DE19727158C2 - Steuervorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Steuervorrichtung, die zur Steue­ rung der Luftströmung in einem mit einer Arbeitsvorrichtung verbindbaren Arbeitskanal dient.

Eine aus der DE 44 13 657 C1 bekannte Steuervorrichtung dieser Art ist als Ventilanordnung ausgeführt und enthält eine Gehäu­ seausnehmung, in die an axial beabstandeten Stellen ein Ar­ beitskanal, ein Speisekanal und ein Entlüftungskanal einmünden. In der Gehäuseausnehmung ist eine Ventileinheit angeordnet, die einen Ventilschieber enthält, der zwischen zwei Schaltstellun­ gen umschaltbar ist, um den Arbeitskanal wahlweise mit dem Speisekanal oder mit dem Entlüftungskanal zu verbinden. Auf diese Weise läßt sich eine an dem Arbeitskanal angeschlossene Arbeitsvorrichtung betreiben.

Vor allem in der Fertigungs- und Montagetechnik treten vielfäl­ tige Anwendungsfälle auf, bei denen beliebige Gegenstände durch Einsatz sogenannter Vakuum-Handhabungsgeräte transportiert wer­ den. Die Vakuum-Handhabungsgeräte verfügen über eine Mehrzahl von Saugnäpfen, die auf den zu transportierenden Gegenstand aufgesetzt und anschließend evakuiert werden. Letzteres ge­ schieht durch Einsatz besonderer Vakuumerzeuger, wie sie bei­ spielsweise in der Beschreibungseinleitung der US 4,861,232 be­ schrieben werden. Dabei wird Druckluft mit hoher Geschwindig­ keit durch eine Düse hindurchgeblasen, die seitlich mit einem Arbeitskanal kommuniziert, an den die Saugnäpfe angeschlossen sind. Die Luftströmung durch die Düse hindurch hat im Arbeits­ kanal eine Ejektorwirkung zur Folge, so daß Luft abgesaugt wird und in den angeschlossenen Saugnäpfen ein Unterdruck entsteht, der ein Anhaften des zu transportierenden Gegenstandes bewirkt.

Bei den bekannten Vakuumerzeugern handelt es sich um eigenstän­ dige Vorrichtungen. Sie werden in der Regel parallel zu Ventil­ anordnungen der in der DE 44 13 657 C1 beschriebenen Art be­ trieben, wobei die Ventilanordnung die Bewegung des Saugnapfes und der Vakuumerzeuger die Erzeugung des Unterdruckes steuert. Aufgrund der konzeptionellen Unterschiede der beiderseitigen Vorrichtungen sind dabei aber den baulichen und steuerungstech­ nischen Kombinationsmöglichkeiten Grenzen gesetzt. Auch gestal­ tet sich der Aufbau von Anlagen mit kombinierter Ventil- und Vakuumerzeuger-Technik relativ aufwendig, weil auf zwei ge­ trennte Produktgruppen zurückgegriffen werden muß, die sich im Aufbau stark unterscheiden. Dementsprechend hoch sind die Ge­ samtkosten derartiger Anlagen.

Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, Maßnahmen zu treffen, die eine Reduzierung der Herstellungskosten von Ven­ tilanordnungen und Vakuumerzeugereinrichtungen vor allem auch bei kombinierten Anwendungen ermöglichen.

Gelöst wird diese Aufgabe durch eine Steuervorrichtung zur Steuerung der Luftströmung in einem mit einer Arbeitsvorrich­ tung verbindbaren Arbeitskanal, mit einem Vorrichtungsgehäuse, das mindestens eine Gehäuseausnehmung enthält, die an axial beabstandeten Stellen mit einem Arbeitskanal, mit einem mit ei­ ner Druckluftquelle verbindbaren Speisekanal und mit einem Ent­ lüftungskanal kommuniziert und in die wahlweise eine Ventilein­ heit oder eine Vakuumerzeugereinheit einsetzbar ist, wobei die Ventileinheit einen Ventilschieber enthält, der zwischen zwei Schaltstellungen umschaltbar ist, in denen er jeweils eine fluidische Verknüpfung zwischen einerseits dem Arbeitskanal und andererseits dem Speisekanal oder dem Entlüftungskanal bewirkt, und wobei die Vakuumerzeugereinheit ein zwischen einer Offen­ stellung und einer Schließstellung umschaltbares Steuerglied aufweist, das in der Offenstellung eine Druckluftströmung vom Speisekanal durch eine Düsenanordnung der Vakuumerzeugereinheit hindurch zum Entlüftungskanal bewirkt und dadurch ein Absaugen von Luft aus dem mit der Düsenanordnung kommunizierenden Ar­ beitskanal hervorruft.

Auf diese Weise kann auf Basis eines Vorrichtungsgehäuses mit einheitlichem Grundaufbau durch wahlweise Ausstattung mit einer Ventileinheit oder mit einer Vakuumerzeugereinheit die ge­ wünschte Funktionsweise vorgegeben werden. Ist eine Ventilein­ heit in die Gehäuseausnehmung eingesetzt, läßt sich durch Vor­ gabe der Schaltstellung des Ventilschiebers die Verknüpfung zwischen dem Arbeitskanal und den übrigen Kanälen dahingehend steuern, daß der Arbeitskanal entweder mit Druckluft versorgt oder entlüftet wird. Auf diese Weise kann beispielsweise ein angeschlossener Arbeitszylinder betrieben werden. Wird aber an­ stelle der Ventileinheit eine Vakuumerzeugereinheit in die Ge­ häuseausnehmung eingesetzt, kann letztere in dem Arbeitskanal bei Bedarf einen Unterdruck erzeugen. Diese Unterdruckerzeugung basiert auf einer Absaugung des Arbeitskanals, wobei die Saug­ wirkung durch die eingesetzte Vakuumerzeugereinheit hervorgeru­ fen wird, die mit einer mit dem Arbeitskanal in Verbindung ste­ henden Düsenordnung ausgestattet ist. Während also beim Einsatz einer Ventileinheit die am Speisekanal anstehende Druckluft zur Betätigung einer am Arbeitskanal angeschlossenen Arbeitsvor­ richtung dient, wird die Druckluft im Zusammenhang mit einer eingesetzten Vakuumerzeugereinheit zum Hindurchströmen durch die Düsenanordnung verwendet, um auf Grundlage der Ejektorwirkung im angeschlossenen Arbeitskanal eine Absaugwir­ kung hervorzurufen.

