DE3011907C2 - Verfahren zum Verbinden von Körpern auf Siliciumnitridbasis - Google Patents
Verfahren zum Verbinden von Körpern auf SiliciumnitridbasisInfo
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Description
(a) auf wenigstens eine der in Eingriff kommenden Oberflächen ein Film aus metallischem Aluminium
oder einer Aluminiumlegierung oder aus einem Verbundmaterial aus Aluminium und Aluminiumoxid
aufgebracht wird,
(b) die geformten Körper so zusammengefügt werden, daß die in Eingriff kommenden Oberflächen
angrenzend aneinander und in Kontakt mit dem dazwischen befindlichen Film aus Material
auf der Basis von metallischem Aluminium sind und
(c) während die Oberflächen in Kontakt mit dem Film sind, die Anordnung in der nitrierenden
Atmosphäre während eines Zeitraumes von wenigstens 0,5 Stunden erhitzt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Film aus metallischem Aluminium
aufgebracht wird, der auf einer Seite oxidiert ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Film in Stufe (a) durch Dampfabscheidung zu einer Filmdicke von nicht weniger
als 15 nm aufgebracht wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß als wenigstens eine der in Eingriff
kommenden Oberflächen eine durch Warmpreßtechniken gebildete nichtporöse Oberfläche eingesetzt
wird.
5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Film aus Aluminium
oder Aluminiumlegierung eine Folie mit einer Dicke von 13 bis 25 μιη eingesetzt wird und geringer Druck
in Stufe (c) angewendet wird, um geschmolzenes Aluminium ai-s der Grenzflächenzone im Überschuß
einer Filmdicke herauszuquetschen.
6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß
(a) ein Film aus metallischem Aluminium auf wenigstens einer zu verbindenden Oberfläche
dampfabgeschieden wird und
(b) während die Oberflächen unter dichtem Kontakt aneinandergedrückt werden, die Körper
auf eine Temperatur von etwa 16000C während etwa I Stunde in der Nitrieratmosphäre unter
Bildung einer Si-Al-O-N-Bindung dazwischen
erhitzt werden.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Film vorzugsweise zu einer Dicke
zwischen 15 bis 6000 nm abgeschieden wird.
8. Anwendung des Verfahrens nach den Ansprüchen 1 bis 7 zur Herstellung eines Turbinenrotors.
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Verbinden von Körpern auf Siliciumnitridbasis. wobei gesondert
geformte Körper aus Materialien auf der Basis von Siliciumnitrid hergestellt werden, von denen einer oder beide
derartige Körper drucklos gesintert, reaktionsgesintert oder warmgepreßt werden, wobei jeder Körper
eine in Eingriff kommende Oberfläche, längs der die Körper verbunden werden sollen, aufweist, auf wenigstens
eine der Oberflächen ein aluminiumhaltiges Material aufgebracht wird, die geformten Körper zusammengefügt
werden und die Anordnung in einer nitrierenden Atmosphäre zur Ausbildung einer chemischen Bindung
bei einer Temperatur zwischen 1400 und 19000C erhitz!
wird.
Die normalerweise für Siliciumnitrid und andere Materialien auf der Basis von Siliciumnitrid wie Sialon angegebenen
Eigenschaften machen sie zu idealen Stoffen für bestimmte Maschinenbestandteile. Diese Eigenschaften
bestehen gewöhnlich in hoher Festigkeit, Abnutzungsbeständigkeit, hoher Zersetzungstemperatur.
Oxidationsbeständigkeit, ausgeseichneten Wärme-Schockeigenschaften
und Beständigkeit gegenüber korrosiven Umgebungen. Eine Hauptschwierigkeit besteht
jedoch in der Herstellung geeigneter Formen mit diesen erwünschten Eigenschaften.
Obgleich in jüngster Zeit gezeigt wurde, daß Siliciumnitrid mit geeigneten Zusätzen zu beträchtlich hoher Dichte geentert werden kann, ist die Technik noch nicht bis zu dem Punkt breiter Anwendung entwickelt worden, und die mechanischen Eigenschaften der Sinterprodukte verschlechtern sich bei hoher Temperatur, vermutlich als Ergebnis der verwendeten Zusätze. Die beiden Verfahren, die üblicherweise zur Herstellung von Keramikkörpern auf Siliciumnitridbasis angewendet werden, sind das sogenannte »Reaktionssintern« und das »Warmpressen«.
