DE3521047C1 - Mikroskop - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Mikroskop mit einem Tischträger, einem am Tischträger verschiebbar angeordneten Zwischenträger und einem am Zwischenträger verschiebbar angeordneten Objekttisch, wobei der Zwischenträger mittels einer ersten Verstelleinrichtung in einer ersten Raumrichtung relativ gegen den Tischträger verschiebbar ist, der Objekttisch mittels einer zweiten Verstelleinrichtung in einer zur ersten Raumrichtung senkrechten zweiten Raumrichtung verschiebbar ist, die mit der ersten Raumrichtung eine Verstellebene bildet, und die erste Verstelleinrichtung und die zweite Verstelleinrichtung am Tischträger ortsfest angeordnet sind.

Ein derartiges Mikroskop ist aus der DE-OS 30 27 461 bekannt. Bei diesem bekannten Mikroskop weist die erste Verstelleinrichtung an einer Einstellwelle ein Reibrad auf, das mit einem Gegenrad in Wirkverbindung bringbar ist. Dieses Gegenrad ist mit einer Hohlwelle starr verbunden, an der ein Zahnrad vorgesehen ist. Dieses Zahnrad kämmt mit einer Zahnstange, die mit dem Zwischenträger starr verbunden ist.
Die zweite Verstelleinrichtung weist bei diesem bekannten Mikroskop eine Hohlwelle auf, die zur Einstellwelle der ersten Verstelleinrichtung koaxial angeordnet ist. Die zuletzt genannte Hohlwelle ist mit einem zweiten Reibrad in Wirkverbindung bringbar, das mit einer Welle starr verbunden ist, die sich durch die Hohlwelle der ersten Verstelleinrichtung hindurch erstreckt. An dem zuletzt genannten Reibrad entgegengesetzten Ende der zuletzt genannten Welle ist ein Zahnrad vorgesehen, das mit einer zweiten Zahnstange kämmt, die am Objekttisch angeordnet ist. Die beiden Zahnstangen sind in zwei zueinander senkrechten Raumrichtungen angeordnet, so daß der Objekttisch mittels der beiden Verstelleinrichtungen in zwei zueinander senkrechten Raumrichtungen verstellbar ist, die gemeinsam die Verstellebene des Objekttisches bilden. Bei diesem bekannten Mikroskop weist jede der beiden Verstelleinrichtungen drei Räder auf, die als Reib- bzw. Zahnräder ausgebildet sein können. Durch diese Anzahl Räder ergibt sich ein erheblicher baulicher Aufwand.
Der vorliegenden Erfindung liegt deshalb die Aufgabe zugrunde, ein Mikroskop der eingangs genannten Art so zu verbessern, daß der bauliche Aufwand für die Verstelleinrichtungen zum Verstellen des Objekttisches in der ersten und/oder in der zweiten Raumrichtung, die gemeinsam die Verstellebene des Objekttisches bilden, wesentlich kleiner ist als bei einem bekannten Mikroskop der gattungsgemäßen Art.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die zweite Verstelleinrichtung ein am Tischträger

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ortsfest angeordnetes drehbares Mitnehmerorgan zur Durch die von der Kreisform abweichende Quer-

Drehung einer sich durch das Mitnehmerorgan hin- schnittsform der Profilachse und der zentralen Öffnung

durch erstreckenden Profilachse aufweist, die am Zwi- im Mitnehmerorgan ist es möglich, vom sich drehenden

schenträger um ihre mit der ersten Raumrichtung zu- Mitnehmerorgan in jeder axialen Position des Mitneh-

sammenfallende Längsachse drehbar und gegenüber s merorgans in bezug zur Profilachse auf die Profilachse

dem Zwischenträger unverschiebbar angeordnet ist, ein Drehmoment zu übertragen, das durch die Profil-

und die mit einem Antriebsrad zur Verstellung des Ob- achse an das mit der Profilachse verbundene Antriebs-

jekttisches in der zweiten Raumrichtung versehen ist, rad weitergeleitet wird. Dieses Antriebsrad greift an

wobei die Profilachse gegenüber dem Mitnehmerorgan einem am Objekttisch in der ersten Raumrichtung vor-

nicht drehbar jedoch mit einer Bewegung des Zwischen- 10 gesehenen Gegenelement an, so daß eine Verstellung

trägers durch das Mitnehmerorgan hindurch gleitend des Objekttisches in der ersten Raumrichtung möglich

verschiebbar ist. ist.

