JP2701173B2 - ボンダ用ツール保持機構 - Google Patents
ボンダ用ツール保持機構Info
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- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
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- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/48—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs and rotating pairs
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- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は半導体装置の組立装置、例えばインナーリー
ドボンダ、アウターリードボンダ、バンプ転写ボンダ、
ペレットボンダ等に用いるツール保持機構に関する。
ドボンダ、アウターリードボンダ、バンプ転写ボンダ、
ペレットボンダ等に用いるツール保持機構に関する。
［従来の技術］ ボンダ用ツール保持機構は、ツールが固定されたツー
ルホルダと、このツールホルダが取付けられボンダのツ
ール保持部に固定される取付体とを備えている。
ルホルダと、このツールホルダが取付けられボンダのツ
ール保持部に固定される取付体とを備えている。
ところで、ボンダにおいては、ツールの下面全体が試
料のボンデイング面に均一に当ることが好ましい。
料のボンデイング面に均一に当ることが好ましい。
従来のボンダ用ツール保持機構として、例えば特開昭
63−169730号公報及び特開昭63−169731号公報のよう
に、自動倣い手段を設けたものが知られている。この構
造は、ツールホルダと取付体とをスプリングを介して結
合している。従って、試料にツールを圧接させた場合、
スプリングがたわんで試料のボンデイング面にツールの
下面が倣う。
63−169730号公報及び特開昭63−169731号公報のよう
に、自動倣い手段を設けたものが知られている。この構
造は、ツールホルダと取付体とをスプリングを介して結
合している。従って、試料にツールを圧接させた場合、
スプリングがたわんで試料のボンデイング面にツールの
下面が倣う。
これらの技術は、ツールの平坦（XY方向）出し機構で
あり、ツールの軸心を中心とした回転方向（θ方向）の
調整については何ら配慮されていない。
あり、ツールの軸心を中心とした回転方向（θ方向）の
調整については何ら配慮されていない。
従来、θ方向の調整は次のようにして行っている。第
12図に示すように、ツールを下降させてチップ１のバン
プ２に対してツール圧痕を付け、θ方向のずれを調べ
る。そして、ツールの固定ねじを緩め、ツールを直接手
で回して調整を行っている。
12図に示すように、ツールを下降させてチップ１のバン
プ２に対してツール圧痕を付け、θ方向のずれを調べ
る。そして、ツールの固定ねじを緩め、ツールを直接手
で回して調整を行っている。
［発明が解決しようとする課題］ 上記従来技術におけるツールのθ方向の調整は、ツー
ルを直接手で回して調整するので、ツール圧痕付け、ツ
ールの調整という作業を数回繰返す必要があり、多大の
調整時間及び熟練度を要するという問題があった。
ルを直接手で回して調整するので、ツール圧痕付け、ツ
ールの調整という作業を数回繰返す必要があり、多大の
調整時間及び熟練度を要するという問題があった。
またツールのXY方向の調整は自動倣いであり、特に調
整作業は必要としないが、弾性を有する試料のリード
に、ツールをスプリングを介して圧着するので、圧着時
にスベリが発生することがある。このスベリにより、リ
ードの中央を圧着せずに片寄ってツールが圧着するため
に、ボンデイング精度及びボンダビリテイが悪くなり、
圧着不良が発生するという問題があった。
整作業は必要としないが、弾性を有する試料のリード
に、ツールをスプリングを介して圧着するので、圧着時
にスベリが発生することがある。このスベリにより、リ
ードの中央を圧着せずに片寄ってツールが圧着するため
に、ボンデイング精度及びボンダビリテイが悪くなり、
