DE69723047T2 - Optisches informationsaufzeichnungsmedium, verfahren zu dessen herstellung, aufzeichnungsverfahren und aufzeichnungsvorrichtung - Google Patents

Optisches informationsaufzeichnungsmedium, verfahren zu dessen herstellung, aufzeichnungsverfahren und aufzeichnungsvorrichtung Download PDF

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Description

  • GEBIET DER ERFINDUNG
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium, welches Informationssignale mit einer hohen Signalqualität aufzeichnen und wiedergeben kann, indem ein Hochenergiestrahl, wie z. B. ein Laserstrahl, einen auf ein Substrat ausgebildeten Dünnfilm bestrahlt, ein Verfahren zum Herstellen des optischen Informationsaufzeich-rtungsmediums, ein Verfahren zum Aufzeichnen/Wiedergeben und eine Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben.
  • HINTERGRUND DER ERFINDUNG
  • Die Technik zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Information durch Aufstrahlen eines auf einen winzigen Punkt verkleinerten Laserstrahls auf einen Dünnfilm, der auf einem transparenten Substrat ausgebildet ist, ist allgemein bekannt. In letzter Zeit wurden verschiedene intensive Untersuchungen durchgeführt, um die Informationsmenge zu vergrößern, welche pro optisches Informationsaufzeichnungsmedium verarbeitet werden kann, indem eine Technik zur Aufzeichnung und Wiedergabe von Informationssignalen mit einer hohen Signalqualität durch Aufstrahlen eines Hochenergiestrahls, wie z. B. eines Laserstrahls, auf einen auf einem Substrat ausgebildeten Dünnfilm angewendet wurde. Die Verfahren können in zwei Hauptkategorien unterteilt werden.
  • Ein erstes Verfahren besteht in der Vergrößerung der Informationsmenge pro Flächeneinheit. Ein Fleckdurchmesser eines Laserstrahls wird kleiner durch Verkleinern der Wellenlänge eines Laserstrahls oder durch Vergrößern der numerischen Apertur einer Objektivlinse, die den Laserstrahl bündelt, erreicht, und somit eine kleinere aufzuzeichnende und wiederzugebende Markierung ermöglicht. Demzufolge nehmen die Aufzeichnungsdichte in der Umfangsrichtung und die radiale Aufzeichnungsdichte in einer Platte zu und die Informationsmenge, welche pro Medium verarbeitet werden kann, nimmt zu. Ferner wurden zur Verbesserung der Aufzeichnungsdichte in der Umfangsrichtung eine Markierungsrandaufzeichnung, in welcher die Länge einer Aufzeichnungsmarkierung zur Information wird, und zur Verbesserung der radialen Aufzeichnungsdichte eine Steg/Rillen-Aufzeichnung, in welcher Information sowohl in einer Rille als auch in einem Steg zum Führen eines Laserstrahls aufgezeichnet wird, erfunden und nachdrücklich angewendet. Da derartige Techniken für eine Aufzeichnung und Wiedergabe mit hoher Dichte fortschreiten, wurde ein Dünnfilmmaterial, das für diese Techniken und eine das Material nutzende Plattenstruktur geeignet ist, ebenfalls entwickelt.
  • Als ein zweites Verfahren wurde ein Medium mit einer Mehrschichtenstruktur, in welcher die pro Aufzeichnungsmedium verarbeitete Informationsmenge durch Laminierung von mehreren Information aufzeichnenden und wiedergebenden Schichten verdoppelt wird, und ein Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben in diesem Medium vorgeschlagen (z. B. in der Japanischen Patentanmeldung Nr. Hei 07-82248). Viele Dünnfilmmaterialien werden ebenfalls als ein für das eine mehrschichtige Struktur aufweisende Aufzeichnungsmedium geeignetes Aufzeichnungsmaterial vorgeschlagen, aber ein Aufzeichnungsmedium, in welcher eine gute Aufzeichnungseigenschaft erzielt werden kann, wenn nur eine Schicht genutzt wird, wird im Grunde so wie es ist in vielen Fällen verwendet.
  • In einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium (in welchem die Informationsschicht nur eine einzige Schacht ist) welches eine Technik zum Aufzeichnen und Wiedergeben von Informationssignalen mit einer hohen Signalqualität durch Aufstrahlen eines Hochenergiestrahls, wie z. B. eines Laserstrahls, verwendet, wird ein Dünnfilmmaterial, dessen Hauptkomponente TeOx (0 < x < 2) ist, d. h., ein Gemisch aus Te und TeO2 auf einem Substrat bereitgestellt (Ungeprüfte Japanische Patentveröffentlichung (Tokkai Sho) 50-46317. Diese Art von Aufzeichnungsmedium kann einen Reflexionsgrad stark bei der Bestrahlung mit einem optischen Strahl für die Wiedergabe verändern.
  • Es dauert jedoch in TeOx einige Zeit, bis ein Signal nach einer Wiedergabe gesättigt ist, d. h., bis ein Laser bestrahlter Teil in einem Aufzeichnungsdünnfilm ausreichend kristallisiert ist. Dieses ist für ein Aufzeichnungsmedium, in welchem eine rasche Reaktion erforderlich ist, wie z. B. in dem Falle einer Datendatei für einen Computer, in welchem beispielsweise Daten auf einer Platte aufgezeichnet und dann nach einer Rotation verifiziert werden, oder dergleichen nicht geeignet.
  • Ein Aufzeichnungsmedium, in welchem beispielsweise Pd den TeOx als ein drittes Element hinzugefügt ist, um den vorstehend erwähnten Nachteil zu mindern, wird in der nicht geprüften Japanischen Patentveröffentlichung (Tokkai Sho) 61-68296 vorgeschlagen. Das Te und das Pd wirken als ein einen Strahl erfassendes Metall und das TeOx bewirkt die Aufrechterhaltung einer Oxidationsbeständigkeit. Das TeOx ist als eine Matrix(See)-Komponente vorhanden und das Te und das Pd sind als eine Inselkomponente vorhanden. Es ist vorstellbar, daß das Pd die Funktion ein Kristallkerns hat, welcher das Kristallwachstum des Te zum Zeitpunkt der Aufstrahlung eines Laserstrahls in einem TeOx-Dünnfilm begünstigt. Aufgrund dieser Funktion werden Kristallkörner aus Te oder einer Te-Pd-Legierung, in welcher die Kristallisierung weiter beschleunigt ist, mit hoher Geschwindigkeit erzeugt. Demzufolge ermöglicht sie eine Kristallisierungsaufzeichnung mit hoher Geschwindigkeit, und erzielt somit wie vorstehend erwähnt eine raschere Reaktion. Ferner wird die Feuchtigkeitsbeständigkeit des TeOx-Dünnfilms nicht geschädigt, da das Pd eine hohe Oxidationsbeständigkeit besitzt.
  • Jedoch wurde eine weitere Verbesserung in der Aufzeichnungsdichte in der neuen Tendenz zur Massenspeicherung von Information erforderlich. Demzufolge wurde eine Entwicklung eines Aufzeichnungsmediums, das einer Aufzeichnung mit hoher Dichte unter Verwendung eines optischen Systems mit kurzer Wellen/hoher NA entsprechen kann, erforderlich. D. h., es hat sich eine Verschlechterung einer Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaft, wie z. B. die Abnahme eines C/N-Verhältnisses und die Zunahme von Jitter (Signalschwankung) herausgestellt, wenn versucht wurde, Information in einer höheren Aufzeichnungsdichte als unter der in der vorstehenden Veröffentlichung erwähnten experimentellen Bedingung in vielen Teilen in einem Zusammensetzungsbereich eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums aufzuzeichnen, welches in der Veröffentlichung erwähnt ist, in welcher Pd zu TeOx hinzugefügt ist. Das vorstehend erwähnte C/N-Verhältnis hat die Bedeutung eines Träger/Rausch-Verhältnisses in einem Signal mit einer spezifischen Frequenz.
  • Der Grund für das Auftreten der Verschlechterung wird wie folgt angenommen. In dem Falle einer Aufzeichnung und Wiedergabe mit höherer Dichte unter Verwendung desselben optischen Systems kann keine ausreichende Aufzeichnungseigenschaft erzielt werden, wenn die Wärmeleitfähigkeit eines Aufzeichnungsdünnfilms nicht in einen vorbestimmten Bereich fällt. D. h., wenn die Wärmeleitfähigkeit eines Aufzeichnungsdünnfilmes zu niedrig ist, kann sich die Wärme nur schwierig von dem durch einen Laserstrahl erwärmten Teil aus verteilen, und eine Aufzeichnungsmarkierung kann selbst dann nicht vergrößert werden, wenn die Aufzeichnungsleistung vergrößert wird. Demzufolge ist die Empfindlichkeit niedrig, und C/N-Verhältnis tendiert ebenfalls zu einer Abnahme. Im Gegensatz dazu kann sich, wenn die Wärmeleitfähigkeit eines Aufzeichnungsdünnfilms zu hoch ist, die Wärme leicht von dem durch einen Laserstrahl erwärmten Teil aus verteilen und eine Aufzeichnungsmarkierung wird durch Vergrößerung der Aufzeichnungsleistung etwas vergrößert. Demzufolge ist die Empfindlichkeit hoch und das C/N-Verhältnis tendiert ebenfalls zur Zunahme. Jedoch wird der Rand der Aufzeichnungsmarkierung leicht verschmiert. Benachbarte Markierungen beginnen ineinander zu laufen, wenn die Aufzeichnungsleistung eines Laserstrahls auch nur leicht über die optimale Leistung hinaus erhöht wird, und das C/N-Verhältnis nimmt ab. Daher ist der Leistungsbereich schmal, und es besteht ein Problem in der praktischen Anwendung. Man kann sich vorstellen, daß bei der Aufzeichnung und Wiedergabe in demselben optischen System das Problem signifikant wird, wenn die Dichte durch Verkleinerung des Zwischenraums zwischen Markierungen hoch wird. Selbst wenn ein hohes C/N-Verhältnis erzielt wird, bedeutet dies nicht immer, daß wenig Bitfehler auftreten. Es besteht die Tendenz der Entstehung einer thermischen Interferenz zwischen den Aufzeichnungsmarkierungen beispielsweise in dem Falle, in welchem ein Aufzeichnungsdünnfilm wie vorstehend erwähnt eine hohe Wärmeleitfähigkeit aufweist. Demzufolge kann man sich vorstellen, daß sich die Position der zur detektierenden Auf zeichnungsmarkierungen verändert und viele Bitfehler selbst in dem Falle einer hohen Reflexionsgradveränderung und einem hohen C/N-Verhältnis auftreten. Es ist vorstellbar, daß dieses bei einem Markierungsrand-Aufzeichnungsverfahren, das sich derzeit in bereitem Einsatz befindet, wichtiger wird. Eine Bewertung des Jitters wird als ein Mittel für die Bewertung von Bitfehlern relativ einfach eingesetzt. Der Jitter bedeutet eine Abweichung zwischen einem Originalsignal für die Aufzeichnung und einem reproduzierten Signal auf einer Zeitbasis.
  • In der vorliegenden Erfindung wird der durch Division der Summe (σsum) der Standardabweichung eines Jitters in jedem Signal durch eine Fensterbreite (T) der Signaldetektion erhaltene Wert als ein "Jitter(σsum/T)" angegeben, und der Wert wird durch Messung bestimmt.
  • Beispielsweise ist es allgemein bekannt, daß ein Jitter. von 12,8 oder kleiner einer Bitfehlerrate von 10-4 oder weniger in dem Falle der Annahme entspricht, daß die Abweichung auf einer vorstehend erwähnten Zeitbasis normalverteilt ist.
  • Die Aufzeichnungsbedingungen in der vorstehend erwähnten Veröffentlichung sind wie folgt beschrieben: Laserwellenlänge 830 nm; Wellenlängenbegrenzung 0,8 μm; Rotationsdrehzahl 1800 U/min; Aufzeichnungsposition (Radius) 75 mm; und Aufzeichnungsfrequenz 5 MHz. In diesem Falle ist es vorstellbar, daß unter Zugrundelegung des technischen Hintergrundes zu dem Zeitpunkt, an dem die Erfindung in Shouwa 61 (1986) gemacht wurde, ein Markierungspositions-Aufzeichnungsverfahren verwendet wurde. Daher ist der kürzere Markierungszwischenraum 2,83 um und die Bitlänge b ist als 1,89 um durch die Division des kürzesten Markierungszwischenraums durch eine Bitdichte von 1,5 unter der Bedingung einer linearen Geschwindigkeit von 14,1 m/s, berechnet aus der radialen Position und der vorstehend erwähnten Rotationsdrehzahl, festgelegt.
