DE3445342C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Laserstrahlbelichtungssystem insbesondere für einen Laserdrucker, mit einem optischen Pfad, der eine Laserlichtquelle, einen akustisch-optischen Modulator, einen polygonalen Drehspiegel, ein optisches Abbildungssystem und ein weiteres optisches System umfaßt, wobei ein Aufzeichnungsstrahl und ein Steuerstrahl erzeugt werden, und der Steuerstrahl mit Hilfe des weiteren optischen Systems auf eine Ortsbestimmungsskala geleitet wird und die Lage des Steuersignals in der Ortsbestimmungsskala über eine Fotodetektoreinrichtung erfaßt wird.

Aus der DE-OS 25 11 716 ist ein optischer Drucker mit seriellem Pufferspeicher bekannt, welcher Binärwörter unterschiedlicher Länge verarbeitet. Dort wird ein von der Laserlichtquelle kommender Laserstrahl erst durch einen Strahlenteiler in einen Aufzeichnungsstrahl und in einen Steuerstrahl aufgeteilt. Bis zu einem polygonalen Drehspiegel hin verlaufen jedoch der Steuerstrahl und der Aufzeichnungsstrahl auf gemeinsamem Pfad und durch gemeinsame optische Glieder. Die Aufteilung erfolgt demzufolge erst nach dem polygonalen Drehspiegel. Auch ist es nachteilig, daß durch das Ein- und Ausschalten eines Ultraschall-Lichtmodulators das Signalniveau des Steuerstrahls starken Schwankungen unterworfen ist, wodurch die Sicherheit der Steuerung mit Hilfe des Steuerstrahls vermindert wird. Auch lassen sich der Strahldurchmesser des Aufzeichnungsstrahls und der Strahldurchmesser des Steuerstrahls nicht aufeinander abstimmen, um z. B. ein niedriges Signal-Rauschverhältnis zu erreichen.

Aus der DD-PS 1 44 322 ist ein Laserdrucker insbesondere für Mikrofilmaufzeichnungen bekannt. Von einer Laserlichtquelle ausgehende Strahlen werden in einen Hauptstrahl sowie in einen Pilotstrahl aufgeteilt, wobei der Hauptstrahl durch einen akusto-optischen Modulator geleitet wird. Der Pilotstrahl und der Hauptstrahl werden dann über optische Glieder wieder zusammengeführt und durch nachfolgende optische Elemente geleitet. In dem nachfolgenden gemeinsamen Strahlengang befindet sich ein Ausblendteilerspiegel, der bewirkt, daß ein Teilstrahl durch einen ersten Polygon-Glaskörper geleitet wird, während ein abgelenkter Strahl über eine Abbildungsoptik einem weiteren Polygon-Glaskörper zugeführt wird. Der Laserdrucker ist nicht geeignet, in einfacher Weise Ungenauigkeiten einer Ortsbestimmungsskala auszugleichen.

Aus der DE-OS 32 19 894 ist ein Inkremental-Digital-Umsetzer bekannt, bei dem die Signale einer Fotodetektoreinrichtung auf einen Frequenzteiler gegeben werden. Hierdurch soll die Lage eines bewegbaren Gegenstandes auch bei der Bewegung in falscher Bewegungsrichtung mit erhöhter Genauigkeit erfaßt werden. Die Taktfrequenz ist nicht veränderbar.

Aus der US-PS 39 05 705 ist ein optisches Meßgerät bekannt, bei dem ein Meßbereich einer Lasermeßeinrichtung durch die Signale eines Impulsgenerators gespreizt werden kann. Dieser Impulsgenerator ist jedoch nicht regelbar.

Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Laserstrahlbelichtungssystem der eingangs genannten Art zu schaffen, bei dem die Ungenauigkeiten der Ortsbestimmungsskala ausgeglichen werden können und bei gegebener Ortsbestimmungsskala ein feinerer Aufzeichnungsabstand erzielt werden kann.

Diese Aufgabe wird für ein Laserstrahlbelichtungssystem der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß die Ausgangssignale der Fotodetektoreinrichtung als Triggersignale einem Impulsgenerator zugeführt werden, der eine Taktfrequenz aufweist, die größer ist als die Frequenz der Ausgangssignale, und daß die Ausgangssignale des Impulsgenerators als Bezugsimpulse für eine Aufzeichnung dem akustisch-optischen Modulator zugeführt werden.