Auf diese Weise kann eine starke Vereinheitlichung des Aufbaues von Ventilanordnungen und Vakuumerzeugeranordnungen erfolgen, die über eine Vielzahl von Gleichteilen verfügen und sich nur in dem die eigentliche Funktion vorgebenden Kernbestandteil zu unterscheiden brauchen. Dies gestattet eine stark vereinheit­ lichte Herstellung der beiden Produkttypen mit entsprechend re­ duzierten Fertigungskosten. Auch kann in der Regel unabhängig vom jeweiligen Produkttyp auf die gleiche elektrische und pneu­ matische Ansteuertechnik zurückgegriffen werden, was auf Seiten der Steuerungstechnik ebenfalls zu einer Kostensenkung beitra­ gen kann.

Schließlich besteht auch die Möglichkeit, ein und dasselbe Vor­ richtungsgehäuse mit mehreren Gehäuseausnehmungen auszustatten, um einen kombinierten Einbau von Ventil- und Vakuumerzeugerein­ heiten zu ermöglichen. Dies ist vor allem dann von Vorteil, wenn kombinierte Überdruck- und Unterdruckanwendungen gewünscht sind, wie sie in der Handhabungstechnik recht häufig anzutref­ fen sind.

Zwar geht aus der DE 38 24 844 A1 bereits eine Sammelanschluß- Stapelbasis hervor, die mit mehreren Ventilen ausgestattet ist und zusätzlich eine nach dem Ejektor-Prinzip arbeitende Ein­ richtung beinhaltet. Letztere hat jedoch lediglich den Zweck, den Druck in einem integrierten Kolbenzylinder zu reduzieren, um eine raschere Öffnung eines zugehörigen Tellerventils her­ vorzurufen, also eine Schaltfunktion des Tellerventils zu un­ terstützen. Es sind hingegen keine Maßnahmen getroffen, die es ermöglichen würden, die den Unterdruck erzeugende Einheit durch eine Ventileinheit zu ersetzen.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unter­ ansprüchen hervor.

Zweckmäßigerweise ist die Düsenanordnung an dem Steuerglied vorgesehen und mitbewegbar mit diesem verbunden, so daß es die Umschaltbewegung mitmacht.

Alternativ hierzu kann die Vakuumerzeugereinheit auch ein unbe­ wegbar in die betreffende Gehäuseausnehmung einsetzbares Gehäu­ se aufweisen, das dann seinerseits eine unbeweglich festgelegte Düsenanordnung und ein bewegliches Steuerglied enthält.

Um eine dichtende Abtrennung zwischen den Fluidkanälen zu er­ reichen, befindet sich zwischen der Umfangswand der Gehäuseaus­ nehmung und der eingesetzten Steuer­ einheit zweckmäßigerweise eine Mehrfachanordnung von axial aufeinanderfolgend angeordneten ringförmigen Dichtungs­ einheiten. Diese sind zweckmäßigerweise fest mit der Gehäuseausnehmung verbunden und in identischer Weise an­ geordnet, unabhängig davon, ob eine Ventileinheit oder eine Vakuumerzeugereinheit eingesetzt ist. Es handelt sich bei den Dichtungseinheiten vorzugsweise um patronenähn­ liche Einheiten, die jeweils mindestens einen gummi­ elastischen Dichtring sowie einen den mindestens einen Dichtring haltenden Haltering aufweisen, wobei sie über den Haltering insbesondere durch eine Preßsitzbefestigung in der Gehäuseausnehmung positioniert und festgelegt sind.

Sind in der Steuervorrichtung zumindest zwei Gehäuseaus­ nehmungen vorhanden, kann bei Bedarf jede Gehäuseausneh­ mung mit einer Vakuumerzeugereinheit versehen werden, um zwei getrennte Arbeitsvorrichtungen zu betreiben. Denkbar ist auch eine kombinierte Ausstattung mit einerseits einer Vakuumerzeugereinheit und andererseits einer Ventileinheit, wobei die Ventileinheit entweder zur Ansteuerung einer zu­ geordneten Arbeitsvorrichtung einsetzbar ist oder zum Betreiben der vorhandenen Vakuumerzeugereinheit verwendet wird. Letzteres insbesondere derart, daß man eine Ver­ knüpfung vorsieht, die es ermöglicht, dem der Vakuum­ erzeugereinheit zugeordneten Arbeitskanal ein Überdruck­ signal zuzuführen, um den herrschenden Unterdruck abzubauen und dadurch das Ablösen bzw. Abwerfen eines an der zuge­ ordneten Arbeitsvorrichtung angesaugten Gegenstandes her­ vorzurufen.

Bei Bedarf kann das Überdrucksignal noch beeinflußt werden, wenn in die zugeordnete Kanalverbindung eine Drosseleinrichtung eingeschaltet ist.

Nachfolgend wird die Erfindung anhand der beiliegenden Zeichnung näher erläutert. Es zeigen im einzelnen:

Fig. 1 einen Längsschnitt durch eine bevorzugte Bauform der erfindungsgemäßen Steuervorrichtung, die über zwei Gehäuseausnehmungen verfügt, die in Fig. 1 jeweils mit einer Ventileinheit ausge­ stattet sind,

Fig. 2 den in Fig. 1 strichpunktiert markierten Aus­ schnitt II in vergrößerter Darstellung, wobei anstelle einer Ventileinheit eine bevorzugte Bauform einer Vakuumerzeugereinheit eingesetzt ist,

Fig. 3 in einer der Fig. 2 entsprechenden Darstellungs­ weise eine weitere Ausführungsform einer in die Gehäuseausnehmung einsetzbaren Vakuumerzeuger­ einheit und

Fig. 4 den in Fig. 1 strichpunktiert markierten Aus­ schnitt IV in vergrößerter Darstellung, wobei die vorhandene Ventileinheit im Gegensatz zu der in Fig. 1 vorhandenen 3/2-Bauart als 2/2- Bauart ausgeführt ist und dazu dient, der eben­ falls vorhandenen Vakuumerzeugereinheit als Abwurfimpuls kurzzeitig ein Überdrucksignal zu­ zuführen.

Die Fig. 1 zeigt eine elektromagnetisch betätigbare Steuervorrichtung 1 mit einem vorzugsweise mehrteiligen plattenartigen Vorrichtungsgehäuse 2. Auf Grund der ge­ troffenen Unterteilung verfügt das Vorrichtungsgehäuse 2 über ein Zentralteil 3 und zwei an den einander entgegen­ gesetzten axialen Stirnseiten 4 des Zentralteils 3 lösbar angesetzten Abschlußteilen 5, 5'.

Das Vorrichtungsgehäuse 2 ist von einer Mehrzahl von Fluidkanälen 6 durchsetzt, die zweckmäßigerweise im Zentralteil 3 ausgebildet sind. Unter den Fluidkanälen 6 befindet sich ein etwa mittig angeordneter Entlüftungs­ kanal R, auf den axial beidseits jeweils ein Arbeitskanal A, B folgt. Auf der dem Entlüftungskanal R entgegenge­ setzten Axialseite jedes Arbeitskanals A, B befindet sich ferner ein Speisekanal P₁, P₂.

