DE29823926U1 - Lichtwellenleiterglashalbzeug und Vorrichtung zur Herstellung eines rohrförmigen Gliedes zur Lichtwellenleiterproduktion - Google Patents

Lichtwellenleiterglashalbzeug und Vorrichtung zur Herstellung eines rohrförmigen Gliedes zur Lichtwellenleiterproduktion

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Claims (11)

1. Rohrförmiges Glied verwendbar zur Herstellung von Lichtwellenleitern, aufweisend einen Hydroxylgehalt kleiner als 2 ppm, enthaltend ein Ziel, erhältlich durch folgende Schritte:
Vorsehen eines Hochfrequenzplasmatron, welches eine Spule umfaßt, wobei das Plasmatron selektiv entlang der Länge des Zieles positionierbar ist, wobei ein Abstand von 30-55 mm das Ziel von der Spule trennt;
Einleiten eines Plasmagases, welches einen Hydroxyl­ gehalt kleiner als 2 ppm aufweist, in das Plasmatron, um ein Plasma zu bilden;
Einspritzen eines Quellgases, welches zumindest SiCl4 umfaßt und einen Hydroxylgehalt kleiner als 0,5 ppm aufweist, in einen Bereich, der mit dem Plasma in Kom­ munikation steht; und
Abscheiden zumindest eines Reaktionsproduktes des Plasmas und des Quellgases auf das Ziel, wobei der Abstand zwischen dem Ziel und der Spule aufrechterhal­ ten wird.
2. Rohrförmiges Glied nach Anspruch 1, wobei das Ziel beim Herstellungsprozeß durch den Abstand von einer Wicklung der Spule, die dem Ziel am nächsten liegt, getrennt ist, wobei die Spule eine Mehrzahl von Wicklungen umfaßt.
3. Rohrförmiges Glied nach Anspruch 1, erhältlich durch den zusätzlichen Schritt des Einleitens eines fluorhaltigen Materials in das Quellgas vor dem Einspritzen des Quellgases in die Plasmakammer.
4. Rohrförmiges Glied nach Anspruch 1, erhältlich durch den zusätzlichen Schritt des Trocknens des Plasmagases, ehe es in das Plasmatron eingeleitet wird.
5. Rohrförmiges Glied nach Anspruch 1, erhältlich dadurch, dass das Quellgas nahe über einer Stelle im Plasmatron eingeleitet wird, an der die vertikale Geschwindigkeit des Plasmas Null ist.
6. Rohrförmiges Glied nach einem der Ansprüche 1-5, wobei das rohrförmige Glied ein Lichtwellenleiterglashalbzeug ist.
7. Rohrförmiges Glied nach einem der Ansprüche 1-5, wobei das rohrförmige Glied ein Starterrohr für ein Lichtwellenleiterglashalbzeug ist.
8. Rohrförmiges Glied, verwendbar zur Herstellung von Lichtwellenleitern, welche eine Dämpfung kleiner als 0,40 dB/km bei einer Wellenlänge von 1310 nm und 0,20 dB/km bei 1550 nm aufweisen.
9. Vorrichtung zur Herstellung des rohrförmigen Gliedes nach den Ansprüchen 1-8, umfassend:
eine verschließbare Kammer, die in ihrem Inneren enthält:
eine Drehbank, umfassend einen Spindelstock und einen Reitstock, wobei der Spindelstock und der Reitstock mit einem Paar gegenüberliegender drehbarer Spindelfutter versehen ist, die das Ziel halten;
zumindest ein Schlitten, der an der Drehbank bewegbar angeordnet ist;
zumindest eine Plasmaquelle, die von einem Schlitten getragen wird, wobei die Plasmaquelle ein Plasmagas ausscheidet, das im wesentlichen aus Stickstoff und Sauerstoff in einem vorbestimmten Verhältnis besteht und eine Hydroxylkonzentration in der Größenordnung von 2,0 ppm oder weniger aufweist.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, wobei die Plasmaquelle ein Plasmatronbrenner ist, in welchem das getrocknete Plasmagas durch eine erste Gasleitung und ein Quellgas durch eine zweite Gasleitung einführbar ist.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, wobei der Plasmatronbrenner ein Hochfrequenzplasmatron ist, welches eine Spule umfaßt, wobei das Plasmatron selektiv entlang der Länge des Zieles positionierbar ist, wobei ein Abstand von 30-55 mm das Ziel von der Spule trennt.
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