NL8002160A - Werkwijze en inrichting voor het waarnemen van fouten in een op een voorwerp aanwezig patroon. - Google Patents

Description

I' Λ * \ 803131/Ke

Korte aanduiding: Werkwijze en inrichting voor het waarnemen van fouten in een op een voorwerp aanwezig patroon·

De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze en inrichting voor het waarnemen van fouten in een patroon, bijv. een karakter of teken, aanwezig op een voorwerp.

Wanneer op een aantal artikelen, bijv. door een stempelbewer-5 king, een voorafbepaald patroon wordt aangebracht, bijv. een karakter of teken op het huis van een transistor of 1C, is het noodzakelijk om, teneinde de kwaliteit van het patroon te beoordelen, het patroon te inspecteren en voorwerpen met foute patronen te verwijderen. Tot nu toe geschiedt een dergelijke inspectie met 10 de hand; dit is tijdrovend en duur.

De uitvinding beoogt een werkwijze en inrichting te verschaffen met behulp waarvan een patroon aanwezig op een voorwerp, met hoge nauwkeurigheid automatisch kan worden gecontroleerd.

De uitvinding verschaft een werkwijze en inrichting waarbij 15 een beeld wordt opgenomen van een voorwerp dat is voorzien van een voorafbepaald patroon, waarbij de data van een te inspecteren patroon worden uitgenomen onder verschuiving ten opzichte van een vooraf in het opgenomen beeld bepaalde referentiepositie, en waarbij de parameters die de mate van defecten van de respectievelijke 20 te inspecteren patronen aangeven worden bepaald op basis van zowel de data van meerdere te inspecteren patronen zoals verkregen tijdens de verschuiving in de nabijheid van de referentiepositie als de vooraf opgeslagen data, en waarin de parameter die de minimale mate van fout aangeeft wordt verkregen uit de bepaalde parameters, 25 terwijl de verkregen parameter wordt vergeleken met een voorafbepaalde drempelwaarde teneinde de eigenschappen van het patroon te bepalen.

800 2 1 60 - 2 -

Oe uitvinding wordt toegelicht ααη de hand van de tekening.

Fig. 1 is een blokschema van een uitvoeringsvorm van een inrichting volgens de uitvinding; de figuren 2a en 2b lichten de vorming van een patroon vol-5 gens de uitvinding toe; fig. 3 is een blokschema van een uitvoeringsvorm van een inrichting volgens de uitvinding voor het inspecteren van een patroon; fig. 4 is een blokschema van een andere uitvoeringsvorm vol-10 gens de uitvinding; fig. 5 toont schematisch verschillen tussen te inspecteren patronen; fig. 6 is een blokschema van een uitvoeringsvorm van een rekenketen welke een belangrijk deel van de inrichting volgens 15 de uitvinding vormt; de figuren 7 en 8 tonen schematisch het voorgeschreven patroon en het te inspecteren patroon en beide figuren dienen ter toelichting van de werking van bovengenoemde tweede uitvoeringsvorm; 20 fig. 9 is een blokschema van een tweede uitvoeringsvorm van de rekenketen; fig. 10 is een schematische afbeelding van de resultaten van een inspectie uitgevoerd met de tweede uitvoeringsvorm volgens de uitvinding; 25 de figuren 11 en 12 tonen het lokale patroon en het voorge schreven patroon bij de derde uitvoeringsvorm der rekenketen; fig. 13 is een blokschema van een derde uitvoeringsvorm volgens de uitvinding; fig. 14 toont schematisch de resultaten van een inspectie 30 uitgevoerd met de derde uitvoeringsvorm volgens de uitvinding; fig. 15 is een verbindingsschema van een uitvoeringsvorm van een telketen te gebruiken bij de inrichting volgens de uit- 8002160 • * - 3 - vinding; fig. 16 is een tabel aan de hand waarvan de werking van de telketen wordt toegelicht; fig. 17 is een tijddiagram ter toelichting van de werking 5 van de inrichting volgens fig. 15; fig. 18 is het blokschema van een andere uitvoeringsvorm van een volgens de uitvinding toe te passen telketen; fig. 19 is een tabel ter toelichting van de werking van deze telketen; 10 fig. 20 is het blokschema van een nog andere uitvoeringsvorm van een toe te passen telketen; fig. 21 toont het daarbij behorend tijddiagram; fig. 22 is het blokschema van een weer andere uitvoeringsvorm van een toepasbare telketen.

15 Fig. 1 toont in blokschema de opbouw van een patroondrukin- richting waaraan is toegevoegd een patrooninspectie-inrichting volgens de uitvinding.

De met een patroon te bedrukken voorwerpen kunnen los van elkaar zijn of kunnen in een bepaald aantal met elkaar zijn ver- 20 bonden, bijv. het huis van een transistor of IC. Deze voorwerpen worden afgegeven door een toevoerinrichting 1 en met een patroon bedrukt door een drukinrichting 2; zij worden daarna toegevoerd aan de toevoerinrichting 3 om te worden geïnspecteerd. Deze toevoerinrichting 3 zorgt er voor dat de voorwerpen in de juiste 25 inspectiestand komen en informeert een de inspectie uitvoerende inrichting 4 daarover via het signaal 100. In responsie op dit signaal leest de inspectieinrichting 4 het patroon dat op het voorwerp is gedrukt uit door middel van een beeldopneeminrichting 5 om de aanwezigheid van een defect waar te nemen.

30 Het geheel van toevoerinrichting 3, beeldopneeminrichting 5 en inspectieverwerkingsinrichting 4 vormt een inspectieinrichting.

8002160 - 4 -

Afhankelijk van de resultaten van de beoordeling levert de inspectieververkingsinrichting 4 een signaal 102 voor het in bedrijf stellen van een uitwerpinrichting 3G in de toevoerinrichting 3 wanneer in het patroon een fout voorkomt. Wanneer een aantal 5 artikelen onderling verbonden wordt toegevoerd zal het uitwerp-mechanisme het uitwerpen bewerkstelligen wanneer een van deze artikelen een fout patroon heeft. In dit geval zal een afstand, bepaald door het aantal verbonden artikelen en de uitvoering van het uitwerpmechanisme aanwezig zijn tussen de beeldopneeminrichting 10 5 waarin het patroon wordt uitgelezen en het uitwerpmechanisme.

Die artikelen waaraan geen foutpatroon is waargenomen worden toegevoerd naar een opslagruimte 7 via een drooginrichting 6 terwijl de defecte artikelen worden toegevoerd naar een opslagruimte 8.

15 Wanneer de artikelen continu worden aangevoerd wordt de wer king van de beeldopneeminrichting of wel momentaan, dan wel door middel van een lijntaster uitgevoerd. Wanneer echter de artikel-toevoer intermitterend plaatsvindt kan de inspectieverwerkings-inrichting 4 de toevoer naar de toevoerinrichting 1 besturen.

20 De artikelen kunnen ook worden opgeslagen in de transportbaan tussen de drukinrichting 2 en de toevoerinrichting 3 zodat een verschil in snelheid kan worden gecompenseerd.

De inspectieververkingsinrichting 4 start of wel een waar-schuwingsinrichting 9 dan wel stuurt een stopcommando 103 naar de 25 toevoerinrichting 1 en de drukinrichting 2 wanneer ten minste een voorafbepaald aantal artikelen een defect patroon blijken te hebben zodat de drukbewerkingen met het defecte patroon en het verwijderen van goede artikelen, veroorzaakt door abnormaliteiten in de inspectieverwerkingsinrichting wordt voorkomen.

30 Bovengenoemde inspectieverwerkingsinrichting 4 is voorzien van een opslaginrichting 11 voor het opslaan van de voorgeschreven data corresponderend met de aard en drukinhoud van de artikelen en 8002160 JK « - 5 - een toetsenbord 10 voor het kiezen van een bepaalde drukinhoud zodat de voorgeschreven data kunnen worden uitgelezen of ingeschreven in overeenstemming met de besturingscommando's.

In de soort te gebruiken voorgeschreven data wordt het refe-5 rentiepatroon omgevormd in een bitmatrix van "1" en "0" op een wijze corresponderend met de wit- en zwart-inhoud van elk beeldelement gebruikt voor een ideaal tweedimensioneel patroon, gedrukt op het oppervlak van de voorwerpen, zodat het overeenkomt met het te inspecteren patroon dat eveneens in een bitmatrix wordt omgezet.

10 M.a.w.: twee patronen worden gesuperponeerd voor het bepalen van een verschildeel waarvan het oppervlak wordt gebruikt ais parameter voor een defect.

Wanneer er op dit moment een insteidiscrepantie en dispersie in de positieuitlijning tussen de voorwerpen en het drukpatroon 15 in de drukpositie of tussen de voorwerpen en de beeldopneeminrich-ting in de inspectiepositie is, is het niet duidelijk welke positiediscrepantie of defect van het patroon het verschilopper-vlak heeft teweeggebracht zodat geen juist oordeel kan worden gegeven. Het is echter niet nodig om speciale middelen toe te passen 20 voor het uitsluitend detecteren van de positiediscrepantie van het patroon daar in dat geval de afmetingen van de inrichting toenemen.

