DE102009010498A1

DE102009010498A1 - Mehrdüsiger rohrförmiger Plasma-Abscheidebrenner zur Herstellung von Vorformen als Halbzeuge für optische Fasern

Info

Publication number: DE102009010498A1
Application number: DE102009010498A
Authority: DE
Inventors: Matthias Dr. Auth; Jörg KÖTZING; Hans Engler; Wolfgang Dr. Hämmerle; Lothar Brehm
Original assignee: J Fiber GmbH
Current assignee: J Fiber GmbH
Priority date: 2008-12-19
Filing date: 2009-02-25
Publication date: 2010-07-22

Abstract

Die Erfindung betrifft einen mehrdüsigen, rohrförmigen Plasma-Abscheidebrenner zur Herstellung von Vorformen als Halbzeuge für optische Fasern, wobei dem Brenner ein Medienstrom, enthaltend Glasausgangsmaterial und ein Trägergas, zugeführt wird, Mitteln zur Zuführung mindestens eines Dotanden über mindestens ein Precursorgas sowie einer im Wesentlichen senkrechten Orienzierung der Brennerlängsachse zur Mittelachse des Substrats. Erfindungsgemäß wird ein erster Teilstrom eines ersten Gases oder Gasgemisches, insbesondere eines Precursorgases, über mindestens eine in Brennerlängsachse verlaufende Düse dem Plasma und dem Substrat und ein zweiter Teilstrom des ersten oder eines weiteren Gases oder Gasgemisches, insbesondere Precursorgases, über eine weitere Düse dem Plasma und dem Substrat derart zugeführt, dass sich die erwähnten Teilströme in Substratnähe vereinigen.

Description

Die Erfindung betrifft einen mehrdösigen, rohrförmigen Plasma-Abscheidebrenner zur Herstellung von Vorformen als Halbzeuge für optische Fasern, wobei dem Brenner ein Medienstrom, enthaltend Glasausgangsmaterial und ein Trägergas, zugeführt wird, Mitteln zur Zuführung mindestens eines Dotanden über mindestens ein Precursorgas sowie einer im Wesentlichen senkrechten Orientierung der Brennerlängsachse zur Mittelachse des Substrats gemäß Oberbegriff des Patentanspruchs 1 sowie ein Verfahren zur Herstellung von Vorformen als Halbzeuge für optische Fasern.
Induktions-Plasmabrenner sind seit den frühen 60er Jahren bekannt und werden vorzugsweise zur Materialbearbeitung, zur Synthese von feinkörnigen Stäuben und in der Spektroskopie als Anregungsquelle eingesetzt. Brenner zur Erzeugung von induktiv gekoppelten Plasmen bei Atmosphärendruck bestehen üblicherweise aus drei konzentrisch angeordneten Quarzrohren. Bei bekannten Konstruktionen bewegt sich das Trägergas mit Laminarströmung durch ein Entladungsrohr mit kleinem Durchmesser. Bei größeren Durchmessern des Entladungsrohrs bewegt sich das Trägergas in einer wirbelartigen Strömung.
Die Anwendung des Plasmaverfahrens zur Herstellung von Quarzglas mit niedrigem OH-Gehalt und zur Herstellung von dotiertem Quarzglas sowie die Ausnutzung des Plasmaverfahrens für die Fertigung von Preformen bei der Herstellung von Lichtleitern ist aus der DE 25 36 457 vorbekannt. Für die Anwendung zur Herstellung von Lichtwellenleitern müssen verschiedene Bedingungen erfüllt sein. So muss das Kern- und Mantelglas aus Quarzglas hoher Reinheit bestehen und das Mantelglas muss einen definierten Brechungsindex aufweisen, der zur Ausbildung einer entsprechenden Wellenleitung unter der Brechzahl des Kernglases liegt.
Zur Erzielung einer vorgegebenen Erniedrigung des Brechungsindex des Mantelglases wird in die Flamme des Plasmabrenners zusätzlich eine wasserstofffreie, sich in Hitze zersetzende und in Dampfform vorliegende Fluorverbindung eingeleitet.
