DE2746938A1 - Saures galvanisches kupferbad - Google Patents
Saures galvanisches kupferbadInfo
- Publication number
- DE2746938A1 DE2746938A1 DE19772746938 DE2746938A DE2746938A1 DE 2746938 A1 DE2746938 A1 DE 2746938A1 DE 19772746938 DE19772746938 DE 19772746938 DE 2746938 A DE2746938 A DE 2746938A DE 2746938 A1 DE2746938 A1 DE 2746938A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- acid
- liter
- polyalkylene glycol
- glycol ether
- component
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D3/00—Electroplating: Baths therefor
- C25D3/02—Electroplating: Baths therefor from solutions
- C25D3/38—Electroplating: Baths therefor from solutions of copper
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
- H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
- H05K3/24—Reinforcing the conductive pattern
- H05K3/244—Finish plating of conductors, especially of copper conductors, e.g. for pads or lands
Description
Die Erfindung betrifft ein saures galvanisches Kupferbad zur Abscheidung glänzender Kupferüberzüge, die insbesondere zur Verstärkung der Leiterbahnen von gedruckten Schaltungen geeignet sind.
Es ist seit langem bekannt, dass galvanischen Kupferbädern bestimmte organische Substanzen zugesetzt werden, um eine glänzende Abscheidung zu erzielen. Vielfach führen aber die Zusätze zur Verschlechterung der mechanischen Eigenschaften, insbesondere der Härte und Bruchelongation, sowie zu Passivitätserscheinungen, die eine nachfolgende Aktivierung für die Weiterbehandlung erforderlich machen. Außerdem verschlechtern viele Inhibitoren die Metallstreuung, so dass Risse an Bohrungen und Kanten entstehen, insbesondere wenn die Kupferschicht einer thermischen Behandlung, zum Beispiel an gedruckten Schaltungen beim Löten, ausgesetzt ist.
Die zahlreichen für diesen Zweck bereits bekannten Verbindungen, wie zum Beispiel Thioharnstoff, Thiohydantoin, Thiocarbaminsäureester oder Thiophosphorsäureester, besitzen jedoch keine praktische Bedeutung, da die Qualität der mit ihnen erhaltenen Kupferüberzüge, insbesondere die Härte und Bruchelongation, sehr schlecht ist. Auch Kombinationen dieser Ver-
bindungen mit anderen Zusätzen, wie zum Beispiel Äthylenoxyd-Additionsverbindungen oder Polyaminen, führten nicht zu befriedigenden Ergebnissen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Schaffung eines galvanischen Kupferbades, welches zur Abscheidung glänzender Kupferüberzüge und zur Verstärkung der Leiterbahnen von gedruckten Schaltungen ohne Rissbildung und mit hervorragender Bruchelongation geeignet ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein galvanisches Kupferbad gelöst, das gekennzeichnet ist durch einen Gehalt an
A) einem Säureamid der allgemeinen Formel
R-CO-NH[tief]2,
in der R einen aliphatischen oder aromatischen monomeren oder polymeren Kohlenwasserstoffrest bedeuten,
B) einer sauerstoffhaltigen, hochmolekularen Verbindung und
C) einer organischen Thioverbindung mit wasserlöslich machenden Gruppen.
Das erfindungsgemäße Bad ermöglicht in hervorragender Weise die galvanische Abscheidung von Kupferüberzügen mit besonders gleichmäßigem Glanz, die außerdem den überraschenden Vorteil einer guten Metallstreuung und einer ausgezeichneten Bruchelongation aufweisen. Die unter Verwendung des erfindungsgemäßen Bades abgeschiedenen Überzüge sind daher insbesondere zur
Verstärkung der Leiterbahnen von gedruckten Schaltungen geeignet.
Die im erfindungsgemäßen Bad enthaltenen Einzelkomponenten scheinen sich bei ihrer gemeinsamen Verwendung gegenseitig in ihrer Wirkung in dem gewünschten Sinne zu verstärken, da sie bei ihrer alleinigen Verwendung keine zufriedenstellenden Ergebnisse bringen.
Die im erfindungsgemäßen Bad enthaltenen Einzelkomponenten sind an sich bekannt und können in an sich bekannter Weise hergestellt werden.