In de inspectie-inrichting volgens de uitvinding zal, wanneer het partiële patroon te vergelijken met het standaardpatroon opge-25 bouwd uit beeldelementen van N x H, zoals afgebeeld in fig. 2a, moet worden uitgenomen uit het te inspecteren patroon, een reeks van beeldelementen van N' x M' in de positiediscrepantie worden bepaald, zoals fig. 2b toont, zodat het partiële patroon wordt uitgenomen in elke discrepantiepositie terwijl de rij in 30 een voorafbepaalde mate zal worden verschoven. Zo wordt bijvoorbeeld het gedeeltelijke patroon, zoals aangegeven met getrokken lijnen in fig. 2b, het eerste uitgenomen,en het partiële patroon 8002160 - 6 - aangegeven met streeplijnen, horizontaal over één element of over n elementen verschoven, wordt daarna uitgenomen."Deze bewerkingen worden herhaald totdat de partiële patronen, aangegeven met de streeplijnen, zijn verkregen. Daarna wordt het partiële 5 patroon uitgenomen voor elke discrepantiepositie vergeleken met het standaardpatroon teneinde de parameters te bepalen die de mate van defecten aangeven, waarbij die parameter welke een minimum defect aangeeft als defect-parameter wordt gebruikt. De reden hiervan is dat het denkbaar is dat de defect-parameter een 10 minimum bereikt in de uitgelijnde toestand wanneer het defect in het patroon ligt binnen een toelaatbaar bereik van waarden en dat de defect-parameter deze toelaatbare waarde overschrijdt, in een bepaalde positie in het standaardpatroon wanneer het defect in het patroon buiten de toelaatbare waarde ligt.

15 Fig, 3 toont een besturingsketen voor het opwekken van ver schillende besturingssignalen noodzakelijk voor de inspectiever-werkingsinrichting en voor het opwekken van het synchrone signaal en kloksignaal 51 voor de inrichting 5. Wanneer een signaal 100, dat aangeeft dat de toevoer is gecompleteerd, wordt geleverd van 20 de toevoerinrichting 3 in fig. 1 wordt een beeldopneemcommando 52 opgewekt door de besturingsketen 50 en het synchrone signaal en de klokken 51 en 54 naar de beeldopneeminrichting 55 en een adresgeneratorketen 13 worden eveneens opgewekt zodat het beeld wordt opgeslagen in een beeldgeheugen 12. Op dit moment schrijft 25 het beeldgeheugen 12 de beelddata in in overeenstemming met het adres 13S opgewekt door de adresgeneratorketen 13. Nadat het beeld is ingeschreven wekt de besturingsketen 50 een signaal 101 op zodat de toevoerinrichting 3 de toevoer der voorwerpen kan beginnen.

30 Daarna wordt een initieel instelsignaal 53 toegevoerd aan een minimum bepalingsketen 14 zodat de maximum waarde als initiële waarde wordt ingesteld. De signalen 13S en 20S die de herhalings- 8002160 - 7 - cycli besturen voor het herhaald uitvoeren van de referenties tussen het uitnemen en referentie van de patronen teneinde rekening te houden met de positiediscrepantie worden opgewekt door de adresgeneratorketen 13 en een rekenketen 20« In responsie op deze 5 besturingssignalen en de rekenklok 30, opgewekt door de besturings-keten 50, worden adresbesturingssignalen 58 en 59 geleverd van de arithmische keten 20 naar de adresgeneratorketen 13 en het voorschrift geheugen 11« Als resulteert genereert de adresgeneratorketen 13 de adressen 13$ die enigszins verschoven zijn voor elke 10 cyclus en worden toegevoerd aan het beeldgeheugen 12«

Zowel de corresponderende voorgeschreven data 1IS in het voorschriftgeheugen 11 aangegeven door het toetsenbord 10 als de data 12S opgewekt door het beeldgeheugen 12 worden toegevoerd aan de rekenketen 20 zodat een voorafbepaalde berekening wordt uitge-15 voerd in overeenstemming met de rekenklok 55 van de besturings-keten 50 waardoor een defect-parameter 20S wordt opgewekt. Deze waarde 20S wordt vergeleken aan het einde van de berekening en in een tijd bepaald door een cyclusbeëindigingssignaal 56 met de waarde die is opgeslagen in de het minimum bepalende keten 14 zo-20 dat de waarde van deze minimumketen wordt vernield wanneer de opnieuw bepaalde waarde lager is.

Wanneer deze bewerkingen worden herhaald totdat de uiteindelijke cyclus is beëindigd is in de het minimum bepalende keten 14 een waarde aanwezig die het beste referentieresultaat aangeeft 25 tussen het te inspecteren patroon en het standaardpatroon uitgevoerd tijdens het verschuiven van de uitneempositie. De op deze wijze bepaalde waarde wordt als signaal 14S toegevoerd naar een vergelijkingsketen 16 en wordt daar vergeleken met de toegestane waarde 15S van het corresponderend patroon gelezen in responsie 30 op een commando afkomstig van het toetsenbord uit het geheugen 15 vooraf opgeslagen met de toelaatbare defectwaarde voor elk patroon. De vergelijkingsketen 16 wekt een waarde "1" op wanneer de minimum 8002160 - 8 - defectwaarde 14S op deze wijze bepaald de voorafbepaalde toegestane waarde 15S overschrijdt, en wekt in elk ander geval een "0n op.

Dit signaal wordt ingevoerd in een tijdelijk geheugen 17 voor de beoordeelde resultaten in responsie op tijdpulsen 57 die worden 5 opgewekt aan het einde van de uiteindelijke cyclus zodat het als het uitwerpsignaal wordt toegevoerd aan het uitwerpmechanisme 3 na een voorafbepaalde tijdvertraging in het voorgaande geval van de waarde n1H. Wanneer bovengenoemd tijdelijk geheugen 17 bestaat uit een schuifregister met een voorafbepaalde lengte kan het 10 stopcommando 103 worden opgewekt door het instellen van de uitgang in een bepaalde schuifpositie ten opzichte van het uitwerpsignaal en door het sommeren van de uitgangen in de respectievelijke schuifposities wanneer een bepaalde waarde wordt overschreden, bijv. wanneer ten minste een voorafbepaald aantal voorwerpen 15 in aantal corresponderend met de lengte van het schuifregister defect zijn gebleken.

Fig. 4 toont een andere uitvoeringsvorm van de inspectie-verwerkingsinrichting volgens fig. 1 waarbij het lokale patroon corresponderend met elke positiediscrepantie en het standaard-20 patroon parallel worden berekend en verwerkt.

In fig. 4 zijn met de verwijzingscijfers 18 resp. 19 aangegeven een verwerkingsketen en een telketen, de andere verwijzingscijfers duiden op elementen die ook in fig. 3 voorkomen.

In de uitvoeringsvorm volgens fig, 4 wordt het beeldelement 25 van elk lokaal patroon bij elke discrepantiepositie die correspondeert met een beeldelement van het standaardpatroon uitgelezen uit het voorschriftgeheugen 11 parallel ingelezen uit het beeld-geheugen 12 waarbij het beeldelement van het standaardpatroon en elk element van het lokale patroon op elke discrepantiepositie 30 zodanig worden vergeleken dat een signaal H1" wordt opgewekt wanneer er een verschil daartussen bestaat. Aanvankelijk worden de uitleesbewerkingen van de geheugens 11 en 12 bestuurd door een 8002160 - 9 - adressignaal 54'. De vergeleken resulterende signalen op deze wijze parallel opgewekt en afkomstig van de vergelijkingsketen 18 worden geteld door de corresponderende teller in de telketen 19. Deze bewerkingen worden uitgevoerd voor alle beeldelementen 5 van het standaardpatroon zodat het minimum van de getelde waarden der respectievelijke tellers tot dat moment is opgewekt door de vergelijkingsketen Ié en de minimum mate van patroondefecten aangeeft. M.a.w.: de inhouden van de respectievelijke tellers der telketen 19 geven het onverenigbaarheidsoppervlak tussen de lokale 10 patronen en het standaardpatroon op de corresponderende positie-discrepantie, dus de mate van fouten van het lokale patroon.

De bewerkingen volgend op de vergelijkingsketen 16 zijn dezelfde als die uitgevoerd in de uitvoeringsvorm volgens fig. 3.

In het nu volgende wordt het geval beschouwd waarin het te 15 inspecteren patroon van één tot vier beeldelementen wordt verschoven in horizontale respectievelijk vertikale richting ten opzichte van het standaardpatroon. Data van 16 bits worden parallel uitgelezen uit het beeldgeheugen 12 en de onverenigbaarheid van één bit van het referentiepatroon van het voorschriftgeheugen 11 20 wordt gedetecteerd door de vergelijkingsketen 18 en ingevoerd in de corresponderende teller der telketen 19.

In de voorgaande uitvoeringsvorm kan, hoewel de onverenigbaarheid in de beeldelementen tussen de standaard- en lokale patronen wordt gedetecteerd, ook de onverenigbaarheid worden 25 gedetecteerd daartussen en de maximum waarde van de teller op dat moment wordt toegevoerd aan de vergelijkingsketen 16 en geeft de minimum mate van fouten in het patroon aan. Bij deze modificatie wordt het maximum vergeleken met de waarde vooraf ingesteld in het geheugen 15 zodat een signaal kan worden opgewekt door de verge-30 lijkingsketen 16 wanneer de uitgang van de telketen 19 lager is dan de vooraf ingestelde waarde.

Andere uitvoeringsvormen van de rekenketen 20 aangegeven in 8002160 - 10 -

Fig. 3 zullen in het nu volgende worden beschreven.

Wanneer een patroon gedrukt op een voorwerp wordt gebruikt zal vergeleken met het standaardpatroon de lijnbreedte van het patroon afwijken van die van het standaardpatroon in overeenstem-5 ming met de omstandigheden bij het bedrukken en het opnemen van het beeld zodat een gedeeltelijk verschillend oppervlaktedeel wordt gevormd tussen de ingang en standaardpatronen. Daar echter het patroon kan worden herkend, zelfs wanneer de lijnbreedte in een bepaalde mate varieert als een letter of een symbool waar-10 genomen door het menselijk oog zonder dat de herkenbaarheid daaronder vermindert, is het noodzakelijk een bepaalde nog toelaatbare waarde voor oppervlakteverschillen vast te stellen. Wanneer men bijvoorbeeld de patronen van de letter nEn afgeheeld in de figuren 5(a) en 5(c) vergelijkt blijkt dat zij een verschil-15 lend deel hebben over ongeveer 1C$ van hun totale oppervlak doch nog steeds als een letter "E” worden herkend. Het kan echter voorkomen dat het patroon moeilijk als juist is te herkennen wanneer een oppervlaktetekort in slechts een klein deel van het patroon optreedt: de letter "E" kan vrijwel gelijk zijn aan de 20 letter "F" wanneer het onderste been ontbreekt. Een letter die in feite de "F" is kan, indien enigszins vervormd, zeer sterk lijken op de letter "E".