Die Steuervorrichtung 1 ist so ausgelegt, daß sie mit mehreren einen gleichartigen Grundaufbau besitzenden Steuervorrichtungen zu einer paketartigen Einheit zu­ sammengefaßt werden kann, indem die einzelnen platten­ artigen Vorrichtungsgehäuse 2 mit einander zugewandten Plattenflächen aneinandergereiht und fest miteinander verbunden werden. Die Fluidkanäle 6 der verschiedenen Steuervorrichtungen 1 ergänzen sich dann teils zu gemeinsamen durchgehenden Kanälen. Somit besteht die Möglichkeit, batterieartige Anordnungen von Steuervorrichtungen 1 modular und anwendungsspezifisch zusammenzustellen.

Im Innern des Vorrichtungsgehäuses 2 ist eine sich linear erstreckende und im großen und ganzen zylinderähnlich konturierte Aufnahme 7 ausgebildet. Die erwähnten fünf Fluidkanäle 6 münden axial beabstandet in diese Aufnahme 7 ein. Der mittige Entlüftungskanal R bewirkt dabei eine Art axialer Unterteilung für die Aufnahme 7, so daß sich zwei über einen dazwischengreifenden Abschnitt des Entlüftungs­ kanals R ineinander übergehende und koaxial zueinander angeordnete Gehäuseausnehmungen 8, 9 ergeben.

Die in Fig. 1 links liegende erste Gehäuseausnehmung 8 kommuniziert mit dem ersten Speisekanal P₁ und dem eben­ falls umfangsseitig in sie einmündenden ersten Arbeits­ kanal A sowie, stirnseitig, mit dem Entlüftungskanal R. Letzterer kommuniziert gleichzeitig über die zugeordnete Stirnseite mit der zweiten Gehäuseausnehmung 9, in die umfangsseitig ferner der zweite Arbeitskanal B und der zweite Speisekanal P₂ einmünden.

Die beiden Speisekanäle P₁, P₂ sind mit einer nicht näher dargestellten Druckluftquelle verbindbar, wobei es sich um ein und dieselbe Druckluftquelle handeln kann. Der Ent­ lüftungskanal R ist zweckmäßigerweise auf Atmosphärendruck gelegt, indem er an der Außenseite der Steuervorrichtung 1 zur Umgebung ausmündet. Die beiden Arbeitskanäle A, B eignen sich bei der Anordnung gemäß Fig. 1 zum Anschluß einer pneumatisch durch Überdruck betriebenen Arbeits­ vorrichtung, beispielsweise einem doppeltwirkenden Pneumatikzylinder. Die Arbeitskanäle A, B können in diesem Falle mit den beiden Zylinderkammern des Arbeitszylinders verbunden sein.

Die beiden Gehäuseausnehmungen 8, 9 erstrecken sich beim Ausführungsbeispiel größtenteils im Zentralteil 3, können allerdings wie abgebildet axial auch ein Stück weit in das jeweils zugeordnete Abschlußteil 5, 5' hineinragen. Bei abgenommenen Abschlußteilen 5, 5' ist somit die zugeord­ nete Gehäuseausnehmung 8, 9 axial außen offen, so daß ein Einsetzen benötigter Bauteile möglich ist.

Zu den vorerwähnten Bauteilen gehört beim Ausführungs­ beispiel eine Mehrzahl von ringförmigen Dichtungseinheiten 12. Sie sind unter koaxialer Ausrichtung mit axialem Abstand zueinander in den Gehäuseausnehmungen 8, 9 fixiert. Die Fixierung geschieht zweckmäßigerweise durch eine rein kraftschlüssige Einpreßverbindung, wobei jede Dichtungseinheit 12 einen im Querschnitt U-ähnlichen Haltering 13 aufweist, der in die zugeordnete Gehäuse­ ausnehmung 8, 9 eingepreßt ist. Die radial nach außen weisende zylindrische Außenfläche 14 der Halteringe 13 sitzt dabei im Preßsitz an der Innenumfangsfläche 15 der zugeordneten Gehäuseausnehmung 8, 9 fest. Eine zusätzliche zwischengefügte Dichtung wird nicht benötigt.

Der Haltering 13 dient nicht nur zur axial unbeweglichen Fixierung der Dichtungseinheit 12, sondern gleichzeitig zum Halten wenigstens eines gummielastischen Dichtringes 16, der innerhalb der U-förmigen Querschnittskontur ge­ halten ist. Er steht mit einer ringförmigen Dichtpartie 17 radial nach innen über den Haltering 13 vor.

Die Dichtungseinheiten 12 sind jeweils axial zwischen den Einmündungsbereichen der Fluidkanäle 6 positioniert, wobei sich zusätzlich eine weitere Dichtungseinheit 12 axial außen an die Einmündung eines jeweiligen Speisekanals P₁, P₂ angeschließt.

In jeder Gehäuseausnehmung 8, 9 sitzt eine von den zuge­ ordneten Dichtungseinheiten 12 umgebene Ventileinheit 18. Sie umfaßt jeweils einen in Axialrichtung mehrfach abge­ stuften zylindrischen Ventilschieber 22, an dessen dem Entlüftungskanal R entgegengesetzten, axial außen liegenden Endbereich ein Betätigungskolben 23 mit einer umlaufenden Dichtung 24 angeordnet ist. Der Ventilschieber 22 und der zugeordnete Betätigungskolben 23 sind zweck­ mäßigerweise axial unbeweglich fest miteinander verbunden und können auch einstückig miteinander ausgebildet sein.

Durch die erwähnte Abstufung des Ventilschiebers 22 ergibt sich eine Einschnürung 25, die axial beidseits von einem zylindrisch konturierten Steuerabschnitt 26, 27 flankiert ist.

Durch noch zu erläuternde Fluidbeaufschlagung ist die Ventileinheit 18 zwischen zwei Schaltstellungen umschalt­ bar, die in Fig. 1 oberhalb und unterhalb der ge­ meinsamen Symmetrie- bzw. Längsachse 28 der Gehäuseaus­ nehmungen 8, 9 dargestellt sind. Die oberhalb der Längs­ achse 28 gezeigte Stellung ist die Arbeitsstellung, bei der die Einschnürung 25 axial auf etwa gleicher Höhe mit der mittleren Dichtungseinheit 12 liegt, so daß ein Durch­ strömspalt freigegeben ist, der es der Druckluft ermög­ licht, vom Speisekanal P₁ bzw. P₂ in den zugeordneten Arbeitskanal A bzw. B überzuströmen und die angeschlossene Arbeitsvorrichtung zu beaufschlagen. Gleichzeitig befindet sich der auf der entgegengesetzten Seite des Betätigungs­ kolbens 23 liegende Steuerabschnitt 26 auf Höhe der zwischen dem Arbeitskanal A, B und dem Entlüftungskanal R liegenden Dichtungseinheit 12, die ihn mit ihrer Dicht­ partie 17 dichtend umschließt. Der Entlüftungskanal R ist somit zu den Arbeitskanälen A, B hin abgesperrt.