圧着不良が発生するという問題があった。
本発明の第１の目的は、短時間にかつ容易にツールの
θ方向の調整が可能なボンダ用ツール保持機構を提供す
ることにある。
θ方向の調整が可能なボンダ用ツール保持機構を提供す
ることにある。
本発明の第２の目的は、短時間に平行出しが行えると
共に、圧着不良が防止できるボンダ用ツール保持機構を
提供することにある。
共に、圧着不良が防止できるボンダ用ツール保持機構を
提供することにある。
［課題を解決するための手段］ 上記第１及び第２の目的は、上下動される上下動部材
と、この上下動部材に回動自在に設けられて該上下動部
材に固定されるＹ方向揺動板と、このＹ方向揺動板に該
Ｙ方向揺動板の回動方向と直交する方向に回動自在に設
けられて該Ｙ方向揺動板に固定されるＸ方向揺動板と、
前記Ｙ方向揺動板を回動させるＹ方向調整手段と、前記
Ｘ方向揺動板を回動させるＸ方向調整手段と、前記Ｘ方
向揺動板に固定されたツール取付ブロックと、このツー
ル取付ブロックに回動自在に保持され、ツールが固定さ
れるθ方向調整用ホルダと、前記ツール取付ブロックに
設けられ、前記θ方向調整用ホルダをツールの軸心を中
心として回動させるθ方向調整手段とを備えたことによ
り達成される。
と、この上下動部材に回動自在に設けられて該上下動部
材に固定されるＹ方向揺動板と、このＹ方向揺動板に該
Ｙ方向揺動板の回動方向と直交する方向に回動自在に設
けられて該Ｙ方向揺動板に固定されるＸ方向揺動板と、
前記Ｙ方向揺動板を回動させるＹ方向調整手段と、前記
Ｘ方向揺動板を回動させるＸ方向調整手段と、前記Ｘ方
向揺動板に固定されたツール取付ブロックと、このツー
ル取付ブロックに回動自在に保持され、ツールが固定さ
れるθ方向調整用ホルダと、前記ツール取付ブロックに
設けられ、前記θ方向調整用ホルダをツールの軸心を中
心として回動させるθ方向調整手段とを備えたことによ
り達成される。
［作用］ θ方向調整手段の動きが縮小されてθ方向調整用ホル
ダ、即ちツールに伝達され、ツールは軸心を中心として
回動する。これにより、ツールのθ方向のずれが修正さ
れる。
ダ、即ちツールに伝達され、ツールは軸心を中心として
回動する。これにより、ツールのθ方向のずれが修正さ
れる。
このように、ツールのθ方向の微調整ができるので、
迅速に短時間に、かつ高精度に調整できる。
迅速に短時間に、かつ高精度に調整できる。
Ｘ方向調整手段でＸ方向揺動板を回動させると、ツー
ルが固定されたＸ方向揺動板はＸ方向に回動するので、
ツールの下面のＸ方向の傾きが修正される。またＸ方向
揺動板をＹ方向揺動板に固定した状態で、Ｙ方向調整手
段でＹ方向揺動板を回動させると、Ｙ方向揺動板は、前
記Ｘ方向揺動板の回動方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向
に回動する。即ち、Ｙ方向揺動板にはＸ方向揺動板が固
定され、Ｘ方向揺動板にはツールが固定されているの
で、ツールの下面のＹ方向の傾きが修正される。
ルが固定されたＸ方向揺動板はＸ方向に回動するので、
ツールの下面のＸ方向の傾きが修正される。またＸ方向
揺動板をＹ方向揺動板に固定した状態で、Ｙ方向調整手
段でＹ方向揺動板を回動させると、Ｙ方向揺動板は、前
記Ｘ方向揺動板の回動方向（Ｘ方向）と直交するＹ方向
に回動する。即ち、Ｙ方向揺動板にはＸ方向揺動板が固
定され、Ｘ方向揺動板にはツールが固定されているの
で、ツールの下面のＹ方向の傾きが修正される。
このように、Ｘ方向及びＹ方向調整手段を回動させる
のみでよいので、迅速に短時間に、かつ高精度に調整で
きる。またＸ方向揺動板及びＹ方向揺動板の回動中心を
ツールの先端部とすると、ツール先端位置が変ることも
ない。
のみでよいので、迅速に短時間に、かつ高精度に調整で
きる。またＸ方向揺動板及びＹ方向揺動板の回動中心を
ツールの先端部とすると、ツール先端位置が変ることも
ない。
［実施例］ 以下、本発明の一実施例を図により説明する。本実施
例は、主として、ツール10の上下駆動機構、Ｙ方向調整
機構、Ｘ方向調整機構及びθ方向調整機構よりなってい
る。
例は、主として、ツール10の上下駆動機構、Ｙ方向調整
機構、Ｘ方向調整機構及びθ方向調整機構よりなってい
る。
上下駆動機構（第１図、第４図、第５図参照） ボンダのツール保持部11には、軸受12を介して上下動