  • Es ist vorstellbar, daß die in der identischen Veröffentlichung erwähnte Wellenlängenbegrenzung von 0,8 um unter Verwendung einer Linsen-NA von 0,5 berechnet wurde, wenn angenommen wird, daß die Strahlintensität eines Laserstrahls üblicherweise einer Gauß'schen Verteilung angenähert werden kann, und daß es zu dieser Zeit üblich war, einen Durchmesser, in welchem die Strahlintensität die Hälfte der in einem Fleckmittelpunkt ist, als die Wellenlängenbegrenzung zu. definieren.
  • Wenn die Strahlintensität eines Laserstrahls durch eine Gauß'sche Verteilung angenähert werden kann und ein Fleckdurchmesser d als ein Durchmesser definiert ist, in welchem die Strahlintensität 1/e von dem im Fleckmittelpunkt ist, beträgt der Fleckdurchmesser d 1,01 um. Somit ist das Verhältnis (b/d) einer Bitlänge b für einen Fleckdurchmesser d gleich 1,87. In der vorstehend erwähnten Veröffentlichung wird erwähnt, daß ein hohes C/N-Verhältnis von wenigstens 50 dB unter der Bedingung von b/d = 1,87 und von etwa 60 dB abhängig von der Zusammensetzung erhalten wird.
  • Jedoch hat sich die für ein Aufzeichnungsmedium erforderliche Aufzeichnungskapazität in den letzten paar Jahren verdoppelt und das vorstehend erwähnte Verhältnis b/d muß stark reduziert werden. Der Fall einer Aufzeichnung von Informationssignalen von etwa dem Vierfachen einer CD-ROM, d. h. von 2,6 Gigabyte auf einer Scheibe, in welcher ein Film auf einem Substrat mit derselben Größe wie der einer CD-ROM ausgebildet ist, wird als ein Beispiel betrachtet. In diesem Falle beträgt die kürzeste Markierungslänge 0,62 um unter der Bedingung eines Rillenrasters von 1,48 um, wenn sowohl in einem Rillen- als auch Steg-Markierungsrand-Aufzeichnungsverfahren aufgezeichnet wird. Demzufolge ist die Bitlänge b 0,41 um, berechnet durch Division der kürzesten Markierungslänge mit einer Bitdichte von 1,5. Im Falle einer Verwendung eines optischen Systems (beispielsweise mit einer Wellenlänge von 680 nm und einer NA von 0,6), was vor kurzem technisch erreicht und in Massen produziert wurde, beträgt der Fleckdurchmesser d 0,59 um. Daher liegt b/d bei etwa 0,6 unter der vorstehend erwähnten Bedingung. Das b/d ist unter dieser Bedingung bemerkenswert niedrig im Vergleich zu der vorstehend erwähnten Veröffentlichung und eine gute Aufzeichnungseigenschaft zeigt sich unter dieser Bedingung selbst in dem Falle der Verwendung des Aufzeichnungsmediums in der Veröffentlichung, so wie es ist, nicht.
  • Daher kann zur Erzielung einer guten Aufzeichnungseigenschaft mit einem hohen C/N-Verhältnis und einem kleinen Jitter in einem weiten Leistungsbereich beim Aufzeichnen und Wiedergeben mit einem kleinen b/d und hoher Dichte die Zusammensetzung des in der Veröffentlichung erwähnten Aufzeichnungsfilms nicht so verwendet werden wie sie ist. Es ist verständlich, daß die Zusammensetzung des dafür geeigneten Aufzeichnungsdünnfilms neu in Beziehung zu den Aufzeichnungsbedingungen bewertet werden muß.
  • Ferner ist zur Erzielung eines Mehrschichten-Aufzeichnungsmediums, in welchem mehrere Schichten zur Aufzeichnung und Wiedergabe von Information laminiert sind, die Aufzeichnungsempfindlichkeit ein kritisches Problem und der Transmissionsgrad und Reflexionsgrad des Films müssen ebenfalls in der geeignetsten Weise ausgelegt werden. D. h., in einem Medium mit einer Mehrschichtenstruktur, muß insbesondere die erste Informationsschicht, welche die erste Schicht von der Seite aus ist, in welche ein Laserstrahl eintritt, einen hohen Transmissionsgrad aufweisen, um Information mit einer ausreichenden Leistung für die zweite Informationsschicht, welche die zweite Schicht von der Seite aus ist aufzuzeichnen und wiederzugeben. Ein hoher Reflexionsgrad ist ebenfalls erforderlich, um eine ausreichende Menge an reflektiertem Licht auch von der ersten Informationsschicht selbst zu erhalten. Demzufolge wird die Absorption der ersten Informationsschicht unvermeidlich verringert, was zu Schwierigkeiten bei der Sicherstellung einer ausreichenden Aufzeichnungsempfindlichkeit führt. Der Grad an Aufzeichnungsdichte in jeder Schicht in einem Medium mit einer aufzeichnungsfähigen Mehrschichtenstruktur, von dem berichtet worden ist, ist niedriger als der derzeitige vorstehend erwähnte Grad. Demzufolge kann eine Erhöhung der Informationsmenge, die pro Aufzeichnungsmedium verarbeitet werden kann, nicht erzielt werden. Sie kann auch nur schwierig unter Verwendung eines Halbleiterlasers, der in Massen produziert werden kann, erzielt werden, da beispielsweise die erforderliche Laserleistung wenigstens 20 mW beträgt, um ausreichend reflektiertes Licht durch Aufzeichnungssignale in beiden von den zwei Schichten zu erhalten.
  • Was das herkömmliche Beispiel eines TeOx-Aufzeichnungsdünnfilms betrifft, hat es sich bestätigt, daß das Material zur Verwendung als aufzeichnungsfähiges Medium nur für einen Dickfilm mit einer Filmdicke etwa 120 nm, wie in der Verweisstelle oder dergleichen beschrieben, geeignet ist, was sehr dick ist und kaum einen Laserstrahl durchläßt. Daher muß, um einen Film als die erste Informationsschicht eines Aufzeichnungsmediums mit einer Mehrschichtenstruktur wie vorstehend erwähnt zu verwenden, der Film einen Laserstrahl gut durchlassen. Die Aufzeichnungseigenschaft in einem derartigen Bereich ist unbekannt und es ist notwendig, eine hohe Dichte und eine hohe Empfindlichkeit für die bevorzugte Aufzeichnungseigenschaft zu erzielen.
  • U.S. 3,971,874 offenbart ein optisches Informationsspeichermaterial und ein Verfahren zur Herstellung eines derartigen Materials. JP-A-62 88152 beschreibt ein optisches Informationsaufzeichnungselement mit einem dünnen optischen Aufzeichnungsfilm, welcher aus Te, 0, Pd und Au besteht.
  • ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
  • Um das vorstehend erwähnte herkömmliche Problem zu lösen, besteht die Aufgabe der vorliegenden Erfindung darin, ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium, ein Verfahren zur Herstellung desselben, ein Verfahren zum Aufzeichnen und ein Verfahren zum Wiedergeben optischer Information und eine Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben von optischer Information bereitzustellen, in welchen eine gute Aufzeichnungseigenschaft mit einem hohen C/N-Verhältnis und einem kleinen Jitter mit einem breiten Leistungsbereichsverhältnis beim Äufzeichnen und Wiedergeben von Information mit einem kleinen b/d-Verhältnis (einem Verhältnis einer Aufzeichnungsbitlänge b für einen Fleckdurchmesser d) erzielt werden kann.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung wird durch die Merkmale der Ansprüche gelöst.
  • Ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium gemäß der vorliegenden Erfindung wird mit einer Informationsschicht bereitgestellt, welche wenigstens Te-, O- und M-Atome, wobei M wenigstens eine Art eines Atoms ist, das von einem metallischen Element, einem metalloiden Element oder einem Halbleiterelement ausgewählt wird, und O-Atome mit 40 Atom% bis 60 Atom%, die M-Atome mit 2 Atom% bis 25 Atom% und die Te-Atome mit 15 Atom% bis 58 Atom% in der Informationsschicht aufweist. Die Filmdicke der Informationsschicht beträgt 10 nm bis 50 nm und der Lichttransmissionsgrad der Informationsschicht ist wenigstens 40%. Das optische Aufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung weist auch eine zweite Informati onsschicht auf, welche auf der ersten Informationsschicht über einer Trennschicht angeordnet ist. Einer Aufzeichnung unter Verwendung des optischen Informationsaufzeichnungsmediums entsprechend kann ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium realisiert werden, in welchem eine gute Aufzeichnungseigenschaft mit einem hohen C/N-Verhältnis und einem kleinen Jitter über einen breiten Leistungsbereich bei der Aufzeichnung und Wiedergabe von Information mit einem kleinen b/d-Verhältnis (einem Verhältnis einer Bitlänge b zu einen Fleckdurchmesser d) erzielt werden kann.
  • In dem Aufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung ist die Filmdicke der Informationsschicht 10 nm bis 50 nm. Der Film hat die Funktion eines Informationsaufzeichnungsmediums, wenn dessen Dicke 10 nm oder mehr beträgt, und der Film ist hinsichtlich der Kosten vorteilhaft, wenn die Dicke 200 nm oder kleiner ist. In diesem Bereich ist der Film besonders praxisgerecht einsetzbar.
  • In dem Aufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung ist es vorzuziehen, daß eine Überzugsschicht ferner auf der Informationsschicht vorgesehen wird, da die Informationsschicht durch diese Überzugsschicht geschützt werden kann.
  • In dem Aufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung ist es vorzuziehen, daß zwei Informationsaufzeichnungsmedien mit einer Informationsschicht auf einem transparenten Substrat über eine Kleberschicht mit den Informationsschichten auf der Innenseite angeordnet verbunden werden, und wenigstens eine von den Informationsschichten bevorzugt eine Informationsschicht gemäß Anspruch 1 ist. Die Aufzeichnungskapazität kann durch Verwendung einer Mehrschichtenstruktur vergrößert werden.
  • Bei dem Aufzeichnungsmaterial der vorliegenden Erfindung ist es vorzuziehen, daß mehrere Informationsschichten ferner auf einer Informationsschicht über eine Trennschicht vorgesehen werden, und daß die dem Substrat am nächsten liegende Informationsschicht eine Informationsschicht gemäß Anspruch 1 ist. In gleicher Weise kann die Aufzeichnungskapazität durch Verwendung einer Mehrschichtenstruktur vergrößert werden.
  • Bei dem Aufzeichnungsmaterial der vorliegenden Erfindung wird es bevorzugt, daß die Filmdicke der dem Substrat am nächsten liegenden Informationsschicht 10 nm bis 50 nm beträgt. In dem Falle der Verwendung einer Mehrschichtenstruktur wird ein Laserstrahl von der Seite eines Substrats aus aufgestrahlt. Daher ist die Filmdicke der Informationsschicht bevorzugt dünn, um eine Abnahme des Transmissionsgrades zu verhindern.
  • Bei dem Aufzeichnungsmaterial der vorliegenden Erfindung beträgt der Lichttransmissionsgrad der einem Substrat am nächsten liegenden Informationsschicht wenigstens 40%. Wenn der Lichttransmissionsgrad wenigstens 40% beträgt, sind eine Aufzeichnung und Wiedergabe auch in der Zweitinformationsschicht durch Bestrahlung mit einem Laserstrahl von der Seite des Substrates aus möglich. In diesem Falle wird der Lichttransmissionsgrad durch Messen des Wertes bei der Wellenlänge eines Laserstrahls, welcher für die Aufzeichnung und Wiedergabe verwendet wird, mittels eines Spektroskops oder dergleichen erhalten. Beispielsweise wird durch Aufstrahlen eines Strahls mit einer Wellenlänge von 680 nm gemessen.
  • Bei dem Aufzeichnungsmaterial der vorliegenden Erfindung ist es vorzuziehen, daß die Dicke der Überzugsschicht in dem Bereich von 2 bis 100 um liegt. In diesem Dickenbereich kann der Überzug seine Funktion als Schutzschicht zeigen.
