DE2537411A1 - Vorrichtung zum abtasten der zylindrischen oberflaeche eines zylinders o.dgl. mit einem laserstrahl, insbesondere zum aufrechterhalten der lage eines arbeitskopfes mit bezug auf ein zylindrisches werkstueck - Google Patents
Vorrichtung zum abtasten der zylindrischen oberflaeche eines zylinders o.dgl. mit einem laserstrahl, insbesondere zum aufrechterhalten der lage eines arbeitskopfes mit bezug auf ein zylindrisches werkstueckInfo
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Description
DR,IN<3. ULR.CH KNOBUAUOH , FRANKFURT/MA1Nlf ^n. 2t# A
PATENTANVVAUT kuhhornshofwes jo Κ/Τ
POSTSCHECK-KONTO FRANKFURT/M. 3425-eOS TELEFON- 56 1O 78 -
DRESDNER BANK. FRANKFURT/M. 2300308 TELEGRAMM': KNOPAT_ ? ■ ■
CROSFIELD ELECTRONICS LIMITED, London (England)
Vorrichtung zum Abtasten der zylindrischen Oberfläche eines Zylinders o. dgl. mit einem Laserstrahl, insbesondere
zum Aufrechterhalten der Lage eines Arbeitskopfes mit Bezug auf ein zylindrisches Werkstück
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung, bei der
ein Strahl von einer Laserlichtquelle ein Abtastraster auf der Oberfläche eines Zylinders oder eines um den
Zylinder iierumgelegten Blattes bestreichen soll und bei
der diese Rasterabtastung dadurch erzeugt wird, daß der Zylinder um seine Achse gedreht wird und gleichzeitig
der Laser in eine Richtung parallel zur Zylinderachse langsam bewegt wird. Bei einer solchen Vorrichtung trifft
der Strahl längs einer Schraubenbahn auf der Zylinderoberfläche auf, wobei die Steigung der Schraube sehr gering ist,
Die Steigung der Schraubenbahn muß innerhalb sehr kleiner Toleranzen konstant gehalten werden, insbesondere wenn
getrennte Bilder mit einzelnen Farbkomponenten anschließend übereinander gelegt werden sollen.
Die Erfindung befaßt sich insbesondere mit der Genauigkeit, mit der die Gleichförmigkeit der Steigung aufrechterhalten
werden kann.
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Bei einer früher entwickelten Ausführungsform einer solchen Vorrichtung war der Laser stationär angeordnet und ein
optisches System mit einem Reflektor zur Umlenkung des Strahls um 90 war auf einer Grundplatte in einer Richtung parallel
zur Zylinderachse beweglich. Der Laserstrahl verließ den Laser parallel zur Zylinderachse und traf nach Umlenkung
senkrecht auf die Zylinderoberfläche. Hierbei ergaben sich
jedoch Probleme wegen der Strahldivergenz, wenn der Laser vom Hochleistungs-Langwellen-Typ war, z. B. ein CC^-Laser.
Demzufolge wurde der Laser selbst auf der Maschinengrundplatte beweglich gelagert, um eine relative Axialbewegung zwischen
dem Laserstrahl und dem Zylinder hervorzurufen. Leider führt
dies zu einem weiteren Problem, weil das Gewicht des Laserschlittens beträchtlich größer ist als das des beim stationären
Laser verwendeten optischen Systems. Demzufolge sind robustere Führungs- und Antriebsmittel erforderlich, und es wird
schwieriger, eine Arbeitsgeschwindigkeit zu erzielen, die genügend gleichförmig ist, um die zuvor erwähnte Gleichförmigkeit
der Steigung zu erhalten*
Ähnliche Probleme treten bei großen analysierenden Abtastvorrichtungen
für die Bildwiedergabe auf, wo ein Analysekopf mit einer Laserlichtquelle parallel zu der Achse eines
Zylinders bewegt wird, der das zu reproduzierende Original trägt.
