DE2716181A1

DE2716181A1 - Verfahren zur ausbildung einer beschichtung auf einer flaeche eines glassubstrates und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens

Info

Publication number: DE2716181A1
Application number: DE19772716181
Authority: DE
Inventors: Robert Van Laethem
Original assignee: BFG Glassgroup GIE
Current assignee: BFG Glassgroup GIE
Priority date: 1976-04-13
Filing date: 1977-04-12
Publication date: 1977-10-27
Also published as: IT1082731B; DK151777A; ES457597A1; ZA772109B; FR2348167B1; CA1092904A; AU2411877A; IL51830A; JPS6158415B2; DK155514B; DK155514C; MX4561E; AU511010B2; JPS52124427A; FI771067A; NL7703993A; FR2348167A1; NL185510C; FI61859B; BE853200A

Description

MÜLLER-BORE · DEUFEL · SCHON · HEKTKX,

PATE NTAN WALTE

DR. WOLFGANG MÜLLER-BORE (PATENTANWALT VON JiZT- 1B7S) DR. PAUL DEUFEU. DIPL.-CHEM. DR. ALFREO SCHÖN. CMPL.-CHEM. WERNER HERTEL. DIPL.-PHVS.

München, den 1 2. APR. 13»·

Hl/ma - B 1311

BFG GLASSGROUP
Rue Caumartin, 43
Paris / Frankreich

Verfahren zur Ausbildung einer Beschichtung auf einer Fläche eines Glassubstrates und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

709843/0886

β 1C0XCHBV β« -SIXBERTSXR. 4-POSTFACH 860720-KABUL·: MUEBOPAT · TEL·. (080) «74003 -TXUX »44189

MÜLLER-BORE · DEUFEL · SCHÖN · HSÄTKL.

PATE N TA N "WALTE

ZV1618 *

DR. WOLFGANG MÜLLER-BORi (PATENTANWALTVON 1927-197S) DR. PAUL DEUFEL, DIPL.-CHEM. DR. ALFRED SCHÖN, DIPL.-CHEM. WERNER HERTEL. DIPL.-PHYS.

Hl/Ma - B 1311

Verfahren zur Ausbildung einer Beschichtung auf einer Fläche eines Glassubstrates und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ausbildung einer Beschichtung aus einem Metall oder einer Metallverbindung auf einer Fläche eines Glassubstrates, indem diese, auf erhöhter Temperatur gehaltene Fläche mit Tröpfchen in Berührung gebracht wird, welche eine Metallverbindung aufweisen, die durchPyrolyse, also thermische Zersetzung, auf der Fläche die Beschichtung aus dem Metall oder der Metallverbindung bildet.

Außerdem betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens.

Verfahren der oben beschriebenen Gattung werden verwendet, um Beschichtungen herzustellen bzw. auszubilden, welche die scheinbare bzw. visuelle Farbe des Glases mo—

-2-

709843/0886

difizieren und/oder einige andere gewünschte Eigenschaften in bezug auf die einfallende Strahlung haben, beispielsweise Infrarotstrahlung reflektieren.

Mit den herkömmlichen Verfahren lassen sich nicht immer Beschichtungen mit befriedigenden Eigenschaften erreichen. Es treten insbesondere Schwierigkeiten bei der Herstellung von Beschichtungen auf, die eine befriedigende Qualität haben, beispielsweise in bezug auf ihre Struktur, ihre optische Qualität oder die Gleichmäßigkeit ihrer Dicke.

Mit der vorliegenden Erfindung soll deshalb ein Beschichtungsverfahren vorgeschlagen werden, das wesentliche Vorteile in bezug auf die Zuverlässigkeit bietet, mit der qualitativ hochwertige Beschichtungen ausgebildet werden können.

Bei einem Verfahren der oben angegebenen Gattung wird dies erfindungsgemäß dadurch erreicht, daß wenigstens ein Strom dieser Tröpfchen in einer gewissen Neigung zu der Fläche abgegeben wird und so auf eine Zone innerhalb des zu beschichtenden Flächenbereichs auftrifft, daß weiterhin der Strom und das Substrat relativ zueinander so verschoben werden, daß die momentane Auftreffzone des Stroms auf der Fläche fortschreitend längs des zu beschichtenden Flächenbereiches verschoben wird, und daß Saugkräfte in einer Austritts leitung erzeugt werden, deren Eintritt sich in Strömungsrichtung gesehen direkt hinter der Auftreffzone befindet, wobei durch diese Saugkräfte die Gase in der Umgebung des Stroms kontinuierlich stromabwärts von dem Strom weg, aus der Nähe der Auftreffzone und direkt in die Leitung fließen, wobei die Bahnen der Tröpfchen zu dieser Zone im wesentlichen unbeeinflußt bleiben.

-3-

709843/0886

Experimente haben ergeben, daß im Vergleich mit herkömmlichen Verfahren das Verfahren nach der vorliegenden Erfindung die Ausbildung einer Beschichtung wesentlich vereinfacht, beispielsweise die Ausbildung einer Beschichtung aus einem Metalloxid mit homogener Struktur, deren wesentliche Eigenschaft die regelmäßige Anordnung der Kristalle ist, wodurch eine gleichmäßige Bedeckung der Substratoberfläche möglich wird. Dieser Vorteil ergibt sich sogar für relativ dicke Beschichtungen, beispielsweise für Beschichtungen mit einer optischen Dicke, die der fünften oder einer noch höheren Interfe— renzordnung entspricht. Der oben erwF ce Vorteil läßt sich offensichtlich teilweise auf die Steuerung des Saugstroms auf die beschriebene Weise zurückführen, wodurch die Gase, die in den Bereichen des Tröpfchenstroms (bzw. der Tröpfchenströme) und der Auftreffzone (η) auf dem Substrat stromabwärts strömen, in dieser stromabwärts gerichteten Bewegung gehalten werden. Es hat sich herausgestellt, daß die Zersetzungsprodukte nur geringe oder gar keine Neigung zeigten, sich auf dem Substrat oder der bereits ausgebildeten Beschichtung aus der Gasatmosphäre in der Nähe des Substrates niederzuschlagen. Als Folge hiervon wird die Beschichtung aus dem Metall oder der Metallverbindung im wesentlichen nur an der heißen Substratoberfläche ausgebildet. Die Neigung des Tröpfchenstroms (oder der Tröpfchenströme) zu der zu beschichtenden Substratfläche ist ebenfalls ein Faktor, der zu der Ausbildung von gleichförmigen Beschichtungen beiträgt, wie sie mit dem erfindungsgemäßen Verfahren möglich sind. Nach einer bevorzugten Ausführungsform wird das Substrat in einer bestimmten Richtung verschoben, wobei jeder Tröpfchenstrom so geneigt wird, daß er eine Geschwindigkeitskomponente in Richtung der Substratverschiebung hat und der zwischen seiner Achse und der Fläche eingeschlossene Winkel, gemessen in einer Ebene, welche die Akte enthält und parallel zu der Verschie-

709843/0886 "⁴~

bungsrichtung des Substrates ist, im Bereich von 25 bis 35° liegt.

