DE3444359A1

DE3444359A1 - Piezoelektrisches keramisches material

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Publication number: DE3444359A1
Application number: DE19843444359
Authority: DE
Inventors: Masahiro Anjo Aichi Tomita; Eturo Okazaki Aichi Yasuda
Original assignee: NipponDenso Co Ltd
Current assignee: Denso Corp
Priority date: 1983-12-06
Filing date: 1984-12-05
Publication date: 1985-06-20
Anticipated expiration: 2004-12-06
Also published as: CA1228473A; JPH0438710B2; FR2555984A1; JPS60123079A; US4882079A; DE3444359C2; FR2555984B1

Description

Die Erfindung betrifft ein piezoelektrisches keramisches Material, das wirksam bei verschiedenen Arten von Betätigungs· gliedern verwendbar ist und aus einer ternären festen Lösung mit der Grundzusammensetzung Pb(Y./2^ls"^Di/2^⁰3'"^Pfc>^^3~ PbZrO₃ besteht.

Piezoelektrische keramische Materialien für Betätigungsglieder sollten verschiedene Eigenschaften, wie beispielsweise eine hohe piezoelektrische Konstante, eine hohen Curiepunkt und eine hohe mechanische Festigkeit haben. Eines der piezoelektrischen Materialien, das gegenwärtig im größten Umfang verwandt wird, ist ein piezoelektrisches keramisches Material, das aus einer ternären festen Lösung von Pb(Y₁Z₂Nb₁^₂)O₃-PbTiO₃-PbZrO₃ besteht. An dem oben angegebenen keramischen Material sind viele Untersuchungen vorgenommen worden, um die oben erwähnten Eigenschaften weiter zu verbessern. Um die mechanische Festigkeit zu verbessern, sind beispielsweise keramische Materialien vorgeschlagen worden, bei denen das Pb in der festen Lösung durch Ba, Sr, Ca oder ein ähnliches Element ersetzt ist, und dem 0,1 bis 1,0 Gew% In₂O₃, MgO, Sb₃O₃ oder einer ähnlichen Verbindung zugesetzt sind.

Die höhere Festigkeit des piezoelektrischen keramischen Materials wird insbesondere dann benötigt, wenn dünne Platten aus dem piezoelektrischen keramischen Material als Ultraschallwandlerelemente oder Schaltungsbauteile verwandt werden. Wenn die dünnen Platten aus piezoelektrischen Materialien jedoch zur Verwendung als Betätigungsglieder übereinander angeordnet werden, ist es wünschenswert, statt der Erhöhung der mechanischen Festigkeit das Maß an Ver-

formung des piezoelektrischen keramischen Materials beim Anlegen eines elektrischen Feldes so weit wie möglich zu erhöhen, indem die piezoelektrische Konstante des Materials erhöht wird.

Durch die Erfindung soll daher ein piezoelektrisches Material geschaffen werden, das sich zur Verwendung bei Betätigungsgliedern eignet.

Durch die Erfindung soll insbesondere ein piezoelektrisches keramisches Material geschaffen werden, das eine ternäre feste Lösung umfaßt, die hauptsächlich aus Pb(Y₁ /^b₁/?^°3" PbTiOo-PbZrOo besteht und eine höhere piezoelektrische Konstante hat.

Dazu umfaßt das erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Material eine ternäre feste Lösung aus 0,5 bis 5,0 Mol>& Pb(Y_1/2Nb_1/2)0₃, 40,0 bis 50,0 Mol% PbTiO₃ und 45,0 bis 59,5 ΜοΠ PbZrOo. wobei ein Teil des Pb in der festen Lösung durch 5,0 bis 15.0 Mol% Sr ersetzt ist und weiterhin eine Verbindung aus der Gruppe Nb₂Oc, WO₃, La₂O₃, TaO₃₅Bi₂O₃, Tb₄O₇, NdO und Pr₆O₁₁ in einer Menge von 0,1 bis 2,0 Gew% der festen Lösung in der festen Lösung enthalten ist.

Das erfindungsgemäße piezoelektrische Material hat eine

-1 2 piezoelektrische Konstante bis zu etwa 400 χ 10 bis - 1 2

600 x 10 m/V. Beim.Anlegen eines elektrischen Feldes wird

ein großes Maß an Verformung erhalten, so daß das erfindungsgemäße piezoelektrisches keramische Material wirksam als Material für verschiedene Betätigungsglieder, beispielsweise für die Einspritzer bei Brennkraftmaschinen von Fahrzeugen verwandt werden kann.