Het slechts bepalen van de oppervlakken der verschillende delen van de ingevoerde en standaardpatronen maakt het mogelijk, 25 tenzij zij groot zijn, te beoordelen of zij worden veroorzaakt door toelaatbare veranderingen in de lijnbreedte of door een ontoelaatbaar gebrek. In de gevallen van de figuren 5(a) en 5(b) kunnen de patronen over ongeveer 80^ van hun totaaloppervlakken verschillen zodat de verschillen kleiner zijn dan die tussen de 30 patronen volgens fig. 5(a) en 5(c) doch zij zijn als letters totaal verschillend. Het verschil in de gevallen 5(a) en 5(b) moet dan ook worden beschouwd als een niettoelaatbaar defect.

8002160 «? « - 11 -

Teneinde dit probleem op te lossen kan de volgende methode worden toegepast:

Daar de verandering in lijnbreedte over het gehele patroon plaatsvindt is de verhouding van het verschiloppervlak en het 5 totale oppervlak van het patroon lokaal en geheel op hetzelfde niveau. Voor patronen met een fatale fout treedt een hogere ver-schilverhouding op op een bepaalde lokale positie dan het algemeen gemiddelde. Wanneer het gehele patroon wordt verdeeld in gebieden van k x zoals fig. 5 dit toont, zal het maximum verschil van 10 22# optreden in het gebied 112 tussen de figuren 5(a) en 5(c), doch een verschil van tot 60# treedt op in het gebied 111 tussen de figuren 5(a) en 5(¾)·

Volgens de eerste methode worden de twee te vergelijken patronen respektievelijk verdeeld in een aantal gebieden met geschikt 15 oppervlak, worden de oppervlakken der verschillende delen tussen de ingevoerde en standaardpatronen bepaald op elk gebied en wordt beoordeeld of zij al dan niet het toelaatbare bereik van verandering in lijnbreedte overschrijden. Op deze wijze is het voldoende om de eigenschappen van het patroon te bepalen in overeenstemming 20 met de aanwezigheid van een aantal gebieden waarin volgens de beoordeling het toelaatbare bereik wordt overschreden.

Fig. 6 toont een bepaalde uitvoeringsvorm van de rekenketen 20 die uitgevoerd is op grondslag van de bovenbeschreven conceptie.

In dit geval worden de uitlees handelingen van de gegevens 25 uit het beeldgeheugen 12 zodanig uitgevoerd dat het patroonbeeld wordt verdeeld in een aantal gebieden en dat eerst de gegevens van het ene gebied worden uitgelezen en daarna van een volgend gebied. Anderzijds bevinden zich in het voorschriftgeheugen 11 alle stan-daardpatronen als de gegevens van alle gebieden, zodat de gegevens 30 van elk van de gebieden in de volgorde van uitnemen van het ge- biedspatroon uit het beeldgeheugen 12 kunnen worden gehaald. Bovendien bevindt zich in het voorschriftgeheugen 11 tegelijk de toelaatbare waarde van het oppervlakteverschil van elk van de genoemde gebieden. Overigens zijn in fig. 6 de geheugendelen voor het 35 standaardpatroon en voor de toegestane waarde aangeduid door 11a respektievelijk 11b.

In de aldus uitgevoerde ketens worden de verschillende nnn 2160 -12- tijdbepalingssignalen die nodig zijn voor de te inspekteren patronen opgewekt door een tijdbepalingsstuurketen 21 uit de rekenketen 20. Een teller 25 wordt teruggesteld door een terugstelsignaal 21A daar elk begin van een extractiecyclus voor een van de patronen, 5 welke cycli worden uitgevoerd voor het opvangen van de positie-discrepantie tijdens het verschuiven van de patroonextractieposi-ties. De tijdbepalingsstuurketen 21 voedt de keten 13 voor adresopwekking en het voorschriftgeheugen 11 met de gegevens 21F en 21B, die de getallen aangeven van de deelgebieden, zodat de een a groep 10 van de benodigde gegevens wordt uitgelezen voor het achtereenvolgens verwerken van de verschillende deelgebieden. Bij het begin van de handelingen voor het verwerken van de vergelijking van elk deelgebied wordt door pulsen 21C een teller teruggesteld voor het vaststellen van het oppervlakteverschil tussen de patronen, zodat 15 tijdens de verwerking klokken 21D worden opgewekt. Zowel de gegevens 12S van het te inspekteren patroon uit het beeldgeheugen 12 als de gegevens 11A van het standaardpatroon die uitgelezen worden uit het geheugendeel 11a van het voorschriftgeheugen worden toegevoerd aan een keten 22 voor het vaststellen van gebrek aan overeen-20 stemming, zodat ze, wanneer ze niet overeenstemmen, door de teller 23 geteld worden in responsie op de klokken 21D. Wanneer de gegevensverwerking voor elk gebied voltooid is, is het verschilopper-vlak ervan reeds bepaald door de teller 23· Als gevolg daarvan wordt deze waarde door een vergelijkingsketen 2k vergeleken met een 25 toegestane waarde 11B die vastgelegd is in het geheugendeel 11b van het voorschriftgeheugen 11, zodat de getelde waarde wordt geteld in een teller 25 die bestemd is voor het tellen van de oppervlakken van de foutgebieden op de tijdbepaling van een signaal 21E dat de voltooiing voorstelt van de verwerking van het gebied. Wanneer de 30 verwerking van alle gebieden voltooid is wordt de inhoud van de teller 25 gegenereerd als een foutparameter 20S.

Het vorenstaande beschrijft de grondbewerkingen van een uitvoeringsvorm van de rekenketen 20. Meer nauwkeurige inspektie kan worden uitgevoerd op de volgende manier. Meer in het bijzonder 35 verwijzend naar fig. 5 wordt een verdeling gemaakt in de gebieden van k x 4-, en voor elk daarvan wordt de verschilverhouding van het patroon onderzocht. Er ontstaat een verschil met een waarde van 8002160 - 13 - 60# in een gebied 111 tussen de patronen van fig. 5(a) en (b), zodat het foutgebied gevonden kan worden. Als de gebieden 113 tussen de patronen van fig. 5(a) en (c), die natuurlijk identiek worden beschouwd, worden opgenomen bestaat er toch nog een verschil van 5 ongeveer 15# dat niet als fout wordt beoordeeld. Het ziet er eigenlijk helemaal niet naar uit dat er zoveel verschil is in de gebieden 113 tussen de patronen van fig. 5(a) en (c). Er wordt dus een manier toegepast waarin de deelgebieden enigszins horizontaal en vertikaal worden verschoven, zodat het minimale verschil op. dat, -10 moment wordt gebruikt als het verschil van het deelgebied. Volgens deze methode wordt, wanneer het gebied 113 van het patroon (a) registreert met het gebied 113 van patroon (c), het verschilopper-vlak tot in hoofdzaak nul gereduceerd, wanneer het wordt gemeten in de positie die iets naar rechts en naar beneden is verplaatst.

15 In het gebied 111 ontstaat nog steeds een verschil met een waarde van 60#, zodat het gebied 111 voldoende kan worden beoordeeld als fout.

Om deze methode toe te passen kan de rekenkundige keten van fig. 6 in de bestaande vorm worden gebruikt. De gegevens 21B en 21F 20 die de nummers aanduiden van de deelgebieden worden aan het voorschrift geheugen 11 toegevoerd en aan de keten 13 voor adresopwekking, en de met de deelgebieden overeenkomende inhoud wordt uit het voorschriftgeheugen 11 en het beeldgeheugen 12 gelezen zodat de patronen aan de vergelijkingsbewerking worden onderworpen. Op dat 25 moment wordt de inhoud van hetzelfde deelgebied opgewekt vanuit het voorschriftgeheugen 11 en wordt de patroonvergelijking gemaakt door alleen voor het beeldgeheugen 12 een kleine horizontale en vertika-le verplaatsing te maken, zodat dan het minimale oppervlak van gebrek aan overeenstemming wordt gebruikt als het verschiloppervlak 30 voor dat deelgebied.

De reden waarom de toegestane waarden 11B voor elk gebied worden veranderd is dat nauwkeuriger beoordelingen kunnen worden bereikt door de toegestane waarden te veranderen overeenkomstig de oppervlakken van de grenzen van het zich in de gebieden bevindende 35 patroon. Slechts ter vereenvoudiging is het echter voldoende wanneer de toegestane waarden worden ingesteld op een zodanige konstan-te waarde, onafhankelijk van de gebieden en het soort patronen, dat 8002160 - 3A - die zelfs in het voorschriftgeheugen 11 niet zijn opgeslagen.

In de voorgaande beschrijving worden de onderzoekingen met betrekking tot de positie discrepantie achtereenvolgens uitgevoerd.

Het is echter voldoende dat de gegevens die overeenkomen met alle 5 positie discrepanties parallel uit het beeldgeheugen 12 worden uitgelezen en dat de rekenkundige keten ook parallel geschakeld is voor het uitvoeren van de berekeningen, zodat de minimale waarden van de berekende parameters, allemaal, tegelijk .kunnen worden- vast * .

gesteld. Als-tussenliggende methode worden-de verschillende·'diacre^·.....- 10 panties parallel behandeld en worden deze bewerkingshandelingen achtereenvolgens uitgevoerd zodat ze allemaal kunnen worden bewerkt.