Hierdurch ergibt sich der Vorteil, daß die Ausgangssignale der Fotodetektoreinrichtung als Triggersignale ausgewertet werden und als solche dem Impulsgenerator zugeführt werden. Die Ausgangssignale dieses Impulsgenerators dienen dann als Bezugssignale für den akustisch-optischen Modulator. Das Zusammenwirken dieser Merkmale mit den Merkmalen des Oberbegriffes ergibt den Vorteil, daß gleichzeitig sowohl der Aufzeichnungsstrahl als auch der Steuerstrahl auf einer gemeinsamen Ebene fokussiert werden. Auch ist es vorteilhaft, daß die Aufzeichnungsposition mit hoher Präzision und ohne Vergrößerung des Laserdruckers bewirkt werden kann, und zwar im sog. Echtzeitbetrieb, d. h. während der Aufzeichnung. Da die Taktfrequenz der Triggersignale größer ist als die Frequenz der Ausgangssignale, kann in vorteilhafter Weise eine hohe Präzision in der Steuerung des akustisch-optischen Modulators erzielt werden.

Weitere Ausgestaltungen finden sich in den Ansprüchen 2 und 3.

Im folgenden wird die Erfindung anhand eines in den Fig. 1 bis 7 dargestellten Ausführungsbeispieles beschrieben. Es zeigt

Fig. 1 eine perspektivische Ansicht einer Ausführungsform des Laserbelichtungssystems nach der Erfindung;

Fig. 2 eine vergrößerte Ansicht einer Form einer Ortserfassungsskala;

Fig. 3 ein Diagramm, in dem das mittels der Ortserfassungsskala erfaßte Ortsbestimmungssignal aufgezeichnet ist;

Fig. 4 ein Diagramm zur Darstellung des Signalniveaus des Steuerstrahls, das mittels des gewöhnlichen Systems schwankt;

Fig. 5 eine Aufsicht der Beziehung der Durchmesser der Laserstrahlen und der Aufzeichnungsabstände;

Fig. 6 ein Schaltbild einer Form eines Generators für den Aufzeichnungsabstand mittels eines Bezugstaktimpulsoszillators; und

Fig. 7 einen Zeitplan zur Darstellung der Ordnung, in der die Abstände erzeugt werden.

Fig. 1 zeigt ein Laserstrahlbelichtungssystem mit einer optischen Ortsbestimmungseinrichtung für den Aufzeichnungsstrahl mittels des Steuerstrahls. Der von einer Laserstrahlquelle 11 ausgegebene Laserstrahl wird durch einen Ultraschallichtmodulator 12 und einen Strahlspreizer 13 auf einen polygonalen Drehspiegel 14 projiziert, an dem der Laserstrahl reflektiert wird. Darauf gelangt der Strahl durch eine fR-Linse 15 und einen Umlenkspiegel 16 und wird auf eine Filmfolie 17 (zu belichtendes Material) projiziert. Wenn der polygonale Drehspiegel gedreht wird, wird der die Filmfolie 17 erreichende Laserstrahl in x-Richtung abgetastet. Andererseits wird die Filmfolie 17 in y-Richtung mittels eines Zuführmechanismus (nicht gezeigt) angetrieben. Somit wird die gewünschte Aufzeichnung in zweidimensionaler Richtung vorgenommen. Der zu der Filmfolie 17 geleitete Laserstrahl ist ein Strahl erster Brechungsordnung. Die fR-Linse 15 unterscheidet sich von einer normalen fotografischen Linse und der Fourierwandlerlinse. Sie weist jedoch eine derartige Eigenschaft auf, daß die Bildhöhe Y gleich fR ist, wobei f die Brennweite und R der Einfallswinkel ist. Das heißt, die fR-Linse kann in einem breiten Bereich als bildausbildende Linse für ein Belichtungssystem dieser Art verwendet werden, da der mittels des polygonalen Drehspiegels 14 reflektierte Laserstrahl linear auf der Filmfolie 17 reproduziert wird.

