DE3013833C2

DE3013833C2 - Vorrichtung zur Prüfung eines auf einem Gegenstand befindlichen Musters auf Fehler

Info

Publication number: DE3013833C2
Application number: DE3013833A
Authority: DE
Inventors: Seiji Hachiouji Tokio/Tokyo Kashioka; Yoshihiro Kokubunji Tokio/Tokyo Shima; Toshikazu Yasuye
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1979-04-13
Filing date: 1980-04-10
Publication date: 1986-07-03
Also published as: DE3013833A1; US4345312A; NL8002160A

Description

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Prüfung eines auf einem Gegenstand befindlichen Musters auf Fehler, wie sie im Oberbegriff des Patentanspruches 1 näher angegeben ist

Vorrichtungen und Verfahren zur maschinellen Zeichenerkennung, bei dem aus der Abtastung von Zeichen binäre Signale abgeleitet und mit einem gespeicherten Muster verglichen werden, sind beispielsweise aus der DE-AS 19 59 073 bekannt. Dabei werden die bei der Abtastung erhalt nen Signale nach Abspeicherung im Speicher stellenweise verschoben und mit Masken, von denen jeweils eine einem bestimmten Zeichen zugeordnet ist, verglichen; stimmt das Zeichen mit einer bcstimmten Maske überein, so wird ein entsprechendes Erkennungssignal abgegeben.

Aus der älteren Anmeldung 30 06 379 ist weiter ein System zur Prüfung von Standardmustern auf Fehler bekannt. Bei diesem System werden Muster, insbesondere Masken, mit einem Bezugsmuster verglichen, und es werden die Abweichungen festgestellt. Bei diesen Verfahren ist allerdings Voraussetzung, daß die beiden miteinander zu vergleichenden M_vken bzw. Muster einwandfrei relativ zueinander positioniert sind. Es wird nur ein einziger Vergleich durchgeführt, bei dem auf volle Übereinstimmung geprüft wird, wie dies bei Ätzmasken für die Halbleitertechnik erforderlich ist.

Aus der DE-OS 15 49 818 ist eine Zeichenerkennungsvorrichtung bekannt, mit der ein Zeichen aus von Teilbildbereichen abgeleiteten Videosignalen ohne Vergleich mit einem Idealzeichen erkannt werden kann. Bei dieser Vorrichtung ist aber ebenfalls Voraussetzung, daß die miteinander verglichenen Teilbereiche in ihrer Lage genau aufeinander ausgerichtet sind.

Aus der DE-OS 21 26 817 sind weiter ein Verfahren und eine Vorrichtung zur automatischen Zeichenerkennung bekannt, bei dem den einzelnen Zeichen entsprechende Datensätze in einem Nur-Lesespeicher abgespeichert sind, die abgerufen werden und Bildsignalen verglichen werden. Dabei wird die Anzahl von Abweichungen zwischen dem Bildelement und den entsprechenden Elementen des Zeichensatzes bestimmt, und es wird dasjenige Zeichen als das gelesene Zeichen ermittelt, für das die Zahl der Abweichungen ein Minimum ist.

Auch dieses Verfahren hat den Nachteil, daß das zu lesende Zeichen und die Maske, mit der das Zeichen verglichen wird, exakt aufeinander ausgerichtet sein müssen.

Dementsprechend ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Verrichtung zu schaffen, mit der die Qualität eines Musters geprüft werden kiinn, ohne daß die Lage des Musters relativ zu der Prüfeinrichiung Einfluß auf das Ergebnis hat.

Diese Aufgabe wird mit einer Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 gelöst, die erfindungsgemäß nach dem kennzeichnenden Teil dieses Anspruches ausgestaltet ist.

Weitere, bevorzugte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden im folgenden anhand schematischer Zeichnungen näher erläutert Es zeigt

F i g. 1 ein Blockschaltbild eines Beispiels für eine Musterdruckeinrichtung zur Verwendung bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Prüfen von Schriftzeichen;

F i g. 2a und 2b jeweils eine schsmatische Darstellung der Konstruktion eines Musters zur Erläuterung der Wirkungsweise der Einrichtung nach F i g. 1;

Fig.3 in einem Blockschaltbild den Aufbau einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Prüfen von Schriftzeichen;

F i g. 4 in einem Blockschaltbild den Aufbau einer anderen Ausföhrungsform einer erfir.dungsgemäßen Vorrichtung zum Prüfen von Schriftzeichen;

F i g. 5 eine Darstellung zur Veranschaulichung möglicher Unterschiede zwischen zu prüfenden Mustern;

Fig.6 in einem Blockschaltbild eine Ausführungsform einer arithmetischen Schaltung, die einen Hauptteil einer Vorrichtung zum Prüfen von Schriftzeichen bildet;

F i g. 7 und 8 jeweils eine schematische Darstellung eines Wörterbuchmusters bzw. eines zu prüfenden Musters, die beide zur zweiten Ausführungsform der arithmetischen Schaltung gehören;

F i g. 9 in einem Blockschaltbild eine zweite Ausführungsform einer arithmetischen Schaltung;

Fig. 10 eine Darstellung der Prüfergebnisse bei der zweiten Ausführungsform der arithmetischen Schaltung;

Fig. 11 und 12 jeweils eine Darstellung zur Veranschaulichung des örtlichen Musters und des Wörterbuchmusters bei der dritten Ausführungsform der arithmetischen Schaltung;

Fig. 13 in einem Blockschaltbild die dritte Ausführungsform der arithmetischen Schaltung;

Fig. 14 eine schematische Darstellung der Prüfergebnisse bei der dritten Ausführungsform der arithmetischen Schaltung;

Fig. 15 den Aufbau einer Ausführungsform einer Zählerschaltung zur Verwendung bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Prüfen von Schriftzeichen;

F i g. 16 eine Tabelle zur Erläuterung der Zählvorgänge bei den Zählern nach F i g. 15;

Fig. 17 einen Ablaufplan zur Erläuterung der Wirkungsweise der Schaltung nach F i g. 15;

F i g. 18 den Aufbau einer weiteren Ausführungsform einer Zählerschaltung zur Verwendung bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Prüfen von Schriftzeichen;

Fig. 19 eine Tabelle zur Erläuterung der Wirkungsweise der Zähler nach F i g. 18;

F i g. 20 den Aufbau einer weiteren Ausführungsform einer Zählerschaltung zur Verwendung bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Prüfen von Schriftzeichen;

Fig. 21 einen Ablaufplan zur Erläuterung der Wirkungsweise der Schaltung nach F i g. 20; und

F i g. 22 den Aufbau einer weiteren Ausführungsform einer Zählerschaltung zur Verwendung bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Prüfen von Schriftzeichen.

In Fig. i ist der Aufbau einer Musterdruckeinrichtung zur Verwendung bei einer erfindungsgemäßen Vorrichtung zum Prüfen von Schriftzeichen oder dergl. dargestellt

Die mit einem Muster zu bedruckenden Gegenstände können entweder voneinander getrennt sein, oder solche Gegenstände, z. B. Umschließungen von Transistoren oder integrierten Schaltkreisen, können jeweils in

ίο einer vorbestimmten Anzahl miteinander verbunden sein. Die Gegenstände werden in der jeweils gewählten Anordnung mit Hilfe einer Zuführungseinrichtung 1 zugeführt und mittels einer Druckeinrichtung 2 mit einem Muster bedruckt um dann zur Prüfung einer weiteren Zuführungseinrichtung 3 zugeführt zu werden, die feststellt, daß die Gegenstände einer Prüfstation zugeführt werden, und die einer Speichereinrichtung 4 ein entsprechendes Signal 100 zuführt In Abhängigkeit von dem Signal 100 gibt die Einrichtung 4 das Muster aus, mit dem der Gegenstand bedruckt nt, wobei eine Bildaufnahmeeinrichtung 5 benutzt wird, um das Vorhandensein eines Fehlers festzustellen.

In der folgenden Beschreibung werden die Zuführungseinrichtung 3, die Bildaufnahmeeinrichtung 5 und die Prüfungssteuereinrichtung 4 insgesamt als »Prüfeinrichtung« bezeichnet.

Entsprechend den Ergebnissen der durchgeführten Prüfung bzw. Beurteilung erzeugt die Prüfungssteuereinrichtung 4 ein Signa) 102, mittels dessen eine zu der Zuführungseinrichtung 3 gehörende Einrichtung 3 G zum Entfernen eines Gegenstandes betätigt wird, weim das Muster irgendeinen Fehler aufweist. Wenn mehrere miteinander verbundene Gegenstände zugeführt und geprüft werden, wird die Einrichtung 3G in diese Weise betätigt, wenn bei irgendeinem der Gegenstände ein fehlerhaftes Muster vorhanden ist. In diesem Fall wird ein Abstand, der sich nach der Anzahl der miteinander verbundenen Gegenstände und dem Aufbau der Einrichtung ZG richtet, zwischen der Bildaufnahmeeinrichtung 5 und der Auswerfeinrichtung 3G eingehalten.

Die Gegenstände, bei denen die Prüfung ergeben hat, daß sie kein fehlerhaftes Muster aufweisen, werden einer Sammeleinrichtung 7 für einwandfreie Gegenstände zugeführt, und zwar erforderlichenfalls über eine Trokkeneinrichtung 6, während ein fehlerhaftes Muster aufweisende Gegenstände einer Sammeleinrichtung 8 für fehlerhafte Gegenstände zugeführt werden.

Werden die Gegenstände kontinuierlich transportiert, werden die Arbeitsschritte zum Aufnehmen der Bilder entweder jeweils kurzzeitig oder mit Hilfe ein?s Linienfühlers durchgeführt. Bei intermittierender Zufuhr der Gegenstände kann man dagegen dafür sorgen, daß dk: .Prüfungssteuereinrichtung 4 Befehle zum Steuern der Zuführungseinrichtung 1 erzeugt. Bei einer aiternativen Anordnung kann man die Gegenstände längs der Transportbahn zwischen der Druckeinrichtung 2 und der Transporteinrichtung 3 so bereitstellen, daß sich die Unterschiede bezüglich der Transportgeschwindigkeit ausgleichen.