Durch die erfindungsgemäße Ausbildung des Mikro- Die Profilachse kann dabei einen mehrkantigen Querskops mit einer Profilachse, die am Zwischenträger in schnitt oder einen kreisrunden Querschnitt mit mindeaxialer Richtung unverschiebbar und um ihre Längsach- 15 stens einer axialen Längsnut aufweisen, wobei in der se drehbar gelagert ist, sowie durch die in bezug zum Längsnut eine an sich bekannte Wellenfeder oder eine Tischträger ortsfeste Anordnung des Mitnehmerorgans Kugel vorgesehen ist.

an der Profilachse, ergibt sich der Vorteil, daß die beiden Bei einer bevorzugten Ausführungsform des erfin-Verstelleinrichtungen insgesamt nur vier Drehmoment dungsgemäßen Mikroskops sind die Antriebswelle der übertragende Räder aufweisen müssen, so daß im Ver- 20 ersten Verstelleinrichtung und die Antriebswelle der gleich mit einem bekannten Mikroskop der eingangs zweiten Verstelleinrichtung konzentrisch angeordnet, genannten Art um zwei Räder weniger benötigt wer- und sind die Antriebselemente der beiden Versteuernden. Dadurch ergibt sich ein vergleichsweise einfacher richtungen auf der gleichen Seite der Antriebswelle ne-Aufbau, ohne daß dadurch die Einstellgenauigkeit des beneinander benachbart angeordnet. Durch die konzen-Objekttisches reduziert würde. Infolge des Vergleichs- 25 irische Ausbildung der beiden Antriebswellen ergibt weise einfacheren Aufbaus wird auch die Störanfällig- sich nicht nur eine einfache Lagerung derselben, sonkeit der Verstelleinrichtungen erniedrigt. dem auch die Möglichkeit, die Antriebselemente der

Es hat sich als zweckmäßig erwiesen, daß die erste beiden Verstelleinrichtungen nebeneinander benach-Verstelleinrichtung ein erstes Antriebselement, eine am bart anzuordnen, so daß die beiden Antriebselemente Tischträger ortsfest gelagerte, mit dem ersten Antriebs- 30 an einem gemeinsamen Ort einfach betätigt werden element verbundene Antriebswelle und ein Antriebsrad können. Besonders vorteilhaft ist es, bei einem erfinaufweist, wobei das Antriebsrad an einem am Zwischen- dungsgemäßen Mikroskop, wenn auch die Verstelleinträger vorgesehenen Gegenelement angreift, und daß richtung zur vertikalen Verstellung des Objekttisches, die zweite Verstelleinrichtung ein zweites Antriebsele- d. h. des Tischträgers in der zur Verstellebene des Obment, eine am Tischträger ortsfest gelagerte, mit dem 35 jekttisches senkrechten z-Richtung derart in der Nachzweiten Antriebselement verbundene Antriebswelle barschaft der Antriebselemente der beiden Verstellein- und ein Antriebsrad aufweist, das an dem Mitnehmeror- richtungen zur Verstellung des Objekttisches in der ergan angreift. Beim erfindungsgemäßen Mikroskop weist sten und/oder in der zweiten Raumrichtung angeordnet die erste Verstelleinrichtung in einfacher Weise also nur sind, daß eine Hand einer Bedienungsperson zwischen ein einziges Antriebsrad auf. 40 den Antriebselementen für die Verstellung in der ersten

Bei den Antriebselementen für die erste und für die und/oder in der zweiten Raumrichtung und dem Anzweite Verstelleinrichtung kann es sich um manuell be- triebselement für eine Verstellung des Tischträgers in tätigbare Triebknöpfe oder um Elektromotoren han- der dazu senkrechten dritten Raumrichtung um den ElI-deln. Die Antriebsräder können als Zahnräder oder als bogen bzw. die Auflagestelle des Unterarms am Ar-Reibräder ausgebildet sein. Die an die Antriebsräder 45 beitstisch eine kreisbogenförmige Bewegung beangepaßten Gegenelemente, an denen die Antriebsrä- schreibt. Auf diese Weise ergibt sich bezüglich der Beder angreifen, sind dann als Zahnstangen oder als Rei- dienung der einzelnen Verstelleinrichtungen eine optibungsflächen ausgebildet. Mit Zähnen ausgebildete An- male Ergonometrie.