板13が上下自在に設けられている。上下動板13の上方側
には軸14が回転自在に支承されており、軸14にはレバー
15の一端側が固定されている。レバー15の他端側はレバ
ー16の一端側に回転自在に支承された軸17に固定されて
おり、レバー16の他端側は図示しないモータで駆動され
る駆動軸18に固定されている。従って、駆動軸18が回動
させられると、レバー16、レバー15を介して上下動板13
が上下動させられる。
板13が上下自在に設けられている。上下動板13の上方側
には軸14が回転自在に支承されており、軸14にはレバー
15の一端側が固定されている。レバー15の他端側はレバ
ー16の一端側に回転自在に支承された軸17に固定されて
おり、レバー16の他端側は図示しないモータで駆動され
る駆動軸18に固定されている。従って、駆動軸18が回動
させられると、レバー16、レバー15を介して上下動板13
が上下動させられる。
Ｙ方向調整機構（第２図、第３図、第４図、第６図、第
９図参照） 前記上下動板13の両側面には側板25、25が固定されて
おり、側板25にはＹ方向ガイド板26が固定されている。
Ｙ方向ガイド板26の下面にはＸ方向摺動板27が配設さ
れ、Ｘ方向摺動板27はローラ28、28で支持されている。
ローラ28は側板25に回転自在に取付けられた偏心軸29に
回転自在に支承されている。前記Ｘ方向摺動板27にはＹ
方向揺動板30がねじ31で固定されている。ここで、Ｙ方
向ガイド板26及びＸ方向摺動板27の摺動面は、ルーツ10
の先端部を中心とした円弧に形成されている。そこで、
ねじ31を緩めて偏心軸29を回すことにより、Ｙ方向ガイ
ド板26に沿ってＸ方向摺動板27がスムーズに摺動できる
ように調整することができる。調整後はねじ31を固定す
る。
９図参照） 前記上下動板13の両側面には側板25、25が固定されて
おり、側板25にはＹ方向ガイド板26が固定されている。
Ｙ方向ガイド板26の下面にはＸ方向摺動板27が配設さ
れ、Ｘ方向摺動板27はローラ28、28で支持されている。
ローラ28は側板25に回転自在に取付けられた偏心軸29に
回転自在に支承されている。前記Ｘ方向摺動板27にはＹ
方向揺動板30がねじ31で固定されている。ここで、Ｙ方
向ガイド板26及びＸ方向摺動板27の摺動面は、ルーツ10
の先端部を中心とした円弧に形成されている。そこで、
ねじ31を緩めて偏心軸29を回すことにより、Ｙ方向ガイ
ド板26に沿ってＸ方向摺動板27がスムーズに摺動できる
ように調整することができる。調整後はねじ31を固定す
る。
前記Ｙ方向揺動板30にはＵ字状溝30aが形成されてお
り、Ｕ字状溝30aには駒32が嵌挿されている。そして、
駒32には上下動板13に固定されたＹ方向調整用マイクロ
メータ33のねじ部が螺合されている。また上下動板13の
一方の側面には側板34が固定されており、側板34とＹ方
向揺動板30とには、Ｙ方向揺動板30をＹ方向調整用マイ
クロメータ33側に付勢するようにばね35が掛けられてい
る。また側板34にはＹ方向ロックねじ36が螺合してお
り、Ｙ方向ロックねじ36の先端は前記Ｙ方向揺動板30の
側面を押圧するようになっている。
り、Ｕ字状溝30aには駒32が嵌挿されている。そして、
駒32には上下動板13に固定されたＹ方向調整用マイクロ
メータ33のねじ部が螺合されている。また上下動板13の
一方の側面には側板34が固定されており、側板34とＹ方
向揺動板30とには、Ｙ方向揺動板30をＹ方向調整用マイ
クロメータ33側に付勢するようにばね35が掛けられてい
る。また側板34にはＹ方向ロックねじ36が螺合してお
り、Ｙ方向ロックねじ36の先端は前記Ｙ方向揺動板30の
側面を押圧するようになっている。
Ｘ方向調整機構（第１図、第５図、第７図、第８図、第
10図参照） Ｙ方向揺動板30の上方側の前面にはＸ方向ガイド板40
が固定されており、Ｘ方向ガイド板40の下面にはＸ方向
摺動板41が配設されている。Ｘ方向摺動板41はローラ4
2、42で支持され、ローラ42はＹ方向揺動板30に回転自
在に取付けられた偏心軸43に回転自在に支承されてい
る。前記Ｘ方向摺動板41にはＸ方向揺動板44がねじ45で
固定されている。ここで、Ｘ方向ガイド板40及びＸ方向
摺動板41の摺動面は、ツール10の先端部を中心とした円
弧に形成されている。そこで、ねじ45を緩めて偏心軸43
を回すことにより、Ｘ方向ガイド板40に沿ってＸ方向摺
