DE3036902A1 - Auf laserstrahlen ansprechendes aufzeichnungsmedium - Google Patents

Auf laserstrahlen ansprechendes aufzeichnungsmedium

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Description

SCHIFF ν. FDNER STREHL SCHDBEL-HOPF EBBINSHAUS FINCK — 3 ~
DEA-14692
Beschreibung
Die Erfindung betrifft allgemein Systeme zur Speicherung von binären Dateninformationen und insbesondere ein Datenaufzeichnungsmedium, das auf die Energie eines facusLerten Laserstrahles anspricht.
Die datenverarbeitende Industrie hat erhebliche Fortschritte gemacht, um Computersysteme und zugehörige periphere Einrichtungen zur Verarbeitung binär kodierter numerischer und alphabetischer Daten mit höheren Geschwindigkeiten ablaufen zu lassen und die Speicherung solcher Daten mit höherer Dichte und geringeren Kosten zu gewährleisten. Große Unternehmen und staatliche Dienststellen verlassen sich in zunehmendem Maße auf datenverarbeitende Einrichtungen bei der automatischen Datenerfassung, Speicherung und Verarbeitung, um die Effizienz der Handhabung von geschäftlichen Transaktionen, Berechnungsinformationen usw. zu erhöhen. Die Zunahme der Geschwindigkeit der Arbeitsweise von Computern ist im wesentlichen das Ergebnis der Fortschritte auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie, wodurch hochintegrierte Schaltungen (LSI - large scale integrated circuits) hergestellt werden konnten, die höhere Dichten binärer logischer Elemente oder Gates mit höheren Arbeitsgeschwindigkeiten ermöglichten. Erhebliche Erhöhungen der Speicherdichten wurden ebenfalls erreicht. Auf dem Gebiet der Halbleiterspeicher wurde eine Erhöhung der Bit-Dichte sowohl durch eine verbesserte LSI-Technologie, welche zu einer Verringerung der Abmessungen der- Speicherzellenelemente geführt hat, als auch durch neue LSI-Technologien,
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wie z.B. magnetische Zylinder domänenspeicher (magnetic bubble domain memories)3 erreicht. Auf dem Gebiet der magnetischen Speicher vmrden Verbesserungen der Dichte bei harten und flexiblen Plattensystemen durch Verbesserung der magnetischen Spoichermedien als auch der Lese- und Schreibköpfe, die damit verbunden sind, erzielt.
Trotz der erheblichen Vergrößerung der Dichten bei Halbleiter- und Magnetikspeichersystemen rechtfertigen die Kosten pro Bit solcher Speichermedien zusammen mit den Po!gekosten nicht die Verwendung solcher Technologien für die allgemein gebräidiliche Speicherung üblicher geschäftlicher Aufzeichnungen in großem Umfange, wie z.B. die Korrespondenz , Berichte, Formblätter, gesetzlicher Dokumente usw. . Die Speicherung und Aufrechterhaltung sowohl laufender Arbeitsakten mit solchen Dokumenten als auch die Archivierung ausgewählter Dokumente, die für eine lange Zeit sicher aufbewahrt werden müssen, wird nach wie vor im großen Umfang von Hand durchgeführt, wodurch die Personalkosten und die Kosten für den Aufbewahrungsraum ständig zunehmen.
Die digitale Aufzeichnungstechnologie mittels Laser ist vor kurzer Zeit entxiickelt worden, um binäre Datenspeicher hoher Dichte auszustatten, die leicht soi-rohl mit datenverarbe it enden. Rechnereinrichtungen als auch mit Faksimiledokumentabtastung und Druckapparat;en integriert werden können. Diese Technologie ermöglicht eine optische Aufzeichnung von Bilddaten in hochdichtem Format in vertretbarer Zeit und einen schnellen optoelektronischen Zugang zu den gespeicherten Bilddaten und kann auf diese Weise die Grundausstattung für rechnergesteuerte Dokumentspeicherung und erneute Aufnahme und ein allgemeines Aufzeichnungssteuerungssystem ergeben. Bei dieser Technologie ist ein Schreib- und Lessystem mit Laserstrahlen das Zentrum, mit Hilfe dessen die Speicherung binärer Digitalinformationen in Form vorhandener oder nichtvorhandener kleiner Löcher möglich ist, die in einem dünnen Film des Aufzeichnungsmediums
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mit hochfocussiertem modulierten Laserstrahl gebildet sind, der über das Aufzeichnungsmedium abtastet.
Die Grundprinzipien der Bildspeicherung mittels Laser sind in der US-PS 3 4-74 457 dargestellt. Die US-PSen 3 454 624 und 3657 707 beschreiben ein Aufzeichnungssystem mittels Laser, bei dem eine rotierende Trommel verwendet ist, die ein auf Laserstrahlen ansprechendes Aufzeichnungsmedium trägt, das flexible Streifen plastischen Materials (beispielsifeise Mylar) mit einer darauf aufgebrachten Schicht eines energieabsorbierenden Materials enthält. Ein solches auf Laserstrahlung ansprechendes Aufzeichnungsmedium ist ausführlicher in der US-PS 3 665 483 beschrieben. Die Verwendung einer rotierenden Trommel oder anderer mechanischer Abtastungen des Aufzeichnungsmediums begrenzen jedoch die Geschwindigkeit der Aufzeichnungsabtastung sowohl während der Aufzeichnung als auch der Wiedergabe von Daten und zwingt auf diese Weise ■künstlich dem Gesamtsystem Geschwindigkeiten für Schreiben und Lesen auf, die wesentlich geringer sind als solche, die von herkömmlichen Laserstrahlenergien und Empfindlichkeiten von Aufzeichnungsmedien hervorgerufen werden. Darüberhinaus grenzt die Verwendung flexibler Aafzeichnungsmedien die Genauigkeit der Linienführung, die zwischen den Datenspuren und dem Laserstrahlweg reproduzierbar erreicht werden können,ab und zwingt dementsprechend dem System Datenbitdichten auf, die wesentlich geringer sind, als die minimalen Abmessungen der Zelle sind, die durch die Optik des Systems bedingt sind. Ferner unterliegen flexible Aufzeichnungsmedien in starkem Maße der Verunreinigung durch Staubpartikel, die zu Fehlern beim Aufzeichnen und/oder Lesen von Daten führen, weshalb eine spezielle Behandlung und Aufbewahrung dieser Systeme in staubfreien Räumen erforderlich ist. Es ist deshalb offensichtlich, daß verschiedene Annäherungsversuche für die Abtastung des Laserstrahles über das Aufzeichnungsmedium und verschiedene Strukturen des Aufzeichnungsmediums selbst erforderlich sind, um ein System zu ermöglichen, das die Schreib/
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Les-Geschwindigkeit und Bitdichten vollständig ausnutzt dessen Laserstrahlauf zeichnungsteclmologle solion von sich aus möglich ist und das ebenfalls die Aufbewahrung des Aufzeichnungsmediums und die Handhabungserfordernisse vereinfacht.