In der folgenden Tabelle I sind Säureamide aufgeführt, die als Komponente A) Verwendung finden können. Außerdem enthält die Tabelle die bevorzugte Anwendungskonzentration dieser Verbindungen.
Tabelle I
Das Polyacrylsäureamid entspricht der allgemeinen Formel
in der n 0 oder eine ganze Zahl von 1 bis 40, vorzugsweise 0 oder 1 bis 16, bedeutet mit einem Molgewicht von 73 bis 1600, vorzugsweise von 600 bis 1000.
Die folgende Tabelle II enthält Beispiele für sauerstoffhaltige, hochmolekulare Verbindungen zur Verwendung als Komponente B) und deren bevorzugte Anwendungskonzentration:
Tabelle II
Die folgende Tabelle III enthält Beispiele für organische Thioverbindungen mit wasserlöslichen Gruppen zur Verwendung als Komponente C) und deren bevorzugte Anwendungskonzentration:
Tabelle III
Die Einzelkomponenten des erfindungsgemäßen Kupferbades können im allgemeinen vorteilhaft innerhalb folgender Grenzkonzentrationen im anwendungsfertigen Bad enthalten sein.
Säureamide (Komponente A):
0,001 - 20 g/Liter
vorzugsweise 0,01 - 1 g/Liter
Sauerstoffhaltige, hochmolekulare Verbindungen (Komponente B):
0,005 - 20g/Liter
vorzugsweise 0,02 - 5 g/Liter
Organische Thioverbindungen mit wasserlöslich machenden Gruppen (Komponente C):
0,0005 - 0,2 g/Liter
vorzugsweise 0,005 - 0,1 g/Liter
Die Grundzusammensetzung des erfindungsgemäßen Bades kann in weiten Grenzen schwanken. Im allgemeinen wird eine wässrige Lösung folgender Zusammensetzung benutzt:
Kupfersulfat (CuSO[tief]4 .5H[tief]2 O) 50 - 250 g/Liter,
vorzugsweise 60 - 80 g/Liter
Schwefelsäure 50 - 250 g/Liter,
vorzugsweise 180 - 220 g/Liter
Natriumchlorid 0,05 - 0,25 g/Liter,
vorzugsweise 0,06 - 0,1 g/Liter
Anstelle von Kupfersulfat können zumindest teilweise auch
andere Kupfersalze benutzt werden. Auch die Schwefelsäure kann teilweise oder ganz durch Fluoroborsäure, Phosphorsäure oder andere Säuren ersetzt werden. Das Bad kann auch chloridfrei hergestellt werden.
Außerdem können im Bad auch zusätzlich übliche Glanzbildner und/oder Netzmittel enthalten sein.
Zur Herstellung des erfindungsgemäßen Bades werden die Einzelkomponenten A, B und C der Grundzusammensetzung hinzugefügt.
Die Arbeitsbedingungen des Bades sind wie folgt:
pH-Wert: <1
Temperatur: 15 - 35°C, vorzugsweise 25°C
Stromdichte: 0,5 - 8 A/dm[hoch]2, vorzugsweise 2-4 A/dm[hoch]2
Elektrolytbewegung erfolgt durch Einblasen von sauberer Luft, so stark, dass die Elektrolytoberfläche in starker Wallung sich befindet.
Die folgenden Beispiele dienen zur Erläuterung der Erfindung:
Beispiel 1
Einem Kupferbad der Zusammensetzung
80 g/Liter Kupfersulfat (CuSO[tief]4 .5H[tief]2 O)
180 g/Liter Schwefelsäure konz.
0,08 g/Liter Natriumchlorid
werden als Glanzbildner
0,6 g/Liter Polypropylenglycol und
0,02 g/Liter 3-Mercaptopropan-1-sulfonsaures Natrium
zugegeben. Bei einer Elektrolyttemperatur von 30°C erhält man in der Hull-Zelle bei einer Stromdichte unterhalb 0,8 A/dm[hoch]2 glänzende Abscheidungen, bei einer Stromdichte unterhalb 0,8 A/dm[hoch]2 dagegen matte Abscheidungen.
