DE2939428B2 - Sauerstoffmeßfühlerkeramik und Verfahren zu deren Herstellung - Google Patents
Sauerstoffmeßfühlerkeramik und Verfahren zu deren HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Sauerstoffmeß· fühlerkeramik eines Festelektrolyten des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid(ZrO2-YÄJ-Systems, und ein Verfahren zur Herstellung der Sauerstoffmeßfühlerkeramik, und die erfindungsgemäße Sauerstoffmeßfühlerkeramik ist als Abgasmeßfühler für Verbrennungskraftmaschinen von Kraftfahrzeugen usw. oder Verbrennungsvorrichtungen, wie z. B. Heizkessel usw., verwendbar.
in neuerer Zeit wurde ein System zum Erfassen der
Sauerstoffkonzentration von Abgas zur Steuerung eines Brennstoffzuführsystems durch Rückkopplung als Mittel zur Steuerung des Abgases von Brennkraftmaschinen in Kraftfahrzeugen usw. angegeben. Aus den
Gründen, daß ein Ausgang für ein Luft-Brennstoff-Verhältnis der einen Verbrennungskraftmaschine zuzuführenden Luft- und Brennstoffmengen schrittweise änderbar ist und daß ein stabiler Ausgang in einem weiten
Temperaturbereich von einer niedrigen Temperatur bis zu einer hohen Temperatur (etwa 300-90O0C) erhältlich ist, wurde allgemein ein aus dem Zirkonitimoxid-Yt-
triumoxid-System bestehender Festelektrolyt als Sauerstoffmeßfühlerkeramik verwendet.
Wenn die Sauerstoffmeßfühlerkeramik bei Kraftfahrzeugen verwendet wird, ist es erforderlich, daß sie einen
scharfen Wärmeschock, wie z.B. 30-50°C/s je nach
den Fahrbedingungen aushalten kann. Außerdem ist es erforderlich, daß sie eine 100 000-km-Fahrstrecke bei
Maximalgeschwindigkeit (Meßfühlertemperatur: etwa 9000C) entsprechende Dauerhaftigkeit aufweist
Schließlich ist es erforderlich, daß sie eine derartige mechanische Festigkeit hat, daß sie einen Schwingungsversuch von etwa 60 Gaushalten kann.
Bei der bekannten Sauerstoffmeßfühlerkeramik des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systems wurde üblicherweise ein Festelektrolyt verwendet der aus einer
kubischen Zirkoniumoxidkeramik mit einem Gehalt von 7-10 Mol-% Yttriumoxid bestand (H. Dueker et al:
»Ceramic Aspect of the Bosch Lambda-sensor«, bei »Automotive Engineering Congress and Exposition«,
Detroit Michigan, 24.-28. Febr. 1975 vorgetragene Unterlagen 750223).
Jedoch weist eine solche Keramik einen großen Wärmeausdehnungskoeffizient wie z. B.
100-120 χ 10-V0C auf und ist daher gegenüber einem
plötzlichen Wärmeschock nicht fest Daher hat die Keramik den Nachteil, daß sie durch einen starken, für
Kraftfahrzeuge benötigten Wänneschock von 30-50° as leicht Risse bildet
Zur Verbesserung der Wärmeschockbeständigkeit der Zirkoniumoxidkeramik wurde neuerdings ein
Verfahren zur Herstellung einer teilweise stabilisierten Keramik durch Zusetzen einer geringeren Menge
Calciumoxid (CaO), Magnesiumoxid (MgO) od. dgl. zu Zirkoniumoxid als der zu dessen Stabilisierung erforderlichen Menge, Sintern der Keramik bei einer hohen
Temperatur und ausreichendes Anlassen der Keramik in einem Abkühlungsschritt, wodurch monoklines Zirkonium an der Grenze des kubischen Zirkoniumoxids
auskristallisiert wird, angegeben (US-PS 36 20 781),
Jedoch ist es, auch wenn dieses Verfahren auf
Keramiken des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systems angewandt wird, schwierig. Keramik mit einer guten
Wärmeschockbeständigkeit in einem weiten Bereich von etwa 300 bis etwa 9000C zu erhalten, und es ergibt
sich ein neues Problem, daß der Innenwiderstand von Keramiken des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systems
aufgrund des Einflusses des monoklinen Zirkoniumoxids mit einem höheren Widerstand als dem des kubischen
Zirkoniumoxids steigt und der Meßfühler auch herab zu niedriger Temperatur nicht ausreichend verwendet
werden kann.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Cauerstoffmeßfühlerkeramik des Zirkoniumoxd-Yttriumoxid-Systems mit einem niedrigen Innenwiderstand
in einem weiten Temperaturbereich, einer guten Wärmeschockbeständigkeit und einer hohen mechanischen Festigkeit zu entwickeln und außerdem ein zur
Herstellung einer solchen Sauerstoffmeßfühlerkeramik geeignetes Verfahren anzugeben.
Diese Aufgabe wird bei einer Sauerstoffmeßfühlerkeramik eines Festelektrolyten des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systems, erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
sie Aggregate von kubischen Zirkoniumoxidkörnern mit einer Durchschnittsteilchengröße von 2—10 μίτι und
Aggregate von monoklinen Zirkoniumoxidkörnern mit einer Durchschnittsteilchengröße von 0.2— 1 μιη enthält, die Aggregate der kubischen Zirkoniumoxidkörner
im gegenseitigen Kontakt sind und die monoklinen
Zirkoniumoxidkörner als Aggregate in Zwischenräumen zwischan den Aggregaten der kubischen Zirkoniumoxidkörner
verteilt sind.