Die Herstellung eines rotationssymmetrischen Halbzeugs für die Lichtleiter-Fertigung gelingt dadurch, dass als Target oder Substrat ein Quarzzylinder eingesetzt wird und die Abscheidung definierter fluorhaltiger Mantelglasschichten auf dem rotierenden Kernglaszylinder bei gleichzeitiger Relativbewegung des Plasmabrenners zum Kernglaszylinder erfolgt.
Bei der bereits erwähnten DE 25 36 457 wird ein Brenner erläutert, der aus drei konzentrisch angeordneten Quarzglasrohren besteht. Das äußere Rohr soll das mittlere und dies wiederum das innere Rohr überragen. Durch das innere Rohr wird Arbeitsgas und die Siliziumverbindung einschließlich der in Dampfform vorliegenden Fluorverbindung zugeführt. Durch den Zwischenraum zwischen innerem und mittlerem Rohr sowie zwischen mittlerem Rohr und äußerem Rohr wird als Trenngas Sauerstoff eingeleitet. Das Spülen des mittleren und äußeren Rohres mit jeweils einem Trenngas hat den Vorteil, dass sich kein Siliziumdioxid am Brenner ansetzen kann. Die drei Quarzrohre sind gegeneinander und gegen die Außenatmosphäre in einer Metallfassung abgedichtet. Um das freie Ende des Außenrohrs ist die eigentliche Induktionsspule angeordnet, die von einem HF-Generator gespeist wird. Über tangential angeordnete Leitungen werden das Arbeitsgas und die beiden Trenngase zugeführt. Das Zünden der Plasmaflamme erfolgt mit Argongas. Durch die hohe Temperatur der Plasmaflamme zersetzt sich das SiCl₄ und reagiert mit Sauerstoff zu SiO₂, das auf dem Target abgeschieden und gleichzeitig gesintert wird. Auch der Fluorspender wird durch die hohe Temperatur der Plasmaflamme zersetzt und Fluor wird in das abgeschiedene glasige SiO₂ eingebaut.
Alternative Plasmabrenner-Konstruktionen sind z. B. in der DE 298 23 926 A1 offenbart. Auch bei dem dortigen Plasmabrenner wird vorzugsweise undotiertes Quarzglas auf einem rotierenden zylindersymmetrischen Target abgeschieden. Allerdings wird dort das Ziel verfolgt, Rohre bzw. Halbzeuge für die Lichtwellenleiter-Produktion herzustellen und keine fluordotierten Stufenindex-Preformen. Die im erwähnten Stand der Technik eingesetzten Plasmagase umfassen Stickstoff und Sauerstoff in einem geeigneten Verhältnis. Mediengase sind SiC₄, Sauerstoff und ein gasförmiger Fluorspender, vorzugsweise SF₆. Der Plasmabrenner selbst besteht aus einem rohrförmigen Brennergehäuse aus Quarzglas. Eine Induktionsspule aus Kupfer ist rund um den oberen Abschnitt des äußeren Quarzrohrs vorgesehen. Weiterhin ist ein Paar von seitlich angeordneten Düsen vorhanden, welches dazu dient, die Precursoren in das Plasma einzuspritzen. Diese Einspritzdüsen bestehen aus Quarzglas und weisen einen kleinen Innendurchmesser und einen speziellen Querschnitt an der Austrittsfläche auf. Die Einspritzöffnungen selbst sind diametral entgegengesetzt und seitlich versetzt zueinander befindlich.
Die DE 102 31 037 C1 betrift ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Herstellung einer Vorform aus synthetischem Quarzglas mittels plasmaunterstütztem Abscheideverfahren.