Um die besten Ergebnisse zu erreichen, sollten alle Teile des Tröpfchenstroms (oder der Tröpfchenströme) auf das Substrat in seiner beträchtlichen Neigung zur Vertikalen treffen. Deshalb handelt es sich nach be vorzugten Ausführungsformen des Verfahrens bei dem Strom (oder den Strömen) um einen parallelen Strom oder einen Strom, der von seiner Quelle in einem Winkel von nicht mehr als 30° divergiert.

Experimente haben gezeigt, daß sich gleichmäßige Be schichtungen noch leichter ausbilden lassen, wenn be stimmte Bedingungen in bezug auf den Abstand zwischen der zu beschichtenden Substratfläche und der Stelle bzw. Position erfüllt werden, von der aus der oder jeder Tröpfchenstrom in Richtung auf diese Fläche ausgeht. Nach einer bevorzugten Ausführungsform hat diese Stelle für den oder jeden Strom einen Abstand von der Fläche, senkrecht zu der Fläche gemessen, der zwischen 15 und 35 cm liegt. Aufgrund von Versuchsergebnissen handelt es sich dabei um einen besonders zweckmäßigen Bereich;. dies gilt insbesondere dann, wenn die oben erwähnten bevorzugten Neigungs- und Divergenzbereiche für den Tröpfchenstrom (für die Tröpfchenströme) beachtet werden.

Bei bestimmten Ausführungsformen wird das erfindungsge— mäße Verfahren zur Beschichtung einer Fläche eines Glas- bandes eingesetzt, das sich kontinuierlich longitudinal bewegt; dabei wird ein Tröpfchenstrom verwendet, der quer zu der Bahn des Bandes hin- und herverschoben wird. Wird das erfindungsgemäße Verfahren auf diese Weise durchgeführt, so kann ein Glasband im wesentlichen auf seiner ganzen Breite beschichtet werden, obwohl nur ein

-5-

709843/0886

einziger Tröpfchenausgabekopf mit kleinen Dimensionen eingesetzt wird, so daß sich die Zuführgeschwindigkeit der Metallverbindung leicht steuern läßt. Bei einem solchen Verfahren können die Saugkräfte in einer Auslaßleitung erzeugt werden, die über die Bandbahn hin- und herverschoben wird, so daß der Eintritt dieser Leitung direkt in Strömungsrichtung gesehen hinter der Auftreffzone des Tröpfchenstroms bleibt.

Nach einer alternativen Ausführungsform des erfindungsgemäßen Verfahrens, bei dem ebenfalls eine Fläche eines kontinuierlich longitudinal beweglichen Glasbandes beschichtet wird, wird mindestens ein Tröpfchenstrom verwendet, dessen Auftreffzone (oder bei mehreren Tröpfchenströmen deren kombinierte Auftreffzonen) auf dem Substrat sich im v/esentlichen über die gesamte Breite des Bandes erstrecken. In diesem Fall kann das gesamte Band beschichtet werden, ohne daß die Quelle (n) des Tröpfchenstroms (der Tröpfchenströme) verschoben werden muß. Darüberhinaus kann die Flächenbeschichtungsgeschwindigkeit relativ hoch sein, so daß dieses Verfahren leicht zur Beschichtung eines relativ schnell bewegten Glasbandes eingesetzt werden kann, wenn das Glasband aus der Glasformanlage transportiert wird.

Die Erfindung umfaßt auch Verfahren, bei denen ein kontinuierlich longitudinal bewegliches Glasband beschichtet wird und eine stationäre Auslaßleitung mit einem Auslaß-Gaseinlaß verwendet wird, der sich quer über die Bandbahn erstreckt. Eine solche Auslaßleitung kann zusammen mit einer stationären Tröpfchenausgabebzw. -Zuführeinrichtung eingesetzt werden, die sich quer über die oben erwähnte Bandbahn erstreckt; als Alternative hierzu kann die Leitung zusammen mit einer Tröpfchenausgabeeinrichtung verwendet werden, die über

-6-

709843/0886

die Bahn des transportierten Bandes hin- und herverschoben wird. Wird mit einer solchen stationären Auslaßleitung gearbeitet, so sollte eine Reihe von Auslaß-Einlässen vorgesehen sein, die von nebeneinanderliegenden Stellen über die Bandbahn führen. In einem solchen Fall können die Saugkräfte in den Auslaß-Einlässen entweder durch ein gemeinsames Gebläse bzw. einen gemeinsamen Ventilator oder durch einen anderen Saugapparat bzw. Aspirator bzw. Sauglüfter erzeugt werden, der sich hinter diesen Einlassen befindet; als Alternative hierzu kann eine Reihe von Sauglüftern bzw. Saugapparaten eingesetzt werden, die auf die verschiedenen Einlasse verteilt sind.

Zweckmäßigerweise werden die Saugkräfte in einer Auslaßleitung mit Hauptgas-Eintrittsöffnungen, die im allgemeinen der (den) Auftreffzone (n) des Tröpfchenstroms (der Tröpfchenströme) auf der Substratfläche "zugewandt sind, und mit Umfangsöffnungen erzeugt, die sich an Stellen hinter diesen Hauptöffnungen befinden, und dazu dienen, die Turbulenz in den Gasströmen zu verringern oder vollständig zu vermeiden, die an diesen Hauptöffnungen vorbeifließen.

Die Gase sollten in zwei oder mehr Auslaßleitungen gesaugt werden, die an aufeinanderfolgenden, im Abstand angeordneten Stellen in Strömungsrichtung gesehen hinter der (den) Auftreffzone (n) vorgesehen sind, so daß ein Gas, das stromabwärts an einer solchen Leitung vorbeifließt, in die nächste Leitung eintreten kann.

Zweckmäßigerweise befindet sich die Gaseinlaßöffnung der Auslaßleitung oder die erste der Gaseinlaßöffnungen, wenn mehr als eine vorgesehen sind, in einem Abstand von der zu beschichtenden Substratoberfläche, der, senkrecht

-7-709843/0886

zu dieser Fläche gemessen, zwischen 1 und 20 cm liegt.

Das erfindungsgemäße Verfahren kann auch zur Beschichtung eines kontinuierlichen Float-Glasbandes während seiner Herstellung eingesetzt werden» Die Erfindung umfaßt also auch Verfahren, bei denen der oder jeder Tropfchenstrom auf die obere Fläche eines in einem Float-Tank hergestellten Glasbandes an einer oder mehreren Stellen in Strö— mungsrichtung gesehen hinter dem Float-Tank auftrifft, wo die Temperatur des Glases im Bereich von 100⁰C bis 65O°C liegt.