Ein Strahlspalter 30 (Halbspiegel) ist vor dem Ultraschallichtmodulator 12 angeordnet, um den Laserstrahl von der Laserstrahlquelle 11 zur Erhaltung eines Steuerstrahls M zu teilen. Es ist ein optischer Steuerstrahlumgehungsweg 31 vorgesehen, durch den der Steuerstrahl M auf den polygonalen Drehspiegel 14 geleitet wird, ohne daß er durch den Ultraschallichtmodulator 12 und den Strahlspreizer 13 hindurchgeht. Auch ist ein weiterer Strahlspreizer 32 im optischen Steuerstrahlungsumgehungsweg 31 vorgesehen. Der optische Steuerstrahlungsumgehungsweg 31 umfaßt drei Spiegel 33. Der Steuerstrahl M nimmt eine Richtung ein, die mit einer Ebene der gleichen Weise wie der Aufzeichnungsstrahl auf den polygonalen Drehspiegel auftrifft. Der durch das Ein- und Ausschalten des Ultraschallichtmodulators 12 erzeugte Strahl nullter Ordnung wird mittels einer Abschirmplatte 34 für den Strahl nullter Ordnung abgeschirmt, so daß er nicht das optische Aufzeichnungssystem erreicht.

Diese Anordnung ist so ausgelegt, daß der von der Laserstrahlquelle 11 ausgesandte Laserstrahl mittels des Strahlspalters 30 in den Aufzeichnungsstrahl B, der durch den Ultraschallichtmodulator 12 geleitet wird, und den Steuerstrahl M, der durch den optischen Steuerstrahlumgehungsweg 31 geleitet wird, geteilt wird.

Genau wie bei dem gewöhnlichen System gelangt der Aufzeichnungsstrahl B durch den Ultraschallichtmodulator 12, den Strahlspreizer 13, den polygonalen Drehspiegel 14, die fR-Linse 15 und den Umlenkspiegel 16 zur Filmfolie 17. Der Laserstrahl wird dann über der Filmfolie 17 in x-Richtung abgetastet, um das latente Bild auf der Filmfolie 17 durch das Ein- und Ausschalten des Ultraschallichtmodulators 12 aufzuzeichnen.

Andererseits gelangt der Steuerstrahl M über den optischen Steuerstrahlumgehungsweg 31, den darin angeordneten Strahlspreizer 32 zum polygonalen Drehspiegel 14. Nach der Reflexion durch den polygonalen Drehspiegel 14 gelangt der Steuerstrahl durch die fR-Linse 15 in gleicher Weise wie der Laserstrahl B und wird von dem Umlenkspiegel 16 reflektiert. Der Steuerstrahl wird dann in Richtung der Filmfolie 17 umgelenkt und von dem Strahlablenker 18 reflektiert, um auf die Ortsbestimmungsskala 19 aufzutreffen. Der auf die Ortsbestimmungsskala 19 auftreffende Steuerstrahl M trifft auf einen Kondensorspiegel 20 auf und gelangt von dort zu dem fotoelektrischen Wandler 21. Die Abtaststellung des Steuerstrahls M wird mittels des Ausgangs des Wandlers 21 nach dem obengenannten Prinzip erfaßt. Die Abtastposition des Laserstrahls M wird indirekt durch die erfaßte Abtastposition des Steuerstrahls erfaßt, um somit das Ein- und Ausschalten des Modulators 12 zu steuern.

Der Lichtwandlerspiegel 20 ist so ausgebildet, daß er jeden durch die Ortsbestimmungsskala 19 gelangenden Steuerstrahl auf den fotoelektrischen Wandler 21 leitet. Statt des Wandlerspiegels kann ebenfalls eine optische Faser zur Leitung des Strahls zum elektrischen Wandler 21 verwendet werden, wie dies dem Fachmann bekannt ist.

