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Röntgenkollimator
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Die Erfindung bezieht sich auf einen Kollimator, und zwar insbesondere
auf einen Röntgenkollimator, der zur Verwendung mit einem Röntgenbelichtungsgerät
geeignet ist.
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Röntgenstrahlenquellen sind im allgemeinen auf dem Gebiet der Röntgenanalysegeräte
benutzt worden. Seit kurzem jedoch werden sie auf dem Gebiet der Herstellung von
Halbleiterbauteilen wie z. B. Bausteinen mit hoher Integrationsdichte (LSI-Bausteine)
als Belichtungsstrahlenquelle in Belichtungsapparaten die mit weichen Röntgenstrahlen
arbeiten, verwendet, um das Aufbringen von feinen Mustern mit Linienbreiten im Submikronbereich
zu bewirken. In solchen Röntgenanalysegeräten und Röntgenbe lichtungsapparaten wird
ein Röntgenkollimator zum Richten bzw. Kollimieren der Röntgenstrahlen, die von
der Röntgenstrahlenquelle ausgestrahlt werden, benutzt.
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Die Röntgenbelichtung hat gegenüber der konventionellen optischen
Belichtung, die mit ultravioletten Strahlen ar-
beitet, den Vorteil,
daß die Verschlechterung der Auflösung aufgrund von Beugung, Interferenz, Reflektrion
usw.
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gering ist, so daß die Übertragung von feinen Mustern grundsätzlich
einfach ist. Desweitern ist eine Übertragung von Mustern in einem großen Abbildungsmaßstab
erzielbar. Andererseits bringt die Röntgenbelichtung Nachteile mit sich, wie geringere
Produktionsleistung bedingt durch schlechte Empfindlichkeit der empfindlichen Materiale,
und ein geringer Wirkungsgrad der Röntgenstrahlenquelle.
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Ein Beispiel eines herkömmlichen Röntgenkollimators ist in den Figuren
1A und 1B dargestellt. Der Röntgenkollimator in diesen Abbildungen umfaßt ein plattenförmiges
Element 9, das aus einem Glaswerkstoff hergestellt ist und in dem eine Anzahl feiner
Durchbohrungen 4 mit gleicher Querschnittsform ausgebildet ist. Diese Durchbohrungen
sind gleichmäßig verteilt und verlaufen zueinander parallel. Die Stärke des plattenförmigen
Elementes 9 ist üblicherweise im Bereich von 0,5 bis 5 mm. Wenn divergent laufende
Röntgenstrahlen 1 auf den Kollimator von oben einfallen, treten nur die Strahlen,
die nicht auf die Oberfläche der Zwischenwände 5 auftreffen als gerichtete bzw.
kollimierte Strahlen 2 aus dem Kollimator heraus.
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Diese Anordnung hat jedoch Nachteile. Wenn die Röntgenstrahlen 1 auf
einen Kantenbereich 5a der Zwischenwand 5 am eintrittsseitigen Ende 4a der Durchbohrung
4 einfallen, wird der Röntgenstrahl 1 am Kantenbereich 5a gestreut, so daß Streustrahlen
7 verursacht werden. Dies erkennt man am besten in dem teilweisen Querschnitt in
Fig. 1B. Trifft nun der Röntgenstrahl 1 auf einen anderen Kantenbereich 5b der Zwischenwand
5 am austrittsseitigen Ende 4b der Durchbohrung 4, so wird er auf gleiche Weise
vom Kantenbereich 5b gestreut, so daß divergieren-
de Streutstrahlen
7 auf gleiche Weise verursacht werden.
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Somit bestehen die aus dem Kollimator austretenden Röntgenstrahlen
aus den im wesentlichen parallelen Strahlen 2 und den Streutstrahlen 7, die miteinander
vermischt sind. Auch wenn der Anteil der Streustrahlen 7 gering ist, ist das Vorhandensein
von Streustrahlen an sich ein entscheidender Nachteil beim Streben nach exakter
Parallelität, beispielsweise bei Belichtungsapparatenl bei denen eine Auflösung
von Linienbreiten in der Größenordnung des Submikronbereichs gefordert ist.