Das Verfahren nach der vorliegenden Erfindung kann auch zur Ausbildung verschiedener Oxidbeschic;. _ungen eingesetzt werden, v/obei eine flüssige, ein Metallsalz enthaltende Masse verwendet wird. Aufgrund der Art, in der die Gase von der Beschichtungszone weggezogen werden, ist das erfindungsgemäße Verfahren sogar zur Ausbildung von Beschichtungen geeignet, die mit Lösungen beginnen, welche reaktionsfähige bzw. reaktive Dämpfe abgeben, wie beispielsweise Lösungen von Metallchloriden. Beispielsweise kann eine Zinnoxidbeschichtung ausgebildet werden, indem Tröpfchen eines wässrigen oder nichtwässrigen Mediums, das Zinn(IV)-Chlorid und eine Dotiersubstanz enthält, zugeführt werden, wie beispielsweise eine Substanz, die Antimon-, Arsen- oder Fluor-Ionen liefert. Das Metallsalz kann zusammen mit einem Reduziermittel eingesetzt werden, wie beispielsweise Phenylhydrazin, Formaldehyd, Alkoholen und keinen Kohlenstoff enthaltenden Reduziermitteln, wie beispielsweise Hydroxylamin und Wasserstoff. Statt oder neben Zinn (IV)-Chlorid können auch andere Zinnsalze eingesetzt werden, wie beispielsweise Zinnoxalat oder Zinnbromid. Als Beispiele für andere Beschichtungen von Metalloxiden, die auf ähnliche Weise ausgebildet werden können, sollen genannt werden: Kadmiumoxide, Magnesiumoxide und Wolframoxide. Zur Herstellung dieser Be-

—8—

709843/0886

Schichtungen kann die Beschichtungsmasse in ähnlicher Weise vorbereitet werden, indem mit einem wässrigen oder einem organischen Lösungsmittel eine Lösung aus einer Verbindung des Metalls und einem Reduziermittel hergestellt wird. Als weiteres Beispiel für den Einsatz des erfindungsgemäßen Verfahren soll die Herstellung von Beschichtungen durch Pyrolyse, also thermische Zersetzung von metallorganischen Verbindungen, wie beispielsweise eines Metall—Azetylazetonats, genannt werden, das der zu beschichtenden Fläche in Tröpfchenform zugeführt wird. Weiterhin kann mit dem erfindungsgemä— ßen Verfahren auch eine Masse aufgebracht werden, die Salze verschiedener Metalle enthält, so daß sich eine Metallbeschichtung ergibt, die ein Gemisch von Oxiden verschiedener Metalle aufweist.

Außerdem betrifft die Erfindung auch eine Vorrichtung, die zur Ausbildung einer Beschichtung aus einem Metall oder einer Metallverbindung auf einer Fläche eines Glassubstrates mit dem Verfahren nach der vorliegenden geeignet ist, wie es oben beschrieben wurde. Die Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung v/eist eine Einrichtung zur Halterungeir.es Substrats, eine Einrichtung zur Erwärmung des Substrats sowie eine Einrichtung . zur Abgabe von Tröpfchen auf die zu beschichtende Sub— stratfläche auf und zeichnet sich dadurch aus, daß die Abgabeeinrichtung so aufgebaut und angeordnet ist, daß wenigstens ein Tröpfchenstrom in eine Richtung abgegeben wird, die zu dem gehalterten Substrat geneigt ist, so daß der Tröpfchenstrom auf eine Zone in der zu beschichtenden Substratfläche auftrifft; außerdem ist eine Einrichtung vorgesehen, die eine relative Verschiebung der Tröpfchenabgabeeinrichtung und des Substrates herbeiführt, so daß sich die augenblickliche Auftreffzone des Tröpfchenstroms auf die Fläche fortschreitend längs

-9-

709843/0886

dieses zu beschichtenden Flächenbereichs verschiebt; weiterhin enthält die Vorrichtung eine Gasauslaßeinrichtung mit einer Auslaßleitung, deren Eintritt sich in Strömungsrichtung gesehen direkt hinter der Auftreffzone befindet und die kontinuierlich Umgebungsgase zu dem Strom stromabwärts von dem Strom und von der Nähe der Auftreffzone weg und direkt in die Leitung ansaugt, ohne daß die Bahnen der Tröpfchen zu der Zone wesentlich beeinflußt werden.

Die Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung kann eine oder mehrere zusätzliche Merkmale enthalten, die erforderlich sein können, um einen oder mehrere der oben beschriebenen, gegebenenfalls ersetzbaren Verfahrensschritte zu nutzen.

Zweckmäßigerweise wird eine Vorrichtung verwendet, die so aufgebaut ist, daß sie ein kontinuierlich longitudinal bewegbares Glasband in einer bestimmten Richtung haltert, wobei die Tröpfchenausgabeeinrichtung wenigstens einen Tröpfchenstrom in eine solche Richtung abgibt, daß er eine Geschwindigkeitskomponente in dieser gegebenen Richtung hat und der zwischen der Achse des Stroms und der freiliegenden Fläche des Bandes eingeschlossene Winkel, in einer Ebene gemessen, welche die Achse enthält und parallel zur Verschiebungsrichtung des Bandes ist, im Bereich von 25 bis 35 liegt. Nach einer bevorzugten Ausführungsform ist die Tröpfchenausgabeeinrichtung so konstruiert und angeordnet, daß sie wenigstens einen Tröpfchenstrom abgibt, bei dem es sich um einen parallelen Strom oder einen Strom handelt, der von seiner Quelle in einem Winkel von nicht mehr als 30 divergiert, wie oben erwähnt wurde.

Bei einer bestimmten Ausgestaltung der Vorrichtung nach der Erfindung, mit der ein kontinuierlich longitudinal

-lo-

709843/0886

bewegbares Glasband beschichtet werden soll, enthält die Tröpfchenausgabeeinrichtung einen Tröpfchenausgabekopf, der mit einer Vorrichtung zur Hin- und Herverschiebung dieses Kopfes in Querrichtung über die Bandbahn verbunden ist. Diese Vorrichtung umfaßt auch Ausführungsformen, bei denen die Gasauslaßeinrichtung eine Auslaßleitung enthält, die mit der Einrichtung zur Hin- und Herverschiebung über die Bandbahn verbunden ist, um den Eintritt dieser Leitung in Strömungsrichtung gesehen direkt hinter der Auftreffzone des Tröpfchenstroms auf dem Substrat zu halten.

Bei anderen Ausgestaltungen der Vorrichtung nach der Erfindung zur Beschichtung eines kontinuierlich longitudinal bewegbaren Glasbandes enthält die Tröpfchenausgabeeinrichtung einen oder mehrere Tröpfchenausgabeköpfe, die einen oder mehrere Tröpfchenströme ausstoßen, deren Auftreffzone oder deren kombinierte Auftreffzonen auf dem Substrat sich über die gesamte oder den größeren Teil der Breite der Bandbahn erstrecken.

Als Alternative zur Verwendung einer verschiebbaren Gasauslaßeinrichtung, wie sie oben erwähnt wurde, kann bei bestimmten Ausgestaltungen der Vorrichtung nach der Erfindung eine stationäre Auslaßleitung mit einem Auslaßgas-Einlaß verwendet werden, der sich in Querrichtung über die Bandbahn erstreckt, Zweckmäßigerweise weist diese Leitung mehrere Auslaß-Einlässe auf, die von nebeneinanderliegenden Stellen über die Bandbahn führen.