  • Bei dem Aufzeichnungsmaterial der vorliegenden Erfindung ist es vorzuziehen, daß die Dicke der Kleberschicht in dem Bereich von 2 bis 100 um liegt. Ebenso kann in diesem Dickenbereich die Kleberschicht ihre Funktion zeigen und es kann eine ausreichende Abschirmung zwischen der ersten Informationsschicht und der zweiten Informationsschicht erzeugt werden.
  • Bei dem Aufzeichnungsmaterial der vorliegenden Erfindung ist es vorzuziehen, daß die Dicke einer Trennschicht wenigstens die Schärfentiefe ΔZ = λ/[2(NA)2] ist, in welcher benachbarte Informationsschichten definiert werden können, wobei ein optischer Strahl mit einer Wellenlänge von λ über eine Objektivlinse mit einer numerischen Apertur von NA aufgestrahlt wird. In diesem Falle kann eine ausreichende Abschirmung zwischen der ersten Informationsschicht und der zweiten Informationsschicht bereitgestellt werden. Konkreter gesagt, liegt die Dicke der Trennschicht bevorzugt in dem Bereich von 2 bis 100 um.
  • Bei dem Aufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung ist es vorzuziehen, daß das M-Atom wenigstens eine Art eines Atoms ist, welches aus wenigstens einem metallischen Element, das aus Al, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Y, Zr, Nb, Mo, Tc, Ru, Rh, Pd, Ag, Cd, In, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt, Au, Hg, Tl und Pb ausgewählt wird, wenigstens einem metalloiden Element, das aus B, C, As, Se, Sb und Bi ausgewählt wird, und wenigstens einem Halbleiterelement, das aus Si, Ge und Sn ausgewählt wird, ausgewählt wird. Die in der vorliegenden Erfindung alleinig verwendete Einzelkomponente des Te-Oxids [TeOx (0 < x < 2)], ist nicht als ein praxisgerechtes Aufzeichnungsmaterial geeignet, da es in einigen Fällen einige Minuten dauert, bis Markierungen genügend vergrößert sind, d. h., bis die Kristallisation vollständig fortgeschritten ist. Daher wird die Kristallisation durch die Hinzufügung des vorstehend erwähnten M-Atom als ein drittes Element verbessert, was einen Abschluß der Kristallisation innerhalb einigen 10 μs (der Zeit, welche für eine Umdrehung einer Scheibe erforderlich ist) ermöglicht. Es dauert Zeit, bis eine Kristallstruktur des spiralförmigen Te wächst. Die Hinzufügung eines M-Atoms, wie z. B. Pd oder dergleichen, führt wie vorstehend erwähnt zu einer Vernetzung und die Kristallisation findet mit hoher Geschwindigkeit statt. Insbesondere ist ein M-Atom bevorzugt Pd, da ein Pd-Atom ausgezeichnet für eine Kristallisation bei hoher Geschwindigkeit ist.
  • Ferner wird es bei dem Aufzeichnungsmaterial der vorliegenden Erfindung bevorzugt, daß das O-Atom in einer Informationsschicht in einem Verhältnis von mehr als 45 Atom% aber nicht mehr als 60 Atom% besteht, da dieses ein geeignetes Volumen als eine Matrix-(See)-Komponente ist, und für die Oxidationsbeständigkeit einer Aufzeichnungsschicht hervorragend ist.
  • Anschließend wird in dem Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben gemäß der vorliegenden Erfindung ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium, das mit einer Informationsschicht ausgestattet ist, welche aus einem Dünnfilmmaterial besteht, das wenigstens Te-, O- und M-Atome (wobei das M wenigstens eine Art eines Elements ist, das aus einem metallischen Element, einem metalloiden Element oder einem Halbleiterelement ausgewählt wird) auf einen transparenten Substrat aufweist, mit einem optischen Strahl von der Seite des transparenten Substrates aus bestrahlt, um somit Informationssignale aufzuzeichnen und wiederzugeben. In dem Falle, in welchem der vorstehend erwähnte optische Strahl auf das optische Informationsaufzeichnungsmedium durch eine Objektivlinse hindurch aufgestrahlt wird, wird, wenn die Strahlintensitätsverteilung durch eine Gauß'sche Verteilung angenähert werden kann und ein Durchmesser, in welchem die Strahlintensität 1/e von der in einem Fleckmittelpunkt als ein Fleckdurchmesser d definiert ist, der Fleckdurchmesser durch d angegeben und die Länge eines Aufzeichnungsbits durch b angegeben. Das Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben gemäß der vorliegenden Erfindung weist die Bedingung auf, daß das Verhältnis (b/d) der Bitlänge b für den Fleckdurchmesser d gleich 0,7 oder kleiner ist. Mit diesem Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben kann eine Informationsaufzeichnung und Wiedergabe mit hoher Dichte realisiert werden.
  • In dem Aufzeichnungs- und Wiedergabeverfahren ist es in dem Falle der Modulation der Intensität eines optischen Strahls wenigstens innerhalb der nachstehenden Leistungspegel (P1 > P2 ≥ P3 ≥ 0): einem Leistungspegel P1, der für die Kristallisation eines bestrahlten Teils auch in dem Falle einer Bestrahlung unter Modulation des Strahls ausreicht; und Leistungspegeln P2 und P3, welche einen bestrahlten Teil auch in dem Fall einer Aufstrahlung des Strahls ohne Modulation nicht kristallisieren, und in dem Falle einer Erzeugung von Markierungen, welche wenigstens länger als die kürzeste Markierung von den aufzuzeichnenden Markierungen mit bestimmten unterschiedlichen Längen sind, vorzuziehen, daß eine Impulsform für die Erzeugung einer Markierung ein Aufzeichnungsimpulszug ist, der aus mehreren Impulszügen besteht, welche zwischen den Leistungspegeln P1 und P3 moduliert worden sind, und daß der Teil, an welchem keine Markierung ausgebildet wird, konstant auf dem Leistungspegel P2 gehalten wird. Dieses Verfahren ermöglicht eine genauere Aufzeichnung, wie es in der später erläuterten 6 dargestellt ist.
  • In dem Aufzeichnungs- und Wiedergabeverfahren ist es vorzuziehen, daß der Leistungspegel P1 auch eine Leistung aufweist, welche eine sofortige Schmelzung des bestrahlten Teils in dem Falle einer Bestrahlung unter Modulation eines Strahls bewirkt. Dieses Verfahren ermöglicht eine genauere Aufzeichnung durch Schmelzkristallisation.
  • In dem Aufzeichnungs- und Wiedergabeverfahren ist es vorzuziehen, daß wenigstens jeder Impuls, mit Ausnahme des ersten Impulses und des letzten Impulses dieselbe Impulsbreite aufweist und ein rechteckiger Impuls ist, und daß jeder Zwischenraum zwischen den rechteckigen Impulsen gleich ist. In diesem Verfahren wird nur eine Art eines Grundtaktsignals für eine Impulsmodulation benötigt und der Impuls kann lediglich durch Vergrößern oder Verkleinern der Anzahl der Impulse gesteuert werden, was zu einer einfachen Steuerung führt.
  • In dem Aufzeichnungs- und Wiedergabeverfahren ist es vorzuziehen, daß ein Kühlabschnitt für den Leistungspegel P3 unmittelbar nach dem letzten Impuls in einem Aufzeichnungsimpulszug vorgesehen wird, was verhindert, daß das hintere Ende des durch die Aufstrahlung eines Laserstrahls geschmolzenen Teils überhitzt wird.
  • Anschließend wird in einer Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben gemäß der vorliegenden Erfindung ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium, das mit einer Informationsschicht ausgestattet ist, welche wenigstens Te-, O- und M-Atome (wobei das M wenigstens eine Art eines Elements ist, das aus einem metallischen Element, einem metalloiden Element oder einem Halbleiterelement ausgewählt wird) auf einen transparenten Substrat aufweist, mit einem optischen Strahl von der Seite des transparenten Substrates aus bestrahlt, um somit wenigstens Informationssignale aufzuzeichnen. In dem Falle wenigstens einer Aufzeichnung einer Bitfolge der Informationssignale durch Aufstrahlen des vorstehend erwähnten optischen Strahls auf das optisches Informationsaufzeichnungsmedium durch eine Objektivlinse ist, wenn die Strahlintensi tätsverteilung durch eine Gauß'sche Verteilung angenähert werden kann und ein Durchmesser, in welchem die Strahlintensität 1/e von der in einem Fleckmittelpunkt als ein Fleckdurchmesser definiert ist, die Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben mit einer Modulationseinrichtung versehen, welche die Intensität des optischen Strahls so moduliert daß das Verhältnis (b/d) der Bitlänge b für den Fleckdurchmesser d gleich 0,7 oder kleiner ist.
  • In der Aufzeichnungs- und Wiedergabevorrichtung ist es in dem Falle der Modulation der Intensität eines optischen Strahls wenigstens innerhalb der nachstehenden Leistungspegel (P1 > P2 ≥ P3 ≥ 0): einem Leistungspegel P1, der für die Kristallisation eines bestrahlten Teils auch in dem Falle einer Bestrahlung unter Modulation des Strahls ausreicht; und Leistungspegeln P2 und P3, welche einen bestrahlten Teil auch in dem Fall einer Aufstrahlung des Strahls ohne Modulation nicht kristallisieren, und in dem Falle einer Erzeugung von Markierungen, welche wenigstens länger als die kürzeste Markierung von den aufzuzeichnenden Markierungen mit bestimmten unterschiedlichen Längen sind, vorzuziehen, daß eine Modulationseinrichtung zur Modulation der Intensität des optischen Strahls in der Weise vorgesehen wird, so daß eine Impulsform für die Erzeugung einer Markierung ein Aufzeichnungsimpulszug ist, der aus mehreren Impulszügen besteht, welche zwischen den Leistungspegeln P1 und P3 moduliert worden sind, und daß der Teil, an welchem keine Markierung ausgebildet wird, konstant auf dem Leistungspegel P2 gehalten wird.
  • In der Aufzeichnungs- und Wiedergabevorrichtung ist es vorzuziehen, daß der Leistungspegel P1 auch eine Leistung aufweist, welche eine sofortige Schmelzung des bestrahlten Teils in dem Falle einer Bestrahlung unter Modulation eines Strahls bewirkt. In der Aufzeichnungs- und Wiedergabevorrich tung ist es auch vorzuziehen, daß jeder Impuls, mit Ausnahme des ersten Impulses und des letzten Impulses dieselbe Impulsbreite aufweist und ein rechteckiger Impuls ist, und daß jeder Zwischenraum zwischen den rechteckigen Impulsen ebenfalls gleich ist. Ferner ist es in der Aufzeichnungs- und Wiedergabevorrichtung vorzuziehen, daß ein Kühlabschnitt für den Leistungspegel P3 unmittelbar nach dem letzten Impuls in einem Aufzeichnungsimpulszug vorgesehen wird.
  • Ferner weist ein Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums gemäß der vorliegenden Erfindung die Verwendung eines Dünnfilmmaterials, welches Te, 0 und ein Element M (wobei M ein Art eines Atoms ist, das von einem metallischen Element, einem metalloiden Element oder einem Halbleiterelement ausgewählt wird) zur Ausbildung einer Informationsschicht, die O-Atome mit 40 Atom% bis 60 Atom% , M-Atome mit 2 Atom% bis 25 Atom% und Te-Atome mit 15 Atom% bis 58 Atom% aufweist, auf einem transparenten Substrat durch Dampfphasen-Dünnfilmabscheidung auf. Gemäß dem Herstellungsverfahren der vorliegenden Erfindung kann ein Informationsaufzeichnungsmedium effektiv und zuverlässig hergestellt werden.
  • In dem Herstellungsverfahren ist es vorzuziehen, daß ferner eine Überzugsschicht durch Härtung mittels Bestrahlung mit einem Energiestrahl nach einer Beschichtung einer Informationsschicht mit einem durch Energiestrahlen gehärteten Harz erzeugt wird. Beispielsweise können Ultraviolettstrahlen als ein Energiestrahl verwendet werden.
  • In dem Herstellungsverfahren ist es vorzuziehen, daß zwei Informationsaufzeichnungsmedien mit einer Informationsschicht auf einem transparenten Substrat hergestellt und durch Aufbringung eines durch einen Energiestrahl gehärteten Harzes oder einer Heißschmelzkleberschicht zwischen den zwei Medien verbunden werden, wobei jeweils die Informationsschichten auf der Innenseite angeordnet sind.