Das erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Material wird beispielsweise nach pulvermetallurgischen Verfahren

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hergestellt. Die Ausgangsmaterialien für das erfindungsgemäße keramische Material sind insbesondere PbO, TiO₂, ZrOp. Y₂O₃, Nb₂O₅, WO₃, La₂O₃, TaO₃, Bi₂O₃, SrCO₃, Tb₄O₇, Pr₅O₁₁, NdO und ähnliche Materialien, die in bestimmten Verhältnissen gewogen und in einer Naßkugelmühle gemischt werden. Das sich ergebende Gemisch wird getrocknet, bei Temperaturen von 700 bis 900° C 3 bis 10 Stunden lang gebrannt und in einer Kugelmühle erneut gemischt. Nach dem Trocknen wird das beabsichtigte Pulver erhalten. Das Pulver kann in verschiedener Weise zur Herstellung von Blechen, Platten, Zylindern, Säulen oder ähnlichen Formen je nach Wunsch verwandt werden.

In der Praxis wird die piezoelektrische Konstante der verschiedenen keramischen Materialien in der folgenden Weise gemessen.

Das in der oben beschriebenen Weise erhaltene Pulver wird einem Bindemittel, wie beispielsweise Wasser oder Polyvinylalkohol zugegeben und anschließend unter einem Druck von 300 bis 1000 kg/cm² preßgeformt und bei einer Temperatur von 1200 bis 1300° C 1 bis 3 Stunden lang gesintert, um Formlinge mit Säulenform und einem Durchmesser von 5 mm und einer Länge von 8mm zu erhalten.

Die Säulen werden an ihren Außenflächen poliert, woraufhin Elektroden an den gegenüberliegenden Seiten mit einem bekannten Verfahren ausgebildet werden. Die mit Elektroden versehene Säule wird in einem isolierenden öl angeordnet und einem elektrischen Gleichspannungsfeld von 20 bis 30 kV/cm über den Elektroden 6 bis 60 Minuten lang zur Polarisation ausgesetzt. Die polarisierte Säule wird dann bei 120° C eine Stunde lang gealtert und auf normale Temperatur abgekühlt, um eine Meßprobe zu erhalten.

Die piezoelektrische Konstante d₃₃ der Probe wird nach der

folgenden Gleichung (1) bestimmt, wobei die Werte für Ic₃₃, £ ₃₃ und S₃₃ nach den folgenden Gleichungen (2), (3) und (4) jeweils erhalten werden.

^d33 ^{= k}33 v/⁶33'^S33 ⁽¹⁾ 1/Ck₃₃)² = 0.405 χ fr/(fa - fr) + 0.81 (2)

f₃₃ = d χ U/S (3)

wobei 1 die Länge der Probe in m, S den Flächenbereich der Probe in m², C die elektrostatische Kapazität in F, gemessen bei 1 kHz mittels eines LCR-Messers, /die Dichte in kg/m³ und fa und fr jeweils die Anti resonanzfrequenz und die Resonanzfrequenz in Hz bezeichnen. Diese werden nach bekannten Verfahren gemessen. Es sei darauf hingewiesen, daß k₃₃ eine elektromechanischer Kopplungskoeffizient ist.

Die Tabellen 1 bis 4 zeigen die Zusammensetzungen und die Eigenschaften von Proben, die nach dem oben beschriebenen Verfahren hergestellt wurden. Diese Proben umfassen Beispiele 1 bis 52 gemäß der Erfindung und Vergleichsbeispiele 1 bis 18.

Die in den Tabellen 1 bis 4 angegebenen Ausgangsmaterialien wurden in verschiedenen Mengen benutzt, um Proben nach demselben oben beschriebenen Verfahren herzustellen. Die Beispiele des erfindungsgemäßen Materials und die Vergleichsbeispiele wurden Messungen der Dichte nach dem Sintern, der spezifischen induktiven Kapazität oder Dielektrizitätskonstanten, des Curiepunktes und der piezoelektrischen Konstanten unterworfen.

Die Ergebnisse sind in den Tabellen 1 bis 4 angegeben.