Ausgestaltungen dieser Sauerstoffmeßfühlerkeramik sind in den Ansprüchen 2 bis 5 gekennzeichnet
Gegenstand der Erfindung ist außerdem ein Verfahren zum Herstellen einer solchen Sauerstoffrneßfühlerkeramik,
mit dem Kennzeichen, daß man Zirkoniumoxidpulver einer Korngröße von 0,1 —0,5 μπι mit
4—8 Mol-% Vttriumoxidpulver einer Durchschnittskorngröße von 0,5—5μηι auf Basis der gesamten
Mischung vermischt, die Mischung formt und die Mischung bei einer Temperatur von 1400 —1550°C
brennt
Die Erfindung gibt also eine Sauerstoffmeßfühlerkeramik eines Festelektrolyten des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systems
an, die Aggregate von kubischen Zirkoniumoxidkörpern mit einer Durchschnittskorngröße
von 2 —10 μπι und monoklinen Zirkoniumoxidkörnern
mit einer Durchschnittskorngröße von 0,2 — 1 μπι aufweist, wobei die Aggregate der kubischen
Zirkoniumoxidkörner in gegenseitiger Berührung miteinander sind und die monoklinen Zirkoniunioxidkörner
als Aggregate in Zwischenräumen zwischen den Aggregaten der kubischen Zirkoniumoxidkörner verteilt
sind, und diese Sauerstoffmeßfühlerkeramik hat eine hohe Wärmeschockbeständigkeit, eine hohe
mechanische Festigkeit und einen dem der nur aus kubischen Zirkoniumoxidkörnern bestehenden Keramik
gleichen Widerstand. Die Sauerstoffmeßfühlerkeramik
wird hergestellt, indem man Zirkoniumoxidpulver mit einer Korngröße von 0,1 —0,5 μπι mit 4—8 Mol-%
Yttriumoxidpulver mit einer Durchschnittskorngröße von 03—5 um auf Basis der gesamten Mischung
vermischt und die Mischung formt sowie bei I400-1550°Cbrennt
Als Ergebnis verschiedener Untersuchungen fanden die Erfinder, daß die Wärmeschockbeständigkeit und
der elektrische Widerstand von Keramiken des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systems in enger Beziehung
zum inneren Aufbau der Keramiken stehen. Und zwar müssen, um den elektrischen Widerstand der
Keramiken zu senken, Aggregate voii kubischen Zirkoniumoxidkörnern mit einem verhältnismäßig niedrigen
elektrischen Widerstand in gesinterten Keramiken in gegenseitiger Berührung vorliegen. Da ein
elektrischer Strom (d. h. Sauerstoffionen) in diesem Gefüge hauptsächlich durch die Aggregate von
kubischen Zirkoniumoxidkörnern fließt ergibt sich kein merklich hoher Einfluß auf den elektrischen Widerstand
der Keramiken im Ganzen, auch wenn gleichzeitig monokline Zirkoniumoxidkörner mit einem verhältnismäßig
hohen elektrischen Widerstand in den gesinterten Keramiken vorliegen.
Um die Wärmeschockbeständigkeit der Keramiken zu verbessern, müssen feine monokline Zirkoniumoxidkörner
als Aggregate in Spalten und Zwischenräume zwischen den Aggregaten aus kubischen Zirkoniumoxidkörnern
vorliegen. Da eine auf einer Volumenexpansion aufgrund des Phasenübergangs von einem
kubischen System zu einem moniklinischen System bei der Abkühlung nach dem Brennen der Keramiken
basierende Druckbeanspruchung auf die Aggregate der monoklinen Zirkoniumoxidkörner einwirkt, breiten sich
Risse kaum aus, und im Fall eines starken Wärme schocks entwickeln sich in den Aggregaten der
monoklinen Zirkoniumoxidkörner eine große Zahl von Mikrorissen und wirken als DärriDfer der Wärmeschockenergie.
Die Ausbreitung von Rissen in Keramiken läßt sich also dadurch verhindern, und folglich kann
die Wärmeschockbeständigkeit der Keramiken verDessert werden.
Es ist zweckmäßig, daß die rnonokünen Zirkoniumoxidkörner
eine Durchschnittskorngröße von etwa 0,2 bis etwa 1 μπι aufweisen. Wenn die Korngröße etwa
1 μπι übersteigt, wächst die Abmessung von in den
Aggregaten der monoklinen Zirkoniumoxidkörner
entstandenen Mikrorissen entsprechend, und infolgedessen
sinkt die Wärmeschockbeständigkeit. Als Ergebnis von Untersuchungen fanden die Erfinder, daß, wenn
die monoklinen Zirkoniumoxidkörner eine Durchschnittskorngröße
von nicht mehr als etwa 1 μπι haben, eine zum Aushalten eines Wärmeschocks von
30-50cC/s geeignete Keramik erhältlich ist. Wenn die
Korngröße unter etwa 0,2 μΐη liegt verringert sich die
Kontaktfläche zwischen den einzelnen Körnern in den Aggregaten der monoklinen Zirkoniumoxidkörner, und
folglich wird die Bindung zwischen den monokünen Zirkoniumoxidkörnern örtlich dur>i den Einfluß des
Phasenüberganges vom kubischen Syriern zum monoklinen System beim Abkühlungsschritt nach dem
Brennen der Keramiken unterbrochen, und ein Teil der Monoklinen Zirkoniumoxidkörner löst sich ab, wodurch
die mechanische Festigkeit der Keramiken sinkt oder eher die Wärmeschockbeständigkeit geringer wird.
Es ist zur Erhöhung der Wärmeschockbeständigkeit der Keramiken wichtig, daß die monoklinen Zirkonium-
JO oxidkörner als Aggregate in Spalten and Zwischenräumen zwischen den Aggregaten der kubischen Zirkoniunioxidkörner
vorliegen. Da das kubische Zirkoniumoxid allgemein einen höheren Wärmeausdehnungskoeffizient
als das monokline Zirkoniumoxid aufweist, entwickeln sich Risse hauptsächlich zwischen den
kubischen Zirkoniumoxidkörnern, wenn ein Wärmeschock auf die Keramiken einwirkt und breiter sich
durch die Keramiken aus, so daß auch ein Bruch in dieser Weise verläuft.
Gemäß dem Keramikgefüge nach der Erfindung wird die Energie von zwischen den kubischen Zirkoniumox.dkörnern
gebildeten Rissen in den in den Zwischenräumen zwischen den Aggregaten der kubischen
Zirkoniumoxidkörner vorhandenen Aggregaten der monoklinen Zirkoniumoxidkörner absorbiert und daher
wird die Wärmeschockbeständigkeit gesteigert. Wenn die Zahl der die Aggregate bildenden monoklinen
Zirkoniumoxidkörner gering ist, kann die Energie der Risse nicht völlig absorbiert werden, und Risse laufen
durch die Aggregate der monoklinen Zirkoniumkörner durch, so daß sie sich durch die ganze Keramik
fortpflanzen. Um den für einen Kraftfahrzeugabgasmeßfühler erforderlichen Wärmeschock von
30-50°C/s auszuhalten, sind mehr als et*a 100
monokline Zirkoniumoxidkörner für ein Aggregat erforderlich. Um dieser Bedingung zu genügen, wurde
gefunden, daß die Durchschnittskorngröße der kubischen Zirkoniumoxidkörner wenigstens etwa die fünffache
der Durchschnittskorngröße der monoklinen Zirkoniumoxid^ ner sein soll.
