DE3012168A1 - Verfahren zur galvanischen abscheidung von kupferniederschlaegen - Google Patents

Verfahren zur galvanischen abscheidung von kupferniederschlaegen

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DE3012168A1 DE19803012168 DE3012168A DE3012168A1 DE 3012168 A1 DE3012168 A1 DE 3012168A1 DE 19803012168 DE19803012168 DE 19803012168 DE 3012168 A DE3012168 A DE 3012168A DE 3012168 A1 DE3012168 A1 DE 3012168A1
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Description

SCHERING AG Gewerblicher Rechtsschutz
*"■■ ' ■ ' ' Berlin,den 2k. März I98O
VERFAHREN ZUR GALVANISCHEN ABSCHEIDUNG VON KUPFERNIEDERSCHLÄGEN
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur galvanischen Abscheidung von glänzenden und duktilen Kupferniederschlägen aus sauren Kupferbädern, deren Metallgehalt während der Abscheidung unverändert bleibt.
Saure Kupferbäder werden üblicherweise mit löslichen Anoden aus Kupfer betrieben. Diese werden in Form von Knüppeln, Stangen oder auch von Granulat oder Stücken in Körben in das Bad gehängt und geben bei anodischer Schaltung entsprechend der Strommenge nach dem Faradayschen Gesetz mit annähernd 100%iger Ausbeute Kupferionen an den Elektrolyten ab. Hierbei hat es sich gezeigt, daß es sinnvoll ist, dem Kupfer Phosphor in geringen Mengen zuzulegieren, damit die Anoden sich durch Ausbildung eines gleichmäßigen Anodenfilms besser auflösen und keine passiven Stellen zeigen.
Derartige Kupferbäder insbesondere mit einem Gehalt an organischen Thioverbindungen finden vorwiegend zur galvanischen Abscheidung von glänzenden und duktilen Kupferniederschlägen Verwendung. Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet ist die Verstärkung der Leiterbahnen von gedruckten Schaltungen.
— 2 —
130040/0847
s: Dr. Eduard v. Schwartzkoppen Berliner Commerzbank AQ. Berlin, Konto-Nr. 108 7006 00. Bankleitzahl 100 400
Sitz der Gesellschaft: Berlin und Bergkamen Berliner Disconto-Bank AG. Berlin, Konto-Nr. 241/5008. Bankleitzahl 100 700 Handelsregister: AG Charlottenburg93 HRB283 u. AG Kamen HRB0061 Berliner Handels-Gesallschaft - Frankfurter Bank -, Berlin, Konto-Nr. 14-362, Bankleitzahl 10020200
5C3 GC IV «SSO
SCHERING AG
(ι Gewerblicher Rechtsschutz
Saure Kupferbäder haben, jedoch ganz allgemein den Nachteil, daß insbesondere bei hohen Säurekonzentrationen außer der anodischen Auflösung der Anoden auch eine chemische Auflösung erfolgt, wodurch sich der Kupfergehalt im Bad stark erhöht. Diese Bäder müssen daher aufwendig überwacht und von Zeit zu Zeit verdünnt werden, da diese hohe Kupferkonzentration eine mangelhafte Streuung des Kupferniederschlags und sogar ein Reißen der Leiterbahnen gedruckter Schaltungen bei thermischer Beanspruchung verursachen kann.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist daher die Entwicklung eines Verfahrens, welches die galvanische Abscheidung von glänzenden und duktilen Kupferniederschlägen aus sauren Kupferbädern ohne Änderung des Metallgehaltes erlaubt.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch ein Verfahren der bezeichneten Art gelöst, das dadurch gekennzeichnet ist, daß inerte Anoden aus Edelmetall, Edelmetall-Legierungen oder deren Verbindungen gemeinsam mit löslichen Anoden verwendet werden.