In der unterhalb der Längsachse 28 gezeigten Entlüftungs­ stellung ist die Ventileinheit 18 axial nach außen ver­ lagert, so daß die beiden Steuerabschnitte 26, 27 unter Abdichtung von den den Speisekanal P₁ bzw. P₂ flankieren­ den Dichtungseinheiten 12 umschlossen sind und die Speise­ kanäle P₁ bzw. P₂ abgesperrt sind. Gleichzeitig liegt eine fluidische Verbindung zwischen den Arbeitskanälen A, B und dem Entlüftungskanal R vor, da die Baulänge der Ventil­ schieber 22 derart gering ist, daß sie in der Entlüftungs­ stellung im Zwischenbereich zwischen den die Arbeitskanäle A, B flankierenden Dichtungseinheiten 12 enden.

Die beiden Schaltstellungen sind zweckmäßigerweise durch Anschläge 32, 33 vorgegeben, die an den einander entgegen­ gesetzten axialen Begrenzungsflächen eines in der zugeord­ neten Gehäuseausnehmung 8, 9 ausgebildeten Kolbenraumes 34 vorgesehen sind, in dem sich der Betätigungskolben 23 befindet. Somit arbeitet der Betätigungskolben 23 mit den Anschlägen 32, 33 zusammen und begrenzt den Hub der Ventileinheit 18.

Da sich der Kolbenraum 34 über den Trennbereich zwischen dem Zentralteil 3 und dem sich jeweils anschließenden Abschlußteil 5, 5' hinwegerstreckt, ist er mit einer ein­ gelegten Führungshülse 35 ausgekleidet, deren Innenfläche die Lauffläche für den Betätigungskolben 23 bzw. dessen Dichtung 24 bildet. Ein von der Führungshülse 35 radial nach außen vorspringender Sicherungsvorsprung 36 greift in eine komplementäre Ausnehmung 37 im erwähnten Trennbereich ein, so daß die Führungshülse 35 axial unbeweglich fixiert ist. Der axial innen liegende Anschlag 32 ist zweck­ mäßigerweise unmittelbar an der Führungshülse 35 vorge­ sehen und kann von einem radial nach innen ragenden Ring­ vorsprung gebildet sein.

Die axiale Bewegung der Ventileinheiten 18 wird durch Fluidkraft hervorgerufen. Jeder Betätigungskolben 23 unterteilt den zugeordneten Kolbenraum 34 axial in einen axial inneren und einen axial äußeren Beaufschlagungsraum 39, 38, und jeder Beaufschlagungsraum 38, 39 ist über einen Steuerkanal 42, 43 mit einem Steuer-Speisekanal P_S verbunden, der unter einem Steuerdruck stehende Druckluft enthält. In den ersten Steuerkanal 42 ist ein Vorsteuer­ ventil 44 zwischengeschaltet, das in der Lage ist, je nach Betätigungszustand den Durchfluß durch den ersten Steuer­ kanal 42 freizugeben oder abzusperren. Der innere Beauf­ schlagungsraum 39 steht über den nur strichpunktiert an­ gedeuteten zweiten Steuerkanal 43 in ständiger Verbindung mit einem Steuer-Speisekanal P_S. Jeder Ventileinheit 18 kann ein eigener Steuer-Speisekanal P_S zugeordnet sein, wie dies beim Ausführungsbeispiel der Fall ist.

Bei den Vorsteuerventilen 44 handelt es sich zweckmäßiger­ weise um mit einem Elektromagneten ausgestattete Magnet­ ventile, die in 3/2-Bauart ausgeführt sind und auch noch mit einem zweckmäßigerweise gemeinsamen Steuer-Entlüf­ tungskanal R_S kommunizieren.

Bei unbetätigten Vorsteuerventilen 44 ist der Durchgang durch die ersten Steuerkanäle 42 abgesperrt und gleich­ zeitig der mit dem äußeren Beaufschlagungsraum 38 kommu­ nierende Kanalabschnitt mit dem Steuer-Entlüftungskanal R_S verbunden. Auf Grund des ständig im inneren Beaufschla­ gungsraum 39 herrschenden Steuerdruckes nimmt die Ventil­ einheit 18 somit die Entlüftungsstellung ein.

Durch elektrische Ansteuerung der Vorsteuerventile 44 geben diese den Durchfluß durch die ersten Steuerkanäle 42 frei, wobei sie gleichzeitig die Verbindung zum Steuer- Entlüftungskanal R_S absperren. Somit liegt der Steuerdruck in voller Höhe auch im äußeren Beaufschlagungsraum 38 an, was zu einer axialen Verlagerung der Ventileinheit 18 in die Arbeitsstellung führt, weil die dem äußeren Beauf­ schlagungsraum 38 zugewandte Beaufschlagungsfläche des Betätigungskolbens 23 größer ist als seine dem inneren Beaufschlagungsraum 39 zugewandte Beaufschlagungsfläche, die über den zweiten Steuerkanal 43 ständig beaufschlagt ist.

Die ständige Verbindung des inneren Beaufschlagungsraumes 39 mit dem Steuer-Speisekanal P_S liefert eine Luftfeder, die aber auch durch eine mechanische Federeinrichtung ersetzt werden könnte.

Durch die beiden Ventileinheiten 18 bildet die Steuer­ vorrichtung 1 insgesamt eine Ventilanordnung, die zwei un­ abhängig voneinander betreibbare Ventileinrichtungen 45, 45' enthält, bei denen es sich vorliegend um 3/2-Wege­ ventileinrichtung handelt.