動板41がスムーズに摺動できるように調整することがで
きる。調整後はねじ45を固定する。またＸ方向揺動板44
の下方側にはつば付きのピン46が固定されており、Ｘ方
向揺動板44はピン46に嵌挿されて支持されている。ここ
で、Ｘ方向揺動板44のピン穴はＸ方向揺動板44がツール
10の下端面を中心として揺動できるようにばか穴となっ
ている。
10図参照） Ｙ方向揺動板30の上方側の前面にはＸ方向ガイド板40
が固定されており、Ｘ方向ガイド板40の下面にはＸ方向
摺動板41が配設されている。Ｘ方向摺動板41はローラ4
2、42で支持され、ローラ42はＹ方向揺動板30に回転自
在に取付けられた偏心軸43に回転自在に支承されてい
る。前記Ｘ方向摺動板41にはＸ方向揺動板44がねじ45で
固定されている。ここで、Ｘ方向ガイド板40及びＸ方向
摺動板41の摺動面は、ツール10の先端部を中心とした円
弧に形成されている。そこで、ねじ45を緩めて偏心軸43
を回すことにより、Ｘ方向ガイド板40に沿ってＸ方向摺
動板41がスムーズに摺動できるように調整することがで
きる。調整後はねじ45を固定する。またＸ方向揺動板44
の下方側にはつば付きのピン46が固定されており、Ｘ方
向揺動板44はピン46に嵌挿されて支持されている。ここ
で、Ｘ方向揺動板44のピン穴はＸ方向揺動板44がツール
10の下端面を中心として揺動できるようにばか穴となっ
ている。
Ｘ方向揺動板44にはＵ字状溝44aが形成されており、
Ｕ字状溝44aには駒50が嵌挿されている。そして、駒50
にはＹ方向揺動板30の側方に固定されたＸ方向調整用マ
イクロメータ51のねじ部が螺合されている。そして、前
記側板34とＸ方向揺動板44とには、Ｘ方向揺動板44をＸ
方向調整用マイクロメータ51側に付勢するようにばね52
が掛けられている。またＸ方向揺動板44にはＸ方向ロッ
クねじ53が螺合しており、Ｘ方向ロックねじ53の先端は
Ｙ方向揺動板30の前面を押圧するようになっている。
Ｕ字状溝44aには駒50が嵌挿されている。そして、駒50
にはＹ方向揺動板30の側方に固定されたＸ方向調整用マ
イクロメータ51のねじ部が螺合されている。そして、前
記側板34とＸ方向揺動板44とには、Ｘ方向揺動板44をＸ
方向調整用マイクロメータ51側に付勢するようにばね52
が掛けられている。またＸ方向揺動板44にはＸ方向ロッ
クねじ53が螺合しており、Ｘ方向ロックねじ53の先端は
Ｙ方向揺動板30の前面を押圧するようになっている。
θ方向調整機構（第１図、第５図、第７図、第11図参
照） 前記Ｘ方向揺動板44の下方側前面にはツール取付ブロ
ック60が固定されており、ツール取付ブロック60の中央
前面には支持板61が固定されている。支持板61の下方内
側にはツールホルダ62が固定されており、ツール10はね
じ63によってツールホルダ62に固定されている。ツール
取付ブロック60には、該ツール取付ブロック60の固定部
60aに対して支持板61が取付けられた部分が上下に若干
たわみ得るように両側に溝60bが形成されている。また
ツール取付ブロック60とツールホルダ62内には、θ方向
調整用ツールホルダ64が前記ツール取付ブロック60及び
ツールホルダ62に回転自在に配設されており、θ方向調
整用ツールホルダ64に螺合されたねじ65によってツール
10はθ方向調整用ツールホルダ64に固定されるようにな
っている。またθ方向調整用ツールホルダ64には溝64a
が形成されている。θ方向調整用ツールホルダ64の溝64
aには前記支持板61に回転自在に支承されたθ方向調整
用偏心軸66が嵌挿されており、θ方向調整用偏心軸66に
はθ方向調整用レバー67が固定されている。また支持板
61にはθ方向調整用レバー67の回動量を示す目盛板68が
固定されている。
照） 前記Ｘ方向揺動板44の下方側前面にはツール取付ブロ
ック60が固定されており、ツール取付ブロック60の中央
前面には支持板61が固定されている。支持板61の下方内
側にはツールホルダ62が固定されており、ツール10はね
じ63によってツールホルダ62に固定されている。ツール
取付ブロック60には、該ツール取付ブロック60の固定部
60aに対して支持板61が取付けられた部分が上下に若干
たわみ得るように両側に溝60bが形成されている。また
ツール取付ブロック60とツールホルダ62内には、θ方向