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Außerdem werden die Röntgenstrahlen, die auf die Oberfläche des plattenförmigen
Elementes 9 oder die Oberflächen der Zwischenwände 5 auftreffen, durch diese absorbiert.
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Wenn die Röntgenstrahlen absorbiert werden, wird der Glaswerkstoff
des plattenförmigen Elementes 9 gefärbt oder entfärbt und zerstört. In Abhängigkeit
von dem Werkstoff wird das plattenförmige Element 9 brechen.
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Um die effektive Transmissionsfläche fUr die Röntgenstrahlen zu vergrößern,
sollte die Stärke jeder der Zwischenwände 5, die durch die Durchbohrungen 4 festgelegt
sind, so dUnn wie möglich sein. Je nach der Wellenlänge der verwendeten Röntgenstrahlen
werden diese jedoch gegebenenfalls durch die Zwischenwand nicht absorbiert, so daß
sie durch diese hindurchtreten. In diesem Fall wUrde das Bauteil nicht mehr als
Kollimator arbeiten. Obwohl die weiche Röntgenstrahlung unter den Röntgenstrahlen
eine relativ große Wellenlänge besitzt, ist sie geneigt, durch die -Zwischenwand,
wenn diese dünn ausgebildet ist, hindurchzutreten, so daß der Kollimator nicht mit
einem Belichtungsapparat verbunden werden kann.
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Es ist ein weiterer Gesichtspunkt, daß die Röntgenstrahlenquelle eine
Eingangsspannung in der Größenordnung von 6 Kilowatt benötigt, wenn die Röntgenstrahlenquelle
eine feste Anode oder Auftreffläche besitzt, oder in der
Größenordnung
von 20 Kilowatt, wenn die Röntgenstrahlenquelle eine Drehanode besitzt. Außerdem
werden Röntgenstrahlenquellen mit größerer Leistung verlangt. Aufgrund solcher größeren
Eingangsspannung würde in dem Röntgenbelichtungsapparat bei der Emmission von weichen
Röntgenstrahlen eine größere Menge von Wärme erzeugt werden.
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Um die Abmessungen eines Röntgenbelichtungsapparates zu verkleinern,
sollte der Röntgenkollimator in einer Position nahe dem Brennpunkt der Röntgenstrahlen
vorgesehen werden. Zum Zwecke der Übertragung eines Musters, dessen Linienbreite
sich im Submikronbereich befindet, während die Maske und das Halbleiterplättchen
dicht beieinander gehalten werden, muß außerdem die Temperatur innerhalb des Röntgenbelichtungsapparates
in einem sehr engen Bereich gehalten werden. Im Hinblick auf die Verringerung der
Größe des Röntgenbelichtungsapparates sollten der Röntgenkollimator, die Maske und
das Halbleiterplättchen vorzugsweise dicht beieinander angeordnet sein. In diesem
Fall würde jedoch in unerwünschter Weise eine große Wärmemenge vom Röntgenkollimator
zu der Maske und dem Halbleiterplättchen abgestrahlt werden.
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Ein weiteres Beispiel eines herkömmlichen Kollimators ist in Fig.
6 dargestellt. Der in Fig. 6 dargestellte Kollimator ist vom Parallelspalttyp. Wie
in Fig. 6 darge stellt ist, enthält der Röntgenkollimator ein Rahmenelement 15 und
ein Parallelspaltelement 45, , welches vom Rahmenelement 15 gehalten wird und aus
einem Glaswerkstoff besteht. Das Parallelspaltelement 45 hat eine Anzahl feiner
Durchbohrungen 55, von denen jede parallel zu der Richtung der Röntgenbestrahlung
ausgerichtet ist.