Obgleich in jüngster Zeit gezeigt wurde, daß Siliciumnitrid mit geeigneten Zusätzen zu beträchtlich hoher Dichte geentert werden kann, ist die Technik noch nicht bis zu dem Punkt breiter Anwendung entwickelt worden, und die mechanischen Eigenschaften der Sinterprodukte verschlechtern sich bei hoher Temperatur, vermutlich als Ergebnis der verwendeten Zusätze. Die beiden Verfahren, die üblicherweise zur Herstellung von Keramikkörpern auf Siliciumnitridbasis angewendet werden, sind das sogenannte »Reaktionssintern« und das »Warmpressen«.
Bei dem Reaktionssintern wird zunächst die erforderliche Gestalt aus kompaktiertem Siliciumpulver hergestellt,
das dann in molekularem Stickstoff oder einer geeigneten stickstoffhaltigen Atmosphäre bei etwa
14000C unter Erhalt eines Produktes mit durchschnittlieh
etwa 25% Porosität nitriert wird, obgleich nach dem derzeit besten Verfahren Materialien mit einer Porosität
von etwa \5% hergestellt werden können. Das Reaktionssinterverfahren
benötigt gewöhnlich mehrere Tage und verwendet einen komplizierten Erhitzungskreislauf.
Zur Beschleunigung der Nitrierung wird wenigstens 1% Fe gewöhnlich zugesetzt. Die ursprünglichen
Dimensionen des Siliciumkompaktmaterials bleiben während des Nitriervorgangs tatsächlich unverändert,
und daher können sehr komplizierte Formen erhalten werden, wie beispielsweise Turbinenschaufeln.
Die Alternative besteht im Warmpressen von Siliciumnitridpulver mit geeigneten Zusätzen unter Drücken
von mehreren 107 Pa in einer Graphitform bei etwa 1700 bis 18000C unter Herstellung eines Siliciumnitrid-Produktes,
das praktisch vollständig dicht ist. Das Material mit der höchsten Festigkeit, wenigstens bei Raumtemperatur,
wird lediglich durch Warmpressen erhalten, jedoch ist dies teuer und ist auf ziemlich einfache For-
men beseht änkt Bei hohen Temperaturen ergibt sich
eine gewisse Verschlechterung der mechanischen Eigenschaften, die auf die Wannpreßzusätze zurückzuführen ist.
Ein reaktionsgesintertes Material wird in einfacher Weise einfach durch das Nitrierverfahren hergestellt
Leider ist dieses Material für viele Anwendungen nicht fest genug und aufgrund seiner Porosität und folglich
seines hohen Oberflächenbereichs nicht sehr oxidationsbeständig. Jedoch verschlechtern sich seine mechanischen Eigenschaften nicht bei hoher Temperatur.
Daher besteht ein Bedarf nach einem einfachen Verfahren, das selektiv die Verbindung entweder von heißgepreßten oder reaktionsgesinterten Keramikkörpern
zu einer Form bzw. Gestalt ermöglicht, die in einem Körper nicht erreichbar ist, ausgenommen durch teure
maschinelle Bearbeitung. In einigen Füllen besteht ein Bedarf, die besten Eigenschaften der heißgepreßten und
der reaktionsgesinterten Siliciumnitridkörper zu kombinieren, wobei man einen für bestimmte komplexe Bestandteile und den anderen für Bestandteile hoher Festigkeit verwendet und wobei die Bestandteile in einer
Anordnung zusammen verbunden sind.
In anderen Fällen mag es erwünscht sein, zwei oder mehr heißgepreßte oder reaktionsgesinterte Körper zu
kombinieren; einige Formen sind nicht erreichbar selbst durch Reaktionssintern, wegen der Begrenzungen der
Pulverkompaktierungstechniken (Kaltpressen, Spritzgußformung, Schlickerguß u.dgl.), wie beispielsweise
wenn Innenräume ohne äußeren Zugang geformt werden sollen.