Bei einer bestimmten Ausführungsform wird eine Auslaßleitung eingesetzt, die sich quer über die Bahn erstreckt, auf der Gase von der (den) Auftreffzone (n) des Tröpfchenstroms (der Tröpfchenströme) gezogen werden; diese Leitung weist Gaseinlaßöffnungen auf, die dieser Zone (diesen Zonen) zugewandt sind, sowie sekundäre Gaseinlaß-

709843/0886

271618 i

öffnungen auf, die sich hinter diesen Haupteinlaßöffnungen befinden.

Es ist vorteilhaft, die Auslaßleitungen an verschiedenen, in Abständen angeordneten Stellen in Strömungsrichtung gesehen hinter der (den) Auftreffzone (n) vorzusehen, so daß Gase, die stromabwärts an einer Auslaßleitung vorbeifließen, durch die nächste abgesaugt werden können.

Nach einer bevorzugten Ausführungsform befindet sich der Auslaßgas-Einlaß der Auslaßleitung oder der ersten dieser Leitungen, wenn mehr als eine Leitung vorgesehen ist, in einem Abstand von 1 bis 20 cm von der zu beschichtenden Substratfläche, senkrecht zu dieser Fläche gemessen.

Sehr gute Ergebnisse sind erreicht worden, wenn Gase in der Nähe des (der) Tröpfchenstroms (Tröpfchenströme) und der Auftreffzone (n) auf dem Substrat den Saugkräften ausgesetzt werden, so daß sie längs einer von dem Substrat divergierenden Bandbahn strömen. Deshalb enthält bei bestimmten Ausführungsformen der Vorrichtung nach der vorliegenden Erfindung die Gasauslaßeinrichtung eine Auslaßleitung, die so angeordnet ist, daß beim Betrieb die Gase auf einer Bahn, die von dem Substrat divergiert, zu dem Eintritt der Leitung strömen.

Die Erfindung umfaßt auch eine Vorrichtung, wie sie oben definiert wurde, die in Verbindung mit einem Float-Tank installiert ist, wie er zur Herstellung einas Glasbandes durch das "Float"-Verfahren verwendet wird; dabei ist die Tröpfchenausgabeeinrichtung so angeordnet, daß der oder jeder Tröpfchenstrom auf die obere Oberfläche des Bandes in einer Zone (in Zonen) auftrifft, wo die Temperatur des Glases im Bereich von 100 bis 65O°c liegt.

-12-

709843/0886

Eine nur als Beispiel ausgewählte Ausfiihrungsform der Erfindung ist in der beiliegenden, schematischen Zeich nung dargestellt, deren einzige Figur eine Querschnitts- Seitenansicht eines Teils einer Anlage zur Herstellung von Flachglas zeigt, in die eine Beschichtungsvorrich— tung nach der Erfindung eingebaut ist.

Die Beschichtungsvorrichtung befindet sich in einer Kühlkammer 1 mit einer Dachwand, also einer oberen Wand 2 und einer Bodenwand, also einer unteren Wand 3; durch diese Kammer wird ein Glasband 4 von einem Band formbereich der Anlage transportiert. Die Kammer 1 kann beispielsweise ein Teil eines Kühlofens bzw. ei ner Kühlbahn bzw. eines Tunnelkühlofens bzw. eines Kanalkühlofens einer Band- bzw. Flachglasziehmaschine vom Libbey-Owens-Typ sein; als Alternative hierzu kann die Kammer 1 einem Float-Tank zugeordnet sein, in dem das Glasband durch das Float-Verfahren geformt bzw. hergestellt wird.

Das Glasband 4 wird durch Walzen 5 gehaltert und bewegt sich durch die Kammer 1 in die durch den Pfeil 6 ange deutete Richtung. Über der Bahn des Glasbandes ist die Kammer 1 mit verschiebbaren feuerfesten Schirmen bzw. Abschirmungen bzw. Schutzschirmen 7 und 8 versehen, die zwischen sich ein Abteil bzw. einen abgeteil ten Bereich ausbilden, in dem eine Beschichtung aus einem Metall oder einer Metallverbindung auf der obe ren Fläche des Glasbandes ausgebildet wird, während sich das Band durch die Kammer bewegt.

Eine Spritzpistole bzw. eine Sprühdüse 9 ist über der horizontalen Bahn des Glasbandes angeordnet und mit einem Mechanismus (nicht dargestellt) verbunden, welche die Spritzdüse längs einer horizontalen Bahn, die senk—

-13-

709843/0886

recht zu der Verschiebungsrichtung des Bandes ist,hin- und herbewegt. Der vertikale Abstand zwischen der Spritsdüse und der oberen Oberfläche des Glasbandes liegt zwischen 15 und 35 cm. Die Spritzdüse ist so ausgerichtet, daß die Tröpfchen in einem konischen Sprühnebel ausgegeben werden, dessen mittlerer Neigungs winkel cX zu dem Band zwischen 25 und 35 liegt, während der Konus- bzw* Öffnungswinkel 20 beträgt.

In einem Abstand in der Größenordnung von 10 bis 30 cm in Strömungsrichtung gesehen hinter der stromabwärts liegenden Grenze 10 der Auftreffzone des Tröpfchenstroms auf das Glasband ist eine Auslaßleitung 11 vorgesehen, die mit einer Einrichtung (nicht dargestellt) verbunden ist, die in der Leitung Saugkräfte aufrechterhält. Die Leitung erstreckt sich quer über die Bandbahn und weist eine Düse bzw. Mündung 12 auf, die einen spaltförmigen Gaseinlaßdurchgang bildet. Die Eintritts-Öffnung der Düse befindet sich in einer Höhe von 1 cm bis 20 cm über dem Glasband.

Bei dieser speziellen Ausführungsform ist eine zweite Auslaßleitung 13 vorgesehen, die sich in Strömungsrichtung gesehen hinter der Leitung 11 befindet.

Wenn diese Vorrichtung gebraucht wird, werden die Ausgabe der Tröpfchen von der Spritzdüse und die Saugkräfte, welche die Gase in die Auslaßleitungen 11 und 13 sau gen sollen, so eingestellt, daß in der in Strömungsrich tung vor dem Sprühkegel liegenden Zone die Atmosphäre im wesentlichen ruhig und nicht durch Dampftropfchen oder Dämpfe der versprühten Substanz verunreinigt ist und die Bahnen der Tröpfchen von der Sprühdüse zu dem Glasband im wesentlichen nicht durch die Saugkräfte beeinflußt werden. Darüberhinaus bleibt die Atmosphäre

-14-

709843/0886

über der Auftreffzone der Tröpfchen auf das Band klar bzw. sauber. Die Spritzdüse wird kontinuierlich quer über die Bandbahn hin- und herbewegt, wobei die kontinuierlich ausgeübten Saugkräfte so ausgelegt sind, daß die Atmosphäre über einer beschichteten Zone auf dem Band in der Zeitspanne vollständig gereinigt bzw. geleert wird, welche die Spritzdüse zur Beendigung eines Bewegungszyklus mit einer Hin- und Herbewegung über die Bandbahn benötigt.

