DE29901625U1 - Vakuumanordnung mit einem Vakuumplattenventil - Google Patents

Vakuumanordnung mit einem Vakuumplattenventil

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DE29901625U1 DE29901625U DE29901625U DE29901625U1 DE 29901625 U1 DE29901625 U1 DE 29901625U1 DE 29901625 U DE29901625 U DE 29901625U DE 29901625 U DE29901625 U DE 29901625U DE 29901625 U1 DE29901625 U1 DE 29901625U1
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Description

• · ♦ ·
- 1 Vakuumanordnung
mit einem Vakuumplattenventil
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vakuumanordnung mit einem Vakuumplattenventil.
Plattenventile sind Ventile, bei denen eine Ventilplatte in der Ebene einer oder mehrerer jeweils zu schliessenden Öffnungen quer in bzw. über letztere geschoben wird und dann die vorgeschobene Platte an der Öffnungsperipherie oder um alle Öffnungen abgedichtet wird.
Selbstverständlich ist eine grosse Vielfalt von Ventilen zum gesteuerten, dichten Verschliessen von Öffnungen bekannt, keinesfalls alle vakuumtauglich, ebensowenig alles Plattenventile. Es ist beispielsweise aus der EP-A-O 590 964 ein Ventil bekannt, mittels welchem der Durchfluss von einer Öffnung in einem eigentlichen Ventilgehäuse zu einer zweiten gesteuert wird. Das Ventil umfasst eine erste Platte sowie/ daran mittels eines flexiblen Balges angebracht, eine hierzu parallele, zweite Platte. Durch Druckbeaufschlagung des zwischen den Platten liegenden Balgraumes werden beide Platten voneinandergestossen und beide in dichtenden Eingriff je mit einer Öffnungsumrandung gebracht. Weil die Platten parallel zu den Offnungs-Ebenen nicht verschieblich sind, handelt es sich nicht um ein Plattenventil.
Aus der WO93/18322 ist, z.B. für Hochofenwinderhitzeranlagen, ein Plattenventil bekannt, welches in einem eigenen Ventilgehäuse untergebracht ist. Es bezweckt, die Öffnungen zweier koaxialer Rohrstutzen am Ventilgehäuse voneinander zu trennen bzw. zu verbinden. Hierzu ist eine Ventilplatte vorgesehen, welche zwischen den Rohrstutzen angeordnet ist und parallel zu den Öffnungsebenen der Rohrstutzen linear getrieben beweglich ist. An der Wand des Ventilgehäuses sind hydraulische Hubvorrichtun-
gen montiert, mittels welcher die ganze Ventilplatte an die gehäuseinnenliegende Umrandung eines der Rohrstutzen gepresst wird und diesen so verschliesst.
Ein ähnliches Vorgehen zeigt die LU-57991. Über einer Rohrstutzenverbindung ist, in einem Ventilgehäuse, eine Ventilplatte linear beweglich und getrieben montiert, welche zwischen die Rohrstutzen eingeschoben bzw. daraus wieder ausgezogen wird. An einer Trägerplatte sind, beidseitig, expandierbare Balgräume vorgesehen, welche jeweils durch Dichtplatten abgeschlossen sind. Zum dichtenden Versperren des RohrStutzendurchganges wird, aus dem Ventilgehäuse, die Trägerplatte mit den Balgräumen und Dichtplatten zwischen die Rohrstutzen eingeschoben, dann durch gemeinsames gleichzeitiges Expandieren der Balgräumen beide Dichtplatten an die Rohrstutzenenden angepresst. Ähnlich wie bei der EP-O 590 964 werden durch gleichzeitiges gegengerichtetes Abdichten die Diqhtungskräfte gegenseitig kompensiert. Demgegenüber wird gemäss der WO93/18322 die erforderliche Dichtungskraft durch die Ventilgehäusewandung mit den Hubvorrichtungen aufgenommen.
Sehr ähnliches Vorgehen ist aus der NL-7604483 vorbekannt, gemäss welcher die Verbindung zweier Rohrstutzen durch Zwischenschieben einer Ventilplatte, entgegengerichtetem Dichtdruckaufbau an Dichtkolben eine zweiseitige, sich bezüglich Dichtkräften kompensierende Dichtung erstellt wird.