Besondere Ausführungsformen dieses Verfahrens bestehen darin, daß inerte Anoden aus Platin,Iridium» Rhodium, Palladium, Gold, Ruthenium, Rhenium, deren Legierungen, Oxide oder Carbide ver-
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Vorstand: Or. Herbert Asmls · Dr. Christian Brunn ■ Hans-Jürgen Hamann Postanschrift: SCHERINQ AG · D-1000 Berlin G5 · Postfach 65 0311 Dr. Heinz Hannse · Karl Otto Mittelstenscheid · Dr. Horst WiUeI Postscheck-Konto: Berlin-West 1175-101. Bankleltzahl 10010010
Vorsitzender des Aufsichtsrats: Or. Eduard v. Schwartzkoppen Beritner Commerzbank AG, Berlin, Konto-Nr. 108 700600, Bankleitzahl 100 400 Sitz der Gesellschaft: Berlin und Bergkamen Berliner Disconto-Bank AQ, Berlin, Konto-Nr. 241/5008. Bankleitzahl 100 700 Handelsregister: AQ Charlottenburg S3 HRB 283 u. AG Kamen HRB 0061 Berliner Handels-Gesellschaft - Frankfurter Bank -. Berlin, Konto-Nr. 14-362, Bankleitzahl 10020200
Sd GC IV 425S0
. ^ SCHERING AG
£Τ- _ Gewerblicher Rechtsschutt
wendet werden,
daß Anoden verwendet werden, bei denen das Verhältnis der geometrischen Flächen von inerter zu löslicher Anode von 1 : 1 bis 1 : 200, vorzugsweise von 1 : 5 his 1 : 20, beträgt,
daß die inerte Anode zusätzlich mit einem Potential versehen wird,
daß saure Kupferbäder enthaltend organische Thioverbindungen verwendet werden.
Während der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens bleibt der Metallgehalt des Kupferbades überraschenderweise praktisch konstant, was besonders vorteilhaft ist. So eignet sich dieses Verfahren mit besonderem Vorteil zur Verstärkung der Leiterbahnen von gedruckten Schaltungen, die thermisch hoch belastbar sind.
Weitere Vorteile bestehen darin, daß die Bäder geringere Anteile an Glanzzusatz benötigen, da der Verbrauch sich bis zu 60% verringert, und daß die in der Praxis häufig erforderliche Oxidation zum Aktivieren der Inhibitoren oder zum Zerstören der Zersetzungsprodukte entfallen kann. Es wurde außerdem gefunden, daß die Makrometallstreuung sogar verbessert werden kann.
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Vorstand: Or. Herbert Asml« · Dr. Christian Bruhn · Hans-JOrgen Hamann Postanschrift: SCHERING AG · D-1000 Berlin 65 · Postfach 65 0311 Dr. Heinz Hannse · Karl Otto Mittelstenscheld · Dr. Horst Wltzel Postscheck-Konto: Berlin-West 1175-101. Bankleitzahl 10010010 Vorsitzender des Aufsichtsrats: Dr. Eduard v. Schwartzkoppen Berliner Commerzbank AG, Berlin, Konto-Nr. 108 7006 00. Bankleitzahl 100 400 Sitz der Gesellschaft: Berlin und Bergkamen Berliner Disconto-Bank AG, Berlin, Konto-Nr.241/5008, Bankleitzahl 100700OQ Handelsregister: AQ Charlottenburg 93 HRB 283 u. AG Kamen HRB 0061 S^1'"" "f™*8"^^,"i?!? ^Fiä?Hurter Bank ~· Berlin· Konto-Nr. 14-362. Bankleitzahl 100 20200
- y- SCHERING AG
r Gewerblicher Rechtsschutz
Als inerte Anoden, die gemeinsam mit löslichen Kupferanoden erfindungsgemäß verwendet werden, sind solche aus Edelmetall, Edelmetall-Legierungen oder deren Verbindungen zu verstehen.
Insbesondere sind beispielsweise zu nennen, Anoden aus Platin, Iridium, Rhodium, Palladium, Gold (Feingold), Ruthenium, Rhenium, deren Legierungen, Oxide und Carbide. Diese Metalle, ihre Legierungen und Verbindungen können auch auf inerten Trägerwerkstoffen zweckmäßigerweise in dünnen Schichten aufgetragen werden, wie zum Beipsiel auf Magnetit, Titan, Graphit, Blei oder Tantal.