Die erfindungsgemäße Sauerstoffmeßfühler-Zirkoniumoxidkeramik enthält Aggregate von monoklinen
Zirkoniumoxidkörnern in der Keramik, und daher ist eine wiederholte Verwendung in dem Temperaturbe-
h*> reich, wo der Phasenübergang vom monoklinen System
zum kubischen System oder umgekehrt abläuft, nicht vorzuziehen. Wenn der Phasenübergang wiederholt
wird, löst sich die Bindung zwischen den monoklinen
Zirkoniumoxidkörncrn. und die mechanische Festigkeit
der Keramiken neigt zum Sinken. Daher isl es zweckmäßig, die Yttriumoxidkonzentration des mono·
klinen Zirkoniumoxids zu senken und die Phasenübergangstemperatur vom monoklinen System zum kubischen
System oder umgekehrt höher zu halten. Um die Verwendung bei einer für den Kraftfahrzeugabgas-Meßfühler
erforderlichen Maximaltemperatur von 900°C auszuhalten, ist es zweckmäßig, daß die
Durchschnittsyttriumoxidkonzentration des monoklinen Zirkoniumoxids höchstens etwa I Mol-% ist.
Die Sintertemperatur von Zirkoniumoxid ist im fall
des Zirkoniumoxids allein so hoch wie 1800"C, und die
Zumischung dieser Yttriumoxidmenge erleichtert den Ablauf der Sinterung und ermöglicht auch eine Senkung
der Sintertemperatur. Daher wird, wenn kein Yttriumoxid im monoklinen Zirkoniumoxid enthalten ist, die
Sinterfähigkeit der Aggregate von monoklinen Zirkozu erreichen, muß wenigstens eine Menge monoklinen
Zirkoniumoxids von 10 Mol-% in der Keramik vorliegen. Wenn die Menge des monoklinen Zirkoniumoxids
50 Mol-% übersteigt, erhöht sich andererseits die > Zahl der Aggregate von monoklinen Zirkoniumoxidkörnern
zu sehr, und die Aggregate der kubischen Zirkoniumoxidkörner werden nicht in gegenseitigen
Kontakt gebracht, d. h. der Widerstand der Keramik wächst unter dem Einfluß des monoklinen Zirkonium-
in oxids mit einem verhältnismäßig hohen Widerstand
beträchtlich.
Die erfindungsgemäße Sauerstoffmeßfühlerkeramik des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systcms kann leicht
hergestellt werden, indem man Zirkoniumoxidpulver
i' des monoklinen Systems mit einer Durchschnittskorngröße
von etwa 0,1 bis 0,5 μιτι gleichmäßig mit etwa 4 bis
etwa 8 Mol-% Yttriumoxidpulver mit einer Durchschnittskorngröße von etwa 0,5 bis etwa 5 μπι auf Basis
den monoklinen Zirkoniumoxidkörnern wird schwach. Aggregate von monoklinen Zirkoniumoxidkörnern
lösen sich unter dem Einfluß des Phasenüberganges vom kubischen System zum monoklinen System beim
Abkühlungsschritt nach dem Brennen der Keramiken, wodurch die mechanische Festigkeit der Keramiken
erheblich gesenkt wird. Die Yttriumoxidmenge zur Steigerung der Sinterungsfähigkeit von Zirkoniumoxid
muß wenigstens etwa 0,01 Mol-% auf Basis der gesamten Mischung betragen, und die Durchschnittskonzentration von Yttriumoxid im monoklinen Zirkoniumoxid
muß wenigstens 0,01 Mol-% sein.
Es ist zweckmäßig, daß die kubischen Zirkoniumoxidkörner eine Durchschnittskorngröße von 2— ΙΟμηι
aufweisen. Falls die Durchschnittskorngröße zu groß ist, wird eine höhere Spannung in den kubischen Zirkoniumoxidkörnern
erzeugt, wenn auf die Keramik ein Wärmeschock einwirkt, und die Länge der entstandenen
Risse wird dadurch größer, d. h. die Energie der Risse kann nicht völlig von den Aggregaten der
monoklinen Zirkoniumoxidkörner absorbiert werden, oder die mechanische Festigkeit der Keramiken sinkt,
auch wenn die Energie absorbiert wird. Um den Wärmeschock von 30 —50°C/s auszuhalten, ist es
erforderlich, daß die Durchschnittskorngröße der kubischen Zirkoniumoxidkörner höchstens ΙΟμίτι beträgt.
Falls die Durchschnittskorngröße der kubischen Zirkoniumoxidkörner zu gering ist, wächst der Widerstand
der Keramik durch den Einfluß des Widerstandes, wenn ein elektrischer Strom durch die Korngrenzen
fließt. Daher ist es zweckmäßig, daß die Durchschnittskorngröße der kubischen Zirkoniumoxidkörner wenigstens
etwa 2 μΓη beträgt.
Es ist zweckmäßig, daß die Durchschnittskonzentration von Yttriumoxid im kubischen Zirkoniumoxid in
einem Bereich von 7—IOMoI-% liegt, und in diesem
Bereich lassen sich Keramiken von besonders niedrigem Widerstand herstellen.