Die vorliegende Erfindung geht nun von einer Vakuumanordnung aus mit einem Vakuumplattenventil, bei dem mit dem Ventil mindestens eine Öffnung in einer Wand bedient werden soll, also der Durchtritt von einem Raum einseitig der Wand in einen Raum andersseitig der Wand, welche Räume über die Öffnung in der
Wand kommunizieren. Ein Eingriff in die als "Rohrverbindung" möglicherweise interpretierbare, durch die Wand verlaufende, die Öffnung bildende Verbindung soll nicht erfolgen. Es soll mit der vorliegenden Erfindung weiter eine solche Anordnung geschaffen werden, woran kein eigenes Ventilgehäuse erforderlich ist. Weiter soll das Anordnungskonzept flexibel so erweiterbar sein, dass mehrere Vakuumkammer- bzw. Wandöffnungen unabhängig voneinander, d.h. gleichzeitig oder zeitgestaffelt, mit einem einzigen Plattenventil bedienbar sind, und woran weiter, insbesondere im Fall mehrerer zu bedienender Öffnungen, die Anzahl je Schliessbewegung minimalisiert ist. Im weiteren soll das Ventil in beiden Richtungen mit zu dichtender Druckdifferenz beaufschlagbar sein und soll weiter beidseitig vakuumprozesstauglich sein.
Zu diesem Zweck wird eine Anordnung nach dem Wortlaut des kennzeichnenden Teils von Anspruch 1 vorgeschlagen.
Nur einseitig ist oder sind an der Trägerplatte ein oder mehrere dichtend expandierbare Betätigungszylinderräume vorgesehen, jeweils mit einer Dichtplatte, so dass durch Bewegen der Trägerplatte - eine Positionierungsbewegung - die eine oder die mehreren Dichtplatte (n) in Ausrichtung auf die entsprechende Anzahl vorgesehener Öffnungen in der Wand gebracht wird (werden). Darnach werden, durch Druckbeaufschlagung der Zylinderräume, die vorgesehenen Dichtplatten, mindestens eine, dichtend an die jeweiligen Öffnungsumrandungen gepresst. Die resultierenden einseitigen Dichtkräfte werden von der Trägerplattenbewegungsführung aufgenommen. Als Druckmedium für den mindestens einen vorgesehenen Zylinderraum wird vorzugsweise ein gasförmiges Medium, vorzugsweise Luft, eingesetzt.
Dadurch wird es möglich, die Ventilplatte als Ganzes unmittelbar entlang der Wand mit der mindestens einen Öffnung bevorzugt linear zu verschieben, bis eine Dichtplatte jeweils gegenüber einer oder der zu dichtenden Öffnung in der Wand positioniert ist. Der minimal notwendige Dichthub wird lediglich durch den Freigabehub nach unten begrenzt, welcher nötig ist, um die Ventilplatte mit abgelöster Dichtplatte frei entlang der Wand zu verschieben. Dieser Freigabehub kann äusserst klein bemessen werden, damit aber auch der notwendige Dichthub der Dichtplatte(n) .
In bevorzugter Ausführungsform ist der Zylinderraum gekapselt, vorzugsweise balggekapselt, oder durch eine gummielastische Wandung begrenzt. Dies erfolgt vorzugsweise mittels eines metallischen Balges, eines Balges mit metallischen und/oder elastischen - z.B. Kunststoff - Partien, oder mittels gummielastischer Wandungspartie der Kapselung, z.B. einer dichten gummielastischen "Blase" in einem stabilisierenden, teleskopischen Gehäuse.
Die Wandungsumrandung der Öffnung und/oder die Dichtplatte umfasst, auf ihrer der Trägerplatte abgekehrten Seite, vorzugsweise mindestens ein sich elastisch bei Dichtdruck verformendes Dichtelement, welches durch mindestens ein gummielastisches Dichtelement gebildet sein kann und/oder durch mindestens ein entsprechend dimensioniertes, metallisches Dichtelement.
Im weiteren wird die Dichtplatte bevorzugterweise bewegungsgeführt, vorzugsweise im Zylinderraum (Vakuum-Kontamination!), vorzugsweise mittels Führungsbolzen im Zylinderraum, vorzugsweise mit Spiel, an der Trägerplatte gelagert. Sie wird weiter mittels einer Rückholanordnung, z.B. mittels Federorganen, ge-
gen die Trägerplatte vorgespannt. Eine Führung mit Spiel unterstützt ein toleranzunabhängiges dichtes Anlegen der Dichtplatte an eine zu schliessende Öffnung. Vorzugsweise sind weiter alle
Betätigungs-, Führungs-, Vorspannorgane etc. für die Dichtplatte im Zylinderrautn mitgekapselt. Dies sichert eine beidseitige
Vakuumprozesstauglichkeit des Ventils unter Berücksichtigung zu vermeidender Partike!kontamination solcher Prozessräume.
