DE3038533A1 - Aufzeichnungstraeger - Google Patents
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- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
- G11B7/258—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of reflective layers
- G11B7/2585—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of reflective layers based on aluminium
Description
Die Erfindung betrifft einen Aufzeihnungsträger für ein mit
Licht vorgegebener Wellenlänge arbeitendes, optisches Speicher-Auslese-System mit einer Licht dieser vorgegebenen
Wellenlänge reflektierenden Schicht mit einer mehr als 10 Nanometer dicken, für das Licht dieser vorgegebenen
Wellenlänge durchlässigen Schicht auf der reflektierenden Schicht und mit einer das Licht dieser vorgegebenen Wellenlänge
absorbierenden Schicht auf der durchläisigen Schicht, die aus einem bei mindestens 3000C unterhalb des Schmelzpunktes
des Materials der absorbierenden Schicht schmelzenden, sublimierenden
und/oder zerfallenden Material besteht. Sie bezieht sich ferner auf einen Aufzeichnungsträger mit in
einer Spur gespeicherter Information sowie auf ein Verfahren zum Vervielfältigen einer auf dem optischen Aufzeichnungsträger
mit Hilfe eines modulierten Lichtstrahls vorgegebener Wellenlänge gespeicherten Information.
In der US-PS 40 97 895 wird ein sogenannter Ablöse-Aufzeichnungsträger
beschrieben, der aus mit einer Schicht aus lichtabsorbierendem, organischem Material bedecktem
lichtreflektierendem Material besteht, Mit Hilfe eines auf den Aufzeichnungsträger gerichteten, fokussierten, modulierten
Lichtstrahls, z.B. des Lichtstrahls eines Argon-Ionen-Lasers, kann die das Licht absorbierende Schicht
örtlich verdampft oder abgelöst werden, so daß eine Öffnung mit darin freigelegtem lichtreflektierendem Material in
der Schicht entsteht. Die Dicke der lichtabsorbierenden
Schicht wird so gewählt, daß die Reflektivität des Aufzeichnungsträgers vermindert wird.
Es ist ferner ein verbesserter, optischer Ablöse-Aufzeichnungsträger
mit einer Dreifachschicht vorgeschlagen worden (vergleiche DE-OS 27 57 737). Die Dreifachschicht besteht aus
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einem lichtreflektierenden Material, einer darauf liegenden Schicht aus einem für das jeweilige Licht durchlässigen
Material und einer auf der durchlässigen Schicht liegenden Schicht aus einem das Licht lichtabsorbierenden Material.
Die Dicke der lichtabsorbierenden Schicht wird so auf die Dicke der lichtdurchlässigen Schicht und die optischen
Konstanten des lichtreflektierenden Materials sowie der durchlässigen und der absorbierenden Schichten abgestimmt,
daß die optische Reflektivität des Aufzeichnungsträgers vermindert wird. Es wird dann ein maximaler Anteil des
auf den Aufzeichnungsträger auftreffenden Lichtes eines fokussierten, modulierten Lichtstrahls in der lichtabsorbierenden
Schicht absorbiert und in Wärmeenergie umgewandelt. Durch die Wärmeenergie wird die lichtabsorbierende Schicht
unter Bildung je einer Öffnung bzw. eines Lochs in der Schicht abgelöst bzw. geschmolzen,, In der Öffnung wird
die darunter liegende lichtreflektierende Schicht bei verbleibender lichtdurchlässiger Schicht freigelegt.
Die Reflektivität des Bereichs der Öffnung der lichtabsorbierenden
Schicht ist diejenige der reflektierenden Schicht und damit wesentlich größer als die Reflektivität des umgebenden,
unbelichteten Bereichs. Beim Lesen des Aufzeichnungsträgers werden die Unterschiede der Reflektivität
optisch erfaßt und in ein für die gespeicherte Information repräsentatives elektrisches Signal umgewandelt.
In einer auf die Anmelderin zurückgehenden Patentanmeldung
gleicher Priorität wird ein optischer Aufzeichnungsträger
mit einer lichtreflektierenden, einer lichtdurchlässigen und einer lichtabsorbierenden Schicht beschrieben. Das dabei
für die durchlässige Schicht verwendete Material schmilzt,
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sublimiert und/oder zerfällt bei einer mindestens 30O0C
niedrigeren Temperatur als das Material der absorbierenden Schicht. Das Speichern der jeweiligen Information erfolgt
entweder in Form einer oder mehrerer sowohl durch die durchlässige als auch die absorbierende Schicht hindurchgehenden
Öffnungen oder in Form von in der absorbierenden Schicht gebildeten Blasen. Durch diese Art des Speicherns
entsteht eine zum Vervielfältigen ausreichend ausgeprägte Topographie, so daß die gespeicherte Information ohne zusätzliche
Verfahrensschritte kopiert werden kann. Mit Hilfe dieses Aufzeichnungsmechanismus wurde das Signal/Rausch-Verhalten
des Aufzeichnungsträgers für auftreffende Lichtenergien in einem Bereich unmittelbar oberhalb der Aufzeichnungsschwelle
verbessert.