Die Ortsbestimmungsskala 19 erstreckt sich in x-Richtung, wie dies in Fig. 1 dargestellt ist, und umfaßt ein Gitter, das abwechselnd angeordnete durchlassende Abschnitte 22 und abschirmende Abschnitte 23 aufweist, die schlitzförmig ausgebildet sind, wie dies in Fig. 2 gezeigt ist. Wenn der Steuerstrahl über die gesamte Skala abgetastet wird, wird ein Skalaerfassungssignalimpuls der durchlassenden Abschnitte erfaßt, wie dies schematisch in Fig. 3 dargestellt ist. Jeder der Abstände p wird normalerweise so bestimmt, daß er mit einem Auflösungsvermögen des Aufzeichnungsstrahls übereinstimmt. Daß der Impuls immer dann erzeugt wird, wenn der Steuerstrahl durch den durchlassenden Abschnitt 22 gelangt, eine Stelle des Steuerstrahls in x-Richtung, kann eine Stelle des Aufzeichnungsstrahls, der die Filmfolie 17 abtastet, in x-Richtung bestimmt werden. Entsprechend wird die dem Ultraschallichtmodulator 12 zugeführte Ultraschallwelle in Abhängigkeit von der Stelle des Erfassungssignals ein- und ausgeschaltet, um eine genaue Aufzeichnung auf der Filmfolie 17 durchzuführen. Bei einer derartigen Rückkopplung kann jedoch, auch wenn die Drehgeschwindigkeit des polygonalen Drehspiegels 14, die reflektierende Fläche oder die fR-Linse 15 eine unzureichende Genauigkeit oder Leistung aufweisen, der Ultraschallichtmodulator 12 ein- und ausgeschaltet werden, während er eine Stellung des Aufzeichnungslaserstrahls, der tatsächlich die Filmfolie 17 abtastet, erfaßt. Somit kann man eine genauere und präzisere Aufzeichnung erhalten.

Bei einem bekannten Laserbelichtungssystem, das mit einem nicht abgelenkten Steuerstrahl M arbeitet, weist dieser den gleichen Weg auf wie der Laserstrahl B. Der Ultraschallichtmodulator 12 sendet Strahlen nullter und erster Ordnung aus, die beim bekannten Laserbelichtungssystem als Aufzeichnungsstrahl bzw. Steuerstrahl verwendet werden. Die Strahlen nullter und erster Ordnung werden nicht gleichzeitig bei gleichem Niveau abgestrahlt. Insbesondere ist die Beziehung zwischen den Strahlen nullter und erster Ordnung so, daß der Strahl nullter Ordnung bei einem niedrigen Niveau ausgesendet wird, wenn der Strahl erster Ordnung ausgesendet wird. Hierdurch ergibt sich, daß das Signalniveau des Steuerstrahls durch das Ein- und Ausschalten des Ultraschallichtmodulators 12 stark schwankt. Fig. 4 zeigt schematisch die Schwankungen des Signalniveaus des Steuerstrahls und die mittels der Ortsbestimmungsskala 19 erzeugte Signalwellenform. Schwankungen in dem Signalniveau führen zu einer Minderung der Genauigkeit der Erfassung der Stelle des Steuerstrahls und machen die Anordnung des Systems kompliziert, da eine Korrektur erforderlich ist, um ein gleichförmiges Niveau zu erreichen. Wie bereits erwähnt, gelangen bei dem bekannten Belichtungssystem der Aufzeichnungsstrahl wie auch der Steuerstrahl durch den gleichen einzigen Strahlspreizer 13. Aus diesem Grund ist der optimale Strahldurchmesser, wenn er für den Aufzeichnungsstrahl eingestellt wurde, für den Steuerstrahl zu groß, so daß es Schwierigkeiten gibt, ein gewünschtes Signal-Rauschverhältnis (SN-Verhältnis) zu erhalten. Es ist bekannt, daß der Strahlspreizer 13 umgekehrt verwendet wird und zur Vergrößerung des Strahldurchmessers dient. Der Durchmesser D des Laserstrahls zur Aufzeichnung liegt in der Größenordnung von 2p = D in bezug auf einen Abstand p (gleich dem Abstand p der durchlassenden Abschnitte 22 in Fig. 2) bei der Ein-Aus-Wirkung, wie in Fig. 5 dargestellt, um eine gerade Linie u. ä. aufzuzeichnen, wobei es erforderlich ist, die benachbarten Abstände in geeigneter Weise zu überlappen. Wenn der Steuerstrahl einen Durchmesser D aufweist, der größer als der Abstand p der durchlassenden Abschnitte 22 ist, ergibt sich die Schwierigkeit, das gewünschte SN-Verhältnis zu erhalten, wie in Fig. 2 dargestellt, wenn der durchlassende Abschnitt abgetastet wird. Der Durchmesser des Steuerstrahls sollte kleiner als der Abstand p sein, vorzugsweise in der Größenordnung von ^p/₂, um das SN-Verhältnis zu erhalten. Bei dem obenerwähnten Wandlerbelichtungssystem weisen der Aufzeichnungsstrahl und der Steuerstrahl den gleichen Durchmesser auf, so daß einer der Strahlen somit geopfert wird.