Die Menge des monoklinen Zirkoniumoxids in der die erfindungsgemäße Sauerstoffmeßfühlerkeramik bildenden
Zirkoniumoxidkeramik liegt zweckmäßig im Bereich von 10 — 50 Mol-% auf Basis der gesamten
Mischung. Wenn die Menge des monoklinen Zirkoniumoxids
geringer ist, sinkt die Zahl der in den Zwischenräumen zwischen den Aggregaten der kubischen
Zirkoniumoxidkörner vorhandenen Aggregate von monoklinen Zirkoniumoxidkörnern, wodurch die
Wärmeschockbeständigkeit der Keramik sinkt. Um die Wärmeschockbeständigkeit von 30—50°C/s oder höher
-'ι Mischung ein Bindemittel, wie z. B. Polyvinylalkohol
oder Paraffin, zusetzt, die Mischung formt und dann die geformte Mischung bei einer Temperatur von etwa 1400
bis etwa I55OCC für etwa I bis etwa 3 h brennt. Außer
dem Yttrrumoxid kann eine geringe Menge eines
Ji Zusatzes, wie z. B. Aluminiumoxid (AI2O3), Siliciumdioxid
(S1O2) usw., der* genannten Mischung zugesetzt
werden, um die Sintertemperatur beim Brennen zu senk λ. Nach dem Vermischen des Zirkoniumoxidpulvers
mit Yttriumoxidpulver kann die erhaltene Mini schung bei einer Temperatur von etwa 1100 bis etwa
1300°C kalziniert und zu einer Korngröße von etwa
0,5 μπι pulverisiert werden, und das erhaltene Pulver kann in der gleichen Weise wie oben geformt und
gebrannt werden.
r> Im Lauf des erfindungsgemäßen Verfahrens diffundieren
Zirkoniumor.id und Yttriumoxid beim Brennen
gegenseitig ineinander, und der eine größere Menge von eindiffundiertem Yttriumoxid enthaltende Teil geht
in kubisches Zirkoniumoxid über, während der eine geringere Menge von eindiffundiertem Yttriumoxid
enthaltende Teil als monoklines Zirkoniumoxid verbleibt. Das schnellste Wachstum von Zirkoniumoxidkörnern
findet statt, wenn etwa 7 bis etwa 12 Mol-% Yttriumoxid darin enthalten sind während Zirkonium-
■tj oxidkörner mit einem geringeren Yttriumoxidgehalt
langsam wachsen. So kann die Durchschnittskorngröße de; kubischen Zirkoniumoxidkörner in einen Bereich
von 2 —10 μπι gebracht werden, und gleichzeitig kann
die Durchschnittskorngröße der monoklinen Zirkoni-
V) umoxidkömer in einen Bereich von 0,2 — 1 μηι gebracht
werden. Weiter diffundiert Yttriumoxid radial /on den zugemischten Yttriumoxidkörnern in das Zirkoniumoxid
ein, und daher lassen sich fast kugelförmige Aggregate von kubischem Zirkoniumoxid mit Yttrium-
oxid als ihren Mittelpunkten in gegenseitigen Kontakt bringen, indem man den Durchschnittsabstand zwischen
Yttriumoxidkörnern in der Mischung und die Brennbedingungen geeignet wählt, während andere als die
kugelförmigen Aggregate der kubischen Zirkoniumoxidkörner als monoklines Zirkoniumoxid verbleiben
und einen solchen Aufbau erhalten, daß es Aggregate von monoklinen Zirkoniumoxidkörnern gerade in den
Spalten und Zwischenräumen zwischen den kugelförmigen Aggregaten von kubischen Zirkoniumoxidkörnern
gibt
Die Erfindung wird im einzelnen anhand der Zeichnung näher erläutert; darin zeigt
F i g. 1 eine schematische Darstellung zur Veran-
F i g. 1 eine schematische Darstellung zur Veran-
schaulichung des Gefüges einer Sauerstoffmeßfühlerkcramik
des Zirkoniumoxid-Yltriumoxid-Systems,
Fig. 2 eine Schnittansicht des Aufbaus eines nach einem Ausführungsbeispiel der Erfindung hergestellten
Meßfühlers und
Fig. 3 und 4 Abbildungen einer natürlichen Oberfläche
bzw. einer Bruchfläche der nach einem Ausführui/^sbeispiel
der Erfindung hergestellten Sauerstoffmeßfühlerkeramik, die mit einem Abtastelektronenmikroskop
aufgenommen wurden.
Man erkennt in F i g. 1 kubische Zirt.oniumoxidkörner
1, Stellen 2, an denen ursprünglich Yttriumoxidkörner existierten, und Aggregate 3 von monoklinen
Zirkoniumoxidkörnern. Diese .Sauerstoffmeßfühlerkeramik des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systems, wie sie
schematisch in Fig. I veranschaulicht ist, wird in der schon erläuterten Weise gemäß dem Verfahren nach
der Erfindung erhallen.
von über etwa 5 μίτι verwendet wird, muß es mit
Zirkoniumoxid in einer Kugelmühle usw. vermischt werden, um das Yttriumoxid zu pulverisieren, oder es
muß einmal mit Zirkoniumoxid vermischt, kalziniert und
-) dann auf eine Korngröße von etwa 0,5 bis etwa I um
pulverisiert werden. Wenn die Korngröße des Yttriumoxids 5 μιτι übersteigt, wird die Yttriumoxidkonzentration
im Zirkoniumoxid nahe den Yttriumoxidkörnern zu hoch, und die Sinterfähigkeit wird in solchen Bereichen
in schlechter, so daß die mechanische Festigkeit der
Keramiken sinkt. Wenn die Korngröße des Yttriumoxidpulvers zu gering ist, wächst die Anzahl der im
Zirkoniumoxid zu verteilenden Ytlriumoxidkörncr, und Yttriumoxid wird weit im Zirkoniumoxid verteilt, wobei
r> die Anzahl der Aggregate von monoklinen Zirkoniumoxidkörnern
oder die Zahl der die einzelnen Aggregate bildenden monoklinen Zirkoniumoxidkörner sinkt. Infolgedessen
wird die Wärmeschockbeständigkeit der
bis etwa 1550°C liegen. Wenn die Brenntemperatur I55O"C übersteigt, wachsen sowohl die kubischen
Zirkoniumoxidkörner als auch die monoklinen Zirkoniumoxidkörner bis jenseits des Korngrößenbereichs
gemäß der Erfindung, wodurch die Wärmeschockbeständigkeit der Keramiken sinkt. Gleichzeitig diffundiert
Yttriumoxid in das monokline Zirkoniumoxid, wodurch die Durchschnittsyttriumoxidkonzentration
des monoklinen Zirkoniumoxids etwa 1 Mol-% übersteigt
und die Phasenumwandlungstemperatur vom monoklinen System zum kubischen System oder
umgekehrt unter 9000C sinkt. Dies ist ein großer
Nachteil. Wenn die Brenntemperatur 155O°C übersteigt
und die Menge des zugemischten Yttriumoxids so groß wie 7-8 Mol-% ist oder die Korngröße des Yttriumoxidpulvers
so klein wie etwa 0,5 bis etwa 1 μπι ist, sinkt die Zahl der Aggregate von monoklinen Zirkoniumoxidkörnern,
oder die Zahl von die einzelnen Aggregate bildenden monoklinen Zirkoniumoxidkörnern verringert
sich, wodurch die Wärmeschockbesländigkeit der Keramiken verschlechtert wird. Wenn die Brenntemperatur
unter HOO0C ist, wird andererseits die Sinterfähigkeit der Keramiken schlecht, und es sinkt auch die
mechanische Festigkeit der Keramiken. Außerdem wird die Diffusionsreichweite des Yttriumoxidpulvers verkürzt,
und die fast kugelförmigen Aggregate des kubischen Zirkoniumoxids, die Yttriumoxid als ihre
Zentren haben, werden nicht in gegenseitigen Kontakt gebracht, so daß der elektrische Widerstand der
Keramiken durch den Einfluß der Aggregate aus monoklinen Zirkoniumoxidkörnern wächst, was ein
anderer Nachteil ist.
