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Verfahren zum Herstellen von Stereoaufnahmen in Korpuskularstrahlapparaten
In, Korpuskularstrahlapparaten, beispielsweise Elektranenmdkroskopen, kann man stereoiskopische
Aufnahmen bekanntlich dadurch herstellen, daß das Objekt hintereinander in zwei
relativ zur Strahlrichtung verschiedenen Stellungen aufgenommen wird. Das Objekt
muß zu diesem Zweck um wenige Grade (Stereowinkel) zu einer Normalebene der Strahlachse
nach beiden Seiten gekippt werden. Es ist bereits eine Anordnung vorgeschlagen worden,
wobei das Objekt fest in das Objektiv eingebaut wird, das dann durch besondere äußere
Antriebsmittel, diel von außen bedient werden können, gekippt wird. Bei Verwendung
von Obj ektschleiu@sen, bei denen das Objektiv ständig in seiner Lage verbleibt,
mußte man bisher das Objekt nach dem ersten Aufnahme und nach Abschalten der Hochspannung
aus dem Gerät herausnehmen und umsetzen, dann wieder einschleusen .und die Anlage
für die zweite Aufnahme .einschalten.
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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Stereoaufnahmen
in Korpuskularstrahlapparaten, insbesondere Elektronenmikroskopen, bei denn ein
um den Stereowinkel schwenkbar angeordneter O@bj ekthalter vorgesehen i .st. Erfindungsgemäß
wird der Objekthalter mit Hilfe des Triebes, der zur Verschiebung des Objektes in
die Betriebslage dient, nach der ersten Stereoaufnahme im Sinne des Ausschleusens
vom Objektiv fortbewegt und bei der abermaligen axialen Bewegung
der
Objektpatrone -in die, Aufnahmelage zurück der Objektträger in eine irreversible
Kipplage für die zweite Aufnahme gebracht. Auf diese Weise ist es möglich, die Schwenkung
des Objektes im Vakuum durchzuführen, .ahne -daß --ein Ausschleusen des Objektes
und Abschalten der Anlage erforderlich ist und ohne daß besondere von außen zu betätigende
Antriebsvorrichtungen für die Lagenünderüng des Objektics erforderlich wären..
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Man kann den Lagenwechsel durch eine Bewegung durchführen, die mit
dem Objekthalterantrieb im Sinne des Ausschleusems durchgeführt wird. Dem kippbar
angeordneten Objekthalter werden bei der Ausgestaltung der Erfindung Anschläge zugeordnet,
die mit anderen Anschlägen am Mikro@-skop so zusammenarbeiten, daß nach der `erstenAufnahme,
beispielsweise bei einer im Sinne das Ausschleusens durchgeführten Bewegung, eine
irreversible Kippbewegung des Obij4kthalters bewirkt wird.
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Die Erfindung läß-t sich ohne Schwierigkeiten bei bisher bekannten
Konstruktionen anwenden. Wenn es sich . beispielsweise um Anordnungen handelt, bei
denen der Objekthalter an einer Patrone befestigt ist, die nach ihrem Einschleusen
durch einen -von außen zu betätigenden Antrieb,- in der Richtung der optischen Achse
zwecks Annäherung an das Objektiv verstellt werden kann, kann man an denn . Objekthalter
einem. Schwenkhebel- -uni- - eine: Achse drehbar befestigen, der sich infolge der
ersten Verstellung des Objektes in die Betriebslage zwangsläufig so umlegt, daß
er bei der- nachfolgenden rückläufigen Bewegung der ObJektpatrbne mit einem Anschlag
am Mikroskop zusammenwirkt und-dadurch das Umlegen des 01bjekthalters in die zweite
Stellung durchführt. Beide Lagen des Objekthalters können dabei durch Anschläge,.
Rasten, Federn od. dgl. in der Objektpatrone-festgelegt sein.. - Eine -besonders
einfache Ausführungsform der Erfindungergibt sich dann, wenn man eine Ob-j ektpatrone
verwendet, in die an Stelle des bei- nörinälen -Auf-
nahmen üblichen-Objekthalters
ein besonderer Kopf für die Zwecke von Stereoaufnahmen einsetzbar ist, in welchen
der kippbare Objekthalter eingebaut ist.