  • In dem Herstellungsverfahren wird ferner eine Trennschicht durch Härtung mittels Bestrahlung mit einem Energiestrahl nach einer Beschichtung mit einem durch einen Energiestrahl gehärteten Harz auf einer Informationsschicht erzeugt und die zweite Informationsschicht ferner darauf erzeugt.
  • In dem Herstellungsverfahren ist es vorzuziehen, daß die Informationsschicht die O-Atome mit 40 Atom% bis 60 Atom% und die M-Atome mit 2 Atom% bis 25 Atom% enthält.
  • In dem Herstellungsverfahren ist es vorzuziehen, daß die Filmdicke der Informationsschicht 10 nm bis 50 nm beträgt.
  • KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
  • In den Zeichnungen zeigen:
  • 1 einen Bereich der Zusammensetzung eines Aufzeichnungsdünnfilms in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium gemäß Anspruch 1 der vorliegenden Erfindung.
  • 2 eine schematische Querschnittsansicht eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums.
  • 3 eine schematische Querschnittsansicht eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 4 eine schematische Querschnittsansicht eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums gemäß noch einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 5 eine Zeichnung einer Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 6 eine Wellenformzeichnung einer Ausführungsform einer Impulsform, welche für eine Aufzeichnung gemäß der vorliegenden Erfindung angewendet werden kann.
  • 6A, 6B und 6C eine Wellenformzeichnung eines Beispiels in dem Falle einer Aufzeichnung von 7T-Markierungen, eine weitere Wellenformzeichnung in dem Falle einer Aufzeichnung von 7 T-Markierungen und noch eine weitere Wellenformzeichnung in dem Falle der Aufzeichnung von 7 T-Markierungen.
  • 7 ein Verfahren zum Herstellen eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 7A, 7B und 7C einen ersten Prozeß zum Erzeugen eines Films, einen zweiten Prozeß zum Erzeugen eines Films und einen Laminierungsprozeß.
  • 8 die Abhängigkeit des Reflexionsgrades von der Filmdicke einer Scheibe in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • 9 die Abhängigkeit der Aufzeichnungsbedingung, in welcher eine ausreichende Aufzeichnungseigenschaft mit einer Zusammensetzung in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erzielt werden kann.
  • 10 die Abhängigkeit des optischen Reflexionsgrades und des Lichttransmissionsgrades von der Filmdicke einer Scheibe in einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
  • DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • Ausführungsformen gemäß der vorliegenden Erfindung werden unter Bezugnahme auf die Zeichnungen wie folgt beschrieben. 1 stellt einen Zusammensetzungsgraphen eines ternären Verbindungssystems aus Te-O-Pd dar. Eine von A, B, C und D in
  • 1 umgebene Fläche stellt einen Zusammensetzungsbereich eines Aufzeichnungsdünnfilms in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium gemäß der vorliegenden Erfindung dar. Der Prozeß, welcher zu dem Schluß führt, daß die Zusammensetzungsbereiche am geeignetsten für die Lösung der Aufgabe der Erfindung sind, wird nachstehend im Detail beschrieben.
  • 2 stellt eine Querschnittsansicht eines Konfigurationsbeispiels eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums dar. In 2 stellt 1 ein transparentes Plattensubstrat dar, 2 ist ein Aufzeichnungsdünnfilm, der eine Informationsschicht ist, die aus einem Te, 0 und M (wobei M wenigstens eine Art eines Elementes ist, welches von einem metallischen Element, einem metalloiden Element oder einem Halbleiterelement ausgewählt wird) aufweisendem Dünnfilmmaterial besteht, und 3 ist eine Überzugsschicht.
  • Ein Polycarbonatharz, ein Polymethylmethacrylatharz, ein Polyolefinharz, ein ARTON-(Handelsbezeichnung; Japan Synthetic Rubbber Co., Ltd.)-Harz, Glas oder dergleichen kann als ein Material für das transparente Substrat verwendet werden. Die Dicke des transparenten Substrats ist nicht speziell definiert, aber ein transparentes Substrat mit einer Dicke von etwa 0,3 bis 1,5 mm kann verwendet werden.
  • Der Aufzeichnungsdünnfilm 2 kann durch normale Dampfphasen-Dünnfilmabscheidung wie z. B. durch einen Vakuumaufdampfverfahren, eine Sputtertechnik, eine Ionenplattierung, ein CVD-(Chemical Vapor Deposition)-Verfahren, ein MBE-(Molecular Beam Epitaxie)-Verfahren oder dergleichen aufgebracht werden.
  • Das optische Informationsaufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung kann als Einzelplattenscheibe verwendet werden, indem es mit einem Harz überzogen wird, welches gemäß Darstellung in 2 mit Ultraviolettstrahlen gehärtet wird, oder als eine zweiseitige Scheibe, indem sie mit einem Kleber 4 aus einem mit Ultraviolettstrahlen gehärteten Harz oder einem Heißschmelztyp gemäß Darstellung in 3 laminiert wird.
  • In dem optischen Informationsaufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung kann eine dielektrische Schutzschicht wie z. B. ZnS-SiO2-Mischmaterial in geeigneter Weise auf jeder Seite des Substrats oder auf einer dem Aufzeichnungsdünnfilm entgegengesetzten Seite des Substrats oder auf beiden Seiten nach Bedarf für den Zweck der Begrenzung der Zunahme von Rauschen, welches durch thermische Beschädigung in dem Aufzeichnungsfilm oder dergleichen verursacht wird, vorgesehen werden.
  • In dem optischen Informationsaufzeichnungsmedium der vorliegenden Erfindung kann beispielsweise ein aus einem Metall wie z. B. Au, Al oder dergleichen oder einem darauf basierenden Legierungsmaterial bestehende reflektierende Schicht auf der dem Aufzeichnungsdünnfilm gegenüberliegenden Seite auf das Substrat nach Bedarf für den Zweck der Verbesserung des Absorptionsgrades und optischen Reflexionsgrades aufgebracht werden, was eine thermische Belastung in einem Aufzeichnungsdünnfilm und dergleichen verringert.
  • 4 stellt eine Querschnittsansicht eines Konfigurationsbeispiels eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums mit mehreren Informationsschichten gemäß der vorliegenden Erfindung dar. In 4 bezeichnet 1 ein transparentes Substrat, 5 ist eine erste Informationsschicht, bestehend aus einem Aufzeichnungsdünnfilm, dessen Hauptkomponenten Te, 0 und M sind, 6 ist eine Trennschicht und 7 ist eine zweite Informationsschicht. Information wird durch Aufstrahlen eines Laserstrahls 8 von der Seite des transparenten Substrates aus durch eine Objektivlinse 9 hindurch aufgezeichnet und wiedergegeben.
  • Ein Polycarbonatharz, ein Polymethylmethacrylatharz, eine Polyolefinharz, ein ARTON-Harz, Glas oder dergleichen kann als ein Material für das transparente Substrat 1 verwendet werden. Die Dicke des transparenten Substrats ist nicht speziell definiert, aber ein transparentes Substrat mit einer Dicke von etwa 0,3 bis 1,5 mm kann verwendet werden.
  • Die erste Informationsschicht 5 und die zweite Informationsschicht 7 können durch eine normale Dampfphasen-Dünnfilmabscheidung wie z. B. durch einen Vakuumaufdampfverfahren, eine Sputtertechnik, eine Ionenplattierung, ein CVD-(Chemical Vapor Deposition)-Verfahren, ein MBE-(Molecular Beam Epitaxie)-Verfahren oder dergleichen aufgebracht werden.
  • Eine Hauptrolle des vorstehend erwähnten Atoms M ist die Unterdrückung des Phänomens der Zeitdauer bis zur Sättigung der Signalstärke nach der Aufzeichnung in der ersten Informationsschicht 2 durch Lasererwärmung. Für diesen Zweck können nahezu alle metallischen Elemente einschließlich eines Metalloids und eines Halbleiters angewendet werden, obwohl es einen Unterschied in der Auswirkung gibt. Insbesondere ist ein Edelmetall hinsichtlich der Feuchtigkeitsbeständigkeit und Korrosionsbeständigkeit zu bevorzugen, da es eine hervorragende Oxidationsbeständigkeit besitzt. Insbesondere sind Pd, Au oder dergleichen für die Verbesserung der Signalstärke günstig.
  • Zur effektiven Nutzung des Laserstrahls 8 ist das Material der Trennschicht 6 bevorzugt ein Material mit einer niedrigen Absorption für das insbesondere durch die erste Informationsschicht 5 in einem Wellenlängenbereich des Laserstrahls 8 hindurchgelassene Licht. Daher können ein transparenter Kleber, oder ein Harz, Glasmaterial oder dergleichen sowie das Substratmaterial ebenfalls verwendet werden.
  • Es ist erforderlich, daß die Dicke der Trennschicht 6 wenigstens dieselbe wie die Tiefenschärfe (ΔZ) ist, welche durch eine numerische Apertur NA der Objektivlinse 9 und eine Wellenlänge λ des Laserstrahls 8 bestimmt ist, so daß ein Nebensprechen von einer weiteren Informationsschicht zum Zeitpunkt der Wiedergabe von Information in einer Informationsschicht verringert wird. In diesem Falle kann die Tiefenschärfe (ΔZ) im allgemeinen durch die nachstehende Formel (Formel 1) angenähert werden, wenn die Tiefenschärfe (ΔZ) durch den Abstand eines optischen Brennpunktes auf einer optischen Achse eines Laserstrahls in dem Falle keiner Abberation und einem Punkt, an welchem die Intensität des Laserstrahls 80% von der am Brennpunkt beträgt, definiert ist. ΔZ = λ/[2 (NA)2] (Formel 1)
  • Beispielsweise ist es in dem Falle von λ = 680 nm und NA = 0,60 ΔZ = 0,944 um. Daher ist es, da ± 1,0 um innerhalb der Schärfentiefe in dem Falle der Verwendung dieses optischen Systems liegt, zu bevorzugen, die Dicke der Trennschicht 6 auf einen Wert auf wenigstens mehr als 2,0 um einzustellen und der obere Grenzwert liegt bevorzugt bei 100 um.
  • Um zu ermöglichen, daß Information mit hoher Dichte in zwei Informationsschichten aufgezeichnet und wiedergegeben wird, ist es erforderlich, daß die Dicke der Trennschicht 6 innerhalb der Toleranz der Basismaterialdicke liegt, d. h., innerhalb der Toleranz der Objektivlinse mit der zusätzlichen Dicke des transparenten Substrates 1, so daß der Abstand zwischen den zwei Schichten in dem Bereich liegt, in dem die Objektivlinse 9 Lichtstrahlen sammeln kann.
  • Die Te, O und M aufweisende erste Informationsschicht 5, kann in geeigneter Weise versehen werden mit: einer dielektrischen Schutzschicht, welche beispielsweise aus einem Ge mischmaterial aus ZnS-SiO2 oder dergleichen besteht, für den Zweck der Begrenzung oder Verringerung von durch thermische Beschädigung eines Aufzeichnungsfilms verursachtes Rauschen oder zur Steuerung des optischen Reflexionsgrades, des Lichttransmissionsgrades oder dergleichen; einer reflektierenden Schicht bestehend aus einem Metall wie z. B. Au, Al oder dergleichen oder einem Legierungsmaterial auf der Basis von diesen für den Zweck der Verbesserung des optischen Reflexionsgrades, der Verringerung der thermischen Belastung in dem Aufzeichnungsdünnfilm und dergleichen nach bedarf entweder auf einer oder beiden Seiten des Substrates des Aufzeichnungsdünnfilms in der ersten Informationsschicht 5 und/oder auf der gegenüberliegenden Seite des Substrates.
  • Die zweite Informationsschicht 7 kann irgendein Medium eines nochmalig beschreibbaren Typs sein, welcher Information aufzeichnen, löschen und wiedergeben kann, oder ein nur einmal schreibfähiger Typ, welcher Information aufzeichnen und wiedergeben kann, und ein Nur-Wiedergabe-Typ, welcher gespeicherte Information wiedergeben kann. In diesem Prinzip werden mehrere verschiedene Zustände, optisch oder magnetisch detektiert als Informationssignale verarbeitet.