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Wenn die von einer nicht dargestellten Röntgenanode ausgehenden Röntgenstrahlen
25 in den Röntgenkollimator einfallen, dann wird der Divergenzwinkel mit Hilfe der
feinen Durchbohrungen 55 begrenzt, so daß im wesentlichen parallele Röntgenstrahlen
35 die Austrittsseite
des Kollimators verlassen. Da der Röntgenkollimator
aus einem Glaswerkstoff oder dergleichen hergestellt ist, ergibt sich das zusätzliche
Problem, daß bei zunehmender Temperatur der Kollimator dazu neigt, zu Brechen oder
sich zu Verformen.
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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Röntgenkollimator
zu schaffen, der in der Lage ist, die Streuung von Röntgenstrahlen zu verhindern
und dadurch die Parallelität der austretenden Röntgenstrahlen zu verbessern.
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Ferner soll ein Röntgenkollimator derart ausgebildet werden, daß Zerstörung
Färbung oder Entfärbung des Glaswerkstoffes, aufgrund der Bestrahlung mit Röntgenstrahlen
verhindert wird.
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Schließlich soll ein Röntgenkollimator derart ausgebilden werden,
daß ein Ansteigen der Temperatur aufgrund der Bestrahlung mit Röntgenstrahlen verhindert
wird.
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Die genannte Aufgabe wird erfindungsgemäß durch den in den Patentansprüchen
1, 3 und 5 gekennzeichneten Röntgenkollimator gelöst.
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Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden
Beschreibung von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahem auf die Zeichnungen. Es
zeigen: Fig. 1A eine perspektivische Teilansicht eines Beispieles eines herkömmlichen
Röntgenkollimators; Fig. 1B einen Teilschnitt des Röntgenkollimators nach Fig. 1A;
Fig. 2 bis 4 Teilschnitte von Röntgenkollimatoren entsprechend Ausführungsbeispielen
der Erfin-
dung; Fig. 5 einen Teilschnitt eines Röntgenkollimators
entsprechend einem weiteren Ausführungsbeispiel der Erfindung, das in einem Röntgenbelichtungsapparat
Anwendung findet; Fig. 6 eine perspektivische Ansicht eines weiteren Beispieles
eines herkömmlichen Röntgenkollimators; Fig. 7 eine perspetivische Ansicht eines
Röntgenkollimators entsprechend einem weiteren Ausführungsbeispieles der Erfindung;
und Fig. 8 eine schematische Schnittzeichnung eines Röntgenbelichtungsapparates,
auf den die Erfindung angewandt ist.
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Ein Röntgenkollimator entsprechend einem ersten Ausführungsbeispiel
der Erdinung wird nachfolgend unter Bezugnahme auf Fig. 2 beschrieben.
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Der Röntgenkollimator umfaßt ein plattenförmiges Element 90, das aus
einem Glaswerkstoff hergestellt ist, der einen höheren Bleigehalt (Pb) hat. Das
plattenförmige Element 90 ist derart ausgebildet, daß sich darin eine Anzahl von
feinen Durchbohrungen 40 befindet, die im wesentlichen gleiche Querschnittsform
aufweisen und alle parallel zueinander ausgerichtet sind, so daß durch die Durchbohrungen
40 Zwischenwände 50 gebildet sind. Die Stirnseiten 50a und 50b jeder der Zwischenwände
50 auf der Seite der Eintrittsöffnungen 40a bzw. auf der Seite der Austrittsöffnungen
40b der Durchbohrungen 40 sind wie in der Zeichnung dargestellt abgerundet, um eine
Streuung der Röntgenstrahlen zu verhindern, wie sie vergleichsweise in der Anordnung
gemäß Fig. 1B stattfindet.