Volgens een tweede methode die geschikt is voor de vergelijking tussen het te inspekteren patroon en het voorgeschreven patroon wordt een voorgeschreven patroon, dat onderworpen is aan om-15 zetting in niveaus met tenminste drie-waarden, gemaakt voor de standaardletter of standaardbeeld dat intrinsiek samengesteld is uit niveaus van twee-waarden, zwart en wit, waarbij dan het te inspekteren patroon omgezet wordt in de grijs-niveaus van meerdere trappen. Het is voldoende wanneer de twee patronen in de twee-waar-20 den niveaus worden omgezet en vergeleken, en de uitkomsten van de vergelijking worden zo gebruikt dat het niveau van het voorgeschreven patroon wordt geïntegreerd wanneer er een verschil aanwezig is, terwijl het niveau van het te inspekteren patroon wordt opgeteld, waardoor de letter of het beeld kan worden geëvalueerd door de ver-25 kregen geïntegreerde waarde. Volgens deze methode wordt een hoger niveau gegeven aan het gedeelte waar een probleem ontstaat voor de herkenning van het voorgeschreven patroon; de toepassing van de niveaus kan zo worden gemaakt dat het gedeelte waar geen problemen ontstaan bij de patroonherkenning, zodat een evaluatie kan worden 30 gemaakt naar de herkenbaarheid of leesbaarheid van het patroon.

Wanneer bovendien reken wordt gehouden met het niveau van het te inspekteren patroon, kan ook het kontrast van het patroon, dat een van de faktoren kan vormen voor de leesbaarheid, in de evaluatie worden opgenomen.

35 Fig. 7(a) toont een voorbeeld van het voorgeschreven patroon op grondslag van de bovenstaande gedachte. Voor de letter ’’B” wordt de grens tussen het zwart en het wit gewogen op 'O", en dit gewicht 8002160 - 15 - neemt toe van Π1Π tot M2M wanneer men het midden van de letter nadert. Anderzijds worden alle overige omtreksdelen gewogen op tf —l,f.

Fig. 7(¾) is een grafische voorstelling die het verloop laat zien van de weging van het middelste gedeelte van de genoemde letter "E" 5 langs de lijn X - X'. De weging van ’’-l" tot H2n heeft de volgende betekenis.

Allereerst wordt zodanig gediscrimineerd dat men aan het let-tergedeelte een positieve waarde geeft, terwijl de overige delen een negatieve waarde- krijgen, terwijl in het letterdeel het middel- - - 10 ste gedeelte het grootste gewicht krijgt. Vervolgens is de waarde ••O" op het grensgebied tussen het zwart en het wit instabiel door de grenstoestand; deze waarde is niet van belang vanuit het oogpunt van de opbouw van de letter, zodat hij buiten de evaluatie staat. Daarentegen laat fig. 8 een voorbeeld zien van de te evalueren let-15 ter. In deze figuur wordt, ter vereenvoudiging van de weergave, het gedeelte met de letter of dergelijke voorstelling gewogen op M1H, terwijl het resterende gedeelte gewogen wordt op ,f0M, waardoor de omzetting wordt uitgevoerd in twee-waardige niveaus.

Een voorbeeld van de rekenkundige keten 20 voor toepassing 20 van de tot zover beschreven tweede methode is weergegeven in fig. 9*

In deze keten worden het voorgeschreven patroon en het te inspekte-ren patroon achtereenvolgens geëxtraheerd en worden de ontbrekende en de overtollige gebieden uit het te inspekteren patroon afgeleid, zodat het gewichtsniveau van het korresponderende voorgeschreven 25 patroon wordt toegevoegd voor evaluatie.

Allereerst worden de coördinaatsignalen (I, J) 50B en 30C uit een tijdbepalingsstuurketen 30 toegevoerd aan het voorschriftgeheu-gen 11 en de keten 13 voor adresopwekking. De signalen 11S van het voorschriftpatroon, zo uitgelezen dat ze korresponderen met de co-30 ordinaatsignalen, worden omgezet in bivalente signalen 31S van n1" in het geval ze gelijk zijn aan of hoger dan hul, en M0n in het geval ze liggen op een niveau van -1, door de werking van een drempel-keten 31· Op dezelfde wijze worden het signaal 12S van het gexnspek-teerde patroon dat uit het beeldgeheugen 12 is gelezen en het ge-35 noemde bivalente signaal 31S toegevoerd aan een keten 32 voor vaststelling van gebrek aan overeenstemming voor het vaststellen van een exclusieve OF, zodat een signaal 32S voor niet-overeenstemming 8002160 - 16 - een OF "1" veronderstelt wanneer ze niet overeenstemmen. Aan de andere kant wordt het signaal 11S voor het voorgeschreven patroon omgezet in een signaal 33S van absolute waarde door de werking van een keten 33 voor het opwekken van die absolute waarde, zodat het 5 via een poort toegevoerd wordt aan een opteller 35 wanneer het signaal 32S voor gebrek aan overeenstemming de waarde "l" heeft.

Er is overigens een aantal poorten 3^ aanwezig dat overeenkomt met het bit nummer van de uitgang van de keten 33 voor de-absolute waarde, hoewel er in fig. sleuhts "éên: is- getekend. i3e:.'evaluatie-10 waarde 36S, die vastgelegd wordt in een geheugen 36 voor de evalu-atiewaarde, en de uitgang 3^S van de genoemde poort 3^i worden opgeteld door de opteller 35 en weer vastgelegd in het evaluatie-waardegeheugen 36* Een signaal 30D is op dat moment een tijdbepa-lingssignaal. Bovendien wordt een terugstelsignaal 30A gebruikt om 15 eerst het geheugen te wissen.

Wanneer zo'n vergelijking helemaal wordt uitgevoerd over het te inspekteren patroon en het voorgeschreven patroon kan het ontbrekende gedeelte en het overtollige gedeelte van het eerstgenoemde patroon worden geëxtraheerd om de waarden te bepalen die geëvalu-20 eerd worden door de gewichten van de verschillende voorgeschreven patronen, zodat ze kunnen worden geëxtraheerd als de parameter 20S naar aanleiding van het tijdbepalingssignaal 30E voor de voltooiing i van de vergelijkingscyclus. Deze parameter 20S is een waarde om de evaluatiewaarde aan te geven van de substantiële kwaliteit zoals de 25 leesbaarheid van het patroon onafhankelijk van het overgangsgedeel-te van de letter.

Fig. 10 toont het patroon waarvan de ontbrekende en de overtollige gedeelten op dat moment worden geëvalueerd door het voorgeschreven patroon. Wanneer de bovenbeschreven tweede methode moet 30 worden uitgevoerd kan het te inspekteren patroon bij elke positie discrepantie parallel worden geëxtraheerd om te worden behandeld, of men kan er meerdere niveautrappen aangeven en evalueren met inbegrip van de kontrasttoestand om de tijdsduur voor de behandeling te verkorten.

35 Er wordt ook een derde methode beschreven, waarin de hoeveel heid informatie betreffende het standaardpatroon en het te inspekteren patroon wordt gereduceerd zonder achteruitgang van de 8002160 - 17 - eigenschappen van de evaluatie, zodat de kwaliteit van de letter en het beeld met hoge snelheid kunnen worden geëvalueerd met gebruik van een inrichting met kleine afmetingen» Volgens deze derde methode wordt een geschikt aantal vaste punten, die geëxtraheerd worden 5 uit de delen waarin zich de letter of het beeld bevindt en andere delen, ten opzichte van standaardletter of -beeld, opgeslagen als voorgeschreven gegevens. Anderzijds wordt vanuit het letter of het beeld dat geëvalueerd moet worden een zodanig te evalueren patroon geëxtraheerd dat dit tenminste twee grijs-niveaus 'heeft." De'ge-.....

10 groepeerde vaste punten die uit de genoemde voorschrift gegevens worden toegevoerd worden gericht ten opzichte van het te inspekte-ren patroon, zodat het grijs-niveau van het plaatselijke patroon dat met een geschikte afmeting wordt uitgesneden in de omgeving van de vaste positie, vergeleken met het grijs-niveau van het gedeelte 13 van de voorschrift gegevens met betrekking tot het vaste punt. De grijs-niveaus van de plaatselijke patronen worden geïntegreerd overeenkomstig de vergeleken resultaten, zodat de kwaliteiten van de letter en het beeld worden geëvalueerd overeenkomstig de geïntegreerde waarde. Zo wordt bijvoorbeeld het plaatselijke patroon met 20 de beeldelementen 3x3 dat geïnspekteerd moet worden uitgesneden uit het middelste gedeelte van het beeldelement (x^., y\) dat zich bevindt op een bepaalde positie in het te inspekteren patroon, zoals weergegeven in fig. 11; het grijs-niveau van elk beeldelement van het lokale patroon wordt vergeleken met dat van het beeld-25 element van het vaste puntgedeelte dat overeenkomt met de voorgeschreven gegevens. Zo wordt het aantal beeldelementen van het plaatselijke patroon met het overeenkomstige of niet-overeenkomstige grijs-niveau, met of uit die van het vaste puntgedeelte van de voorgeschreven gegevens, bepaald als de geïntegreerde waarde. De kwali-30 teit van het te inspekteren patroon wordt geëvalueerd door de anders bepaalde waarde. In dit geval worden de genoemde geïntegreerde waarden in de plaatselijke patronen overeenkomend met alle vaste punten bepaald en opgeteld, zodat de kwaliteiten van de letter en het beeld worden geevalueerd overeenkomstig de optelwaarde.

35 Bovendien wordt de vraag of de grijs-niveaus van de plaatse- lijke patronen in overeenstemming zijn met die van de korresponde-rende vaste punten beoordeeld overeenkomstig het feit of de 8002160 - ι8 - geïntegreerde waarden in die plaatselijke patronen al of niet hoger zijn dan een vastgestelde waarde. Vanuit de uitkomsten van de onafhankelijke beoordeling van de verschillende plaatselijke patronen kan de kwaliteit van de letter of het beeld als geheel worden ge-5 evalueerd.