Die Steuervorrichtung 1 zeichnet sich des weiteren dadurch aus, daß sich wenigstens eine der Ventileinheiten 18 ohne weiteres durch eine Vakuumerzeugereinheit 46, 46' ersetzen läßt, um anstelle einer Ventileinrichtung 45, 45' eine Vakuumerzeugereinrichtung 47 zu erhalten, wie sie bei­ spielhaft in Fig. 2 und 3 gezeigt ist. Die Fig. 2 und 3 zeigen eine Ausgestaltung, bei der die in Fig. 1 links liegende Ventileinheit 18 durch zwei mögliche Varianten von Vakuumerzeugereinheiten 46, 46' ersetzt sind. Diese ermöglichen es, bei entsprechender Schaltstellung im zu­ geordneten Arbeitskanal A eine durch Unterdruck hervor­ gerufene Luftströmung zu erzeugen, die dazu führt, daß an einer an den Arbeitskanal A angeschlossenen Arbeitsvor­ richtung ein Absaugeffekt stattfindet. Die Arbeitsvor­ richtung kann beispielsweise eine Vakuum-Handhabungs­ einrichtung sein, die über eine oder mehrere Saugkammern oder Saugnäpfe verfügt, die sich an handzuhabenden Gegen­ ständen ansetzen lassen, um ein durch Unterdruck bedingtes Anhaften zu erhalten, das eine Verlagerung des betreffen­ den Gegenstandes erlaubt.

Indem die Gehäuseausnehmungen 8, 9 also zur wahlweisen Aufnahme einer als Ventileinheit 18 oder als Vakuum­ erzeugereinheit 46, 46' ausgestalteten Steuereinheit aus­ gebildet sind, läßt sich unter Verwendung aller übrigen Bestandteile der Steuervorrichtung 1 durch bloßes Ein­ setzen der gewünschten Einheit 18, 46, 46' die gewünschte Ventileinrichtung 45, 45' oder Vakuumerzeugereinrichtung 47 erhalten. Somit liegt eine Art Baukastensystem vor, bei dem man unter Verwendung einer großen Anzahl von Gleich­ teilen unterschiedliche Einrichtungen realisieren kann, was eine überaus kostengünstige Herstellung, verbunden nur mit nur geringem Lagerhaltungsaufwand, ermöglicht.

Um die aus Fig. 2 hervorgehende Vakuumerzeugereinrichtung 47 zu erhalten, ist im Vergleich zur Ausführungsform der Fig. 1 die aus dem Ventilschieber 22 und dem Betätigungs­ kolben 23 bestehende Ventileinheit 18 durch eine Vakuum­ erzeugereinheit 46 ersetzt. Diese enthält ein ventil­ schieberartig ausgebildetes Steuerglied 48, das vergleich­ bar dem Ventilschieber 22 koaxial in die Dichtungsein­ heiten 12 eintaucht und am einen axialen Ende einen Stell­ kolben 52 aufweist, der einen im Zusammenhang mit dem erläuterten Betätigungskolben 23 geschilderten Aufbau haben kann. Dementsprechend ist er mit einem Dichtring 24' versehen, der mit der Innenfläche der beibehaltenen und nicht ausgetauschten Führungshülse 35 zusammenarbeitet. Die Druckbeaufschlagung des Stellkolbens 52 erfolgt in gleicher Weise wie bei den Betätigungskolben 23. Dadurch ist das Steuerglied 48 zwischen der in durchgezogenen Linien gezeigten, die Grundstellung darstellenden Schließ­ stellung und der strichpunktiert angedeuteten Offen­ stellung 53 verlagerbar.

Das längliche Steuerglied 48 verfügt im Innern über einen sich in Längsrichtung erstreckenden Hohlraum 54, in dem insbesondere durch Einpressen eine Düsenanordnung 55 untergebracht ist. Diese umfaßt einen insbesondere eine Laval-Düse bildenden Düsenkörper 56 mit axial durch­ gehender Düsenöffnung 57, die einen dem Stellkolben 52 zugewandten Einlaß 58 und einen axial entgegengesetzt ge­ richteten Auslaß 59 besitzt.

Auf der Seite des Auslasses 59 ist mit axialem Abstand zum Düsenkörper 56 ein Auffang-Rohrkörper 62 koaxial angeord­ net, der in den Hohlraum 54 ebenfalls eingepreßt sein kann und einen axialen Durchgangskanal 63 aufweist. Dessen eingangsseitige Mündung 64 liegt dem Auslaß 59 gegenüber, während die ausgangsseitige Mündung 65 an dem dem Ent­ lüftungskanal R zugewandten stirnseitigen Endbereich des Steuergliedes 48 sitzt.

Der Zwischenraum 66 zwischen dem Auslaß 59 und der ein­ gangsseitigen Mündung 64 steht mit einem Querkanal 67 in Verbindung, der über eine Kanalmündung 68 zur umfangs­ seitigen Mantelfläche des Steuergliedes 48 ausmündet. Die fluidische Verbindung zwischen dem Zwischenraum 66 und dem Querkanal 67 kann im Innern des Steuergliedes 48 über einen Ringraum 72 erfolgen, der sich zwischen dem Auffang- Rohrkörper 62 und einem diesen umgebenden hohlzylindri­ schen Abschnitt 73 des Stellgliedes 48 erstreckt.

Der Querkanal 67 ist so positioniert, daß er in beiden möglichen Schaltstellungen des Steuergliedes 48 mit dem ersten Arbeitskanal A in Verbindung steht.

Ein nachfolgend als Zuströmkanal 74 bezeichneter weiterer Querkanal mündet ebenfalls zur Mantelfläche des Steuer­ gliedes 48 und kommuniziert andererseits über einen Ab­ schnitt des Hohlraumes 54 mit dem Einlaß 58 der Düsen­ öffnung 57. Die Anordnung ist so getroffen, daß der Zu­ strömkanal 74 in der Offenstellung 53 mit dem ersten Speisekanal P₁ kommuniziert, von dem er in der Schließ­ stellung durch Zusammenwirken der axial äußeren Dichtungs­ einheit 12 mit dem Steuerglied 48 abgetrennt ist. Dabei liegt die Mündung des Zuströmkanals 74 in der Schließ­ stellung im inneren Beaufschlagungsraum 39, der in diesem Falle nicht über einen zweiten Steuerkanal 43 mit einem Steuer-Speisekanal P_S in Verbindung steht, da die die Vakuumerzeugereinrichtung 47 in der Schließstellung haltende Stellkraft von einer im inneren Beaufschlagungs­ raum 39 befindlichen Federeinrichtung 75 geliefert wird. Die maßgebliche Stellkraft zum Umschalten des Steuer­ gliedes 48 in die Schließstellung wird aber weiterhin fluidisch erzeugt, und zwar durch das über P₁ zugeführte Druckmedium, das nicht nur in den Zuströmkanal 74 gelangt, sondern auch in den inneren Beaufschlagungsraum 39. Ein eventuell vorhandener zweiter Steuerkanal 43 wird be­ liebig verschlossen und somit außer Funktion gesetzt.

