DE760160C

DE760160C - Vorrichtung zur stereoskopischen Abbildung von Objekten im Elektronenmikroskop mit einem in axialer Richtung einstellbaren Objekttraeger

Info

Publication number: DE760160C
Application number: DEL100535D
Authority: DE
Inventors: Hans Dr-Ing Mahl
Original assignee: AEG AG
Current assignee: AEG AG
Priority date: 1940-04-09
Filing date: 1940-04-09
Publication date: 1953-10-19

Description

Vorrichtung zur stereoskopischen Abbildung von Objekten im Elektronenmikroskop mit einem in axialer Richtung einstellbaren Objektträger Zur Herstellung von stereoskopischen Bildern von Objekten in der Elektronenmikroskopie ist es erforderlich, daB vom Objekt verschiedene Aufnahmen gemacht werden, bei denen das Objekt jeweils unter verschiedenen Winkeln vom Elektronenbeleuchtungsstrahl durchstrahlt wird. Zu diesem Zweck wird vorzugsweise das Objekt bzw. der Objektträger gekippt, um den Körper unter verschiedenen Winkeln durchstrahlen zu können.
Es ist bereits bekannt, das Objekt zu diesem Zweck in der Achse eines Halmkükens anzuordnen. Durch eine Drehung des Schliffes wird dann die Winkellage des Objekts verändert. Diese Anordnung hat den Nachteil, daB eine zusätzliche Vorrichtung erforderlich ist, um das Kippen des Objekts zu bewirken. Zudem können durch die Verwendung des Schliffes Nachteile auftreten, da die Schliffe bekanntlich gefettet werden müssen.
Ferner ist bereits eine Einrichtung zum Herstellen stereoskopischer Teilbilder, welche aus einem schwenkbar gelagerten Objektträger besteht, bekanntgeworden. Der Objektträger ist zu diesem Zweck mit Hilfe einer Feder gegen eine zylindrische oder sphärische Gleitfläche gedrückt, deren , Krümmungsmittelpunkt mit der' Mitte der Objektträgerblende zusammenfällt. Bei dieser bekannten Einrichtung ist somit eine zusätzliche vakuumdichte Durchführung für das von außen zu betätigende Schwenkorgan erforderlich. Im übrigen ist diese Vorrichtung mechanisch äußerst verwickelt.
Die Erfindung hat eine Vorrichtung zur stereoskopischen Aufnahme von Objekten im Elektronenmikroskop mit einem in axialer Richtung einstellbaren Objektträger zum Gegenstand, bei der diese -Nachteile vermieden sind. Erfindungsgemäß ruht der Objektträger in einem in axialer Richtung verschiebbaren Objekttisch, das Objektträgerplättchen ist in einer um die Achse des Objektträgers kippbaren Fassung angebracht, und die zur Erzielung der stereoskopischen Aufnahme notwendige Kippbewegung des Objekts ist durch den Antrieb für die axiale Bewegung des Objektträgers zu bewirken. Der bereits vorhandene Antrieb für die Axialbewegung des Objektträgers wird also gleichzeitig zur Erzielung der Kippbewegung des Objekts ausgenutzt. In den Figuren ist der Gegenstand der Erfindung an einem zum Teil schematisch dargestellten Ausführungsbeispiel erläutert. Die Fig. i zeigt die Einrichtung zur Axialbewegung des Objekts, wie sie im elektrostatischen Übermikroskop zur Scharfeinstellung des Bildes benutzt wird. Diese Einrichtung besteht aus einem Objekttisch i, der in einer Buchse 2 unter Zwischenfügung einer Feder 7 befestigt ist. Zur Axialbewegung dient der durch die Schraube 3 betätigte, um die Achse G drehbare Hebel, welcher aus den Schenkeln 4und 5 besteht. In dem Objekttisch steckt eine konische Metallpatrone 8, auf deren unterem Ende eine Kapsel 9 aufgesteckt werden kann, die das Objektträgerplättchen io enthält. Das Objektträgerplättchen wird, wie es in den Fig. 2 und 3 dargestellt ist, in einer um eine Achse i i kippbaren Fassung 12 befestigt. Die Fassung hat z«,ei Anschlagstifte 13 und i.1, von denen der eine, 13, beim Anschlag den horizontalen Sitz des Objektträgerplättchens gewährleistet, während der andere Stift 14 so eingestellt ist, daß bei seinem Anschlag gegen eine Anschlagfläche 15 eine bestimmte Neigung, z. B. io', des Objektträgerplättchens bewirkt wird. Der Neigungswinkel kann durch Höher- oder Tieferschrauben des Anschlagstiftes 14 beliebig eingestellt werden.
Die Wirkungsweise der Vorrichtung ist dabei folgendermaßen: Bei horizontal eingestelltem Objektträgerplättchen bleibt diese Lage so lange erhalten, bis bei der Abwärtsbewegung des Objektträgers mit Hilfe des Objekttisches der eine Anschlagstift 1:l auf einen Widerstand stößt, so daß beim Weiterbewegen des Objektträgers das @bjelcttr@ger-Plättchen so lange gekippt wird, bis der Stift 14 mit seinem oberen Ende an die Kapsel 9 stößt. Für die stereoskopische Aufnahme des Objekts wird also die Metallpatrone so weit vertikal bewegt, bis eine ScharfeinstellunZ des Bildes erfolgt ist. In diesem Augenblick wird die eine erforderliche Aufnahme des Objekts getätigt. Bei weiterem Abwärtsdrehen schlägt dann d-.-r Anschlagstift auf die für diesen Zweck angebrachte feste Fläche 15 bziv. auf einen Linsenteil selbst auf, so daß dieerwünschte Kippung erfolgt. Die Anschlagfläche muß also dabei so tief liegen, daß eine Scharfeinstellung des Bildes durch die Vertikalbewegung des Objekts ohne Behinderung durch den Anschlag möglich ist. Nach Rückbewegung des gekippten Objekts in die Stellung, in der die erste Aufnahme bzw. Aufnahmen erfolgten, können die für die stereoskopische Aufnahme erforderliche zweite Aufnahme bzw. Aufnahmen vorgenommen werden.