Setzt man dem Bad
0,1 g/Liter Propionsäureamid oder
0,02 g/Liter Acrylsäureamid oder
0,04 g/Liter Benzoesäureamid oder
0,08 g/Liter Acetamid
zu, so ist der gesamte Stromdichtebereich auf dem Hull-Zellen-Prüfblech glänzend.
Beispiel 2
Einem Kupferbad folgender Zusammensetzung
60 g/Liter Kupfersulfat (CuSO[tief]4 .5H[tief]2 O)
220 g/Liter Schwefelsäure konz.
0,1 g/Liter Natriumchlorid
werden
4,0 g/Liter Nonylphenyol-polyglycoläther und
0,02 g/Liter N,N-Diäthyl-dithiocarbaminsäure-(kleines Omega-sulfopropyl)-ester, Natriumsalz
zugegeben.
Bei einer mittleren Stromdichte von 2 A/dm[hoch]2 wird eine gedruckte, nach der Additivtechnik verkupferte Schaltung 60 Minuten verstärkt. Hierbei zeigen sich um die Bohrlöcher matte abgeflachte Höfe, die nach dem Verzinnen deutlich Risse aufweisen.
Setzt man dem Bad außerdem 20 mg/Liter Polyacrylsäureamid mit dem mittleren Molekulargewicht von 660 g/mol zu, sind die Bohrlöcher - auch nach dem Verzinnen - einwandfrei.
Beispiel 3
Eine Kupferfolie von 40 µm, die aus folgendem Bad abgeschieden wurde
80 g/Liter Kupfersulfat (CuSO[tief]4 .5H[tief]2 O)
200 g/Liter Schwefelsäure konz.
0,06 g/Liter Natriumchlorid
und
0,4 g/Liter Oktanolpolyalkylenäther
0,01 g/Liter Di-n-propylthioäther-di-sulfonsäure, Dinatriumsalz
zeigt eine Bruchelongation von 18%. Nach Zugabe von 0,01 g/Liter Polyacrylsäureamid mit einem mittleren Molekulargewicht von 1.000 g/mol verbessert sie sich auf 22%. Bei insgesamt 0,025 g/Liter Polyacrylsäureamid ist eine Bruchelongation auf den optimalen Wert von 26% gestiegen. Weitere Zugaben verbessern hier den Wert der Bruchelongation nur noch unwesentlich.
Claims (8)
1. Saures galvanisches Kupferbad, gekennzeichnet durch einen Gehalt an
A) einem Säureamid der allgemeinen Formel
R-CO-NH[tief]2,
in der R einen aliphatischen oder aromatischen monomeren oder polymeren Kohlenwasserstoffrest bedeuten,
B) einer sauerstoffhaltigen, hochmolekularen Verbindung
und
C) einer organischen Thioverbindung mit wasserlöslich machenden Gruppen.
2. Saures galvanisches Kupferbad nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Gehalt an Acetamid, Propionsäureamid, Acrylsäureamid, Benzoesäureamid oder Polyacrylsäureamid als Komponente (A).
3. Saures galvanisches Kupferbad nach Ansprüchen 1 und 2, gekennzeichnet durch einen Gehalt an Polyacrylsäureamid der allgemeinen Formel
in der n 0 oder eine ganze Zahl von 1 bis 40, vorzugsweise 0 oder 1 bis 16, bedeutet mit einem Molgewicht von 73 bis 1600, vorzugsweise von 600 bis 1000, als Kompo-
nente (A).
4. Saures galvanisches Kupferbad nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Gehalt an Polyvinylalkohol, Carboxymethylcellulose, Polyäthylenglycol, Polypropylenglycol, Stearinsäure-Polyglycolester, Ölsäure-Polyglycolester, Stearylalkohol-Polyglycoläther, Nonylphenyl-Polyglycoläther, Oktanolpolalkylenglycoläther, Oktandiol bis (polyalkylenglycoläther) oder Polyoxypropylenglycol als Komponente (B).