In der US-PS 4 001 840 wird ein Laseraufzeichnungssystem beschrieben, bei dem eine Spiegelvorrichtung verwendet wird, die auf zwei orthogonalen Achsen drehbar "ist, um einen Laserstrahl in zwei Eichtungen zum Aufschreiben von Daten auf eine Aufzeichnungsschicht abzulenken, die auf einem festen Glasträger angeordnet ist. Dieses Strahlablenkungssystem mittels Spiegel ermöglicht eine schnellere Strahlabtastung, und der feste Glasträger, der die Aufzeichnungsschicht trägt, ermöglicht präzisere, reproduzierbare Zeilenführungen zwischen dem Aufzeichnungsmedium xmd. dem abtastenden Laserstrahl. Es wurde jedoch gefunden, daß die Verwendung einer Schicht aus Aufzeichnungsmaterial, die unmittelbar auf einen Glasträger aufgebracht ist, zu einem auf Laserstrahlen ansprechenden Aufzeichnungsmedium führt, das wesentlich geringere Empfindlichkeit aufweist als ein entsprechendes Laseraufzeichnungsmedium, das eine Aufzeichnungsschicht enthält, die auf einem plastischen Träger aufgebracht ist. Ferner kann die Affinität zwischen der metallischen Aufzeichnungsschicht und dem Glassubstrat Unregelmäßigkeiten in der Form und den Abmessungen der Löcher erzeugen, die in die Aufzeichnungsschicht eingebrannt sind. Die Verwendung eines Glasträgers erfordert deshalb die Herstellung eines komplexeren Aufzeichnungsmediums, um die GesamteEipfindlichkeit des Laseraufzeichnungssystems beizubehalten und eine hohe Schreibgeschwindigkeit mit geringer Fehlerrate zu erreichen.
In der nicht zum Stande der Technik gehörenden US-Patentanmeldung mit dem amtlichen Aktenzeichen 950 066 vom 10.Oktober 1978 ist die Verwendung einer Schicht eines üblichen Kunststoffmaterials auf Lösungsmittelbasis zwischen einem Glassubstrat und einer Schicht aus Aufzeichnungsmaterial zur
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Erzeugung eines Aufzeichnungsmediums von im wesentlichen verbesserter Empfindlichkeit und die Bildung von Löchern bestimmenden Eigenschaften offenbart. Diese Patentanmeldung offenbart ferner die Verwendung einer zusätzlichen Schutzschicht aus Material über der dünnen Aufzeichnungsschicht.
Fachleute auf diesem Gebiet haben generell die Vorteile der Kombination einer Schicht aus Kunststoff material- ziräschen dem Substrat und der Aufzeichnungsschicht zusammen mit einer Schutzschicht auf der Aufzeichnungsschicht erkannt. Während jedoch Kunststoffe zur Verwendung als Schutzschicht . vorgeschlagen· worden sind, haben die Fachleute in der Praxis typischerweise anorganische Materialien, wie z.B. Siliziumdioxid in der Schutzschicht verwendet, weil die üblichen Kunststoffe auf Lösungsmittelbasis, die bereits für die Verwendung als Zwischenschicht vorgeschlagen wurden, aufgelöst oder angegriffen vrarden, wenn versucht wurde, eine Schutzschicht aus dem gleichen oder einem ähnlichen plastischen Material auf Lösungsmittelbasis aufzutragen, weil das verwendete Lösungsmittel die dünne Schicht des Laseraufzeichnung smaterials leicht durchdringt.
Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein auf Laser- . ·. strahlung ansprechendes Aufzeichnungsmedium anzugeben, das die angeführten Nachteile nicht aufweist und von hoher Beständigkeit ist, wobei hohe Geschwindigkeiten der Aufzeichnung und des Lesens gewährleistet werden.
Zur Lösung dieser Aufgabe ist das auf Laserstrahlen ansprechende Aufzeichnungsmedium erfindungsgemäß gekennzeichnet durch einen Träger, eine auf diesen Träger aufgebrachte Schicht aus Kunststoff, eine auf der Schicht ,aus Kunststoff aufgebrächte Schicht aus optische Energie -absorbierendem Material und eine auf dieser Schicht aus Energie absorbierendem Material aufgebrachte zweite Schicht aus Kunststoff*· Material, die durch einen Bedampfungsprozeß hergestellt ist, bei dem heißer Dampf eines reaktiven Monomeren als polymere
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Schicht auf die Schicht aus optische Energie absorbierendem Material kondensiert ist.
Das Aufzeichnungsmedium gemäß der Erfindung liegt somit in Form mehrerer Schichten vor, die auf einen !Träger aufgetragen sind, wobei dünne Schichten Kunststoffmaterials zu beiden Seiten einer dünnen Schicht eines optische Energie absorbierenden Materials, nämlich der Aufzeichnungsschicht, angebracht sind.
Vorzugsweise besteht die Aufzeichnungsschicht aus Metall und ist vollständig zwischen den beiden anderen Schicht eii.iaus Kunststoff eingeschlossen.
Gemäß der Erfindung ist wenigstens die zweite Kunststoffschicht auf der Aufzeichnungsschicht durch einen Bedampfungsprozeß aufgebracht.