Es kommt dort ein mehrdösiger Abscheidebrenner zum Einsatz, dem ein wasserstofffreier Medienstrom, enthaltend ein Glasausgangsmaterial und ein Trägergas, zugeführt wird. Das Glasausgangsmaterial wird mittels des Abscheidebrenners in eine Plasmazone eingebracht und darin unter Bildung von SiO₂-Partikeln oxidiert. Die SiO₂-Partikel werden auf einer Ablagerungsfläche abgeschieden und dabei direkt verglast.
Um die Abscheideeffizienz zu erhöhen, wird dort vorgeschlagen, dass der Medienstrom mittels Abscheidebrenners in Richtung auf die Plasmazone fokussiert wird.
Aus dem Vorgenannten ist es daher Aufgabe der Erfindung, einen weiterentwickelten mehrdösigen, rohrförmigen Plasma-Abscheidebrenner zur Herstellung von Vorformen als Halbzeuge für optische Fasern anzugeben, mit welchem es gelingt, den Abscheidegrad von SiO₂ auf dem Substrat bzw. Target und die Fluor-Einbaueffizienz zu verbessern. Hierfür ist es eine Teilaufgabe der Erfindung, mit Hilfe des zu gestaltenden Abscheidebrenners definierte Abscheidebedingungen einstellen zu können, die die gewünschte hohe Abscheiderate bei hinreichender Schichtqualität gewährleisten. Damit soll letztendlich eine Reduzierung des spezifischen Material-Energieverbrauchs und eine Kostenersparnis die Folge sein.
Die Lösung der Aufgabe der Erfindung erfolgt vorrichtungsseitig durch die Merkmalskombination nach Patentanspruch 1 sowie mit einem Verfahren gemäß der Lehre nach Patentanspruch 23.
Es wird demnach von einem mehrdösigen rohrförmigen Plasma-Abscheidebrenner zur Herstellung von Vorformen als Halbzeuge für optische Fasern ausgegangen, wobei dem Brenner ein Medienstrom, enthaltend Glasausgangsmaterial und ein Trägergas, zugeführt wird. Weiterhin sind Mittel zur Zuführung mindestens eines Dotanden über mindestens ein Precursorgas vorgesehen, wobei die Brennerlängsachse sich im Wesentlichen senkrecht zur Mittelachse des üblicherweise rotierenden Substrats befindet.
Erfindungsgemäß wird ein erster Teilstrom eines ersten Gases oder Gasgemisches, insbesondere Precursorgases über mindestens eine in Brennerlängsachse verlaufende Düse dem Plasma und dem Substrat und ein zweiter Teilstrom des ersten Gases oder Gasgemisches oder eines weiteren, anderen Precursorgases über eine weitere Düse, insbesondere ein Düsenpaar dem Plasma und dem Substrat derart zugeführt, dass sich die Teilströme in Substratnähe vereinen.
Demnach erfolgt eine Precursorgas-Zuführung zunächst quasi senkrecht von unten zur Achse des Substrats über eine Rohrdüseneinrichtung, die z. B. eine oder mehrere kreisförmige, ovale oder quadratische bzw. vieleckige Querschnittsformen als Austrittsöffnung besitzt, wobei der Querschnitt bzw. die Summe der Querschnitte dem gewünschten Austrittsvolumen angepasst wird.
Aufgabengemäß wird der Abscheidegrad wesentlich davon erhöht, indem ein weiterer Teilstrom des Precursorgases durch mindestens zwei Düsen, insbesondere Düsenketten zugeführt wird, die sich seitlich unterhalb des Substrats in der Nähe des Brenners befinden. Dabei sind die seitlichen Düsen oder Düsenketten so angeordnet, dass sich die Precursorgasströme unterhalb des Substrats treffen und sich die Strömungen im Zentrum des Plasmastroms nahezu aufheben. Das Verhältnis der Teilströme ist entsprechend der Substrat- oder Targetgröße einstellbar.
Die mindestens eine weitere Düse oder das Düsenpaar für den zweiten Teilstrom ist in einer Ausführungsform versetzt zur Brennerlängsachse angeordnet, wobei wiederum das Düsenpaar in einem Winkel abweichend von der Brennerlängsachse befindlich ist. Dieser Winkel kann in einem Bereich von z. B. 45° bis 135° bezogen auf die Brennerlängsachse variieren.