Um weiter die bei Plattenventilen übliche vollständige Freigabe der zu bedienenden Öffnung in der Kammerwand sicherzustellen,
wird vorgeschlagen, dass in der Trägerplatte, von der Dicht-
platte abgesetzt, mindestens eine Öffnung vorgesehen ist, deren Ausdehnung und Form im wesentlichen einer zu dichtenden Öffnung entspricht oder grosser ist.
Damit ist ersichtlich, dass, dem erfindungsgemässen Konzept
folgend, lediglich die Trägerplatte, vorzugsweise linear, entlang
einer Wand mit der mindestens einen zu bedienenden Öffnung verschoben werden kann, in eine erste Position, in der dann die erwähnte Öffnung durch Betätigung der Dichtplatte dichtend verschlossen wird und in eine zweite, bei der die erwähnte Öffnung in der Kammerwand durch die vorerwähnte Öffnung in der Trägerplatte
vollständig freigegeben wird.
Für die Bedienung mehrerer Öffnungen in einer Vakuumkammeranordnungs-Wand
wird weiter vorgeschlagen, dass an der erfindungsgemässen
Trägerplatte, abwechselnd, einerseits mindestens
zwei der erwähnten Dichtplatten, je mit Zylinderräumen und
Druckluftleitungen, vorgesehen sind sowie anderseits die erwähnten
Freigabe-Öffnungen, wobei vorzugsweise und grundsätzlich
mehr als ein vorgesehener Zylinderraum gemeinsam durch ei-
ne zentrale Druckmediumsleitung an oder in der Trägerplatte bedienbar ist.
Im weiteren werden vorzugsweise auf die Trägerplatte gleichzeitig als Dichtkraftwiderlager wirkende Bewegungsführungen als Nut/Rollen-Führungen ausgebildet.
Dabei können die widerzulagernden Dichtungskräfte - gerade bei mehreren zu dichtenden Öffnungen - sehr hoch sein. Weiter sichern die Führungen die Ventilfunktion unabhängig davon, in welcher Richtung eine Druckdifferenz - z.B. entsprechend Atmosphärendruck - auf die Ventilplatte wirkt.
Weiter ist vorzugsweise die Dichtfläche von Dichtplatte an Öffnungsumrandung kleiner als die durch den Zylinderraum druckbeaufschlagte Dichtplattenfläche, vorzugsweise höchstens halb so gross. Dadurch kann mit relativ geringem Dichtungsdruck des Mediums gearbeitet werden und trotzdem das Ve'htil auch unter Überwindung namhafter Gegendrücke geschlossen werden. Im weiteren ermöglicht dies auch einen betreffs Druckmedium höchst wirtschaftlichen Betrieb sowie sanftes, gesteuertes Erstellen bzw. Lösen der Dichtung. Letzteres wiederum erhöht die Standzeit solcher Ventile wesentlich, im Sinne wartungsfrei durchlebter Dicht-Zyklen.
Auch unter dem Aspekt zu vermeidender Partikelbildung ist ein "sanfter", schlagfreier Betrieb höchst vorteilhaft.
Im weiteren ist eine vorzugsweise gekapselte, vorzugsweise balggekapselte, Antriebsanordnung für die Relatiwerschiebung der Trägerplatte bezüglich der Wand - die Positionierbewegung vorgesehen, durch welche hindurch, weiter bevorzugterweise, die Druckmediumsleitung zur Ventilplatte geführt ist.
Die erwähnte Antriebsanordnung ist unmittelbar im Bereich der Wand, wie beispielsweise an ihr selbst, ventilseitig oder unmittelbar auf der Wandaussenseite montiert.
Wand- und/oder Dichtplatten-seitig können weitere Dichtungsorgane, wie beispielsweise eine 0-Ringdichtung, um die Öffnung bzw. je um die Öffnungen umlaufend vorgesehen sein.
Das erfindungsgemäss vorgesehene Ventil kann reinzuhaltende Vakuumatmosphären trennen, insbesondere, wenn auch ihr Positionsantrieb gekapselt ist. Insbesondere wenn mit einer erfindungsgemäss vorgesehenen Ventilplatte mehrere Wandöffnungen bedient werden, ergibt sich gemeinsam nur eine Grosshub-Öffnungs- bzw. Schliessbewegung - die Positionierbewegung - indem die Trägerplatte als Ganzes entlang den bzw. über die Öffnungen verschoben wird. Durch Vorsehen dieser einen gemeinsamen Trägerplatte erübrigen sich auch Vorsehen jeweils den Öffnungen zugeordneter, spezifischer Ventilgehäuse.