Es wurde weiterhin gefunden, daß das Bad bei der Durchführung des erfindungen amäßen Verfahrens optimale Eigenschaften entfaltet, wenn das Verhältnis der geometrischen Flächen von inerter zu löslicher Anode von 1 : 1 bis 1 : 200, vorzugsweise von 1 : 5 bis 1 : 20, beträgt.
Unter geometrischer Fläche wird hierbei diejenige Fläche verstanden, die man aus dem Produkt von Länge mal Breite der Seiten der Anoden erhält, die der Kathode zugewandt sind, wobei Mikrounebenheiten bei der Berechnung nicht berücksichtigt werden.
Es hat sich überraschenderweise gezeigt, daß man den Flächenanteil von inerter Anode sogar bis auf 1% der geometrischen Gesamtanodenflache verringern kann, wenn die Anoden separat
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Vorstand: Or. Herbert Asmis - Dr.Christian Bruhn ■ Hans-Jürgen Hamann Postanschrift: SCHERING AG ■ D-1000 Berlin 65 · Postfach 650311 Dr. Heinz Hannse · Karl Otto Mittelstenscheld · Dr. Horst Witzel Postscheck-Konto: Berlin-West 1175-101, Bankleitzahl 10010010 Vorsitzender des Aufsichtsrats: Dr. Eduard v. Schwartzkoppen Berliner Commerzbank AG, Berlin, Konto-Nr. 108 7006 00, Bankleitzahl 100 400
Berliner Dlsconto-Bank AG, Berlin, Konto-Nr. 241/5008, Bankleitzahl 100 700 ι,, AA \£*mmr\ uoDnruH Berliner Handels-Geseliscriaft — Frankfurter Bank —, Berlin.
_ „_ SCHERING AG
Gewerblicher Rechtsschutz
angesteuert werden. Dies gelingt mittels einer zusätzlichen Gleichstromquelle, welche die Oxidationskraft selektiv regelt und die erforderliche Fläche der inerten Anode überschenderweise reduziert. Hierdurch wird die inerte Anode zusätzlich mit einem anodischen Potential versehen, so daß sie noch positiver als die lösliche Kupferanode geladen ist.
Als saure Kupferbäder können solche üblicher Zusammensetzung verwendet werden.
Im allgemeinen wird ein wäßriges Bad folgender Zusammensetzung benutzt:
Kupfersulfat (CuSO^.5H3O) 50 - 250 g / Liter,
vorzugsweise 60 - 80 g / Liter
Schwefelsäure 50 - 25O g / Liter,
vorzugsweise I80 - 220 g / Liter,
Natriumchlorid 0,05 - Oi25 g / Liter,
vorzugsweise 0,06 - 0,1 g / Liter.
Anstelle von Kupfersulfat können zumindest teilweise auch andere Kupfersalze benutzt werden. Auch die Schwefelsäure kann teilweise oder ganz durch Fluoroborsäure, Phosphorsäure oder andere Säuren ersetzt werden. Das Bad kann auch chloridfrei hergestellt werden.
Außerdem können im Bad auch zusätzlich übliche Glanzbildner und/oder Netzmittel enthalten sein.
1?O0A0/08A7
Vorstand: Dr. Herbert Asmls ■ Dr. Christian Brunn ■ Hans-JGrgen Hamann Postanschrift: SCHERINQ AQ · D-1O0O Berlin 65 · Postfach 9S0311 Dr. Heinz HMWse · Karl Otto Mltteistenseheid · Dr. Horst Wltzel Postscheck-Konto: Berlin-West 1175-101, Bankleitzahl 10010010
Vorsitzender des Aufsichtsrats: Dr. Eduard v. Schwartzkoppen Berliner Commerzbank AQ, Berlin, Konto-Nr. 108 7006 00. BanMeitzahl 100 400 SIU der Gesellschaft: Berlin und Bergkamen ier!iner DIsconto-Bank AQ. Berlin. Konto-Nr. 241/5008. Bankleitzahl 100 700 Handelsregister: AG Charlottenburg93 HRB283 u. AQ Kamen HRB0081 KwIoSr iJS^BeSdetaaW IM 20200 "'
5C3 GC IV 42SiO
SCHERING AG
_§ — Gewerblicher Rechtsschutz
Die Arbeitsbedingungen des Bades sind wie folgt: pH-Wert: <1
Temperatur: 15 - 35° C, vorzugsweise 25 C
Kathodische „ 2
Stromdichte: 0,5-8 A/dm , vorzugsweise 2-4 A/dm . Elektrolytbewegung erfolgt durch Einblasen von sauberer Luft, so stark, daß die Elektrolytoberfläche in starker Wallung sich befindet.