調整用ツールホルダ64が前記ツール取付ブロック60及び
ツールホルダ62に回転自在に配設されており、θ方向調
整用ツールホルダ64に螺合されたねじ65によってツール
10はθ方向調整用ツールホルダ64に固定されるようにな
っている。またθ方向調整用ツールホルダ64には溝64a
が形成されている。θ方向調整用ツールホルダ64の溝64
aには前記支持板61に回転自在に支承されたθ方向調整
用偏心軸66が嵌挿されており、θ方向調整用偏心軸66に
はθ方向調整用レバー67が固定されている。また支持板
61にはθ方向調整用レバー67の回動量を示す目盛板68が
固定されている。
その他の機構（第１図、第５図参照） 前記θ方向調整用ツールホルダ64上には荷重の変化を
電圧に変換して出力する荷重変換器70が固定され、荷重
変換器70の上面には前記Ｘ方向揺動板44に螺合された荷
重設定ねじ71が接触している。
電圧に変換して出力する荷重変換器70が固定され、荷重
変換器70の上面には前記Ｘ方向揺動板44に螺合された荷
重設定ねじ71が接触している。
従って、前記した上下駆動機構による作動によって本
装置全体が下降してツール10が下降し、ツール10がボン
デイング部品を押圧すると、前記したツール取付ブロッ
ク60の溝60bの作用によってツール取付ブロック60のツ
ール保持部がたわむ。これにより、荷重変換器70にスト
レスが加わり、電気信号が発生する。この電気信号によ
ってツール10の下降を停止させる。即ち、前記荷重設定
ねじ71によってボンデイング荷重を自由に設定できる。
装置全体が下降してツール10が下降し、ツール10がボン
デイング部品を押圧すると、前記したツール取付ブロッ
ク60の溝60bの作用によってツール取付ブロック60のツ
ール保持部がたわむ。これにより、荷重変換器70にスト
レスが加わり、電気信号が発生する。この電気信号によ
ってツール10の下降を停止させる。即ち、前記荷重設定
ねじ71によってボンデイング荷重を自由に設定できる。
次に作用について説明する。
まず、θ方向調整について説明する。ねじ63を緩め、
θ方向調整用レバー67を回動させると、θ方向調整用偏
心軸66によってθ方向調整用ツールホルダ64の溝64aの
側面が押され、θ方向調整用ツールホルダ64はツール10
の軸心を中心として回動する。そこで、予めθ方向調整
用レバー67の回動量、即ち目盛板68の目盛とツール10の
θ方向の回転角との関係を調べておくことにより、ツー
ル10のθ方向のずれ量が判れば、そのずれ量に対応する
目盛板68の目盛数だけθ方向調整用レバー67を回動する
ことにより容易に調整できる。調整後はねじ63を締め付
けてツール10をツールホルダ62に固定する。
θ方向調整用レバー67を回動させると、θ方向調整用偏
心軸66によってθ方向調整用ツールホルダ64の溝64aの
側面が押され、θ方向調整用ツールホルダ64はツール10
の軸心を中心として回動する。そこで、予めθ方向調整
用レバー67の回動量、即ち目盛板68の目盛とツール10の
θ方向の回転角との関係を調べておくことにより、ツー
ル10のθ方向のずれ量が判れば、そのずれ量に対応する
目盛板68の目盛数だけθ方向調整用レバー67を回動する
ことにより容易に調整できる。調整後はねじ63を締め付
けてツール10をツールホルダ62に固定する。
このように、θ方向調整用レバー67を回動させるのみ
でθ方向が調整できるので、迅速に短時間に、かつ高精
度に調整できる。
でθ方向が調整できるので、迅速に短時間に、かつ高精
度に調整できる。
次にXY方向の調整について説明する。Ｘ方向ロックね
じ53を緩め、Ｘ方向調整用マイクロメータ51を回すと、
駒50が前後動する。駒50はＸ方向揺動板44のＵ字状溝44
aに嵌挿され、Ｘ方向揺動板44にはＸ方向揺動板41が固
定されているので、前記のように駒50が前後動すると、
Ｘ方向摺動板41はＸ方向ガイド板40に沿って矢印Ａ方向
に回動する。即ち、Ｘ方向揺動板44が矢印Ａ方向に回動
するので、ツール10の下面のＸ方向の傾きが修正され
る。このＸ方向の傾きを修正した後は、Ｘ方向ロックね
じ53を締め付けてＸ方向揺動板44をＹ方向揺動板30に固
定する。
じ53を緩め、Ｘ方向調整用マイクロメータ51を回すと、
駒50が前後動する。駒50はＸ方向揺動板44のＵ字状溝44
aに嵌挿され、Ｘ方向揺動板44にはＸ方向揺動板41が固