Wanneer bijvoorbeeld het aantal beeldelementen, waarin het grijs-niveau van een bepaald plaatselijk patroon overeenkomt met dat van een korresponder,and...vast.-punt^,-ten.hoogs-ta,tw.ee-«bedraagt^ - · - ... is het niveau van het vaste- punt in dat plaatselijke-patroon'niet·* .......- · 10 in overeenstemming met dat van het vaste punt in de voorgeschreven gegevens, om daaruit te oordelen dat er een ontbrekend gedeelte bestaat. In het geval er verschillende ontbrekende gedeelten worden gevonden wordt als evaluatie van de letter of het beeld gegeven dat het als geheel ontbreekt.

15 Volgens deze procedures is de te behandelen informatie vol doende wanneer het de informatie is van een beperkt aantal vaste punten en van de plaatselijke patronen, zodat de verwerkingshande-lingen van de inspektie met grotere snelheid kunnen worden uitgevoerd en de afmetingen van de inrichting verkleind kunnen worden.

20 Omdat bovendien de informatie wordt gebruikt van het plaatse lijke patroon met inbegrip van de omtrek van een vast punt, kan de evaluatie van het patroon nauwkeurig worden uitgevoerd zelfs wanneer het patroon ruis bevat, en zelfs wanneer de lijnbreedte van de letter of dergelijk beeld waaruit het patroon bestaat kleiner wordt 25 dan normaal.

Door het vaste punt te kiezen op een konstruktief belangrijk gedeelte zoals de lijn of omtreksgedeelten van de letter of het beeld, kan bovendien de evaluatie van de substantiële kwaliteit, zoals de leesbaarheid, worden uitgevoerd onafhankelijk van het on-30 stabiele gedeelte zoals de grenslijn van het patroon van de letter of het beeld.

De derde methode zal nu worden beschreven in verband met een concreet voorbeeld aan de hand van de tekeningen.

Fig. 12 illustreert een groep vaste punten die gevormd is 35 voor de standaardletter "En. Daarvan geven de massief zwarte vierkante punten de groep aan van de kernlijnen van de letter, terwijl de open vierkante punten de groep van de omtreksgedeelten aangeven.

8002160 - 19 -

Deze verschillende vaste punten worden in de volgende tabel samengevat s

Vast punt no· Vlag Coördinaten 1 Τχ % Jx 52 F2 I2 j2 N FN IN jn 10 In de bovenstaande tabel worden door MvlagM de lettergedeel- ten en de omtreksgedeelten verdeeld, zodat de vaste punten die geëxtraheerd worden uit de letterdelen ingesteld worden op ”1", terwijl de vaste punten die geëxtraheerd worden uit de omtreksgedeelten worden ingesteld op M0H. Anderzijds geven de coördinaten (I, J) 15 de coördinaatwaarden aan van de geëxtraheerde vaste punten en deze worden als voorschrift in het geheugen vastgelegd. Een voorbeeld van de opbouw van de rekenkundige keten 20 voor de evaluatie van het patroon, zoals eerder weergegeven in fig. 8, overeenkomstig de voorschrift gegevens van dit type is nu weergegeven in fig. 15· 20 In deze schakeling wordt door een tijdbepalingsstuurketen 40 eerst een aanvankelijk terugstelsignaal 40A opgewekt, waardoor een evaluatiewaardegeheugen 46 wordt gewist, en daarna wordt een uit-leessignaal 40B toegevoerd aan een geheugen 11' waarin de genoemde voorschrift gegevens zijn opgeslagen. Uit de signalen die geëxtraheerd 23 worden als voorgeschreven gegevens wordt een positiesignaal 11A’ voor een vast punt toegevoerd aan een keten 13' voor het opwekken van de positie van een plaatselijk patroon, waar een positiesignaal 13’ voor een plaatselijk patroon om de positie van het vaste punt wordt toegevoerd aan het beeldgeheugen 12 waarin het te inspekteren 30 patroon is vastgelegd. Wanneer op dat moment een vastgestelde waarde (ΔΙ, aJ) 34 toegevoegd wordt aan het positiesignaal voor het plaatselijke patroon door de keten 13'1 kunnen de voorgeschreven gegevens en het te inspekteren patroon worden vergeleken terwijl de positie verschoven is. Dan wordt de exclusieve OF genomen tussen de 33 aldus verkregen gegevens van het plaatselijke patroon en het vlag-signaal 11B' dat vervolgens uit het voorschriftgeheugen wordt gelezen door de'werking van een vergelijkingsketen 42, zodat de 8002160 - 20- re suit erende uitgang geteld wordt door een teller 4-3 wanneer het een grijs-niveau heeft dat verschillend is van het niveau dat opgeslagen is in het voorschriftgeheugen. De waarde van de teller geeft het aantal beeldelementen aan van een dergelijk plaatselijk 5 patroon dat overeenkomt met een vast punt wanneer dat een ander grijs-niveau heeft dan het vaste punt, d.w.z. het oppervlak van het ontbrekende gedeelte van het plaatselijke patroon, zodat er een uitgang »1** wordt- opgewekt ,· -oordelend -dat het plaatse lijke 'patroonT - ’ " ' ” overeenkomend met-het -vaste -punt-"van 'het -worschri-ft-‘de'fekt is,’-:: _ 10 door de werking van een beslissingsketen kk voor het plaatselijke patroon, bijvoorbeeld wanneer het oppervlak groter is dan een bepaalde drempelwaarde. Het aantal malen dat het signaal "l" aan de uitgang komt wordt door een opteller kj opgeteld bij de inhoud van het evaluatiewaardegeheugen, en de opgetelde waarde wordt weer op-15 geslagen in dit evaluatiewaardegeheugen *f6. Een signaal *fOD is een terugstel signaal van de teller bj>; naar aanleiding daarvan wordt de inhoud van de teller ^3 voor het ontbrekende oppervlak van het plaatselijke patroon gewist telkens wanneer het ene vaste punt wordt verschoven.

20 Als de bovenstaande handelingen worden herhaald voor alle vaste punten kan men vat krijgen op de defekte toestand van het konstruktief belangrijke gedeelte van het te inspekteren patroon door middel van de vaste punten, en kan het kwaliteitsniveau, d.w.z. de evaluatie, worden uitgevoerd overeenkomstig het aantal vaste 25 punten dat blijkt te ontbreken. Bovendien is alle te behandelen informatie de informatie van de vaste punten en die van het korres-ponderende plaatselijke patroon, zodat hij met hoge snelheid kan worden verwerkt, met gebruikmaking van de eenvoudige konstruktie van de inrichting. Fig. l*f illustreert het ontbrekende gedeelte van 30 het plaatselijke patroon wanneer het patroon van fig. 8 wordt geëvalueerd.

In de rekenketen 20 voor toepassing van de tot zover beschreven derde methode is de beslissingsketen kk voor het plaatselijke patroon overbodig. In dit geval bevindt zich in het evaluatiewaarde-35 geheugen hS de totale waarde van de ontbrekende oppervlakken van het plaatselijke patroon, zodat de gehele letter geëvalueerd kan worden onafhankelijk van de verschillende vaste punten. Om de verwerkings-

800 2 1 SO

« * - 21 - tijd verder te verkorten is liet bovendien voldoende dat de plaatselijke patronen parallel kunnen worden geëxtraheerd en behandeld.

Om de opslagcapaciteit van het voorschriftgeheugen verder terug te brengen kunnen verder nog de coördinaten van de vaste punten worden 5 uitgedrukt door de relatieve coördinaten ten opzichte van het vorige vaste punt, en kan het te inspekteren patroon meerdere niveaus aannemen.

*

Overigens kunnen de in fig. 3» 6, 9 en 13 weergegeven stuur-ketens gemakkelijk gerealiseerd worden met gebruik van een micro-10 computer of dergelijke inrichting.

Fig. 15 toont de opbouw van een uitvoeringsvorm van de tel-keten, waarin het ontbreken van overeenstemming in de beeldelementen tussen het standaardpatroon en de verschillende plaatselijke patronen wordt vastgesteld zodat het aantal gebreken van overeen-15 stemming wordt geteld voor het opwekken van de minimum telwaarde.

Door tekens 6l-l tot 6l-N wordt een aantal omkeerbare tellers aangeduid van synchroon type; 62 duidt de signaallijn aan van het kloksignaal; 63 de signaallijn van het wissignaal; 6k de signaallijn van een signaal dat een polariteit aanduidt; 65-1 tot 65-N de 20 signaallijnen van ingangssignalen die overeenkomen met de respek-tieve tellers 6l-l tot 6l-N; 66-1 tot 66-N selektors die zo geplaatst zijn dat ze overeenkomen met de tellers 6l-l tot 6l-N; 67-1 tot 67-N de signaallijnen van digit voerende signalen van de respek-tieve tellers 6l-l tot 61-N; 68 een NOF-poort; 69 de uitgangssig-25 naallijn van de NOF-poort 68; 70 een selektor; 71 een hoofdteller, en 72-1 tot 72-N indicators die de signalen aanduiden van de signaallijnen 67-1 tot 67-N. Bovendien duidt 78 de signaallijn aan van een uitgangssignaal.