Die Prüfungssteuereinrichtung 4 dient dazu, entweder eine Warneinrichtung 9 zu betätigen oder der Zuführungseinrichtung 1 und der Deckeinrichtung 2 ein Stoppsignal 103 zuzuführen, wenn bei einer vorher eingestellten Anzahl von Gegenständen Gegenstände mit einem fehlerhaften Muster in einer vorbestimmten Anzahl vorhanden sind, so daß eine Fortsetzung der Erzeugung fehlerhafter aufgedruckter Muster und der entsprechenden Beurteilung der Gegenstände als Folge ei-

ner Störung bei der Prüfungssteuereinrichtung 4 verhindert werden kann.

Die Prüfungssteuereinrichtung 4 ist mit einem zweiten Speicher Il (im folgenden auch: Wörterbuchspeicher) zum Speichern der Wörterbuchinformationen, welche den verschiedenen auf den Gegenständen zu erzeugenden Aufdrucken entsprechen, sowie mit einer Tastatur 10 zum Wählen der verschiedenen Arten von Aufdrucken versehen, so daß die Wörterbuchinformationen mit Hilfe entsprechender Befehle aus- oder eingegeben werden können.

Bei den zu verwendenden Wörterbuchinformationen wird das Bezugsmuster, das so in eine Bitmatrix aus 1- und O-Signalen verwandelt wird, daß es dem Weißheitsgrad und dem Schwärzungsgrad jedes Bildelements entspricht, als ideales zweidimensionales Muster verwendet, das auf die Gegenstände aufgedruckt wird, so daß es auf das zu prüfende Muster bezogen werden kann, das ebenfalls in die Bitmatrix verwandelt wird. Mit anderen Worten, es werden zwei Muster einander überlagert, um einen Teil zu ermitteln, an dem ein Unterschied vorhanden ist, dessen Fläche als Parameter für den Fehler verwendet wird.

Wenn in diesem Fall irgendeine Einstelldiskrepanz und Dispersion bezüglich der relativen Lage der Gegenstände und des Musters an der Druckstation oder zwischen den Gegenständen und der Bildaufnahmeeinrichtung an der Prüfstation vorhanden ist, besteht keine Klarheit darüber, welche Positionsdiskrepanz oder welcher Fehler des Musters zur Entstehung der erwähnten Differenzfläche geführt hat, so daß keine richtige Beurteilung möglich ist. Jedoch ist es nicht ratsam, besondere Einrichtungen vorzusehen, die es ermöglichen, nur die Lagediskrepanz des Musters zu ermitteln, da dies zur Vergrößerung des konstruktiven Aufwandes führen würde.

Wenn bei der erfindungsgemäßen Prüfvorrichtung das Teilmuster, das auf das Standardmuster bezogen werden soll, welches sich gemäß F i g. 2a aus den Bildelementen NxM zusammensetzt, aus dem zu prüfenden Muster gewonnen werden soll, wird der denkbare Bereich der Bildelemente N' χ M' der Positionsabweichung ermittelt, wie es in F i g. 2b gezeigt ist, so daß das Teilmuster an jeder Abweichungsposition ermittelt wird, während der Bereich mit einer vorbestimmten Geschwindigkeit verlagert wird. Beispielsweise wird zuerst das in F i g. 2b mit Vollinien dargestellte Teilmuster gewonnen, woraufhin das mit gestrichelten Linien angedeutete Teilmuster gewonnen wird, das in waagerechter Richtung um ein Element oder η Elemente verschoben ist. Diese Arbeitsschritte werden wiederholt, bis man das mit strichpunktierten Linien angedeutete Muster erhalten hat Hierauf wird das für jeden Abweichungspunkt gewonnene Teilmuster auf das Standardmuster bezogen, um die Parameter zu gewinnen, die das Ausmaß der Fehler anzeigen, wobei von diesen Parametern derjenige, welcher den kleinsten Fehler anzeigt, als Fehlerparameter verwendet wird. Dies geschieht, da es denkbar ist, daß der Fehlerparameter im abgeglichenen Zustand seinen kleinsten Wert annimmt, wenn der Fehler bei dem Muster innerhalb eines zulässigen Bereichs liegt, und daß der Fehlerparameter den zulässigen Wert überschreitet, selbst wenn er an dem Punkt auf das Standardmuster bezogen wird, wenn der Fehler bei dem Muster über den zulässigen Bereich hinausgeht.

F i g. 3 zeigt eine Steuerschaltung zum Erzeugen verschiedener Steuersignale, die für die Prüfungssteuereinrichtung benötigt werden, und zum Erzeugen des Synchronisations- und Taktsignals 51 für die Bildaufnahmeeinrichtung 5. Wenn gemäß Fig. I von der Transporteinrichtung 3 aus ein Transportabschlußsigna! 100 zugeführt wird, erzeugt die Steuerschaitung 50 einen BiIdaufnahmebefehl 52, das Synchronisationssignal 51 und das Taktsignal 54 für die Bildaufnahmeeinrichtung 5 sowie eine Adressenerzeugungsschaltung 13, so daß das aufgenommene Bild in einem Bildspeicher 12 gespeichert wird. In diesem Zeitpunkt schreibt der Bildspeieher 12 die Bildinformationen entsprechend dem Adressensignal 13S, das durch die Schaltung 13 erzeugt wird. Nach der Eingabe des Bildes erzeugt die Steuerschaltung 50 ein Signal 101, das es der Transporteinrichtung 3 ermöglicht, mit dem Transport der Gegenstände zu beginnen.

Hierauf wird ein Anfangseinstellsignal 53 einer Schaltung 14 zum Bestimmen des Minimums zugeführt, so daß der Maximalwert als Anfangswert eingestellt wird. Andererseits werden die Signale 13Sund 2OS, mit denen die Wiederholungszyklen zum wiederholten Durchführen der Vergleiche zwischen der Gewinnung und der Beurteilung der Muster zum Zweck des Ausgleichs der Lageabweichung gesteuert werden, durch die Adressenerzeugungsschaltung 13 und eine arithmetische Schaltung 20 erzeugt. In Abhängigkeit von den genannten Befehlssignalen und dem durch die Steuerschaltung 50 erzeigten arithmetischen Taktsignal 55 werden Adressenbefehlssignale 58 und 59 von der arithmetischen Schaltung 20 aus der Adressenerzeugungsschaltung 13 und dem Wörterbuchspeicher 11 zugeführt. Dies hat zur Folge, daß die Adressenerzeugungsschaltung 13 die Adressensignale 135 erzeugt, die bei jedem Zyklus etwas verschoben und dem Bildspeicher 12 zugeführt werden.

Sowohl die entsprechenden Wörterbuchinformationen 1IS aus dem Wörterbuchspeicher 11. die mit Hilfe der Tastatur 10 bezeichnet werden, als auch die dem Bildspeicher 12 entnommenen Informationen 12S werden der arithmetischen Schaltung 20 zugeführt, so daß eine vorher eingestellte Berechnung entsprechend dem arithmetischen Taktsignal 55 der Steuerschaltung 50 durchgeführt wird, um einen Fehlerparameter 2OS zu erzeugen. Der Wert 20S wird am Ende der Berechnung und im Zeitpunkt des Erscheinens eines Zyklusbeendigungssignals 56 mit dem Wert verglichen, der in der Schaltung 40 zum Bestimmen des Minimums gespeichert ist, so daß der Wert der Minimumschaltung erneuert wird, wenn der neu ermittelte Wert der niedrigere Wert ist.

so Wenn diese Arbeitsschritte wiederholt werde , bis der letzte Zyklus beendet ist, wird durch die Schaltung 14 zum Ermitteln des Minimums ein Wert bestimmt, der das beste Bezugsergebnis zwischen dem zu prüfenden Muster und dem Standardmuster anzeigt, welcher bei der Verschiebung des Entnahmepunktes aufgetreten ist. Der so ermittelte Wert wird als Signal 14S einer Vergleichsschaltung 16 zugeführt und mit dem zulässigen Wert lSSdes entsprechenden Musters verglichen, welcher entsprechend dem mittels der Tastatur 10 gegebenen Befehl dem Speicher 15 entnommen wird, wo dieses vorher zusammen mit dem zulässigen Fehlerwert für jedes Muster gespeichert worden ist. Die Vergleichsschaltung 16 erzeugt ein 1-Signal, wenn der ermittelte kleinste Fehlerwert 14Sden genannten zulässigen Wert i5S überschreitet; ist dies nicht der Fall, wird ein 0-Signal erzeugt. Dieses Signal wird einem Zwischenspeicher 17 für die beurteilten Ergebnisse in Abhängigkeit von den Taktimpulsen 57 eingegeben, die nach der Be-

endigung des letzten Zyklus erzeugt werden, so daß es als Auswerfsignal der Auswerfeinrichtung 3C nach F i g. I zugeführt <vird, und zwar nach einer vorher eingestellten zeitlichen Verzögerung, wenn das erwähnte Signal den Wert I hat. Wenn der erwähnte Zwischenspeicher 17 aus einem Schieberegister mit einer vorbestimmten Lunge besteht, kann der Stoppbefehl 103 dadurch erzeugt werden, daß das Ausgangssignal bei einer bestimmten Verschiebungsstelliing bei dem Auswerfsignal erzeugt wird und daß die Ausgangsi^nale bei den betreffenden Verschiebungsstellungen summiert werden, wenn ein bestimmter Wert überschritten wird, d. h. wenn mindestens eine bestimmte Anzahl der Gegentände bei der Anzahl, welche der Länge des Schieberegisters entspricht, als fehlerhaft befunden wird.