Gemäß der vorliegenden Erfindung weist die Vorrichtung Führungsmittel auf, die sich parallel zu der Achse des
Zylinders erstrecken, einen Abtastkopf mit einem Laser, eine Fokussierungslinse zum Fokussieren des Laserstrahls
auf der Oberfläche des Zylinders oder des um den Zylinder herumgelegten Blattes, ein Antriebssystem zum Drehen des
Zylinders und erste und zweite Antriebsmittel zum Bewegen des Abtastkopfes und der Linse gleichzeitig mit der Zylinderdrehung
längs erster und zweiter Pfade parallel zu der
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Zylinderachse, so daß der Abtastkopf durch die Fokussierungslinse
hindurchwirkt, um den Laserstrahl längs der Zylinderoberfläche in einer Richtung parallel zu der Zylinderachse
zu bewegen und der Strahl längs einer Schraubenbahn auf den rotierenden Zylinder auftrifft, wobei die ersten und zweiten
Antriebsmittel so ausgebildet sind, daß die Bewegungsgeschwindigkeit der Fokussierungslinse längs des zweiten Pfades
gleichförmiger ist als diejenige des Abtastkopfes längs des ersten Pfades, wobei die Folsussierungslinse und der
Abtastkopf so gehalten sind, daß sie während dieser Parallelbewegung zu der Zylinderachse eine Relativbewegung zwischeneinander
in der Richtung parallel zur Zylinderachse ermöglichen, und wobei die Größe der Linsenöffnung und das Ausmaß der
erlaubten Relativbewegung so gewählt ist, daß der Laserstrahl immer durch die Linsenöffnung hindurchgeht.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform bewegt sich der Laser längs einer "groben" Führungsschraube auf einem groben Bett,
und die Linsenanordnung bewegt sich längs einer Führungsschraube hoher Qualität auf einem Präzisionsbett. Ein optisches
Präzisionsgitter ist längs und parallel zur Linsen-Führungsschraube angeordnet und die Linsenanordnung trägt einen
Gitterlesekopf. Wenn sich die Linsenanordnung längs ihrer Führungsschraube bewegt, werden Impulse vom Gitterlesekopf
einem Servosystem mit geschlossenem Kreis zugeführt, um ein Fehlersignal zu erzeugen, welches den Servomotor steuert,
der die Führungsschraube für die Linsenanordnung antreibt. Dieses Servosystem mit geschlossenem Kreis ist vom Phasenverriegelungstyp
und weist einen Vergleicher auf, der die Impulse vom Gitterablesekopf mit Taktimpulsen aus einer
Bezugsquelle vergleicht. Die Bezugsquelle dient außerdem über eine Frequenzteilereinheit dazu, den Hauptmotor,
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welcher die Führungsschraube für den Laser antreibt, zu
steuern.
Obwohl die Verwendung eines optischen Präzisionsgitters und eines Servosystems mit geschlossenem Kreis bevorzugt wird,
ist es in manchen Fällen möglich, auf das Gitter und den geschlossenen Kreis zu verzichten, insbesondere wenn die
Führungsschrauben kurz sind, und sich auf die Präzision der Führungsschraube und der Gleitbahn für die Linsenanordnung
zu verlassen, um die gewünschte Gleichförmigkeit der Bewegung in Richtung parallel zur Zylinderachse zu erzielen.
Grundsätzlich beruht die Erfindung auf der Tatsache, daß der Lichtstrahl, wenn er parallel zur Linsenachse auf die
Linsenoberfläche auftrifft, auf denselben Punkt der zylindrischen
Oberfläche fokussiert wird, unabhängig, auf welchen Punkt der Linsenoberfläche der Strahl aufgetroffen ist.