5. Saures galvanisches Kupferbad nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch einen Gehalt an N,N-Diäthyl-dithiocarbaminsäure-(kleines Omega-sulfopropyl)-ester, Alkalisalz, Mercaptobenzthiazol-S-propansulfonsaures Alkali, 3-Mercaptopropan-1-sulfonsaures Alkali, Thiophosphorsäure-0-äthyl-bis-(kleines Omega-sulfopropyl)-ester, Alkalisalz, Thiophosphorsäure-tris-(kleines Omega-sulfopropyl)-ester, Alkalisalz, Isothiocyanopropylsulfonsaures Alkali, Thioglycolsäure, Äthylendithiodipropylsulfonsaures Alkali, Thioacetamid-S-propylsulfonsaures Alkali oder Di-n-propylthioäther-di-kleines Omega-sulfonsaures Alkalisalz als Komponente (C).
6. Saures galvanisches Kupferbad nach Ansprüchen 1 bis 5, gekennzeichnet durch einen Gehalt an 0,001 bis 20 g/Liter, vorzugsweise 0,01 bis 1 g/Liter, der Komponente (A), 0,005 bis 20 g/Liter, vorzugsweise 0,02 bis 5,0 g/
Liter, der Komponente (B) und 0,0005 bis 0,2 g/Liter, vorzugsweise 0,005 bis 0,1 g/Liter, der Komponente (C).
7. Saures galvanisches Kupferbad nach Ansprüchen 1 bis 6, gekennzeichnet durch einen zusätzlichen Gehalt an üblichen Glanzbildnern und/oder Netzmitteln.
8. Verfahren zur Abscheidung von glänzenden Kupferüberzügen, vorzugsweise zur Verstärkung der Leiterbahnen von gedruckten Schaltungen.
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19772746938 DE2746938A1 (de) | 1977-10-17 | 1977-10-17 | Saures galvanisches kupferbad |
US05/947,746 US4181582A (en) | 1977-10-17 | 1978-10-02 | Galvanic acid copper bath and method |
CH1066578A CH642686A5 (de) | 1977-10-17 | 1978-10-13 | Saures galvanisches kupferbad. |
JP53126287A JPS59596B2 (ja) | 1977-10-17 | 1978-10-16 | 酸性銅メツキ浴 |
FR7829381A FR2406009A1 (fr) | 1977-10-17 | 1978-10-16 | Bain de cuivrage electrolytique acide |
GB7840680A GB2009238B (en) | 1977-10-17 | 1978-10-16 | Acidic copper electrolyte |
SE7810754A SE447275B (sv) | 1977-10-17 | 1978-10-16 | Surt galvaniskt kopparbad samt anvendning av detsamma for utfellning av glensande kopparskikt |
IT28812/78A IT1099997B (it) | 1977-10-17 | 1978-10-17 | Bagno galvanico acido di rame |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19772746938 DE2746938A1 (de) | 1977-10-17 | 1977-10-17 | Saures galvanisches kupferbad |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2746938A1 true DE2746938A1 (de) | 1979-04-19 |
DE2746938C2 DE2746938C2 (de) | 1987-04-09 |
Family
ID=6021780
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19772746938 Granted DE2746938A1 (de) | 1977-10-17 | 1977-10-17 | Saures galvanisches kupferbad |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4181582A (de) |
JP (1) | JPS59596B2 (de) |
CH (1) | CH642686A5 (de) |
DE (1) | DE2746938A1 (de) |
FR (1) | FR2406009A1 (de) |
GB (1) | GB2009238B (de) |
IT (1) | IT1099997B (de) |
SE (1) | SE447275B (de) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3012168A1 (de) * | 1980-03-27 | 1981-10-01 | Schering Ag Berlin Und Bergkamen, 1000 Berlin | Verfahren zur galvanischen abscheidung von kupferniederschlaegen |
DE3240643A1 (de) * | 1982-11-04 | 1984-05-30 | LPW-Chemie GmbH, 4040 Neuss | Erzeugung von leiterbahnbeschichtungen und leitenden lochwandbeschichtungen auf bzw. in leiterplatten |
DE3836521A1 (de) * | 1988-10-24 | 1990-04-26 | Schering Ag | Waessriges saures bad zur galvanischen abscheidung von glaenzenden und rissfreien kupferueberzuegen und verwendung dieses bades |
US5433840A (en) * | 1991-08-07 | 1995-07-18 | Atotech Deutschland Gmbh | Acid bath for the galvanic deposition of copper, and the use of such a bath |