In der Grundstellung der Vakuumerzeugereinheit 46, die der Schließstellung entspricht, steht der erste Arbeitskanal A über den Querkanal 67 und den Durchgangskanal 63 mit dem Entlüftungskanal R in Verbindung, so daß keine Absaug­ wirkung vorliegt. Durch Betätigung des Vorsteuerventils 44 läßt sich der Stellkolben 52 auf der der Federeinrichtung 75 entgegengesetzten Seite beaufschlagen, so daß er sich gemeinsam mit dem Steuerglied 48 in die strichpunktiert angedeutete Offenstellung 53 verlagert. Die Düsenanordnung 55 wird dabei mitbewegt.

Da das Steuerglied 48 im Bereich des Zuströmkanals 74 im Außendurchmesser reduziert ist und mit radialem Abstand zur zugeordneten äußeren Dichtungseinheit 12 angeordnet ist, ergibt sich in der Offenstellung eine Fluidverbindung zwischen dem ersten Speisekanal P₁ und dem Zuströmkanal 74, so daß unter Betriebsdruck stehende Druckluft ein­ strömen kann, die anschließend die Düsenöffnung 57 durch­ strömt und über den sich daran anschließenden Durchgangs­ kanal 63 zum Entlüftungskanal R ausströmt. Dabei ergibt sich auf Grund des Ejektoreffektes im Bereich des Zwischenraumes 66 ein Unterdruck, der sich über den Quer­ kanal 67 zum ersten Arbeitskanal A fortsetzt und bewirkt, daß dieser abgesaugt bzw. evakuiert wird. In einer ange­ schlossenen Arbeitsvorrichtung kann somit ein Unterdruck erzeugt werden, der zum Anhaften eines zu bewegenden Gegenstandes verwendbar ist.

Selbstverständlich läßt sich die Vakuumerzeugereinheit 46 auch dann einsetzen, wenn die das Steuerglied 48 in Richtung der Schließstellung beaufschlagende Kraft ver­ gleichbar der Bauform der Fig. 1 von einem über einen zweiten Steuerkanal 43 zugeführten Steuerfluid erzeugt wird. Hierzu wäre beispielsweise lediglich erforderlich, auf der dem Stellkolben 52 zugewandten Seite der axial äußeren Dichtungseinheit 12 eine weitere Dichtungseinheit vorzusehen, so daß der Zuströmkanal 74 stets vom inneren Beaufschlagungsraum 39 getrennt ist.

Bei der Bauform der Fig. 3 sind im Vergleich zur Fig. 2 übereinstimmende Bauteile mit identischen Bezugszeichen versehen. Sie unterscheidet sich zum einen von der zuvor erläuterten Ausführungsform durch die Tatsache, daß das Steuerglied 48' relativ zur Düsenanordnung 55 bewegbar ist, welche letztere axial unbewegbar in der Gehäuse­ ausnehmung 8 aufgenommen ist.

Außerdem ist bei der Ausführungsform der Fig. 3 die Führungshülse 35 ein fester Bestandteil der Vakuum­ erzeugereinheit 46' und gehört zu einem insbesondere ein­ stückig ausgebildeten Gehäuseeinsatz 76 der Vakuum­ erzeugereinheit 46', der axial unverschieblich in der ersten Gehäuseausnehmung 8 festgelegt ist.

Der Gehäuseeinsatz 76 umfaßt einen die Führungshülse 35 bildenden ersten Gehäuseabschnitt 77, an den sich in ein­ stückiger Bauweise ein vergleichbar dem Steuerglied 48 aus Fig. 2 ausgebildeter schlankerer, länglicher zweiter Gehäuseabschnitt 78 anschließt, der sich in der ersten Gehäuseausnehmung 8 koaxial erstreckt und dabei die vor­ handenen Dichtungseinheiten 12 durchsetzt. Er ist so aus­ gebildet, daß er mit den beiden den ersten Arbeitskanal A flankierenden Dichtungseinheiten 12 in ständigem Dicht­ kontakt steht, während zwischen ihm und der axial äußeren Dichtungseinheit 12 ein insbesondere ringförmiger Über­ strömspalt 82 vorliegt, der eine ständige Verbindung zwischen dem ersten Speisekanal P₁ und einem auf der anderen Axialseite der Dichtungseinheit 12 liegenden Aus­ nehmungsabschnitt 83 der ersten Gehäuseausnehmung 8 ge­ währleistet. Letzterer steht über einen oder mehrere Zuströmkanäle 74' mit einem im ersten Gehäuseabschnitt 77 ausgebildeten Zuströmraum 84 in Verbindung, der Bestand­ teil eines den Gehäuseeinsatz 76 koaxial durchziehenden Hohlraumes 54 ist. In dem Hohlraum 54 ist vergleichbar der Fig. 2 ein Düsenkörper 56 mit Düsenöffnung 57 und daran anschließend ein Auffang-Rohrkörper 62 mit zum Entlüf­ tungskanal R offenem Durchgangskanal 63 vorgesehen.

Axial zwischen dem Zuströmraum 84 und einem dem Einlaß 58 der Düsenöffnung 57 vorgelagerten Hohlraumabschnitt 85 ist das axial bewegbare Steuerglied 48' angeordnet, das durch eine in dem Hohlraumabschnitt 85 angeordnete und sich am Düsen­ körper 56 abstützende Rückstell-Federanordnung 86 in eine aus Fig. 3 hervorgehende Schließstellung vorgespannt ist, in der es an einem ringförmigen Ventilsitz 87 anliegt, der eine Verbin­ dungsöffnung 88 zwischen dem Zuströmraum 84 und dem Hohlraumab­ schnitt 85 umgibt.

In dem Zuströmraum 84 erstreckt sich des weiteren axial ein Be­ tätigungsfortsatz 89, der am Stellkolben 52 angeordnet ist, welcher innerhalb der Führungshülse 35 die beiden Beaufschla­ gungsräume 38, 39 voneinander abteilt. Der Betätigungsfortsatz 89 durchsetzt dabei den inneren Beaufschlagungsraum 39, der zum Zuströmraum 84 hin abgedichtet ist. Die Abdichtung erfolgt ra­ dial zwischen einem Kolbenabschnitt 89' des Betätigungsfort­ satzes 89 und dem sich an den Zuströmraum 84 anschließenden Ab­ schnitt des Hohlraumes 54, indem auf dem Kolbenabschnitt 89' eine mit dem Innenumfang des Hohlraumes 54 zusammenarbeitende ringförmige Dichtung 92 angeordnet ist.

Ein zweiter Steuerkanal 43 ist wie in Fig. 2 nicht erforderlich und wird, falls vorhanden, z. B. durch eine Dichtung verschlos­ sen. Der innere Beaufschlagungsraum 39 kommuniziert zweckmäßi­ gerweise lediglich über im ersten Gehäuseabschnitt 77 ausgebil­ dete Kanäle und einen nicht gezeigten Kanal des Vorrichtungsge­ häuses mit der Atmosphäre. Die Rückstellkraft liefert das aus P₁ über den Überströmspalt im Zuströmraum 84 anstehende Druck­ medium, vorzugsweise unterstützt durch die über das Steuerglied 48' auf den Betätigungsfortsatz 89 einwirkende Rückstell-Feder­ anordnung 86.