Mit anderen Worten, solange der Laser nicht um einen größeren Betrag mit Bezug auf den Zylinder gekippt wird, ist es
nicht notwendig, die Lage des gesamten Laserschlittens mit der Genauigkeit einzustellen, wie sie für die Gleichmäßigkeit
der Abtaststeigung auf der Zylinderoberfläche erforderlich ist; es genügt, diese Genauigkeit lediglich bei der Bewegung der
Austrittslinse zu erreichen. Demzufolge darf das Lasersystem von der erforderlichen Gleichförmigkeit der Bewegung innerhalb
sehr großer Toleranzen abweichen. Dies erleichtert und verbilligt die Konstruktion des Antriebs und der Grundplatte,
die für die Bewegung des Lasersystems vorgesehen ist.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung korrigiert auch automatisch Fehler in der Lage des Lasers in vertikaler Richtung, wenn
die Zylinderachse als horizontal angenommen wird. Derartige Fehler können sich beispielsweise aufgrund einer Durchbiegung
des Lasertragsystems aufgrund des Lasergewichtes einstellen. Wenn der Laser nicht gekippt ist und der Fehler in der
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vertikalen Richtung nicht so groß ist, daß der Strahl außerhalb
der Linsenöffnung auftrifft, wird wiederum das fokussierte
Bild des Strahls auf denselben Bereich der Zylinderoberfläche
fallen.
Es ist natürlich wünschenswert, den Abstand zwischen der
Fokussierungslinse und der Zylinderoberfläche konstant zu
halten. Jedoch sind die Toleranzen in dieser Richtung und
in der erwähnten "vertikalen" Richtung sehr viel größer
als in der Bewegungsrichtung des abtastenden Strahles
parallel zur Zylinderachse.
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Die Erfindung wird nachstehend anhand bevorzugter Ausführungsbeispiele,
die in der Zeichnung dargestellt sind, näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit einem
Stell system für die Linsenanordnung mit geschlossenem Regelkreis,
Fig. 2 einen schematischen Schnitt durch den Zylinder
und die Befestigungsanordnung für Laser und Linse der Fig. 1,
Fig. 3 ein System mit offenem Kreis,
Fig. 4 ein System mit offenem Kreis, das zusätzlich Mittel zum Konstanthalten des Abstandes zwischen
der Linsenanordnung und der Zylinderoberfläche
aufweist,
Fig. 5 eine abgewandelte Form der Vorrichtung zum
Konstanthalten des Abstandes zwischen der Linsenanordnung und dem Zylinder,
Fig. 6 eine weitere Ausführungsform der Vorrichtung gemäß der Erfindung und
Fig. 7 einen Strahlteiler, der bei der Vorrichtung
der Fig. 6 benutzt wird.
In Fig. 1 wird die Oberfläche eines Zylinders 10, der mittels eines Motors 14 um eine Achse 12 drehbar ist, durch einen
Laserstrahl aus einem Laserkopf 16 graviert. Der Laserkopf ist auf einer ersten Gleitbahn 18 gehalten und wird durch
Drehung eines Motors 22 längs einer Führungsschraube bewegt.
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Eine Linsenanordnung 24 ist auf einer Präzisionsgrundplatte 26 beweglich gelagert und wird längs einer Führungsschraube
28 durch deren Drehung mittels eines Servomotors 30 verschoben« Die Linsenanordnung 24 ist leicht im Vergleich zum Laserkopf
13 und die Führungsschraube 28 ist von sehr viel besserer Qualität und Präzision als die Führungsschraube
In gleicher Weise kann die Grundplatte 18 im Vergleich zur
Grundplatte 26 grob sein.
Zusätzlich zu einer Linse trägt die Linsenanordnung 24 einen Gitter-Lesekopf 34. Dieser wirkt mit einem optischen
Präzisionsgitter 36 zusammen, das sich parallel zur Führungsschraube 28 erstreckt, und umfaßt Mittel zur Erzeugung
elektrischer Signale, die den Gitterlinien entsprechen, wenn sich die Linsenanordnung längs des Gitters bewegt.
Die sich ergebenden elektrischen Impulssignale werden über einen Verstärker 38 und einen Rechteckkreis 40 einem
Phasenvergleicher 42 zugeführt, der ein zweites Eingangssignal von einer Taktimpuls-Bezugsquelle 44 erhält. Jeder Phasenfehler
der empfangenen Gitterimpulse führt zur Erzeugung eines Fehlersignals im Vergleicher 42. Und dieser Fehler
wird in dem vom Vergleicher 42 zum Servormotor 30 übertragenen Signal berücksichtigt.