Bei einer Modifikation dieser Vorrichtung kann die Spritzkanone bzw. Spritzpistole 9 durch eine Reihe von stationären Spritzpistolen ersetzt werden, die Seite an Seite über der Bandbahn montiert sind, so daß sie zusammen eine Beschichtungssubstanz über die gesamte Breite der Bandbahn aufbringen. Außerdem kann ein stationärer Zerstäuber bzw. Sprühapparat mit einem Tröpfchenausgabekopf verwendet werden, der sich über diese Bahn erstreckt.

Im folgenden werden Beispiele für Verfahren nach der vorliegenden Erfindung erläutert, die mit Hilfe der oben beschriebenen Vorrichtung durchgeführt wurde.

Beispiel 1

Eine Beschichtungsvorrichtung, wie sie unter Bezugnahme auf die beiliegende Zeichnung beschrieben wurde, wurde zur Beschichtung eines Glasbandes in einer Breite von drei Metern im Verlaufe seiner Herstellung durch ein Ziehverfahren vom Libbey-Owens-Typ verwendet; die Geschwindigkeit des Glasbandes lag in der Größenordnung von 1 m pro Minute. Die Beschichtungsvorrichtung wurde an einer solchen Stelle installiert, daß die Temperatur des Glases in der Auftreffzone des Tröpfchenstroms in

-15-709843/0886

der Größenordnung von 600⁰C lag.

Die Sprühdüse hatte den herkömmlichen Aufbau und wurde

bei einem Druck in der Größenordnung von 4 kg/crn betrieben. Die Spritzpistole wurde über die Bandbahn in einer Höhe von 3O cm über den Glasband hin- und herbewegt, wobei sie pro Minute neun Hin- und Herbewegungen vollendete. Die Sprühpistole wurde so ausgerichtet, daß die Achse des Sprühnebels
des Glasbandes lag.

se des Sprühnebels in einem Winkel von 30 zu der Ebene

Die Saugkräfte in der Auslaßleitung wurden so eingestellt, daß ein Unterdruck in der Größenordnung von 100 mm Wassersäule in der Saugdüse jeder Leitung 11 und 13 aufrechterhalten wurde; die Düsen befanden sich 20 cm über dem Glasband.

Die Sprühpistole wurde mit einer wässrigen Lösung von Zinnchlorid beschickt, die erhalten wurde, indem in Wasser 375 g Zinnchlorid-s-Hydrat (SnCl₂-2H„O) pro Liter gelöst und 55 g NH.HF„ pro Liter hinzugefügt wurden.

Die Zuführgeschwindigkeit der Beschichtungslösung betrug 20 Liter pro Stunde in einer Trägergasmenge von

3
10 Nm /hr. Auf dem Glasband wurde eine Beschichtung aus Zinnoxid ausgebildet, die mit Fluor-Ionen dotiert war und eine Dicke von 7500 A hatte.

Eine Überprüfung dieser Beschichtung zeigte, daß sie eine gleichmäßige Dicke und gleichmäßige optische Eigenschaften sowie eine homogene Struktur hatte. Bei einer Betrachtung mit reflektiertem Licht hatte die Beschichtung eine neutrale Farbe bzw. Farbtönung bzw. Farbton. Die Beschichtung hatte eine hohe Durchlässigkeit für sichtbares Licht sowie ein merkliches Reflexions-

-16-

709843/0886

vermögen · ·■ in bezug auf Inrarotstrahlen im Wellenlängenbereich von 2,6 bis 40 Mikron. Das Emissionsvermögen der Beschichtung betrug o,l. Die diffuse Lichttransmission bzw. der Transmissionsgrad für diffuses Licht der Beschichtung war sehr gering.

Ähnliche Ergebnisse wurden bei einem Verfahren erhalten, bei der das gleiche Beschichtungsverfahren zur Beschichtung eines Bandes aus Float-Glas bei seinem Transport aus dem Float-Tank verwendet wurde.

Beispiel 2

Ein Glasband wurde mit einem Verfahren beschichtet, das dem Verfahren nach Beispiel 1 ähnelte; die Unterschiede lagen darin, daß die Sprühpistole in sechs Zyklen pro Minute hin- und herbewegt sowie mit 15 Nm Luft pro Stunde und 30 Liter einer wässrigen Lösung pro Stunde beschickt wurde, die 325 g wasserfreies SnCl₂ und 60 g NH₄HF₂ pro Liter Wasser enthielt. Auf dem Glas wurde eine Beschichtung ausgebildet, die aus mit Fluor—Ionen dotierten Zinnoxid bestand und eine Dicke von 10.000 R hatte. Die Beschichtung hatte eine sehr gleichmäßige Dicke und gleichförmige optische Eigenschaften sowie eine homogene Struktur. Durch reflektiertes Licht betrachtet hatte die Beschichtung einen grauen Farbton. Die Transmission des sichtbaren Lichtes durch das beschichtete Glas war etwas geringer als durch das Glas, das gemäß Beispiel 1 beschichtet wurde; die Beschichtung hatte jedoch auch ein hohes Reflexionsvermögen für Strahlung im Spektralbereich des fernen Infrarot. Wie die nach Beispiel 1 ausgebildete Beschichtung zeigte diese Beschichtung nur eine sehr geringe Durchlässigkeit für diffuses Licht.

-17-

709843/0886

Beispiel 3

Die für Beispiel 1 verwendete Vorrichtung wurde zur Beschichtung eines Glasbandes eingesetzt, bei dem die Auftreffzone für die Tröpfchen eine Temperatur in der Größenordnung von 58O°C hatte. Der Sprühpistole wurde eine Lösung des Reaktionsproduktes von wasserfreiem SnCl. mit Methanol zugeführt. Die Konzentration der Lösung wurde mittels Dimethylformamid nach der Zugabe von HCl zur Stabilisierung der Lösung eingestellt; als Dotiermittel wurde NH.HF₉ verwendet. Die Lösung hatte

3 folgende Zusammensetzung: 200 cm SnCl₄ (wasserfrei);

625 cm³ Methanol; 50 cm³ HCl; 62 g NH₄HF₂ und soviel Dimethylformamid, daß sich ein Liter Lösung ergab. Die Zuführungsgeschwindigkeiten dieser Lösung und der Luft zu der Sprühpistole lagen in der gleichen Größenordnung wie die Zuführgeschwindigkeiten bei Beispiel 1.

Die Saugkräfte wurden so eingestellt, daß ein Unterdruck in der Größenordnung von 100 mm Wassersäule in den Saugdüsen der Auslaßleitungen 11 und 13 aufrechterhalten wurde. Die Zuführung der Beschichtungslösung wurde so reguliert, daß eine Beschichtung aus mit Fluor-Ionen dotiertem SnO₉ und einer Dicke von 72oo A auf dem Glasband ausgebildet wurde.