Es ist zweckmäßig, daß die Korngröße des als Ausgangsstoff zu verwendenden Zirkoniumoxidpulvers
in einem Bereich von etwa 0,1 bis etwa 0,5 μΐη liegt.
Wenn die Korngröße 0,5 μιτι überschreitet, sinkt die
Sinterfähigkeit des Pulvers, und das Sintern der Keramiken bei der niedrigen Temperatur von 1400 bis
155O°C ist nicht ausreichend, so daß die mechanische
Festigkeit sinkt Wenn die Korngröße des Zirkoniumoxidpulvers unter 0,1 μιτι liegt, weist das Pulver ein
hygroskopisches Verhalten auf, oder das Pulver ist mehr zerstreuungsfähig, und die Handhabung des Rohmaterials
sowie das Formen der Keramiken werden schwierig, wobei leicht eine Schichtbildung verursacht
wird.
Es ist zweckmäßig, Yttriumoxidpuiver mit einer Korngröße von etwa 0,5 bis 5 μπι als Ausgangsmaterial
zu verwenden. Wenn Yttriumoxid mit einer Korngröße
Wenn die zuzusetzende Yttriumoxidmenge 8 Mol-% überschreitet, verringert sich die Zahl der Aggregate
von monoklinen Zirkoniumoxidkörnern oder die Zahl der die einzelnen Aggregate bildenden monoklinen
Zirkoniumoxidkörner aus den gleichen Gründen wie oben, und folglich verschlechtert sich die Wärmeschockbeständigkeit
der Keramiken. Wenn die zuzusetzende Yttriumoxidmenge geringer als 4 Mol-% ist, sinkt die
Zahl der im Zirkoniumoxid zu verteilenden Yttriumoxidkörner, und der Bereich, wo Yttriumoxid in
Zirkoniumoxid diffundiert, wird derart verringert, daß die fast kugelförmigen Aggregate von kubischen
Zirkoniumoxidkörnern, die das Yttriumoxid als ihre Mittelpunkte aufweisen, nicht in gegenseitigen Kontakt
gelangen, so daß der elektrische Widerstand der Keramiken nachteilig erhöht wird. Daher ist es
zweckmäßig, daß die zuzusetzende Yttriumoxidmenge im Bereich von 4—8 Mol-% liegt.
Im Vorstehenden wurde eine Beschreibung eines binären Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systems gegeben,
doch ändern sich die Effekte der Erfindung nicht, auch wenn solche weiteren Zusätze wie Aluminiumoxid
(Al2O3), Siliciumdioxid (SiO2), Eisenoxid (Fe2O3), Calciumoxid
(CaO), Magnesiumoxid (MgO) usw. noch zugesetzt werden. Es können auch Verbindungen, die
sich zum Obergang in ihre Oxide durch Erhitzen eignen, z. B. Karbonate, Oxalate, Nitrate, organometallische
Salze usw, als Ausgangsstoffe anstelle von Zirkoniumoxid, Yttriumoxid usw. verwendet werden. Im Falle
dieser Verbindungen hat die Korngröße der gerade durch Erhitzen gebildeten Oxide einen großen Einfluß
auf die Sinterfähigkeit der Keramiken.
Die Erfindung wird anhand folgender Beispiele näher erläutert
Zirkoniumoxid (Reinheit: 993%, Durchschnittskorngröße: 0,2 μπι) wurde mit 10,47 Gew.-% (6 Mol-%)
Yttriumoxid (Reinheit: 993%, Durchschnittskorngröße 8 μιτι) und 0,1 Gew.-% Siliciumdioxid »Bitaseal
Nr. 1500« auf der Basis der Gesamtmischung gemischt und mit Hilfe eines Mörsers und eines Stößels 2 h gut
durchmischt Dann wurde die erhaltene Mischung in einem elektrischen Ofen bei 12000C 2 h kalziniert und
anschließend zu einer Durchschnittskorngröße von 0,5 μιτι in einer aus AI2O3 bestehenden Schwingmühle
über eine Zeitdauer von 10 h pulverisiert. Nach dem Zusatz von 3Gew.-% Paraffin als Bindemittel wurde
das erhaltene Pulver zu einem Rohr mit einem
geschlossenen Ende geformt und an Luft bei i 3(K)0C I h
zur Bildung eines Meßfühlerelements gebrannt. Dann wurde eine Chlorplatinsäurelösung sowohl auf die
Innen- als auch auf die Außenseite des Meßfühlerelements in Rohrform mit einem geschlossenen Ende ί
aufgebracht, und danach wurde das Meßftihlerelement bei 8000C 10 min zur Bildung von Platinelektroden auf
beiden Seiten ausgebacken. Der Aufbau des erhaltenen Meßfühlerelements ist in Fig.2 dargestellt, wo man
eine Keramik 10 des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Sy- in stems und Platinelektroden 20 und 30 an der Außenbzw.
Innenseite der Keramik erkennt, die die Form eines einseitig geschlossenen Rohres aufweist.