Der Aufwand an Material und Kosten für ein optisches Aiif-Zeichnungssystem
hängt stark von der zum Speichern einer Information bei annehmbarem Signal/Rausch-Verhältnis erforderlichen Lichtenergie ab» Der Erfindung liegt die Aufgabe
zugrunde, einen Aufzeichnungsträger und ein Verfahren zum Kopieren bzw. Vervielfältigen des Aufzeichnungsträgers zu
schaffen, bei denen die zum Speichern einer Information bei annehmbarem Signal/Rausch-Verhältnis erforderliche Lichtenergie
zum Vermindern der System-Kosten minimiert ist. Die erfindungsgemäße Lösung besteht darin, daß die durchlässige
Schicht aus einem eine glatte, im wesentlichen fehlerfreie Deckschicht bildenden organischen Material besteht, und daß
der Schmelzpunkt der absorbierenden Schicht oberhalb 10000C
liegt. Im erfindungsgemäßen Aufnähmeträger wird eine Information
in Form von Blasen in der lichtabsorbierenden Schicht gespeichert.
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Die für das Licht durchlässige Schicht kann erfindungsgemäß etwa 10 bis 500 Nanometer, vorzugsweise etwa 30 bis 100
Nanometer, dick sein und aus Fluorkohlenstoff- oder Kohlenwasser stoff polymeren bestehen. Insbesondere, wenn die durchlässige
Schicht aus diesen Materialien zusammengesetzt ist, sollte die lichtabsorbierende Schicht aus Titan, vorzugsweise
mit einer Schichtdicke von etwa 2 bis 25 Nanometern, hergestellt sein.
Gemäß weiterer Erfindung wird ein Verfahren zum unmittelbaren, doh. zusätzliche Verfahrensschritte nicht erfordernden
Vervielfältigen der in Form von topographischen Merkmalen des Aufzeichnungsträgers gespeicherten Informationen vorgeschlagen
ο Bei diesem Verfahren wird die aus beispielsweise einer Spur mit einer in der absorbierenden Schicht gebildeten
Folge von Blasen mit jeweils der Information entsprechender Länge und/oder entsprechendem Abstand der Einzel-Blasen bestehenden
Topologie des Aufzeichnungsträgers zunächst mit Hilfe eines modulierten Lichtstrahls hergestellt. Alsdann wird
die die Blasen enthaltende, freiliegende Oberfläche mit einer leitenden, konformen Kontaktschicht bedeckt. Es folgt das Aufbringen
einer Masterschicht bzw. Kopierschicht einer ihr zusammen mit der Kontaktschicht selbsttragende Eigenschaften
verleihenden Dicke auf die Kontaktschicht und das Abziehen der Masterschicht mit anhaftender Kontaktschicht von dem
Aufzeichnungsträger, wodurch eine zum Vervielfältigen der
Topologie des Aufzeichnungsträgers geeignete Matrize entsteht»
Die Kontaktschicht kann beispielsweise aus Gold, Kupfer oder Nickel bestehen, während die Masterschicht insbesondere aus
Kupfer oder Nickel herzustellen ist.
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Anhand der schematischen Darstellung von Ausführungsbeispielen
werden weitere Einzelheiten der Erfindung erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 einen Schnitt durch einen optischen Aufzeichnungsträger
;
Figo 2 einen Schnitt durch einen optischen Aufzeichnungsträger
mit in der licht abs or "bier enden Schicht in Form von Blasen gespeicherter Information;
Fig., 3 ein Diagramm mit gegenübergestelltem Signal/Rauschspannungs-Verhalten
(SNR in dB) beim Abspielen von erfindungsgemäßen und bekannten Aufzeichnungsträgern
als Funktion der auf die Aufzeichnungsträger auftreffenden Lichtenergie (in mW); und
Fig. 4 ein Diagramm mit gegenübergestelltem Signal/R^ischspannungs-Verhalten
(SNR in dB) eines erfindungsgemäßen und eines bekannten Aufzeichnungsträgers als Funktion der auf die Aufzeichnungsträger auftreffenden Lichtenergie (mW).