Eine Überprüfung der Beschichtung zeigte, daß sie eine homogene Struktur hatte. In bezug auf ihre Dicke und in bezug auf ihre optischen Eigenschaften war die Beschichtung gleichmäßig. Die Beschichtung hatte im Reflexionslicht einen neutralen Farbton. Die Durchlässigkeit der Beschichtung für sichtbares Licht war hoch, und sie hatte ein besonders hohes Reflexionsvermögen in bezug auf die Strahlung im fernen Infrarotbereich des Spektrums. Die Beschichtung zeigte eine sehr geringe Durchlässigkeit für diffuses Licht.

-18-

709843/0886

Bei einer Modifikation des oben beschriebenen Verfahrens, bei dem im wesentlichen identische Ergebnisse erhalten wurden, wurde die oben erläuterte Beschichtungslösung durch eine Lösung ersetzt, die erhalten wurde, indem SnCl- mit Essigsaureanhydrid in stöchiometrischen Proportionen zur Reaktion gebracht wurde; die sich ergebende, sehr dicke, bzw. sirupartige braunschwarze Flüssigkeit wurde langsam gerührt, so daß HCl entweichen konnte; das Gemisch wurde mit Dimethylformamid verdünnt, dann wurden noch einige Kubikzentimeter einer 40VoI.-%, im Handel erhältlichen Lösung von HF als Dotiermittel zugesetzt.

Beispiel 4

Ein Band Floatglas mit einer Breite von ungefähr 2,5 m wurde beschichtet, während es sich mit einer^Geschwindigkeit von 4,5 m pro Minute aus dem Float-Tank bewegte; dabei wurde eine Beschichtungsvorrichtung eingesetzt, wie sie in der Zeichnung dargestellt ist.

Die Sprühpistole hatte den herkömmlichen Aufbau und wur-

de bei einem Druck in der Größenordnung von 3 kg/cm betrieben. Die Pistole wurde 25 cm über dem Glasband mon-' tiert und in einem Neigungswinkel von 30 zu der Bandebene ausgerichtet, d.h., sie zeigte in einer Neigung von 30 zu der Bandebene. Die Pistole wurde mit 10 Zyklen pro Minute hin- und herbewegt. Die Pistole wurde mit einer Geschwindigkeit in der Größenordnung von 50 Litern pro Minute mit einer Lösung beschickt, die erhalten wurde, indem 140 g Kobaltazetylazetonat Co(C₅H₇O₂) 2H„0 pro Liter in Dimethylformamid gelöst wurden. Die Pistole wurde so angeordnet, daß diese Lösung auf das Glasband an einer Stelle längs seiner Bahn auftraf, wo das Glas eine Temperatur in der Größenordnung von 58O°c hatte.

-19-

709843/0886

Die Saugdüse 12 der Auslaßleitung 11 befand sich 20 cm über dem Glasband. Die Saugkräfte wurden so eingestellt, daß ein Unterdruck in der Größenordnung von 50 mm Wassersäule aufrechterhalten wurde. Die Auslaßleitung 13 wurde nicht verwendet.

Die Austrittsgeschwindigkeit der Beschichtungslösung wurde so eingestellt, daß eine Beschichtung aus Kobaltoxid (Co₃O.) mit einer Dicke in der Größenordnung von 920 /? . auf dem Glas ausgebildet wurde.

Die Beschichtung wurde untersucht und es stellte sich heraus, daß sie eine homogene Struktur h-itte. Die Beschichtung hatte weiterhin eine optimal gleichmäßige Dicke. Im Durchlicht betrachtet hatte die Beschichtung einen braunen Farbton. Die optischen Eigenschaften des beschichteten Glases waren gleichmäßig und hatten eine gute Qualität über die gesamte beschichtete Fläche.

Das oben beschriebene Beschichtungsverfahren kann eingesetzt werden, um farbige Schichten auszubilden, die aus einem Gemisch von Oxiden bestehen, indem der Sprühpistole eine Lösung zugeführt wird, die ein Gemisch von Verbindungen verschiedener Metalle enthält, beispielsweise Verbindungen von Metallen, die aus der Gruppe Eisen, Kobalt, Chrom und Nickel ausgewählt sind; außerdem können mehrere Sprühpistolen verwendet werden, so daß gleichzeitig verschiedene Lösungen durch verschiedene Pistolen zugeführt werden können.

Beispiel 5

Ein Glasband, dessen Breite näherungsweise 3 Meter betrug, wurde durch das Libbey-Owens hergestellt und mit einer Geschwindigkeit von 1,5 Meter pro Minute bewegt; dieses Glasband wurde beschichtet, indem die oben unter

-20-

709843/0886

Bezugnahme auf die beiliegende -Zeichnung beschriebene Beschichtungsvorrichtung eingesetzt wurde; die Beschichtungsvorrichtung wurde so angeordnet, daß die Beschichtungslösung an einer Stelle in Berührung mit dem Glas kam, an der seine Temperatur in der Größenordnung von 58O°C lag.

Die Sprühpistole wurde mit 10 Zyklen pro Minute hin- und herbewegt und bei einem Druck von 1,5 kg/cm be triebe^ um 15 Liter Beschichtungslösung pro Stunde zuzuführen. Die Pistole wurde 25 cm über dem Glasband angeordnet und in einer Neigung von 25 zu der Bandebene ausgerichtet.

Als Beschichtungslösung wurde eine Lösung von Titanyl- azetylazetonat in Dimethylformamid mit einer Konzentration von 130 g pro Liter verwendet.

Die Saugdüse 12 der Auslaßleitung 11 befand sich 10 cm über dem Glasband. Die Saugkräfte wurden so eingestellt, daß in dieser Saugdüse ein Unterdruck von einigen Dutzend nun Wassersäule aufrechterhalten wurde. Die Leitung 13 wurde nicht verwendet.

Die von der Sprühpistole ausgegebene Tröpfchenmenge wur de so eingestellt, daß auf dem Glas eine TiO₂ Beschichtung mit einer Dicke von 450 A ausgebildet wurde.

Eine Überprüfung des beschichteten Glases zeigte, daß seine totale Lichtdurchlässigkeit in der Größenordnung von 65 % lag. Die Beschichtung hatte eine homogene Struktur und war in bezug auf Dicke und optische Eigenschaften gleichmäßig. Die Durchlässigkeit des beschichteten Glases für diffuses Licht war nahezu Null. Im Durchlicht erschien die Beschichtung grau.

-21-

709843/0886

271618-

Bei einer Modifikation des oben beschriebenen Verfahrens wurde die Beschichtungslösung durch eine wässrige Lösung von TiCl. ersetzt; die Sprühpistole und die Saugkräfte wurden so eingestellt, daß auf dem Glas eine TiOp Beschichtung mit einer Dicke von 800 A ausgebildet wurde. Die optischen Qualitäten der Beschichtung waren denen der Beschichtung äquivalent, die bei dem obigen Beispiel ausgebildet wurde.

Beispiel 6

Auf einem Glasband wurde eine Beschichtung mittels einer Beschichtungsvorrichtung ausgebildet, wie sie im Beispiel 1 verwendet wurde; die Beschichtungsvorrichtung wurde so angeordnet, daß die versprühten Tröpfchen der Beschichtungslösungen an einer Stelle mit dem Glas in Berührung kamen, wo seine Temperatur 585 C betrug.