Die Schicht aus Kunststoff zwischen dem Träger und der Aufzeichnungsschicht kann gemäß einez* Weiterbildung der Erfindung eine Kunststoffschicht auf Lösungsmittelbasis enthalten, weil ihr physikalischer Zusammenhalt während des Bedampfungsprozesses, der zur Herstellung der zweiten Schicht aus Kunststoff angewendet wird, nicht . angegriffen wird.
Andererseits kann die Zwischenschicht auch eine Schicht aus · plastischem Material enthalten, die auf dem Substrat in gleicher Weise durch einen Bedampfungsprozeß hergestellt ist.
Vorzugsweise besteht der als Schutzschicht dienende polymere Überzug aus einer der bekannten Parylene-Verbindungen.
Die Verwendung von Parylene als Schutzschicht auf einer Schicht aus optische Energie absorbierendem Material ( der Aufzeichnungsschicht) führt zu einem Laseraufzeichnungsmedium von außergewöhnlicher Festigkeit und Langzeitstabilität. Der
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Parylene-Überzug ist sowohl ho cube ständig, um die Aufzeichnungsschicht gegen jede Zerstörung durch Abrieb zu schützen, als auch beständig gegenüber Feuchtigkeit und/oder anderen Verunreinigungen in dem umgebenden Raum, die auf andere Weise eine chemische Zerstörung der Aufzeichnungsschicht bewirken könnten. Parylene ermöglicht vorteilhafterweise die Verwendung entweder eines plastischen Materials auf Lösungsmittelbasis oder einer anderen Schicht aus Parylene als Zwischenschicht ziiischen einem Glasträger und der Aufzeichnungsschicht. Leicht auftragbares plastisches Material auf Lösungsmittelbasis, wie z.B. ausgehärtetes und entwickeltes Photoresist-Material, kann als Zwischenschicht verwendet werden, ohne daß diese Schicht oder die dünne Aufzeichnungsschicht aus Metall, die darauf gebildet ist, während der Bildung der Schutzschicht aus Parylene nachteilig beeinflußt werden. Veil Parylene durch Aufdampfen aufgetragen wird und nicht in einem Lösungsmittel-Auftragprozeß gebildet wird, ist die Stabilität der Zwischenschicht aus plastischem Material auf Lösungsmittelbasis vrähomd der Bildung der Parylene schicht nicht beeinträchtigt .
Es wurde darüberhinaus festgestellt, daß Parylene selbst ausgezeichnete Eigenschaften für die Verwendung als Zwischenschicht aufweist. Solche Schichten sind optisch klar und durchsichtig und verbinden sich gut mit dem Glassubstrat. Parylene kann als gleichmäßige Schicht mit gut kontrollierbarer Dicke aufgetragen werden und ergibt eine gute , glatte Oberfläche für die Abscheidung der dünnen Aufzeichnungsschicht aus Metall. Parylene hat eine geringe thermische Leitfähigkeit und isoliert damit die Aufzeichnungsschicht aus Metall vom Glasträger und schützt und bewahrt damit die Empfindlichkeit der Aufzeichnungsschicht. Parylene weist auch einen Brechungsindex auf, der ausreichend nahe bei dem des Glassubstrates liegt, um eine Reflexion der Laserstrahlenergie an der optischen Zwischenfläche zwischen dem Glassubstrat und der Paryleneschicht im wesentlichen auszuschließen.
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Andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung gelxen aus der nachfolgenden Beschreibung im Zusammenhang mit den beigefügten Zeichnungen hervor.
Es zeigen:■
Fig. 1 ein Blockdiagramm einer schematischen Apparatur eines Datenaufzeichnungsgerätes mittels Laser;
I1Xg. "2 ausschnittsweise ein Laseraufzeichnungsmedium im Querschnitt;
I1Xg. 3 ausschnittsweise eine andere Ausführungsform eines Laseraufzeichnungsmediums im Querschnitt;
Fig. 4 ein Blockdiagramm für ein Beispiel der Apparatur, die bei der Herstellung der Paryleneschichten verwendet werden kann und
Fig. 5 den schematischen Reaktionsablauf in'der Apparatur gemäß Fig. 4.
Fig. 1 zeigt eine Einrichtung, die bei einem typischen Aufzeichnungssystem mit Laserstrahl verwendet wird. Diese Art von Laseraufzeichnungssystem ist allgemein bekannt und braucht deshalb nicht im einzelnen beschrieben zu werden. Es wird Bezug genommen auf die oben bereits erwähnten OS-IB en 3 4-74- und 4 001 840, in denen eine genauere Diskussion des Prinzips der Laseraufzeichnung und Beispiele von Einrichtungen unter Anwendung dieser Prinzipien enthalten sind.. Allgemein umfaßt eine Laserstrahlauf zeichnung die Verwendung eines Lasers 10, dessen Ausgang mit einem Strahlmodulator 20 gekoppelt ist, der durch Eingangssignalmittel 50 gesteuert wird, um einen austretenden modulierten Laserstrahl zu erzeugen. Bei einer binaren Datenschreibweise erzeugen die Eingangssignalmittel einen Fluß von binären Impulsen (digits), so daß der Modulator 20 eine binäre Amplitudenmodulation des Laserstrahles erzeugt. Die lOcussierungs- und Abtasteinrichtung 30 erhält den modulierten Laserstrahl, bündelt ihn zu einem sehr kleinen Fleck auf dem Aufzeichnungsmedium 40 und tastet ihn in einem vorbestimmten Easter über das 'Auf zexchnungsmedium 40 ab.