定されているので、前記のように駒50が前後動すると、
Ｘ方向摺動板41はＸ方向ガイド板40に沿って矢印Ａ方向
に回動する。即ち、Ｘ方向揺動板44が矢印Ａ方向に回動
するので、ツール10の下面のＸ方向の傾きが修正され
る。このＸ方向の傾きを修正した後は、Ｘ方向ロックね
じ53を締め付けてＸ方向揺動板44をＹ方向揺動板30に固
定する。
またＸ方向ロックねじ53を締め付けてＸ方向揺動板44
をＹ方向揺動板30に固定した状態で、Ｙ方向ロックねじ
36を緩め、Ｙ方向調整用マイクロメータ33を回すと、駒
32が前後動する。駒32はＹ方向揺動板30のＵ字状溝30a
に嵌挿され、Ｙ方向揺動板30にはＸ方向摺動板27が固定
されているので、前記のように駒32が前後動すると、Ｘ
方向摺動板27はＹ方向ガイド板26に沿って矢印Ｂ方向に
回動する。即ち、Ｙ方向揺動板30と共にＸ方向揺動板44
が矢印がＢ方向に回動するので、ツール10の下面のＹ方
向の傾きが修正される。このＹ方向の傾きを修正した後
は、Ｙ方向ロックねじ36を締め付けてＹ方向揺動板30を
上下動板13に固定する。
をＹ方向揺動板30に固定した状態で、Ｙ方向ロックねじ
36を緩め、Ｙ方向調整用マイクロメータ33を回すと、駒
32が前後動する。駒32はＹ方向揺動板30のＵ字状溝30a
に嵌挿され、Ｙ方向揺動板30にはＸ方向摺動板27が固定
されているので、前記のように駒32が前後動すると、Ｘ
方向摺動板27はＹ方向ガイド板26に沿って矢印Ｂ方向に
回動する。即ち、Ｙ方向揺動板30と共にＸ方向揺動板44
が矢印がＢ方向に回動するので、ツール10の下面のＹ方
向の傾きが修正される。このＹ方向の傾きを修正した後
は、Ｙ方向ロックねじ36を締め付けてＹ方向揺動板30を
上下動板13に固定する。
そこで、予めＸ方向調整用マイクロメータ51及びＹ方
向調整用マイクロメータ33の目盛とツール10のＸ方向及
びＹ方向の傾きとの関係を調べておくことにより、ツー
ル10のＸ方向及びＹ方向の傾き量が判れば、そのずれ量
に対応するＸ方向調整用マイクロメータ51及びＹ方向調
整用マイクロメータ33の目盛数だけＸ方向調整用マイク
ロメータ51及びＹ方向調整用マイクロメータ33を回動す
ることにより容易に調整できる。
向調整用マイクロメータ33の目盛とツール10のＸ方向及
びＹ方向の傾きとの関係を調べておくことにより、ツー
ル10のＸ方向及びＹ方向の傾き量が判れば、そのずれ量
に対応するＸ方向調整用マイクロメータ51及びＹ方向調
整用マイクロメータ33の目盛数だけＸ方向調整用マイク
ロメータ51及びＹ方向調整用マイクロメータ33を回動す
ることにより容易に調整できる。
このように、Ｘ方向調整用マイクロメータ51及びＹ方
向調整用マイクロメータ33を回動させるのみでＹ方向及
びＸ方向の傾きが調整できるので、迅速に短時間に、か
つ高精度に調整できる。またツール10の先端を中心とし
てツール10を揺動させるので、ツール10先端位置が変る
こともない。
向調整用マイクロメータ33を回動させるのみでＹ方向及
びＸ方向の傾きが調整できるので、迅速に短時間に、か
つ高精度に調整できる。またツール10の先端を中心とし
てツール10を揺動させるので、ツール10先端位置が変る
こともない。
［発明の効果］ 以上の説明から明らかなように、本発明によれば、ツ
ールのθ方向の微調整ができるので、迅速に短時間に、
かつ高精度に調整できる。
ールのθ方向の微調整ができるので、迅速に短時間に、
かつ高精度に調整できる。
XY方向の調整は、Ｘ方向及びＹ方向調整手段を回動さ
せるのみでよいので、迅速に短時間に、かつ高精度にツ
ールの傾きが調整できる。この場合、Ｘ方向揺動板及び
Ｙ方向揺動板の回動中心をツールの先端部とすると、ツ
ール先端位置が変ることもない。
せるのみでよいので、迅速に短時間に、かつ高精度にツ
ールの傾きが調整できる。この場合、Ｘ方向揺動板及び
Ｙ方向揺動板の回動中心をツールの先端部とすると、ツ
ール先端位置が変ることもない。
第１図乃至第11図は本発明の一実施例を示し、第１図は
正面図、第２図は右側面図、第３図は左側面図、第４図
は平面図、第５図は第１図のＶ−Ｖ線断面図、第６図は
第１図のVI−VI線断面図、第７図は第１図のVII−VII線
断面図、第８図は第７図のVIII−VIII線断面図、第９図
は第６図のIX−IX線断面図、第10図は第１図のＸ−Ｘ線