F i g. 4 zeigt eine weitere Ausführungsform einer Prüfungssteuereinrichtung 4, bei der das örtliche Muster, das jeder Lageabweichung entspricht, und das Standardmuster parallel berechnet und verarbeitet werden.

Zu der Schaltung nach Fig.4 gehören eine Vergleichsschaltung 18 und eine Zählerschaltung 19; die übrigen Schaltungselemente entsprechen denen in F i g. 3 gleichartig bezeichneten.

Die Ausführungsform nach Fig.4 ist dadurch gekennzeichnet, daß das Bildelement jedes örtlichen Musters an jedem Abweichungspunkt, das einem Bildelement des Standardmusters entspricht, welches dem Wörterbuchspeicher 11 entnommen wird, parallel dem Bildspeicher 12 entnommen wird und daß das Bildelement Hes Standardmusters und jedes Element des örtlichen Musters an jedem Abweichungspunkt so verglichen werden, daß beim Fehlen einer Übereinstimmung ein 1-Signal erzeugt wird. Die Ausgabevorgänge der Speicher 11 und 12 werden durch ein Adressensignal 54' gesteuert. Die verglichenen Ergebnissignale, die auf diese Weise parallel durch die Vergleichsschaltung 18 erzeugt werden, werden mit Hilfe des entsprechenden Zählers der Zählerschaltung 19 gezählt. Diese Operationen werden für alle Bildelemente des Standardmusters durchgeführt, so daß das Minimum der gezählten Werte der betreffenden Zähler bis zu dem betreffenden Zeitpunkt durch die Vergleichsschaltung 16 erzeugt wird, um das kleinste Ausmaß der Fehlerhaftigkeit des Musters anzuzeigen. Mit anderen Worten, der Inhalt der verschiedenen Zähler der Zählerschaltung 19 zeigt die Fläche der Nichtübereinstimmung zwischen dem örtlichen Muster und dsm Standardmuster an dem entsprechenden Abweichungspunkt, d. h. das Ausmaß der Fehlerhaftigkeit des örtlichen Musters an.

Die jenseits der Vergleichsschaltung 16 durchgeführten Operationen sind genau die gleichen wie bei der Ausführungsform nach F i g. 3.

Nunmehr sei angenommen, daß das zu prüfende Muster sowohl waagerecht als auch senkrecht gegenüber dem Standardmuster um 1 bis 4 Bildelemente verschoben wird. Dem Bildspeicher 12 werden jeweils 16 Datenbits parallel entnommen, und ihre Abweichung um 1 Bit vom Bezugsmuster des Wörterbuchspeichers 11 wird durch die Vergleichsschaltung 18 nachgewiesen und dem entsprechenden Zähler der Zählerschaltung 19 zugeführt.

Zwar wird bei dieser Ausführungsform die Abweichung der Bildeiemente zwischen dem Standardmuster und dem örtlichen Muster erfaßt, doch kann man gegebenenfalls die dazwischen bestehende Obereinstimmung erfassen und den höchsten Stand des Zählers in dem betreffenden Zeitpunkt der Vergleichsschaltung 16 zuführen, um das Mindestausmaß der Fehlerhaftigkeit des Musters anzuzeigen. Be:i dieser Weiterbildung wird das Maximum mit dem in dem Speicher 15 vorher eingestellten Wert verglichen, so daß die Vergleichsschaltung 16 ein Signal erzeugen kann, wenn das Ausgangssignal der Zählerschaltung 19 niedriger ist als der vorher eingestellte Wert.

Im folgenden sind weitere Ausgestaltungen der arithmetischen Schaltung 20 nach F i g. 3 beschrieben.

Wenn z. B. ein auf einen Gegenstand aufzudruckendes Muster, so wie es ist, als Standardmuster verwendet wird, weicht die Linienbreite des Musters von derjenigen des Standardmusters entsprechend den Bedingungen während des Drückens oder der Bildaufnahme ab, so daß ein teilweise unterschiedlicher Bereich zwischen dem Eingangsmuster und dem Standardmuster entsteht. Da jedoch das Muster selbst dann erkannt werden kann, wenn seine Linienbreite in einem gewissen Ausmaß variiert, so daß das Muster dem menschlichen Auge als Buchstabe oder als ein anderes Zeichen erscheint, ohne daß der natürliche Eindruck beeinträchtigt wird, ist es erforderlich, für den Flächenunterschied einen bestimmten zulässigen Wert festzulegen.

Wenn man z. B. die in Fig. 5a und 5b wiedergegebenen Formen des Buchstaben E vergleicht, zeigt es sich zwar, daß sie sich bezüglich etwa 10% ihrer Gesamtfläche unterscheiden, daß man jedoch in beiden Fällen den Buchstaben E ohne weiteres erkennt. Im Gegensatz hierzu gibt es jedoch Fälle, in denen es schwierig ist, das Muster als Schriftzeichen oder dergl. zu erkennen, und

jo zwar selbst dann, wenn nur bei einem kleinen Teil des Musters ein Zuviel oder ein Zuwenig vorhanden ist. Beispielweise kann das Schriftzeichen E völlig anders, z. B. als F, erscheinen, wenn die untere waagerechte Linie fehlt. Umgekehrt könnte das Schriftzeichen FaIs Buchstabe ^erscheinen, wenn es fehlerhaft ist.

Daher ist es mit Hilfe der Ermittlung des Flächeninhalts der verschiedenen Bereiche des Eingangsmusters und des Standardmusters dann, wenn die betreffenden Flächen nicht groß sind, schwierig, zu beurteilen, ob die Abweichungen durch eine zulässige Abweichung der Linienbreite oder durch einen Fehler einer unzulässigen Art hervorgerufen worden sind. In den Fällen von F i g. 5a und 5b unterscheiden sich die Muster nur bezüglich etwa 80% ihrer Gesamtflächen, so daß ihre Unterschiedsflächen kleiner sind als bei den Mustern nach F i g. 5a und 5c, doch haben sie als Buchstaben ein völlig unterschiedliches Aussehen. Somit muß man den Unterschied in den Fällen von F i g. 5a und 5b als unzulässigen Fehler betrachten.

Um diese Aufgabe zu lösen, genügt es, das nachstehend beschriebene Verfahren anzuwenden.

Da die Abweichung bezüglich der Linienbreite über das ganze Muster hinweg vorhanden ist, ergibt sich sowohl örtlich als auch für das gesamte Schriftzeichen das gleiche Verhältnis zwischen der abweichenden Fläche und der Gesamtfläche. Wenn an einer örtlich begrenzten Stelle ein Wert des Unterschiedsverhältnisses gilt, der höher ist als der mittlere Wert, weist das Muster jedoch einen ausschlaggebenden Fehler auf. Wenn man in F i g. 5 das gesamte Muster in 4 χ 4 Felder unterteilt, besteht zwischen F i g. 5a und 5c ein maximaler Unterschied von 22% innerhalb des Feldes 112, doch ist zwischen Fig.5a und 5b in dem Feld 111 ein Unterschied von bis zu 60% vorhanden.

Bei einem ersten Verfahren werden daher die beiden zu vergleichenden Muster jeweils in mehrere Felder von geeignetem Flächeninhalt unterteilt, und die Unterschiede der betreffenden Felder des Eingangsmusters

'B .Tl

und des Standardmusters werden für jedes Feld ermittelt und daraufhin beurteilt, ob das zulässige Ausmaß der Änderung der Linienbreite überschritten wird. Somit genügt es, die Richtigkeit des Musters entsprechend dem Vorhandensein oder der Anzahl der Felder zu ermitteln, von denen festgestellt wird, daß bei ihnen der zulässige Bereich überschritten wird.

F i g. 6 zeigt eine Ausführungsform der arithmetischen Schaltung 20, deren Aufbau auf dem soeben beschriebenen Grundgedanken beruht.

In diesem Fall wird die Ausgabe der Informationen aus dem Bildspeicher 12 so durchgeführt, daß das Bild des Musters in mehrere Felder unterteilt wird, daß die Informationen für ein Feld ausgegeben werden und daß dann die Informationen für ein nachfolgendes Feld ausgegeben werden. Andererseits ist in dem Wörterbuchspeicher 11 jedes Standardmuster in Form der Informationen für jedes der verschiedenen Felder gespeichert, so daß man die Informationen für jedes Muster dem Bildspeicher 12 entsprechend der erforderlichen Reihenfolge entnehmen kann. Außerdem wird in dem Wörterbuchspeicher 11 gleichzeitig der zulässige Wert des Flächenunterschiedes für jedes der erwähnten Felder gespeichert. In Fig.6 sind die für das Standardmuster und den zulässigen Wert vorgesehenen Speicherteile mit 11aund Hbbezeichnet.

