DE3300097A1 - Anlage zum behandeln von platten- bzw. bahnaehnlichen stoffen mit einem niedertemperatur-plasma - Google Patents

Anlage zum behandeln von platten- bzw. bahnaehnlichen stoffen mit einem niedertemperatur-plasma

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DE3300097A1
DE3300097A1 DE19833300097 DE3300097A DE3300097A1 DE 3300097 A1 DE3300097 A1 DE 3300097A1 DE 19833300097 DE19833300097 DE 19833300097 DE 3300097 A DE3300097 A DE 3300097A DE 3300097 A1 DE3300097 A1 DE 3300097A1
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temperature plasma
low
gas
chambers
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DE19833300097
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German (de)
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Tokuju Nara Goto
Hiroshi Ishidoshiro
Matsuo Wakayama Minakata
Yoshikazu Wakayama Sando
Itsuo Osaka Tanaka
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Sando Iron Works Co Ltd
Original Assignee
Sando Iron Works Co Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
    • B29C59/14—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by plasma treatment
    • D—TEXTILES; PAPER
    • D06—TREATMENT OF TEXTILES OR THE LIKE; LAUNDERING; FLEXIBLE MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • D06M—TREATMENT, NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE IN CLASS D06, OF FIBRES, THREADS, YARNS, FABRICS, FEATHERS OR FIBROUS GOODS MADE FROM SUCH MATERIALS
    • D06M10/00—Physical treatment of fibres, threads, yarns, fabrics or fibrous goods made from such materials, e.g. by ultrasonic waves, corona discharge, irradiation, electric currents or magnetic fields; Physical treatment combined with treatment with chemical compounds or elements
    • D06M10/02—Sonic or ultrasonic waves; Corona discharge
    • D06M10/025—Corona discharge or low temperature plasma
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/18—Vacuum locks ; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel

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