Besonders vorteilhaft lassen sich indessen saure Kupferbäder verwenden, welche organische Thioverbindungen als Zusätze enthalten, in denen der Schwefel formal zwei-, vier- und/oder sechswertig oder polymer sein kann. Es hat sich nämlich gezeigt, daß diese schwefelhaltigen Inhibitoren durch die gemeinsame Verwendung von inerten und löslichen Anoden in einem optimalen Redoxgleichgewicht gehalten werden. Diese Einstellung des Redoxgleichgewichts ist von herausragender Bedeutung, wenn die Anodenfläche im Vergleich zur Kathodenfläche sehr groß ist.
Als organische Thioverbindungen lassen sich vorzugsweise die folgenden verwenden:
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Vorstand: Dr. Herbart Asmis - Dr. Christian Brunn - Hans-Jürgen Hamann Postanschrift: SCHERING AQ ■ D-1000 Berlin 65 ■ Postfach 85 0311 Dr. Heinz Hannse · Karl Otto Mlttelstenscheid · Dr. Horst Witzel Postscheck-Konto: Berlin-West 1175-101, Bankleitzahl 10010010
Vorsitzender des Aufsichtsrats: Dr. Eduard v. Sdiwartzkoppen Berliner Commerzbank AG. Berlin. Konto-Nr. 108 7006 00, Bankleitzahl 100 400 Sitz der Gesellschaft: Berlin und Bergkamen Berliner Dlsconto-Bank AG, Berlin. Konto-Nr. 241/5008. Bankleitzahl 100 700 Handelsregister: AG Charlottenburg 93 HHB 283 u. AG Kamen HRB 0061 Berliner Handels-Sesellschaft - Frankfurter Bank -, Berlin, Konto-Nr. 14-362, Bankleitzahl 100 202 00
SC3 GC IV 45S0
-Q-
SCHERING AG Gewerblicher Rechtsschutz
3Q12168
Organische Thioverbindungen
bevorzugte Konzentration g / Liter
N,N-Diäthyl-dithiocarbaminsäure-^- sulfopropyl)-ester Natriumsalz
Mercaptobenzthiazol-S-propansulfonsaures Natrium
3-Mercaptopropan-l-sulfonsaures Natrium
Thiophosphorsäure-O-äthyl-bis-(a/-sulfopropyl) -ester,Dinatriumsalz
Thiophosphorsäure-tris- C^-sulf opropyl)-ester, Trinatriumsalz
Isothiocyanopropylsulfonsaures Natrium
Thioglycolsäure
Athylendithiodipropylsulfonsaures Natrium
Thioacetamid-S-propylsulfonsaures Natrium™
Di-n-propylthioäther-di-frf-sulfonsäure, Dinatriumsalz
0,01 - 0,1
0,02 - 0,1 0,005 - 0,1 0,01 - 0,15
0,02 - 0,15 0,05 - 0,2
0,001 - 0,003 0,01 - 0,1
0,005 - 0,03 0,01 - 0,1
!30040/0847
I '|ilantw'irSen Hamtnn Postanschrift: SCHERING AQ · D-1000 Berlin 65 · Postfach 650311
... . „ „ ^Dr. Eduard ν. Schwartzkoppmi Berliner Commerzbank AQ, Berlin, Kont'o-Nr. 106 7006 00. Bankleitzahl 10040000
SIU der Gesellschaft: Berlin und Bergkamen Berliner Dlsconto-Bank AG. Berlin. Konto-Nr. 241/5006. Bankleitzahl 100 700 00 Handelsregister: AG Charlottenburg 93 HRB 233 u. AG Kamen HRB 0061 Berliner Handels-Gesellschaft - Frankfurter Bank -, Berlin, Konto-Nr. 14-362, Bankleitzahl 100 202 00
SCHERINGAG
Gewerblicher Rechtsschutz
Die Verwendung von Inhibitoren auf Basis selenhaltiger Verbindungen jeweils allein oder in Mischung mit den Thioverbindungen ist ebenfalls möglich.