Bei der Schaltung nach F i g. 6 werden die verschiedenen Zeitsteuersignale, die für die zu prüfenden Muster benötigt werden, durch eine Zeitgeberschaltung 21 der arithmetischen Schaltung 20 erzeugt. Ein Zähler 25 wird durch ein Rücksetzsignal 21Λ an jedem Beginn der betreffenden Musterentnahmezyklen zurückgesetzt, die durchgeführt werden, um der Lageabweichung zu entsprechen, während die Musterentnahmepunkte verschoben werden. Die Zeitgeberschaltung 21 führt der Adressenerzeugungsschaltung 13 und dem Wörterbuchspeicher 11 die Informationen 21 Fund 21Bzu, welche die Anzahl der Unterteilungsfelder anzeigen, so daß jeweils eine Gruppe der benötigten Informationen ausgegeben wird, um die verschiedenen Unterteilungsfelder nacheinander zu verarbeiten. Am Beginn des Mustervergleichsvorgangs bei jedem einzelnen Feld wird ein Zähler 23 zum Ermitteln des Flächenunterschiedes zwischen den Mustern durch Impulse 21C zurückgesetzt, so daß während des Verarbeitungsvorgangs Taktimpulse 21D erzeugt werden. Sowohl die Informationen 12S über das zu prüfende Muster aus dem Bildspeicher 12 als auch die Informationen HA über das Standardmuster, die dem Speicherteil WA des Wörterbuchspeichers entnommen werden, werden einer Nichtübereinstimmungs-Detektorschaltung 22 zugeführt, so daß sie durch den Zähler 23 in Abhängigkeit von den Taktsignalen 21D gezählt werden, wenn sie nicht übereinstimmen. Wenn die Datenverarbeitungsoperation für jedes Feld abgeschlossen ist, hat der Zähler 23 somit bereits die Differenzfläche ermittelt. Somit wird dieser Wert durch eine Vergleichsschaltung 24 mit einem zulässigen Wert llß verglichen, der im Speicherteil 116 des Wörterbuchspeichers 11 gespeichert ist, so daß der gezählte Wert in Form der Flächeninhalte der fehlerhaften Felder durch einen weiteren Zähler 25 gezählt wird, der dazu dient, die Flächen der fehlerhaften Felder entsprechend dem Zeitsteuersignal 21E zu zählen, welche den Abschluß der Verarbeitung der Felder anzeigt. Sobald die Verarbeitungsoperation für alle Felder abgeschlossen ist. wird der Inhalt des Zählers 25 als Fehlerparameter 205 susgegeben.

Vorstehend ist die grundsätzliche Arbeitsweise einer Ausführungsforr'i der arithmetischen Schaltung 20 beschrieben. Eine genauere Prüfung läßt sich mit Hilfe des im folgenden beschriebenen Verfahrens durchführen. Gemäß Fig. 5 wird eine Unterteilung in 4x4 Felder durchgeführt, und für jedes Feld wird das Differenzverhältnis des Musters ermittelt. Eine Differenz von bis zu 60% ergibt sich zwischen den Mustern nach F i g. 5a und 5b in dem Feld 111, so daß es möglich ist, ein fehlerhaftes Feld aufzufinden. Betrachtet man die Felder 113 in

ίο Fig.5a und 5c, die als von Natur aus gleichartig zu betrachten sind, besteht immer noch eine Differenz von etwa 15%, die nicht als fehlerhaft betrachtet wird. Tatsächlich ist offenbar in den Feldern 113 zwischen den Mustern nach Fig. 5a und 5c kein so großer Unterschied vorhanden. Daher wird ein Verfahren angewendet, bei dem die unterteilten Felder waagerecht und senkrecht etwas verschoben werden, so daß der im jeweiligen Zeitpunkt vorhandene kleinste Unterschied als Differenz für den unterteilten Bereich bzw. das Feld verwendet wird. Wenn bei diesem Verfahren das Feld 113 nach Fig.5a in Deckung mit dem Feld 113 nach F i g. 5c gebracht wird, verringert sich die Differenzfläche praktisch auf Null, wenn die Messung bei einer etwas nach rechts und unten verschobenen Lage erfolgt.

Bei dem Feld 111 ergibt sich dagegen immer noch eine Differenz von bis zu 60%, so daß sich das Feld 111 als fehlerhaft erkennen läßt.

Zur Durchführung dieses Verfahrens kann man die arithmetische Schaltung nach Fig.6 in unveränderter Form benutzen. Die Daten 21B und 21F. welche die Anzahl der Felder bezeichnen, werden dem Wörterbuchspeicher 11 und der Adressenerzeugungsschaltung 13 zugeführt, und der den Feldern entsprechende Inhalt wird aus dem Wörterbuchspeicher 11 und dem Bildspeieher 12 so ausgegeben, daß die Muster zur Durchführung eines Vergleichs verarbeitet werden. Hierbei wird der Inhalt des gleichen Keldes durch den Wörterbuchspeicher 11 ausgegeben, und um den Mustervergleich durchzuführen, wird eine geringe waagerechte und senkrechte Verschiebung nur bei dem Bildspeicher 12 durchgeführt, so daß jeweils die kleinste Unterschiedsfläche bei dem betreffenden Feld als Differenzfläche verwendet wird.

Der Grund dafür, daß die zugelassenen Werte 11B bei jedem Feld geändert werden, besteht darin, daß sich eine genauere Beurteilung erreichen läßt, wenn man die zugelassenen Werte entsprechend den Flächen der Bcgrenzungslinien des Musters in den Feldern verändert. Es ist jedoch ausreichend, die zugelassenen Werte auf einen solchen konstanten Wert einzustellen, und zwar ohne Rücksicht auf die Felder und die Art der Muster, um eine Vereinfachung zu erreichen, wobei selbst in dem Wörterbuchspeicher 11 keine Speicherung erfolgt.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung werden die Versuche bezüglich der Lageabweichung nacheinander durchgeführt. Es genügt jedoch, die allen Lageabweichungen entsprechenden Informationen aus dem Bildspeicher 12 parallel auszulesen und die arithmetische Schaltung ebenfalls parallel anzuordnen, um die Berechnungen so durchzuführen, daß die kleinsten Werte der Parameter sämtlich sofort berechnet werden können. Bei einem Zwischenverfahren werden die verschiedenen Abweichungen parallel verarbeitet, und diese Verarbeitungsschritte werden nacheinander durchgeführt, so daß eine vollständige Verarbeitung möglich ist.

Bei einem zweiten Verfahren, das für den Vergleich zwischen dem zu prüfenden Muster und dein Wörterbuchmuster geeignet ist, wird ein Wörterbuchmuster,

das einer Umwandlung in mindestens drei Wertpegel unterzogen worden ist, für das Standardschriftzeichen oder das Standardbild vorbereitet, das sich tatsächlich aus zwei Wertpegeln für Schwarz und Weiß zusammensetzt, und das zu prüfende Muster wird in mehreren Stufen in Helligkeitsstufen verwandelt. Hierbei genügt es, die beiden Muster in die Zwei-Wert-Pegel zu verwandeln und sie zu vergleichen, und die Vergleichsergebnisse werden so verwendet, daß der Wörterbuchmusterpegel integriert wird, wenn dazwischen ein Unterschied vorhanden ist, während der Pegel des zu prüfenden Musters hinzugefügt wird, so daß man das Schriftzeichen bzw. das Bild mit Hilfe des resultierenden integrierten Wertts beurteilen kann. Bei diesem Verfahren wird ein höherer Pegel demjenigen Teil zugewiesen, bei welchem sich ein Problem bezüglich der Mustererkennung in dem Wörterbuchmuster ergibt, und die Pegel können so angewendet werden, daß dies dem Teil entspricht, wo sich bei der Mustererkennung kein Problem ergibt, so dal? eine Bewertung bezüglich der Erkennbarkeit oder Lesbarkeit des Musters durchgeführt werden kann. Wenn man außerdem den Pegel des zu prüfenden Musters berücksichtigt, ist es möglich, auch den Kontrast des Musters, bei dem es sich um einen die Lesbarkeit beeinflussenden Faktoren handeln kann, in die Bewertung einzubeziehen.

F i g. 7a zeigt ein Beispiel für das auf dem vorstehenden Grundgedanken beruhende Wörterbuchmuster. Bei dem Buchstaben E wird die Begrenzung zwischen Schwarz und Weiß mit 0 gewichtet, und diese Gewichtung wird bei zunehmender Annäherung an die Mitte des Schriftzeichens von 1 auf 2 erhöht. Die übrigen Umgebungsteile werden dagegen sämtlich mit — 1 gewichtet. Fig. 7b zeigt in einer graphischen Darstellung das Gewichtungsverhalten des mittleren Teils des Buchstaben £ längs der Linie X-X'. Die Gewichtung von —1 bis 2 hat die nachstehende Bedeutung.

Erstens wird eine Unterscheidung derart getroffen, daß der Buchstabenteil einen positiven Wert erhält, während die übrigen Teile einen negativen Wert erhalten, und daß dem mittleren Teil des Buchstabenteils das größte Gewicht zukommt. Der Wert 0 am Begrenzungsteil zwischen Schwarz und Weiß ist wegen der Grenzbedingung unstabil und bezüglich des Aufbaus des Buchstaben ohne Bedeutung, so daß er nicht in die Bewertung einbezogen wird. F i g. 8 zeigt ein Beispiel für einen auszuwertenden Buchstaben. Zur Vereinfachung der Darstellung wird der den Buchstaben oder dergl. enthaltende Teil mit 1 bewertet, während der verbleibende Teil mit 0 bewertet wird, so daß eine Umwandlung in die Zwei-Wert-Pegel erfolgt.

Ein Ausführungsbeispiel für die arithmetische Schaltung 20 zum Durchführen des beschriebenen zweiten Verfahrens ist in F i g. 9 dargestellt Bei dieser Schaltung wird das Wörterbuchmuster und das zu prüfende Muster nacheinander ausgegeben, und die fehlenden oder überschüssigen Bereiche werden aus dem zu prüfenden Muster ermittelt, so daß der Bewertungspegel des entsprechenden Wörterbuchmusters zur Auswertung hinzugefügt wird.