  • Es ist auch möglich, ferner eine dritte Informationsschicht vorzusehen, um darin Information aufzuzeichnen und wiederzugeben, d. h., es ist möglich, ein mehrschichtiges Aufzeichnungsmedium mit drei Schichten oder mehr in dem Falle zu erzielen, in welchem die zweite Informationsschicht 7 ein Dünnfilm ist, welcher Te-O-M als Hauptkomponenten wie in der ersten Informationsschicht aufweist, und die Filmdicke das Erzielen eines geeigneten optischen Reflexionsgrades und Lichttransmissionsgrades ermöglicht.
  • Die Informationsmenge, die pro Medium verarbeitet werden kann, kann ferner verdoppelt werden, indem eine doppelseitige Struktur durch Lamination der zwei vorstehend erwähnten eine Mehrschichtenstruktur aufweisenden Medien übereinander erzeugt wird, wobei die Seiten der zweiten Informationsschicht 7 von jedem Medium einander gegenüberliegen.
  • In der vorstehend erwähnten Scheibenstruktur werden natürlich Signale mit einer hohen Qualität in jeder Informationsschicht aufgezeichnet und/oder wiedergegeben, und es ist ferner in Hinblick auf den Aufbau einer Wiedergabeeinheit vorzuziehen, daß der Signalpegel aus jeder Schicht gleich ist. Um dieses zu erzielen, ist eine optische Auslegung erforderlich, welche es ermöglicht, daß die Menge des von jeder Schicht erhaltenen reflektierten Lichtes gleich ist. Diese optische Auslegung wird nachstehend erläutert.
  • In dem Falle der ersten Informationsschicht 5 alleine werden der optische Reflexionsgrad und der Lichttransmissionsgrad durch R1 bzw. T1 angegeben. In dem Falle der zweiten Informationsschicht 7 alleine wird der optische Reflexionsgrad durch R2 angegeben. Der optische Reflexionsgrad r2 eines Mediums bei der Wiedergabe von Information in der zweiten Informationsschicht 7 zeigt einen optischen Reflexionsgrad, welcher durch den Laserstrahl 8 erhalten wird, der durch die erste Informationsschicht 5 hindurch geschickt wird, durch die zweite Informationsschicht 7 reflektiert wird und wieder durch die erste Informationsschicht 5 hindurch geschickt wird. Der optische Reflexionsgrad r2 ist bevorzugt einem optischen Reflexionsgrad r1 des Mediums bei der Wiedergabe von Information in der ersten Informationsschicht 5 gleich. Hier wird die Beziehung zwischen r1 und r2 durch die nachstehende Formel (Formel 2) ausgedrückt. r1 = R1, r2 = T12 * R2 (Formel 2)
  • Es ist ideal, daß r1 und r2 gleich sind, aber in der Praxis liegt im allgemeinen eine gewisse Toleranz dahingehend vor, daß beispielsweise das Verhältnis (K) von r1 zu r2, K = r1/r2 zwischen 0,2 < K < 5,0 ist. Das Material, die Zusammensetzung und die Filmdicke können so gewählt werden, daß der optische Reflexionsgrad und der Lichttransmissionsgrad in die Toleranz fallen. In dem Falle, in welchem jede Schicht eine Informationsschicht ist, welche aufzeichnen kann, ist es erforderlich, die optische Auslegung so auszuführen, daß die Werte von K in allen Fällen nicht die Toleranz überschreiten, da der optische Reflexionsgrad und der Lichttransmissionsgrad in jeder Schicht vor und nach der Aufzeichnung variieren.
  • 5 stellt eine schematische Zeichnung einer Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium gemäß der vorliegenden Erfindung dar. Ein von einem Halbleiterlaser 10 ausgegebener Laserstrahl 8 wird bei einer Kollimatorlinse 11 gesammelt, was zu parallelen Strahlen führt. Die parallelen Strahlen werden auf eine optische Scheibe 17 fokussiert, indem die Objektivlinse unter Verwendung einer Tauchspule 16, durch einen Strahlteiler 12, durch eine λ/4-Wellenplatte 13 und eine Objektivlinse 9 auf und ab verschoben wird. Die optische Scheibe 17 ist auf einem Drehteller 14 befestigt und wird durch einen Motor 18 gedreht, womit Informationssignale aufgezeichnet werden. Die Bezugszeichen 20 und 21 zeigen ein Eingangssignal bzw. ein wiedergegebenes Ausgangssignal an.
  • Bei der Aufzeichnung der Informationssignale wird die Intensität eines Laserstrahls wenigstens innerhalb der nachstehenden Leistungspegel moduliert; einem Leistungspegel P1, der ausreicht, um einen bestrahlten Teil in dem Falle einer Bestrahlung während einer Modulation des Strahls zu kristallisieren; und Leistungspegeln P2 und P3, welche in dem Falle einer Aufstrahlung des Strahls ohne Modulation (P1 > P2 ≥ P3 > 0) nicht kristallisieren.
  • Im Falle der Erzeugung wenigstens einer Markierung, länger als die Markierung, die von den aufzuzeichnenden Markierungen mit verschiedener Länge die kürzeste ist, ist eine Impulsform zur Erzeugung einer Markierung ein Aufzeichnungsimpulszug bestehend aus mehreren Impulszügen, welche zwischen dem Leistungspegel P1 und P3 moduliert wurden und der Teil, an welchem keine Markierung erzeugt wird, konstant auf dem Leistungspegel P2 gehalten wird.
  • In 6 sind einige Beispiele einer Wellenform in dem Falle einer Aufzeichnung von 7T-Markierungen in dem Aufzeichnungsimpulszug dargestellt. In einer Ausführungsform gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein in 6A dargestellter Impuls verwendet, wobei aber eine in 6B und 6C dargestellte oder andere Wellenformmuster auch verwendet werden können.
  • Im Falle der Wiedergabe dieses Informationssignals wird ein kontinuierliches Licht mit einer Wiedergabeleistung P4 auf eine optische Scheibe wie bei der Aufzeichnung aufgestrahlt und dessen reflektiertes Licht tritt in einen Detektor 15 ein. Dann wird die Veränderung in der Menge des reflektierten Lichtes als ein reproduziertes Signal detektiert.
  • Im Falle einer Aufzeichnungs- und Wiedergabeinformation in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium, welches mit mehreren Informationsschichten gemäß Darstellung in 4 ausgestattet ist, sind eine Schichtenerkennungseinrichtung, eine Schichtenwechseleinrichtung und dergleichen erforderlich, um Information durch Auswählen irgendeiner der mehreren Informationsschichten aufzuzeichnen oder wiederzugeben. Diese ist beispielsweise in der Japanischen Patentanmeldung Nr. Hei 07-82248 beschrieben und wurde beispielsweise in einer Aufzeichnungs- und Wiedergabevorrichtung einer optischen DVD-Scheibe ausschließlich für Wiedergabe eingebaut, welche be reits vermarktet wurde. Daher kann eine Schichterkennungseinrichtung, eine Schichtwechseleinrichtung und dergleichen, welche bereits technisch realisiert sind, verwendet werden.
  • Anschließend wird ein typisches Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums gemäß der vorliegenden Erfindung erläutert. 7 ist eine Zeichnung, welche den Ablauf darstellt. Als erster Prozeß zur Herstellung eines Films (7A) wird eine erste Informationsschicht 5, die ein Te, 0 und ein Metallelement M aufweisender Film ist, auf dem ersten Substrat 1 durch das vorstehend erwähnte Verfahren so erzeugt, daß er eine Filmdicke in dem Bereich von 10 nm bis 50 nm aufweist, und der Zusammensetzungsanteil der O-Atome und der M-Atome in dem Bereich von 40 Atom% bis 60 Atom% bzw. 2 Atom% bis 25 Atom% liegt. In ähnlicher Weise wird als zweiter Prozeß zur Herstellung eines Films (7B) die zweite Informationsschicht 7 auf dem zweiten Substrat 19 ausgebildet. Als ein Laminationsprozeß (7C) wird ein Klebermaterial, wie z. B. ein Ultravioletthärtbares Harz oder dergleichen auf die Filmoberfläche eines von dem ersten oder zweiten Substrat aufgebracht, welches mit der Filmoberfläche eines weiteren gegenüberliegenden Substrats laminiert wird. Falls erforderlich wird das Klebermaterial mittels eines vorbestimmten Verfahrens, wie z. B. einer Bestrahlung mit einem Strahl wie etwa einem Ultraviolettstrahl oder dergleichen von der Seite irgendeines der Substrate gehärtet und somit eine Trennschicht 6 ausgebildet. Für den Zweck der Erzeugung eines Filmes in nur einem Prozeß oder dergleichen ist auch das nachstehende Verfahren möglich: Nach dem Erzeugen der ersten Informationsschicht 5, der Trennschicht 6 und der zweiten Informationsschicht 7 entweder auf dem ersten Substrat 1 oder dem zweiten Substrat 19 wird ein weiteres Substrat auf das Substrat laminiert.
  • (Ausführungsform 1)
  • Auf einem transparenten Substrat bestehend aus einem Polycarbonatharz mit einer Dicke von 0,6 mm, welches mit Rillen mit einem Rillenraster von 1,48 um zum Führen eines Lasers versehen ist, wurde ein Aufzeichnungsdünnfilm von etwa 40 nm bestehend aus Te, 0 und Pd mittels Sputtertechnik unter Verwendung einzelner Metall-Targets (mit einem Durchmesser von 4 Inch und einer Dicke von etwa 6 mm) sowohl als Te als auch Pd in einer Atmosphäre aus Argon und O2 mit einem Gesamtdruck von 2 bis 3 mTorr als Sputtergas und in einem Bereich von 30 bis 150 Watt als Sputterleistung abgeschieden, und so Scheiben Nr. 1 bis 20 erzeugt, welche mit einem Ultraviolett-Harz überzogene Einzelscheiben waren. Die Scheiben wurden unter Veränderung ihrer Zusammensetzung hergestellt, um die Abhängigkeit der Aufzeichnungseigenschaft von der Zusammensetzung des Aufzeichnungsdünnfilms zu überprüfen. Tabelle 1 stellt die Ergebnisse der elementaren Analyse des Aufzeichnungsfilms in jeder Scheibe durch eine Auger-Elektronenspektroskopie (hierin nachstehend als AES bezeichnet) dar. 1 stellt die Zusammensetzung jeder Scheibe auf der Basis der Ergebnisse dar.
  • Tabelle 1
    Figure 00310001
  • Einzel-Targets aus Te und Pd wurden als Rohmaterial für die Erzeugung eines Filmes mittels Sputtertechnik verwendet. Ein ähnlicher Aufzeichnungsdünnfilm kann jedoch durch Verwendung von Targets aus einer Te-Pd-Legierung, TeO2 oder dergleichen erzielt werden.
  • Die Filmdicke wurde mit etwa 40 nm gewählt, um die Veränderung im optischen Reflexionsgrad zu vergrößern. Als ein Beispiel stellt 8 die Abhängigkeit des optischen Reflexionsgrades von der Filmdicke bei einer Wellenlänge von 680 nm in einem Film mit derselben Zusammensetzung wie die Scheibe Nr. 7 dar.
  • In 8 bezeichnet Ra den optischen Reflexionsgrad in einem Zustand wie abgeschieden, d. h., in einem nicht aufgezeichneten Zustand, Rc bezeichnet den optischen Reflexionsgrad in einem Kristallzustand und ΔR ist ein Unterschied im optischen Reflexionsgrad, d. h., ein Wert, welcher durch Subtraktion von Ra von Rc erhalten wird. Nach der Lamination von Te-O-Pd-Filmen mit verschiedenen Filmdicken auf ein Polycarbonatsubstrat wurden diese Werte durch Messen des optischen Reflexionsgrades unter Verwendung eines Spektroskops erhalten. Die Probe in einem Kristallzustand wurde mittels einer Kristallisierungsbehandlung unter Verwendung eines Laserstrahls mit einer vorbestimmten Leistung hergestellt.
  • Gemäß 8 ist ΔR bei einer ungefähren Filmdicke von 50 nm und 140 nm in dem Film mit dieser Zusammensetzung am größten. Insbesondere hat eine Filmdicke in der Nähe von etwa 40 nm den Vorteil in der Stabilität eines Servos, was die Fokussierung und/oder Spurverfolgung oder dergleichen betrifft, da der optische Reflexionsgrad Ra in einem nicht aufgezeichneten Zustand für diese Dicke groß ist. Zusätzlich besteht auch ein Vorteil darin, daß die Kosten reduziert werden können, da sie relativ dünn ist.