Fig. 16 toont voorbeelden van de ingangs- en telwaarden op de 30 verschillende tijdstippen van de tellers 6l-l tot 6l-N en 71 uit fig. 15 voor N * 3·

Fig. 17 laat het signaalverloop zien van de verschillende signalen in de keten van fig. 15 in het geval van uitvoering van teloperaties zoals weergegeven in fig. 16. In fig. 17 duidt de let-35 ter (a) het kloksignaal aan van de signaallijn 62; (b) het wissignaal van de signaallijn 63; (c) het signaal dat de polariteit aangeeft van de signaallijn 67; (d), (e) en Cf) de getelde inhoud van 8002160 - 22 - de tellers 61-1, 61-2 en 61-3; (g) het minimale vernieuwingsdetek-tiesignaal van de signaallijn 69; (h) de getelde inhoud van de hoofdteller 71, en (j), (k) en (1) de digit voerende signalen van de signaallijnen 67-1, 67-2 resp. 67-3· 5 Overigens kan als omkeerbare teller van het synchrone type een serie-schakeling worden gebruikt van meerdere ketens die beschreven worden in "The TTL Data Book for Design Engineers" (Second Edition), Section 7, - biz. 227-,-de bovenste-kolom,„ waarin. — de letters ïï/D de klem aanduiden van het signaal dat "de poiari'ted't'- — “' * “ 10 aangeeft; EN de klem van een vrijgavesignaal; CLK de klem van het kloksignaal; OLE de klem van het wissignaal; ROE de klem van het digit voerende signaal, en OUT de klem van het uitgangssignaal.

De werking van de keten van fig. 13 zal nu in bijzonderheden worden beschreven aan de hand van fig. 16 en 17· Hier wordt veron-15 dersteld dat de tellers zijn samengesteld uit 6l-l, 61-2, 6l-3 en 71.

Allereerst krijgen, op een tijdstip Tl, alle tellers 6l-l, 61-2, 6l-3 en 71 aan hun klemmen CLEs de wissignalen toegevoerd via de signaallijn 63, zodat ze allemaal aan de gang gezet worden, 20 d.w.z. op 0 gesteld. Vervolgens worden de teloperaties uitgevoerd door de drie tijdstippen T2 tot T*f, T5 tot T7» en T8 tot T10 als een enkele werkeenheid te gebruiken. In dit geval wordt, op de tijdstippen voor de telhandelingen, bijvoorbeeld T2, T5 en T8, het signaal van de lijn 6k dat de polariteit aanduidt op "1" gesteld, 25 zodat de tellers 6l-l, 61-2 en 6l-3 worden ingesteld op positief tellen, en de selektors 66-1, 66-2 en 66-3 worden omgeschakeld naar de ingangssignaallijnen 65-I, 65-2 en 65-3 zodat de tellers overeenkomend met de signaallijn waarvan het ingangssignaal op "1" staat stapsgewijs verder gebracht worden. Wanneer de opwekking van het 30 ingangssignaal slechts plaats vindt op een bepaald tijdstip wordt het polariteitssignaal alleen op "1" gesteld op dat tijdstip, en op "0" op alle andere tijdstippen. Wanneer anderzijds de opwekking van het ingangssignaal op willekeurige wijze plaatsvindt, wordt de OF uit de signalen van de lijnen 65-1, 65-2 en 65-3 gebruikt als pola-35 riteits aanduidend signaal. Wanneer bijvoorbeeld asm de omkeerbare teller 61-2 en 6l-3 op het tijdstip T2’hun respektieve ingangssignalen worden toegevoerd zal de inhoud van de omkeerbare tellers 8002160 - 23 - 61-2 en 6l-3 de waarde ’l11 aannemen op het tijdstip T3· Waarneer de omkeerbare tellers 6l-l en 61-2 op het tijdstip T5 hun respektieve ingangssignaal toegevoerd krijgen nemen de telwaarden van de omkeerbare tellers 6l-l en 6l-2 de waarden ’’l” en U2M aan op het 5 tijdstip T6. Als gevolg daarvan zal de inhoud van alle omkeerbare tellers 61-1, 61-2 en 6l-3 op dat tijdstip een waarde hebben gelijk aan of hoger dan "1H. De digit voerende signalen aan de klemmen RCRs van de omkeerbare- tellers 61-1, 61-2 en 6l-3 wekken de waarde' Hln op, wanneer de respektieve inhoud ervan op M0n staat, d.w*z.

10 de beginwaarde, en de waarde "O’1 wanneer de inhoud niet M0” is.

Zoals hierboven werd beschreven zou, wanneer de inhoud van alle omkeerbare tellers 6l-l, 61-2 en 6l-3 een waarde heeft anders dan H0H, het minimale vernieuwiningssignaal van de signaallijn 69 uit de NOF-poort 68 een waarde nln aannemen. Op dat tijdstip zullen, 13 omdat het digit voerende signaal van de signaallijn 6b de waarde ’’O" aanneemt, de respektieve selektors 66-1, 66-2 en 66-3 de signaallijn 69 selekteren, en omdat het signaal van de lijn 69 de waarde nl" aanneemt, zoals hierboven werd beschreven, zorgen de verschillende omkeerbare tellers 6l-l, 61-2 en 61-3 tezamen voor de 20 teruggaande tellingen van een. Op dit moment voert, omdat de selek-tor 70 de signaallijn 69 selekteert, de hoofdteller 71 de teloperatie uit om slechts een verder te gaan. Als gevolg daarvan zal de inhoud van de tellers 61-1, 61-2, 61-3 en 71 de waarden 'O’1, Mln, "O” resp. ’Ί11 aannemen, zodat het signaal van de lijn 69 de waarde 25 M0U aanneemt om daardoor de teloperaties van de tellers te stoppen. Op het tijdstip T8 krijgen dan de omkeerbare tellers 61-1 en 61-2 de ingang ”1" toegevoerd en op het tijdstip Til krijgen de omkeerbare tellers 6l-l, 61-2 en 6l-3 de ingang nln toegevoerd. Dan wordt de inhoud van alle tellers 6l-l, 61-2 en 6l-3 verschillend van "O”, 3o zodat de inhoud onderworpen wordt aan de terugtelbewerking door H1M, en zodat de inhoud van de hoofdteller 71 opgeteld wordt met "l".

Door herhaling van deze operaties heeft de omkeerbare teller 6l-l, 61-2 of 6l-3, waarin het digit voerende signaal van de signaallijn 67-1, 67-2 of 67-3 de waarde nl" heeft, de minimale tel-35 waarde, en de telwaarde op dat moment wordt aangegeven in de hoofdteller 71. De inhoud van deze hoofdteller 71 wordt naar buiten gevoerd aan de klem OUT.

«on 91«η - 24 -

Door aan de korresponderende indicators 72-1, 72-2 en 72-3 de digit voerende signalen toe te voeren kan dus het exemplaar met de minimale telwaarde rechtstreeks worden aangeduid. Overigens kan in het bovenstaande voorbeeld, hoewel het geval wordt beschreven waar-5 in het aantal exemplaren, d.w.z. het aantal omkeerbare tellers drie bedraagt, dit aantal gekozen wordt op een willekeurig aantal N.

Bovendien kunnen de indicators 72-1 tot 72-N achterwege blijven.

Fig. 18 toont de opbouw van een andere uitvoering van de., tel- keten van. fig.- 4.. .Volgens .deze. .uitvoering- wordt., de-jovereensiamming-·-------------- 10 in de beeldelementen tussen het standaardpatroon en de verschillende plaatselijke patronen vastgesteld en wordt het aantal overeenstemmingen geteld voor het opwekken van het maximum van de telwaar-den. In deze uitvoering wordt de aanvangswaarde ook op n0n gesteld.

In fig. l8 geven de verwijzingscijfers 73-1 tot 73-N de sig-15 naallijnen aan van de hoogste bits van de respektieve omkeerbare tellers 6l-l tot 6l-N; 74-1 tot 7^-·N geven NOF-poorten aan, en 75 duidt een OF-poort aan. Andere verwijzingscijfers hebben dezelfde betekenis als in fig. 15·

Fig. 19 illustreert de betrekkingen tussen de ingang en de 20 telwaarden op de verschillende tijdstippen van de verschillende tellers uit fig. 18 voor het geval N * 3·

Iet verschil tussen de uitvoering van fig. l8 en die van fig.

15 is dat, als aan de omkeerbare teller die een telwaarde heeft met een positief getal (met uitzondering van ’’O") een een geleverd 25 krijgt, de inhoud van alle omkeerbare tellers 6l-l tot 6l-N op het volgende tijdstip een terugkeren, terwijl de inhoud van de hoofdteller 71 een verder gaat. Daartoe wordt het hoogste bit-signaal van de telwaarden dat opgewekt wordt aan de klemmen Q van de omkeerbare tellers 61-1 tot 6l-N geëxtraheerd uit de signaallijnen 73-1 30 tot 73-N, zodat de NOF ervan met de digit voerende signalen die overeenkomen met die signalen afgenomen wordt aan de NOF-poorten 74-1 tot 74-N, en de OF wordt genomen tussen de uitgangen van die NOF-poorten door de OF-poort 75» zodat de resulterende uitgang wordt gebruikt als het maximale vernieuwiningsdetektiesignaal van de sig-35 naallijn 69. Aan de NOF-poort 74-1 tot 74-N wordt dan ook de kondi-tie waaronder de bijbehorende omkeerbare tellers 6l-l tot 6l-N noch een negatieve waarde hebben noch de waarde "O'1, d.w.z, de konditie 3002160 - 25 - waaronder de inhoud van de korresponderende omkeerbare tellers positief is, zo beoordeeld dat wordt vastgesteld dat de inhoud van een van de omkeerbare tellers positief is vanuit de OF-poort 75·

In het voorbeeld van fig. 19 neemt, wanneer de inhoud van éln 5 van de tellers 6l-l, 61-2 of 61-3 de waarde ,flM aanneemt op de tijdstippen T3, T6 en T12, het signaal van de lijn 69 de waarde "ln aan, zodat de inhoud van de omkeerbare tellers 6l-l, 61-2 en 6l-3 met een wordt gereduceerd, en zodat de inhoud van de hoofdteller 71 er een verder gaat. ' 10 Overigens is de konstruktie en de werking soortgelijk aan het geval van fig. 15, zodat geen verdere beschrijving zal worden gegeven.