Die Koordinatensignale 30B(I) und 30C(J) werden durch eine Zeitgeberschaltung 30 dem Wörterbuchspeicher 11 und der Adressenerzeugungsschaltung 13 zugeführt Die Wörterbuchmustersignale HS, die so ausgegeben werden, daß sie den Koordinatensignalen entsprechen, werden in Zwei-Wert-Signale 31S für 1 verwandelt, wenn sie gleich 0 oder größer sind, und in 0-Signale, wenn sie den Pegel — 1 haben; dies geschieht mi:

Hilfe einer Schwellenwertbildungsschaltung 31. Entsprechend wird das Signal 125 für das geprüfte Muster aus dem Bildspeicher 12 ebenso wie das erwähnte Zwei-Wert-Signal 315 einer Abweichungsnachweisschaltung 32 zugeführt, um ihren exklusiven Oder-Weit zu gewinnen, so daß ein Abweichungssignal 32Sden Oder-Wert 1 annimmt, wenn die Signale nicht übereinstimmen. Andererseits wird das Wörterbuchmustersignal 115 durch eine Absolutwerterzeugungsschaltung 33 in ein Absolutwertsignal 335 umgewandelt, so daß es über ein Gatter 34 einer Additionsstufe 35 zugeführt wird, wenn das Abweichungssignal 325 den Wert 1 hat. Zwar zeigt F i g. 9 nur ein solches Gatter, doch sind tatsächlich Gatter 34 in einer Anzahl vorhanden, die der Anzahl der Bits bei dem Ausgangssignal der Absolutwerterzeugungsschaltung 33 entspricht. Der Beurteilungswert 365, der in einem zugehörigen Speicher 36 gespeichert ist. und der Ausgangswert 345 des Gatters 34 werden durch die Additionsstufe 35 addiert und erneut in dem Beurteilungswertspeicher 36 gespeichert. In diesem Zeitpunkt tritt als Zeitsteuersignal ein Signal 3OD auf. Ein Rücksetzsignal 30Λ dient zum Löschen des Speichers.
Wenn ein solcher Vergleich über das ganze zu prüfende Muster und das Wörterbuchmuster hinweg durchgeführt wird, kann man den fehlerhaften Teil und den überschüssigen Teil des ersteren Musters herausziehen, um die Werte zu ermitteln, die durch die Gewichte der betreffenden Wörterbuchmuster ausgewertet werden, so daß sie in Abhängigkeit von dem Abschluß-Zeitsteuersignal 30ZT des Vergleichszyklus als Parameter 205 gewonnen werden können. Dieser Parameter 205 ist ein Wert zum Anzeigen des Auswertungswertes der wichtigen Eigenschaft, z. B. der Lesbarkeit des Musters ohne Rücksicht auf den Begrenzungsteil des Buchstaben.

Fig. 10 zeigt das Muster, bei dem die fehlerhaften und überschüssigen Teile in dem genannten Zeitpunkt durch das Wörterbuchmuster ausgewertet werden.
Soll das zweite vorstehend beschriebene Verfahren durchgeführt werden, kann man das an jedem Abweichungspunkt zu prüfende Muster zum Zweck der Verarbeitung parallel herausziehen, oder man kann dafür sorgen, daß mehrere Stufen oder Pegel vorhandc.i sind, die ausgewertet werden, und zwar einschließlich der Kontrastbedingung, um die Verarbeitungszeit abzukürzen.

Bei einem dritten Verfahren wird die Menge der Informationen über das Standardmuster und das zu prüfende Muster verkleinert, ohne daß sich eine Einbuße bezüglich der Leistung bei der Auswertung ergibt, so daß es möglich ist, die Qualität des Schriftzeichens und des Bildes unter Benutzung einer Vorrichtung von kleinen Abmessungen bei hoher Geschwindigkeit zu beurteilen. Bei diesem dritten Verfahren werden in einer geeigneten Anzahl feste Punkte, die aus denjenigen Teilen herausgezogen werden, weiche den Buchstaben oder das Bild aufweisen, und andere Teile bezüglich des Standardbuchstaben bzw. -bildes als Wörterbuchinformationen gespeichert Aus dem Buchstaben und dem Bild werden zur Auswertung solche Muster herausgezogen, die mindestens zwei Helligkeitsstufen aufweisen. Die aus den erwähnten Wörterbuchinformationen zugeführten gruppierten festen Punkte werden zur Dekkung mit dem zu prüfenden Muster gebracht, so daß der Schattierungspegel des örtlichen Musters, der in einer geeigneten Größe aus der Nachbarschaft des festen Punktes herausgeschnitten worden ist, mit dem Schattierungspegel des Festpunktteils der Wörterbuchinfor-

mationen verglichen wird. Die Schattierungspegel der örtlichen Muster werden entsprechend den verglichenen Ergebnissen integriert, so daß die Qualitätswerte der letzteren und des Bildes entsprechend dem integrierten Wert beurteilt werden. Beispielsweise wird das örtliche Muster mit 8x3 Bildelementen, die geprüft werden sollen, aus dem mittleren Teil des Bildelements (xi, yi) herausgeschnitten, der in dem zu prüfenden Muster eine vorbestimmte Lage einnimmt, wie es in F i g. 11 gezeigt ist und die Helligkeitspege! jedes Bildelements des örtlichen Musters wird mit derjenigen des Bildelements des Festpunktteils verglichen, der den Wörterbuchinformationen entspricht Somit wird die Anzahl der Bildelemente des örtlichen Musters, die den übereinstimmenden oder nicht übereinstimmenden Schattierungspegel gemäß demjenigen des Festpunktteils der Wörterbuchinformationen aufweisen, als integrierter Wert ermittelt Die Qualität des zu prüfenden Musters wird mit Hilfe des so ermittelten Wertes bewertet. In diesem FcIi werden die erwähnten integrierten Wene in den örtlichen Mustern, die allen Festpunkten entsprechen, ermittelt und summiert, so daß die Qualitätswerte des Buchstaben und des Bildes gemäß dem Summenwert bewertet werden.

Ferner wird die Tatsache, ob die Helligkeitsstufen der örtlichen Muster mit den entsprechenden Festpunkten übereinstimmen oder nicht, danach beurteilt ob die integrierten Werte in den örtlichen Mustern höher sind als ein vorher eingestellter Wert oder nicht Mit Hilfe der Ergebnisse der unabhängigen Beurteilung der betreffenden örtlichen Muster kann man die Qualität des Buchstaben und des Bildes als Ganzes beurteilen.

Wenn z. B. die Anzahl der Bildelemente, bei denen die Helligkeitspegel eines bestimmten örtlichen Musters mit derjenigen eines entsprechenden Festpunktes übereinstimmt, höchstens den Wert 2 hat weicht der Pegel des Festpunktes in dem örtlichen Muster von demjenigen des Festpunktes in den Wörterbuchinformationen ab, so daß festgestellt werden kann, daß ein fehlerhafter Teil vorhanden ist Werden mehrere fehlerhafte Teile aufgefunden, wird der Buchstabe oder das Bild als Ganzes als fehlerhaft bewertet

Bei diesen Verfahren ist es ausreichend, als zu verarbeitende Informationen die Informationen über eine begrenzte Zahl von Festpunkten und von örtlichen Mustern zu verwenden, so daß sich die Prüfvorgänge mit einer höheren Geschwindigkeit durchführen lassen und man mit einer Vorrichtung von kleineren Abmessungen auskommt

Da ferner von den Informationen über das örtliche Muster einschließlich des Randes eines Festpunktes Gebrauch gemacht wird, läßt sich die Bewertung des Musters selbst dann genau durchführen, wenn das Muster einen größeren oder kleineren Rauschanteil enthält, sowie selbst dann, wenn die Linienbreite des Buchstaben oder dergl. innerhalb des Musters kleiner wird als die normale Linienbreite.

Wenn man den Festpunkt an einem konstruktiv wichtigen Teil vorsieht, z. B. an der Linie oder Umfangsteilen des Buchstaben bzw. des Bildes, kann man ferner die maßgebende Oualitätsauswertung, z. B. bezüglich der Lesbarkeit, ohne Rücksicht auf den unstabilen Teil, z. B. die Musterbegrenzung des Buchstaben bzw. des Bildes, durchführen.

Dieses dritte Verfahren wird im folgenden bezüglich eines konkreten Beispiels anhand der Zeichnungen beschrieben.

Fig. 12 zeigt eine Gruppe von Festpunkten, die für den Standardbuchstaben E gelten. Hierbei bezeichnen die geschwärzten rechteckigen Festpunkte die Gruppe der Kernlinien des Buchstaben oder Bildes, während die eingerahmten Festpunkte die Gruppe der Randteile bezeidmen. Die verschiedenen Festpunkte sind in der folgenden Tabelle zusammengestellt.

Festpunkt-Nr. Kennzeichen Koordinaten

F₁ F₂

h I-,

In

h h

Jn

In der vorstehenden Tabelle unterteilt das Kennzeichen die Buchstabenteile und die Randteile derart, daß die aus den Buchstaben teilen gewonnenen Festpunkte auf i eingestellt werden, während die den Randteile!·, entnommenen Festpunkte mit 0 bezeichnet werden. Die Koordinaten / und / bezeichnen die Koordinatenwerte der Festpunkte, die herausgezogen und als Wörterbuch in dem Speicher gespeichert werden. Ein Beispiel für den Aufbau der arithmetischen Schaltung 20 zum Auswerten des Musters, das in Fig.8 dargestellt ist, mit Hilfe solcher Wörterbuchinformationen ist in Fig. 13 dargestellt
Bei dieser Schaltung erzeugt eine Zeitgeberschaltung 40 zunächst ein anfängliches Rücksetzsignal 4OA, mittels dessen ein Bewertungszahlspeicher 46 gelöscht wird, und dann wird ein Ausgabesignal 405 einem Speicher 11' zugeführt in dem die erwähnten Wörterbuchinformationen gespeichert sind. Unter den als Wörterbuchinformationen entnommenen Signalen wird ein Festpunkt-Lagesignal HA' einer örtlichen Musterlage-Erzeugungsschaltung 13' zugeführt, wo ein örtliches Musterlagesignal 135', das die Lage des Festpunktes betrifft dem Bildspeicher 12 zugeführt wird, in dem das zu prüfende Muster gespeichert ist. Wenn in diesem Zeitpunkt ein vorher eingestellter Wert (/JI, AJ) 54 dem die Lage des örtlichen Musters bezeichnenden Signal durch die Signalerzeugungsschaltung 13' hinzugefügt wird, können die Wörterbuchinformationen und das zu prüfende Muster mit dem verschobenen Punkt verglichen werden. Dann wird das exklusive Oder-Signal zwischen den so erhaltenen Informationen über das örtliche Muster und dem Kennzeichensignal lld', das danach dem Wörterbuchspeicher entnommen wird, mit Hilfe einer Schaltung 42 gewonnen, so daß das resultierende Ausgangssignal durch einen Zähler 43 gezählt wird, wenn sich sein Helligkeitspegel von dem im Wörterbuchspeicher gespeicherten unterscheidet. Der Stand des Zählers 43 gibt die Anzahl der Bildelemente eines solchen örtlichen Musters an, das einem Festpunkt entspricht dessen Helligkeitspegel sich von demjenigen des Festpunktes unterscheidet; mit anderen Worten, entsprechend der Fläche des fehlerhaften Teils des örtlicher Musters wird ein Ausgangssignal 1 erzeugt, und die Be urteilung, ob das dem Festpunkt des Wörterbuchs ent sprechende örtliche Muster fehlerhaft ist, erfolgt durcl· eine über das örtliche Muster entscheidende Schaltung 44, z. B. wenn die Fläche einen vorher eingestellter Schwellenwert überschreitet. Die Ausgabezeiten des Si gnals 1 werden durch eine Additionsstufe 45 zum Inhal des Bewertungszahlspeichers 46 addiert, und der Sum menwert wird erneut in diesem Speicher gespeichert Gemäß Fig. 13 wird dem Zähler 43 ein Rücksetzsigna