Beiden Beispielen 1 bis 10 wurde die Menge an Sr, das Pb ersetzt, im Bereich von 5 bis 15 Mol% variiert und wurde der Gehalt an Nb₂O₅ im Bereich von 0,1 bis 2,0 Gewfc verändert. Alle Proben hatten hohe Werte der piezoelektrischen

1 2
Konstanten von über 447 χ 10 m/V. Aus den Ergebnissen der Beispiele 1 bis 4 ergibt sich, daß mit zunehmender Menge an ersatzweise eingesetztem Sr die piezeoelektrische Konstante mit einer Tendenz der Abnahme des Curiepunktes zunimmt. Hohe piezoelektrische Konstanten bei gleichzeitig bleibendem hohem Curiepunkt werden dann erhalten, wenn die Menge an als Ersatz eingesetztem Sr im Bereich von 10 bis 12,5 Mol% liegt und der Gehalt an Nb₂O₅ im Bereich von 0,1 bis 1,0 Gew% liegt. Diese oben erwähnten Bereiche sind daher bevorzugt.

Beim Vergleichsbeispiel 1 ist die Menge an als Ersatz eingesetztem Sr nur 3 Mol%, so daß die piezoelektrische Konstante

1 ?

400 χ 10 m/V nicht erreicht. Vergleichsbeispiel 2 betrifft den Fall, in dem die Menge an als Ersatz eingesetztem Sr 15 Mol% überschreitet, so daß sich zwar eine hohe piezoelektrische Konstante ergibt, der Curiepunkt für einen Einsatz in der Praxis aber zu niedrig ist. Das Vergleichsbeispiel 3 enthält keine zusätzlichen Oxide. Dieses Bei-

-12 spiel hat eine piezoelektrische Konstante von 400 χ 10 m/V, jedoch eine ungünstig niedrige Festigkeit (nicht aufgeführt). Wenn der Gehalt an zugegebenen Oxiden 2,0 Gew% überschreitet, wie es beim Vergleichsbeispiel 4 der Fall ist, nimmt die piezoelektrische Konstante scharf ab.

Aus den Ergebnissen der Beispiele 3, 11 und 12 und der Vergleichsbeispiele 5 und 6 ergibt sich, daß dann, wenn der Gehalt an Pb(Y₁/₂ ^Nbi/2^°3 ^{bei etwa 2 Mol% 110}Qt. ^die piezoelektrische Konstante ein Maximum hat. Größere oder kleiner Mengen führen zu einer Neigung in Richtung auf eine Abnahme der piezoelektrischen Konstanten. Wenn die Menge an

Pb(Y_1/2Nb_1/2)0₃ weiterhin unter 0,5 Mol% liegt oder 5 Mol% überschreitet, erreicht die piezoelektrische Konstante

400 χ 10"¹² m/V nicht.

Die Beispiele 13 bis 17 und die Vergleichsbeispiele 7 bis 9 beziehen sich auf den Fall, in dem der Gehalt an PbTiO., und PbZrOo qeändert wird. Wenn diese Proben mit der Probe von Beispiel 3 verglichen werden, ergibt sich eine Neigung zur Abnahme der piezoelektrischen Konstanten mit einer Abweichung der Zusammensetzung von der Zusammensetzung der Probe des Beispiels 3. Die piezoelektrische Konstante ist insbesondere bei Zusammensetzungen sehr klein (Vergleichsbeispiele 7 bis 9), bei denen der Gehalt an PbTiO₃ außerhalb des Bereiches von 40 bis 50 Mol% liegt und der Gehalt von PbZrO₃ außerhalb des Bereiches von 45 bis 59,5 Mol% liegt.

Bei den oben beschriebenen Proben war das zusätzlich zugegebene Oxid alleine Nb₂O₅. Bei den Beispielen 18 bis 28 ist nur die Art des zusätzlich zugegebenen Oxides von dem Fall des Beispiels 3 verschieden. Bei diesen Beispielen wird insbesondere ein Zusatz benutzt, der aus der Gruppe WO₃, La₂O₃, Bi₂O₃, TaO₃ und Gemischen daraus gewählt ist. Bei einigen Beispielen wird zusätzlich Nb₂O₅ zugegeben. Die piezoelektrischen Konstanten dieser Proben liegen nahe an der piezeoelektrischen Konstante des Beispiels 3.