Fig. 1 zeigt den Querschnitt eines erfindungsgemäßen, insgesamt mit 10 bezeichneten Aufzeichnungsträgers, bestehend
aus einem Substrat 12 mit Oberfläche 14, einer lichtreflektierenden
Schicht 16 mit Oberfläche 18 auf der Oberfläche
des Substrats 12, einer lichtdurchlässigen Schicht 20 mit Oberfläche 22 auf der Oberfläche der reflektierenden Schicht
16 und einer lichtabsorbierenden Schicht 24 mit Oberfläche 26 auf der Oberfläche 22 der durchlässigen Schicht 20o
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Fig. 2 zeigt einen schematisch, dargestellten Querschnitt
eines erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträgers 50 mit gespeicherter
Information. Die Schichten sind im wesentlichen ebenso wie in Fig. 1 bezeichnet. Die Information wurde
in Form einer Folge von Blasen 54 in der lichtabsorbierenden Schicht 24 aufgezeichnet. Normalerweise wird die Information
durch Änderung der Länge der Blasen 54 und der unbelichteten Bereiche 52 zwischen je zwei Blasen 54 in Längsrichtung
einer Spur aufgenommene Die Länge der Blasen 54 wird durch die Länge der Zeit, während der der Aufzeichnungsträger
dem aufzeichnenden Lichtstrahl ausgesetzt wird, sowie durch die Geschwindigkeit bestimmt, mit der der Aufzeichnungsträger
durch die Brennebene des aufzeichnenden Lichtstrahls bewegt wird.
Das Substrat 12 kann aus Glas oder Kunststoff, zum Beispiel Polyvinylchlorid, normalerweise in Form einer Scheibe, hergestellt
werden. Das Substrat läßt sich aber auch aus anderem Material, zum Beispiel Aluminium, herstellen, welches das
Licht der aufzeichnenden Wellenlänge reflektiert, so daß die Funktion des Substrats 12 und der lichtreflektierenden
Schicht 14 kombiniert werden. Wenn ein Substrat verwendet wird, muß es nur so dick sein, daß es den Rest der Struktur stabilisierend
tragen kann.
Da jede Rauhigkeit der Oberfläche 14 des Substrats im Maßstab des Durchmessers des fokussierten Lichtstrahls beim Lesen
im Signalkanal ein Rauschen verursacht, kann es zweckmäßig sein, eine nicht konforme Schicht aus einem Kunststoff,
zum Beispiel einem Epoxy-Harz, vor dem Bilden der lichtreflektierenden Schicht 16 auf der Oberfläche 14 herzustellen.
Durch eine solche Zusatzschicht wird eine mikroskopisch glatte Oberfläche erzeugt und demgemäß die Rauschursache
beseitigte
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Die Schicht 16 reflektiert einen wesentlichen Teil des auftreffenden Lichtes mit Aufzeichnungswellenlänge und
wird in typischen Fällen aus einem Metall mit hoher Reflektivität , zum Beispiel Aluminium oder Gold, hergestellt. Vorzugsweise soll die lichtreflektierende Schicht
mindestens 50% des auftreffenden Lichts zurückwerfen. Die
vorzugsweise etwa 30 bis 50 Nanometer dicke, reflektierende
Schicht 16 kann beispielsweise durch eine Vakuum-Aufdampftechnik
auf die Oberfläche'14 des Substrats 12 niedergeschlagen
werden.
Die Erfindung liegt in der Verwendung organischer Materialien,
a) welche bei den Aufzeichnungs- und Lese-Wellenlängen im
wesentlichen transparent sind;
b) welche durch Aufdampfen, Sprühbeschichten oder Glimmentladung auf die lichtreflektierende Schicht als glatte,
im wesentlichen fehlerfreie Beschichtung aufzubringen sind; und
c) welche als mit einer lichtabsorbierenden Schicht 24 hohen Schmelzpunkts kombinierte lichtdurchlässige Schicht 20
vorzugsweise mindestens 3000C unterhalb des Schmelzpunkts
der lichtabsorbierenden Schicht schmilzt, sublimiert und/oder zerfällt.