EP0785297A2 (de) | 1990-03-19 | 1997-07-23 | ATOTECH Deutschland GmbH | Wässriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung von glänzenden und rissfreien Kupferüberzügen und Verwendung dieses Bades |
DE19758121A1 (de) * | 1997-12-17 | 1999-07-01 | Atotech Deutschland Gmbh | Wäßriges Bad und Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Kupferschichten |
DE10337669A1 (de) * | 2003-08-08 | 2005-03-03 | Atotech Deutschland Gmbh | Wässrige, saure Lösung und Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Kupferüberzügen sowie Verwendung der Lösung |
WO2006094755A1 (en) | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Atotech Deutschland Gmbh | Polyvinylammonium compound, method of manufacturing same, acidic solution containing said compound and method of electrolytically depositing a copper deposit |
Families Citing this family (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4376685A (en) * | 1981-06-24 | 1983-03-15 | M&T Chemicals Inc. | Acid copper electroplating baths containing brightening and leveling additives |
WO1984001393A1 (en) * | 1982-09-30 | 1984-04-12 | Learonal Inc | Electrolytic copper plating solutions |
US4490220A (en) * | 1982-09-30 | 1984-12-25 | Learonal, Inc. | Electrolytic copper plating solutions |
AU554236B2 (en) * | 1983-06-10 | 1986-08-14 | Omi International Corp. | Electrolyte composition and process for electrodepositing copper |
AU559896B2 (en) * | 1983-06-10 | 1987-03-26 | Omi International Corp. | Electrolytic copper depositing processes |
DE3404267A1 (de) * | 1984-02-03 | 1985-08-08 | Schering AG, 1000 Berlin und 4709 Bergkamen | Verfahren zur vollautomatischen steuerung der galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen aus sauren kupferbaedern |
US4555315A (en) * | 1984-05-29 | 1985-11-26 | Omi International Corporation | High speed copper electroplating process and bath therefor |
US4673469A (en) * | 1984-06-08 | 1987-06-16 | Mcgean-Rohco, Inc. | Method of plating plastics |
US4948474A (en) * | 1987-09-18 | 1990-08-14 | Pennsylvania Research Corporation | Copper electroplating solutions and methods |
US4786746A (en) * | 1987-09-18 | 1988-11-22 | Pennsylvania Research Corporation | Copper electroplating solutions and methods of making and using them |
US4969979A (en) * | 1989-05-08 | 1990-11-13 | International Business Machines Corporation | Direct electroplating of through holes |
DE4032864A1 (de) * | 1990-10-13 | 1992-04-16 | Schering Ag | Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen und verfahren unter verwendung dieser kombination |
US5733429A (en) * | 1996-09-10 | 1998-03-31 | Enthone-Omi, Inc. | Polyacrylic acid additives for copper electrorefining and electrowinning |
US6024857A (en) * | 1997-10-08 | 2000-02-15 | Novellus Systems, Inc. | Electroplating additive for filling sub-micron features |
JP4793530B2 (ja) * | 2001-07-02 | 2011-10-12 | 上村工業株式会社 | 硫酸銅めっき浴 |
KR100389061B1 (ko) * | 2002-11-14 | 2003-06-25 | 일진소재산업주식회사 | 전해 동박 제조용 전해액 및 이를 이용한 전해 동박 제조방법 |
EP2568063A1 (de) * | 2011-09-09 | 2013-03-13 | Rohm and Haas Electronic Materials LLC | Kupfer-Elektroplattierverfahren mit geringer innerer Spannung |
CN107531859B (zh) | 2015-04-28 | 2020-02-14 | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 | 作为电镀浴添加剂的双酸酐与二胺的反应产物 |