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Für die zuletzt erwähnte _Au:sfülirungsmöglichkeit der Erfindung ist
in der Figur ein: Äusführungsbeispiel dargestellt. Es handelt sich hierbei um eiine
Objektpatrone-, die in an sich bekannter Weise -mit Hilfe eines äußeren über einen
Drehschliff, Zahnrad und Zahnstange wirkenden Antrebes nach dem Einschleusen in
das Elektrone,nmikroskop in der Achsrichtung des-Gerätes so, verstellt werden kann,
daß sich das untere Ende. der Patrone fest gegen einen Teil des. Ob@jektiivs legt.
Dieser Patronenantrieb, ist in der Figur im einzeilnen nicht darges.tedlt. Die äußere
Hülse der Objektpatrone ist mit i bezeichnet; sie gleitet bei Betätigen des Antriebes
von oben nach unten bz.w. umgekehrt in einer Führungsbuchse 2. Die Patrone besitzt
ein rohrförmiges Innenstück 3, das . mit Hilfe einer Feder 4 in der Patrone so abgestützt
-ist, daß es beim Andrücken des unteren Patronenkopfes 5 .gegen den_Polschuh 6 des-
Objektivs nach - oben hin kann. Der Stereokopf 5 besitzt oben ein` Gewindestück-7;-'das
in das 'untere Ende des ännenrohrnes 3 fest eingeschraubt werden kann. Dieser Patrolnenkopf
5kann in der beschriebenen Weise-:ätt Stelle des ..für. normale Aufnahmen bestimmtere
Patronenkopfes eingeschraubt werden. In dem Kopf 5 ist beiderseitig in Drehachsen
8 der kippbare Objekthalter 9 mit der darin festgeschraubten Objektblende io gelagert.
Der Kippwinkel kann durch die, Anschläge i i, 12 genau eingestellt werden. Der Objekthalter,
ist an der linken Seite mit einem Schlitz 13 versehen, in dein ein Hebel 14 um die
Achse 15 drehbar befestigt ist. Der Kopf 5 besitzt an der linken SeAite ebenfalls
einen Schlitz 16, so daß der Hebel nach außen hindurchtreten kann.
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Vor dem Einschleusen wird der Hebel 14 in die init a bezeichnete Stellung
gelegt, so daß er in dem freien Raum zwischen der Patronenhülse i und dein Kopf
5 verschwindet. Der Objekthalter 9 wird vor dem Einschleusen bis zum Anliegen an
den konischem Anschlag 12 gekippt (damgestellte Lage). Die Objektpatrone wird dann
in normaler Weise eiingeschleust und durch den in der Figur nicht dargestellten
Antrieb axial nach unten bewegt, bis der Kopf 5_ auf dem Polschub 6 aufsitzt und.
in der beschriebenen Weise federnd in die Patrone hineingedrückt wird. Dabei, -wird
bei der Verkleinerung - des ZwischE-nraumäs .der- Hebel 14 in die Stellung b geschoben.
In dieser Lage kann die erste Stereo,-aufnähme gemacht werden. Um das Objekt nun
um dien Stereowinkel a. nach der anderen Seite zu kippen., wird. die Patrone im
Sinne des Ausschleusens axial nach oben bewegt, bis der Hebel 14 an die Pührüngsbuchs:a--
stößt und bei weiterer Aufwärtsbewegung in die Lage c übergeführt wird. Dabei drückt
er. .gegen den unteren Anschlag 17 und -kippt--den Objektträger nach der anderen
Seite bis zum-Anschlag, i i.: Durch Wiedenabwärtsführen dex Patrone wird der Kopf
nun wieder gegen den Polschuh 6 -gedrückt, wonach die "zweite Stereoaufnahme gemacht
werden kann. Die, zweite Aufnahme kann. man auf dieselbe Platte wie die erlste machen,
wenn man. zwei Kippschirme vorsieht, die je die Hälfte der Plattei zur- getrennten
Belichtung beider S.eiteri überdecken. " In. den Endstellungen kann der kippbare
Objekthalter 9 beispielsweise durchKugelrasten i8 festgehalten werden.