Die Proben der Beispiele 29 bis 45 und der Vergleichsbeispiele 10 bis 18 enthalten alle Tb₄O₇ als Zusatz. Bei den Beispielen 29 bis 34 und den Vergleichsbeispielen 10 und 11 wurde die gleiche Zusammensetzung mit unterschiedlicher Menqe an Tb₄O₇ verwandt. Wenn die Menge an Tb₄O₇ im Bereich von 0,1 bis 2,0 Mol% liegt, wird eine hohe piezoelektrische Konstante erhalten. Größere oder kleinere Mengen an Tb₄O₇ außerhalb des oben beschriebenen Bereiches führen zu einer

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Abnahme der piezoelektrischen Konstanten.

Bei den Beispielen 36,37,38 und bei den Vergleichsbeispielen 12 und 13 ist die Menge an Sr als Ersatz für Pb verschieden. Geringere Mengen führen zu einer kleineren piezoelektrischen Konstanten, obwohl der Curiepunkt ansteigt. Wenn im Gegensatz dazu die Austauschmenge zunimmt, nimmt der Curiepunkt ab und die piezoelektrische Konstante zu. Zweckmäßigerweise liegt die Austauschmenge im Bereich von 5 bis

15 MoU.

Bei den Beispielen 35, 39 und 40 und den Vergleichsbeispielen 14 und 15 wird die Menge an Pb(Y₁Z₂Nb₁Z₂)Oo geändert. Hohe piezoelektrische Konstanten werden dann erhalten, wenn diese Menge im Bereich von 0,5 bis 5 Mol% liegt.

Bei den Beispielen 41 bis 45 und den Vergleichsbeispielen

16 bis 18 wurde das Verhältnis von PbTiO₃ und PbZrO₃ geändert. Wenn der Gehalt an PbTiO₃ im Bereich von 40 bis 50 Mol% und der Gehalt an PbZrO₃ im Bereich von 45 bis 58,0 Mol% liegen, werden hohe piezoelektrische Konstanten erhalten.

Bei den Beispielen 46,47 wurde P^₆O₁₁ als Zusatz verwandt, während bei den Beispielen 48,49 NdO als Zusatz verwandt wurde. Die Zusätze bei den Beispielen 50 bis 52 sind Zweioder Mehrstoffgemisehe aus Tb₄O₇, Pr₆O₁₁ und NdO. In allen diesen Fällen ergaben sich Tendenzen, die denen bei den vorhergehenden Beispielen ähnlich sind.

Aus dem Vorhergehenden läßt sich zusammenfassend sagen, daß das erfindungsgemäße piezoelektrische keramische Material eine ternäre feste Grundlösung aus 0,5 bis 5,0 Mol% Pb(Y_1/2Nb_1/2)0₃, 40,0 bis 50,0 Mol% PbTiO₃ und 45,0 bis 59,5 Mol% PbZrO₃ umfassen sollte, wobei ein Teil des Pb der festen

Lösung durch 5,0 bis 15,0 MoIX Sr ersetzt ist und wenigstens ein Element aus der Gruppe Nb₂O₅, WO₃, La₂O₃, TaO₃, Bi₂O₃, Tb.Oy, NdO und P^gO₁I weiterhin in der festen Lösung in einer Menge von 0,1 bis 2,0 Gew% der festen Lösung enthalten ist. Diese keramischen Materialien haben eine gute mechanische Festigkeit, einen hohen Curiepunkt und eine sehr gute piezoelektrische Konstante.

Wenn der Anteil an Pb(Y₁Z₂Nb^₂)O₃, das eines der Grundbestandteile der ternären festen Lösung ist, unter 0,5 Mol% liegt, ist die piezoelektrische Konstante unzureichend niedrig. Wenn der Gehalt 5,0 X überschreitet, ist es schwierig, eine einheitliche feste Lösung zu erhalten, wobei gleichzeitig die piezoelektrische Konstante abnimmt..

Wenn die Menge an PbTiO₃ außerhalb des Bereiches von 40,0 bis 50,0 MoIX liegt, können hohe piezoelektrische Konstanten nicht erhalten werden. Die feste Grundlösung umfaßt 0,5 bis 5,0 MoIX Pb(Y_l/2Nb_1/2)0₃, 40,0 bis 50,0 MoIX PbTiO₃ und als Ausgleich 45,0 bis 59,5 MoIX PbZrO₃.