Die Taktimpuls-Bezugsquelle 44 dient außerdem über einen
Teilerkreis 46 zur Steuerung der Drehzahl des Motors 22, welcher die Führungsschraube 20 für den Laser antreibt.
Sie dient auch zur Steuerung der Drehzahl des Motors 14,
welcher den Zylinder 10 antreibt.
Aus dieser Beschreibung ergibt sich, daß der Laserstrahl parallel zur Linsenachse und senkrecht zur Zylinderachse
gehalten wird und daß der Strahl innerhalb der Linsenöffnung verbleibt, wobei eine Relativbewegung zwischen der Linse
und dem Laser in der Richtung ihrer Führungsschrauben
ß u y β 1 ο / ο 8 8 ι
nicht zu einem Fehler bezüglich der Lage des Strahls auf der Zylinderfläche führt. Der Strahl bewegt sich daher
längs der Zylinderoberfläche mit der Geschwindigkeit der Linsenanordnung und die Gleichförmigkeit der Steigung der
Abtastlinien ist daher gleich der Gleichförmigkeit der Bewegungsgeschwindigkeit der Linsenanordnung längs ihrer
Führungs schraube.
Auch wenn sich der Laserkopf in Fig. 1 senkrecht zur Zeichnungsebene bewegt, wird die Genauigkeit der Strahllage auf der
Zylinderoberfläche nicht beeinflußt, sofern die obigen Bedingungen erfüllt sind, d. h. wenn der Laser nicht gekippt
wird und wenn der Strahl noch innerhalb der Linsenöffnung verläuft.
Der Servomotor der beschriebenen Vorrichtung kann außerdem mit einem Tachogenerator zur zusätzlichen Dämpfung
der Geschwindigkeit versehen sein. Dies ist eine bekannte Anordnung, die keinen Teil der vorliegenden Erfindung
bildet und daher nicht im einzelnen beschrieben wird.
Obwohl die in Verbindung mit den Fig. 1 und 2 beschriebene
Vorrichtung bevorzugt wird, ist es in einigen Fällen, bei denen die Führungsschraube eine kurze Länge hat, möglich,
auf eine Regelung mit geschlossenem Kreis zu verzichten und einfach eine Gleitbahn und eine Führungsschraube großer
Genauigkeit für die Linsenanordnung vorzusehen. Daher sind bei der Ausführungsform der Fig. 3 das Gitter, der Gitterlesekopf
und der Phasenvergleicher fortgelassen.
Wie bereits erwähnt, muß die Genauigkeit, mit der der Abstand zwischen der Linsenanordnung und dem Zylinder aufrechterhalten
wird, nicht so groß sein wie sie für die Bewegung des Strahles parallel zur Zylinderachse erforderlich ist. Trotzdem ist
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es in einigen Fällen notwendig, ein HilfsSteuersystem vorzusehen, um eine Veränderung dieses Abstandes zu verringern.
Eine solche Anordnung ist in Fig. 4 gezeigt, in der ein Brennweitensteuersystem der Einfachheit halber bei einer
Vorrichtung nach Fig. 3 angewendet wird. In Fig. 4 ist ein
von einer Fotozelle gesteuertes Stellservosystem 50 auf einer
Hilfsgleitbahn angeordnet; es steuert die Feineinstellung
der Fokussierungslinsenanordnung 24. Ein Helium-Neon-Laser 52 richtet einen Strahl mit optischer Wellenlänge auf eine
stellungsempfindliche Fotozelle in dem Servosystem 50, so daß sich die Linse auf den Zylinder zu-und von ihm wegbewegen
kann.
Die Anordnung in Fig. 5 ist ähnlich derjenigen der Fig. 4 mit der Ausnahme, daß ein Strahlteiler 56 in den Pfad des
Laserstrahls eingeführt ist. Der reflektierte Teil des Laserstrahls gelangt zu einer weiteren stellungsempfindlichen
Fotozelle 58 und wird für die Anfangseinstellung des Systems benutzt, wobei die Achsen der Teile des Systems so eingestellt
werden,, daß sich für die Übertragung des Bezugsstrahls auf die Fotozelle 58 ein Maximum ergibt.