triebsräder und Gegenelemente weisen den Vorteil auf, Die Antriebswellen mit den zugehörigen Antriebsele-

daß sie schlupffrei ineinanderkämmen, so daß die Ver- 50 menten der ersten und der zweiten Verstelleinrichtung,

stellung des Objekttisches in x- und/oder /-Richtung die als Handräder ausgebildet sein können, sind vor-

leichtgängig und genau möglich ist. In Abhängigkeit von zugsweise senkrecht zur Verstellebene des Objektti-

der Ausbildung des Antriebsrades der zweiten Verstell- sches unterhalb des Zwischenträgers angeordnet. Der-

einrichtung als Zahnrad oder als Reibrad, ist auch das artige Handräder wurden bereits weiter oben als soge-

mit diesem Antriebsrad zusammenwirkende Mitneh- 55 nannte Triebknöpfe beschrieben. Desgleichen kann

merorgan als Zahnrad oder als Reibrad ausgebildet. Das selbstverständlich auch die Verstelleinrichtung zur Ver-

zuletzt genannte Antriebsrad und das Mitnehmerorgan stellung des Objekttisches in der dritten Raumrichtung

sind beispielsweise als Kegelräder ausgebildet, so daß ein derartiges Handrad sein. Selbstverständlich ist es

die Profilachse nicht daran gehindert wird, sich durch auch möglich, die beiden Verstelleinrichtungen für die

das Mitnehmerorgan hindurch zu erstrecken. 60 Verstellung des Objekttisches in der Verstellebene nicht

Die Profilachse weist vorzugsweise einen Querschnitt lotrecht hängend, sondern horizontal in der zweiten

auf, der an mindestens einer Stelle seines Umfangs von Raumrichtung anzuordnen. Desgleichen ist es möglich,

der Kreisform abweicht, und das Mitnehmerorgan ist daß die Antriebswellen der beiden Verstelleinrichtun-

vorzugsweise mit einer zentralen Öffnung versehen, de- gen für die Verstellung des Objekttisches in der ersten

ren Querschnitt dem Querschnitt der Profilachse ent- 65 und/oder in der zweiten Raumrichtung nicht konzen-

spricht, wodurch das Mitnehmerorgan in axialer Rieh- trisch, sondern nebeneinander parallel angeordnet sind,

tung relativ gegen die Profilachse gleitbeweglich und an Bei dem erfindungsgemäßen Mikroskop kann es sich

der Profilachse verdrehfest gelagert ist. sowohl um ein aufrecht stehendes Mikroskop als auch

um ein gestürztes Mikroskop handeln.

Die lotrecht hängende Anordnung der Antriebselemente weist den Vorteil auf, daß insbesondere bei einem Mikroskop, wie es in der deutschen Patentanmeldung P 35 23 756.2 beschrieben ist, die Abstände zwischen den zuletzt genannten Verstelleinrichtungen und der Verstelleinrichtung zur Höhenverstellung des Objekttisches zueinander ergonomisch optimal angeordnet werden können.

Die beiden Verstelleinrichtungen zur Verstellung des Objekttisches in der Verstellebene können zur schnellen Verstellung des Objekttisches in der ersten und/oder in der zweiten Raumrichtung mittels einer Entkopplungseinrichtung von dem am Zwischenträger vorgesehenen Gegenelement und von dem am Tischträger ortsfest gelagerten Mitnehmerorgan entkoppelbar sein. Durch die Betätigung der Entkopplungseinrichtung wird sowohl die Verstelleinrichtung für die erste Raumrichtung als auch die Verstelleinrichtung für die zweite Raumrichtung vom Mitnehmerorgan bzw. vom Gegenelement entkoppelt, so daß der Objekttisch in der x-Richtung und/oder/-Richtung schnell verstellt werden kann. Dabei handelt es sich um eine Grobverstellung. Eine solche Grobverstellung ist insbesondere bei einem große Abmessungen aufweisenden Objekttisch vorteilhaft, wie er bei einem Mikroskop insbesondere in der Halbleiterindustrie zur Anwendung gelangt.

Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles eines erfindungsgemäßen Mikroskops. Es zeigt

F i g. 1 eine Seitenansicht eines erfindungsgemäßen Mikroskops;

Fi g. 2 eine räumliche Darstellung eines Ausschnittes des erfindungsgemäßen Mikroskops, aus dem der Tischträger, der Zwischenträger, der Objekttisch und die Verstelleinrichtungen zur Verstellung des Objekttisches in x-, y- und z-Richtung deutlich ersichtlich sind;

F i g. 3 einen Schnitt durch die Verstelleinrichtungen zur Verstellung des Objekttisches in x- und /-Richtung; F i g. 4 einen Schnitt entlang der Schnittlinie IV-IV aus F i g. 3;

Fig.5 einen Schnitt entlang der Schnittlinie V-V aus Fig. 4;

F i g. 6 und 7 Querschnitte durch andere Ausführungsformen eines Mitnehmerorgans und einer an das Mitnehmerorgan angepaßten Profilachse, und

F i g. 8 eine Draufsicht auf einen Abschnitt eines Mikroskops.

F i g. 1 zeigt ein aufrecht stehendes Mikroskop 10 mit einer Grundplatte 12, einem Vertikalteil 14 und einem Querhaupt 16, das mit einer Einblickeinrichtung 18 versehen ist. Am Querhaupt 16 ist ein Objektiv 19 angeordnet. Das Vertikalteil 14 des Mikroskops 10 weist eine Vertikalführung 20 auf, entlang welcher ein Tischträger 22 in vertikaler, d. h. z-Richtung verstellbar ist. Die Verstellbarkeit des Tischträgers 22 in z-Richtung ist durch den Doppelpfeil zangedeutet. Zu dieser Verstellung des Tischträgers 22 dient eine Verstelleinrichtung 24, die an der Grundplatte 12 des Mikroskops 10 angeordnet ist. Die Verstelleinrichtung 24 ist in der deutschen Patentanmeldung P... (unser internes Aktenzeichen: 25 119/0) gleichen Anmeldedatums detailliert beschrieben.

Am Tischträger 22 ist ein Zwischenträger 26 verschiebbar angeordnet. Der Zwischenträger 26 ist am Tischträger 22 mittels einer Verstelleinrichtung 28 in Richtung des Doppelpfeils / verschiebbar. In dieser Figur sind mit strichpunktierten Linien zwei mögliche Endstellungen des Zwischenträgers 26 in bezug zum Tischträger 22 angedeutet. Koaxial und in der Nachbarschaft der Verstelleinrichtung 28 ist eine Verstelleinrichtung 30 vorgesehen, mit deren Hilfe der in dieser Figur nicht sichtbare Objekttisch in bezug zum Mikroskopobjektiv 18 in x-Richtung verstellbar ist. Die ^-Richtung steht zur Zeichnungsebene dieser Figur senkrecht. Mit der Bezugsziffer 32 ist in dieser Figur ein Lagerarm gekennzeichnet, der mit dem Tischträger 22 fest verbunden ist und durch den sich die Antriebswellen 34 und 36 der Verstelleinrichtungen 28 und 30 drehbar gelagert hindurcherstrecken. Mit der Bezugsziffer 38 ist eine Profilachse bezeichnet, die sich durch ein in dieser Figur abschnittweise dargestelltes Mitnehmerorgan 40 hindurcherstreckt.