4OD zugeführt, mittels dessen der Inhalt des Zählers 43 für die fehlerhafte örtliche Musterfläche jedesmal gelöscht wird, wenn der eine Festpunkt verschoben wird.

Wenn man die vorstehend beschriebenen Operationen für sämtliche Festpunkte wiederholt, kann der fehlerhafte Zustand des konstruktiv wichtigen Teils des zu prüfenden Musters mit Hilfe der Festpunkte erfaßt werden, und die Ermittlung des Qualitätspegels, d.h. die Auswertung, kann entsprechend der Anzahl der Festpunkte durchgeführt werden, die sich als fehlerhaft erwiesen haben. Bei allen zu verarbeitenden Informationen handelt es sich nur um die Informationen über die Festpunkte sowie die Informationen über das entsprechende örtliche Muster, so daß sich diese Informationen mit Hilfe einer einfachen Vorrichtung mit hoher Geschwindigkeit verarbeiten lassen. F i g. 14 zeigt den fehlerhaften Teil des örtlichen Musters für den Fall, daß das Muster nach F i g. 8 ausgewertet wird.

Bei der bis jetzt beschriebenen arithmetischen Schaltung 20 zum Durchführen des dritten Verfahrens ist es auch möglich, die Schaltung 44 zum Entscheiden über das örtliche Muster fortzulassen. Wenn dies geschieht, wird in dem Bewertungszahlspeicher 46 der Gesamtwert der fehlerhaften Rächen des örtlichen Musters gespeichert, so daß man den gesamten Buchstaben ohne Rücksicht auf die betreffenden Festpunkte auswerten kann. Um die Verarbeitungszeit weiter zu verkürzen, kann man die örtlichen Muster parallel entnehmen und verarbeiten. Damit man mit einer geringeren Speicherkapazität des Wörterbuchspeichers auskommt, ist es ferner möglich, die Koordinaten des Festpunktes durch die relativen Koordinaten des vorausgehenden Festpunktes auszudrücken, wobei das zu prüfende Muster mehrere Pegel annehmen kann.

Die in Fig.3, 6, 9 und 13 dargestellten Steuerschaltungen lassen sich leicht als Mikrorechner oder dergl. ausbilden.

Fig. 15 zeigt den Aufbau einer Ausführungsform der Zählerschaltung, bei der die Nichtübereinstimmung bezüglich der Bildelemente zwischen dem Standardmuster und den zugehörigen örtlichen Mustern erfaßt wird, so daß die Anzahl der Abweichungen gezählt wird, um den Mindestzählwert zu erzeugen.

Zu der Schaltung nach Fig. 15 gehören unter anderen die folgenden Teile: Eine Anzahl von N synchronen umsteuerbaren Zählern 61-1 bis 61-N, eine Signalleitung 62 für das Taktsignal, eine Signalleitung 63 für das Löschsignal, eine Signalleitung 64 für ein Polaritätsbezeichnungssignal, Leitungen 65-1 bis 65-N für die Eingangssignale der Zähler 61-1 bis 61-/V, Wähler 66-1 bis 66-/V, die den Zählern 61-1 bis 61 -N entsprechen, Leitungen 67-1 bis 67-N zum Zuführen von Ziffersignalen zu den Zählern 61-1 bis 61-Λ/, ein NOR-Gatter 68, eine Ausgangssignalleitung 69 für dieses Gatter, ein Wähler 70, ein Hauptzähler 71 sowie Einrichtungen 72-1 bis 72-yVzum Anzeigen der in den Signalleitungen 67-1 bis 67-N erscheinenden Signale. Ferner ist eine Leitung 76 für ein Ausgangssignal vorhanden.

Fig. 16 zeigt Beispiele für die Eingabe- und Zählwerte in den betreffenden Steuerzeitpunkten der Zähler 61-1 bis 61 -N sowie 71 nach Fig. 15 für /V=3.

Fig. 17 zeigt den Verlauf der verschiedenen Signale bei der Schaltung nach Fig. 15 für den Fall, daß die in Fig. 16 dargestellten Zählvorgänge durchgeführt werden. In Fig. 17 erkennt man bei a das Taktsignal in der Leitung 62, bei b das Löschsignal in der Leitung 63, bei c das Polaritätsbezeichnungssignal in der Leitung 64, bei d e und /die gezählten Inhalte der Zähler 61-1.61-2 und 61-3, bei g das Mindesterneuerungs-Nachweissignal in der Leitung 69, bei h den gezählten Inhalt des Hauptzählers 71 sowie bei j, k und / die Ziffersignale in den Signalleitungen 67-1,67-2 und 67-3.
Als synchrone umsteuerbare Zähler kann man eine Reihenschaltung verwenden, die sich aus mehreren Schaltkreisen zusammensetzt, wie sie in der oberen Spalte von Seite 227 des Abschnitts 7 der Veröffentlichung »The TTL Data Book for Design Engineers (Second Edition)« beschrieben sind; dort bezeichnen die Buchstaben U/D die Klemme für das Polaritätsbezeichnungssignal, EN die Klemme für ein Freigabesignal, CLK die Klemme für das Taktsignal, CLR die Klemme für das Löschsignal, RCR die Klemme für das Ziffersignal und Ot/Tdie Klemme für das AusgangssignaL

Im folgenden ist die Wirkungsweise der Schaltung nach F i g. 15 anhand von F i g. 16 und 17 näher erläutert, wobei angenommen ist, daß von den Zählern 61-1,61-2, 61-3 und 71 Gebrauch gemacht wird.

Im Zeitpunkt Tl werden allen Zählern 61-1, 61-2, 61-3 und 71 über ihre Klemmen CLR die Löschsignale über die Signalleitung 63 zugeführt, so daß alle diese Zähler eingeschaltet, d. h. auf 0 gesetzt werden. Danach werden die Zählvorgänge während der drei Zeitspannen 72 bis Γ4, 75 bis 77 und 78 bis Γ10 als geschlossene Arbeitseinheit durchgeführt. Im vorliegenden Fall wird in den Steuerzeitpunkten für die Zählvorgänge, d. h. bei TZ T5 und TS, das in der Leitung 64 erscheinende Polaritätsbezeichnungssignal auf 1 gesetzt, so daß die Zähler 61-1, 61-2 und 61-3 in ihren positiven Zählzustand gebracht werden, und die Wähler 66-1,66-2 und 66-3 werden auf die Eingangssignalleitungen 65-1, 65-2 und 65-3 umgeschaltet, so daß bei den den Signalleitungen entsprechenden Zählern das Eingangssignal bei 1 schrittweise weitergeschaltet wird. Wenn die Erzeugung des Eingangssignals nur in einem vorher eingestellten Zeitpunkt stattfindet, wird das Polaritätsbezeichnungssignal nur in diesem Zeitpunkt auf 1 und in anderen Zeitpunkten auf 0 eingestellt. Findet dagegen die Erzeugung des Eingangssignals auf zufällige Weise statt, wird das OR-Ergebnis der in den Leitungen 65-1, 65-2 und 65-3 erscheinenden Signale als Polaritätsbezeichnungssignal verwendet. Wenn z. B. den umsteuerbaren Zählern 61-2 und 61-3 im Zeitpunkt T2 die betreffenden Eingangssignale zugeführt werden, nehmen die Stände dieser umsteuerbaren Zähler im Zeitpunkt 73 den Wert 1 an. Werden den umsteuerbaren Zählern 61-1 und 61-2 im Zeitpunkt 75 die betreffenden Eingangssignale zugeführt, nehmen die Stände dieser Zähler im Zeitpunkt 76 den Wert 1 bzw. 2 an. Infolgedessen nehmen alle Zählerstände der drei genannten umsteuerbaren Zähler in diesem Zeitpunkt einen Wert an, der gleich 1 oder höher als 1 ist. Die an den Klemmen RCR der drei umsteuerbaren Zähler erscheinenden Ziffersignale erzeugen den Wert 1, wenn die zugehörigen Zählerstände gleich 0 sind, d. h. wenn sie dem Anfangswert entsprechen, und sie erzeugen den Wert (λ wenn die Zählerstände von 0 abweichen. Wenn alle Zählerstände der drei umsteuerbaren Zähler einem von 0 abweichenden Wert entsprechen, nimmt das kleinste Erneuerungssignal in der Ausgangsleitung 60 des NOR-Gatters 68 den Wert 1 an. Da in diesem Zeitpunkt das Ziffersignal in der Leitung 64 den Wert 0 annimmt, wählen die betreffenden Wähler 66-1, 66-2 und 66-3 die Signalleitung 69, und da

es das in dieser Leitung erscheinende Signal gemäß der vorstehenden Beschreibung den Wert 1 annimmt, zählen alle drei umsteuerbaren Zähler um eine Einheit rückwärts. Daher nehmen im Zeitpunkt 77 die Zähler-

stände derZähler61-1,61-2,61-3 und 71 die Werte 0,1,0 und 1 an, so daß in der Leitung 69 ein Signal mit dem Wert 0 erscheint, um die Zählvorgänge der Zähler zu beenden. Dann wird im Zeitpunkt 7"8 den umsteuerbaren Zählern 61-1 und 61-2 das Eingangssignal 1 zugeführt, und im Zeitpunkt TIl wird das Eingangssignal 1 den Zählern 61-1, 61-2 und 61-3 zugeführt Nunmehr weichen die Zählerstände aller drei Zähler von 0 ab, so daß von jedem Zählerstand eine Einheit abgezogen wird, und daß der Zählerstand des Hauptzählers 71 um 1 erhöht wird.