Het is verder ook mogelijk om soortgelijke tellers als in het geval ven fig. 15 te gebruiken voor de omkeerbare tellers 6l-l tot 15 6l-N.

Er zal nu nog een andere uitvoeringsvorm van de telketen voor het extraheren van het exemplaar met de maximale telwaarde worden beschreven aan de hand van fig. 20 en 21. In deze uitvoering wordt het digit voerende signaal gebruikt dat de overgang van de omkeer-20 bare tellers tussen "Ο” en ,,-lM begeleidt.

Fig. 20 toont de opbouw van de telketen, terwijl fig. 21 het tijdsverloop van de signalen van die keten laat zien.

In fig. 20 duiden de verwijzingscijfers 8l-l tot 8l-N omkeerbare tellers aan van asynchroon type; 82 de signaallijn van de wis-25 puls; 83-1 tot 83-N de ingangssignaallijnen overeenkomend met de respektieve omkeerbare tellers 8l-l tot 8l-N; 84-1 tot 84-N de signaallijnen van de hulpsignalen die de omgekeerde digits voeren van de respektieve tellers 8l-l tot 8l-N; 85 een OF-poort; 86 de signaallijn van een maximaal vernieuwingsdetektiesignaal; 87 een ver-30 tragingselement; 88 een signaallijn van het uitgangssignaal van het vertragingselement 87; 89-1 tot 89-N flip-flops; 90 een OF-poort; 91 een hoofdteller; 92-1 tot 92-N de signaallijnen van de signalen die positieve digits voeren van de omkeerbare tellers 8l-l tot 8l-N; 93-1 tot 93-N indicators, en 94 de signaallijn van een uitgangssig-35 naai.

Fig. 21 toont het tijdsverloop van de signalen uit fig. 20 voor het geval N = 3* ln fig. 21 duidt de letter (a) de wispulsen 8002160 - 26 - aan van de signaallijn 82; (b), (f) en (k) de ingangssignalen van de signaallijnen 83-1» 83-2 resp. 83—3; (c), (g) en (1) de tel-inhoud van de omkeerbare tellers 8l-l, 8l-2 resp. 83-3; (d), (b) en (m) de hulpsignalen die omgekeerde digits voeren en die naar buiten 5 gevoerd worden uit de omkeerbare tellers 8l-l, 81-2 resp. 81-3; (e), (j) en (n) de uitgangen van de flip-flops 89-1, 89-2 resp.

89-3; (p) bet maximale vernieuwingsdetektiesignaal van de signaallijn 86; Cq) het uitgangssignaalr'van''het "vertraqgivigsei'ement-^7y*· &r~ " '' ' "" (r) de telinhoud van de: hoofdteller 91* 10 Nu zal de werking van de keten van fig. 20 worden beschreven aan de hand van fig. 21.

Voor de asynchrone omkeerbare tellers 8l-l tot 8l-N is het overigens mogelijk om de tellers te gebruiken waarin de ingangen van de voorwaartse en terugwaartse telpulsen onafhankelijk zijn 15 (aan de klemmen D en ïï) en waarin er voorwaartse en terugwaartse digit voerende pulsuitgangen zijn (aan de klemmen BR en CR) voor de serieverbinding met de hogere digit. Er kan bijvoorbeeld een serie-schakeling worden gebruikt van de benodigde meervoudige ketens die beschreven zijn in de bovenste kolom op blz. 307 van "The TTL Data 20 Book for Design Engineers”(Second Edition), section 7·

Allereerst worden alle tellers 8l-l tot 8l-N en 91 op ”0” gesteld naar aanleiding van de wispulsen van de signaallijn 82. De ingangssighaallijnen 83-1 tot 83-N van de verschillende omkeerbare tellers zijn voor terugwaartse telingang verbonden met de klem D, 25 zodat de inhoud van de omkeerbare tellers 8l-l tot 8l-N met een wordt teruggebracht naar aanleiding van de pulsen aan de ingangs-signaallijnen 83-1 tot 83-N. Zoals blijkt uit fig. 21 zal bijvoorbeeld, wanneer aan de ingangssignaallijn 83-2 de ingangspulsen worden toegevoerd, de inhoud van de korresponderende omkeerbare teller 30 81-2 veranderen van H0M naar u-ln, zodat de hulpsignalen die achter waartse digits voeren worden opgewekt aan de signaallijn 84-2. Als gevolg daarvan kan uit de signaallijn 86 het maximale vernieuwingsdetektiesignaal worden gevoerd, dat door het vertragingselement 87 wordt vertraagd en aan de klem U wordt toegevoerd voor het opnemen 35 van de positieve telingangen van alle tellers met inbegrip van de hoofdteller 91, terwijl wordt voorkomen dat er superpositie plaatsvindt op de ingangspulsen* Als gevolg daarvan zal de inhoud van de 8002160 - 27 - teller 81-2, die de waarde U-1M heeft aangenomen, weer teruggaan naar de waarde n0n, waarop de voorwaartse digit voerende signalen worden opgewekt aan de signaallijn 92-2 voor het stellen van de korresponderende flip-flop 89-2. Deze flip-flop gaat verder met 5 zijn ingestelde toestand totdat het volgende maximale vernieuwings-signaal wordt opgewekt en teruggesteld via de OF-poort 90. Overigens worden de flip-flops 89-1 tot 89-N teruggesteld via de OF-poort 90 door de wispulsen, zelfs wanneer eerst de. waarde 'OJ’.-in. de omkeer-.. bare tellers wordt gesteld. De omkeerbare teller'die overeenkomt ' 10 met de fliprflop onder de ingestelde toestand daarvan komt dan ook overeen met de teller die de maximale telwaarde heeft. Door de uitgangen van die flip-flops 89-1 tot 89-N toe te voeren aan de korresponderende indicators 93-1 tot 93-N, kan het exemplaar met de maximale telwaarde worden aangegeven. Anderzijds houdt de hoofdig teller 91 de maximale telwaarde op dat moment vast. De inhoud van deze hoofdteller 91 wordt naar buiten gevoerd op de signaallijn 9^· Een nog andere uitvoering van de telketen voor het extraheren van de minimale telwaarde zal worden beschreven aan de hand van fig. 22.

20 Fig. 22 laat de opbouw zien van de telketen die hierin van de uitvoering van fig. 20 verschilt dat alle hoogste bits (of teken bits) van de verschillende omkeerbare tellers 8l-l tot 8l-N de waarde "l” aannemen, d.w.z. dat de inhoud van de omkeerbare tellers alles aannemen behalve de waarde n0M en dat het allemaal negatief 25 worden wordt gedetekteerd zodat ze met een optellen.

Door als ingang van de EN-poort 96 de signaallijnen 95-1 tot 95-N te gebruiken die verbonden zijn met de klemmen van de hoogste bits (of teken bits) van de omkeerbare tellers 8l-l tot 8l-N, meer in het bijzonder het feit dat alle hoogste bits (of teken bits) van 30 de tellers 8l-l tot 8l-N de waarde nl" aannemen wordt gedetekteerd vanuit de EN-poort 96, zodat pulsen worden opgewekt vanuit de puls-opwekketen 96 en als minimale vernieuwingsdetektiesignalen worden toegevoerd aan de signaallijn 86. De andere handelingen komen overeen met het geval van fig. 20 zodat ze hier niet meer beschreven 35 zullen worden. De hoofdteller 91 houdt dan ook de minimale telwaarde vast terwijl de omkeerbare tellers 8l-l tot 8l-N de verschillen vasthouden ten opzichte van de minimale telwaarde in de vorm van 8002160 -28- negatieve waarden.

In de vorenstaande uitvoering is een voorbeeld beschreven waarin de beide exemplaren met de minimale telwaarde en de exemplaren met de maximale telwaarde gerealiseerd worden door middel van 5 verschillende ketens. Omdat echter de twee exemplaren een aantal delen gemeenschappelijk kunnen hebben, kunnen ze worden gerealiseerd met de gemeenschappelijke keten, zodat ze slechts gedeeltelijk worden. omgeschakeld-^JEn-da-katena van -fig^-X5 -en -18, is .bijvoor-.

beeld een keten aanwezig voor het' Omscfeakelen-vair de? uitgang van •'der -------- 10 NOF-poort 68 uit fig. 15 en de uitgang van de OF-poort ?6 uit fig. l8, zodat de tellers 61-1 tot 6l-N en 71 de selektors 66-1 tot 66-N en 70 en de indicators 72-1 tot 72-N gemeenschappelijk kunnen worden gemaakt. In de ketens van fig. 20 en 22 is bovendien een keten aanwezig voor het omschakelen van de uitgang van de OF-poort 85 uit 15 fig. 20 en de uitgang van de pulsopwekketen 97 uit fig. 22, zodat de tellers 8l-l tot 8l-N en 91, het vertragingselement 87, de flipflops 89-I tot 89-N en de indicators 93-1 tot 93-N gemeenschappelijk kunnen worden gemaakt.

Hoewel overigens de vorenstaande uitvoering gericht is op het 20 geval waarin de aanvangswaarde H0" is, is hij daartoe niet beperkt maar kan begonnen worden bij elke gewenste waarde.

Verder is het uiteraard zo dat, hoewel de bovenstaande beschrijving gegeven is voor het geval waarin de telketens volgens fig. 15 tot 22 worden gebruikt als de telketen uit fig. *l·, die tel-25 keten ook kan worden toegepast op het geval waarin de plaatselijke patronen in de verschillende positiediscrepanties worden geëxtraheerd uit het beeldgeheugen van de ketens die weergegeven zijn in fig. 6, 9 en. 13 zodat ze kunnen worden behandeld.