Es wäre zu erwarten gewesen, daß die Verwendung eines organischen Materials zu einer Verminderung der zum Aufzeichnen
erforderlichen Schwellenenergie verglichen mit den Verhältnissen
bei Verwendung eines anorganischen Materials, zum
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Beispiel Siliziumdioxid oder Magnesiumfluorid, um etwa den
Faktor 2 führen würde, weil das organische Material ein geringeres thermisches Diffusionsvermögen als das anorganische
Material besitzt. Dieses Resultat ergab sich tatsächlich für den Fall eines Aufzeichnungsträgers mit einem organischen
Material als durchlässige Schicht und einem bei einer niedrigen Temperatur schmelzenden Material, zum Beispiel Tellur, als
absorbierende Schicht.
Wenn jedoch erfindungsgemäß die absorbierende Schicht aus
einem bei hoher Temperatur schmelzenden Material, wie zum Beispiel Titan, hergestellt wird, ergibt sich eine Verminderung
der zum Aufzeichnen erforderlichen Schwellenenergie um einen Faktor in der Größenordnung von 4. Für das Signal/Rauschspannungs-Verhältnis
von unmittelbar oberhalb der Schwellenenergie liegenden Aufzeichnungsenergien wurde ein schnelles
Ansteigen der Leistungsfähigkeit des Aufzeichnungsträgers festgestellt,, Dieses Resultat führt dazu, wie anhand der
Beispiele gezeigt werden wird, daß bei einem Aufzeichnungsträger
mit einem bei hoher Temperatur schmelzenden Material, wie Titan, als absorbierende Schicht und einem passenden
Organischen Material als durchlässige Schicht eine um den Faktor 5 bis 6 geringere auf die jeweilige Scheibe auftreffende
Lichtenergie benötigt wird, wenn ein Signal-Rauschspannungs-Verhältnis von mehr als 40 dB beim Auslesen erhalten werden
soll. Diese Ergebnisse waren nicht zu erwarten.
Die erfindungsgemäße lichtdurchlässige Schicht kann beispielsweise
aus polymerisierten Kohlenwasserstoffen, Fluorkohlenstoffen und Chlorkohlenstoffen sowie thermoplastischen
Kunstharzen und Monomeren, z.B. Saccharosebenzoat und Saccharoseoktoazetat, bestehen.
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Die Untersuchung aufgenommener Informationsspuren mit Hilfe
eines Abtast-Elektronenmikroskops zeigt, daß in der lichtabsor-Merenden
Schicht Blasen gebildet werden, wenn diese Schicht aus einem im Vergleich zu dem bei niedriger Temperatur
schmelzenden Material hahschmelzenden Material besteht.
Aus Vorstehendem ergibt sich, daß bei Zerfallen oder Sublimieren des die lichtdurchlässige Schicht bildenden organischen
Materials vor dem Schmelzen der lichtabsorbierenden Schicht der Druck des eingeschlossenen Gases 56 zum Bilden jeweils
einer Blase in der absorbierenden Schicht führt. ¥enn die absorbierende Schicht jedoch vor dem Zerfallen oder Sublimieren
der durchlässigen Schicht schmilzt, entsteht in der absorbierenden Schicht eher ein Loch als eine Blase. Im
erstgenannten Fall ergibt sich eine weitere Steigerung der Empfindlichkeit daraus, daß für die absorbierende Schicht ein
Schmelzen nicht erforderlich ist.
Die bevorzugte Dicke der lichtdurchlässigen Schicht ist demgemäß ein Kompromiß zwischen dem für eine verminderte
Reflektivität des Aufzeichnungsträgers als Ganzes erforderlichen
Betrag und dem Wert, der aus thermischen Gründen zum Zerfallen oder Sublimieren der lichtdurchlässigen Schicht
erforderlich isto In diesem Sinne sind Dicken der durchlässigen
Schicht zwischen etwa 10 und etwa 500 Nanometern, vorzugsweise zwischen etwa 30 und 100 Nanometern, vorteilhaft.
Die lichtabsorbierende Schicht 24 wird aus einem Material hergestellt, das Licht der Aufzeichnungswellenlänge absorbiert
und einen beträchtlich oberhalb der Zerfalls- oder Sublimationstemperatur des die lichtdurchlässige Schicht bildenden
Materials liegende Schmelzpumkt aufweist„ Geeignete Materialien
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besitzen einen Schmelzpunkt oberhalb 100O0C. Bevorzugt
werden Materialien mit einem Schmelzpunkt oberhalb etwa 14OO°C. Verwendet werden können beispielsweise Titan,
Platin, Rhodium, Gold, Nickel, Chrom, Mangan oder Vanadium. Diese Materialien können in üblicher Weise aufgedampft
oder durch Elektronenstrahl-Verdampfung niedergeschlagen werden. Als Dicke für die absorbierende Schicht sind Werte
zwischen 2 und 25 Nanometer brauchbar. Wenn einige dieser Materialien dem Einfluß der Atmosphäre ausgesetzt werden,
oxidieren sie teilweise, so daß die resultierende absorbierende Schicht dünner ist als die ursprünglich niedergeschlagene
Schicht.