Nach der Wiederholung der beschriebenen Operationen weisen diejenigen umsteuerbaren Zähler 61-1, 61-2 und 61-3, bei denen das Ziffersignal in der Signalleitung 67-1 bzw. 67-2 bzw. 67-3 den Wert 1 hat, den kleinsten Zählerstand auf, und der in diesem Zeitpunkt geltende Zählerstand wird durch den Hauptzähler 71 angezeigt und über die Klemme OL/Tausgegeben.

Durch Zuffih/en der Ziffersignale zu den entsprechenden Anzeigern 72-1, 72-2 und 72-3 kann daher das Glied mit dem niedrigsten Zählerstand direkt angezeigt werden. Zwar ist im vorstehenden Beispiel der Fall beschrieben, in dem die Anzahl der Glieder, d. h. die Anzahl der umsteuerbaren Zähler, gleich 3 ist, doch kann man auch jede andere gewünschte Zahl JV wählen. Ferner ist es möglich, die Anzeiger 72-1 bis 72-JV fortzulassen.

Fig. 18 zeigt den Aufbau einer weiteren Ausführungsform der Zählerschaltung nach F i g. 4. Bei dieser Ausführungsform wird die Übereinstimmung zwischen den Bildelementen des Standardmasters und der betreffenden örtlichen Muster e.faßt, und die Anzahl der Übereinstimmungen wird gezählt, l η das Maximum der Zählwerte zu erhalten. Bei dieser Ausführungsform wird der Ausgangswert ebenfalls auf 0 eingestellt

Zu der Schaltung nach F i g. 18 gehören die Signalleitungen 73-1 bis 73-JV für die höchstwertigen Bits der umsteuerbaren Zähler 61-1 bis 61-JV, ferner NOR-Gatter 74-1 bis 74-JV sowie ein Oder-Gatter 75. Im übrigen entspricht diese Schaltung der in F i g. 15 dargestellten.

Fig. 19 veranschaulicht die Beziehungen zwischen den Eingangssignalen und Zählerständen in den betreffenden Zeitpunkten bei den Zählern nach Fig. 18 für den Fall, daß JV gleich 3 ist.

Die Ausführungsform nach F i g. 18 unterscheidet sich von derjenigen nach Fig. 15 dadurch, daß dann, wenn dem umsteuerbaren Zähler, bei dem der Zählerstand eine positive Zahl mit Ausnahme von 0 ist, eine 1 zugeführt wird, die Inhalte aller umsteuerbaren Zähler 61-1 bis 61-JV in den nachfolgenden Zeitpunkten einzeln zurückgesetzt werden, während der Zählerstand des Hauptzählers 71 nur um 1 erhöht wird. Zu diesem Zweck wird das höchstwertige Bitsignal der Zählerstände, das an den Klemmen Q der umsteuerbaren Zähler 61-1 bis 61-JV erscheint, den Signalleitungen 73-1 bis 73-JV entnommen, so daß ihr NOR-Ergebnis zusammen mit den diesen Signalen entsprechenden Ziffersignalen an den NOR-Gattern 74-1 bis 74-JV erscheint, während das Oder-Ergebnis der Ausgangssignale dieser NOR-Gatter mit Hilfe des Oder-Gatters 75 gewonnen wird, so daß das resultierende Ausgangssignal in der Signalleitung 69 als das maximale Erneuerungsnachweissignal erscheint. Bei den NOR-Gattern 74-1 bis 74-W wird daher der Zustand, bei dem die entsprechenden umsteuerbaren Zähler 61-1 bis 61-Λ/weder einen negativen Wert noch den Wert 0 anzeigen, d. h. der Zustand, bei dem die Inhalte der entsprechenden umsteuerbaren Zähler positiv sind, als Anzeichen dafür betrachtet, daß jeder der an dem Oder-Gatter 75 erscheinenden Inhalte der umsteuerbaren Zähler positiv ist

Wenn bei dem Beispiel nach Fi g. 19 irgendeiner der Inhalte der Zähler 61-1,61-2 und 61-3 den Wert 1 in den Zeitpunkten Γ3, T6 und 7*12 annimmt erhält das in der Leitung 69 erscheinende Signal den Wert 1, so daß die Inhalte der umsteuerbaren Zähler 61-1, 61-2 und 61-3 um 1 verringert werden und daß der Inhalt des Hauptzählers 71 um 1 vergrößert wird.

ίο Im übrigen entsprechen Aufbau und Wirkungsweise der Schaltung nach Fig. 18 denjenigen der Schaltung nach F i g. 15, so daß sich eine weitere Erläuterung erübrigen dürfte.

Die Zähler, die denjenigen der Schaltung nach Fig. 15 ähneln, können als die erwähnten umsteuerbaren Zähler 61-1 bis 61-JV verwendet werden.

Im folgenden wird anhand von Fig.20 und 21 eine weitere Ausführungsform einer Zählerschaltung zum Gewinnen des Gliedes mit dem maximalen Zählerstand beschrieben. In diesem Fall wird von dem die Umschaltung der umsteuerbaren Zähler zwischen 0 und — 1 bewirkenden Ziffersignal Gebrauch gemacht

Fig.20 zeigt den Aufbau der Zählerschaltung, und Fig.21 ist ein Ablaufplan für die bei dieser Schaltung auftretenden Signale,

Zu der Schaltui.g nach F i g. 20 gehören die folgenden Teile: Asynchrone umsteuerbare Zähler 81-1 bis 81-JV, eine Signalleitung 82 für die Löschimpulse, den umsteuerbaren Zählern entsprechende Eingangssignalleitungen 83-1 bis 83-JV, Signalleitungen 84-1 bis 84-JV für die den Zählern 81-1 bis 81-JV zuzuführenden, reziproken Ziffern entsprechenden Borgsignale, ein Oder-Gatter 85, eine Signalleitung 86 für ein maximales Erneuerungsnachweissignal, eine Verzögerungsleitung 87, eine Signalleitung 88 für das Ausgangssignai der Verzögerungsleitung, Kippglieder 89-1 bis 89-JV, ein Oder-Gatter 90, ein Hauptzähler 91, Signaileitungen 92-1 bis 92-JV für die den Zählern 81-1 bis 81-JV zuzuführenden positiven Ziffersignale, Anzeiger 93-1 bis 93-/V und eine Signalleitung 94 für ein Ausgangssignal.

F i g. 21 zeigt den Verlauf der Signale bei der Schaltung nach Fig.20 für den Fall, daß JV gleich 3 ist. In Fig.21 erkennt man bei a die in der Signalleitung 82 erscheinenden Löschimpulse, bei b, f und k die Eingangssignale für die Signalleitungen 83-1,83-2 und 83-3, bei c,,g· und /die Zählerstände der umsteuerbaren Zähler 81-1,81-2 und 83-3, bei d, h und m die diesen umsteuerbaren Zählern entnommenen reziproken Zifferborgsignale, bei e,j und η die Ausgangssignale der Kippglieder 89-1, 89-2 und 89-3, bei ρ das in der Signalleitung 86 erscheinende maximale Erneuerungsnachweissignal, bei g das Ausgangssignal der Verzögerungsleitung 87 und bei r den Stand des Hauptzählers 91.

Im folgenden wird die Arbeitsweise der Schaltung nach F i g. 20 anhand von F i g. 21 näher erläutert.

Als asynchrone umsteuerbare Zähler 81-1 bis 81-Λ/ kann man die Zähler verwenden, bei denen die Eingänge für die Vorwärts- und Rückwärts-Zählimpulse (an den Klemmen D und U) unabhängig sind und bei denen an den Klemmen BR und CR Ausgänge für Vorwärts- und Rückwärts-Zifferimpulssignale für die Reihenschaltung für die höhere Ziffer vorhanden sind. Beispielsweise kann man eine Reihenschaltung der benötigten Schaltkreise verwenden, wie sie in der oberen Spalte von Seite 307 des Abschnitts 7 des Werks »The TTL Data Book for Design Engineers (Second Edition)« beschrieben sind.