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Da der modulierte Laserstrahl verschiedene, nacheinander:?olgende Zellbereiche der Aufzeichnungsschicht im Laseraufzeichnungsmedium abschreitet, brennt er sehr kleine Löcher (0,5 bis 1,0yum im Durchmesser) hinein, wenn der modulierte Laserstrahl zu dieser Zeit vorhanden ist, oder er läßt die Aufzeichnungsschicht unzerstört, wenn der modulierte Laserstrahl nicht vorhanden ist. Der Ausdruck "einbrennen" wird üblicherweise in diesem Zusammenhang benutzt, um die Bildung der Löcher in der Aufzeichnungsschicht zu beschreiben, obwohl die Aufzeichnungsschicht tatsächlich eher schmilzt oder verdampft, um ein Loch zu bilden, als im üblichen Sinne dieses Begriffs zu verbrennen. Dementsprechend wird das in den Modulator 20 eingegebene binäre Eingangssignal auf dem Aufzeichnungsmedium 40 in JOr-m des Vorhandenseins oder der Abwesenheit eines Loches an gedem Zellbereich im Aufzeichnungsmedium reproduziert. Das Bit-Raster, das in das Aufzeichnungsmedium eingeschrieben ist, kann danach wiederum durch Abtasten des Aufzeichnungsmediums mit einem unmodulierten Laserstrahl gelesen werden, wobei die Anwesenheit oder Abwesenheit eines Loches an jeder betreffenden Stelle in Form der dort reflektierten Lichtmenge ermittelt werden.
Wie oben allgemein dargelegt ist, ist eine Datenaufzeichnungs·»· einrichtung mittels Laser von sich aus in der Lage, binäre Daten mit hoher Dichte in der Größenordnung von etwa 1,5·10 Bit/cm (1θ" bits per square inch). Vie oben bereits ausgeführt wurde, stellt es erhebliche Anforderungen bezüglich aller Aspekte des Laseraufzeichnungssystems und insbesondere des Laseraufzeichnungsmediums dar, Bit-Dichten zu erzielen, die den hier innewohnenden Möglichkeiten der Technologie angenähert sind. Veil die Daten in Form des Vorhandenseins oder der Abwesenheit kleinster Löcher, die in die Aufzeichnungsschicht durch einen hochfocussierten Laserstrahl eingebrannt sind, gespeichert sind, ist die allgemeine Stabilität und Festigkeit des Laseraufzeichnungsmediums sowohl während des Aufzeichnungsprozesses als auch für eine lange Zeitperiode danach im Hinblick auf die Bestimmung der äußersten Bit-Dichte
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kritisch., die angewendet werden kann, um dennoch das Schreiben und Lesen von Daten mit geringer Fehlerrate über eine lange Zeitperiode zu erreichen. Stabilität und Festigkeit sind insbesondere kritisch, wenn das Laseraufzeichnungssystem für die Archivierung von Bilddaten von Dokumenten, die danach zerstört werden, angewendet werden soll.
Dm ein Aufzeichnungsmedium bereitzustellen, das akurat und reproduzierbar auf den abtastenden Laserstrahl in einem Laseraufzeichnungssystem ausgerichtet werden kann, ist es erforderlich, daß das Aufzeichnungsmedium ein in der Dimension stabiles, nicht flexibles Substrat enthält, wie z.B. eine dünne Glasplatte der Art, die allgemein in der HalbleiterIndustrie zur Herstellung hochgenauer Fotomasken bei der Produktion hochintegrierter Schaltungen (LSI) verxirendet wird. Solche sehr dünne Glasplatten bilden die Basis für ein Aufzeichnungsmedium, das ausgezeichnete Stabilität der Abmessungen hat und leicht in ein allgemeines Handhabungssystem für Datenplatten integriert v/erden kann zum Zwecke der reproduzierbaren Positionierung des Aufzeichnungsmediums im Hinblick auf die Abtastbahn des Laserstrahles. Darüberhinaus ist es erforderlich, auf dem Glassubstrat eine Aufzeichnungsschicht aus einem Ma terial zu bilden, dessen Empfindlichkeit gegenüber optischer Energie der Wellenlänge des Laserstrahles in einer Weise angepaßt ist, die eine allgemein lange Zeitstabilität und Festigkeit des Aufzeichnungsmediums ergibt.
Fig. 2 zeigt einen Querschnitt eines Datenaufzeichnungsmediums 40 entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung. Es ist zu sehen, daß das Datenaufzeichnungsmedium 40 insgesamt ein transparentes Substrat 41, vorzugsweise eine feste transparente Glasscheibe, enthält, auf der ein Komplex von Schichten gebildet ist. Die Glasscheibe kann vorzugsweise etwa eine Größe von 25 cm (4 square inches) und eine Dicke von etwa 1,5 mm ( 60 mils) haben. Die erste Schicht, die auf dem Substrat 41 gebildet ist, ist eine gleichmäßige Schicht
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aus optisch klarem plastischem Material 42. Die Dicke dieser Schicht ist vorzugsxveise im Bereich von 0,05 "bis 10/um. Die zweite Schicht, die auf der optisch klaren Kunststoff-Schicht 42 gebildet ist, ist eine Laseraufzeichnungsschicht 43, vorzugsweise aus Metall mit niedrigem Schmelzpunkt, beispielsweise Vismut oder Tellur. Um eine hohe Empfindlichkeit gegenüber dem focussierten Laserstrahl zu erreichen, wird die Sp ei eher schicht 43 aus Metall üblicherweise sehr dünn gebildet (z.B. 50 bis 200 S), um die Menge an Material mögliehst klein zu halten, die zur Bildung eines Loches geschmolzen werden muß. Die darauffolgende Schicht, die auf dem Substrat über der dünnen Speicherschicht 43 gebildet ist, ist eine zusätzliche Schicht aus Kunststoffmaterial 44, die in einer Dicke im Bereich von 0,05 bis 10 /um hergestellt werden sollte. Diese obere Schicht aus Kunststoffmaterial . ergibt einen Schutzüberzug für die dünne Speicherschicht 43 aus Metall, um sicherzustellen, daß sie ihren physikalischen Zusammenhalt sowohl während der physikalischen Behandlung des Speichermediums als auch während des Prozesses des Einschreibens von Daten in das Speichermedium mit dem Laserstrahl aufrechterhält. Vorzugsweise trifft der Laserstrahl durch das Glassubstrat 41 und die Zwischenschicht 42 auf die Speicherschacht' 43 s weil irgendwelche Staubpartikel, die sich auf der freien Substratoberfläche angesammelt haben können, dann außerhalb des Brennpunktes des Laserstrahles während des Schreibens und Lesens von Daten auf der Aufzeichnungsschicht 43 sich befinden. Es ist selbstverständlich, daß die Darstellung der Pigur 2 nicht maßstabsgerecht ist, v/eil es nicht möglich ist, einzelne Schichten mit derart unterschiedlichen Dicken maßstabsgetreu genau darzustellen.