Die natürliche Oberfläche und eine Bruchoberfläche der erhaltenen Keramik sind in den Bildern der F i g. 3 π
bzw. 4 gezeigt, die mit einem Abtastelektronenmikroskop aufgenommen wurden.
Es wurde durch Untersuchung der Yttriumoxidkonzentrationsverteilung
mit einem Röntgenmikroanalysation in den Körnern mit geringerer Korngröße (nicht
mehr als I μντ) nur etwa 0,5 Mol-% war. Unter
Berücksichtigung des Phasendiagramms, wonach Zirkoniumoxid mit einer Yttriumoxidkonzentration von mehr
als etwa 6 Mol-% bei Raumtemperatur kubisch kristallisiert, während Zirkoniumoxid mit einer Yttriumoxidkonzentration
von weniger als etwa 2 Mol-% monoklin kristallisiert, ersieht man aus F i g. J und 4, daß
die nach diesem Beispiel erhaltene Keramik ein derartiges Gefüge hat, daß Aggregate von monoklinen
Zirkoniumoxidkörnern (Yttriumoxidkonzentration: 0,5 Mol-%) mit einer Durchschnittskorngröße von etwa
0,5 um in den Spalten und Zwischenräumen zwischen den Aggregaten von kubischen Zirkoniumoxidkörnerri
(Yttriumoxidkonzentration: 7 Mol-%) mit einer Durchschnittskorngröße von etwa 5 μιη vorliegen.
Es wurde durch Pulverisieren der erhaltenen Keramik und Analysieren des erhaltenen Pulvers nach drr
Intensität der Pulverröntgenbeugung gemäß der folgen-
lor gerunuen, imu uie ι iinuiiiuxiUKOii/.eiHiauoM in uC-n ju ucu uieiciiung (ι; uucii gciütlücn, uäu uic iviciigc ucs
Körnern mit einer höheren Korngröße (mehr als 1 μπι)
etwa 7 Mol-% war, während die Yttriumoxidkonzentramonoklinen Zirkoniumoxids in der Keramik etwa
18 Mol-% betrug.
Menge des monoklinen Zirkoniumoxids in der Keramik
Intensität des monoklinen Systems (III)+ Intensität des monoklinen Systems (11Ϊ)
Intensität des kubischen Systems (111) + Intensität des monoklinen Systems (III) + Intensität des
monoklinen Systems (11 T)
Es wurde durch Untersuchung unter Verwendung einer Hochtemperaturröntgenkamera auch gefunden,
daß die Phasenumwandlungstemperatur vom monoklinen System zum kubischen System des Zirkoniumoxids
(die als eine Temperatur angenommen wurde, bei der die Menge des monoklinen Zirkoniumoxids auf die
Hälfte derjenigen bei Raumtemperatur reduziert wurde) etwa 9500C war.
Außerdem war der Wärmeausdehnungskoeffizient der erhaltenen Keramik etwa 85xl0-7/°C in einem
Bereich von Raumtemperatur bis 8000C.
Die gemäß diesem Beispiel erhaltene Keramik hatte eine hohe Wärmeschotfcbeständigkeit in einem weiten
Temperaturbereich aus den Gründen, daß die Aggregate der monoklinen Zirkoniumoxidkörner in den Spalten
und Zwischenräumen zwischen den Aggregaten der kubischen Zirkoniumoxidkörner vorliegen, daß die
korngrößen der kubischen Zirkoniumoxidkörner und der monoklinen Zirkoniumoxidkörner jeweils in einem
geeigneten Bereich liegen und daß die Phasenumwandlungstemperatur vom monoklinen System zum kubischen
System hoch Hegt. Auch wenn nämlich 10 Wiederholungen eines Testzyklus der Einwirkung einer
Gasflamme mit einer Flammentemperatur von 10500C auf das in Fig.2 dargestellte Meßfühlerelement mit
einem geschlossenen Ende während 30 s und der anschließenden Einwirkung der Luft bei Raumtemperatur auf das Element während 2 min (was einem
Wärmeschock von Raumtemperatur===^ 900° C und
40°C/s entspricht) durchgeführt wurden, beobachtete man überhaupt keinen Riß am Meßfühlerelement
Andererseits traten im Fall eines Meßfühlerelements,
das nur aus kubischer Zirkoniumoxidkeramik besteht, oder des Meßfühlerelements, das aus einer teilweise
stabilisierten, bei hoher Temperatur gebrannten Keramik besteht, wie sie bisher auf diesem Gebiet verwendet
wurden. Risse an den Keramiken nach einer oder zwei Runden dieses Testzyklus auf. Auch wenn das nach
diesem Beispiel hergestellte Meßfühlerelement auf 5000C erhitzt und in Wasser von 200C eingetaucht
wurde, beobachtete man überhaupt keine Risse an der Keramik.
r> In der erfindungsgemäßen Keramik wurden Aggregate
von kubischen Zirkoniumoxidkörnern niedrigen elektrischen Widerstandes in gegenseitigen Kontakt
gebracht, wie die Fig. 3 und 4 zeigen, und der elektrische Strom floß durch diese Aggregate, so daß
w der Widerstand der Keramik verhältnismäßig niedrig
war. Und zwar war der Widerstand bei 3000C (bei Verwendung einer Wechselstrombrücke bei 1 kHz)
200 kn ■ cm, der praktisch gleich dem eines bekannten
Meßfühlerelements war, das nur aus kubischem
4"i Zirkoniumoxid bestand.
Das erfindungsgemäße Meßfühlerelement hatte eine hohe mechanische Festigkeit, und auch wenn es an einer
Auspuffgasleitung eines Kraftfahrzeugmotors montiert und einem Lauftest von 100 OCO km ausgesetzt war,
>(> ergaben sich keine Probleme.