Wie bereits erwähnt, kann das Düsenpaar jeweils eine Düsenkette umfassen, wobei sich die Düsenketten der Düsenpaare in einem vorgegebenen Winkel, üblicherweise jedoch nicht unmittelbar, gegenüberliegen. Dieser vorerwähnte Winkel ist bei einer Ausführungsform verstellbar.
Das Düsenpaar zum Erzeugen des zweiten Teilstroms befindet sich außerhalb des eigentlichen Brenners, und zwar beabstandet von bezogen auf das Substrat nächsten Brennerrohr im Raum zwischen Substratoberfläche und Brenner.
Erfindungsgemäß sind mehr als zwei Düsenketten vorgesehen, welche eine bezogen auf die Rohrkonfiguration des Brenners tangentiale Gasstromkomponente erzeugen.
Das Düsenpaar bzw. die jeweiligen Düsenketten sind bei einer Ausführungsform beweglich und verstellbar ausgeführt, wobei die optimale Position auch während des Beschichtungsprozesses in Abhängigkeit von verschiedenen Prozessparametern, wie z. B. der Bewegungsrichtung des Substrats, wahlweise automatisch oder manuell eingestellt werden kann.
Der Brenner umfasst an sich bekannte, in Brennerlängsachse verlaufende Rohre, wobei diese erfindungsgemäß als zwei ineinander geführte Rohre ausgebildet sind. Diese Rohre können aus einem Glas- und/oder Keramikmaterial, aber auch aus einem organischen Polymer oder einem Polymerverbund bestehen. Denkbar ist hier auch die Verwendung eines Glas- oder Keramikmaterials, das mit einem organischen Material, z. B. einer organischen Folie beschichtet wurde. Mindestens eines der ineinander geführten Rohre ist dickwandig ausgeführt, d. h. besitzt z. B. eine Dicke von ≥ 2 mm. Die Wandstärke des stärksten Rohres kann im Bereich zwischen ≥ 2 mm bis im Wesentlichen 20 mm gewählt werden.
Die Rohre sind konzentrisch oder vom Konzentrischen abweichend ineinander positioniert, wobei die Wandstärke im Bereich zwischen > 5 mm bis im Wesentlichen 20 mm liegt.
Das Innere der Rohranordnung weist einen größeren Abstand vom Plasmaraum als das äußere Rohr der Rohranordnung auf.
Weiterhin ist erfindungsgemäß vorgesehen, dass die Precursorgas-Zuführung über eine Kammer erfolgt, d. h. es weist der Abscheidebrenner mindestens eine derartige Kammer auf, die der Gasmischung oder Gasstromberuhigung dient.
Die ein- oder mehrzeilig ausgeführten Düsenketten können eine Plattenform besitzen, welche eine Vielzahl von Düsenbohrungen gleicher oder unterschiedlicher Gestalt aufweist. Die Düsenbohrungen können vorzugsweise im Winkel von 35° bis 55° angebracht sein, so dass durch diese Anordnung eine Helix-Strömung erzwungen wird.
Ergänzend besteht die Möglichkeit, die Brennerrohranordnung mit einem Stickstoffvorhang zu umgeben, der wiederum durch ein umgreifendes Rohr zuführbar ist.
Auch die in Brennerlängsachsenrichtung verlaufende Düse für den ersten Teilgasstrom kann eine Düsengruppe umfassen. Diese Düsengruppe kann, wie eingangs dargelegt, Einzeldüsen aufweisen, welche unterschiedliche oder veränderbare Düsenquerschnitte oder Querschnittsflächen besitzen.
Durch die erfindungsgemäße größere Wandstärke der eingesetzten Rohre insbesondere für das innere Plasma-Brennerrohr wird eine vorzeitige Abscheidung der Rohstoffe am Brenner verhindert und damit die Prozessstabilität und die Lebensdauer der Brenner erhöht.