Fig.2 zeigt in einer räumlichen Darstellung einen Abschnitt der wesentlichen Teile zur Verstellung des Objekttisches 42 in x-, y- und z-Richtung. Aus dieser Figur sind die Verstelleinrichtungen 28 zur Verstellung des Objekttisches 42 in y-Richtung, die Verstelleinrichtung 30 zur Verstellung des Objekttisches 42 in Ar-Richtung, sowie die Verstelleinrichtung 24 zur Verstellung des Objekttisches 42 in z-Richtung dargestellt. Die Verstelleinrichtung 24 ist an der abschnittweise dargestellten Grundplatte 12 des Mikroskops angeordnet. Die Verstelleinrichtungen 28 und 30 sind am Tischträger 22 mittels des Lagerarms 32 ortsfest angeordnet. Die Verstelleinrichtung 28 ist mit der Antriebswelle 34 und die Verstelleinrichtung 30 ist mit der Antriebswelle 36 verbunden, die koaxial ineinander angeordnet sind, wobei die Antriebswelle 36 über die Antriebswelle 34 vorsteht. An der Antriebswelle 34 ist ein Antriebsrad 44 vorgesehen, das als Kegelrad ausgebildet ist. Das Antriebsrad 44 greift an einem in /-Richtung verlaufenden Gegenelement 46 an, das als Reibfläche ausgebildet ist und das einen Teil des Zwischenträgers 26 bildet. Bei einer Drehung des Handrades 48 der Verstelleinrichtung 28 dreht sich die Antriebswelle 34 und das mit der Antriebswelle 34 verbundene Antriebsrad 44 simultan mit und wälzt sich das Antriebsrad 44 am Gegenelement 46 ab, wodurch sich das Gegenelement 46 und damit der Zwischenträger 26 in bezug zum ortsfesten Verstellelement 28 und damit in bezug zum ortsfesten Tischträger 22 in /-Richtung verschiebt. Simultan mit einer derartigen Verschiebung des Zwischenträgers 26 verschiebt sich selbstverständlich auch der am Zwischenträger 22 gelagerte Objekttisch 42 und die am Zwischenträger 22 gelagerte Profilachse 38 in /-Richtung. Aus dieser Figur ist auch das Mitnehmerorgan 40 und die sich durch das Mitnehmerorgan 40 hindurcherstreckende Profilachse 38 deutlich ersichtlich. Die Profilachse 38 ist gegen das Mitnehmerorgan 30 relativ in /-Richtung verschiebbar, so daß das Mitnehmerorgan 40 in jeder beliebigen Stellung des Objekttisches 42 mit der Profilachse 38 in einem drehmomentübertragenden Eingriff bleibt.

Bei einer Betätigung des Handrades 50 der Verstelleinrichtung 30 dreht sich die mit dem Handrad 50 verbundene Antriebswelle 36 um das mit der Antriebswelle 36 verbundene Antriebsrad 52, das mit dem Mitnehmerorgan 40 in Eingriff ist. In dieser Figur sind ein kegelförmiges Antriebsrad 52 in Form eines Reibrades und ein kegelförmiges Mitnehmerorgan 40 in Form eines Reibrades dargestellt. Selbstverständlich können die Räder 40 und 52 als auch gezahnte Kegelräder, als Schnecke und Schneckenrad ausgebildet sein. Durch eine Drehung, bei der das Mitnehmerorgan 40 mitgedreht wird, wird die sich durch das Mitnehmerorgan 40 hindurcherstreckende Profilachse 38 und das mit der Profilachse 38

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verbundene Antriebsrad 54 angetrieben, das an einem unten gedrückt, so daß die Antriebsräder 44 und 52 Gegenelement 56 des Objekttisches 42 angreift. Bei ei- außer Eingriff gelangen. Außerdem werden die Federner Drehung wälzt sich das Antriebsrad 54 am Gegen- elemente 80 und 82 in Form von Schraubendruckfedern element 56 ab, so daß der Objekttisch 42 eine Bewegung mechanisch vorgespannt.

in Richtung des Pfeiles χ ausführt. In dieser Figur ist mit 5 F i g. 4 zeigt einen Abschnitt der hohlen Antriebswel-

strichpunktierten Linien eine Endstellung des Objektti- Ie 34 und der hohlen Antriebswelle 34 angeordneten

sches 42 in/-Richtung angedeutet. Antriebswelle 36, sowie die kegelstumpfförmigen An-