Vorzugsweise sind die von dem Helium-Neon-Laser ausgehenden Strahlen eingeschlossen, um Ehflüsse der atmosphärischen
Brechung zu begrenzen. Es kann auch eine Kupplung mit einem Balg zwischen dem Laserkopf 16 und der Linsenanordnung 24
in allen Ausführungsbeispielen verwendet werden.
Bei der Anordnung nach Fig. 6 ist ein Strahlteilerprisma 60 vor dem Heliumifeon-Laser angeordnet, der seinerseits auf
dem den Zylinder tragenden Kopf befestigt ist. Die beiden Strahlen aus dem Prisma 60 treffen auf einer Zwillingsfotozelle
eines lageempfindlichen Systems 62 in der Servosteuereinheit auf. Das System ist derart, daß die Fotozelleneinheit einen
Null-Ausgang abgibt, wenn der Abstand zwischen der Linse und
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ί HiMtI 11
der Zylinderoberfläche richtig ist. Wenn jedoch die Linse
von der geraden, durch den Laserstrahl bestimmten Linie abweicht, erzeugt die Fotozelleneinheit einen von Null
verschiedenen Ausgang, der benutzt wird, um die Linse und die Fotozelleneinheit zu verstellen, bis sich wieder eine
Nullablesung ergibt. Bei einem System, das einen einzigen Strahl von einem sekundären Laser benutzt, würde,man sich
darauf verlassen müssen, daß dessen Strahl bezüglich Lage und Richtung stabil und bezüglich seiner Intensitätsverteilung
konstant bleibt. In der Verrichtung derFig. 6 und 7 ist das Zwei-Strahl-System von diesen Eigenschaften unabhängig.
Der Strahlteiler, der für diese Unabhängigkeit verantwortlich ist, ist vergrößert in Fig. 7 dargestellt. Er besteht aus
zwei prismatischen Abschnitten, deren Berührungsfläche einen solchen Überzug trägt, daß der in vollausgezogenen Linien
gezeigte Strahl teilweise an dieser Berührungsfläche reflektiert und teilweise durch diese Berührungsfläche hindurchgelassen
wird. Die resultierenden Strahlen sind beim Ausgang aus dem Strahl teiler parallel zueinander.
Derjenige Strahl, der einer einzigen Reflektion unterliegt, wird bezüglich des eintretenden Strahls und bezüglich des
anderen Strahls reversiert. Demzufolge ist das Intensitätsprofil des Strahls in dem einen Strahl das Spiegelbild des
anderen. Wenn des weiteren der Eingangsstrahl seitlich verschoben wird (wie es gestrichelt veranschaulicht ist),
werden die Ausgangsstrahlen in einander entgegengesetzten Richtungen verschoben, wobei aber der Mittelpunkt zwischen
den beiden Strahlen stationär bleibt. In ähnlicher Weise wird, wenn die Richtung des Eingangsstrahls geändert wird,
die Richtung der beiden Ausgangsstrahlen sich in entgegengesetzten Richtungen ändern, wobei der Mittelpunkt zwischen
den beiden Strahlen wiederum stationär bleibt. Daher ist die Bezugsrichtung nicht durch den Laser, sondern durch die
Kontaktlinie zwischen den beiden Prismen definiert. Es ist
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daher lediglich notwendig, daß diese Ebene genau und beständig mit Bezug auf den Zylinder angeordnet wird.