Der Abstand der Düsen des Düsenpaars zur Erzeugung des zweiten Teilstroms beträgt bei einer bevorzugten Ausführungsform ab 0,1 mm bis 10 mm bezüglich des oberen Randes des am höchsten aufragenden Plasmarohrs, d. h. desjenigen Rohres, das sich am nächsten zum Substrat befindet.
Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung besteht die Möglichkeit, den Abstand der Düsen des Düsenpaars zur Erzeugung des zweiten Teilstroms bezogen auf den oberen Rand des am höchsten aufragenden Plasmarohrs bewusst zu vergrößern. Vorteile ergeben sich hier durch die dann reduzierte Temperatur am Ort der Anbringung bzw. Anordnung der Düsen des Düsenpaars, so dass temperaturbedingte negative Einflüsse auf das zugeführte Gas oder Gasgemisch vermieden werden können.
Die Düsen zur Erzeugung des ersten Teilstroms sind so ausgeführt, dass die Möglichkeit besteht, das Gas in einem Winkel abweichend von der Senkrechten zur Substratlängsachse einzuleiten. Bevorzugt ist der Einleitwinkel im Bereich zwischen 35° bis 55° festgelegt, um im Hochrate-Abscheideprozess den Glasruß optimal auf die Oberfläche des Substrats leiten zu können und um gleichzeitig ein Anbacken an den Brennerrohren zu verhindern.
Bei einer Kombination des erfindungsgemäßen Abscheidebrenners mit einem oder mehreren Gasbrennern ergibt sich ein besseres Klarschmelzverhalten im Hochrate-Abscheideprozess, wobei mit Hilfe des mindestens einen Zusatzbrenners die Restspannung in der fertig beschichteten Vorform gegen null gehend abgebaut wird. Ein Einsatz solcher üblichen Gasbrenner ist insbesondere dann möglich, wenn es um die Herstellung von Vorformen geht, deren Fasern im ultravioletten Bereich eingesetzt werden, wobei höhere OH-Gehalte zulässig sind.
Mit Hilfe des erfindungsgemäßen Abscheidebrenners und eines diesbezüglich zu führenden Verfahrens ist es möglich, Reaktionsgemische von verschiedenen Precursorverbindungen zu verwenden. Es kann daher ohne weiteres ein Einbau mehrerer Dotanden in die Glasmatrix vorgenommen werden. Durch das Erzeugen von Teilgasströmen ist die Verwendung von mehreren Siliziumverbindungen in variablen stöchiometrischen Verhältnissen und die Zugabe von weiteren Additiven möglich.
Durch die Zufuhr von wenigstens zwei unterschiedlichen Precursorverbindungen mittels zwei separater Düsen ist es möglich, auch miteinander reagierende Precursorverbindungen über getrennte Leitungswege zuzuführen. Beispielsweise kann der erste Teilstrom von einer SiCl₄-Zufuhr von der Unterseite des Brenners geprägt sein. Es entsteht also aus SiCl₄ und O₂ zunächst feinverteilter Soot, der aufgrund seiner hohen Oberfläche schnell mit geeigneten F-Donoren reagiert. Diese F-Donoren sind über den zweiten Teilstrom zuführbar.
Dadurch, dass die Düsen des Düsenpaars zur Erzeugung des zweiten Teilstroms einzeln und separat in x-, y- und/oder z-Richtung positioniert werden können, besteht die Möglichkeit, die Abscheideraten insgesamt zu verbessern, da die jeweilige Translations- und Rotationsgeschwindigkeit des Substrats/Stabes berücksichtigt werden kann.
Die Schrägstellung der Teilgasströme bezogen auf die Brennerlängsachse ermöglicht es, die Teilgaströme optimal in den Plasmavolumenstrom zu integrieren.