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird die Schutzschicht 44 aus Kunststoffmaterial durch einen Bedampfungsprozeß hergestellt, um sicherzustellen, daß bei der Herstellung dieser Schicht weder die Datenaufzeichnungsschicht 43 noch die vorher
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erzeugte Zwischenschicht 42 nachteilig beeinflußt werden. Durch die Herstellung der Schicht 44 im Bedampfungsverfahren, das mit dem Substrat 41, der Zwischenschicht 42 und der Spei— cherschicht 45 im wesentlichen bei Raumtemperatur durchgeführt werden kann und bei dem keine Lösungsmittel "verwendet werden, wird der Zusammenhalt der Speichers chi cht 43 und der darunter angeordneten Kunststoff zwischenschicht 42 in -= keiner Weise bei der Bildung der als Schutzabdeckung dienenden Schicht 44 angegriffen.
Zunächst Vitra ein Speichermedium betrachtet, bei dem die Zwischenschicht 42 in geeigneter V/eise aus einem üblichen Kunststoffmaterial . auf Lösungsmittelbasis gebildet wird, beispielsweise eine Photoresist-Schicht, die auf der Oberfläche des Glassubstrates 41 erzeugt wurde. Übliches Photoresist-Material wird in der Halbleiterindustrie benutzt, um definierte Vorlagen zu verschiedenen Stufen des Verfahrens zur Herstellung der !Topologie integrierter Schaltungen zu erzeugen. Es wurde gefunden, daß Photoresist-Material gute Eigenschaften für· die Verwendung als Zwischenschicht bei einem Laseraufzeichnungsmedium hat.
lach der Herstellung einer dünnen gleichmäßigen. Schicht aus Photoresistmaterial als Zwischenschicht 42 auf dem Substrat · 41, kann nun eine dünne Aufzeichnungsschicht 43 aus Metall darauf erzeugt werden. Die Bildung dieser dünnen Aufzeichnungsschicht aus Metall kann durch Vakuumabscheidung oder durch Metallaufstäubungsverfahren erfolgen, wie es bereits erwähnt ist; die Schicht sollte möglichst 50 his 200 §. dick sein. Es ist einzusehen, daß eine derart dünne Speicherschicht hochempfindlich gegenüber dem Zusammenhalt der Oberfläche der Schicht 42 aus Photoresist-Material ist, auf der sie aufgebracht ist. Es wurde festgestellt, daß der Versuch, die Schutzschicht 44 aus üblichem Kunst stoff material! auf Lösungsmittelbasis herzustellen, dazu führt, daß das Lösungsmittel durch die dünne Aufzeichnungsschicht 43 hindurchdringt,
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wonach, die Oberfläche der Schicht 42 aus Photoresist-Material auf der Basis von Lösungsmittel (oder entsprechendem anderen plastischen Material) angegriffen wurde, wodurch der physikalische Zusammenhalt der Aufzeichnungsschicht 43 zerstört wurde. Ein spezielles Beispiel für das Ergebnis des Versuches, eine Schutzschicht 44 aus plastischem Material auf Lösungsmittelbasis auf die Aufzeichnungsschicht 43, die auf einer Zwischenschicht 42 auf Lösungsmittelbasis gebildet ist, zu versehen, ist folgendes:
Eine saubere Glasplatte wurde mit einer Lösung eines negativen Phororesist-Materials von KTI Chemicals Incorporated bedeckt. Dieser Überzug wurde hergestellt, indem eine geringe Menge der Photoresist-Lösung auf die Glasscheibe aufgetragen wurde, wonach die Scheibe gedreht wurde, um einen gleichmäßigen Überzug zu ergeben. Danach wurde der Überzug während 30 Minuten bei einer Temperatur von 180°C getrocknet (baked). Die Dicke des Photoresist-Überzuges betrug etwa 0,75/um. Der gehärtete Überzug aus Photoresist-Material wurde danach ausgehärtet, indem er für 10 Minuten UV-Licht ausgesetzt wurde. Der Überzug wies eine ausgezeichnete Haftung an der Glasplatte auf, wenn er den Standardtests unterworfen wurde, beispielsweise Ankleben eines Zellophan-Bandes an die bedeckte Oberfläche und danach Abzeihen des Bandes von der Oberfläche im rechten Winkel hierzu. Das Entfernen des Bandes ohne Entfernung des Überzuges zeigt eine ausgezeichnete Haftung am Substrat an; bei diesem Beispiel wurde dies erreicht. Danach wurde eine Schicht aus Tellur auf die Photoresist-Schicht bis zu einer Dicke von etwa 200 & aufgetragen. Nachfolgend wur& ein polymeres Material auf die Tellurschicht aufgebracht, wobei eine Lösung verwendet wurde, die folgende Zusammensetzung hatte:
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Komponenten . Gew.geile
Zelluloseazetatbutyrat
(CAB 381-20;ein Produkt der
Eastman Chemicals) 7j5
Methyl-Äthyl-Keton 8§ ,5
Mittel zur Kontrolle der
Fließfähigkeit
(z.B. Silikone der FA.Ünion Carbide;
IA500, L551O oder L6202) 0,06
Methyloxit ο1 2,94
Die Anwendung dieser Lösung führt zum Abheben der Tellurschicht von der Zwischenschicht aus Photoresist-Material mit nachfolgendem Brüciiigwerden darauf, was die Auflösung der Photoresist-Schicht durch die Lösungsmittel in der Lösung anzeigt. Vegen der Auflösung der Zwischenschicht aus Photoresist-Material war es nicht möglich, eine zusammenhängende eingekapselte Aufzeichnungsschicht aus Metall herzustellen.