Die Beschichtungslösung wurde mit einer Geschwindigkeit zugeführt, die in der gleichen Größenordnung wie die im Beispiel 1 verwendete Geschwindigkeit lag; die Beschichtungslösung wurde erhalten, indem 595 g SnCl₄-SH₂O und 3 g SbCl₃ pro Liter Lösungsmittel aufgelöst wurden; das Lösungsmittel war ein Gemisch aus Wasser und Dimethyl formamid, das etwas Salzsäure enthielt.

Die Sprühpistole wurde in der gleichen Weise wie im Beispiel 1 angeordnet und verschoben. Die Saugkräfte wurden so eingestellt, daß in den Saugdüsen der Leitungen 11 und 13 ein Unterdruck in der Größenordnung von 100 mm Wassersäule aufrechterhalten wurde. Die Ausgabe der Tröpf chen von der Sprühpistole wurde so eingestellt, daß auf dem Glas eine SnO„-Beschichtung ausgebildet wurde, die mit Antimon—Ionen dotiert war und eine Dicke von 8000 A hatte.

-22-

709843/0886

Im reflektierten Licht zeigte die Beschichtung einen neutralen Farbton. Die Beschichtung hatte eine > homogene Struktur, und ihre Dicke sowie ihre optischen Eigenschaften waren über die gesamte Fläche der Beschichtung gleichmäßig. Die Durchlässigkeit des beschichteten Glases für diffuses Licht war sehr gering. Die Beschichtung hatte ein sehr hohe Reflexionsvermögen in bezug auf Strahlung im Wellenlängenband des fernen Infrarot.

- Patentansprüche —

709843/0886

Leerseite

Claims

MÜLLER-BORE · DBUFEL · SCHÖN · HKRTEL,

PATE NTANWiLTE

DR. WOLFGANG MULLER-BORg (PATENTANWALTVON 1927 - 1975) DR. PAUL DEUFEL. DIPL.-CHEM. DR. ALFRED SCHÖN. DlPU-CHEM. WERNER HERTEL. DIPL.-PHYS.

München , den 1 2. APR.

Hl/ma - B 1311

Patentansprüche

Verfahren zur Ausbildung einer Beschichtung aus einem Metall oder einer Metallverbindung auf einer Fläche eines Glassubstrates, indem diese, auf erhöhter Temperatur befindliche Fläche mit Tröpfchen aus einer Metallverbindung in Berührung gebracht wird,die durch Pyrolyse auf dieser Fläche die Beschichtung aus dem Metall oder der Metallverbindung bildet, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Strom dieser Tröpfchen in einer Neigung zu der Fläche so ausgestoßen wird, daß er auf eine Zone in dem zu beschichtenden Flächenbereich auftrifft, daß der Strom und das Substrat (4) relativ zueinander so verschoben werden, daß die augenblickliche Auftreffzone des Stroms auf die Fläche fortschreitend längs des zu beschichtenden Flä-

709843/0886

-2-

XOXOHZH ββ-SIEBERTSTIl. 4-POSTFACH 800720 · KABEL·: MUEBOPAT -TEL·. (089) 4740 05-TELEX 3-21283

ORIGINAL INSPECTED

.2- ^ V Ί 6 18 i

chenbereichs verschoben wird, und daß Saugkräfte in mindestens einer Auslaßleitung (11,12,13) erzeugt werden, deren Eintritt sich in Strömungsrichtung gesehen direkt hinter der Auftreffzone befindet, wobei die Saugkräfte bewirken, daß die Gase in der Umgebung des Stroms kontinuierlich stromabwärts von dem Strom und aus der Nähe der Auftieffzona weg und direkt in die Leitung (11,12,13) strömen, ohne daß die Bahnen der Tröpfchen zu der Zone wesentlich beeinflußt werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (4) in einer gegebenen Richtung verschoben und der Strom so geneigt wird, daß er eine Geschwindigkeitskomponente in der Richtung der Substratverschiebung hat, und daß der zwischen seiner Achse und der Fläche eingeschlossene Winkel, in einer Ebene gemessen, welche die Achse enthält und parallel zu der Verschiebungsrichcung das Substrates (4) ist, im Bereich von 25 bis 35° liegt.

3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Strom ein paralleler Strom oder ein Strom ist, der von seiner Quelle (9) in einem Winkel von nicht mehr als 30 divergiert.

-3-

70 98A3/0886

4. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet, daß der Abstand zwischen der Stelle (9), von welcher der Tröpfchenstrom ausgegeben wird, und der Fläche, senkrecht zu dieser Fläche gemessen, zwischen 15 und 35 cm beträgt.

5. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß als Substrat ein Glasband (4) verwendet wird, das sich parallel zu seiner longitudinalen Achse bewegt, und daß eine Fläche eines solchen Glasbandes (4) unter Verwendung eines Stroms beschichtet wird, der quer zu der Bandbahn hin- und herbewegt wird.

6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Saugkräfte in einer Auslaßleitung (11,12,13) erzeugt werden, die über die Bandbahn hin- und herverschoben werden, so daß der Eintritt der Leitung (11,12,13) in Strömungsrichtung gesehen direkt hinter der Auftreffzone (10) bleibt.

7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat ein Glasband (4) ist, das sich parallel zu seiner longitudinalen Achse bewegt, und daß eine Fläche des Bandes (4) unter Verwendung eines oder mehrerer Ströme beschichtet wird, deren Auftreffzonen auf das Substrat (4) sich über die

709843/0886

gesamte oder den größeren Teil der Breite des Bandes (4) erstrecken.

8. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat ein kontinuierlich longitudinal bewegliches Glasband ist, und daß eine stationäre Auslaßleitung (11,12,13) mit einem Auslaßgas-Einlaß verwendet wird, der sich quer über die Bandbahn erstreckt.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Auslaßleitung eine Reihe von Auslaß-Einlässen (11,12,13) hat, die von nebeneinanderliegenden Stellen über die Bandbahn führen.

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 8 oder 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Saugkräfte in einer Auslaßleitung erzeugt werden, die Hauptgaseintrittsoffnungen, die im allgemeinen der (den) Auftreffzone (n) des Tröpfchenstroms (der Tröpfchenströme) auf der Substratfläche zugewandt sind, sowie weitere Gaseintrittsöffnungen aufweist, die sich für den Eintritt des Gases, das an diesen Hauptöffnungen vorbeifließt, an Stellen hinter diesen Hauptöffnungen befinden.

11. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Gase in zwei oder mehr

-5-

709843/0886

i'V":'«¹"»¹¹"!-." !■■■

ΖΠ6181

Auslaßleitungen (11,12,13) gesaugt werden, die sich an aufeinanderfolgenden, im Abstand angeordneten Stellen in Strömungsrichtung gesehen hinter der (den) Auftreffzone (n) befinden, so daß die Gase, die strom abwärts an einer solchen Leitung vorbeifließen, in die nächste eintreten können.