Ausgestaltend ist es weiterhin möglich, eine weitere Düsenkette außerhalb des Plasmabrenners vorzusehen, um den Stab und den Brenner zu kühlen, so dass eine definierte lokale Atmosphäre um den Reaktionsraum erzeugt werden kann. Wenn UV-absorbierende Materialien zum Einsatz kommen, besteht die Möglichkeit, die ultraviolette Belastung des Substrats bei dessen Herstellung zu reduzieren.
Die Erfindung soll nachstehend anhand eines Ausführungsbeispiels sowie unter Zuhilfenahme von Figuren näher erläutert werden.
Die 1 zeigt hierbei eine prinzipielle Schnittdarstellung des erfindungsgemäßen Abscheidebrenners mit seinen wesentlichen Komponenten und deren Anordnung bezüglich eines Substrats, insbesondere eines rotierenden Kernglasstabs.
Hierbei umfasst der Brenner 1 ein äußeres Brennerrohr 3 und eine HF-Spule 6. Im äußeren Brennerrohr 3 ist im Wesentlichen konzentrisch zu diesem ein dickwandiges erstes inneres Brennerrohr 2 befindlich. Dieses hitzebeständige Rohr besteht z. B. aus Keramik oder Glas und weist eine Wandstärke von > 5 mm bis z. B. 20 mm auf.
Durch die größere Wandstärke im Vergleich zum Bekannten wird eine vorzeitige Abscheidung der Rohstoffe am Brenner verhindert und es erhöht sich die Prozessstabilität und die Lebensdauer der Gesamtanordnung.
Ein erster Teilstrom eines zuzuführenden Precursorgases wird durch ein sich innerhalb des Rohres 2 befindlichen Rohres 1 dem Substrat 4 quasi von unten zugeführt. Mindestens zwei Düsenketten 5, die versetzt gegenüberliegen, erzeugen den zweiten, tangiential orientierten Teilstrom des Precursorgases. Die Figur zeigt hierbei nur eine der Düsenketten 5.
Dieses Düsenpaar 5 ist so angeordnet, dass sich die Precursorgasströme unterhalb des Substrats 4 treffen und sich die Strömungen im Zentrum des Plasmas aufheben. Dabei befinden sich die Düsen 5 in einem Abstand A vom oberen Rand des äußeren Rohres 3 der Brenneranordnung.
Dieser Abstand kann im Bereich zwischen 1 mm und 10 mm liegen. Der Anstellwinkel der Düsen 5 zueinander kann im Bereich zwischen 45° und 90° liegen, wobei die Möglichkeit besteht, die Winkelposition variabel zu gestalten.
Die 2 zeigt eine Draufsicht auf die erfindungsgemäße Brenneranordnung mit erkennbarem äußeren Brennerrohr 3 sowie den versetzt gegenüberliegenden Düsenketten 5 und ein Teilstück des Substrats 4, d. h. des bei der Beschichtung rotierenden Kernglasstabs. Mit den Pfeilen symbolisiert ist die mögliche Bewegung der Düsenketten 5 in Längsrichtung des Substrats 4, wobei jedoch auch die Möglichkeit besteht, alternativ oder ergänzend die Düsen bzw. Düsenketten 5 aus der Bildebene heraus oder in diese hinein zu verschwenken.
ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

- DE 2536457 [0003, 0006]
- DE 29823926 A1 [0007]
- DE 10231037 C1 [0008]

Claims

Mehrdösiger, rohrförmiger Plasma-Abscheidebrenner zur Herstellung von Vorformen als Halbzeuge für optische Fasern, wobei dem Brenner ein Medienstrom, enthaltend Glasausgangsmaterial und ein Trägergas, zugeführt wird, Mitteln zur Zuführung mindestens eines Dotanden über mindestens ein Precursorgas sowie einer im Wesentlichen senkrechten Orientierung der Brennerlängsachse zur Mittelachse des Substrats, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster Teilstrom eines ersten Gases oder Gasgemisches, insbesondere eines Precursorgases über mindestens eine in Brennerlängsachse verlaufende Düse dem Plasma und dem Substrat und ein zweiter Teilstrom des ersten oder eines weiteren Gases oder Gasgemisches, insbesondere Precursorgases über eine weitere Düse dem Plasma und dem Substrat derart zugeführt ist, dass sich die Teilströme in Substratnähe vereinigen.