  • Dieses ist jedoch das Ergebnis nur in einer bestimmten Zusammensetzung bei einer Wellenlänge von 680 nm. Der für die Verwendung als ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium geeignete Filmdickenbereich ist 10 nm bis 200 nm, bevorzugter 10 nm bis 70 nm, obwohl er sich beispielsweise abhängig von der Zusammensetzung von Te/O/Pd unterscheidet, ob eine dielektrische Schutzschicht die einen Aufzeichnungsfilm berührt, vorhanden ist oder nicht, und/oder von einer Wellenlänge eines Laserstrahls.
  • In der vorstehend erwähnten Scheibe wurde eine Markierungsrandaufzeichnung mit einer Bitlänge b von 0,41 um bei einer Lineargeschwindigkeit von 6,0 m/s unter Verwendung eines optischen Systems mit einer Wellenlänge von 680 nm und NA von 0,6 durchgeführt. Unter dieser Bedingung ist, wenn die Strahlintensität eines Laserstrahls durch eine Gauß'sche Verteilung angenähert werden kann und ein Durchmesser, in welchem die Strahlintensität 1/e von der in einem Fleckmittelpunkt als ein Fleckdurchmesser d definiert ist, der Fleckdurchmesser d = 0,69 um und das Verhältnis der Bitlänge b zu dem Fleckdurchmesser d ist (b/d) = 0,6.
  • Unter dieser Bedingung wurde die Laserleistung zwischen P1 und P3 moduliert (P1 ist eine Aufzeichnungsleistung (Spitzenleistung in dem Bereich von 5,0 bis 17,0 mW; P2 ist eine Arbeitspunktleistung von etwa 2,0 bis 4,0 mW; und P3 ist eine untere Leistung von 1 mW) wie es in 6A dargestellt ist, und ein Einzelsignal mit einem 3T-Zyklus oder ein (8–16)moduliertes Zufallssignal wurde einmal in noch einer nicht benutzen Spur aufgezeichnet, und somit das C/N-Verhältnis des 3T-Signals und ein Jitter des Zufallssignals bewertet.
  • Das C/N-Verhältnis wird im allgemeinen innerhalb ein paar Minuten nach der Aufzeichnung gemessen, jedoch dauert es abhängig von der Zusammensetzung eines Dünnfilms in einigen Fällen einige Zeit, bevor ein Signal nach der Aufzeichnung gesättigt ist, d. h., bis ein mit einem Laserstrahl bestrahlter Teil in einem Aufzeichnungsdünnfilm ausreichend kristallisiert ist. Daher wurde geprüft, ob sich das C/N-Verhältnis nach dem Zeitablauf vergrößerte, indem die reproduzierte Wellenform in nur einer Umdrehung (nach 34 ms) mit der in ein paar Minuten nach dem Aufzeichnen von Daten in einer Scheibe verglichen wurde.
  • Die Tabelle 1 stellt die Bewertungsergebnisse für jede Scheibe Nr. 1 bis 20 dar. Die Tabelle 1 stellt auch das C/N-Verhältnis nach nur einer Umdrehung und in ein paar Minuten nach der Aufzeichnung dar und die Grenze der Aufzeichnungsleistung, in welcher der Jitter 12,8% oder geringer ist. Gemäß Tabelle 1 wird in dem Bereich, in welchem die O-Atome in dem Aufzeichnungsdünnfilm mit weniger als 40 Atom% vorhanden sind, die thermische Interferenz zwischen den Aufzeichnungsmarkierungen vorherrschend, da die Wärmeleitfähigkeit des Aufzeichnungsdünnfilms zu hoch ist. Demzufolge steigt das C/N-Verhältnis selbst dann nicht an, wenn die Spitzenleistung erhöht wird, und wenn der Jitterwert wenigstens 12,8 beträgt.
  • Andererseits nimmt in dem Bereich, in welchem die O-Atome in dem Aufzeichnungsdünnfilm mit weniger als 40 Atom% vorhanden sind, die Empfindlichkeit etwas ab, da die thermische Leitfähigkeit des Aufzeichnungsdünnfilms abnimmt. Jedoch nimmt der Leistungsbereich, in welchem der Jitter 12,8% oder weniger ist, zu. Man kann sagen, daß dieses für ein praxisgerechtes Aufzeichnungsmedium für eine tatsächliche Aufzeichnung und Wiedergabe geeigneter ist, da es der Leistungsveränderung in einem bestimmten Umfang entsprechen muß.
  • In dem Bereich, in dem die O-Atome in dem Aufzeichnungsfilm mit mehr als 60 Atom% vorhanden sind, können die Auf zeichnungsmarkierungen nicht groß genug geschrieben werden, da die thermische Leitfähigkeit des Aufzeichnungsdünnfilms zu niedrig ist. Demzufolge ist dieses nicht für einen praktischen Einsatz geeignet, da das C/N-Verhältnis niedrig ist, und die Empfindlichkeit unzureichend wird.
  • Diese Phänomene können wie folgt erklärt werden. D. h., in einem Te-O-Pd-Aufzeichnungsdünnfilm kann angenommen werden, daß Te- und Pd-Atome in einer TeO2-Matrix verteilt sind. Wenn dieser Aufzeichnungsfilm durch einen aufstrahlenden Laserstrahl erwärmt wird, beginnen die Te- und Pd-Atome, welche verteilt wurden, zu wandern und die Kristallisation setzt sich durch die Bindungen hindurch fort, was zu einer Zunahme des optischen Reflexionsgrades führt.
  • In diesem Falle können die Te- und Pd-Atome in einer relativ kurzen Strecke in dem Falle gebunden werden, in welchem das Verhältnis der Te- und Pd-Atome für die TeO2-Matrix relativ hoch ist. Daher kann eine Markierung mit relativ kleiner Aufzeichnungsleistung und in relativ kurzer Zeit erzeugt werden.
  • Jedoch nimmt eine Überschußwärme zu, wenn die Aufzeichnungsleistung zunimmt. Diese Wärme wird zu der peripheren Markierung der Markierung transportiert, und der Kristallisierungsbereich wird unnötigerweise verkleinert, was zu einer Verschmierung der Kante der Markierung und zu einem großen Jitter führt.
  • Im Gegensatz dazu ist eine relativ lange Strecke erforderlich, um die Te- und Pd-Atome in dem Falle zu binden, in welchem das Verhältnis der Te- und Pd-Atome für die TeO2 Matrix relativ niedrig ist. Demzufolge wird eine relativ hohe Aufzeichnungsleistung und eine relativ lange Zeit benötigt, um eine Markierung zu erzeugen. Demzufolge ist der Kristallisierungsbereich schwierig zu verbreitern, selbst wenn die Aufzeichnungsleistung erhöht wird, was zu einem kleinen C/N-Verhältnis und einer niedrigen Empfindlichkeit führt. Unter Berücksichtigung eines derartigen Mechanismus kann eine bevorzugte Aufzeichnungseigenschaft mit hoher Dichte nur erzielt werden, wenn das Verhältnis der Te- und der Pd-Atome für die TeO2-Matrix weder zu hoch noch zu niedrig ist, d. h., in einem geeigneten Bereich liegt.
  • Genau gesagt, sollte der geeignete Bereich durch den Bereich des Verhältnisses von Te und Pd in einem Teil, der für TeO2 in einem Matrixteil kristallisiert wird, angezeigt werden, wobei jedoch nahezu derselbe Bereich durch den Bereich des Verhältnisses von O-Atomen, welche in einem Aufzeichnungsfilm enthalten sind, angezeigt werden kann. Der Bereich des Verhältnisses von O-Atomen beträgt 40 Atom% bis 60 Atom%.
  • In einer Zusammensetzung, welche kein Pd-Atom in einem Aufzeichnungsdünnfilm enthält, dauert es Zeit, bis ein Aufzeichnungsdünnfilm kristallisiert wird, d. h., bis Aufzeichnungssignale gesättigt werden, und das C/N-Verhältnis unmittelbar nach der Aufzeichnung ist niedrig, was durch Hinzufügen von Pd kompensiert wird.
  • Wie vorstehend erwähnt, wird angenommen, daß das Pd die Funktion der Förderung eines Kristallwachstums von Te zum Zeitpunkt einer Bestrahlung mit einem Laserstrahl in einem TeOx-Dünnfilm hat. Diese Funktion ermöglicht, daß ein Kristallkorn aus Te oder einer Te-Pd-Legierung die weiter kristallisiert worden ist, mit hoher Geschwindigkeit erzeugt wird. Der minimale Anteil von Pd zur Erzielung des Effektes betrug etwa 2 Atom% für den gesamten Aufzeichnungsdünnfilm.
  • Im Gegensatz dazu ist ein zu großer Anteil von Pd nicht vorteilhaft. Der Anteil von Pd, welcher den Anteil überschreitet, welcher für eine Bindung mit Te erforderlich ist, trägt nicht zur Phasenveränderung bei und verringert die Ver änderung des optischen Reflexionsgrades begleitet von einer optischen Kristallisation, was zu einem niedrigen C/N-Verhältnis führt. Die Grenze für Pd betrug etwa 25 Atom% für den gesamten Aufzeichnungsfilm.
  • Somit kann unter einer Gesamtberücksichtigung des C/N-Verhältnisses (einschließlich des Verhältnisses unmittelbar nach der Aufzeichnung), der Empfindlichkeit, des Jitters und dergleichen gesagt werden, daß die für diese Aufzeichnungsbedingung geeignete Zusammensetzung für O-Atome in dem Bereich von 40 Atom% bis 60 Atom% und für Pd-Atome zwischen 2 Atom% bis 25 Atom% in einem Aufzeichnungsfilm liegt. Dieser Bereich ist in dem von A, B, C und D in 1 umgebenen Bereich dargestellt. Dieser Zusammensetzungsbereich kann geeignet gemäß einer Aufzeichnungs- und Wiedergabebedingung wie z. B. einer linearen Geschwindigkeit oder dergleichen ausgewählt werden.
  • Unter vollständig gleichen Bedingungen, außer daß die Aufzeichnungsdichte auf 0,48 um und die Bitlänge auf 0,35 um verändert wurde, d. h., unter der Bedingung, daß das Verhältnis einer Bitlänge b für einen Fleckdurchmesser d (b/d) 0,7 und 0,5 ist, wurde die Aufzeichnung und Wiedergabe in den vorstehend erwähnten Scheibennummern 1 bis 20 durchgeführt. Aus den Ergebnissen wurde ein Zusammensetzungsbereich, in welchem eine ausreichende Aufzeichnungseigenschaft unter dieser Bedingung dargestellt wurde, wie in dem vorstehend erwähnten Falle von b/d = 0,6 ermittelt. Die Ergebnisse sind in 9 einschließlich des Falles von b/d = 0,6 dargestellt. Anhand 9 kann man sehen, daß der Zusammensetzungsbereich sowohl von 0 als auch Pd, welcher eine ausreichende Aufzeichnungseigenschaft zeigt, kleiner wird, wenn das Verhältnis b/d abnimmt.
  • In der vorstehenden Erläuterung wurde ein Material bestehend aus nur drei Elementen von Te, O und Pd als ein Auf zeichnungsdünnfilm verwendet. Jedoch kann für den Zweck der Feinabstimmung jeder Eigenschaft, wie z. B. der Wärmeleitfähigkeit, einer optischen Konstante oder dergleichen, der Verbesserung der Wärmebeständigkeit, der Umweltzuverlässigkeit oder dergleichen wenigstens ein Element, das von einem Metall, Metalloid, Halbleiter und einem nichtmetallischen Element wie z. B. aus Au, Pt, Ag, Cu, Bi, Si, Se, S, N, F, C oder dergleichen ausgewählt wird, einem Aufzeichnungsdünnfilm in geeigneter Weise nach Bedarf als Hilfszusatz hinzugefügt werden. Im allgemeinen kann der Hilfszusatz in den Bereich eines Zusammensetzungsverhältnisses innerhalb etwa 5 Atom% des gesamten Aufzeichnungsdünnfilms zugesetzt werden.
  • Das optische Informationsaufzeichnungsmedium gemäß der vorliegenden Erfindung, das die Hauptkomponenten Te, 0 und Pd besitzt, wobei ein Zusammensetzungsverhältnis von O-Atomen 40 Atom% bis 60 Atom% und das von Pd-Atomen 2 Atom% bis 25 Atom% beträgt, besitzt eine Zusammensetzung, welche für ein Aufzeichnungs- und Wiedergabeverfahren unter der Bedingung von beispielsweise b/d = 0,7 oder darunter wie vorstehend erwähnt geeignet ist. Es kann jedoch bei einem herkömmlichen Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben unter der Bedingung eines b/d von mehr als 0,7 angewendet werden.