12. Verfahren nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat ein in einem Float-Tank ausgebildetes Glasband ist, und daß der oder jeder Strom auf die obere Fläche des Bandes in Strömungsrichtung gesehen hinter dem Tank auftrifft, wobei die Temperatur des Glases im Bereich von 100⁰C bis 65O°C liegt.

13· Vorrichtung zur Ausbildung einer Beschichtung aus einem Metall oder einer Metallverbindung auf einer Fläche eines Glassubstrates, indem diese, auf einer erhöhten Temperatur befindliche Fläche mit Tröpfchen aus einer Metallverbindung in Berührung gebracht wird, die durch Pyrolyse die Beschichtung aus dem Metall oder der Metallverbindung auf der Fläche ausbildet, mit einer Einrichtung zur Halterung des Substrates, mit einer Einrichtung zur Erwärmung des Substrates und mit einer Einrichtung zur Ausgabe von Tröpfchen auf die Oberfläche, dadurch gekennzeichnet, daß die Tröpfchenausgabeeinrichtung so konstruiert

709843/0886

-6- ^716181

angeordnet ist, daß sie wenigstens einen Tröpfchenstrom in eine Richtung ausgibt, die zu dem gehalter— ten Substrat (4) so geneigt ist, daß der Tröpfchenstrom auf eine Zone in dem zu beschichtenden Flächenbereich des Substrates (4) auftrifft, daß eine Einrichtung vorgesehen ist, um eine relative Verschiebung der Tröpfchenauslaßeinrichtung (9) und Substrates (4) herbeizuführen, so daß sich die augenblickliche Auftreffzone des Tröpfchenstroms auf die Fläche fortschreitend längs dem zu beschichtenden Flächenbereich verschiebt, und daß eine Gasauslaßeinrichtung mit einer Auslaßleitung (11,12,13) vorgesehen ist, deren Eintritt sich in Strömungsrichtung gesehen direkt hinter der Auftreffzone befindet, wobei die Auslaßeinrichtung kontinuierlich Gase aus der Umgebung des Stroms stromabwärts weg von dem Strom und aus der Nähe der Auftreffzone sowie direkt in die Leitung (11,12,13) saugt, ohne daß die Bahnen der Tröpfchen zu der Zone wesentlich beeinflußt werden.

14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß eine Einrichtung zur Verschiebung des gehalterten Substrates (4) in eine gegebene Richtung vorgesehen ist, und daß die Tröpfchenauslaßeinrichtung so konstruiert und angeordnet ist, daß sie wenigstens einen Tröpfchenstrom in eine solche Richtung ausgibtdaß er eine Geschwindigkeitskomponente in der gege—

709843/0886 "^7/"

benen Richtung hat, und daß der zwischen der Achse des Stroms und der freiliegende Fläche des flachen, gehalterten und beweglichen Substrates eingeschlossene Winkel, in einer Ebene gemessen, welche die Achse enthält und parallel zu der gegebenen Richtung ist, im Bereich von 25 bis 35° liegt.

15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Tröpfchenauslaßeinrichtung (9) so konstruiert und angeordnet ist, daß sie wenigstens einen Tröpfchenstrom abgibt, bei dem es sich um einen parallelen Strom oder um einen Strom handelt, der von seiner Quelle (9) in einem Winkel von nicht mehr als 30 divergiert.

16. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Tröpfchenauslaßeinrichtung (9) so angeordnet ist, daß der Abstand zwischen der Stelle, von welcher der oder jeder Tröpfchenstrom ausgegeben wird, und der freiliegenden Fläche des flachen Substrates (4), wenn sich dieses in seiner Stellung auf der Substrathalterung (5) befindet, senkrecht zu dieser Fläche gemessen, im Bereich von 15 bis 35 cm liegt.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (5) für das Substrat (4) ein kontinuierlich longitudinal

709843/0886 -8-

bewegliches Glasband (4) tragen kann, und daß die Tröpfchenausgabeeinrichtung (9) einen Tröpfchenausgabekopf enthält, der mit einer Einrichtung verbunden ist, welche diesen Kopf in der Richtung über die Bandbahn hin— und herverschiebt.

18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasauslaßeinrichtung eine Auslaßleitung (11,12,13) enthält, die mit einer Einrichtung verbunden ist, welche sie über die Bandbahn hin- und herverschiebt, um den Eintritt dieser Leitung (11, 12,13) in Strömungsrichtung gesehen direkt hinter der Auftreffzone (10) des Tröpfchenstroms auf dem Substrat (4) zu halten.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (5) für das Substrat ein kontinuierlich longitudinal bewegliches Glasband (4) tragen kann, und daß die Tröpfchenausgabeeinrichtung (9) einen oder mehrere Tröpfchenausgabeköpfe zur Ausgabe eines oder mehrerer Tröpfchenströme aufweist, dessen Auftreffzone oder deren kombinierte Auftreffzonen auf dem Substrat sich über die gesamte oder den größeren Teil der Breite der Bandbahn erstrecken.

20. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 17 oder 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Halterung (5) für das

709843/0886

Ü7 16181

Substrat (4) ein kontinuierlich longitudinal bewegliches Glasband (5) tragen kann,und daß die Auslaßeinrichtung eine stationäre Auslaßleitung (11,12,13) mit einem Auslaßgas-Einlaß enthält, der sich in Querrichtung über die Bandbahn erstreckt.

21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß die Leitung mehrere Auslaß-Einlässe aufweist, die von nebeneinanderliegenden Stellen über die Bandbahn führen.

22. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 19 oder 2o, gekennzeichnet, durch eine Auslaßleitung _t. die sich quer über die Bahn der Auslaßgase erstreckt und Hauptgaseinlaßöffnungen, die der Auftreffzone (den Auftreffzonen) zugewandt sind, sowie sekundäre Gaseinlaßöffnungen aufweist, die sich hinter diesen Haupteinlaßöffnungen befinden.

23. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 22, gekennzeichnet durch Auslaßleitungen (11,12,13) an verschiedenen, im Abstand abgeordneten Stellen in Strömungsrichtung gesehen hinter der (den) Auftreffzone (n), so daß Gase, die stromabwärts an einer Auslaßleitung (11,12,13) vorbeifließen, durch die nächste Auslaßleitung (13) abgesaugt werden können.

709843/0886 "^lo~

1618 ^

24. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 23, dadurch gekennzeichnet, daß die Gasauslaßeinrichtung eine so angeordnete Auslaßleitung (11,12,13) enthält, daß beim Betrieb die Gase auf einer Bahn, die von dem Substrat (4) divergiert, zu dem Einlaß der Leitung strömen.

25. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 13 bis 24, dadurch gekennzeichnet, daß die Tropfchenausgabeein— richtung (29) in Strömungsrichtuny gesehen hinter dem Auslaßende eines Float-Tanks zur Herstellung eines Glasbandes durch das Float-Verfahren angeordnet ist, so daß der oder jeder Tröpfchenstrom auf die obere Fläche des Bandes an einer oder mehreren Zonen auftrifft, wo die Temperatur des Glases im Bereich von 100⁰C bis 650°C liegt.

709843/0886