Die folgenden Beispiele dienen zur Erläuterung der Erfindung .
Beispiel 1
Zum Betreiben eines 10 Liter Kupferbädes wurden zwei Kupferplatten mittels einer Anodenschiene verbunden und als Anode geschaltet. Die geometrische Fläche beider
ο
zur Kathode betrug ca. k,0 dm . Als Kathode wurde eine
2 Leiterplatte mit einer geometrischen Fläche von 0,5 dm verwendet, lie Zusammensetzung des Kupferelektrolyten betrug
80 s / 1 Kupfersulfat (CuSO^ . 5 H0O) l80 g / 1 Schwefelsäure konz. und 0,08 g / 1 Natriumchlorid.
Als Glanzbildner wurden
0,6 g / 1 Polypropylenglykol (A) und 0,02 g / 1 3-Mercaptopropan-l-sulfonsäure, Natriumsalz (B) zugegeben.
Der Verbrauch an Verbindung (B) wurde durch Hull-Zellen-Prüfungen ermittelt, der Metallanstieg mittels Analyse be-
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Vorstand: Or. Herbert Asmis · Dr. Christian Bruhn ■ Hans-Jürgen Hamann Postanschrift: SCHERINQ AQ ■ D-1000 Berlin 65 · Postfach 850311 Dr. Heinz Hanns· · Karl Otto Mlttelstenscheld · Dr. Horst Witzel Postscheck-Konto: Berlin-West 1175-101. Bankleitzahl 10010010
Vorsitzender des Aufsichtsrats: Dr. Eduard v. Schwartzkoppen Berliner Commerzbank AG, Berlin, Konto-Nr. 108 7006 00, Bankleitzahl 100 400 OO Sitz dar Qasellschaft: Berlin und Bergkamen Berliner Disconto-Bank AG. Berlin, Konto-Nr. 241/5008, Bankleitzahl 100 700 Handalsreflister: AQ Charlottenbure83 HRB283 u. AG Kamen HRB0061 Konto-Ti^iiie^^nkiefuah?ϊά)202Οθ"ΓίβΓ Β"η*"' Β*Γ"Π"
SC3 cc ιν «mo
SCHERING AG
- 4 A — Gewerblicher Rechtsschutz
stimmt.
Die Abscheidung war leicht verschleiert, im niedrig3*BÄr. Bereich der Stromdichte matt.
Nun wurde dieser Versuch wiederholt unter zusätzlicher Verwendung zweier Platten aus platiniertem Titanstreckmetall als inerte Anode. Diese Platten vrurden an der gleichen Anodenschiene so befestigt, daß sich auf jeder Seite der Wanne je ein Streifen platiniertes Titan und eine Kupferplatte befanden.
Der prozentuale Anteil der inerten Anöde zur geometrischen Gesamtanodenoberfläche betrug 10%. Man erzielte folgende Ergebnisse:
% Anteil inerte Anode Verbrauch an Metallanstieg (+) zur Gesamtanoden- Verbindung Metallabfall (-)
fläche B pro 10 000 Ah in g/Liter
in g 10.000 Ah
0 3,0 + 11
10 1,2 ίο
Bei zusätzlicher Verwendung der inerten Anode war eine deutliche Abschwächung der matten Zone erkennbar, die sonst nur durch Natriumpersulfat entfernt werden kann.