Während Versuche zur Herstellung einer Schutzschicht 44 aus Material auf Lösungsmittelbasis auf der Aufzeichnungsschicht unter Verwendung anderer Zx^rischenschichten 42 aus Material, auf Lösungsmittelbasis ebenfalls ohne Erfolg blieben, .wurde überraschenderweise festgestellt, daß eine hochfeste Schutzschicht 44 durch Aufdampfen eines Materials, wie κ.B. Parylens, auf der Aufzeichnungsschicht 43 erzeugt werden kann. Bei Anwendung eines Bedampfungsverfahrens anstelle eines Beschichtungsverfahrens mit einem Kunststoffmaterial -. auf Lösungsmittelbasus sind weder ein Lösungsmittel noch andere Materialien anwesend, die die Oberfläche der Zwischenschicht 42 aus Kunststoffmaterial angreifen könnten. Auf diese Weise wird der Zusammenhalt der Zwischenschicht 42 und der dünnen Aufzeichnungsschicht 43 aus Metall aufrechterhalten.
In Figur 4 ist schematisch eine Anlage dargestellt, die verwendet wurde, und es sind die Verfahrensbedingungen für die Abscheidung eines polymeren Kunststoff materials, . wie z.B. Parylene, aufgezeigt. Die dargestellte Anlage und das damit durchgeführte Verfahren sind vorher schon von der
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Pirma Union Carbide Corporation entwickelt worden und auch dort handelsüblich erhältlich.
Pig. 5 stellt die chemische Reaktion dar, die beim Verfahren des Aufdampfens von Perylene abläuft. Im Beispiel der Pig. 5 ist das Parylene-Material Parylene-N, d.h. Poly-Para-Xylylen. Andere verwendbare Parylene-Materialien sind Parylene-C, d.h. Poly-Monochlor-Para-Xylylen, das ein Chloratom an jedem Benzolring enthält, und Parylene-D, d.h. Poly-Dichlor-Para-Xylen (bzw. -Xylylen), das zwei Chloratome an jedem Benzolring enthält.
Wie in Pig. 4 in Verbindung mit der Reaktion gemäß Pig. 5 gezeigt ist, beginnt das Verfahren zum Auftragen von Parylene mit einem dimeren Material, das in einem Verdampfer 100 eingebra-cht ist, der mit einer Innentemperatur von etxfa 175°C bei einem Druck von etwa 1,33 mbar (1 Torr) arbeitet. Das verdampfte Dimere tritt dann in einen Pyrolyseofen 110 ein, der bei einer Innentemperatur von etwa 680 C und einem Druck von etwa 0,66 mbar (0,5 Torr) arbeitet. In diesem zweistufigen Erhitzungsprozeß wird das Dimere, in diesem Palle Dip-Xylylen, in ein reaktives Monomeres umgewandelt, in diesem Pail in p-Xylylen. Der heiße Dampf des reaktxven Monomeren gelangt dann in eine Abscheidungskammer 120, die bei einer Innentemperatur von etwa 25°C und einem Druck von etwa 0,133 mbar (0,1 Torr) arbeitet. In der Abscheidungskammer 120 wird ein gleichmäßiger Überzug aus Parylene auf den darin eingebrachten Gegenstand gebildet, in diesem Palle ein teilweise erzeugtes Speichermedium, das ein Glassubstrat 41 und eine Zwischenschicht 42 aus plastischem Material und die Aufzeichnungsschicht 43 aus Metall (Pig.2) enthält. Im Einklang mit einer relativ üblichen Prtxis werden ein kalter Abscheider 130 (cold trap), der bei etwa -7O0C arbeitet, und eine Vakuumpumpe 140, die bei einem Unterdruck von etwa 0,00133 mbar (0,001 Torr) arbeitet, benutzt, um die relativen Unterdrucke im Verdampfer 100, im Pyrolyseofen 110 und in der Abscheidungskammer 120 aufrechtzuerhalten. Der in die
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Abscheidungskammer 120 eintretende heiße Dampf des reaktiven Monomeren kondensiert an kühleren Gegenständen in der Ibscheidungskammer 120; während der Dampf kondensiert, polymerisiert er, um einen sehr gleichmäßigen plastischen Überzug auf dem ursprünglichen Gegenstand zu "bilden.
i"ig. 2 zeigt ein Laseraufzeichnungsmedium mit einer Schutzschicht 44 aus Kunststoff material nur auf der Aufzeichnungsschicht 4-5. Dies kann, falls gewünscht, erreicht werden, indem der untere Teil des Substrates 4-1 vor dem Abscheiden der Parylene-Schicht abgedeckt wird. Pig. 3 zeigt eine andere Ausführungsform, bei der ein durch Aufdampfen hergestellter ' Überzug 44· aus plastischem Material um das gesamte Speichermedium einschließlich der Seiten und des unteren Teiles des Substrates 4-1 gebildet ist. Die optischen Eigenschaften einer aufgedampften Schicht aus beispielsweise Paxylene sind derart, daß die Verwendung einer dünnen Schicht aufgedampften Materials 44 auf der Unterseite des Substrates 41 die Durchlässigkeit der Las erstrahl energie auf die Aufzeichnungsschicht 4-3 in Systemen nicht wesentlich beeinflußt, in denen der Laserstrahl ■ durch das Glassubstrat 41 hindurch auf die Aufzeichnungsschicht gerichtet ist. Die Herstellung eines aufgedampften Übei-zuges aus Kunststoffmaterial rund um das gesamte Laseraufzeichnungsmedium ergibt einen Schutzüberzug über das gesamte Medium und tragt zur Sicherung seiner Langzeitstabilität bei.