Die F i g. 3 und 4 zeigen in Schnittdarstellungen die triebsräder 44 und 52. Zwischen dem Antriebsrad 44 und Verstelleinrichtung 28 und die Verstelleinrichtung 30, dem Arm 66, der mit dem in dieser Figur nicht dargewobei die Verstelleinrichtung 28 eine hohle Antriebs- 10 stellten Tischträger fest verbunden ist, ist das Federelewelle 34 aufweist, an deren dem Handrad 48 entgegen- ment 80 angeordnet. Zwischen den beiden Antriebsrägesetzten Ende ein kegelförmiges Antriebsrad 44 vor- dem 44 und 52 befindet sich das Federelement 82. Das gesehen ist. Die Verstelleinrichtung 30 erstreckt sich mit Antriebsrad 52 ist mit dem Mitnehmerorgan 40 in Form ihrer Antriebswelle 36 koaxial durch die hohle Antriebs- eines Kegelrades verbunden, das am Arm 66 drehbar welle 34 hindurch, wobei an dem dem Handrad 50 ent- 15 gelagert ist. Durch das Mitnehmerorgan 40 erstreckt gegengesetzten Ende der Antriebswelle 36 ein An- sich in axialer Richtung die Profilachse 38 hindurch, die triebsrad 52 vorgesehen ist. Das Antriebsrad 52 ist ke- zwei in axialer Richtung verlaufende Ausnehmungen 70 gelstumpfförmig ausgebildet und mit einem Mitnehmer- aufweist. In die Ausnehmungen 70 ragen Kugeln 86 hinorgan 40 in Eingriff, während das kegelförmige An- ein, die in Ausnehmungen 72 des Mitnehmers 40 gelatriebsrad 44 mit einem Gegenelement 46 in Eingriff ist. 20 gert sind. Die Lagerung der Kugeln 86 ist auch aus Das Gegenelement 46, das eine längliche Reibfläche Fig.5 deutlich ersichtlich. Durch die Anordnung der aufweist, ist am Zwischenträger 26 mittels eines Armes Kugeln 86 in den in Längsrichtung der Profilachse 38 58 befestigt, der mit Schrauben 60 an Zwischenträger 26 verlaufenden Ausnehmungen 70 und in den Ausnehfestgeschraubt ist. Der Zwischenträger 26 ist mittels ei- mungen 72 des Mitnehmers 40 ergibt sich eine drehmoner Rollenführung am Tischträger 22 in y-Richtung, die 25 mentsichere Verbindung zwischen dem Mitnehmer 40 in dieser Figur zur Zeichnungsebene senkrecht steht, und der Profilachse 38, die in bezug zum Mitnehmer 40 geführt. In dieser Figur ist eine Rolle 62 der Rollenfüh- in axialer Richtung verschiebbar ist. Mit der Bezugszifrung zwischen dem Tischträger 22 und dem Zwischen- fer 88 ist eine federnde Klammer bezeichnet, die mittels träger 26 sichtbar. Der Tischträger 22 ist mittels Schrau- eines Schraubenelementes 90 am Mitnehmer 40 befeben 64 mit einem Arm 66 fest verbunden, der eine Boh- 30 stigt ist und die Kugeln 86 unverlierbar in den Ausnehrung 68 aufweist, durch die sich die hohle Antriebswelle mungen 72 festhält.