Diese Ergebisse zeigen, daß die erfindungsgemäße gleich-
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13ÜÜ4Q/0847
s: Dr. Eduard v. Sehwartzkoppen Berliner Commerzbank AQ, Berlin, Konto-Nr. 108 7008 OD. Bankleitzahl 100 «0
Sitz der Geseilschaft: Berlin und Bergkamen Berliner Dlsconto-Bank AQ, Berlin, Konto-Nr. 241/5008, Bankleitzahl 100 700 Handelsregister: ΑΘ Charlotten bürg 93 HRB 283 u. AQ Kamen HRB 0061 Berliner Handels-Qesellschaft - Frankfurter Bank -. Berlin, Konto-Nr. 14-362. Bankleitzahl 10020200
SCHERING AG
_- ή ^ „ Gewerblicher Rechtsschutz
zeitige Verwendung von inertem Edelmetall und löslichen Kupferanoden eine starke Reduzierung des Verbrauchs an organischer ThiοVerbindung hervorruft und ein Anstieg der Metallionenkonzentration nicht mehr zu beobachten war. Außerdem wurde ein Einsatz von Oxidationsmitteln vermieden.
Beispiel 2
Analog wie im Beispiel 1 wurden zwei -Kupferanodenverwendet, diesmal gemeinsam mit einer Feingoldanode als inerter Anode. Diese war jedoch nicht mittels einer Anodenschiene mit den Titankörben verbunden, sondern vielmehr mit einem zusätzlichen anodischen Potential belastet, so daß sie noch positiver geladen war als die Kupferanoden. Das zusätzliche Potential!", wurde durch einen zweiten Gleichrichter erzielt. Hierbei betrug das Flächenverhältnis 2% zur geometrischen Gesamtanodenflache. Das Potential der Feingoldanode wurde zunächst so geregelt, daß die Sauerstoffabscheidung gerade sichtbar wurde. Dann mußte das Potential um etwa 10 - 20% verringert werden, um die besten Ergebnisse zu erzielen.
Das Potential zwischen Kathode und Kupferanode betrug 1,4 Volt, das zwischen beiden Anoden 0,6 Volt.
Der Verbrauch lag, obwohl der Anteil der inerten Anode an
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Vorstand: Dr. Herbert Asmis -Dr. Christian E;uhn -Hans-Jürgen Hamann Postanschrift: SCHEHING AG · D-1009 Bariin 65 · Pastfach 650311 Dr. HeIn2 Hanns« · Karl Otto M.tielstenschmd ■ Dr. Horst W.tzel Postscheck-Konto: Berlin-West 1175-181. Banklefeahl 10010010
/ersitzender des AufEichtsrets: Or. Eduard v. Schwartzkoppan Berliner Commerzbank AG. Berlin, Ksnio-Nr. 106 TSX 00, Bankleitzahl 100 400
Sitz der Gesellschaft: Berlin und Bcrgkamaii Berliner Disconto-BankAG. Berlin, Kcnto-Nr. 241/5S03. Bankieiteahl 100 700
Handelsregister: AG Chariottenburg 'J3 HRS 233 u. AG Kamen HRB 0061 Berliner Handels-Gesellschaft - Frankfurter Bank -, Berlin,
Konto-Nr. 14-362, Bankleitzeh! 1GG 232 OD
5C3 GC IV
SCHERINGAG
_. /1 O Gewerblicher Rechtsschutz
der geometrischen Gesamtanodenflache nur 2% betrug, bei 1, k g Verbindung (B) pro 10 ooo Ah. Es wurde kein Metallanstieg festgestellt. Das Ergebnis zeigt, daß mittels eines zusätzlichen Potentials die" ^rj?örd($rliche inerte Anodenfläehe verringert werden kann, was bei Edelmetallanoden äußerst kostensparend ist. Die anderen Vorteile des erfindungsgemäßen Verfahrens bleiben dessenungeachtet voll erhalten.
