat zusammen mit der Kondensorspule durch Einstellmittel relativ zum Objekt verstellt, vorzugsweise verschoben und verkantet werden kann. Das hat gegenüber den bisher üblichen Anordnungen den besonderen Vorteil, daß b man nun den Einstellwinkel des Strahles auf das Objekt in einer meßbaren Weise einstellen kann. Eine solche Einstellung ist wichtig bei Herstellung von Hellfeldbildern bezüglich der Einstellung auf den geforderten Reflexionswinkel und auch für Dunkelfeldbilder. Ein besonderer Vorteil der Anordnung gemäß der Erfindung besteht auch noch darin, daß man bei- Festhaltung der Strahlerzeugungsbedingungen und der Brennweite der Kondensorlinse, d. h. also der Strahlendichte auf dem Objekt, den Einschlußwinkel ändern und den besten, d. h. den mittelsten Linsenbereich leicht aussuchen kann.
• Bei. der praktischen Ausbildung der Erfindung kann man beispielsweise den Bestrahlungsapparat fest mit der Kondensor lirise zusammenbauen und diese Teile beide gemeinsam durch Einstellmittel verkantbar und quer zur Strahlrichtung verschiebbar anordnen. Eine einfache Einstellvorrichtung ergibt sich beispielsweise, wenn man die Kondensorspule auf einen quer zur Strahlrichtung verschiebbaren Halter setzt, der seinerseits durch Einstellschrauben relativ zum Objektträger verstellt werden kann. Durch diese Einstellmöglichkeit kann die Parallelverschiebung des Strahles vorgenommen werden, Um die Winkelverschiebung vorzunehmen, kann man beispielsweise den Halter dann mit einer Kugelfläche versehen, deren Mittelpunkt im Objekt liegt. Diese Kugelfläche dient dann als Führung für die relativ zum Halter verkantbare Kondensorlinse und den damit zusammengebauten Bestrahlungsapparat.
• In der Figur ist als Ausführungsbeispiel der Erfindun- der obere Teil eines Elektronenmikroskops im Längsschnitt dargestellt. Der Bestrahlungsapparat des Elektronenmikroskops besteht aus der Glühkathode i, dem Wehnelt-Zylinder 2, der Anode 3 und der dazugehörigen Anodenblende 4. Der Bestrahlungsapparat ist mit dem Eisenmantel q der als Kondensorlinse dienenden Magnetspule 6 in der aus der Figur ersichtlichen Weise starr zusammengebaut. Mit 7 ist der obere Teil des im übrigen in der Figur nicht dargestellten Objektträgers bezeichnet. In diesem Teil ist mit Hilfe eines konischen Schliffes 8 ein Träger 9 eingesetzt, auf dem ein relativ dazu angeordneter Halter i o mit Hilfe dreier Kugeln i i abgegtützt ist. Der Halter io besitzt bei 12 eine Kugelfläche, deren Mittelpunkt im Objekt liegt. Gegen diese Fläche 12 stützt sich der untere Teil der mit dem Bestrahlungsapparat zusammengebauten Kondensorlinse mit Hilfe von drei Kugeln 13 ab. Mit 14 sind Druckschrauben bezeichnet, die in dem nach oberf gezogenen Teil 15 des Halters io befestigt sind. Gegenüber den Druckschrauben 14 liegen federnde Halter 16. Durch Einstellung der Schrauben 14 kann die Kondensorlinse6 zusammen mit dem Bestrahlungsapparat auf der Kugelfläche 12 verschoben werden. Auf diese Weise wird der Winkel, unter dem der Elektronenstrahl das Objekt trifft, verändert. Mit 17 sind Schrauben bezeichnet, die im Träger 9 in der aus der Figur ersichtlichen Weise befestigt sind. Gegenüber den Schrauben 17 liegen entsprechende federnde Halter 18. DurchVerstellen der Schrauben 17 kann man den Halter io zusammen mit der darauf ruheiiden Kondensorspule und dem Bestrahlungsapparat in der Ebene quer zur Strahlrichtung verschieben. DieseVerstellbewegung ermöglicht es, den Elektronenstrahl parallel zu verschieben. Um go' verschoben sind in der Figur nicht gezeichnete, den Schrauben 14 und 17 und den zugeordneten Haltern 16 und 18 entsprechende Teile angeordnet. Durch diese Einstellmittel ist also in gewissen Grenzen eine beliebige Paralle-Iverschiebung und Winkeleinstellung des Elektronenstrahles relativ zum Objektiv möglich. Die relativ zueinander beweglichen Teile 9 und 6 der Anordnung werden durch eine Gummimaiischette ig abgedichtet.

Claims (1)

1. PATENTANSPRÜCHE: i. Rlektronenmikroskop, bei dem ein Bestrahlungsapparat einen Elektronenstrahl erzeugt, der durch eine Elektronenlinse, z. B. eine Magnetspule, auf einem zu vergrößernden Objekt gesammelt wird und mittels einer oder mehrerer zur Vergrößerung dienender Elektronenlinsen die Abbildung des Objektes bewirkt, dadurch gekennzeichnet, daß der Bestrahlungsapparat zusammen mit der Kondensorlinse durch Einstellmittel relativ zum Objekt verstellt, vorzugsweise verschoben und verkantet werden kann. 2,. Elektronenmikroskop nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensorlinse mit idem Bestrahlungsapparat starr zusammen-,gebaut ist. 3. Elektronenmikroskop nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Kondensorlinse auf einem quer zur Strahlrichtung verschiebbaren Halter ruht, der durch Einstellmittel relativ zum Objektträger verstellt werden kann. 4. Elektronenmikroskop näch Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter mit einer Kugelfläche versehen ist, deren Mittelpunkt im Objekt liegt, und daß diese Kugelfläche als Führung für die relativ zum Halter verkantbare Kondensorlinse dient. 5. Eleltronenmikroskop nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die zur Verkantung .derKondensorlinse dienenden Einstellschrauben an dem quer zur 5trahlrichtung verschiebbaren Halter befestigt sind. Z>