Zunächst werden durch die in der Signalleitung 82

19 20

erscheinenden Löschimpulse alle Zähler 81-1 bis 81-N sowohl die Glieder, die den niedrigsten Zählwert haben, auf 0 gesetzt Die Eingangssignalleitungen 83-1 bis 83-/V als auch die Glieder mit dem höchsten Zählwert mit der verschiedenen umsteuerbaren Zähler sind jeweils Hilfe verschiedener Schaltungen realisiert werden. Da mit der Klemme D für das Röckwärtszähl-Eingangssi- jedoch die beiden Glieder zahlreiche gemeinsame Teile gnal verbunden, so daß die Inhalte dieser umsteuerba- 5 aufweisen, kann man sie mit Hilfe einer gemeinsamen ren Zähler in Abhängigkeit von den über die genannten Schaltung realisieren, so daß nur eine teilweise Um-Signalleitungen zugeführten Impulse verkleinert wer- schaltung erfolgt Bei den Schaltungen nach Fig. 15 und den. Wenn z. B.gemäß Fig.21 die Eingangsimpulse der 18 ist jeweils eine Schaltung zum Schalten des Aus-Eingangssignalleitung 83-2 zugeführt werden, geht der gangssignals des NOR-Gatters 68 (Fig. 15) bzw, des Inhalt des entsprechenden umsteuerbaren Zählers 81-2 10 Ausgangssignals des Oder-Gatters 75 (Fig. 18) derart von 0 auf — 1 über, so daß in der Signalleitung 84-2 die vorhanden, daß man die Zähler 61-1 bis 61-A/und 71, die Rückwärtsziffer-Borgsignale erscheinen. Daher kann Wähler 66-1 bis 66-ATund 70 sowie die Anzeiger 72-1 bis der Signalleitung 86 das maximale Erneuerungsnach- 72-Λ/ als gemeinsame Schaltungselemente verwenden weissignal entnommen werden, das durch die Verzöge- kann. Bei den Schaltungen nach F i g. 20 und 22 ist aurungsleitung 87 verzögert und der Klemme U für die 15 ßerdem eine Schaltung zum Schalten des Ausgangssipositiven Zählimpulse sämtlicher Zähler einschließlich gnals des Oder-Gatters 85 (F i g. 20) und des Ausgangsdes Hauptzählers 91 zugeführt wird, wobei jedoch eine signals der Impulserzeugungsschaltung 97 (Fig. 22) Überlagerung mit den Eingangsimpulsen verhindert vorhanden, so daß man die Zähler 81-1 bis 81-,V und 91, wird. Infolgedessen stellt der Inhalt des Zählers 81-2, der die Verzögerungsleitung 87, die Kifj.gliedeir 89-1 bis den Wen — 1 angenommen hat, wieder den Wert 0 her, 20 8S-jV und die Anzeiger 93-1 bis 83-Λ' ah gemeinsame woraufhin in der Signalleitung 92-2 die Vorwäi tsziffersi- Schaltungselemente verwenden kann, gnals erzeugt werden, um das entsprechende Kippglied Zwar gilt die vorstehend beschriebene Ausführungs-

89-2 zu setzen. Dieses Kippglied verbleibt in seinem form für den Fall, daß der Ausgangswert den Wert 0 hat, gesetzten Zustand, bis das nachfolgende maximale Er- doch könnte dieser auch jeden beliebigen anderen Wert neuenmgssignal erzeugt wird und die Rücksetzung 25 annehmen.

durch das Oder-Gatter 90 erfolgt Die Kippglieder 89-1 Zwar gilt die vorstehende Beschreibung für den Fall,

bis 89-N werden übrigens über das Oder-Gatter 90 daß die Zählerschaltungen nach Fig. 15 bis 22 als Zähdurch die Löschimpulse auch dann zurückgesetzt, wenn Ierschaltung nach F i g. 4 verwendet warden,, doch sei in den umsteuerbaren Zählern zunächst der Wert 0 ein- bemerkt, daß man eine solche Zählerschaltung auch vergestellt wird. Daher entspricht der umsteuerbare Zähler 30 wenden kann wenn die örtlichen Muster bei den betretder dem im gesetzten Zustand befindlichen Kippglied fenden Lageabweichungen dem Bildspeicher der Schalenlspricht, dem Zähler mit dem maximalen Zählwert. tungen nach Fig.6, 9 und 13 entnommen werden, so Durch Zuführen der Ausgangssignale der Kippglieder daß sie verarbeitet v/erden können.

89-1 bis 89-yVzu den entsprechenden Anzeigern 93-1 bis

93-N kann das Glied mit dem maximalen Zählwert an- 35 Hierzu !6 Blatt Zeichnungen

gezeigt werden. Andererseits hält der Hauptzähler 91 in

diesem Zeitpunkt den maximalen Zählwert fest, der
über die Signalleitung 94 ausgegeben wird.

Im folgenden wird anhand von Fig.22 eine weitere
Ausführungsform einer Zählerschaltung zum Gewinnen 40
des kleinsten Zählwertes beschrieben.

Der Aufbau der Zählerschaltung nach F i g. 22 unterscheidet sich von demjenigen der Ausführungsform
nach F i g. 20 dadurch, daß die Tatsache, daß alle höchstwertigen Bits (oder Schriftzeichenbits) der betreffenden 45
umsteuerbaren Zähler 81-1 bis 81-/Vden Wert 1 annehmen, d. h. daß die Inhalte der umsteuerbaren Zähler
sämtlich nur den Wert 0 annehmen und sämtlich negativ
werden, nachgewiesen wird, so daß ihr Zählergebnis
jeweils um 1 erhöht wird. 50

Wenn man auf der Eingangsseite des Und-Gatters 96
die Signalleitungen 95-1 bis 95-N verwendet, die mit den
für die höchstwertigen Bits (oder die Schriftzeichenbits)
vorgesehenen Klemmen der umsteuerbaren Zähler 81-1
bis 81-/V verwendet werden, wird die Tatsache, daß alle 55
höchstwertigen Bits (oder Schriftzeichenbits) dieser
Zählerden Wert 1 annehmen, mit Hilfe des Und-Gatters
96 nachgewiesen, so daß durch die Impulserzeugungsschaltung 97 Impulse erzeugt werden, die der Signalleitung 86 als kleinste Erneuerungsnachweissignale züge- 60
führt werden. Die übrigen Operationen verlaufen ähnlich wie bei der Schaltung nach F i g. 20, so daß sich eine
erneute Erläuterung erübrigen dürfte. Daher hält der
Hauptzähler 91 das kleinste Zählergebnis fest, während
die umsteuerbaren Zäh'er 81-1 bis 81 -N die Differenzen 65
gegenüber dem kleinsten Zählwert als negative Werte
festhalten.
Vorstehend ist ein Beisoiel dafür beschrieben, daß

Claims

Patentansprüche:

1. Vorrichtung zur Prüfung eines auf einem Gegenstand befindlichen Musters auf Fehler mit
einer Bildaufnahmeeinrichtung (5) zum Aufnehmen des Musters,

einem Bildspeicher (12) zum Speichern der Informationen der Bildaufnahmeeinrichtung (5) als erste Daten,

einer Einrichtung (18, 20) zum Vergleichen der ersten Daten (12Sj des Bildspeichers (12) mit zweiten in einem Speicher (11) gespeicherten Daten {US), die ein vorgegebenes Standardmuster angeben, um dadurch Abweichungen festzustellen, und mit
einer Schaltung (14) zum Bestimmen der minimalen Abweichung eines Teilmusters von dem Standardmuster.

gekennzeichnet durch
eine Adressenerzeugungseinriehuing (13) zum sequentiellen Zuführen von Adressensignalen (13Sj zu dem Bildspeicher (12), wobei die Adressensignale diejenigen Speicherplätze des Bildspeichers (11) bezeichnen, die Teilmusteni entsprechen, die man durch Verschieben eines vorgegebenen Gebietes erhält, und durch

eine Beurteilungsschaltung (16,24) zum Vergleichen des Ausgangs (14Sj der Schaltung (14) mit einem vorgegebenen Schwellwert (15SJ, um die Qualität des zu untersuchenden Musters zu beurteilen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausgang des Bildspeichers (12) und ein Ausgang (UA) des das Stasdardmuster enthaltenden zweiten Speichers (11) einer Nichtübereinstirnrnurigs-Detektorschahung (22) zugeführt sind, deren Ausgang zum Zählen der Abweichungen einem Zähler (23) zugeführt ist, daß der Ausgang des Zählers (23) an den einen Eingang einer Vergleichsschaltung (24) angelegt ist, deren anderer Eingang mit einem zweiten Ausgang (11.0,) des Speichers (11) für den Vergleich mit einem darin gespeicherten zulässigen Wert verbunden ist, und daß der Ausgang der Vergleichsschaltung (24) mit einem weiteren Zähler (25) verbunden ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vergleichseinrichtung (20) eine Absolutwert-Erzeugungsschaltung (33) und eine Schwellwertschaltung (31) aufweist, deren Eingänge mit dem zweiten Speicher (11) verbunden sind, daß der Ausgang (31S) der Schwellwertschaltung mit dem einen Eingang und der Ausgang des Bildspeichers (12) mit dem anderen Eingang eines Antivalenzgliedes (32) verbunden sind, daß der Ausgang (33Sj der Absolutwert-Erzeugungsschaltung (33) und der Ausgang (32Sj des Antivalenzgliedes (32) jeweils einem Eingang eines UND-Gatters (34) zugeführt sind, wobei der Ausgang des UND-Gatters (34) einem Eingang eines Addierers (35) zugeführt ist, dessen Ausgang mit dem Eingang eines rücksetzbaren Beurteilungs-Wertspeichers (36) und dessen anderer Eingang mit dem Ausgang (36Sj des Beurteilungs-Wertspeichers verbunden ist. (F i g. 9).

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Ausgang (MA') des zweiten Speichers (H') mit einer Musterlage-Erzeugungsschaltung (13') verbunden ist, deren Ausgang mit einem Adreßeingang (13Sj des Bildspeichers (12) verbunden ist, daß ein Kennzeichen-Signalausgang (MB') des zweiten Speichers (H') dem einen Eingang eines Antivalenzglieds (42) und der Ausgang (12Sj des Bildspeichers (12) dem anderen Eingang dieses Antivalenzgliedes (42) zugeführt sind, wobei der Ausgang des Antivalenzgliedes (42) dem Eingang eines rücksetzbaren Zählers (43) zugeführt ist, dessen Ausgang über eine Entscheidungsschaltung (44) einem Eingang eines Addierers (45) zugeführt ist, dessen Ausgang mit dem Eingang eines rücksetzbaren Beurteilungs-Wertspeichers (46) und dessen anderer Eingang mit dem Ausgang des Beurteilungs-Wertspeichers (46) verbunden ist (F i g. 13).