Nach dem Stand der Technik hat man die Verbindung von Keramikkörpern prinzipiell nach zwei Methoden
versucht, (a) eine chemische Verbindung, die sich aus der Verwendung von hohem Druck über äußerst lange
Zeiträume ergibt, und (b) eine vorwiegend mechanische Verbindung. Der Typ der hier bis heute verwendeten
chemischen Verbindung kann unter Bezugnahme auf eine typische Art zur Herstellung einer keramischen
Gasturbinenschaufelanordnung erläutert werden. Der Schaufelring für die Anordnung wird zunächst durch
das Verfahren der Reaktionssinterung gebildet. Die Schaufeln besitzen daher ein gewisses Ausmaß an Porosität, sind aber natürlich zu komplexen Gestalten geformt und bestehen aus Siliciumnitrid mit einem Gehalt
einer geringen Menge an Eisen (etwa 1%) und Spuren Verunreinigungen sowie einer Oxidschicht. Die Schaufeln
werden dann in eine Form gebracht; Siliciumpulver wird zwischen die Schaufeln gepackt und unter Bildung
von Geweben reaktionsgesintert; als nächstes wird mehr Pulver um die Schaufeln und Gewebe gepackt und
unter Bildung einer festen Umhüllung reaktionsgesin tert. Siliciumnitridpulver wird dann in den Mittelpunkt
der Schaufel-, Gewebe- und Gehäuseanordnung gebracht und unter Bildung einer Nabe aus Siliciumnitrid
warmgepreßt. Die reaktionsgesinterte Anordnung wirkt als Form und muß beträchtliche Drücke aushalten.
Das Pressen erfolgt unter einer Temperatur von etwa 17000C während mehrstündigem kontinuierlichen
Warmpressen. In dem Verfahren können natürlich mehrere Schaufeln durch den angewandten Druck zerstört
werden. Eine Verbindung wird zwischen der heißgepreßten Nabe und der reaktionsgesinterten Schaufel
aufgrund einer geringen Diffusion der Preßhilfsmittel, wie beispielsweise Magnesiumoxid oder Yttriumoxid, in
das reaktionsgesinterte Material möglich. Der lange Zeitraum bei hoher Temperatur bewirkt in typischer
Weise Verschlechterung der Schaufeln. Das Gesamtverfahren einschließlich der Entfernung des Gewebes
und der Umhüllung benötigt mehrere Wochen.
Mechanische Verbindung wurde nach dem Stand der Technik auf verschiedene Art und Weise ausgeführt
Beispielsweise läßt man eine wäßrige Suspension von Si'icium mit einem Gehalt eines Binders (z. B. Ammoniumalginat) in die Poren des Siliciumnilridkörpers eindringen; der Binder wird durch Erwärmen ausgetrieben,
und das Silicium wird unter Bildung einer Siliciumnitrid
brücke nitriert Dies wird als vorwiegend mechanische
Verbindung angesehen und wird am besten durch die US-PS 39 66 885 erläutert Leider arbeitet dieses Verfahren nicht gut mit warmgepreßtem Siliciumnitrid wegen der Unfähigkeit des Siliciums, in dieses dichte Mate-
rial einzudringen. Auch hat man bereits zur Verbindung von Siliciumnitridteilen Glas angewendet, das in pulverisierter Form auf die zu verbindenden Teile aufgebracht und erhitzt wird, wobei die als Bindemittel eingesetzten Gläser aus Silicium-, Aluminium- und Erdalka-
lioxiden bestehen, die jedoch nicht die erfindungsgemäß erzielbare außerordentlich feste Verbindung liefern
können.
Die Aufgabe der Erfindung besteht in einem Verfah ren, durch das Grenzschichtoberflächen von Körpern
auf der Basis von Siliciumnitrid, ob gesintert, warmge preßt oder reaktionsgesintert, miteinander ve. ounden
werden können ohne die Notwendigkeit hchen Drucks und ohne die Notwendigkeit der Erhitzung über einen
langen Zeitraum. Es ist erwünscht, daß ein Teil der als Grenzfläche vorliegenden Körper aus Siliciumnitrid in
ein neues Keramiksystem durch kurzzeitiges Erhitzen ohne Anwendung von Druck überführt werden kann.