Diesem Effekt kann entgegengewirkt werden, indem die absorbierende
Schicht von vornherein um soviel dicker als gewünscht hergestellt wird, daß die nachfolgende Oxidation
zu einer Schichtdicke des gewünschten Wertes führt. Die diskutierten und in den Ansprüchen angegebenen Dicken der
absorbierenden Schicht geben die bevorzugten Werte an.
Um evtl. durch aus dem Umfeld auf die Oberfläche niedergeschlagenen
Staub verursachte Signalfehler auszuschließen oder zumindest zu vermindern, kann ein etwa 0,05 bis 1 mm
dicker Schutzüberzug auf die lichtabsorbierende Schicht aufgebracht werden. Auf der Außenfläche der Schutzschicht liegende
Staubteilchen befinden sich soweit weg von der Brennebene des optischen Systems, daß ihre Wirkung auf das Aufzeichnen oder
Lesen der Information erheblich herabgesetzt ist. Ein dafür brauchbares Material ist Silikonharz. Ein solcher Überzug
wird jedoch nicht benutzt, wenn die gespeicherte Iformation vervielfältigt werden soll.
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Das anhand von Fig. 2 erläuterte Aufzeichnungsverfahren unterscheidet
sich erheblich vom Stand der Technik. Bisher verwendete Aufzeichnungsträger enthalten vorzugsweise eine
lichtreflektierende Schicht aus Aluminium, eine lichtdurchlässige Schicht aus Siliziumdioxid und eine lichtabsorMerende
Schicht aus Titan oder Tellur0 Die jeweilige Information wird
dabei in Form von Öffnungen lediglich in der absorbierenden Schicht gespeichert.
Die durch Verwendung des erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträgers
verbesserten Aufzeichnungsschwellen und Lese-Leistungsfähigkeiten bei unmittelbar oberhalb der Schwelle
liegenden Auf ze i chnungs ene r g.ien führen zu beträchtlichen Vorteilen für das optische Aufzeichnungssystem. Zunächst
kann der erfindungsgemäße Aufzeichnungsträger in einem optischen Aufzeichnungssystem angewendet werden, das mit
einem unmittelbar modulierten, Festkörper-Injektionslaser als Lichtquelle arbeitet. Demgegenüber sind für frühere
Titan enthaltende Aufzeichnungsträger große Hochleistungs-Laser, zum Beispiel Argon-Ionen-Laser, und ein besonderer
Lichtstrahl-Modulator erforderlich, wodurch die Kosten,
der Raumbedarf und die Kompliziertheit des optischen Aufnahmesystems relativ groß waren„
Es wurden erfindunggjpmäße Aufzeichnungsträger in Form von
Scheiben durch Speichern einer Video-Information mit einer
Signalbandbreite von O bis etwa 4,2 Megahertz untersucht, die
auf einem frequenzmodulierten Träger mit einer Abweichung von etwa 7 bis 10 Megahertz codiert waren. Die Qualität der
unter Verwendung eines modulierten Argon-Ionen-Lasers hergestellten
Aufnahmen wurde durch Messen des Signal-Rauschspannungs-Verhältnisses SNR (dB) der gelesenen Video-Informationen als
Funktion der auf die Scheibe auftreffenden Lichtleistung (mW) berechnet.
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Das Signal-Rauschspannungs-Verhältnis wird bei der Wiedergabe bestimmt durch das Verhältnis des Spitze-zu-Spitze-Video-Signals
zum mittleren quadratischen Rauschpegel der eresamten Video-Bandbreite. Letztere wird mit dem von der
Firma Tektronix Corp., Beaverton, Oregon, vertriebenen Grundgeräusch-Meßgerät »Modell 1430" gemessene
In Fig. 3 wird anhand der Kurve Ti/GDT 52,5 mn/Al das Aufnahmeverhalten
eines aus einer lichtreflektierenden Aluminiumschicht (Al), einer lichtdurchlässigen, polymeren Fluorkohlenstoff-Schicht
(GDT) von etwa 52,5 Nanometer Dicke auf der lichtreflektjarenden Schicht und einer lichtabsorbierenden
Titanschicht (Ti) von etwa 7 Nanometer Dicke gebildeten Aufzeichnungsträgers dargestellt. In Figo 3 wird auch das
Aufnahmeverhalten von bis auf die Verwendung von Siliziumdioxid (SiOp) oder Magnesiumfluorid (MgF2) als lichtdurchlässige
Schicht ähnlichen Aufzeichnungsmedien dargestellt.