Bei Ausbildung des Plattenventils für die Bedienung mehrerer Öffnungen können Dichtplatten mit zugeordneten Betätigungsorganen einzeln demontiert und ersetzt werden, was zu kürzeren Wartungszeiten führt. Dadurch, dass bevorzugterweise die zylinderraumbeaufschlagten Druckflächen wesentlich grosser gewählt werden als die jeweils an den Kammerwandöffnungen zu dichtenden Dichtflächen, kann u.a. mit geringen Mediumdrücken und entsprechend geringem Mediumverbrauch gearbeitet werden.
Durch Vorsehen einer zentralen Zuführung der Mediumleitung an die Ventilplatte, insbesondere ausgelegt für die Bedienung mehrerer Öffnungen, ergibt sich lediglich eine Durchführung durch eine Vakuumkammer wand, die vorzugsweise gleichzeitig für den Positionierungsantrieb des Plattenventils ausgenützt wird. Die
vorgeschlagen expandierbaren Zylinderräume, vorzugsweise mit kleinen Dichthuben, sichern minimale Partikelerzeugung bei Dichtplattenbewegung.
Weil weiter, insbesondere bei Auslegung für die Bedienung mehrerer Öffnungen, keine durchgehende, grossflächige Dichtfläche für alle Öffnungen vorgesehen wird, sondern jede der Öffnungen durch eine zugeordnete Dichtplatte gedichtet wird, entfallen Bearbeitungs- und Toleranzprobleme an grossflächigen Dichtflächen: Die einzelnen Dichtplatten dichten weitestgehend bearbeitungs- und toleranzunabhängig. Vorgesehene Dichtungen können ohne Ausbau der Ventilplatte durch die jeweiligen Kammeröffnungen hindurch überprüft und ggf. ausgewechselt werden. Es ergibt sich, insbesondere beim Einsatz für mehrere Öffnungen, eine äusserst platzsparende, kompakte und wartungsfreundliche Ventilkonzeption.
Die erfindungsgemässe Anordnung eignet sich insbesondere für den Einsatz an Parallel-Prozess- bzw. Batch-Anlagen, dabei insbesondere an Anlagen der in der CH-A-687 986 beschriebenen Art, wo mehrere Prozesskammern einer Vakuumkammeranordnung, als Stapel, via überereinander gestapelte Schlitzöffnungen je bedienbar sind.
Die Erfindung wird anschliessend beispielsweise anhand zweier Figuren erläutert. Es zeigen:
Fig. 1: vereinfacht und im Längsschnitt, eine erfindungsgemässe Ventilplatte in bevorzugter Ausführungsform an einer erfindungsgemässen Vakuumkammeranordnung,
Fig. 2: schematisch das Prinzip einer erfindungsgemässen Mehrfach-Ventilplatte .
Die erfindungsgemässe Anordnung umfasst ein Plattenventil, mit, nach Fig. 1, einer Trägerplatte 1, welche vorzugsweise seitlich, entlang der Wand 3 einer Vakuumkammeranordnung verschieblich, vorzugsweise linear verschieblich, gelagert ist, bevorzugterweise in lateralen Rollenführungen 5. Die Trägerplatte 1 trägt auf ihrer einen Seite, je nach Ausbildung, eine oder mehrere Dichtplatten 7, welche senkrecht zur Ausdehnung der Trägerplatte 1 mittels Führungsstiften 9, die in entsprechenden Büchsen 10 an der Trägerplatte 1 gleiten - vorzugsweise mit Spiel -, beweglich geführt ist. Zwischen Trägerplatte 1 und der bzw. den Dichtplatten 7 ist jeweils ein dichter, expandierbarer Zylinderraum 11 vorgesehen, wie dargestellt in Form eines Balgraumes oder gebildet durch eine gummielastische Blase. Der Zylinderraum 11 wird über ein Druckmedium-Leitungssystem 13 in der Trägerplatte 1 betrieben. Rückholorgane, z.B. Zugfedern 15 holen die Dichtplatte 7, bei nicht-aktiviertem Zylinderraum 11, in ihre abgehobene Position zurück. Der Zylinderraum 1 umfasst alle reibenden Teile, insbesondere die Führungen und Rückholorgane.