Auch sollen verschiedene Körper auf Siliciumnitridbasis lediglich durch die Anwendung von Wärme während
kurzer Zeiträume ohne die Anwendung von Druck verbunden werden. Dabei sollen Verbindungen außerordentlicher
Festigkeit geschaffen werden.
Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum Verbinden von Körpern auf Siliciumnitridbasis. wobei gesondert
geformte Körper aus Materialien auf der Basis von Siliciumnitrid hergestellt werden, von denen einer
oder beide derartige Körper drucklos gesintert, reaktionsgesintert
oder warmgepreßt werden, wobei jeder Körper eine in Eingriff kommende Oberfläche, längs der
die Körper verbunden werden sollen, aufweist, auf wenigstens eine der Oberflächen ein aluminiumhaltiges
Material aufgebracht wird, die geformten Körper zusammengefügt werden und die Anordnung in einer nitrierenden
Atmosphäre zur Ausbildung einer chemisehen Bindung bei einer Temperatur zwischen 1400 und
1900°C erhitzt wird, das dadurch gekennzeichnet ist. daß (a) auf wenigstens eine der in Eingriff kommende
Oberflächen ein Film aus metallischem Aluminium oder einer Aluminiumlegierung oder aus einem Verbundmaterial
aus Aluminium und Aluminiumoxid aufgebracht wird, (b) die geformten Körper so zusammengefügt
werden, daß die in Eingriff kommenden Oberflächen angrenzend aneinander und in Kontakt mit dem dazwischen
befindlichen Film aus Material auf der Basis von metallischem Aluminium sind und (c) während die Oberflächen
in Kontakt mit dem Film sind, die Anordnung in der nitrierenden Atmosphäre während eines Zeitraumes
von wenigstens 0,5 Stunden erhitzt wird.
Spezifische Merkmale des Verfahrens der Erfindung bestehen darin, daß (a) ein Teil der als Grenzfläche vorliegenden Körper auf Siliciumnitridbasis in ein Keramikmaterial überführt wird, das durch eine Reaktion zwischen zugesetztem Aluminium, Sauerstoff (das in
Spezifische Merkmale des Verfahrens der Erfindung bestehen darin, daß (a) ein Teil der als Grenzfläche vorliegenden Körper auf Siliciumnitridbasis in ein Keramikmaterial überführt wird, das durch eine Reaktion zwischen zugesetztem Aluminium, Sauerstoff (das in
dem Oxidfilm auf den in Betracht kommenden Bestandteilen vorliegt und gegebenenfalls als zugesetzte Oxide
von Aluminium und/oder Silicium) und Si3N* unter Bildung
von Verbindungen im Si-Al-ü-N-System hergestellt worden ist (b) das umgewandelte Keramikmaterial
erhalten werden kann, indem oine Schicht aus Aluminium
zwischen die als Grenzfläche vorliegenden Körper auf der Basis von Siliciumnitrid angeordnet wird und auf
eine Temperatur von etwa 1550° C während etwa 1 Studtde ohne Anwendung von Druck, ausgenommen,
daß die Siliciumnitridkörper mit dem dazwischenliegenden Aluminium leicht aneinandergepreßt werden, erhitzt
werden, (c) zum Erhalt der besten Verbindung das zugesetzte Aluminium so begrenzt wird, daß es voll reagiert
und ein Si-Al-O-N-System ohne Aluminiumüberschuß bildet, und (d) sichergestellt wird, daß wenigstens
ein Teil des zugesetzten Aluminiums in der nichtgebundenen metallischen Form zugesetzt wird und geschmolzen
wird.
Die chemische Verbindung wird zwischen den Körpern auf Siliciumnitridbasis gemäß der Erfindung durch
das Verfahren zur Herstellung eines Si-Al-O-N-Systems
an der Grenzfläche in einem relativ kurzen Zeitraum herbeigeführt Es findet eine Verdrängung von Stickstoff-
bzw. Siliciumatomen durch Sauerstoff und Aluminium statt. Das keramische Bindungsmaterial (Si-Al-O-N)
wird durch Verdrängung bestimmter Siliciumatome (Valenz +4) mit Aluminium (Valenz +3) hergestellt.