CN107447237B (zh) * | 2016-05-30 | 2021-04-20 | 史莱福灵有限公司 | 具有降低的接触噪声的滑环 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3502551A (en) * | 1966-08-20 | 1970-03-24 | Schering Ag | Acid electrolyte for the deposition of bright,levelling copper coatings |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2798040A (en) * | 1955-09-15 | 1957-07-02 | Dow Chemical Co | Electrowinning of metals |
US2888390A (en) * | 1956-11-08 | 1959-05-26 | Anaconda Co | Electrolytic refining of copper |
US2954331A (en) * | 1958-08-14 | 1960-09-27 | Dayton Bright Copper Company | Bright copper plating bath |
US3287236A (en) * | 1964-02-14 | 1966-11-22 | Langbein Pfanhausen Werke A G | Electrodeposition of copper and solutions therefor |
US3804729A (en) * | 1972-06-19 | 1974-04-16 | M & T Chemicals Inc | Electrolyte and process for electro-depositing copper |
JPS5330279B2 (de) * | 1972-07-19 | 1978-08-25 | ||
JPS4931406A (de) * | 1972-07-20 | 1974-03-20 |
-
1977
- 1977-10-17 DE DE19772746938 patent/DE2746938A1/de active Granted
-
1978
- 1978-10-02 US US05/947,746 patent/US4181582A/en not_active Expired - Lifetime
- 1978-10-13 CH CH1066578A patent/CH642686A5/de not_active IP Right Cessation
- 1978-10-16 SE SE7810754A patent/SE447275B/sv not_active IP Right Cessation
- 1978-10-16 GB GB7840680A patent/GB2009238B/en not_active Expired
- 1978-10-16 JP JP53126287A patent/JPS59596B2/ja not_active Expired
- 1978-10-16 FR FR7829381A patent/FR2406009A1/fr active Granted
- 1978-10-17 IT IT28812/78A patent/IT1099997B/it active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3502551A (en) * | 1966-08-20 | 1970-03-24 | Schering Ag | Acid electrolyte for the deposition of bright,levelling copper coatings |
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3012168A1 (de) * | 1980-03-27 | 1981-10-01 | Schering Ag Berlin Und Bergkamen, 1000 Berlin | Verfahren zur galvanischen abscheidung von kupferniederschlaegen |
DE3240643A1 (de) * | 1982-11-04 | 1984-05-30 | LPW-Chemie GmbH, 4040 Neuss | Erzeugung von leiterbahnbeschichtungen und leitenden lochwandbeschichtungen auf bzw. in leiterplatten |
DE3836521A1 (de) * | 1988-10-24 | 1990-04-26 | Schering Ag | Waessriges saures bad zur galvanischen abscheidung von glaenzenden und rissfreien kupferueberzuegen und verwendung dieses bades |
EP0785297A2 (de) | 1990-03-19 | 1997-07-23 | ATOTECH Deutschland GmbH | Wässriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung von glänzenden und rissfreien Kupferüberzügen und Verwendung dieses Bades |
EP0785297A3 (de) * | 1990-03-19 | 1997-08-20 | Atotech Deutschland Gmbh | |
US5433840A (en) * | 1991-08-07 | 1995-07-18 | Atotech Deutschland Gmbh | Acid bath for the galvanic deposition of copper, and the use of such a bath |
DE19758121A1 (de) * | 1997-12-17 | 1999-07-01 | Atotech Deutschland Gmbh | Wäßriges Bad und Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Kupferschichten |
DE19758121C2 (de) * | 1997-12-17 | 2000-04-06 | Atotech Deutschland Gmbh | Wäßriges Bad und Verfahren zum elektrolytischen Abscheiden von Kupferschichten |
DE10337669A1 (de) * | 2003-08-08 | 2005-03-03 | Atotech Deutschland Gmbh | Wässrige, saure Lösung und Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Kupferüberzügen sowie Verwendung der Lösung |
DE10337669B4 (de) * | 2003-08-08 | 2006-04-27 | Atotech Deutschland Gmbh | Wässrige, saure Lösung und Verfahren zum galvanischen Abscheiden von Kupferüberzügen sowie Verwendung der Lösung |
WO2006094755A1 (en) | 2005-03-11 | 2006-09-14 | Atotech Deutschland Gmbh | Polyvinylammonium compound, method of manufacturing same, acidic solution containing said compound and method of electrolytically depositing a copper deposit |