Im Unterschied zum Steuerstrahl des bekannten Systems gelangt der Steuerstrahl M des vorliegenden Systems durch den optischen Steuerstrahlumgehungsweg 31, ohne daß er durch den Ultraschallichtmodulator 12 gelangt, so daß keine Ungleichheit im Signalniveau wie bei dem gewöhnlichen System erzeugt wird. Somit kann die Stellung des Steuerstrahls M, d. h. des Laserstrahls B, mittels des stabilen Signals mit hoher Genauigkeit erfaßt werden. Der Durchmesser des Laserstrahls B wird mittels des Strahlspreizers 13 eingestellt. Der Durchmesser des Steuerstrahls M wird mittels des Strahlspreizers 32 eingestellt. Somit kann der Durchmesser in geeigneter Weise für die Aufzeichnung und die Ortserfassung eingestellt werden. Insbesondere entspricht der Durchmesser des Steuerstrahls M dem Abstand p der durchlassenden Abschnitte 22 der Erfassungsskala 19 und kann kleiner als der Durchmesser des Laserstrahls B sein. Hierdurch kann das Signal zum Zählen der durchlassenden Abschnitte 22 als hohes SN-Verhältnis aufgenommen werden, wodurch sich eine Ortserfassung mit hoher Genauigkeit ergibt. Der Durchmesser des Laserstrahls B kann natürlich in geeigneter Weise für die Aufzeichnung eingestellt werden.

In diesem Zusammenhang ist darauf hinzuweisen, daß der Aufzeichnungsabstand p vom Abstand p der durchlassenden Abschnitte 22 der Erfassungsskala 19 abhängt. Der Abstand p der durchlassenden Abschnitte 22 hat jedoch eine Grenze, und eine mögliche Dichte der Aufzeichnung hat ebenfalls eine Grenze. Entsprechend wird mit der Erfindung ebenfalls ein System geschaffen, um einen Aufzeichnungsabstand zu erhalten, der schmaler als der Abstand p der durchlassenden Abschnitte 22 ist.

Fig. 6 und 7 zeigen eine derartige Anordnung. Das dargestellte System ist so angeordnet, daß ein mittels des fotoelektrischen Wandlers 21 erhaltener Ortsimpuls als Referenzimpuls verwendet wird, wenn der Steuerstrahl durch die durchlassenden Abschnitte 22 der Erfassungsskala 19 gelangt, und daß ein Impulsgenerator 36 mittels eines Differentialschaltkreises 35 betätigt wird, immer wenn der Bezugsimpuls erzeugt wird, so daß der Abstand p′ einen Impuls in Schwingungen versetzt, der geringer als der Abstand p des Ortsbezugsimpulses ist, wodurch der Impulsabstand p′ als Aufzeichnungsabstand verwendet wird. Der Aufzeichnungsabstand p wird so vorher eingestellt, daß er über einem ganzzahligen Vielfachen von p′ liegt. Der Impulsgenerator 36 dient zum erneuten Einleiten seines Betriebs, immer wenn der Bezugsimpuls erzeugt wird. Der Impulsgenerator 36 bewirkt ein Takten der Erzeugung des Bezugsimpulses, um immer mit einem Takten der Erzeugung des Aufzeichnungsimpulses übereinzustimmen.

Insbesondere ist dieses System so ausgelegt, daß bis zu einem gewissen Grad die Abstandstoleranz der durchlassenden Abschnitte 22 der Ortserfassungsskala 19 hingenommen werden kann und verwendet den vom durchlassenden Abschnitt 22 erhaltenden Bezugsimpuls als Auslöser für den Aufzeichnungsimpuls von dem Differentialschaltkreis 35 und dem Impulsgenerator 36. Verglichen mit der Schaffung des Aufzeichnungsabstandes, der lediglich mittels eines Taktimpulses erzeugt wird, besteht bei dem in Fig. 6 und 7 dargestellten System der Vorteil darin, daß das Takten der Erzeugung des Impulses jedesmal bei der Erzeugung des Bezugsimpulses durch den durchlassenden Abschnitt 22 berichtigt werden kann. Auf diese Weise ist der Impuls, wenn er erzeugt wird, in der Lage, einen feinen Aufzeichnungsabstand zu erhalten, auch wenn der Abstand des durchlassenden Abschnitts 22 der Skala 19 ungenau ist.