Das Fotozellensystem verwendet zwei lageabhängige Fotozellen, nämlich eine im Pfad jedes Strahls. Durch einen geeigneten
Anschluß dieser Fotozellen (d. h. durch entsprechendes Zusammenfügen der Ausgänge der beiden Zellen) wird ein
Nullsignal erreicht, unabhängig von kleinen Änderungen in dem Abstand der beiden Strahlen. Auch wenn sich das Intensitätsprofil der Strahlen mit dem Abstand längs der Strahlen ändert,
führt das vom Prisma hervorgerufene Spiegelbild dazu, daß die Fotozellen eine scheinbar gleiche und entgegengesetzte
Verschiebung der Strahlen sehen, welche die Nullablesung nicht beeinflußt. Wenn jedoch eine relative Verschiebung
zwischen einer lageabhängigen Fotozelle und ihrem zugehörigen Strahl in der gleichen Richtung erfolgt wie eine relative
Verschiebung zwischen der anderen lageabhängigen Fotozelle und ihrem zugehörigen Strahl, wird ein Fehlersignal erzeugt,
welches das Servosystem betätigt, um eine Fokussierungsverschiebung
der Linse zu bewirken. Vorzugsweise wird im Steuerkreis ein Verstärker verwendet, der, unabhängig von
der Strahlintensität, eine konstante Verschiebungsempfindlichkeit ergibt.
In Fig. 6 ist eine zusätzliche Fotozelleneinheit 66 auf dem den Zylinder tragenden Block auf dem dem sekundären Laserkopf
gegenüberliegenden Ende vorgesehen. Diese Fotozelleneinheit 66 wird für die Anfangseinstellung und für die Prüfung der
Ausrichtung der Prismeneinheit benutzt.
Ganz allgemein kann das veranschaulichte Prisma durch Irgendeine andere Strahlteiler- oder Spiegelanordnung ersetzt
werden, die dafür sorgt, daß ein Strahl einer geraden Zahl von Reflektionen und der andere einer ungeraden Zahl von
Reflektionen unterworfen wird, bevor beide parallel zueinander austreten.
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Obwohl die Erfindung in Verbindung mit einer Graviervorrichtung
zum Gravieren eines Zylinders beschrieben wurde, ist sie auch auf das Entwickeln mit Hilfe eines Laserstrahls eines
lithographischen oder eines anderen bezüglich der Laserwellenlänge empfindlichen Blattes, das um die Zylinderoberfläche
herumgelegt ist, anwendbar.
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Claims (10)
- - 13 PatentansprücheVorrichtung zum Abtasten der zylindrischen Oberfläche eines um eine Achse drehbaren Zylinders oder eines um den Zylinder herumgelegten Blattes mit einem Laserstrahl, mit einem Abtastsystem, das einen Laser aufweist, dessen Strahl auf die zylindrische Oberfläche gerichtet ist, und ein Antriebssystem zum Drehen des Zylinders und zum Bewegen des Lasers in einer Richtung parallel zu der Zylinderachse, so daß der Laserstrahl längs der zylindrischen Oberfläche in einer Richtung parallel zur Zylinderachse bewegt wird und der Strahl auf einer Schraubenbahn auf den rotierenden Zylinder auftrifft, dadurch gekennzeichnet, daß das Abtastsystem einen vonin einem Laserkopf getrennten Linsenkopf mit einer/der Bahn des Laserstrahls angeordneten Fokussierungslinse aufweist, daß das Antriebssystem erste und zweite Antriebsmittel zur Bewegung des Laserkopfes und des Linsenkopfes, gleichzeitig mit der Zylinderdrehung, längs erster und zweiter, je parallel zur Zylinderachse verlaufender Pfade aufweist, daß die ersten und zweiten Antriebsmittel so konstruiert sind, daß die Bewegungsgeschwindigkeit des Linsenkopfes aufgrund des zweiten Antriebsmittels gleichförmiger ist als diejenige des Laserkopfes aufgrund des ersten Antriebsmittels, daß der Linsenkopf und der Laserkopf so gehalten sind, daß sie während ihrer Bewegung parallel zur Zylinderachse eine Relativbewegung zwischen sich in der genannten Richtung erlauben, um Unterschiede in den Bewegungsgeschwindigkeiten auszugleichen, und daß die Größe der LinsenkopfÖffnung und das Ausmaß der zulässigen Relativbewegung so gewählt sind, daß der Laserstrahl während der Tätigkeit des Antriebssystems immer durch die Linsenöffnung hindurchtritt.DÜ98i0/0ö81