Der Fluorkohlenstoff ist ein stark quervernetztes Polymer,
das durch Plasma-Polymerisation von 1,3-Perfluorodimethylcyclohexan
auf eine Scheibe niederzuschlagen ist. Die Scheibe wurde zwischen zwei Elektroden rotiert, zwischen denen eine
Glimmentladung gezündet wurde. Das Magnetfeld im Bereich der Elektroden wurde für die Glimmentladung genutzt. Während des
Niederschiagens wurde in einem Stickstoff-Trägergas kontinuierlich
1,3-Perfluorodimethylcyclohexans in die Entladungszone geleitet.
Auf dieser Scheibe wurde in oben angegebener Weise eine Information
gespeichert. Die Schwelle der Aufzeichnungsleistung der mit einer durchlässigen Fluorkohlenstoffschicht versehenen
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Scheibe betrug etwa 1,5 Milliwatt für die auftreffende
Lichtleistung. Zum Vergleich sei darauf hingewiesen, daß die Schwellenleistung bei einer Scheibe mit einer durchlässigen
Siliziumdioxid-Schicht 7 Milliwatt und bei einer Scheibe mit einer durchlässigen Magnesiumfluorid-Schicht
6 Milliwatt beträgt. Es ergab sich demgemäß eine gegenüber dem Stand der Technik um den Faktor 4 verminderte Schwellenleistung
für die Aufzeichnung.
Die zum Erreichen eines Signal-Rauschspannungsverhältnisses von mehr als 40 dB erforderliche Lichtleistung betrug bei
einer Scheibe mit einer durchlässigen Fluorkohlenstoffschicht
1,8 Milliwatt, während die entsprechenden Werte bei durchlässigen Magnesiumfluorid- bzw0 Siliziumdioxid-Schichten
9 und 15 Milliwatt betrugen. Die Leistungsfähigkeit des Aufzeichnungsträgers mit einer durchlässigen Fluorkohlenstoff
schicht liegt also, unter der Voraussetzung eines 40-dB-Signal-Rauschspannungsverhältnisses als Kriterium
für eine akzeptable Leistung, mindestens um den Faktor 5 über den Werten bekannter Aufzeichnungsträger„
In Fig. 3 wird anhand der Kurve Ti/GDA 50 mn/Al auch das Aufnahmeverhalten
eines Aufzeichnungsträgers mit einer lichtreflektierenden Aluminiumschicht (Al), einer lichtdurchlässigen
Kohlenwasserstoff-Schicht (GDA) von 50 Nanometern Dicke und
einer lichtabsorbierenden Titan-Schicht (Ti) von 7 Manometern Dicke angegeben.
Die durchlässige, polymere Kohlenwasserstoff-Schicht wurde
mit derselben Glimmentladungstechnik wie im Beispiel 1 hergestellt, jedoch wurde das 1,3-Perfluorodimethylcyclohexan
durch Azetylen ersetzte
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Auf dieser Scheibe wurde eine Information wie oben angegeben gespeichert. Die Schwellenleistung zum Aufzeichnen wurde
mit 2,1 Milliwatt bestimmt. Die zum Erreichen eines Signal-Rauschspannungsverhältnisses
von 40 dB erforderliche, auftreffende
Leistung betrug 2,5 Milliwatt«, Die Schwellenleistung zur Aufnahme liegt mindestens um den Faktor 3 unterhalb
der Werte bekannter Aufzeichnungsträger, während die zum Erreichen eines 40-dB-Signal-Rauschspannungsverhältnisses
erforderliche AuftreffIeistung mindestens um den Faktor 4
kleiner als bisher üblich ist0
Anhand von Fig. 4 wird das Aufnähmeverhalten eines Aufzeichnungsträgers
mit einer lichtreflektierenden Aluminiumschicht (Al), einer lichtdurchlässigen Schicht aus PoIy-(OC-Me
thylstyr öl) von 45 Nanometer Dicke und einer lichtabsorbierenden
Titan-Schicht (Ti) von 7 Nanometern Dicke erläutert„
In dieser Figur wird auch das Aufnahmeverhalten eines Aufzeichnungsträgers
mit einer lichtdurchlässigen Siliziumdioxid-Schicht von wiederum 54 Nanometern Dicke dargestellt.