Wie oben beschrieben, ist das Laserbelichtungssystem dadurch gekennzeichnet, daß der Laserstrahl mittels des Steuerstrahls erfaßt wird, der nicht durch den Ultraschallichtmodulator geht, der zum Ein- und Ausschalten des Laserstrahls geeignet ist, um die Stellung des Laserstrahls mittels des stabilen Ausgangs bei einem festen Signalniveau zu erfassen, das nicht durch das Ein- und Ausschalten des Ultraschallichtmodulators beeinflußt wird. Das vorliegende System schafft ein korrektes Rückkopplungssystem, um die gewünschte Aufzeichnung zu erreichen, auch wenn die Drehgeschwindigkeit und die Oberflächengenauigkeit des polygonalen Drehspiegels und die Leistung der fR-Linse nicht ausreichend sind. Die Anordnung der Strahlspreizer in dem optischen Weg des Laserstrahls und dem optischen Steuerstrahumgehungsweg ermöglicht, daß die Durchmesser des Aufzeichnungsstrahls und des Steuerstrahls unabhängig voneinander eingestellt werden. Insbesondere kann somit der Durchmesser des Steuerstrahls der Ortsbestimmungsskala entsprechen, um eine Ortsbestimmung mit einer besseren Toleranz zu schaffen.

Wie im einzelnen oben ausgeführt, ist das Laserbelichtungssystem gemäß der Erfindung so ausgelegt, daß die Strahlspreizer so ausgebildet sind, daß sie den Durchmesser des Laserstrahls mittels des optischen Systems mit der Linse veränderbarer Brennweite spreizen, um dadurch den Durchmesser des Laserstrahls zu verändern. Aus diesem Grund kann die Aufzeichnungslinienbreite nach Wunsch eingestellt werden, um kleinere Aufzeichnungen zu erzeugen. Insbesondere kann, wenn das Muster zum Ätzen auf der Druckplatte beschrieben wird, eine kleine Linienbreite unter Berücksichtigung einer zu großen oder zu kleinen Linienbreite im Ätzverfahren geschaffen werden, die sich aus der Erfahrung ergibt, um so das Muster mit hoher Reproduzierbarkeit und Genauigkeit zu schaffen.

Claims (3)

1. Laserstrahlbelichtungssystem, insbesondere für einen Laserdrucker, mit einem optischen Pfad, der eine Laserlichtquelle, einen akustisch-optischen Modulator, einen polygonalen Drehspiegel, ein optisches Abbildungssystem und ein weiteres optisches System umfaßt, wobei ein Aufzeichnungsstrahl (B) und ein Steuerstrahl (M) erzeugt werden, und der Steuerstrahl mit Hilfe des weiteren optischen Systems auf eine Ortsbestimmungsskala geleitet wird und die Lage des Steuersignals in der Ortsbestimmungsskala über eine Fotodetektoreinrichtung erfaßt wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangssignale der Fotodetektoreinrichtung (21, 35) als Triggersignale einem Impulsgenerator (36) zugeführt werden, der eine Taktfrequenz (1/p′) aufweist, die größer ist als die Frequenz (1/p) der Ausgangssignale, und daß die Ausgangssignale des Impulsgenerators (36) als Bezugsimpulse für eine Aufzeichnung dem akustisch-optischen Modulator (12) zugeführt werden.

2. Laserstrahlbelichtungssystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nur der Aufzeichnungsstrahl (B) durch den akustisch-optischen Modulator gesteuert wird.

3. Laserstrahlbelichtungssystem nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Durchmesser (d) des Steuerstrahls (M) an der Ortsbestimmungsskala (19) kleiner oder gleich der halben Teilung (^p/₂) der Ortsbestimmungsskala (19) ist.