DE2646472B2 - Durchstrahlungs-Abtastelektronenmikroskop - Google Patents

Description

5. Elektronenmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtunterbrechungseinrichtung zwei hintereinander angeordnete und relativ zueinander verdrehbare polarisierende Platten umfaßt, von denen die eine ein zentrisches kreisförmiges polarisierendes Element (33) und ein dieses umgebendes, ringförmiges polarisierendes Element (32) mit einer zur Polarisationsrichtung des zentrischen Elements (33) senkrechten Polarisationsrichtung aufweist, und von denen die andere ein einziges kreisförmiges polarisierendes Element (35) aufweist (F ig. 5Au. B).

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Die Erfindung betrifft ein Durchstrahlungs-Abtastelektronrnmikroskop der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Gattung. so

Bei Elektronenmikroskopen dieser Gattung, wie sie aus »Journal of Scientific Instruments (Journal of Physics Ε)« 1969, Serie 2, Band 2, Seiten 744 bis 746, bekannt sind, wird das zu beobachtende Objekt mit einem fein gebündelten Primärelektronenstrahl abgetastet. Nach Durchsetzen des Objekts wird der Etektro nenstrahl in geeigneter Weise erfaßt, und das erfaßte Signal wird dem Intcnsitäts-Modulationseingang einer Kathodenstrahlröhre zugeführt, deren Ablenkung mit der Abtastbewegiing des Primärelektronenstrabls synchronisiert ist. Auf diese Weise wird auf dem Schirm der Kathodenstrahlröhre ein Bild des Objekts sichtbar gemacht, das der Intensitätsverteilung des das Objekt durchsetzenden Elektronenstrahls entspricht

Aus der amerikanischen Patentschrift Nr. 36 26 184 ist es ferner bekannt, zur genaueren Analyse des Objekts nicht nur die ungestreuten Elektronen des das Objekt durchsetzenden Elektronenstrahls sondern auch — und zwar getrennt davon — die gestreuten Elektronen zu erfassen und als Bild des Objekts sichtbar zu machen.

Ein weiteres Durchstrahlungs-Abtastelektronenmikroskop der eingangs genannten Gattung, das ebenfalls zum Stand der Technik gehört, wird im folgenden anhand von F i g. 1 näher erläutert

Gemäß F i g. 1 befindet sich in einer von efoer Wand 25 umschlossenen und auf ein hohes Vakuum evakuierten Kammer 24 ein zu beobachtendes Objek'. 8, oberhalb dessen eine Einrichtung zur Abstrahlung eines Primärelektronenstrahls angeordnet ist Diese Primärelektronenquelle umfaßt eine Feldemissions-Elektronenkanone mit einer Kathode 1, einer ersten Anode 3 und einer zweiten Anode 5. Zur Elektronenemission liegt zwischen der Kathode 1 und der ersten Anode 3 eine erste SpannuHjsquelle 2, während zur Beschleunigung der Elektronen zwischen der Kathode 1 und der ersten Anode 3 eine erste Spannungsquelle 2, während zur Beschleunigung der Elektronen zwischen der Kathode 1 und der geerdeten zweiten Anode 5 und eine zweite Spannungsquelle 4 eingeschaltet ist.

Bei der gezeigten Anordnung wird um die Spitze der Kathode 1 ein starkes Feld gebildet, so daß von der Kathode 1 Elektronen emittiert werden, wenn ein positives Potential von etwa ±3 kV gegenüber der Kathode 1 an die erste Anode 3 angelegt wird. Die so emittierten Elektronen werden dann beschleunigt und es wird ihnen Energie zugeführt. _rOies geschieht durch den Einfluß des Beschleunigungspotentials von 50 bis 100 kV zwischen Kathode 1 und zweiter Anode 5. Hierdurch entsteht der Primärelektronenstrahl 41.

Der Primärelektronenstrahl 41 wird dann durch eine Fokussierlinse 6 gebündelt und als feiner Punkt auf die Oberfläche des Objekts 8 geworfen. Der Ort des Punktes, auf den der gebündelte Elektronenstrahl auftritt, wird durch eine Ablenkspule 7 so bewegt, daß eine zweidimensional Abtastung entsteht. Die Ablenkspule 7 wird von einer Ablenksignalquelle 12 ausgesteuert.

Da das Objekt gewöhnlich extrem dünn ist (seine Stärke liegt üblicherweise bei 100 nm), treten fast alle auf das Objekt 8 abgestrahlten Elektronen durch das Objekt hindurch. Durch Unterschied der Dicke des partiellen Zustands oder der atomaren Zusammensetzung des Objekts erhalten die durch das Objekt hindurchgetretenen Elektronen unterschiedliche Intensitäten sowie unterschiedliche Streuwinkel. Daher wird die Information über das Objekt durch Beobachtung und Analyse der Intensität und des Streuwinkels der Elektronen gewonnen.

Zur Erzielung einer detaillierteren Information durch das oben erläuterte Prinzip ist das Elektronenmikroskop der F i g. 1 mit einem Hellfelddetektor 23 versehen, mit dem die nicht gestreuten Elektronen 42A erfaßt werden können, sowie mit einem Dunkelfelddetektor 22, mit dem gestreute Elektronen 425 erfaßt werden können.