8002160

Claims (11)

1. Werkwijze voor het inspekteren van defekten in een patroon, gekenmerkt doordat deze de volgende stappen omvat: een eerste stap van het opnemen van een beeld vanaf een voorwerp 5 waarop zich een te inspekteren patroon bevindt om daardoor eerste gegevens te extraheren die de partiele patronen in de verschillende posities weergeven op een beeld dat de afbeelding opneemt, overeenkomend met het te inspekteren patroon, terwijl het voorwerp over t ........ een bepaalde afstand ten .opzichte-van die positi.es. wordt..verschoven, ^ 10 een tweede stap waarin de eerstgenoemde gegevens, die geëxtraheerd zijn in de eerste stap, worden vergeleken met tweede gegevens die een bepaald standaardpatroon weergeven om de parameter te bepalen die de mate van defekt aangeeft van de verschillende partiële patronen om daardoor de parameter te selekteren die de minimale mate 15 van defekt aangeeft uit de bepaalde parameters, en een derde stap, waarin de in de tweede stap bepaalde parameters worden vergeleken met een vastgestelde drempelwaarde om de eigenschap van het te inspekteren patroon te beoordelen. 2. ' Werkwijze volgens conclusie 1, gekenmerkt door een 20 vierde stap waarin het voorwerp dat het te inspekteren patroon draagt wordt verdeeld op grondslag van de beoordeelde uitkomsten van de derde stap.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2,met het kenmerk, dat de tweede stap verder omvat het verdelen van het par- 25 tiële patroon en het standaardpatroon in een aantal verschillende gebieden om dit partiële patroon en het standaardpatroon voor elk van de deelgebieden te vergelijken en daardoor de verschiloppervlak-ken daartussen te bepalen zodat het feit of deze oppervlakken al of niet een vastgestelde drempelwaarde overschrijden wordt beoordeeld 30 om de parameter te bepalen die de mate van defekt aangeeft van het partiële patroon. k· Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het ken merk, dat de tweede stap verder omvat het wegen van het standaardpatroon op tenminste drie niveaus overeenkomstig de positie 33 ervan om de gewogen niveaus op te tellen bij de verschilgedeelten tussen het partiële patroon en het standaardpatroon en om aldus de parameter te bepalen die de mate van defekt aangeeft van het 8002160 - 30 - partiële patroon.

5, Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met het kenmerk, dat de tweede stap verder omvat het vergelijken van een aantal vaste punten die vastgelegd zijn op het standaardpatroon en 5 de gedeelten van het partiële patroon die met die vaste punten overeenkomen, om de parameter te bepalen die de mate van gebrek aan overeenstemming tussen die gedeelten aangeeft.

6. Werkwijze volgens conclusie 1 of· 2*, m-e t ir e t ken- - merk, dat de tweede stap omvat het vergelijken van'het grijs- 10 niveau van het op het standaardpatroon bepaalde vaste punt en het grijs-niveau van het plaatselijke patroon overeenkomend met dit vaste punt op het partiële patroon om de waarden te integreren overeenkomstig de vergeleken resultaten en aldus de parameter te bepalen die de mate van defekt aangeeft van het partiële patroon. 15 7· Inrichting voor het inspekteren van defekten in een patroon, met het kenmerk, dat de inrichting omvat eerste middelen voor het opnemen van een beeld vanaf een voorwerp waarop zich een te inspekteren patroon bevindt, om daardoor eerste de gegevens te extraheren die de partiële patronen in de verschillende posities aangeeft 20 op een beeld van de afbeelding dat een beeld opneemt, overeenkomend met het te inspekteren patroon, terwijl het voorwerp waarover een vastgestelde afstand ten opzichte van die posities wordt verschoven, tweede middelen om de eerstgenoemde gegevens, die worden geëxtraheerd door de eerstgenoemde middelen, te vergelijken met tweede ge-25 gevens die een vastgesteld standaardpatroon aangeven om de parameter te bepalen die de mate van defekt aangeeft van de verschillende partiële patronen om daardoor de parameter te selekteren die de minimale mate van defekt aangeeft vanuit de bepaalde parameters, en derde middelen om de met de tweede middelen bepaalde parameters te 30 vergelijken met een vastgestelde drempelwaarde voor het beoordelen van de eigenschap van het te inspekteren patroon.

8. Inrichting volgens conclusie 7»niet het kenmerk, dat deze verder middelen omvat om het voorwerp dat het te inspekteren patroon draagt te verdelen op grondslag van de beoordeelde uit- 35 komsten van de derde middelen.

9. Inrichting volgens conclusie 7 of 8, met het kenmerk, dat de eerstégenoemde middelen een beeldopneeminrichting 8002160 - 31 - bevat voor bet opnemen van een beeld van een voorwerp waarop zich het te inspekteren patroon bevindt, een beeldgeheugen voor het vastleggen van het met de genoemde inrichting opgenomen beeld, en middelen voor het extraheren van eerste gegevens die de partiele 5 patronen aangeven in de verschillende discrepantieposities vanuit het in het geheugen vastgelegde beeld.

10. Inrichting volgens een dar conclusies 7 tot 9i m e t het k e n m e r k,.dat. de tweede., middelen „een-voorschriftgeheugen om-...... vatten voor het vastleggen van de tweede- gegevens die het stan-10 daardpatroon aangeven, rekenkundige middelen om de verschillende eerstgenoemde gegevens die geëxtraheerd zijn uit de eerstgenoemde middelen te vergelijken met de tweede gegevens die vastgelegd zijn in het voorschrift geheugen om daardoor de parameter te bepalen die de mate van defekt aangeeft van het partiële patroon, en detektie-15 middelen voor het selekteren van de parameter die de minimale mate van defekt aangeeft uit de parameters die met de rekenkundige middelen zijn bepaald.

11. Inrichting volgens een der conclusies 7 tot 9» m e t het kenmerk, dat de tweede middelen een voorschriftgeheugen om- 20 vatten voor het vastleggen van de tweede gegevens die het stan- daardpatroon aanduiden, vergelijkingsmiddelen voor het vergelijken van de eerstgenoemde gegevens die uit het voorschriftgeheugen zijn gelezen en de tweede gegevens die geëxtraheerd zijn uit de eerstgenoemde middelen in de verschillende discrepantieposities om daar-25 door signalen op te wekken die het bestaan aangeven van overeenstemming tussen de twee gegevens in de verschillende discrepantieposities, en telmiddelen voor het tellen van de signalen in de verschillende discrepantieposities, die opgewekt worden door de vergelijkingsmiddelen, om daardoor de minimale telwaarde te bepalen.

12. Inrichting volgens conclusie 10,met het kenmerk, dat de rekenkundige middelen middelen bevatten om de partiële patronen en de standaardpatronen te vergelijken, die respektievelijk onderverdeeld zijn in een aantal gebieden, om voor elk gebied de verschiloppervlakken van de twee patronen te bepalen, middelen om 35 te beoordelen dat het korresponderende gebied van de partiële patronen een defekt vertoont als de verschillende oppervlakken die bepaald zijn door de eerstgenoemde middelen van de rekenkundige 8002160 - 32 - middelen hoger zijn dan een vastgestelde waarde, en middelen voor het tellen van het aantal oppervlakken dat als defekt wordt beoordeeld door de tweede middelen in de rekenkundige inrichting.

13. Inrichting volgens conclusie 10, met het kenmerk, 5 dat het voorschriftgeheugen de tweede gegevens vastlegt die worden geproduceerd door het wegen van het standaardpatroon op tenminste drie niveaus overeenkomstig de positie daarvan, en waarbij de reken-.... . . kundige -ïm-i rh-H ng ΐ jMngstnidrigl ptv hftgat.jmoE Kat r.a.qpekAlfeVe.-r.-,..,. .. = - lijk vergelijkenvan d-e eerste en'de -^tweede geg«<rens"''W8rardoor’'het·''"" - 10 gebrek aan onderlinge overeenstemming op te wekken, en middelen om de korresponderende gewogen niveaus op te tellen die vastgelegd zijn in het voorschriftgeheugen wanneer niet-overeenstemming wordt opgewekt door de vergelijkingsmiddelen, om daardoor het opgetelde resultaat op te wekken als de parameter die de mate van defekt van 15 het partiële patroon aangeeft. l^f. Inrichting volgens conclusie 10, met het kenmerk, dat het voorschriftgeheugen een geheugen bevat voor het vastleggen van het grijs-niveau van het vaste punt dat gekozen is op het standaardpatroon, en dat de rekenkundige inrichting middelen bevat voor 20 het vergelijken van het grijs-niveau van het vaste punt en het grijs-niveau van het plaatselijk patroon op het partiële patroon dat overeenkomt met het vaste punt om daardoor de waarde te integreren overeenkomstig de vergeleken uitkomst, en middelen om te beoordelen of de door de eerstgenoemde middelen in de rekenkundige 25 inrichting geïntegreerde waarde hoger is dan een vastgestelde waarde of niet om daardoor de parameter te bepalen die de mate van defekt van het partiële patroon aangeeft.

15· Inrichting volgens conclusie 10,met het kenmerk, dat de telinrichting telmiddelen omvat met een aantal omkeerbare 30 tellers voor het tellen van de verschillende uitgangen van de vergeli jkingsmiddelen, detektiemiddelen om vast te stellen dat de inhoud van een bepaald aantal van de omkeerbare tellers met een is verschoven vanuit een aanvangswaarde, stuurmiddelen om de inhoud van alle omkeerbare tellers met slechts een te wijzigen overeenkomstig 35 de vaststellingen van de detektiemiddelen in de richting tegengesteld aan de richting van discrepantie ten opzichte van de aanvangswaarde, en een hoofdteller om een bij te tellen bij elke waarneming 8002160 - 33 - van de detektiemiddelen om daardoor de minimale telwaarde op te wekken van de telmiddelen. 800 2 1 50