Die in den Führungen, insbesondere Rollenführungen 5, laufende Trägerplatte 1 wird durch einen vorzugsweise Balg-17-gekapselten Stösselantrieb in Antriebsrichtung F angetrieben, durch welchen hindurch bevorzugterweise auch die Pressluftleitung 13 zentral der Platte 1 zugeführt wird. Die vom Zylinderraum 11 auf die Dichtplatte 7 wirkende Druckfläche &phgr;&khgr; wird dabei vorzugsweise wesentlich grosser gewählt, als die zwischen Dichtplatte 7 und Öffnungsumrandung wirkende Dichtfläche &phgr;0, vorzugsweise ist die Fläche &phgr;&khgr; mindestens um den Faktor 2 grosser als die Dichtfläche fyD.
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- 10 -
In der Platte 1 ist, in Richtung F von der Dichtplattenanordnung abgesetzt, eine Freigabeöffnung 23 vorgesehen, bzw. es sind bei Vorsehen mehrerer Dichtplattenanordnungen, jeweils dazwischen. Öffnungen 23 vorgesehen. Durch Entlasten des Zylinderraumes 11 und geringfügiges Abheben der Dichtplatte 7 und anschliessendes Linearverschieben in Richtung F wird die jeweils vormals dichtend verschlossene Öffnung 19 in der Kammeranordnungswand, durch Ausrichten der Öffnung 23 auf die erwähnte Öffnung 19, völlig freigegeben.
Bevorzugterweise wird die erfindungsgemässe Ventilplatte vertikal eingebaut. Ist die Vakuumatmosphäre auf einer Seite der Öffnung 19 kontaminationsempfindlicher als auf der anderen, so wird die Ventilplatte auf der weniger kontaminationsempfindlichen Seite eingebaut. Der resultierende Dichtungsdruck auf die Trägerplatte 1 wird dabei durch die Führungen, insbesondere Rollenführungen 5, aufgenommen. *
Die vorgestellte Ventilplatte eignet sich insbesondere zum Bedienen von in y-Richtung gemäss Figur 1 längsausgedehnten Öffnungschlitzen 19, wodurch schmale, sich flexibel an die Öffnungsumrandungen anpassende Dichtscheiben 7 eingesetzt werden können.
Wie in Fig. 1 ersichtlich, ist der Positionierungsantrieb 17 für die Positionierungsbewegung der Trägerplatte 1 unmittelbar im Bereich der Wand 3 montiert. Bevorzugterweise umfasst dieser Antrieb eine gekapselte Kolben/Zylinderanordnung (in 17) . Dieser Anordnung wird lediglich das notwendige Druckmedium - wie Luft - durch den Leitungsstutzen L von aussen zugeführt. Wie ersichtlich, erstreckt sich die gesamte Ventilanordnung nur unmittelbar entlang der Wand 3 mit den zu bedienenden Öffnungen
- 11 -
19, die gesamte widerzulagernde Dichtungskraft des einseitig wirkenden Plattenventils wird an den Führungen 5 aufgenommen.
In Fig. 2 ist schematisch eine erfindungsgemässe Anordnung für Mehröffnungsbedienung dargestellt. Es sind für gleiche Organe dieselben Bezugszeichen wie in Fig. 1 eingesetzt. Nach den Erläuterungen zu Fig. 1 sind weitere zu Fig. 2 überflüssig.
Eingesetzt an einer Batch-Anlage, insbesondere einer der in der CH-A-687 986 beschriebenen Art, bezüglich welcher das erwähnte Dokument als integrierter Bestandteil der vorliegenden Be-Schreibung erklärt wird, ergibt sich ein höchst kompakter, einfacher Aufbau der Gesamtanordnung, wenn man insbesondere berücksichtigt, dass es bis heute an diesen Anlagen üblich war, alle Prozesskammerstapel-Öffnungen mit einer Platte gemeinsam, d.h. um alle Öffnungen herum zu dichten. Dabei war ein extrem langer Freigabehub der Platte notwendig.