Brenner nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Düse als Mehrfachdüse oder Düsenpaar, umfassend zwei oder mehr Einzeldüsen, versetzt zur Brennerlängsachse ausgebildet ist.
Brenner nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Düse oder die Düsen des Düsenpaars in einem Winkel abweichend von der Brennerlängsachse angeordnet sind.
Brenner nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Düsenpaar jeweils eine Gruppe von Einzeldüsen als Düsenkette umfasst, wobei sich die Düsenketten der Düsenpaare in einem vorgegebenenen Winkel gegenüberliegen.
Brenner nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Einzeldüsen oder die Düsenketten der Düsenpaare eine zueinander verstellbare Winkelposition aufweisen.
Brenner nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Düse oder das Düsenpaar sich außerhalb des Brenners, beabstandet vom bezogen auf das Substrat nächsten Brennerrohr im Raum zwischen Substratoberfläche und Brenner befindet.
Brenner nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Düse oder mindestens eine der Düsenketten vorgesehen ist, welche einen bezogen auf die Rohrkonfiguration des Brenners tangentiale Gasstromkomponente erzeugen.
Brenner nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Düse, das Düsenpaar oder die jeweilige Düsenkette beweglich und verstellbar ausgeführt ist.
Brenner nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die in Brennerlängsachse verlaufende Düse zwei ineinander geführte dickwandige Rohre umfasst.
Brenner nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Rohre konzentrisch oder vom Konzentrischen abweichend ineinander positioniert sind, wobei die Wandstärke der Rohre im Bereich zwischen ≥ 2 mm bis im Wesentlichen 20 mm liegt.
Brenner nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Innere der Rohranordnung einen größeren Abstand vom Plasmaraum als das äußere Rohr der Rohranordnung besitzt.
Brenner nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens eine Precursorgas-Zuführung eine Kammer zum Mischen und/oder Beruhigen des Gasstroms aufweist.
Brenner nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Düsenketten eine Plattenform und eine Vielzahl von Düsenbohrungen aufweisen.
Brenner nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Brennerrohranordnung von einem schützenden Gas-, insbesondere Stickstoffvorhang umgeben ist.
Brenner nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die in Brennerlängsachse verlaufende Düse als Düsengruppe für sich im Plasma treffende Teilströme ausgebildet ist.
Brenner nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass die Düsengruppe Einzeldüsen aufweist, welche unterschiedliche oder veränderbare Düsenquerschnitte oder Querschnittsflächen besitzen.
Brenner nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Düse oder die Einzeldüsen der Düsenkette als Schlitzdüse ausgebildet sind.
Brenner nach einem der vorangegangenen Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Düse oder die Einzeldüsen der Düsenkette als konzentrische Düsen mit strahlformenden Eigenschaften ausgebildet sind.
Brenner nach einem der Ansprüche 4 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass die Düsenkette als mehrzeilige Düsenkette mit übereinander liegenden oder versetzt zueinander liegenden Düsen ausgebildet ist.
Brenner nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass die tangentiale Gasstromkomponente in Rotationsrichtung der Plasmahelix verläuft.
Brenner nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass die weitere Düse, das Düsenpaar oder die jeweilige Düsenkette in Richtung der Bewegung des Substrats verstellbar ist.
Brenner nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die Kammer als Vorkammer am vom Substrat entfernten Ende des Brenners in Brennerlängsrichtung verlaufend mit seitlicher Gaszuführung ausgebildet ist.
Verfahren zur Herstellung von Vorformen als Halbzeuge für optische Fasern mit Hilfe eines Abscheidebrenners nach einem oder mehreren der vorgenannten Ansprüche.