  • (Ausführungsform 2)
  • Auf einem ersten transparenten Substrat bestehend aus einem Polycarbonatharz mit einer Dicke von 0,6 mm, versehen mit Rillen mit einem Rillenraster von 1,48 um zum Führen eines Lasers, wurde ein Aufzeichnungsdünnfilm bestehend aus Te, 0 und Pd bis zu einer Dicke von etwa 20 nm als eine erste Informationsschicht unter Verwendung einer Sputtertechnik unter Verwendung von einzelnen Material-Targets (mit einem Durchmesser von 4 Inch und einer Dicke von etwa 6 mm) sowohl aus Te als auch Pd in einer Atmosphäre aus Ar und O2 mit einem Gesamtdruck von etwa 2 bis 3 mTorr als Sputtergas und in einem Bereich von 30 bis 150 Watt Sputterleistung auflaminiert. Anschließend wurde ein Aufzeichnungsdünnfilm bestehend aus Te, 0 und Pd auf eine Dicke von etwa 60 nm als eine zweite Informationsschicht auf ein zweites Substrat ähnlich dem ersten Substrat mittels desselben Verfahrens aufgebracht. Die Zusammensetzung beider Informationsschichten ist Te : O : Pd = 42 : 46 : 12 (ein Verhältnis in der Anzahl von Atomen) gemäß einer Auger-Elektronenspektroskopie (hierin nachstehend als AES bezeichnet). Einzel-Targets aus Te und Pd wurden als ein Rohmaterial für die Erzeugung des Films durch eine Sputtertechnik verwendet. Jedoch kann ein ähnlicher Aufzeichnungsdünnfilm auch unter Verwendung eines Targets aus einer Te-Pd-Legierung und TeO2 oder dergleichen erzielt werden.
  • Das vorstehend erzielte zweite Substrat wurde horizontal mit der Dünnfilmoberfläche nach oben weisend gehalten und ein Ultraviolett-härtbares Harz wurde auf die Dünnfilmoberfläche als eine Trennschicht aufgebracht, auf welche das erste Substrat mit der Dünnfilmoberflächenseite nach unten weisend aufgepreßt wurde. Dann wurde es für eine bestimmte Zeit bei einer konstanten Drehzahl gedreht, um so eine Trennschicht mit einer gewünschten Dicke zu erhalten, und somit überschüssiges Ultraviolett-härtbares Harz entfernt. Als ein nächster Schritt wurde das Harz durch Bestrahlung mit einem Ultraviolettlampenstrahl von der Seite des ersten Substrates aus gehärtet. Als Ergebnis war die Dicke der gemessenen Trennschicht etwa 40 μm, was dicker als die vorstehend erwähnte Tiefenschärfe war.
  • Die in diesem Falle gewählte Filmdicke basiert auf der nachstehenden optischen Auslegung. 10 stellt die Abhängigkeit des optischen Reflexionsgrades und des Lichttransmissionsgrades eines Te-O-Pd-Films bei einer Wellenlänge von 680 nm von der Filmdicke dar. In 10 bezeichnen Ra und Ta einen optischen Reflexionsgrad und Lichttransmissionsgrad im Zustand wie abgeschiedenen, d. h., im nicht aufgezeichneten Zustand, Rc und Tc bezeichnen den optischen Reflexionsgrad und Lichttransmissionsgrad in einem Kristallzustand und ΔR ist ein Unterschied in dem optischen Reflexionsgrad, d. h., der Wert, welcher durch Subtraktion von Ra von Rc erhalten wird. Nach der Lamination der Te-O-Pd-Filme mit verschiedenen Filmdicken auf einem Polycarbonatsubstrat, wurden diese Werte durch Messung des optischen Reflexionsgrades und der Lichttransmission unter Verwendung eines Spektroskops erhalten. Die Probe in einem Kristallzustand wurde mittels einer Kristallisierungsbehandlung unter Verwendung eines Laserstrahls mit vorbestimmter Leistung durchgeführt.
  • Um die Stärke der aufgezeichneten Signale zu vergrößern, sollte ΔR vergrößert werden. Gemäß 6 ist jedoch ΔR für eine angenäherte Filmdicke von 40 nm und 140 nm in dem Film mit dieser Zusammensetzung am größten. Es wird nahezu kein Strahl bei einer Filmdicke von etwa 140 nm durchgelassen. Im Gegensatz dazu wird ein Strahl in einem gewissen Umfang mit einer Filmdicke von etwa 40 nm durchgelassen, welche als eine erste Informationsschicht geeignet ist. Die erste Filmdicke von etwa 40 nm hat den Vorteil bei der Wiedergabe von Signalen und der Stabilität eines Servos wie z. B. bei der Fokussierung, Spurverfolgung und dergleichen, da eine ausreichende Menge an reflektiertem Licht aufgrund eines hohen optischen Reflexionsgrades erzielt werden kann. Aus den vorstehend erwähnten Gründen, wurde die Dicke der ersten und der zweiten Informationsschicht zu etwa 40 nm gewählt. Unter besonderer Gewichtung des Lichttransmissionsgrades wurde eine Dicke von 20 nm, welche dünner als 40 nm ist und einen optischen Reflexionsgrad in einem gewissen Maße aufweist, für die erste Informationsschicht gewählt. Unter besonderer Gewichtung des optischen Reflexionsgrades wurde eine Dicke von 55 nm, in welcher der optische Reflexionsgrad am höchsten wird, für die zweite Informationsschicht ausgewählt.
  • Tabelle 2 stellt einen tatsächlichen Meßwert für die vorstehend erwähnten R1, T1 und R2 dar und berechnet die Werte (unter Verwendung der Formel 2) aus r1 und r2 in jedem Fall des Abscheidungszustandes und des Kristallzustandes jeder Informationsschicht für einen Strahl mit einer Wellenlänge von 680 nm in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium mit der vorstehend erwähnten Struktur der Filmdicke dar.
  • Tabelle 2
    Figure 00410001
  • Figure 00420001
  • Gemäß Tabelle 2 ist das Verhältnis (K) von r1 zu r2 (K = r1/r2) 1,0 oder 2,0, da r1 6% ist und r2 6% oder 3% in dem Zustand "wie abgeschieden" in den ersten und zweiten Informationsschichten ist. In den ersten und zweiten Informationsschichten ist der Wert von K gleich 1, 1 oder 2, 0, da r1 14% ist und r2 13% oder 7% in einem "kristallisierten" Zustand ist. Demzufolge fällt der Wert von K unter Berücksichtigung aller Fälle in den Bereich von 1,0 bis 2,0.
  • Es ist erforderlich, daß die erste Informationsschicht einen hohen Lichttransmissionsgrad besitzt und eine geeignete optische Reflexion, um einen Wert von K innerhalb der Toleranz zu erhalten. Insbesondere in dem Falle der Verwendung eines allgemeinen Aufzeichnungsdünnfilms, welcher eine Aufzeichnung bei wenigstens 6 mW erfordert, als zweite Informationsschicht, ist die Lichttransmission bevorzugt wenigstens 40%, da ein Halbleiterlaser, welcher in Massen produziert werden kann, eine Ausgangsleistung von nur etwa 15 mW hat. Der Bereich der Filmdicken, der diese Anforderung erfüllt, liegt in dem Bereich von 10 nm bis 50 nm, wie es aus 10 ersichtlich ist, obwohl dieses abhängig von der Zusammensetzung, der Wellenlänge eines Laserstrahls oder dergleichen unterschiedlich ist.
  • In der vorstehend erwähnten Scheibe, wurde eine Markierungsrandaufzeichnung mit einer Bitlänge b von 0,41 um bei einer Lineargeschwindigkeit von 6,0 m/s unter Verwendung ei nes optischen Systems mit einer Wellenlänge von 860 nm und einer NA von 0,6 durchgeführt.
  • Unter dieser Bedingung ist, wenn die Strahlintensität eines Laserstrahls durch eine Gauß'sche Verteilung angenähert werden kann und ein Durchmesser, in welchem die Strahlintensität 1/e von der in einem Fleckmittelpunkt als ein Fleckdurchmesser d definiert ist, der Fleckdurchmesser d = 0,69 um und das Verhältnis der Bitlänge b zu dem Fleckdurchmesser d ist (b/d) = 0,6.
  • Unter dieser Bedingung wurde die Laserleistung zwischen P1 und P3 moduliert (P1 ist eine Aufzeichnungsleistung (Spitzenleistung in dem Bereich von 5,0 bis 15,0 mW; P2 ist eine Arbeitspunktleistung von etwa 2,0 bis 3,0 mW; und P3 ist eine Wiedergabeleistung von 1 mW) wie es in 6A dargestellt ist, und ein Einzelsignal mit einem 3T-Zyklus oder ein (8-16)-moduliertes Zufallssignal wurde aufgezeichnet, um somit das C/N-Verhältnis zu messen. Ein (8–16)-moduliertes Zufallssignal wurde aufgezeichnet, um somit einen Jitter zu messen Das C/N-Verhältnis wird im allgemeinen innerhalb ein paar Minuten nach der Aufzeichnung gemessen, jedoch dauert es abhängig von der Zusammensetzung eines Dünnfilms in einigen Fällen einige Zeit, bevor ein Signal nach der Aufzeichnung gesättigt ist, d. h., bis ein mit einem Laserstrahl bestrahlter Teil in einem Aufzeichnungsdünnfilm ausreichend kristallisiert ist. Daher wurde geprüft, ob sich das C/N-Verhältnis nach dem Zeitablauf vergrößerte, indem die reproduzierte Wellenform in nur einer Umdrehung (nach 34 ms) mit der in ein paar Minuten nach dem Aufzeichnen von Daten in einer Scheibe verglichen wurde.
  • Als Ergebnis wurde in dem Falle einer Aufzeichnung eines Einzelsignals mit einem 3T-Zyklus das folgende C/N-Verhältnis erzielt: Etwa 51 dB bei einer Aufzeichnungsleistung von we nigstens 9 mW in der ersten Informationsschicht; in dem Falle, in welchem auf der ersten Informationsschicht nicht aufgezeichnet wurde, etwa 50 dB bei einer Aufzeichnungsleistung von wenigstens 11 mW in der zweiten Informationsschicht; und in dem Falle, in welchem auf der ersten Informationsschicht aufgezeichnet wurde, etwa 49 dB bei einer Aufzeichnungsleistung von wenigstens 12 mW in der zweiten Informationsschicht. In dem Falle einer Aufzeichnung der (8–16)zufallsmodulierten Signale wurde ein günstiges Augenmuster in einem reproduzierten Signal in jeder Informationsschicht erhalten. Die Leistungsbandbreite zur Erzielung eines Jitters von < 12,8% betrug wenigstens 30%pp.
  • Gemäß vorstehender Erläuterung kann gemäß der vorliegenden Erfindung ein optisches Informationsaufzeichnungsmedium bereitgestellt werden, in welchem eine günstige Aufzeichnungseigenschaft in einem breiten Leistungsbereich bereitgestellt werden kann. Die günstige Aufzeichnungseigenschaft bedeutet, daß das C/N-Verhältnis hoch und ein Jitter niedrig ist, insbesondere bei der Aufzeichnung und Wiedergabe von Information mit einem niedrigen Verhältnis von (b/d) einer Aufzeichnungsbitlänge b für einen Fleckdurchmesser d.

Claims (31)

  1. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium mit einer wenigstens Te-, O- und M-Atome aufweisenden Informationsschicht, wobei M wenigstens eine Art eines Atoms ist, das von einem metallischen Element, einem metalloiden Element oder einem Halbleiterelement ausgewählt wird, wobei die Informationsschicht die O-Atome mit 40 Atom% bis 60 Atom% , die M-Atome mit 2 Atom% bis 25 Atom% und die Te-Atome mit 15 Atom% bis 58 Atom% aufweist, und wobei in dem Falle, in welchem ein optischer Strahl zum Aufzeichnen von Signalen auf das optische Informationsaufzeichnungsmedium durch eine Objektivlinse hindurch aufgestrahlt wird, wenn die Strahlintensitätsverteilung durch eine Gauß'sche Verteilung angenähert werden kann und ein Durchmesser, in welchem die Strahlintensität 1/e von der in einem Fleckmittelpunkt als ein Fleckdurchmesser definiert ist, wobei der Fleckdurchmesser durch d angegeben und die Länge eines Aufzeichnungsbits durch b angegeben wird, die Informationssignale unter der Bedingung aufgezeichnet und wiedergegeben werden, daß das Verhältnis der Bitlänge b zu dem Fleckdurchmesser d b/d gleich 0,7 oder kleiner ist.