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BhD GRrGbV^L
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Vorstand: Dr. Herbert Asm is - Dr. Christian Brunn · Hans-Jürgen Hamann Postanschrift: SCHERING AQ · D-1000 Berlin 65 · Postfach 65 0311 Dr. Heinz Hannse · Karl Otto Mittelstenscheid · Dr. Horst Witzel Postscheck-Konto: Berlin-West 1175-101, Bankleitzahl 10010010 Vorsitzender des Aufsichtsrats: Dr. Eduard v. Schwanzkoppen Berliner Commerzbank AQ. Berlin, KoMo-Nr. 108 7006 00. Bankleitzahl 100 400 Sitz der Gesellschaft: Berlin und Berqkamen Berliner Disconto-Bank AG. Berlin, Konto-Nr. 241/5008. Bankleitzahl 100 700 Handelsregister: AG Charlottenburg 93 HRB 283 u. AG Kamen HRB 0061 gerline/, Hf?ϊ!?ίe?,"??t? ^F^,nJSiUrter Bank "' ΒβΓΐ'η'
KontO-Nr. 14-362, BanKleitZSnl 100 202 w

Claims (1)

  1. SCHERING AG
    Gewerblicher Rechtsschutz
    Patentansprüche
    1. Verfahren zur galvanischen Abscheidung von glänzenden und duktilen Kupferniederschlägen aus sauren Kupferbädern, deren Metallgehalt während der Abscheidung unverändert bleibt, dadurch gekennzeichnet, daß inerte Anoden aus Edelmetall, Edelmetall-Legierungen oder deren Verbindungen gemeinsam mit löslichen Anoden verwendet werden.
    2. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß inerte Anoden aus Platin, Iridium, Rhodium, Palladium, Gold, Ruthenium, Rhenium, deren Legierungen, Oxide oder Carbide verwendet werden.
    3» Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Anoden verwendet werden, bei denen das Verhältnis der geometrischen Flächen von inerter zu löslicher Anode von 1 : 1 bis 1 : 200, vorzugsweise von 1 : 5 bis 1 : 20, beträgt.
    k. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die inerte Anode zusätzlich mit einem Potential versehen wird.
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    130040/0847
    Vorstand: Dr. Herbert Asmls · Dr. Christian Bruhn · Hans-Jürgen Hamann Postanschrift: SCHERING AQ · D-1000 Berlin 65 · Postfach 65 0311 Dr. Heinz Hannse ■ Karl Otto Mittelstenscheid . Dr. Horst Witzel Postscheck-Konto: Berlin-West 1175-101. Bankleitzahl 10010010
    Vorsitzender des Aufsichtsrats: Dr. Eduard v. Schwartzkoppen Berliner Commerzbank AG, Berlin. Konto-Nr. 108 7006 00, Bankleitzahl 100 400
    Sitz der Gesellschaft: Berlin und Bergkamen Berliner Disconto-Bank AG, Berlin, Konto-Nr. 241/5008. Bankleitzahl 100700
    Handelsregister: AQ Charlottenburg 93 HRB 283 u. AQ Kamen HRB 0081 Berliner Handels-Gesellschaft - Frankfurter Bank -, Berlin,
    Konto-Nr. 14-362, Bankleitzahl 100 202 00
    SCHERING AG
    __ . « Gewerblicher Recfatsschute
    5. Verfahren gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß saure Kupferbäder enthaltend organische Thioverbindungen verwendet werden.
    6. Verfahren gemäß Anspruch 1 zur Verstärkung der Leiterbahnen von gedruckten Schaltungen.
    7· Verwendung von inerten Anoden gemeinsam mit löslichen Anoden in sauren Kupferbädern gemäß Ansprüchen 1 bis 6
    130040/0847
    Vorstand: Dr. Herbert Asmls - Dr. Christian Brunn · Hans-Jürgen Hamann Postanschrift: SCHERING AG · D-1000 Berlin 65 · Postfach 65 0311
    Dr. Heinz Hannse · Karl Otto Mittelstenscheid · Dr. Horst Witzel Postscheck-Konto: Berlin-West 1175-101, Bankleitzahl 10010010
    Vorsitzender des Aufsichtsrats: Dr. Eduard v. Schwartzkoppen Berliner Commerzbank AG, Berlin, Konto-Nr. 108 7006 00, Bankleitzahl 100 400
    Sitz der Gesellschaft- Berlin und Bergkamen Berliner Disconto-Bank AG, Berlin. Konto-Nr. 241/5003, Bankleitzahl 100 700
    Handelsregister: AG Charlottenburg 93 HRB283 u. AG Kamen HRB0061 5βΓ'Ιηβ.Γ, H?n'2!is~;?<5s,e,"?chi?f' ~ Frankfurter Bank -. Berlin,
    . Konto-Nr. 14-362, Bankleitzahl 100 20200
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