Claims (13)

- 12 -Sprüche:
1. Vakuumanordnung mit einer Wand (3), darin mindestens einer Öffnung (19) und einem Vakuumplattenventil hierfür, dadurch gekennzeichnet, dass das Ventil umfasst:
· eine parallel zur Wand beweglich gelagerte Trägerplatte (1),
deren Bewegungsbahn über die Öffnung (19) läuft;
• an der der Wand zugekehrten Plattenfläche mindestens eine
senkrecht zur Plattenfläche beweglich gelagerte, diesbezüglich
parallele Dichtplatte (7) ;
· Zwischen Trägerplatte (1) und der mindestens einen Dichtplatte (7) einen dichten, expandierbaren Betätigungszylinderraum;
• eine durch die oder an der Trägerplatte (1) geführte, in den
Zylinderraum (11) einmündende Druckmediumleitung (13) ;
• wobei die Trägerplatte (1) mittels Bewegungsführungen (5) bezüglich der Wand (3) abgestützt ist, welche Führungen (5) eine auf die Dichtplatte (7) rückwirkende Dichtungskraft widerlagern.
2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass
die Trägerplatte (1) bezüglich der Wand getrieben verschieblich ist, vorzugsweise unmittelbar entlang der Wand, vorzugsweise
linear.
3. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,
dass die Dichtplatte (7) die Öffnung (19) in der
Wand (3) allseitig überkragt, und dass die Wirkungsfläche des
Zylinderraumes (11) auf die Dichtplatte (7) grosser ist als die ringförmig die Wandöffnung (19) umschlingende Überkragungsfla-
ehe (&phgr;&eegr;) , vorzugsweise mindestens doppelt so gross ist, wobei vorzugsweise im Öberkragungsbereich wandseitig und/oder dichtplattenseitig mindestens ein Dichtorgan, vorzugsweise ein elastisches, vorzugsweise mindestens eine 0-Ringdichtung, vorgesehen ist.
4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass Teile der Bewegungsführungen (5) an der Wand (3) befestigt sind, vorzugsweise die Bewegungs führungen Rollen/Nutführungen mindestens umfassen.
5. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass, in Bewegungsrichtung der Trägerplatte (1) gestaffelt, in der Wand mehrere Öffnungen (19) vorgesehen sind.
6. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Öffnung (19) in der Wand
(3) schlitzförmig ist, mit Schlitzlängsausdehnung quer zur Bewegungsrichtung der Trägerplatte (1).
7. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die mindestens eine Öffnung (19) oder bevorzugt die mehreren in Bewegungsrichtung der Trägerplatte gestaffeit vorgesehenen Öffnungen schlitzförmig ausgebildet sind und je Bedienungsöffnungen zu Vakuumprozesskammern bilden, die vorzugsweise für eine Parallel-Bearbeitung von Werkstücken gleich ausgebildet sind, wobei die schlitzförmigen Öffnungen (19) vorzugsweise vertikal untereinander angeordnet sind und so die den Öffnungen zugeordneten Prozesskammern einen Stapel bilden.
8. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass der Zylinderraum (11) gekapselt, vorzugsweise balggekapselt, ist, vorzugsweise mittels eines metallischen
und/oder elastischen Balges oder einer gummielastischen Wandung und/oder dass der Raum (11) von einer gummielastische Wandung umgeben ist.
9. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtplatte (7) und/oder die Öffnungs-Umrandung mindestens ein elastisch bei Dichtdruck deformierbares Dichtelement umfasst.
10. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Dichtplatte (7) vorzugsweise im Zylinderraum bewegungsgeführt ist, vorzugsweise mittels Führungsbolzen (9), vorzugsweise mit Spiel, an der Trägerplatte (1) gelagert ist und weiter bevorzugt gegen die Trägerplatte (1) hin vorgespannt ist.
11. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass in der Trägerplatte (1) ,v- von der Dichtplatte
(7) in Bewegungsrichtung der Trägerplatte versetzt, mindestens eine Öffnung (23) vorgesehen ist, deren Ausdehnung und Form im wesentlichen einer durch die Dichtplatte (7) zu dichtenden Öffnung (19) entspricht.
12. Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass in der Wand, in Bewegungsrichtung der Trägerplatte (1) gestaffelt, mehrere Öffnungen (19) vorgesehen sind und an der Trägerplatte (1), hintereinander gestaffelt, mehrere besagter Dichtplatten, Betätigungszylinderräume und Druckmediumsleitungen, wobei vorzugsweise an der Trägerplatte (1) die Dichtplatten voneinander gleich beabstandet sind, wie die Öffnungen an der Wand voneinander beabstandet sind.
13. Anordnung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass
an der Trägerplatte (1) zwischen den Dichtplatten (7) Öffnungen (23) vorgesehen sind, vorzugsweise beabstandet entsprechend dem Abstand sich folgender Öffnungen (19) in der Wand (3) .
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