Das Poly(ü£-Methylstyrol) wurde durch Schleuder-Beschichten
einer Scheibe bei 450 Umdrehungen pro Minute aus einer Lösung von 1,3 Gew. % Poly(C*:-Methylstyrol) in Toluol auf die lichtreflektierende
Schicht niedergeschlagen.
Auf dieser Scheibe wurde in oben angegebener Weise eine Information
gespeichert. Es wurden eine Schwellenleistung von 1,7 Milliwatt und eine AufnahmeIeistung von 2,2 Milliwatt
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zum Erreichen eines 40-dB-Signal-Rauschspannungsverhältnisses
gemessen. Diese Ergebnisse sind ähnlich denjenigen von durchlässigen Fluorkohlenstoff- und Kohlenwasserstoff-Schichten
und niedriger als diejenigen bekannter Aufzeichnungsträger.
Eine Verminderung der Aufnahme-Schwellenleistung um den Faktor 2 ist zu erwarten, wenn eine lichtdurchlässige
Siliziumdioxidschicht durch ein organisches Material ersetzt wird, weil das thermische Diffusionsvermögen des organischen
Materials etwa um den Faktor 6 niedriger ist als dasjenige von Siliziumdioxid. Es wurden zwei Scheiben mit absorbierender
Tellur-Schicht vorbereitet; die erste Scheibe besaß eine
durchlässige Siliziumdioxid-Schicht und die zweite eine entsprechend den Angaben von Beispiel 1 hergestellte durchlässige
Fluorkohlenstoff-Schicht. Die Schwellenleistung der Aufzeichnung wurde mit 2 Milliwatt für die Platte mit durchlässiger
Siliziumdioxid-Schicht und mit 1 Milliwatt für die Platte mit durchlässiger Fluorkohlenstoff-Schicht bestimmt.
Dieses Ergebnis ist vereinbar mit dem herabgesetzten thermischen Diffusionsvermögen.
Das vorstehende Experiment wurde unter Verwendung von Titan
anstelle von Tellur für die absorbierende Schicht wiederholt. In diesem Fall betrug die Schwellenleistung bei der Platte
mit durchlässiger Siliziumdioxid-Schicht 7 Milliwatt und
bei der Platte mit durchlässiger Fluorkohlenstoff-SchiGht 1,7 Milliwatt. Das bedeutet also eine Verminderung der
Schwellenleistung um den Faktor 4, das ist um einen Faktor 2 größer als erwartet.
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Die Untersuchung der Tellur- und Titan-Scheiben mit einem Abtast-Elektronen-Mikroskop zeigte, daß die absorbierende
Tellur-Schicht in beiden Fällen an den vom Licht getroffenen Stellen unter Bildung von Öffnungen geschmolzen w?.r. Die
absorbierende Titan-Schicht verhielt sich anders0 Bei Leistungen
von weniger als etwa 4 Milliwatt schmolz sie bei Verwendung von Siliziumdioxid als durchlässige Schicht,
bildete aber Blasen bei Verwendung von Fluorkohlenstoff als durchlässige Schicht. Die unerwartete Verbesserung der
Aufnahme-Schwellenleistung ist das Ergebnis des erfindungsgemäß geschaffenen AufZeichnungsmechanismuso
In dem erfindungsgemäßen Aufzeichnungsträger werden
Informationen so gespeichert, daß sich an der Oberfläche des Aufzeichnungsträgers eine ausreichend große Höhenunterschiede
aufweisende Topographie ergibt, die zum Herstellen von Doppeln bzwo zum Vervielfältigen geeignet ist«
Von der auf erfindungsgemäße Weise gespeicherten Information können daher mit Hilfe von Standardverfahren Abzüge bzw.
Kopien hergestellt werden.
Nach der Aufnahme der Information wird auf der Oberfläche
des Informationsträgers eine Deckschicht gebildet. Die Deckschicht kann durch Aufdampfen von Metallen, zum Beispiel von
Gold oder Kupfer oder durch stromloses Aufgalvanisieren eines Metalls, wie Nickel, erfolgen,, Die hergestellte Deckschicht
soll eine elektrisch leitende, nadellochfreie, konforme Schicht bilden. In typischen Fällen kann diese Schicht etwa
30 bis 120 Nanometer dick sein.
Anschließend wird eine Masterschicht, zum Beispiel durch Galvanisieren,
auf der Deckschicht gebildet. Bevorzugt wird dabei eine Schicht aus Nickel oder Kupfer, zweckmäßig mit einer Dicke
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von etwa 200 Ms 300 Mikrometern, so daß sich eine selbsttragende und spannungsfreie Schicht auf der Deckschicht
ergibt.