Bei entlüftetem erstem Steuerkanal 42 nimmt der Stellkolben 52 die in Fig. 3 gezeigte Grundstellung ein, bei der er am axial äußeren Anschlag 33 anliegt. Gleichzeitig befindet sich das Steuerglied 48' in der Schließstellung, in der die Verbindung zwischen dem Zuströmraum 84 und dem sich anschließenden Hohl­ raumabschnitt 85 unterbrochen ist.

Um am ersten Arbeitskanal A ein Vakuum zu erzeugen, wird durch Betätigung des zugeordneten Vorsteuerventils 44 der äußere Be­ aufschlagungsraum 38 mit Steuerdruckluft aus dem Steuer-Speise­ kanal P_S versorgt, so daß sich der Stellkolben 52 axial bis zum entgegengesetzten Anschlag 32 verlagert, wobei der Betätigungs­ fortsatz 89 auf das Steuerglied 48' einwirkt und dieses vom Ventilsitz 87 abhebt. Dadurch kann Druckluft vom ersten Speise­ kanal P₁ über den Überströmspalt 82, den Ausnehmungsabschnitt 83, die Zuströmkanäle 74, den Zuströmraum 84, die Verbindungs­ öffnung 88 und den sich anschließenden Hohlraumabschnitt 85 zum Einlaß 58 der Düsenanordnung 55 strömen. Der daraus resultie­ rende Effekt ist der gleiche wie bei der Bauform gemäß Fig. 2, indem im Bereich des Zwischenraums 66 ein Unterdruck erzeugt wird, der über den Ringraum 72 sowie einen oder mehrere Quer­ kanäle 67 des zweiten Gehäuseabschnittes 78 zum ersten Arbeits­ kanal A geführt ist. Die Querkanäle 67 münden zum ersten Ar­ beitskanal A.

Um den Luftverbrauch zu senken, kann in die Verbindung zwischen dem Zwischenraum 66 und dem ersten Arbeitskanal A ein Rück­ schlagventil 94 zwischengeschaltet sein. Es verhindert bei in Schließstellung befindlichem Steuerglied 48' ein Rückströmen von Luft aus dem Entlüftungskanal R in den ersten Arbeitskanal A. Ein einmal im ersten Arbeitskanal A erzeugter Unterdruck bleibt somit auch bei in die Schließstellung umgeschaltetem Steuerglied 48' erhalten, so daß die Vakuumerzeugereinheit nicht ständig in Betrieb sein muß.

Das Rückschlagventil 94 umfaßt beim Ausführungsbeispiel eine gummielastische Manschette, die in dem Ringraum 72 angeordnet ist und die Querkanäle 67 von innen her überdeckt. Eine Luft­ strömung vom ersten Arbeitskanal A zum Zwischenraum 66 ist durch radial nach innen gerichtetes Verformen des Manschetten­ abschnittes möglich.

Vor allem wenn ein Rückschlagventil 94 vorhanden ist, empfiehlt es sich, Mittel vorzusehen, die dem evakuierten ersten Arbeits­ kanal A ein Überdrucksignal zuführen, wenn der Unterdruck abge­ baut werden soll, um einen an der zugeordneten Arbeitsvorrich­ tung gehaltenen Gegenstand abzulegen. Dieses Überdrucksignal kann dem ersten Arbeitskanal A mittels eines in Fig. 2 und 3 strichpunktiert angedeuteten Signalkanales 95 zugeführt werden, der zweckmäßigerweise im Vorrichtungsgehäuse 2 und insbesondere im Zentralteil 3 ausgebildet ist. Es ist von Vorteil, wenn eine in der zweiten Gehäuseausnehmung 9 angeordnete Ventileinheit 18' zur bedarfsgemäßen Erzeugung des Überdrucksignals verwendet wird, wie dies aus Fig. 4 exemplarisch hervorgeht.

Bei der Anordnung aus Fig. 4 ist durch eine Ventileinheit 18' eine Ventileinrichtung 45" gebildet, die über eine 2/2-Wege- Schaltfunktion verfügt. Insoweit unterscheidet sie sich von der korrespondierenden Ventileinrichtung 45' der Fig. 1, die über eine 3/2-Wege-Schaltfunktion verfügt, um einen weiteren Ar­ beitskanal B wahlweise mit Druckluft zu beaufschlagen oder zu entlüften. Im Vergleich zur Ausführungsform der Fig. 1 führt der zweite Arbeitskanal B nicht zu einer weiteren Arbeitsvor­ richtung, sondern steht mit dem ersten Signalkanal 95 in Ver­ bindung, der mit dem Arbeitskanal A kommuniziert. Im übrigen sind in Fig. 4 die den Bauteilen der Fig. 1 entsprechenden Bauteile mit identischen Bezugszeichen versehen.

Um im Vergleich zur Ventileinrichtung 45' eine 2/2-Funktion zu erhalten, ist lediglich ein geringfügig modifizierter Ventil­ schieber 22' erforderlich, dessen vorderer Steuerabschnitt 26 etwas länger ausgeführt ist, so daß er in der Grundstellung von beiden den zweiten Arbeitskanal B begrenzenden Dichtungseinhei­ ten 12 dichtend umschlossen ist. In dieser in Fig. 4 unterhalb der Längsachse 28 gezeigten Grundstellung steht somit der Si­ gnalkanal 95 weder mit dem Entlüftungskanal R noch mit dem zweiten Speisekanal P₂ in Verbindung, so daß in ihm ein Vakuum aufgebaut und beibehalten werden kann.

Zum Erzeugen des Überdrucksignals wird das in Fig. 1 rechts ge­ legene Vorsteuerventil 44 betätigt, so daß die Ventileinheit 18' in die in Fig. 4 oberhalb der Längsachse 28 gezeigte Ar­ beitsstellung umschaltet, in der der zweite Speisekanal P₂ mit dem zweiten Arbeitskanal B und somit mit dem sich daran an­ schließenden Signalkanal 95 verbunden ist.

Gemäß Fig. 4 kann in der Verbindung zwischen dem zweiten und dem ersten Arbeitskanal B, A eine insbesondere einstellbare Drosseleinrichtung 96 zwischengeschaltet sein, um das zu erzeu­ gende Überdrucksignal zu beeinflussen.