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Desweiteren sind die obere Fläche des plattenförmigen Elementes 90
und die Oberflächen der Stirnseiten 50a
jeder Zwischenwand 50 auf
der Seite der Eintrittsöffnungen 40a der Durchbohrungen 40 mit einem Belag 6 überzogen,
dessen Material einen hohen Röntgenabsorptionsfaktor besitzt. In Abhängigkeit von
der Verwendung des Röntgenkollimators können die Stirnseiten 50a und 50b jeder Zwischenwand
50 mit dem Belag 6 Uberzogen sein, ohne dabei abgerundet zu sein.
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Die abgerundeten Stirnseiten 50a und 50b der Zwischenwände 50 können
wie folgt ausgebildet sein: Zunächst wird das plattenförmige Element 9, das den
in Fig. 1B dargestellten Aufbau hat, in eine Lösung von Flußsäure oder einer Mischung
aus Flußsäure mit Salpetersäure für eine bestimmte Zeitdauer eingetaucht. Scharfe
Kanten können im Vergleich zu flachen Teilen leicht geätzt werden, und als Ergebnis
daraus werden gerundete Stirnseiten, wie sie in Fig. 3 dargestellt sind, erzielt.
Das Beschichten der Oberfläche mit einem Belag, der einen hohen Röntgenabsorptionsfaktor
besitzt, kann bewerkstelligt werden durch Vakuumbedampfung, Aufspritzen usw.. Als
Material für den Belag 6 sind Schwermetalle wie Au, Pt, Pb, usw. geeignet, wobei
ein geeignetes Material unter Berücksichtigung der Wellenlänge, Intensität usw.
der Röntgenstrahlung ausgesucht werden muß.
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Wenn der Röntgenkollimator im Betrieb mit Röntgenstrahlen 1, die von
einer nichtdargestellten Röntgenquelle ausgestrahlt werden, bestrahlt wird, passieren
die parallelen Komponenten der Röntgenstrahlen die Durchbohrungen 40, so daß parallele
Strahlen 2 aus dem Kollimator heraustreten.
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Andererseits werden die nichtparallelen Anteile der Röntgenstrahlung
von der Oberfläche des plattenförmigen Elementes 90 sowie von den Oberflächen der
Zwischenwände 50 absorbiert. Dabei werden die Röntgenstrahlen, die auf
die
Stirnflächen der Zwischenwände 50 auftreffen, nicht gestreut, da die Stirnseiten
der Zwischenwände 50 abgerundet sind. Ferner bewirkt das Vorhandensein des Belages
6 eine wesentliche- Verkleinerung des Anteils der Röntgenstrahlen, die direkt auf
die Oberfläche des Glaswerkstoffes des plattenförmigen Elementes 90 sowie die Stirnseiten
der Zwischenwände 50 auftreffen. Dadurch ist der Zerstörung und die Färbung oder
Verfärbung des Glaswerkstoffes des plattenförmigen Elementes 90 wirkungsvoll verhindert.
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Fig. 4 zeigt einen Kollimator gemäß einem zweiten Ausführungsbeipiel
der Erfindung, bei dem die Elemente, die denen des Ausführungsbeispieles gemäß Fig.
2 entsprechen, mit den gleichen Bezugszeichen bezeichnet sind.
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Das Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 4 unterscheidet sich von dem der
Fig. 2 dadurch, daß zusätzlich zu den Oberflächen der Stirnseiten 50a der Zwischenwände
50 auf der Seite der Eintrittsöffnungen 40a der Durchbohrungen 40 die Oberfläche
der anderen Stirnseite 50b jeder Zwischenwand 50 auf der Seite der Austrittsöffnungen
40b der Durchbohrungen 40 ebenso mit dem gleichen Belag 6, der einen hohen Röntgenstrahlenabsorptionsfaktor
besitzt, überzogen ist.
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Ein Röntgenkollimator gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel der
Erfindung wird im folgenden unter Bezugnahme auf Fig. 5 beschrieben. Der Röntgenkollimator
des Ausführungsbeispieles gemäß Fig. 5 findet Anwendung in einem Röntgenbelichtungsapparat.