Claims

PATENTANSPRÜCHE: i Vorrichtung zur stereoskopischen Abbildung von Objekten im Elektronenmikroskop mit einem in axialer Richtung einstellbaren Objektträger, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträger in einem in axialer Richtung verschiebbaren Objekttisch ruht, daß das Objektträgerplättchen in einer um die Achse des Objektträgers kippbaren Fassung angebracht ist und daß die zur Erzielung der stereoskopischen Aufnahme notwendige Kippbewegung des Objekts durch den Antrieb für die axiale Bewegung des Objektträgers zu bewirken ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß auf das untere Ende des Objektträgers eine Kapsel (9) aufgesetzt ist, die das Objektträgerplättchen (io) enthält.
3. Vorrichtung nach Anspruch i oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Objekttisch zwischen zwei Anschlägen beweglich ist. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, da.ß die kippbare Fassung mit zwei, vorzugsweise einstellbaren Anschlagstiften versehen ist, von denen einer beim Anschlag den horizontalen Sitz des Objektträgerplättchens gewährleistet, während der andere derart eingestellt ist, daß bei seinem Anschlag eine bestimmte Neigung des Plättchens bewirkt wird. ;. Vorrichtung nach Anspruch i oder einem der folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß der Objektträger (8) in einem Objekttisch (i) ruht, der unter Zwischeniiigung einer Feder (;) in einer Buchse (2) axial beweglich angeordnet ist. G. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Objekttisch mit einem Hebel (4., 5) in Verbindung steht, durch den die axiale Bewegung des Objekts zu regeln ist. ;. Verfahren zur Herstellung von stereoskopischen Aufnahmen mit Hilfe einer Vorrichtung nach Anspruch 1 oder folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß die Kippbewegung kurz nach Scharfeinstellung des Bildes bewirkt wird. Zur Abgrenzung des Erfindungsgegenstands vom Stand der Technik ist im Erteilungsverfahren folgende Druckschrift in Betracht gezogen worden: Zeitschrift für Physik, Bd. 115, lg-.o, S. 343 und 355.