Es wäre ohne weiteres möglich, anstelle der zur Erzeugung des Überdrucksignales eingesetzten Ventileinrichtung 45" eine Ven­ tileinrichtung 45' vorzusehen, die es ermöglicht, eine an den zweiten Arbeitskanal B angeschlossene Arbeitsvorrichtung zu steuern. Ferner besteht die Möglichkeit, in beiden Gehäuseaus­ nehmungen eine Vakuumerzeugereinheit 46, 46' anzuordnen, um se­ parate Arbeitsvorrichtungen zu betätigen oder durch Verknüpfung der Arbeitskanäle A, B eine verstärkte Absaugintensität zu erhalten.

Ferner ist noch zu erwähnen, daß die gehäusefesten Dichtungs­ einheiten 12 auch einen anderen Aufbau als den gezeigten haben können und beispielsweise von Dichtungsringen gebildet sind, die bezüglich dem Vorrichtungsgehäuse 2 fixiert sind, indem sie in Gehäusenuten oder zwischen in die Aufnahme 47 eingesetzten ringähnlichen Halteelementen sitzen. Auch kann die Anordnung umgekehrt derart sein, daß die Dichtungseinheiten am bewegli­ chen Glied angeordnet sind und mit gehäuseseitigen Dichtflächen zusammenarbeiten.

Die Steuervorrichtung hat im übrigen auch den nicht unwesentli­ chen Vorteil, daß unabhängig von der Ausstattung mit einer Ven­ tileinheit oder Vakuumerzeugereinheit in der Regel die gleiche elektrische/elektronische und fluidische Ansteuertechnik ver­ wendbar ist, so daß kundenseitig keine aufwendige Umrüstung er­ forderlich wird.

Claims (13)

1. Steuervorrichtung zur Steuerung der Luftströmung in ei­ nem mit einer Arbeitsvorrichtung verbindbaren Arbeitskanal (A), mit einem Vorrichtungsgehäuse (1), das mindestens eine Gehäuseausnehmung (8) enthält, die an axial beabstandeten Stellen mit dem Arbeitskanal (A), mit einem mit einer Druck­ luftquelle verbindbaren Speisekanal (P₁) und mit einem Ent­ lüftungskanal (R) kommuniziert und in die wahlweise eine Ven­ tileinheit (18, 18') oder eine Vakuumerzeugereinheit (46, 46') einsetzbar ist, wobei die Ventileinheit (18, 18') einen Ven­ tilschieber (22) enthält, der zwischen zwei Schaltstellungen umschaltbar ist, in denen er jeweils eine fluidische Verknüp­ fung zwischen einerseits dem Arbeitskanal (A) und anderer­ seits dem Speisekanal (P₁) oder dem Entlüftungskanal (R) be­ wirkt, und wobei die Vakuumerzeugereinheit (46, 46') ein zwi­ schen einer Offenstellung und einer Schließstellung umschalt­ bares Steuerglied (48, 48') aufweist, das in der Offenstellung eine Druckluftströmung vom Speisekanal (P₁) durch eine Düsen­ anordnung (55) der Vakuumerzeugereinheit (46, 46') hindurch zum Entlüftungskanal (R) bewirkt und dadurch ein Absaugen von Luft aus dem mit der Düsenanordnung (55) kommunizierenden Ar­ beitskanal (A) hervorruft.

2. Steuervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich­ net, daß die Vakuumerzeugereinheit (46, 46') einen mit dem Steuerglied (48, 48') zusammenarbeitenden Stellkolben (52) aufweist, der zum Umschalten des Steuergliedes (48, 48') mit unter Druck stehender Steuerluft beaufschlagbar ist.

3. Steuervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Düsenanordnung (55) an dem Steuerglied (48) vorgesehen ist und beim Umschalten des Steuergliedes (48) mitbewegt wird.

4. Steuervorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeich­ net, daß die Düsenanordnung (55) im Innern des Steuergliedes (48) vorgesehen ist.

5. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, da­ durch gekennzeichnet, daß das Steuerglied (48) ventilschie­ berartig ausgebildet ist.

6. Steuervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Vakuumerzeugereinheit (46') einen unbe­ wegbar in die Gehäuseausnehmung (8) einsetzbaren Gehäuseein­ satz (76) aufweist, der das bewegliche Steuerglied (48') so­ wie die Düsenanordnung (55) enthält.

7. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, da­ durch gekennzeichnet, daß in der Gehäuseausnehmung (8) mehre­ re koaxial mit Abstand aufeinanderfolgend angeordnete ring­ förmige Dichtungseinheiten (12) festgelegt sind, die die je­ weils eingesetzte Steuereinheit (18, 18'; 46, 46') umschließen und mit dieser zumindest teilweise in Dichtkontakt stehen.

8. Steuervorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeich­ net, daß die Dichtungseinheiten (12) jeweils mindestens einen gummielastischen Dichtring (16) und einen den mindestens ei­ nen Dichtring (16) haltenden Haltering (13) aufweisen, wobei sie über den Haltering (13) in der Gehäuseausnehmung (8) ins­ besondere durch eine Einpreßverbindung festgelegt sind.

9. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 8, da­ durch gekennzeichnet, daß eine zweite Gehäuseausnehmung (9) vorhanden ist, in der sich entweder eine Ventileinheit (18, 18') oder eine Vakuumerzeugereinheit (46, 46') befindet.

10. Steuervorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeich­ net, daß in der ersten Gehäuseausnehmung (8) eine Vakuumer­ zeugereinheit (46, 46') und in der zweiten Gehäuseausnehmung (9) eine Ventileinheit (18, 18') angeordnet ist.

11. Steuervorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeich­ net, daß ein der in der zweiten Gehäuseausnehmung (9) ange­ ordneten Ventileinheit (18') zugeordneter zweiter Arbeitska­ nal (B) mit dem der in der ersten Gehäuseausnehmung (8) ange­ ordneten Vakuumerzeugereinheit (46, 46') zugeordneten ersten Arbeitskanal (A) verbunden ist, wobei der zweite Arbeitskanal (B) in einer Arbeitsstellung der zugeordneten Ventileinheit (18') mit einer Druckluftquelle (P₂) kommuniziert, so daß dem ersten Arbeitskanal (A) zum Zwecke des Abbaues des in ihm herrschenden Unterdruckes ein Überdrucksignal zugeführt wird.

12. Steuervorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeich­ net, daß in die Verbindung zwischen den ersten und den zwei­ ten Arbeitskanal (A, B) eine zweckmäßigerweise einstellbare Drosseleinrichtung (96) eingeschaltet ist.

13. Steuervorrichtung nach einem der Ansprüche 9 bis 12, da­ durch gekennzeichnet, daß die beiden Gehäuseausnehmungen (8, 9) koaxial aufeinanderfolgend angeordnet sind.