Wie im oberen Teil (a) der Fig. 5 dargestellt wird, ist die gesamte Oberfläche jeder
Zwischenwand 50 mit dem Belag 6, der die Fähigkeit besitzt, Röntgenstrahlen zu absorbieren,
überzogen. Bei diesem Ausführungsbeispiel wird für den Belag 6 ein Material mit
einem geringen Transmisionskoeffizienten für Röntgenstrahlen wie Au, usw. benutzt.
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Wenn beim Betrieb Röntgenstrahlen auf die oberfläche des
Belages
6 unter einem kleinen Winkel, der z. B. 1 bis 2 Grad beträgt und kleiner als der
kritische Winkel ist, einfallen, dann werden die Röntgenstrahlen von der Oberfläche
des Belages 6 totalreflektiert. Dadurch werden im wesentlichen parallele Röntgenstrahlen
3 erzielt. Die Röntgenstrahlen 3 fallen zusammen mit den Röntgenstrahlen 2, die
die Durchbohrungen 40 passierten, auf die Röntgenstrahlenmaske 10, die ein Muster
11 aufweist, wodurch ein für Röngtenstrahlen empfindlicher Belag 12 auf einem Halbleiterplättchen
mit den Röntgenstrahlen belichtet wird, die durch die Maske 10 hindurchgetreten
sind. Auf diese Weise können die durch eine Röntgenstrahlenquelle erzeugten Röntgenstrahlen
mit einem hohen Wirkungsgrad eingesetzt werden.
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Wie bisher unter Bezugnahme auf die Figuren 2 bis 5 beschrieben wurde,
-sind die Stirnseiten der Zwischenwände, die durch die feinen Durchbohrungen in
dem plattenförmigen Element festgelegt sind, erfindungsgemäß abgerundet. Dadurch
wird das Auftreten ungewollter Beugungen der Röntgenstrahlen wirkungsvoll verhindert,
wodurch ein Röntgenkollimator geschaffen ist, der einen hohen Grad an Parallelität
der austretenden Röntgenstrahlen sicherstellt. Desweitern kann erfindungsgemäß wenigstens
ein Teil der Oberfläche jeder der Zwischenwände, die durch feine Durchbohrungen
abgegrenzt sind, mit dem Belag überzogen sein, der einen hohen Röntgenstrahlabsorptionsfaktor
besitzt. Dadurch ist das Auftreten von ungewollter Beugung der Röntgenstrahlen wesentlich
wirkungsvoller verhindert. Gleichzeitig wird dadurch ein Schutz des Glaswerkstoffes,
aus dem der Röntgenkollimator gebildet ist, sichergestellt. Wenn die gesamte Oberfläche
der Zwischenwände mit dem oben beschriebenen Belag versehen ist, können zusätzlich
die durch den Belag reflektierten Röntgenstrahlen zum Zwecke der Belichtung genutzt
werden. Als Folge ist die Belichtungsenergie erhöht und deshalb die Produktionsl
eistiing des Belichti;,ngsapparatec;
verbessert.
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Fig. 7 zeigt einen Röntgenkollimator gemäß einem weiteren Ausführungsbeispiel
der Erfindung, bei dem jene Elemente, die denen gemäß der Anordnung in Fig. 6 entsprechen,
mit den gleichen Bezugszahlen bezeichnet sind.
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Wie in Fig. 7 dargestellt ist, umfaßt der Röntgenkollimator ein Rahmenelement
15 und ein darin angeordnetes und durch das Rahmenelement 15 gehaltenes plattenförmigen
Parallelspaltelement45. In dem Parallelspaltelement 45 sind eine Anzahl feiner Durchbohrungen
55 ausgebildet, die im wesentlichen die gleiche Querschnittsform haben und zueinander
parallel ausgerichtet sind in der Bestrahlungsrichtung der Röntgenstrahlen. Jede
der Durchbohrungen 55 hat einen Durchmesser in der Größenordnung von 10 Micrometer
oder einem Vielfachen davon. Auf dem Rahmenelement 15 ist eine Rohrleitung 65 zur
Kühlung des Röntgenkollimators derart angebracht, daß sie das Parallelspaltelement
45 umschließt. Die Rohrleitung 65 ist am Rahmenelement 15 angeschweißt oder angeschmolzen.