34 der Verstelleinrichtung 28 hindurcherstreckt. Durch Die F i g. 6 zeigt eine andere Ausbildung einer Profil-Betätigung der Verstelleinrichtung 30, d. h. durch eine achse 38' mit einem quadratischen Querschnitt. Das Drehung des Handrades 50 dreht sich das Antriebsrad Mitnehmerorgan 40' ist mit einer Ausnehmung ausge-52 und dementsprechend das Mitnehmerorgan 40. 35 bildet, deren Querschnitt dem quadratischen Quer-Durch das Mitnehmerorgan 40 erstreckt sich die Profil- schnitt der Profilachse 38' entspricht,
achse 38 hindurch, die relativ gegen das Mitnehmeror- F i g. 7 zeigt eine Profilachse 38" mit einem kreisförgan 40 in axialer Richtung verschiebbar ist. Die Profil- migen Querschnitt und einer in axialer Richtung verlauachse 38 ist mit dem Mitnehmerorgan 40 drehmoment- fenden Nut 70", in der eine Feder 92 angeordnet ist. Das sicher verbunden. Die drehmomentsichere Verbindung 40 Mitnehmerorgan 40" weist eine der Profilachse 38" entzwischen der Profilachse 38 und dem Mitnehmerorgan sprechende kreisrunde Bohrung mit einer Ausnehmung 40 ergibt sich durch die Ausbildung der Profilachse 38 72" auf, die der Nut 70" zugewandt ist, und in der die mit in axialer Richtung verlaufenden Ausnehmungen 70 Feder 92 eingreift. Mittels der Feder 92 ist es möglich, und diesen Ausnehmungen 70 zugewandten Ausneh- zwischen dem Mitnehmerorgan 40" und der Profilachse mungen 72 im Mitnehmerorgan 40, in denen Federn 45 38" ein Drehmoment zu übertragen bzw. das Mitneh- oder Kugeln angeordnet sind. Die Profilachse 38 ist mit merorgan 40" in axialer Richtung relativ gegen die Proeinem Antriebsrad 54 verbunden, das mit einem Gegen- filachse 38" zu verschieben.

element 56 des Objekttisches 42 in Eingriff steht. Im F i g. 8 zeigt eine Draufsicht auf einen Abschnitt eines dargestellten Ausführungsbeispiel handelt es sich um Mikroskops 10 mit einer Grundplatte 12 und einem Vereinen Reibeingriff zwischen dem Antriebsrad 54 und 50 tikalteil 14. In Vertikalführungen 20 ist im Vertikalteil 14 dem Gegenelement 56. Anstelle eines Reibeingriffes ist ein Objekttisch 42 in z-Richtung, die in dieser Figur es beispielsweise auch möglich, das Antriebsrad 54 als senkrecht zur Zeichnungsebene ausgerichtet ist, geZahnrad und das Gegenelement 56 als Zahnstange aus- führt. Mit der Bezugsziffer 24 sind Verstelleinrichtungen zubilden. Eine Betätigung des Handrades 50 der Ver- zum Verstellen des Objekttisches 42 in vertikaler Richstelleinrichtung 30 entspricht somit einer Verstellung 55 tung bezeichnet, wobei auf jeder Seite der Grundplatte des Objekttisches 42 in Richtung des Pfeiles x. 12 des Mikroskops 10 eine Verstelleinrichtung 24 vorge-

Mit der Bezugsziffer 74 ist in dieser Figur und in den sehen ist. Mit den Bezugsziffern 28 und 30 sind die Ver-

F i g. 1 und 2 eine Entkopplungseinrichtung bezeichnet, Stelleinrichtungen zum Verstellen des Objekttisches 42

mit deren Hilfe die Verstelleinrichtungen 28 und 30 vom in Richtung des Doppelpfeiles y bzw. zum Verstellen des

Mitnehmerorgan 40 bzw. vom Gegenelement 46 ent- 60 Objekttisches 42 in Richtung des Doppelpfeiles χ be-

koppelbar sind. Die Entkopplung der beiden Antriebs- zeichnet. Die Verstelleinrichtungen 28 und 30 sind in

räder 44 und 52 erfolgt zum Zwecke der schnellen Be- bezug zum Mikroskop 10 und damit in bezug zur

wegung des Objekttisches 42 in x- bzw. y-Richtung Grundplatte 12 des Mikroskops ortsfest angeordnet. Da

durch eine Drehung der Entkopplungseinrichtung 74. auch die Verstelleinrichtungen 24 an der Grundplatte 12

Bei einer solchen Drehung wird die in einer Ausneh- 65 des Mikroskops 10 ortsfest angeordnet sind, ergibt sich

mung 76 befindliche Kugel 78 aus der Ausnehmung 76 eine gute Ergonometrie und Bedienbarkeit des erfin-

herausgezwängt. Gleichzeitig werden die hohle An- dungsgemäßen Mikroskops auch dann, wenn das Mi-

triebswelle 34 und die koaxiale Antriebswelle 36 nach kroskop einen vergleichsweise großflächigen Objekt-

tisch 42 aufweist, wie er zur Untersuchung großflächiger Wafer in der Halbleiterindustrie erforderlich ist. Ein
solcher Objekttisch 42 in dieser Figur ist durch strichpunktierte Linien angedeutet.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