- 2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Fokussierungslinse in einem "bewegbaren Kopf gehalten ist, der sehr viel leichter ist als der Laserkopf, und
daß der Linsenkopf längs einer ersten Führungsschraube
und einer ersten Gleitbahn und der Laserkopf längs einer zweiten Führungssehraubeuid einer zweiten Gleitbahn beweglich gelagert sind, wobei die erste Führungsschraube und Gleitbahn so konstruiert sind, daß sie eine gleichförmigere
Geschwindigkeit der Fokussierungslinse erlauben als dies durch die zweite Führungsschraube und Gleitbahn gestattet wäre. - 3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß sich ein optisches Gitter parallel zu der Bewegungsbahn der Fokussierungslinie längs der Führungsmittel erstreckt, daß ein Gitterlesekopf am Linsenkopf befestigt
ist und daß ein Servosystem mit geschlossenem Kreis vorgesehen ist, um die Bewegungsgeschwindigkeit des Linsenkopfes und des Gitterkopfes parallel zur Zylinderachseals Funktion des Ausganges des Gitterlesekopfes zu steuern. - 4. Vorrichtung nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, daß das Servosystem mit geschlossenem Kreis eine Phasenverriegelungsschleife mit einem Vergleicher aufweist,
der die von dem Gitterlesekopf abgeleiteten Impulse mit
Bezugstaktimpulsen vergleicht und den Antriebsmitteln
für den Linsenkopfund den Gitterablesekopf entsprechende Korrektursignale zuführt. - 5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch eine Vorrichtung, welche die Fokussierungslinse
während ihrer Bewegung längs der Führungsmittel in einem konstanten Abstand von der Zylinderachse hält.B 0 9 8 10/0881 - 6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,daß die Vorrichtung zum Aufrechterhalten eines konstanten Abstandes der Fokussierungslinse von der Zylinderachse Fühlmittel zum Feststellen der Abweichung der Fokussierungslinse von einer Linie parallel zur Zylinderachse und in Abhängigkeit von Fehlersignalen dieser Fühlmittel arbeitende Stellmittel zur Bewegung der Fokussierungslinse zurück zu dieser Linie aufweist.
- 7. Vorrichtung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Fühlmittel einen weiteren Laser aufweisen, der einenLichtstrahl längs eines parallel zur Zylinderachse verrichtet
laufenden Pfades/und mit der Fokussierungslinse sich bewegende lichtempfindliche Mittel aufweist, die Licht von dem weiteren Laser empfangen, und daß die lichtempfindlichen Mittel in der Lage sind, ein Fehlersignal zu erzeugen, wenn die Fokussierungslinse von der genannten Linie parallel zur Zylinderachse abweicht. - 8. Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, gekennzeichnet durch ein Servosystem zur Aufnahme des Fokussierungsfehlersignals, das die Fokussierungslinse auf die Zylinderachse hin oder von ihr weg bewegt, um so die Größe des Fehlersignals zu verkleinern.
- 9. Vorrichtung nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet,daß ein Strahlteiler vorgesehen ist, der den Strahl vomundweiteren Laser in zwei Strahlen aufteilt,/daß die lichtempfindlichen Mittel so mit Bezug auf die beiden Strahlen angeordnet sind, daß eine Bewegung der Fokussienngslinse weg von der zur Zylinderachse parallelen Linie dazu führt, daß die Lichtintensität der geteilten, auf die lichtempfindlichen Mittel auftreffenden Strahlen ungleich ist und daß die lichtempfindlichen Mittel ungleiche009810/0881Signale erzeugen, deren Differenz dem Servosystem zur Rückstellung der Fokussierungslinse zugeführt werden.
- 10. Vorrichtung nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch einen Strahlteiler, bei dem ein Strahl einer geraden Anzahl von Reflektionen und der andere einer ungeraden Anzahl von Reflektionen unterliegt und bei dem die Strahlen parallel zueinander austreten.b ij y 8 1 0 / 0 ü B 1
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