Die Masberschicht wird dann mit anhaftender Deckschicht von
dem Aufzeichnungsträger getrennt, wodurch eine Metall-Nachbildung bzw. ein Metall-Abdruck der gespeicherten Information
entsteht, die bzw0 der eine zum Herstellen von Kopien der gespeicherten Information geeignete Topographie besitzt.
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Leerseite
Claims (1)
- Dn.-Ing. Reimar König - Dip!.-Ing. Klaus Bergen Cecilienallee 76 Λ Düsseldorf 3D Telefon 45 2ÜDB Patentan\10.Oktober 1980 33 664 BRCA Corporation, 30 Rockefeller Plaza, Mew York, N.Y0 10020 (V.St.A0)"Aufzeichnungsträger"Patentansprüche:1., Aufzeichnungsträger für ein mit Licht vorgegebener Wellenlänge arbeitendes, optisches Speicher-Auslese-System mit einer Licht dieser Wellenlänge reflektierenden Schicht, mit einer mehr als 10 Nanometer dicken, für das Licht dieser Wellenlänge durchlässigen Schicht auf der reflektierenden Schicht und mit einer Licht dieser Wellenlänge absorbierenden Schicht auf der durchlässigen Schicht, die aus einem bei mindestens 3000C unterhalb des Schmelzpunktes des Materials der absorbierenden Schicht schmelzenden, sublimierenden und/oder zerfallenden Material besteht, dadurch gekennzeichnet, daß die durchlässige Schicht (20) aus einem eine glatte, im wesentlichen fehlerfreie Deckschicht bildenden organischen Material besteht, und daß der Schmelzpunkt der absorbierenden Schicht (24) oberhalb tausend Grad Celsius liegt„Träger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die lichtdurchlässige Schicht (20) zwischen etwa 10 und 500 Nanometer, vorzugsweise zwischen etwa 30 und 100 Nanometer, dick ist010/074303^5333. Träger nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet , daß die lichtdurchlässige Schicht (20) aus Fluorkohlenstoff- oder Kohlenwasserstoff polymeren besteht.4. Träger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtabsorbierende Schicht (24) etwa 2 bis 25 Nanometer dick ist.5. Träger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die lichtabsorbierende Schicht (24) aus Titan, Platin,, Rhodium, Gold, Nickel, Chrom, Mangan oder Vanadium besteht.6. Träger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Schmelzpunkt der absorbierenden Schicht (24) oberhalb von 14000C liegt,7a Träger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die durchlässige Schicht (20) aus Fluorkohlenstoff- oder Kohlenwasserstoffpolymeren und die absorbierende Schicht (24) aus Titan bestehta8. Träger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 7', gekennzeichnet durch eine Informationsspur in der absorbierenden Schicht (24).9. Träger mit in einer Spur gespeicherter Information nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Information aus einer Folge von Blasen (56) in derBAD ORIGINALο η ο ■■ 3 UO'lichtabsorbierenden Schicht (24) besteht, wobei die Länge und/oder der gegenseitige Abstand (52) aufeinanderfolgender Blasen (56) entlang der Spur die gespeicherte Information repräsentiert.10. Verfahren zum Vervielfältigen einer auf einem optischen Aufzeichnungsträger nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 9 mit Hilfe eines modulierten Lichtstrahls vorgegebener Wellenlänge gespeicherten Information, dadurch gekennzeichnet , daß in der absorbierenden Schicht (24) mit Hilfe des modulierten Lichtstrahls eine Folge von Blasen (56) mit der Information entsprechender Länge und/oder entsprechendem gegenseitigem Abstand der Einzelblasen gebildet wird, daß die die Blasen (56) enthaltende, freigelegte Oberfläche (26) mit einer leitenden, konformen kontaktschicht bedeckt wird, daß auf die Kontaktschicht eine Masterschicht in einer ihr zusammen mit der Kontaktschicht selbsttragende Eigenschaften verleihenden Stärke bzw. Dicke aufgebracht wird, und daß die Masterschicht mit der anhaftenden Kontaktschicht vom Aufzeichnungsträger (50) abgezogen wird.ο Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet , daß die Kontaktschicht aus Gold, Kupfer oder Nickel hergestellt wird»12. Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet , daß die Masterschicht aus Kupfer oder Nickel hergestellt wird.13ÖG18/0740BAD ORIGINAL
Applications Claiming Priority (1)
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