10

15

20

25

30

35

40

45

SO

55

60

65

Claims (6)

Patentansprüche:

1. Mikroskop (10) mit einem Tischträger (22), einem am Tischträger verschiebbar angeordneten Zwischenträger (26) und einem am Zwischenträger verschiebbar angeordneten Objekttisch (42), wobei der Zwischenträger (26) mittels einer ersten Verstelleinrichtung (28) in einer ersten Raumrichtung (/-Richtung) relativ gegen den Tischträger (22) verschiebbar ist, der Objekttisch (42) mittels einer zweiten Verstelleinrichtung (30) in einer zur ersten Raumrichtung senkrechten zweiten Raumrichtung (a-Richtung) verschiebbar ist, die mit der ersten Raumrichtung eine Verstellebene bildet, und die erste Verstelleinrichtung (28) und die zweite Verstelleinrichtung (30) am Tischträger (22) ortsfest angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Verstelleinrichtung (30) ein am Tischträger (22) ortsfest angeordnetes drehbares Mitnehmerorgan (40) zur Drehung einer sich durch das Mitnehmerorgan (40) hindurch erstreckenden Profilachse (38) aufweist, die am Zwischenträger (26) um ihre mit der ersten Raumrichtung zusammenfallende Längsachse drehbar und gegenüber dem Zwischenträger (26) unverschiebbar angeordnet ist, und die mit einem Antriebsrad (54) zur Verstellung des Objekttisches (43) in der zweiten Raumrichtung versehen ist, wobei die Profilachse (38) gegenüber dem Mitnehmerorgan (40) nicht verdrehbar jedoch mit einer Bewegung des Zwischenträgers (26) durch das Mitnehmerorgan (40) hindurch gleitend verschiebbar ist.

2. Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Verstelleinrichtung (28) ein erstes Antriebselement (48), eine am Tischträger (22) ortsfest gelagerte, mit dem ersten Antriebselement (48) verbundene Antriebswelle (34) und ein Antriebsrad (44) aufweist, wobei das Antriebsrad (44) an einem am Zwischenträger (26) vorgesehenen Gegenelement (46) angreift, und daß die zweite Verstelleinrichtung (30) ein zweites Antriebselement (50), eine am Tischträger (22) ortsfest gelagerte, mit dem zweiten Antriebselement (50) verbundene Antriebswelle (36) und ein Antriebsrad (52) aufweist, das an dem Mitnehmerorgan (40) angreift.

3. Mikroskop nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Profilachse (38) einen Querschnitt aufweist, der an mindestens einer Stelle seines Umfangs von der Kreisform abweicht, und daß das Mitnehmerorgan (40) mit einer zentralen öffnung versehen ist, deren Querschnitt dem Querschnitt der Profilachse (38) entspricht, wodurch das Mitnehmerorgan (40) in axialer Richtung relativ gegen die Profilachse (38) gleitbeweglich und an der Profilachse (38) verdrehfest gelagert ist.

4. Mikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswelle (34) der ersten Verstelleinrichtung (28) und die Antriebswelle (38) der zweiten Verstelleinrichtung (30) konzentrisch angeordnet sind, und daß die Antriebselemente (48, 50) der beiden Verstelleinrichtungen (28, 30) auf der gleichen Seite der Antriebswellen (34, 36) benachbart angeordnet sind.

5. Mikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Antriebswellen (34,38) mit den zugehörigen Antriebselementen (48, 50) der ersten und der zweiten Ver-

stelleinrichtung (28,30), die als Handräder ausgebildet sind, senkrecht zur Verstellebene des Objekttisches (42) unterhalb des Zwischenträgers (26) angeordnet sind.

6. Mikroskop nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Verstelleinrichtungen (28,30) zur schnellen Verstellung des Objekttisches (42) in der ersten und in der zweiten Raumrichtung mittels einer Entkupplungseinrichtung (74) von dem am Zwischenträger (26) vorgesehenen Gegenelement (46) und von dem am Tischträger (22) ortsfest gelagerten Mitnehmerorgan (40) entkoppelbar sind.