Wenn die Menge an Sr, das einen Teil des Pb in der festen Grundlösung ersetzt, unter 5,0 MoIX liegt, ist die spezifische induktive Kapazität klein und kann eine hohe piezoelektrische Konstante nicht erhalten werden. Wenn andererseits die Menge an Zr 15 MoIX überschreitet, nimmt die Curietemperatur beträchtlich ab. Diese Materialien können in der Praxis nicht eingesetzt werden.

Eine Menge an zusätzlichen Oxiden unter 0,1 GewX ist aufgrund der schlechten Sinterbarkeit und der niedrigen mechanischen Festigkeit ungünstig. Über 2,0 GewX ist die Curietemperatur ungünstig niedrig.

Das erfindungsgemäße piezoelektrische Material mit diesen

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ausgezeichneten Eigenschaften, wie sie oben beschrieben wurden, kann zweckmäiiigerweise bei Betätigungsgliedern eingesetzt werden.

	xPb	*(Y vaNb vn)* O₃-JPbTiO₃**	*7 («öl)**	-ZPbZrO₃ -s-C	C (6ewt)	Dichte des	spezifische	Piezoelektrische	Curie
	Ersatz von Sr fur Pb (HoIi)	χ (βοΙΪ)	43	Z (aoli)	Nb₂Os 0.5	gesinterten Produktes (g/=a³)	induktive Kapazität	Kanstante (X/O'¹² m/V)	punkte CC)
	5	2	43	55	Nb₂Os 0.5	7.5 2	2210 -	447
Proben meaner	1 O	2	43	55	Nb₂Os 0.5	7.5 0	2430	503	710
BeisDiel 1	12.5	2	43	55	Nb₂Os 0.5	7.4 8	2940	587
	■ 15	2	43	55	Nb₂Os 0.3	7.4 9	3 210 -	586
	12.5	2	43	55	Nb₂Os 0.7	7.4 5	2550	556
	12.5	2	43	55	Nb₂Os 1.0	'7.4 7	27 40	572	^r
	12.5	2 ·.	43	55	Nb₂Os 2.0	7.5 0	2540 '	542	χ>Γ
	12.5	2		5 5		7.4 8	2310	452	Z-ao
	/1.J-	2,	?3	rr	tiU0_s /.$-	Ml		^?
		2	43	ir	Nb₂Os 0.5		*XtfbO*	r/9	*JLOO*
	3	2	43	55	Nb₂O₅ 0.5	7.5-2	18 10	375	3oo_
	17.5	2	43	5 5	Nb₂O₅ 0	7.4 7	3 420	535	I ft
* 2	12.5	2	43	55	Nb ₂0 s '3.0	7.4 0	2240
* 3	12.5	2	42	55	Nb₂Os 0.5	7.4 2	18 60	3 6 7	in
* 4	12.5	5	4 3.5 ■	53	Nb₂Os 0.5	7.4 7	23 10	4 7 2
- 5	12.5	0.5	44	5G	Nb₂O₅ 0.5	7.4 6	1940	422
* ⁶	12.5	0	40	56	Nb₂Os 0.5	7.3 8	17 10	326	XlO
' 7	12.5	8	40	52	Nb₂Os 0.5	7.0 6	1260	221 '	3-tT
* 8	12.5	2	46	58	Nb₂O₅ 0.5	• 7.46	239 0	479	JOO
' 1	12.5·	2	50	52	Nb₂O₅ 0.5	7.4 5	2 36 0	465	*2-1 r*
" (0	12.5	2	S=SF t.°\	48 '	Nb₂O₅ 0.5	7.4 5	220 0	420	... z^r
Vergleichs- hoicpiol 1	12.5	2	48	4=5 <r?	Nb₂Os 0.5	7.5 2	2210	407	*■ 7-30*
	12.5	2	50	7.5 1	223 0	42 1