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Die Rohrleitung 65 wird von einem einzelnen Rohrelement gebildet,
durch welches ein Kühlmittel, wie z. B. Wasser fließt, das von einem nicht dargestellten
Temperaturregelkreislauf geliefert wird. Seitlich am Rahmenelement 15 ist ein Temperaturfühler
75 angebracht, der ein Ausgangssignal an den Regelkreis liefert.
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Wenn im Betrieb die von einer nicht dargestellten Röntgenstrahlenquelle
ausgehenden Röntgenstrahlen 25 ebenso wie nicht dargestellte Wärmestrahlen aus der
Umgebung des Kollimators auf den Kollimator einfallen, wird der Anteil dieser Strahlen,
der auf die Oberfläche des Rahmenelementes 15 und des Parallelspaltelementes 45
auftrifft von diesen absorbiert und in Wärme umgesetzt. Desweiteren werden jene
RRntt#enritrahlen 25, die nicht durch
die Bohrungen 55 hindurchgehen,
von dem Rahmenelement 15 und dem Glaswerkstoff, aus dem das Parallelspaltelement
45 gebildet ist, absorbiert, so daß deren Energie in Wärme umgesetzt wird. Daher
steigt im Laufe der Bestrahlung die Temperatur des gesamten Kollimators an. Da der
Temperaturfühler 75 die Temperatur des Kollimators als Ganzen aufnimmt, werden der
Durchfluß und/oder- die Temperatur des Kühmittels s durch den zuvor beschriebenen
Regelkreislauf gesteuert, um eine gewünschte Temperatur des Kollimators zu halten.
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Der Temperaturfühler 75 muß nicht am Rahmenelement 15 befestigt sein.
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Sofern er die Temperatur des Kühlmittels aufnimmt, das vom Kollimator,
im besonderen vom Parallelspaltelementen nach dessen KUhlung zurückfließt, kann
der Temperaturfühler auch an einem anderen Ort vorgesehen sein. Desweiteren ist
die Anzahl der Elemente der Rohrleitung 65 nicht auf eins begrenzt; es kann auch
eine Vielzahl von Kühlleitungen vorgesehen werden. Als geeigneter Werkstoff für
die Rohrleitung 65 kommen Glas, Metall wie Stahl entsprechend japanischem Industriestandard
(SUS), Kupfer usw. Keramik oder Kunststoff in Frage.
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Bei der Auswahl eines geeigneten Werkstoffes muß berücksichtigt werden
dessen Wärmeleitfähigkeit, die Befestigung zwischen der Rohrleitung und dem Rahmenelement
15, dessen Bearbeitbarkeit usw. Gleichermaßen sind als Werkstoff des Rahmenelementes
15 Glas, Keramik, Metall wie SUS, Co, usw., metallische Legierungen oder ähnliches
geeignet. Bei der Auswahl eines geeigneten Werkstoffes sollte Berück ichtigung finden
die Befestigung zwischen dem Rahmenelement 15 und dem Parallelspaltelement 45, ijbereinstimmung
der WärmeausdehnungskoeEfizienten, Bearbeitbarkeit oder dergleichen. Die Befestigung
zwischen dem Rahmenelement 15 und dem Parallelspaltelement 45 sowie zwischen dem
Rahmenelement 15 und der Kuhll-i # fl¼ttung 65 kann erreicht werden durch Verschmelzen,
Schweißen,
Verkleben oder ähnliches. Ein geeignetes Verfahren muß unter Berücksichtigung der
Befestigungsbesonderheiten, der Wärmeleitfähigkeit oder ähnlichem ausgewählt werden.