Dieses elektrische Ungleichgewicht wird durch Verdrängung bestimmter Stickstoffatome (Valen?. —3) mit
Sauerstoffatomen (Valenz —2) neutralisiert.
Man nimmt an, daß durch die folgenden Stufen der Erfindung ein leicht herstellbares neues keramisches System
(Si-Al-O-N) an der Grenzfläche geschaffen wird, das erhebliche Diffusion sowohl in warmgepreßte als
auch reaktionsgesinterte Körper fördert.
Eine bevorzugte Methode zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ist wie folgt:
(1) Es werden gesondert geformte Körper aus Materialien auf der Basis von Siliciumnitrid hergestellt; ein
oder beide Körper können warmgepreßt, reaktionsgesintert oder für diesen Fall drucklos gesintert werden.
Beide Körper werden jedoch mit einer in Eingriff kommenden Oberfläche, längs der sie verbunden werden
sollen, geformt. Irgendein Material auf Siliciumnitridbasis kann verwendet werden. Diese können beispielsweise
solche Materialien wie Sialon oder einfaches S13N4 mit einem Gehalt an Preßzusätzen v.ie beispielsweise
MgO oder Y2O3 umfassen.
(2) Eine dünne Schicht oder ein Film aus Material auf Aluminiumbasis wird wenigstens eine in Eingriff kommende
Oberfläche der geformten Körper aufgebracht. Der Film auf Aluminiumbasis kann aus irgendeiner
Kombination aus Aluminium, Silicium und deren Oxiden bestehen. Da ein Si-Al-O-N-Material im Prinzip erzeugt
werden soll, kann jedes der Elemente für dieses System als Bestandteile der Schicht oder des Films dienen.
Folglich können Si3N4, SiO2, Al2O3, Si und AlN
vorliegen.
Da Silicium und Stickstoff in den zu verbindenden Materialien vorliegen, müssen sie nicht unbedingt in der
Verbindungsschicht oder dem Verbindungsfilm vorliegen. Sauerstoff ist stets in einer Oxidschicht auf der
Oberfläche von Siliciumnitrid und von Aluminium anwesend, so daß es wiederum nicht notwendigerweise als
Oxide in der Verbindungsschicht enthalten sein muß. Ob diese Elemente in der Verbindungsschicht enthalten
sein müssen oder nicht, hängt von der gewünschten letztlichen Stöchiometrie ab. Metallisches Aluminium
muß jedoch in der Verbindungjschicht zur Einleitung der Reaktion in seinem geschmolzenen Zustand mit den
zu verbindenden Körpern auf Siliciumnitridbasis vorliegen. Da metallisches Aluminium vorliegt, muß die Verbindungsreaktion
in einer Nitrierungsatmcsphäre durchgeführt werden, da metallische Rückstände unerwünscht
sind.
Die Verbindungsreaktion verläuft so, als ob das geschmolzene Aluminium in der Verbindungsschicht mit dem Oberflächenbereich des Siliciumnitridkörpers und des in den Oxiden vorliegenden Sauerstoffs unter Bildung eines Si-Al-O-N-Materials reagiert, wobei Silicium freigesetzt wird, das wiederum mit dem Stickstoffgas unter Bildung von zusätzlichem Siliciumnitrid reagiert, das weiterreagieren kann. Diese Art der Reaktionsfolge wird aufgrund der Beobachtung vorgeschlagen, daß, wenn ein großer Oberschuß an metallischem Aluminium verwendet wird, ein Rückstand von metallischem Silicium, jedoch kein Aluminium verbleibt. Die tatsächlich in dem Verbindungsbereich gebildete Si-Al-O-N-Phase hängt von den Verhältnissen des vorhandenen Si. Al, O und N und von den Reaktionsbedingungen ab.