断面図、第11図は第５図のXI−XI線断面図、第12図はツ
ールのθ方向ずれを示す平面説明図である。 10:ツール、13:上下動板、 25:側板、26:Y方向ガイド板、 27:X方向摺動板、30:Y方向揺動板、 32:駒、33:Y方向調整用マイクロメータ、34:側板、 36:Y方向ロックねじ、 40:X方向ガイド板、41:X方向摺動板、 44:X方向揺動板、50:駒、 51:X方向調整用マイクロメータ、 53:X方向ロックねじ、 60:ツール取付ブロック、61:支持板、 62:ツールホルダ、63:ねじ、 64:θ方向調整用ツールホルダ、 64a:溝、65:ねじ、 66:θ方向調整用偏心軸、 67:θ方向調整用レバー、68:目盛板。
正面図、第２図は右側面図、第３図は左側面図、第４図
は平面図、第５図は第１図のＶ−Ｖ線断面図、第６図は
第１図のVI−VI線断面図、第７図は第１図のVII−VII線
断面図、第８図は第７図のVIII−VIII線断面図、第９図
は第６図のIX−IX線断面図、第10図は第１図のＸ−Ｘ線
断面図、第11図は第５図のXI−XI線断面図、第12図はツ
ールのθ方向ずれを示す平面説明図である。 10:ツール、13:上下動板、 25:側板、26:Y方向ガイド板、 27:X方向摺動板、30:Y方向揺動板、 32:駒、33:Y方向調整用マイクロメータ、34:側板、 36:Y方向ロックねじ、 40:X方向ガイド板、41:X方向摺動板、 44:X方向揺動板、50:駒、 51:X方向調整用マイクロメータ、 53:X方向ロックねじ、 60:ツール取付ブロック、61:支持板、 62:ツールホルダ、63:ねじ、 64:θ方向調整用ツールホルダ、 64a:溝、65:ねじ、 66:θ方向調整用偏心軸、 67:θ方向調整用レバー、68:目盛板。
Claims (1)
- 【請求項１】上下動される上下動部材と、この上下動部
材に回動自在に設けられて該上下動部材に固定されるＹ
方向揺動板と、このＹ方向揺動板に該Ｙ方向揺動板の回
動方向と直交する方向に回動自在に設けられて該Ｙ方向
揺動板に固定されるＸ方向揺動板と、前記Ｙ方向揺動板
を回動させるＹ方向調整手段と、前記Ｘ方向揺動板を回
動させるＸ方向調整手段と、前記Ｘ方向揺動板に固定さ
れたツール取付ブロックと、このツール取付ブロックに
回動自在に保持され、ツールが固定されるθ方向調整用
ホルダと、前記ツール取付ブロックに設けられ、前記θ
方向調整用ホルダをツールの軸心を中心として回動させ
るθ方向調整手段とを備えたことを特徴とするボンダ用
ツール保持機構。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1314073A JP2701173B2 (ja) | 1989-12-02 | 1989-12-02 | ボンダ用ツール保持機構 |
| KR1019900019704A KR940006088B1 (ko) | 1989-12-02 | 1990-12-01 | 본더용 툴 유지기구 |
| US07/621,267 US5216933A (en) | 1989-12-02 | 1990-12-03 | Tool holding mechanism for use in a bonder |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1314073A JP2701173B2 (ja) | 1989-12-02 | 1989-12-02 | ボンダ用ツール保持機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03173448A JPH03173448A (ja) | 1991-07-26 |
| JP2701173B2 true JP2701173B2 (ja) | 1998-01-21 |
Family
ID=18048900
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1314073A Expired - Fee Related JP2701173B2 (ja) | 1989-12-02 | 1989-12-02 | ボンダ用ツール保持機構 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5216933A (ja) |