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Fig. 8 zeigt in einem schematischen Schnittbild einen Rörtg enbelichtungsapparat,
in den ein erfindungsgemäßer Röntgenkollimator eingebaut ist.
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Wie in Fig. 8 dargestellt ist, umfaßt der Rörtgenbelichtungsapparat
eine Vakuumkammer 76 in der eine Elektronenkanone 105 angeordnet ist, die mittels
einer nicht dargestellten Steuereinheit gesteuert wird, eine Röntgenstrahlenauftreffläche
95 als Anode, und einen Röntgenkollimator 16, der mittels eines Trägers 85 fest
mit der Vakuumkammer 76 verbunden ist und dazu dient, die von der Auftreffläche
95 ausgestrahlten Röntgenstrahlen zu kollimieren.
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Um die dort austretenden Röntgenstrahlen 35 aufzunehmen, ist unter
dem Röntgenkollimator 16 ein beweglicher Halter 125 angeordnet, auf dem eine Röntgenstrahlenmaske
115 und ein Halbleiterplättchen 145, das einen empfindlichen Belag 135 aufweist,
in einem geringen Abstand voneinander angeordnet sind. Das Halbleiterplättchen 145
wird mittels elektrostatischer Kräfte durch eine Spanneinrichtung 155 gehalten,
die am Halter 125 befestigt ist Durch das Bezugszeichen 65' ist in Fig. 8 eine Rohrleitung
bezeichnet, die die Rohrleitung 65 des Rönt-Menkollimators mit einem nicht dargestellten,
Temperaturregelkreislauf verbirldet. Deswei tern ist durch das Bezugsze ichen 16r;?
ein Pumpenloch zum Aufbauen des Vakuums in der Vakuumkammer 76 bezeichnet.
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Bei Betrieb steigt die Temperatur der Elektronenkanone 109 auf 20000C
oder mehr. Gleichermaßen steigt die Temperatur auf der Oberfläche der Anodc 95,
auf die der von
der Elektronenkanone 105 ausgestrahlte Elektronenstrahl
auftrifft. Jedoch kann die ungünstige Wirkung der hohen Temperaturen, auf die Maske
115 und das Halbleiterplättchen 145 mittels des erfindungsgemäßen Röntgenkollimators
völlig unterdrückt werden.
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An dem bisher unter Bezugnai#me auf d Fig. 7 und 8 beschriebenen erfindungsgemäßen
Röntgenkollimator ist wenigstens eine Rohrleitung in einem anderen Bereich desselben
als dem Parallelspaltelement vorgesehen, und ein Kühlmittel zirkuliert durch die
Rohrleitung. Dadurch kann ein Temperaturanstieg im Röntgenkollimator aufgrund von
Wärme, die erzeugt wird, durch die Auftreffläche und dergleichen oder erzeugt wird
durch Bestrahlung mit Röntgenstrahlen, vollkommen unterdrückt werden, so daß die
Temperatur in einem gewünschten Bereich gehalten werden kann. Des weiteren verkleinert
das Einbinden des erfindungsgemäßen Röntgenkollimators in einen Röntgenbelichtungsapparat
wesentlich die Größe eines solchen Apparates.
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Obwohl die Erfindung unter Bezugnahme auf die Ausführungsbeispiele
beschrieben wurde, ist sie nicht auf die beschriebenen Einzelheiten begrenzt. Vielmehr
sollen auch Modifikationen oder Änderungen im Sinne der Erfindung in dem durch die
Ansprüche gekennzeichneten Bereich erfaßt sein.
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Ein Röntgenkollimator mit einer Ausbildung, die das Auftreten unerwünschter
Streuung von Röntgenstrahlen bei Bestrahlung durch Röntgenstrahlen, den Zerfall
des Werkstoffes, aus dem Kollimator gebildet ist, und einen unerwünschten Temperaturanstieg
des Kollimators wirkungsvoll verhindert.