Es wurde auch festgestellt, daß eine durch Aufdampfen hergestellte Schicht aus Kunst st off material j ... wie z.B. Parylene, als Zwischenschicht 42 bei einem Laseraufzeichnungsmedium 40 dienen kann. Es wurde gefunden, daß Parylene alle Eigenschaften aufweist, die für die Verwendung als Zwischenschicht erwünscht sind. Vor allen Dingen ist es in hohem Maße optisch rein, und beeinträchtigt deshalb den Durchgang der Laserstrahlenergie auf die Aufzeichnungsschicht 43 kaum. Der Brechungsindex von Parylene beträgt etwa 1,65 und ist deshalb relativ gut demjenigen
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des Glassubstrates ( Index von etwa 1,5) angepaßt y um die Reflexion des Laserstrahles an der Übergangsschicht.zwischen den beiden Schichten auf ein Minimum zu verringern. Ferner hat Parylene eine thermische Leitfähigkeit , die beträchtlich geringer ist als diejenige des Glassubstrates, so daß eine gute thermische Isolation der Aufzeichnungsschicht, die darauf aufgebracht ist, erzielt wird, woraus eine gute Schreibempfindlichkeit mittels Laser resultiert. Parylene haftet gut am Substrat 41 und ergibt eine gute Oberfläche, auf der eine dünne Aufzeichnungsschicht aus Metall abgeschieden werden kann. Demzufolge kann Parylene sowohl als Zwischenschicht 42 als auch als Schutzschicht 44 verwendet werden. Entsprechend diesem Aspekt der Erfindung ist eine dünne Aufzeichnungsschicht 43 vorteilhafterweise vollständig in Schichten aus plastischem Material eingeschlossen, die im wesentliehen identische Eigenschaften haben und je eine relativ günstige Umgebung für den Dampf ab schej-aungsprozeß, der oben beschreiben ist, ergeben. Pig. 5 zeigt eine einzelne Schicht aus Parylene 44, die das Glassubstrat 41 umgibt. Dies kann erreicht werden, indem die Seiten und der Boden des Substrates 41 während der Abscheidung der Zwischenschicht 42 abgedeckt xferden. Andererseits kann das Glassubstrat mit zwei separaten Parylene-Schichten während des Abscheidens der Zwischenschicht 42 und der Schutzsdicht 44 bedeckt werden.
Die nachfolgenden Ausführungsbeispiele dienen zur näheren Erläuterung der vorliegenden Erfindung, sie engen den Umfang der Erfindung jedoch nicht ein.
Beispiel 1
Eine gereinigte Glasplatte wurde mit einer negativen Photresist- !ETüssigkeit, die von der Eirma KTI Chemicals Incorparated vertrieben wird, beschichtet. Die Photoresist-STüssigkeit wurde auf die Glasplatte aufgetropft, wonach die Platte derart
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gedreht wurde, daß ein gleichmäßig dünner Überzug entstand. Dieser Überzug vrarde danach für 30 Minuten "bei einer Temperatur von 180° C getrocknet. Dann wurde der harte Überzug für etwa 20 Minuten mittels UY-Licht ausgehärtet. Der entstandene Überzug hatte eine Dicke von etwa 0,75 a™» Auf der Photoresist-Oberfläche wurde in einem Vakuumabscheidungsverfahren eine Schicht aus Tellur aufgebracht. Die Dicke der Tellurschicht betrug etwa 200 $. . Danach wurde Parylene-C auf die Tellurschicht im Aufdampfverfahren aufgetragen, das oben beschrieben ist. Es entstand eine vollständig umhüllte Aufzeichnungsschicht mit keinem beobachtbaren Effekt des Parylene-Übe'rzuges weder auf die Aufzeichnungsschicht aus Tellur noch auf die Zwischenschicht aus Photoresist-Material.
Beispiel 2
Eine gereinigte Glasplatte wurde mit Parylene-C im Bedampfungsverfahren, das oben beschrieben ist, mit einem Parylene-Überzug bedeckt, der etwa Λ /um dick war und auf beiden Seiten der Glasplatte aufgetragen war. Danach xirurde eine Schicht aus Tellur einer Dicke von etwa 200 S. im "Vakuum auf der Oberfläche dar mit Parylene beschichteten Glasplatte abgeschieden. Schließlich vrarde ein Schutzüberzug aus Parylene-C auf die Tellurschicht mit eimer Dicke von 10/um abgeschieden. Es entstand eine vollständig eingeschlossene Aufzeichnungsschicht mit ausgezeichneten Eigenschaften sowie großer Langzeitstabilität und Festigkeit.
Für einen Fachmann auf diesem Gebiet ist es offensichtlich, daß die Struktur gemäß der vorliegenden Erfindung angewendet xverden kann, um komplexere Aufzeichnungsmedien herzustellen, die eine oder mehrere zusätzliche Aufzeichnungschichten einschließen. Darüberhinaus ist die Erfindung in einfacher Weise für Strukturen von Aufzeichnungsmedien anwendbar, bei denen
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eine Reflexionsschicht ( nicht gezeigt) auf der Schutzschicht, die in S1Xg. 2 gezeigt.ist, mit der Dicke der Schutzschicht aufgetragen ist, die in Übereinstimmung steht mit den optischen Eigenschaften der Reflexionsschicht, um die Reflexion der Energie des Laserstrahles, der durch die Aufzeichnungsschicht 4-3 zurück zur Aufzeichnungsschicht 4-3 läuft, möglichst groß zu machen und dadurch die Empfindlichkeit des Aufzeichnungsmediums weiter zu fördern.
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Claims (3)

Pat entansprüche
1. Auf Laserstrahlen ansprechendes Aufzeichnungsmedium, gekennzeichnet durch einen Träger, eine auf diesem Träger aufgebrachte Schicht aus Kunststoff material, eine auf der Schicht aus Kunst stoff material" aufgebrachte Schicht aus optische Energie absorbierendem Material, eine auf dieser Schicht aus Energie absorbierendem Material aufgebrachte zweite Schicht aus Kunststoff material,, die durch einen Bedampf ungspr ο ζ eß hergestellt ist, bei dem heißer Dampf eines reaktiven Monomeren als polymere Schicht auf die Schicht aus optische Energie absorbierendem Material kondensiert ist.
2. Auf Laserstrahlen ansprechendes Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste der genannten Schichten aus Kunststoff material eine Schicht aus Kunststoff material "_ auf Lösungsmittelbasis enthält, deren, physikalische Beschaffenheit durch den Herstellungsprozeß
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ORIGINAL (NSPE€TED
der zweit en Schicht aus Kunststoff material, nicht beeinflußt wird.