Die Verbindungsschicht kann auf einer Reihe von Wegen abgeschieden werden, beispielsweise durch Vakuumverdampfung, Pulverabscheidung oder als Folie. Die Vakuumverdampfung liefert eine gute Regelung der Dicke, Gleichmäßigkeit und Zusammensetzung (es können sowohl Oxide als auch Metalle abgeschieden werden), ist jedoch relativ aufwendig, zeitraubend und etwas schwierig auf bestimmte komplizierte Formen anzuwenden. Pulver sind einfach aufzubringen und liefern vollständige Regelung bezüglich der Zusammensetzung, liefern jedoch eine schlechte Regelung bezüg-Hch der Gleichmäßigkeit und neigen zu ziemlicher Dikke. Folien sind äußerst einfach aufzubringen und sind sehr gleichmäßig, sind jedoch ziemlich dick (13 bis 25 μπι) und liefern, falls nicht anodisiert. Sauerstoff lediglich zu einer Tiefe von etwa 7,5 nm. was die passive Oxidschicht darstellt.
Die Verbindungsreaktion verläuft so, als ob das geschmolzene Aluminium in der Verbindungsschicht mit dem Oberflächenbereich des Siliciumnitridkörpers und des in den Oxiden vorliegenden Sauerstoffs unter Bildung eines Si-Al-O-N-Materials reagiert, wobei Silicium freigesetzt wird, das wiederum mit dem Stickstoffgas unter Bildung von zusätzlichem Siliciumnitrid reagiert, das weiterreagieren kann. Diese Art der Reaktionsfolge wird aufgrund der Beobachtung vorgeschlagen, daß, wenn ein großer Oberschuß an metallischem Aluminium verwendet wird, ein Rückstand von metallischem Silicium, jedoch kein Aluminium verbleibt. Die tatsächlich in dem Verbindungsbereich gebildete Si-Al-O-N-Phase hängt von den Verhältnissen des vorhandenen Si. Al, O und N und von den Reaktionsbedingungen ab.
Die Verbindungsschicht kann auf einer Reihe von Wegen abgeschieden werden, beispielsweise durch Vakuumverdampfung, Pulverabscheidung oder als Folie. Die Vakuumverdampfung liefert eine gute Regelung der Dicke, Gleichmäßigkeit und Zusammensetzung (es können sowohl Oxide als auch Metalle abgeschieden werden), ist jedoch relativ aufwendig, zeitraubend und etwas schwierig auf bestimmte komplizierte Formen anzuwenden. Pulver sind einfach aufzubringen und liefern vollständige Regelung bezüglich der Zusammensetzung, liefern jedoch eine schlechte Regelung bezüg-Hch der Gleichmäßigkeit und neigen zu ziemlicher Dikke. Folien sind äußerst einfach aufzubringen und sind sehr gleichmäßig, sind jedoch ziemlich dick (13 bis 25 μπι) und liefern, falls nicht anodisiert. Sauerstoff lediglich zu einer Tiefe von etwa 7,5 nm. was die passive Oxidschicht darstellt.
Die anfängliche Dicke der Verbindungsschicht kann zwischen sehr weiten Grenzen variieren. Die untere
Grenze bezüglich der Dicke wird durch das Erfordernis an ausreichendem Reakti· msmaterial zur Bildung einer
guten Bindung bestimmt, und dies hängt wiederum von der Art der zu verbindenden Materialien ab. Die umgesetzte
Zone ist nach dem Verbinden in einem relativ porösen Material, wie beispielsweise reaktionsgesintertem
Siliciumnitrid, viel dicker als die in einem sehr dichten Material, wie beispielsweise warmgepreßtem Siliciumnitrid,
in typischer Weise etwa zehnmal so dick. Somit kann eine anfänglich dünnere Bindungsschicht bei
dem Verbinden von warmgepreßtein Siliciumnitrid gegenüber dem Verbinden von reaktionsgesintertem SiIiciumnitrid
toleriert werden. In ähnlicher Weise können glatt in Eingriff kommende Oberflächen mit dünneren
Schichten verbunden werden als rauhe Oberflächen, da weniger und kleinere Lücken bzw. Spalten durch die
Produkte der Bindungsreaktion gefüllt werden müssen.