  2. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei die Filmdicke der Informationsschicht zwischen 10 nm bis 200 nm liegt.
  3. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei die Filmdicke der Informationsschicht zwischen 10 nm bis 70 nm liegt.
  4. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei ferner eine Überzugsschicht auf der Informationsschicht vorgesehen ist.
  5. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium, wobei zwei Informationsaufzeichnungsmedien jeweils mit einer Informationsschicht auf einem transparenten Substrat über eine Kleberschicht verbunden sind, und wenigstens eine von den Informationsschichten die Informationsschicht nach Anspruch 1 ist.
  6. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium, wobei ferner mehrere Informationsschichten auf einer Informationsschicht über eine Trennschicht getrennt vorgesehen sind, und wobei die dem Substrat am nächsten liegende Informationsschicht die Informationsschicht nach Anspruch 1 ist.
  7. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 6, wobei die Filmdicke der dem Substrat am nächsten liegende Informationsschicht 10 nm bis 50 nm ist.
  8. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 6, wobei der Lichttransmissionsgrad der dem Substrat am nächsten liegenden Informationsschicht wenigstens 40% ist.
  9. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 4, wobei die Dicke der Überzugsschicht in dem Bereich von 2 bis 100 um liegt.
  10. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 5, wobei die Dicke der Kleberschicht in dem Bereich von 2 bis 100 um liegt.
  11. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 6, wobei die Dicke der Trennschicht wenigstens die als ΔZ = λ/[2 (NA)2] in den benachbarten Informationsschichten definierte Schärfentiefe in dem Falle ist, in welchem ein optischer Strahl mit einer Wellenlänge λ durch eine Objektivlinse mit einer numerischen Apertur von NA hindurch aufgestrahlt wird.
  12. Optisches Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 6, wobei die Dicke der Trennschicht in dem Bereich von 2 bis 100 um liegt.
  13. Optisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei das M-Atom wenigstens eine Art eines Atoms ist, welches aus wenigstens einem metallischen Element, das aus Al, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Ga, Y, Zr, Nb, Mo, Tc, Ru, Rh, Pd, Ag, Cd, In, La, Ce, Pr, Nd, Pm, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, Lu, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt, Au, Hg, T1 und Pb ausgewählt wird, wenigstens einem metalloiden Element, das aus B, C, As, Se, Sb und Bi ausgewählt wird, und wenigstens einem Halbleiterelement, das aus Si, Ge und Sn ausgewählt wird, ausgewählt wird.
  14. Optisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei das M-Atom Pd ist.
  15. Optisches Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, wobei das O-Atom in der Informationsschicht in einem Verhältnis von mehr als 45 Atom% aber nicht mehr als 60 Atom% vorhanden ist.
  16. Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium, das eine Informationsschicht, die aus einem Dünnfilmmaterial besteht, das wenigstens Te-, O- und M-Atome aufweist, wobei das M wenigstens eine Art eines Elements ist, das aus einem me tallischen Element, einem metalloiden Element oder einem Halbleiterelement ausgewählt wird, auf einem transparenten Substrat aufweist, wobei die Informationssignale durch Aufstrahlen eines optischen Strahls von der Seite des transparenten Substrates aus aufgezeichnet und wiedergegeben werden, und in dem Falle, in welchem der vorstehend erwähnte optische Strahl auf das optische Informationsaufzeichnungsmedium durch eine Objektivlinse hindurch aufgestrahlt wird, wenn die Strahlintensitätsverteilung durch eine Gauß'sche Verteilung angenähert werden kann und ein Durchmesser, in welchem die Strahlintensität 1/e von der in einem Fleckmittelpunkt als ein Fleckdurchmesser definiert ist, der Fleckdurchmesser durch d angegeben und die Länge eines Aufzeichnungsbits durch b angegeben wird, die Informationssignale unter der Bedingung aufgezeichnet werden, daß das Verhältnis der Bitlänge b zu dem Fleckdurchmesser d b/d gleich 0,7 oder kleiner ist, und wobei die Informationsschicht die O-Atome mit 40 Atom% bis 60 Atom%, die M-Atome mit 2 Atom% bis 25 Atom% und die Te-Atome mit 15 Atom% bis 58 Atom% aufweist.
  17. Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 16, wobei in dem Falle einer Modulationsintensität eines optischen Strahls wenigstens innerhalb der nachstehenden Leistungspegel P1 > P2 ≥ P3 ≥ 0. einem Leistungspegel P1, der für die Kristallisation eines bestrahlten Teils auch in dem Falle einer Bestrahlung unter Modulation des Strahls ausreicht; und Leistungspegeln P2 und P3, welche einen bestrahlten Teil auch in dem Fall einer Aufstrahlung des Strahls ohne Modulation nicht kristallisieren, und wenigstens eine Markierung erzeugen, welche länger als die kürzeste Markierung von den aufzuzeichnenden Markierungen mit bestimmten unterschiedlichen Längen ist, eine Impulsform für die Erzeugung einer Markierung ein Aufzeichnungsimpulszug ist, der aus mehreren Impulszügen besteht, welche zwischen den Leistungspegeln P1 und P3 moduliert worden sind, und der Teil, an welchem keine Markierung ausgebildet wird, konstant auf dem Leistungspegel P2 gehalten wird.
  18. Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 16, wobei der Leistungspegel P1 eine Leistung besitzt, welche eine sofortige Schmelzung des zu bestrahlenden Teils in dem Falle einer Bestrahlung unter Modulation eines Strahls bewirkt.
  19. Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 16, wobei wenigstens jeder Impuls, mit Ausnahme des ersten Impulses und des letzten Impulses dieselbe Impulsbreite aufweist und ein rechteckiger Impuls ist, und daß jeder Zwischenraum zwischen den rechteckigen Impulsen gleich ist.
  20. Verfahren zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 16, wobei ein Kühlabschnitt für den Leistungspegel P3 unmittelbar nach dem letzten Impuls in einem Aufzeichnungsimpulszug vorgesehen ist.
  21. Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium, das eine wenigstens Te-, O- und M-Atome aufweisende Informationsschicht, wobei M wenigstens eine Art eines Atoms ist, das von einem metallischen Element, einem metalloiden Element oder einem Halbleiterelement ausgewählt wird, auf einem Substrat aufweist, wobei die Vorrichtung wenigstens Informationssignale durch Aufstrahlen eines optischen Strahls von der Seite des transparenten Substrates aus aufzeichnen kann, und eine Modulationseinrichtung, die die Intensität des optischen Strahls so moduliert, daß das Verhältnis der Bitlänge b zu dem Fleckdurchmesser d b/d gleich 0,7 oder kleiner ist, in dem Falle wenigstens eine Aufzeichnung einer Bitfolge der Informationssignale durch Aufstrahlen des optischen Strahls durch eine Objektivlinse hindurch vorgesehen ist, wenn die Strahlintensitätsverteilung durch eine Gauß'sche Verteilung angenähert werden kann und ein Durchmesser, in welchem die Strahlintensität 1/e von dem in einem Fleckmittelpunkt ist, als ein Fleckdurchmesser definiert ist, und wobei die Informationsschicht die O-Atome mit 40 Atom% bis 60 Atom% , die M-Atome mit 2 Atom% bis 25 Atom% und die Te-Atome mit 15 Atom% bis 58 Atom% aufweist.
  22. Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 21, wobei in dem Falle der Modulation der Intensität eines optischen Strahls wenigstens innerhalb der nachstehenden Leistungspegel P1 > P2 ≥ P3 ≥ 0: einem Leistungspegel P1, der für die Kristallisation eines bestrahlten Teils auch in dem Falle einer Bestrahlung unter Modulation des Strahls ausreicht; und Leistungspegeln P2 und P3, welche einen bestrahlten Teil auch in dem Fall einer Aufstrahlung des Strahls ohne Modulation nicht kristallisieren, und wenigstens eine Markierung erzeugen, welche länger als die kürzeste Markierung von den aufzuzeichnenden Markierungen mit bestimmten unterschiedlichen Längen ist, eine Modulationseinrichtung zur Modulation der Intensität des optischen Strahls in der Weise vorgesehen ist, so daß eine Impulsform für die Erzeugung einer Markierung ein Aufzeichnungsimpulszug ist, der aus mehreren Impulszügen besteht, welche zwischen den Leistungspegeln P1 und P3 moduliert worden sind, und daß der Teil, an welchem keine Markierung ausgebildet wird, konstant auf dem Leistungspegel P2 gehalten wird.
  23. Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 22, wobei der Leistungspegel P1 eine Leistung aufweist, welche eine sofortige Schmelzung des bestrahlten Teils auch in dem Falle einer Bestrahlung unter Modulation eines Strahls ermöglicht.
  24. Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem op tischen Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 22, wobei jeder Impuls, mit Ausnahme wenigstens des ersten Impulses und des letzten Impulses dieselbe Impulsbreite aufweist und ein rechteckiger Impuls ist, und daß jeder Zwischenraum zwischen den rechteckigen Impulsen ebenfalls gleich ist.
  25. Vorrichtung zum Aufzeichnen und Wiedergeben in einem optischen Informationsaufzeichnungsmedium nach Anspruch 22, wobei ein Kühlabschnitt für den Leistungspegel P3 unmittelbar nach dem letzten Impuls in einem Aufzeichnungsimpulszug vorgesehen ist.
  26. Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums, wobei unter Verwendung eines Dünnfilmmaterials, welches Te, 0 und ein Element M aufweist, wobei M eine Art eines Atoms ist, das von einem metallischen Element, einem metalloiden Element oder einem Halbleiterelement ausgewählt wird, eine Informationsschicht, die O-Atome mit 40 Atom$ bis 60 Atom, M-Atome mit 2 Atom% bis 25 Atom% und Te-Atome mit 15 Atom% bis 58 Atom% aufweist, auf einem transparenten Substrat durch Dampfphasen-Dünnfilmabscheidung hergestellt wird, wobei in dem Falle, in welchem ein optischer Strahl zum Aufzeichnen von Signalen auf das optische Informationsaufzeichnungsmedium durch eine Objektivlinse hindurch aufgestrahlt wird, wenn die Strahlintensitätsverteilung durch eine Gauß'sche Verteilung angenähert werden kann und ein Durchmesser, in welchem die Strahlintensität 1/e von der in einem Fleckmittelpunkt als ein Fleckdurchmesser definiert ist, wobei der Fleckdurchmesser durch d angegeben und die Länge eines Aufzeichnungsbits durch b angegeben wird, die Informationssignale unter der Bedingung aufgezeichnet und wiedergegeben werden, daß das Verhältnis der Bitlänge b zu dem Fleckdurchmesser d b/d gleich 0,7 oder kleiner ist.
  27. Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums nach Anspruch 26, wobei nach einer Beschichtung einer Informationsschicht mit einem durch Energiestrahlen gehärteten Harz ferner eine Überzugsschicht durch Härten durch Aufstrahlen eines Energiestrahls erzeugt wird.
  28. Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums nach Anspruch 26, wobei zwei Informationsaufzeichnungsmedien jede mit einer Informationsschicht auf einem transparenten Sub strat hergestellt und durch Aufbringung eines durch einen Energiestrahl gehärteten Harzes oder einer Heißschmelzkleberschicht zwischen den zwei Medien verbunden werden.
  29. Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums nach Anspruch 26, wobei nach einer Beschichtung mit einem durch einen Energiestrahl gehärteten Harz auf einer Informationsschicht ferner eine Trennschicht durch Härtung durch Aufstrahlen eines Energiestrahls erzeugt und die zweite Informationsschicht ferner darauf erzeugt wird.
  30. Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums nach Anspruch 26, wobei die Informationsschicht die o-Atome mit 40 Atom% bis 60 Atom% und die M-Atome mit 2 Atom% bis 25 Atom% enthält.
  31. Verfahren zur Herstellung eines optischen Informationsaufzeichnungsmediums nach Anspruch 26, wobei die Filmdicke der Informationsschicht 10 nm bis 50 nm ist.
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