US8114263B2 (en) | 2005-03-11 | 2012-02-14 | Atotech Deutschland Gmbh | Polyvinylammonium compound, method of manufacturing same, acidic solution containing said compound and method of electrolytically depositing a copper deposit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
SE7810754L (sv) | 1979-04-18 |
DE2746938C2 (de) | 1987-04-09 |
GB2009238A (en) | 1979-06-13 |
FR2406009B1 (de) | 1982-06-11 |
FR2406009A1 (fr) | 1979-05-11 |
CH642686A5 (de) | 1984-04-30 |
IT1099997B (it) | 1985-09-28 |
SE447275B (sv) | 1986-11-03 |
JPS5464025A (en) | 1979-05-23 |
IT7828812A0 (it) | 1978-10-17 |
JPS59596B2 (ja) | 1984-01-07 |
US4181582A (en) | 1980-01-01 |
GB2009238B (en) | 1982-05-26 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2746938A1 (de) | Saures galvanisches kupferbad | |
AT395603B (de) | Waessriges saures bad zur galvanischen abscheidung von glaenzenden und rissfreien kupferueberzuegen und verwendung dieses bades | |
DE4126502C1 (de) | ||
DE2255584C2 (de) | Saures Kupfergalvanisierbad | |
EP0862665A1 (de) | Verfahren zur elektrolytischen abscheidung von metallschichten | |
DE19653681A1 (de) | Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Kupferschichten mit gleichmäßiger Schichtdicke und guten optischen und metallphysikalischen Eigenschaften | |
DE1621046B2 (de) | Verfahren zur elektrolytischen Herstellung von Weißblech | |
DE1496917A1 (de) | Elektrolytbaeder sowie Verfahren fuer die Herstellung galvanischer UEberzuege | |
DE2950628A1 (de) | Waessriges galvanisches zinkbad | |
DE2830441A1 (de) | Waessriges bad zur galvanischen abscheidung von zink und dessen verwendung | |
DE3628361A1 (de) | Waessriges saures bad und verfahren zur galvanischen abscheidung von zinklegierungsueberzuegen | |
DE3223698A1 (de) | Bad fuer die galvanische abscheidung einer nickelhaltigen schicht fuer einen mehrschichtigen ueberzug und verfahren zur galvanischen abscheidung eines dreischichtigen nickelueberzugs unter verwendung dieses bades | |
DE1521029B2 (de) | Saures galvanisches Glanzzinkbad | |
DE602004011520T2 (de) | Wässrige, saure lösung und verfahren zur elektrolytischen abscheidung von kupferüberzügen sowie verwendung der lösung | |
EP0785297B1 (de) | Wässriges, saures Bad zur galvanischen Abscheidung von glänzenden und rissfreien Kupferüberzügen und Verwendung dieses Bades | |
DE2459428A1 (de) | Verfahren zum elektrolytischen aufbringen eines zinnueberzugs auf ein eisensubstrat | |
DE1941487A1 (de) | Stoffzusammensetzungen und Verfahren zum Verzinken von metallischen Werkstuecken | |
DE4032864A1 (de) | Saures bad zur galvanischen abscheidung von kupferueberzuegen und verfahren unter verwendung dieser kombination | |
DE3228911C2 (de) | ||
DE1952218A1 (de) | Verfahren und Mittel zum galvanischen Verzinnen | |
DE3705949C2 (de) | ||
DE2948999C2 (de) | Wässriges, saures Bad zur galvanischen Abscheidung von Gold und Verfahren zur galvanischen Abscheidung von Hartgold unter seiner Verwendung | |
DE2333096B2 (de) | Galvanisch aufgebrachter mehrschichtiger Metallüberzug und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE1496916C (de) | tS-dräüt-r-eies, gaViaräBcYies i>a& utiö Verfahren zum Abscheiden galvanischer über züge | |
DE2256025C2 (de) | Wäßriges saures Bad zur galvanischen Abscheidung von Zinn/Blei-Legierungsniederschlägen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8327 | Change in the person/name/address of the patent owner |
Owner name: ATOTECH DEUTSCHLAND GMBH, 10553 BERLIN, DE |