3. Auf Laserstrahlen ansprechendes Aufzeichnungsmedium nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste der genannten Schichten aus Kunststoff material ebenfalls durch Bedampf ung hergestellt wird, bei der heißer Dampf eines reaktiven Monomeren als polymere Schicht auf dem Träger kondensiert ist.
4·. Auf Laserstrahlen ansprechendes Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3? dadurch gekennzeichnet, daß die genannte zweite gleichmäßige Schicht aus Kunststoff-Material aufgedampftes Parylene-Katerial enthält.
5'. Auf Laserstrahlen ansprechendes Aufzeichnungsmedium nach einem der Ansprüche 1 bis 4-, dadurch gekennzeichnet, daß die genannte zweite Schicht aus Kunststoffmaterial . auf allen
Oberflächen des auf Laserstrahlen ansprechenden Aufzeichnungsmediums aufgebracht ist.
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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3176118D1 (en) * 1980-10-09 1987-05-21 Toshiba Kk Data recording medium
US5305301A (en) * 1981-04-10 1994-04-19 Sony Corporation Optically readable record carriers
JPS5977647A (ja) * 1982-10-26 1984-05-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学式円盤
JPS5999779U (ja) * 1982-12-24 1984-07-05 共同印刷株式会社 光メモリ−媒体をもつｉｄカ−ド
NL8300685A (nl) * 1983-02-24 1984-09-17 Philips Nv Optisch uitleesbare informatiedrager voorzien van een mantel uit verknoopte kunststof.
US4583102A (en) * 1983-05-04 1986-04-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Optical disc and method of manufacturing
EP0145757A1 (de) * 1983-05-31 1985-06-26 Storage Technology Corporation Optische aufzeichnungsstruktur eine chemische in situ-reaktion in der aktiven struktur einbeziehend
US4719137A (en) * 1984-04-13 1988-01-12 Sharp Kabushiki Kaisha Magneto-optic memory element
US4668550A (en) * 1985-08-28 1987-05-26 Hitachi, Ltd. Optical disc
US4692402A (en) * 1986-02-20 1987-09-08 Drexler Technology Corporation Ultrathin optical recording medium with moisture barrier
JP2526864B2 (ja) * 1986-04-16 1996-08-21 ソニー株式会社 光学記録媒体
US5158801A (en) * 1988-04-01 1992-10-27 The United States Of America As Represented By The United States Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Method of forming a multiple layer dielectric and a hot film sensor therewith
JP2802520B2 (ja) * 1989-10-20 1998-09-24 共同印刷株式会社 密閉型の光カード
US5768542A (en) * 1994-06-08 1998-06-16 Intel Corporation Method and apparatus for automatically configuring circuit cards in a computer system
US6249509B1 (en) * 1994-09-29 2001-06-19 Tdk Corporation Optical device with protective cover
WO1998058373A1 (en) 1997-06-19 1998-12-23 Borden Chemical, Inc. Coated optical disks
US6503564B1 (en) * 1999-02-26 2003-01-07 3M Innovative Properties Company Method of coating microstructured substrates with polymeric layer(s), allowing preservation of surface feature profile
GB9921970D0 (en) * 1999-09-16 1999-11-17 Univ London An optical interferometer sensor array
US8802202B2 (en) * 2010-03-05 2014-08-12 Suneeta S. Neogi Method for imparting tarnish protection or tarnish protection with color appearance to silver, silver alloys, silver films, silver products and other non precious metals
JP7441820B2 (ja) * 2019-02-21 2024-03-01 ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 半導体基板および半導体モジュール

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1263091B (de) * 1965-03-20 1968-03-14 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum Aufzeichnen von Informationen

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE849609C (de) * 1950-11-06 1952-09-15 Bosch Gmbh Robert Bandfoermiger Aufzeichnungstraeger fuer registrierende Messinstrumente
CH301000A (de) * 1950-11-06 1954-08-31 Gmbh Robert Bosch Bandförmiger Aufzeichnungsträger für registrierende Messinstrumente.
US3665483A (en) * 1969-06-06 1972-05-23 Chase Manhattan Capital Corp Laser recording medium
US3696742A (en) * 1969-10-06 1972-10-10 Monsanto Res Corp Method of making a stencil for screen-printing using a laser beam
FR2209159A1 (en) * 1972-09-25 1974-06-28 Western Electric Co Data processing bismuth plastics tape - precipitating plastics film within plasma discharge
US3901994A (en) * 1974-02-04 1975-08-26 Rca Corp Metallized video disc having a dielectric coating thereon
US3911444A (en) * 1974-04-04 1975-10-07 Bell Telephone Labor Inc Metal film recording media for laser writing
FR2271617B1 (de) * 1974-05-15 1976-10-15 Thomson Brandt
JPS5920473B2 (ja) * 1974-08-06 1984-05-14 キヤノン株式会社 レ−ザ−ビ−ムの記録媒体の製造方法
US4069487A (en) * 1974-12-26 1978-01-17 Canon Kabushiki Kaisha Recording member and process for recording
US4101907A (en) * 1977-08-29 1978-07-18 Rca Corporation Overcoat structure for optical video disc
DE2744533A1 (de) * 1977-10-04 1979-04-12 Polygram Gmbh Plattenfoermiger traeger zur optischen aufzeichnung und wiedergabe von signalen

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1263091B (de) * 1965-03-20 1968-03-14 Bosch Gmbh Robert Vorrichtung zum Aufzeichnen von Informationen

Also Published As

Publication number Publication date
GB2060191A (en) 1981-04-29
GB2060191B (en) 1983-08-17
FR2466829B1 (fr) 1987-09-18
CA1145465A (en) 1983-04-26
FR2466829A1 (fr) 1981-04-10
DE3036902C2 (de) 1983-07-07
NL8005423A (nl) 1981-04-03
JPS5651386A (en) 1981-05-08
US4360820A (en) 1982-11-23

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