Schließlich und offensichtlich können anfänglich dichte Bindungsschichten, wie beispielsweise vakuumabgeschiedene
Überzüge und Folien, dünner sein als anfänglich poröse Bindungsschichten, wie beispielsweise abgeschiedene
Pulver. Alles in allem ist es unwahrscheinlich.
b5 daß eine Bindungsschicht mit einer Stärke von viel weniger
als 10 nm genügend Material zur Bildung einer guten Verbindung im besten Fall liefert. Bevorzugt erfolgt
die Bindung ohne wesentliches Durchdringen der
Poren der in Eingriff kommenden Oberflächen.
Die obere Grenze der Anfangsdicke der Bindungsschicht wird durch die Unerwünschtheit eines metallischen
Rückstandes nach der Verbindung bestimmt. Wiederum hängt die Dicke, oberhalb der ein metallischer
Rückstand verbleibt, von der Art der verbundenen Materialien in analoger Weise zu derjenigen ab, in
der die Minimaldicke abhängig ist. Zusätzlich kann jedoch überschüssiges geschmolzenes Aluminium aus
dem Verbindungsbereich, bevor irgendeine Verbindungsreaktion auftritt, durch den angewendeten Druck,
um die entsprechenden Oberflächen in Kontakt zu halten, ausgequetscht werden, da Aluminium bei etwa
660° C erheblich unter der Temperatur der Bindungsreaktion, schmilzt. Somit kann eine Schicht, die anfänglich
zu dick ist, dünn genug sein, wenn die Reaktionstemperatur erreicht ist.
Ebenso wie die Dicke kann die Ausgangszusammensetzung der Verbindungsschicht erheblich variieren, sofern
metallisches Aluminium und eine Quelle für Sauerstoff vorhanden sind. Wenn eine gewisse spezielle Stöchiometrie
in dem Bindungsbereich erwünscht ist, muß die Ausgangszusammensetzung der Verbindungsschicht entsprechend eingestellt werden. Wenn somit
aus bestimmten Gründen erwünscht ist, daß der Verbindungsbereich eine sogenannte ^-Sialonzusammensetzung
aufweist, nämlich S13N4 · X (Al2O3 · AlN), so muß
darauf geachtet werden, daß die erforderlichen Mengen an Aluminium und Sauerstoff in der Verbindungsschicht
zugeführt werden, wobei zu berücksichtigen ist, daß Stickstoff durch die Nitrierungsatmosphäre zugeführt
wird, daß etwas Sauerstoff in den passiven Oxidschichten auf dem Aluminium und Siliciumnitrid vorliegt und
daß irgendwelcher erforderlicher zusätzlicher Sauerstoff entweder durch Al2O3 oder SiO2 zugeführt werden
kann und daß die Menge des erforderlichen metallischen Aluminiums zum Teil von der verwendeten Sauerstoffquelle
abhängt Es sei jedoch bemerkt, daß es viele Phasen in dem System Si-Al-O-N gibt (K. H. Jack,
j. Materials Sei. 11, 1135 (1976)) und kein offensichtlieher
Grund dafür vorliegt, irgendeine bestimmte, z. B. /?-Sialon, vorzuziehen.
(3) Während die in Eingriff stehenden Oberflächen und die Aluminiumschicht sich in innigem Kontakt befinden,
wird die Anordnung in einer nitrierenden Atmo-Sphäre
während eines Zeitraums von etwa 1 Stunde bei einem Temperaturwert von 1400 bis 19000C oder bevorzugt
1550 bis 1600° C erhitzt Die obere Grenze wird
durch die Zersetzung und den Abbau von Si3N4 bestimm«.
Bei !9000C können gute Verbindungen gebildet so
werden, jedoch wird das Produkt deformiert. Temperaturen über 1650 bis 17000C neigen dazu, in etwa 1 Stunde
merklichen Abbau zu ergeben. Der Temperaturwert und die Aussetzungszeit stehen miteinander in einer Exponentialfunktion
in Beziehung. Die Exponentialfunktion kann ausgedrückt werden als Ausmaß = k f(c% wobei
f(c) eine Funktion der Konzentration der Reaktionsteilnehmer ist und k ~ φ E11JRT, wobei Eaa die Aktivierungsenergie
der Reaktion, J? die Gaskonstante und T die absolute Temperatur sind. Somit können kürzere
Zeiten bei höheren Temperaturen oder längere Zeiten bei niedrigen Temperaturen verwendet werden. Obgleich
eine Erhitzungszeit von 1 Stunde ein Minimum ist, das bei 1600° C bevorzugt wird, können längere Zeiträume
verwendet werden, die natürlich zunehmend unwirtschaftlich werden.