55 Zirkoniumoxid (Reinheit: 993%, Durchschnittskom- größe: 0,1 μιη) wurde mit verschiedenen Mengen von
Yttriumoxid (Reinheit: 99,9%, Durchschnittskorngröße: 3 μπι) vermischt und in einer Schwingmühle 10 h gerührt Dann wurde der erhaltenen Mischung eine wässerige Polyvinylalkohollösung zugesetzt, und die
Mischung wurde zu Rohren mit einem geschlossenen Ende nach einem Gummipreßverfahren geformt und an
Luft gebrannt
Die Eigenschaften der erhaltenen Keramiken die sich bei verschiedenen Yttriumoxidmengen unter variablen
Brennbedingungen ergaben, sind in der Tabelle 1 aufgeführt
Keramik | Y2O3- | Brenn- | Brenn | monoklines ZrO2 | Y2O3-Gehah (ΜοΓ/ο) darin |
(MoI0O) der Keramik |
kubisches ZrO2 | Y:O3-Gehalt (\!ol%) darm |
Widerstand | 1.5 M | Risse, wenn | Risse, wenn | K) !X) |
Nr. | Zusatz | temp. (C) |
dauer (h) |
Durchschnitts teilchengröße |
Durchschnitts teilchengröße |
bei 300 C (Li ■ cm) |
300 K | Wärrneschock einwirkt |
Schwingungs versuch durchgeführt |
!X) | |||
v.m) | <U,1 | 90 | Cm) | 16 | 200 K | wird | |||||||
1 | 2 | 1400 | 2 | 0,1 | 0,2 | 75 | 1 | 1OM | 150 K | - | - | K) | |
2 | 2 | 1500 | 1 | 0,4 | 1,2 | 60 | - | 5 M | - | - | - | OO | |
3 | 2 | 1600 | 1 | 2 | <0,01 | 73 | 5 | 1-4 | - | 100 K | ja | nein | |
4 | 4 | 1300 | I | 0,1 | 0,01 | 48 | 0,5 | 8 | 2.5 M | ,sn() K | nein | ja | |
5 | 4 | 1400 | 1 | 0,2 | 0,1 | 38 | 2 | 7 | 800K | 2UO K | nein | nein | |
6 | 4 | 1400 | 3 | 0,3 | U,3 | 30 | S | 6 | 600K | !UO K. | nein | nein | |
7 | 4 | 1500 | 1 | 0,5 | 0,8 | 25 | 5 | 6 | 600K | 3OK | nein | nein | |
8 | 4 | 1550 | 1 | 1 | 2 | 20 | 8 | - | 500 K | - | nein | nein | |
9 | 4 | 1800 | 1 | 5 | <0,()l | 56 | 15 | 14 | - | 7OK | ja | nein | |
10 | 6 | 1300 | 1 | 0,1 | 0.1 | 35 | 0.5 | IU | - | nein | ja | ||
11 | 6 | 1400 | 2 | 0,2 | 0.3 | 20 | 2 | 7 | 150K | nein | nein | ||
12 | 6 | 1500 | 1 | 0,5 | 1 | 12 | 7 | !UO K | nein | nein | |||
13 | 6 | 1550 | 1 | 1 | 2 | 5 | 10 | 6 | nein | nein | |||
14· | 6 | 1600 | 1 | 2 | - | 15 | ö | ja | nein | ||||
15 | 6 | 1800 | 1 | - | <0,01 | 42 | 20 | 14 | ja | nein | |||
16 | 8 | 1300 | 1 | 0,1 | 0,1 | 20 | 1 | IU | nein | ja | |||
17 | 8 | 1400 | 1 | 0,2 | 0,3 | 12 | 2 | nein | nein | ||||
18 | 8 | 1400 | 3 | 0,3 | 0,5 | 10 | 3 | 9 | nein | nein | |||
19 | 8 | 1500 | 1 | 0,5 | 1 | 5 | 5 | 8 | nein | nein | |||
20 | 8 | 1550 | 1 | 1 | - | - | 10 | 8 | ja | nein | |||
21 | 8 | 1600 | 1 | - | .0,1 | 5 | 8 | 10 | ja | nein | |||
22 | 10 | 1400 | 2 | 0,2 | - | IU | ja | ja | |||||
23 | 10 | 1500 | 1 | - | - | - | 7 | K) | ja | nein | |||
24 | 10 | 1600 | 1 | _ | 20 | ja | nein | ||||||
Das Wärmeschockversuchsergebnis in der Tabelle 1 wurde mittels Durchführung von 10 Wiederholungen
eines Zyklus erhalten, der das Auftreffen einer Gasflamme bei 10500C während 30 s und das Auftreffen
von Luft bei Raumtemperatur während 2 min vorsah, und das Schwingungsversuchsergebnis wurde mittels
Durchführung eines Schwingungsversuchs unter 6OG in 30 s erhalten.
Die Keramiken Nr. 5,6,7,8, 11,12,13,17,18 und 19 in
der Tabelle 1 fallen unter den Bereich gemäß der Erfindung und hatten eine gute Wärmeschockbeständigkeit sowie eine hohe mechanische Festigkeit, und
auch ihr Widerstand bei 300° C war verhältnismäßig niedrig, nämlich 80—800 kQ ■ cm. Besonders hatten die
Keramiken Nr. 11, 12, 13, 17, 18 und 19 mit einer la Yttriumo^idkonzentration von 7-10Mol-% im kubischen Zirkoniumoxid und mit 10—30 Mol-% monoklinem Zirkoniumoxid einen niedrigeren Widerstand, wie
z. B. 80-300 lcil · cm. Die Sauerstoffmeßfühlerkeramik
des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systems niit einem so
niedrigen Widerstand kann eine Niedrigtemperaturbetätigung durchmachen, da der elektrische Innenwiderstand der Meßfühierkeramik niedrig ist, und eine
Rückkopplungssteuerung kann vorteilhaft mit dieser Keramik auch im Leerlauf eines Kraftfahrzeugs oder
auch beim Starten mit einer niedrigen Auspuffgastemperatur vorgenommen werden, was ein besonderes
Problem bei der Auspuffgasbehandlung ist
eine größere Menge von monoklinen Zirkoniumoxidkörnern, und die Aggregate der kubischen Zirkoniumoxidkörner wiesen einen isolierten Zustand in den
monoklinen Zirkoniumoxidkörnern in den Keramiken auf, so daß diese Keramiken einen hohen Widerstand
hatten.
Die Keramiken Nr. 4,10 und 16 hatten eine niedrige
Yttriumoxidkonzentration im monokünen Zirkoniumoxid und wiesen so eine schlechte Sinterfähigkeit der
Keramiken auf. Risse traten an den Keramiken auf, wenn sie dem Schwingungsversuch unterworfen wurden.