' 2
- 3
* 4
Beisp. 1
* 12
Vergleichs- _c
bejst»;-- ' ⁶
r- Beispiel 1




' 14
* 15
* 16
λ· 17

Tabelle 2

Proben nummer	xPb (YwNbvz) 0₃-yPbTl0₃-ZPbZr0₃+C	x (noli)	>	3 8	Z (mol*)	C(Gewi)	Dichte des gesinterten Produktes (g/ota³)	spezifische induktive Kapazität	Piezoelektrische Konstante . , ' (X/0"¹² m/V)	Curie punkt ⁰C)
■ίΓΟί· 7	Ersatz von Sr für PB (Moli)	2	5 2	60	Nb₂Os 0.5	7.4 7	1180	203	*/If*
* 8	12.5	2	5 5	46	Nb₂Os 0.5	7.5 1	1160	1 97	2-7-0
* 9	12.5	2	43	. 43	Nb₂Os 0.5	7.5 2	109 0	1 81	>i£O
Beispiel 1	12.5	2	43	5 5	WO₃ 0.5	7.4 6	2890	5 62	*>>v*
* 19	8 12.5	2	43	55	La₂O₃ 0.5	7.5 0	29 10	5 7 0
* 20	12.5	2	43	55	TaO₃ 0.5	7.4 8	297 0	5 89	τοζ
* 21	12.5	2	4,3	55	Bi₂O₃ 0.5	7.4 7	2920	5 68
.* 22	12.5	2	43	55	Nb₂Os 0.25 WO a 0.25	7.4 7	2930	579
* 23	12.5	2	*U 7*	55	Nb₂Os 0.25 TaO₃ 0.25	' ' 7.4 8	28 80	577
	1 2.5	Z		*i-r*	TkO °0J				2.0 f
		2	¥3	*k-r*	T1O3 0, t B!2.O) 0,2. Nb-J)T o,l		1810	no _j
		2 '	»		ßi'z-Oj oj	IM	xjoo
		2	VJ	f-f	■ La.2.03 Ό,/ TaDi O<[ β IUf 3 Ο,Ι	Zf/	0.230
"22 ·■-	Ar	2		IaJ Οχ oj TkOi ο'./ **Bl 2. öl O.I**			"°·

Taceiie i

O₃-? P bTiOs-ZP b ZrO

Vergleichsbeis

Ersatz von Sr j χ (noli) für Pb (Ho]S) I ^°-ί·>;

(aolS)

^c (GewX) Dichte aes

ge?i"tertsp.

Produktes

spezifische

induktive

Kapazität

Pizoeiektrisctie <opstante

UAT¹²

Curiepunkt

co

CjO

cn co

Tabelle 4

f/	Proben- nummer	xPb (Yi/aNbu-z) O₃ -y P bT i O 3 -Z P b Z r O 3 +C	x (mol·?·)	Y (MoIS)	Z(MoIS)	C (GewS)	Dichte des gesinterten Produktes ·5_Ν (g/om^	spezifische induktive Kapazität	Pi.zoeleKtrische Konstante (X/0"'² m/V)	urie- unkt "C)
gleichs te.· 14	Ersatz von Sr Tür Pb (MoIS)			$■ έ	TbiQf 0,tr	% VT	■ /9tü	330
	/Ai'		¥0	tx	Thf-O·) 0if	?_t«r	/ioo	JLZ-Ö
isDiel 41	/Af		<fo ■	rt	Tb^On O&		χφ/ο	^/	X7-.0
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Claims

PATENTANSPRÜCHE

eine ternäre feste Grundlösung aus 0,5 bis 5,0 Mol% Pb(Y₁^₂NbW₂)O₃, 40,0 bis 50,0 Mol% PbTiO₃ und 45,0 bis 59,5 Mol% PbZrO₃, wobei eine Teil des Pb in der festen Lösung durch 5,0 bis 15,0 Mol% Sr ersetzt ist und wenigstens ein Material aus der Gruppe Nb₂O₅, WO₃, La₂O₃, TaO₃, Bi₂O₃, Tb₄O₇, NdO und Pr₆O₁₁ weiterhin in der festen Lösung in einer Menge von 0,1 bis 2,0 Gew% der festen Lösung enthalten ist.
2. Piezoelektrisches keramisches Material nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,

daß die ternäre feste Grundlösung aus 1,0 bis 4,0 Mol% Pb(Y_1/2Nb_1/2)0₃, 41,0 bis 45,0 Mol% PbTiO₃ und 51,0 bis

58,0 Mo 1 % PbZrO₃ besteht, daß die Menge an Sr im Bereich von 10,0 bis 15,0 Mol% liegt, und daß der wenigstens eine Stoff in einer Menge von 0,1 bis 1,5 Gew% der festen Lösung enthalten ist.
3. Piezoelektrisches keramisches Material nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,

daß die Menge an Sr im Bereich von 10,0 bis 12,5 Mol% liegt, und daß der wenigstens eine Stoff in einer Menge von 0,1 bis 1,0 Gew% der festen Lösung enthalten ist.