Die sich ergebende chemisch verbundene Anordnung ist durch eine unterschiedliche Wärmeausdehnung gekennzeichnet,
die der Leistungsfähigkeit des Verbundteils nicht abträglich ist. Körper auf Siliciumnitridbasis,
wie oben beschrieben, wurden verbunden und wurden Erhitzungs- und Abschreckvorgängen zwischen Temperaturextremen
von 1370°C und Raumtemperatur ausgesetzt Dabei erlitt der Keramikverbundkörper keinerlei
Bindungsbruch. Außerdem liefert die unter Ausführung der erfindungsgemäßen Stufen erreichte Bindungsfestigkeit
beständig einen Festigkeitswert über dem Schwellenwert für eine annehmbare Bindungsfestigkeit
bei Anwendungen in Gasturbinenmotoren. Die schwächste Verbindung, bestimmt durch einen Vierpunkt-Bindungsfestigkeitstest
(mit sämtlichen Variationen von Proben, die Ende an Ende an einem Stab gemäß der Erfindung verbunden waren), betrug 5bO bis
640 · 105 Pa. In typischer Weise können die Strukturen
einen Biegefestigkeitswert von wenigstens 700 ■ 105 Pa
erreichen; mehr als 1410 · 105 Pa wurden erreicht, wobei das Material auf Siliciumnitridbasis versagte, bevor
der Verbindungsbereich versagte.
Spezielle Anwendung findet das Verfahren der Erfindung bei der Herstellung eines Turbinenrotors. Dabei
wird eine Mehrzahl bestimmt konturierter Schaufeln reaktionsgesintert, die jeweils aus Siliciumnitrid gebildet
sind und einen Ansatz aufweisen, der zum Verbinden als Träger ausgebildet ist, eine scheibenförmige Nabe
heißgepreßt wobei die Nabe aus einem Pulver auf Siliciumnitridbasis gebildet ist und die Schaufeln um diese
Nabe in einer vorbestimmten Orientierung angeordnet, wobei sich die Schaufelansätze angrenzend an die
radiale Außenfläche der Nabe befinden. Gemäß der Erfindung wird das Material auf der Basis von metallischem
Aluminium zwischen die Schaufelansätze und die Nabe gelegt und ein leichter Druck angewendet, um
sicheren Grenzschichtkontakt herzustellen. Die Anordnung wird in der Nitrierungsatmosphäre während eines
Zeitraumes von 0,5 bis 2 Stunden erhitzt wobei irgendwelches geschmolzenes Aluminium im Überschuß eines
dünnen Films aus dem Grenzflächenkontakt herausgequetscht wird.
Claims (1)
1. Verfahren zum Verbinden von Körpern auf SiIiciumnitridbasis,
wobei gesondert geformte Körper aus Materialien auf der Basis von Siliciumnitrid hergestellt
werden, von denen einer oder beide derartige Körper drucklos gesintert, reaktionsgesindert
oder warmgepreßt werden, wobei jeder Körper eine in Eingriff kommende Oberfläche, längs der die Körper
verbunden werden sollen, aufweist,
auf wenigstens eine der Oberflächen ein aluminiumhaltiges Material aufgebracht wird,
die geformten Körper zusammengefügt werden und die Anordnung in einer nitrierenden Atmosphäre zur Ausbildung einer chemischen Bindung bei einer Temperatur zwischen 1400 und 19000C erhitzt wird, dadurch gekennzeichnet, daß
die geformten Körper zusammengefügt werden und die Anordnung in einer nitrierenden Atmosphäre zur Ausbildung einer chemischen Bindung bei einer Temperatur zwischen 1400 und 19000C erhitzt wird, dadurch gekennzeichnet, daß
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