| JP (1) | JP2701173B2 (ja) |
| KR (1) | KR940006088B1 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05308093A (ja) * | 1992-04-30 | 1993-11-19 | Matsushita Electron Corp | 半導体素子接続装置 |
| FR3018712B1 (fr) * | 2014-03-20 | 2016-12-30 | Arts | Outil de percage a deux moteurs coaxiaux |
| US9576928B2 (en) * | 2015-02-27 | 2017-02-21 | Kulicke And Soffa Industries, Inc. | Bond head assemblies, thermocompression bonding systems and methods of assembling and operating the same |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2645972A (en) * | 1949-11-12 | 1953-07-21 | American Optical Corp | Adjustment mechanism for microscopes |
| US2704331A (en) * | 1953-10-20 | 1955-03-15 | Albert M Stott | Adjustable mount for X-ray diffraction crystal |
| US3023635A (en) * | 1960-01-14 | 1962-03-06 | Bausch & Lomb | Mechanical drive |
| US3691864A (en) * | 1970-11-19 | 1972-09-19 | Ibm | X-y rotational positioning system |
| US4317560A (en) * | 1979-12-26 | 1982-03-02 | Troyer Wade E | Work manipulator |
| JPS60232839A (ja) * | 1984-05-04 | 1985-11-19 | Hitachi Ltd | 直線状案内軌道の固定装置 |
| DE3521047C1 (de) * | 1985-06-12 | 1986-09-04 | C. Reichert Optische Werke Ag, Wien | Mikroskop |
| JPS6220339A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-28 | Marine Instr Co Ltd | テ−プボンデイング装置 |
| JPH0411169Y2 (ja) * | 1986-02-15 | 1992-03-19 | ||
| US4712444A (en) * | 1986-09-16 | 1987-12-15 | Ball Corporation | Levered optical mount |
-
1989
- 1989-12-02 JP JP1314073A patent/JP2701173B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-12-01 KR KR1019900019704A patent/KR940006088B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1990-12-03 US US07/621,267 patent/US5216933A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5216933A (en) | 1993-06-08 |
| JPH03173448A (ja) | 1991-07-26 |
| KR940006088B1 (ko) | 1994-07-06 |
| KR910013502A (ko) | 1991-08-08 |
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