Die Keramiken Nr. 3, 9, 14, 15, 20, 21, 22, 23 und 24
hatten eine niedrige Wärmeschockbeständigkeit, und Risse traten auli, wenn sie dem Wärmeschockversuch
unterworfen wurden, da die Yttriumoxidkonzentration im monoklinen 2'irkoniumoxid zu hoch war (Nr. 3,9 und
14), die Korngröße der monoklinen Zirkoniumoxidkörner zu groß war (Nr. 3, 9 und 14), die Menge der
monoklinen Zirkonrüir.oxidkörner zu gering war
(Nr. 14,15.20,21,22,23 und 24) bzw. die Korngröße der
kubischen Zirkoniumoxidkörner zu groß war (Nr. 9,14,
15und24). D . . , _,
Λ Beispiel 3
Zirkoniumoxid und Yttriumoxid wurden mit einem Mörser und einem Stößel 2 h gemischt, geformt und
gebrannt, wobei die Korngrößen der Ausgangsmaterialien variiert wurden. Die Ergebnisse sind in der Tabelle 2
aufgeführt
Keramik | Teilchen- | Y2O3 |
Zusatz
(Mo!%) |
Brennbedingungen | Menge des | Risse, wenn | Risse, wenn |
Nr. |
größe des
ZrO2 (μπι) |
Teilchen
größe (um) |
6 |
Temp. Dauer
(C) (h) |
monoklinen
ZrO2 in der Keramik (MoIV.) |
Wärmeschock
einwirkt |
Schwingungs
versuch durch geführt wird |
25 | 0,1 | 0,5 | 6 | 1400 | 20 | nein | nein |
26 | 0,1 | 0,5 | 6 | 1500 | 12 | nein | nein |
27 | 0,1 | 5 | 6 | 1400 | 45 | nein | nein |
28 | 0,1 | 5 | 6 | 1500 | 30 | nein | nein |
29 | 0,1 | 8 | 6 | 1500 | 55 | - | ja |
30 | 0,2 | 0,2 | 6 | 1400 | 8 | ja | - |
31 | 0,2 | 0,2 | 6 | 1500 | 5 | ja | nein |
32 | 0,2 | 0,5 | 6 | 1500 | 10 | nein | nein |
33 | 0,2 | 3 | 6 | 1500 | 18 | nein | nein |
34 | 0,5 | 0,2 | 6 | 1500 | 5 | ja | nein |
35 | 0,5 | 3 | 6 | 1500 | 20 | nein | nein |
36 | 0,5 | 5 | 6 | 1500 | 30 | nein | nein |
37 | 0,5 | 8 | 6 | 1500 | 55 | - | ja |
38 | 1,0 | 3 | 6 | 1500 | 20 | - | ja |
39 | 1,0 | 3 | 6 | 1550 | 12 | - | ja |
40 | 1,0 | 3 | 1600 | 5 | ja | nein | |
In der Tabelle 2 liegen die Keramiken Nr. 25, 26, 27,
28,32, 33, 35 und 36 im efiindüngsgemaßen Bereich und
hatten eine gute Wärmeschockbeständigkeit sowie eine gute mechanische Festigkeit.
Andererseits hatten die Keramiken Nr. 29 und 37 eine
höhere Korngröße der Yttriumoxidkörner, und die Keramiken Nr. 38 und 39 hatten eine zu hohe
Korngröße der Zirkoniumoxidkörner und daher eine schlechte Sinterfähigkeit der Keramiken und ein
Problem bezüglich der mechanischen Festigkeit.
Die Keramiken Nr. 30, 31, 34 und 40 hatten eine zu M) geringe Menge der monöklinen Zirkoniumoxidkörner
in den Keramiken und wiesen eine schlechte Wärmeschockbeständigkeit
auf.
Wie vorstehend beschrieben, wies die erfindungsgemäße Sauerstoffmeßfühlerkeramik eine hohe Wärme-Schockbeständigkeit,
eine hohe mechanische Festigkeit und einen Widerstand auf, der dem der bekannten, nur
aus den kubischen Zirkoniumoxidkörnern bestehenden Sauerstoffmeßfühlerkeramik gleich ist.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (6)
1. Sauerstoffmeßfühlerkeramik eines Festelektrolyten des Zirkoniumoxid-Yttriumoxid-Systems, da- ί
durch gekennzeichnet, daß sie Aggregate von kubischen Zirkoniumoxidkörnern (1) mit einer
Durchschnittsteilchengröße von 2— ΙΟμπι und Aggregate (3) von monoklinen Zirkoniumoxidkörnern
mit einer Durchschnittsteilchengröße von 0,2 -1 μίττ ίο
enthält, die Aggregate der kubischen Zirkoniumoxidkörner (1) im gegenseitigen Kontakt sind und
die monoklinen Zirkoniumoxidkörner als Aggregate (3) in Zwischenräumen zwischen den Aggregaten
der kubischen Zirkoniumoxidkörner(1) verteilt sind.
2. Sauerstoffmeßfühlerkeramik nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die kubischen Zirkoniumoxidkörner (1) eine Durchschnittsteilchengröße
von wenigstens dem 5fachen derjenigen der monolitischen Zirkoniumoxidkörner aufweisen.
3. Sauerstoffmeßkühlerkeramik nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Durchschnittsyttriumoxidkonzentration in monoklinen
Zirkoniumoxid im Bereich von 0,01 -1 Mol-% liegt.
4. Sauerstoffmeßfühlerkeramik nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die
Durchschnittsyttriumoxidkoczentration im kubischen Zirkoniumoxid im Bereich von 7 — 10 Mol-%
liegt.
5. Sauerstoffmeßfühlerkeramik nach einem der jo Ansprüche I bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die
Menge de;, monoklinen Zirkoniumoxids in der Keramik 10 bis 50 Mol-% rjf Basis der gesamten
Mischung beträgt
6. Verfahren zur Herstellung "iner Sauerstoffmeßfühlerkeramik nach einem der Ansprüche I bis 5,
dadurch gekennzeichnet, daß man Zirkoniumoxidpulver einer Korngröße von 0,1— 0,5 μιη mit 4 — 8
Mol-% Yttriumoxidpulver einer Durchschnittskorngröße von 0,5-5 μιη auf der Basis der gesamten -to
Mischung vermischt, die Mischung formt und die Mischung bei einer Temperatur von 1400—15500C
brennt.
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OD | Request for examination | ||
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8235 | Patent refused |