Der Dunkelfelddetektor 22 enthält eine dünne Leuchtschicht 9 aus einer Substanz, die bei Auftreffen von Elektronen aufleuchtet, beispielsweise einer fluoreszierende Substanz, einen photoelektrischen Detektor 11, mit dem das von der Leuchtschicht 9 emittierte Licht erfaßt werden kann, beispielsweise eine Lichtverstärkerröhre, und eine Lichtführung, beispielsweise ein Prisma 10, mit dem das von der Leuchtschicht 9 emittierte Licht zum photoelektrischen Detektor 11 geleitet werden kann.

In der Mitte der Leuchtschicht 9 befindet sich eine kreisförmige öffnung SA durch die die nicht gestreuten Elektronen 42Λ hindurchtreten können. Die Leuchtschicht 9 ist damit nur gegenüber den gestreuten Elektronen 42ß empfindlich. Somit entspricht das Ausgangssigna] des photoclektrischen Detektors 11 nur der Intensität der gestreuten Elektronen 42Ä

Der Hellfelddetektor 23 enthält eine dünne Leuchtschicht 13 aus leuchtender, beispielsweise fluoreszierender Substanz, eine Lichtführung 14 und einen photoelekirischen Detektor 15. Die Leuchtschicht 13 empfängt nur die nicht gestreuten Elektronen 42.4, ro daß das Ausgangssignal des photoelektrischen Detektors 15 nur der Intensität der nicht gestreuten Elektronen 42/4 entspricht

Die Ausgangssignaie des Hellfeld-Detektors 23 und des Dunkelfeld-Detektors 22 werden einem Umschalter 16 zugeführt, mit dem einer der Ausgänge der beiden Detektoren 22 bzw. 23 angewählt und die entsprechenden Ausgangssignale einem Verstärker 17 zugeführt werden können, der seinerseits dem Intensitätsmodulationseingang 20 einer Kathodenstrahlröhre 18 ein verstärktes Signal zuführt. Da die Ablenkspule 19 der Kathodenstrahlröhre 18 durch die gleiche Ablenksignalquelle 12 ausgesteuert wird, wie die Ablenkspule 7 zur Ablenkung des Primärelektronenstrahls 1, wird der Elektronenstrahl der Kathodenstrahlröhre 18 synchron zum Primärelektronenstrahl 41 abgelenkt.

Somit wird auf dem Schirm der Kathodenstrahlröhre 18 ein Hel'feldbild, d. h. ein von den nicht gestreuten Elektronen erzeugtes Bild, angezeigt, wenn dem Intensitätsmodulationsanschluß 20 das Ausgangssignal des Hellfeld-Detektors 23 zugeführt wird. Dagegen wird auf dem Bildschirm der Kathodenstrahlröhre 18 ein Dunkelfeldbild, d. h. ein durch die gestreuten Elektronen gebildete? Bild, angezeigt, wenn das Ausgangssignal vom Dunkelfeld-Detektor 22 dem Anschluß 20 zugeführt wird. Zur gleichzeitigen Darstellung des Dunkelfeld- und des Hellfeldbildes können zwei Kathodenstrahlröhren verwendet -verden.

Die zentrale öffnung 9/4 der Leuchtschicht 9 muß genau konzentrisch zur Mittelachse des übertragenen Elektronenstrahls zu sein. Hierzu ist der Dunkelfeld-Detektor 22 in einer horizontalen Ebene verschiebbar angeordnet.

In den meisten Fällen ist unmittelbar oberhalb der Leuchtschicht 13 des Hellfeld-Detektors 23 eine Maskenplatte 21 mit einer kreisflächenförmigen Mittelöffnung 21/4 vorgesehen. Die Maske 21 dient zur Unterbrechung des Umfangsteils des durch die Mittelöffnung 9/4 der Leuchtschicht 9 hirtdürchgetretenefl Elektronenstrahls 42,4, während der mittlere Teil 42C hindurchtreten kann. Hierdurch wird der Kontrast des Hellfeld-Bildes verbessert. Der Kontrast kann durch Änderung des Durchmessers der Mittelöffnung 21/4 eingestellt werden. Die Maske 21 ist ebenfalls in einer horizontalen Ebene ve-schiebbar, so daß die Öffnung 2iA auf die optische Achse des nicht gestreuten Elektronenstrahls 42.4 zentriert werden kann.

Bei dieser Anordnung kann zwar das Bild gut beobachtet werden, sie ist jedoch wegen der beiden erforderlichen Detektoren 22 und 23 kompliziert und teuer. Eine weiten? Schwierigkeit bei der bekannten Anordnung besteht darin, daß innerhalb der evakuierten Kammer 24 bewegbare Teile zur Verschiebung des Dunkelfeld-Detektors 22 sowie zur Verschiebung und Änderung der Maske 21 vorgesehen sein müssen und die Handhabung und Justierung dieser Bauelemente entsprechend schwierig und zeitraubend sind.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Durchstrahlungs-Abtastelektronenmikroskop der eingangs angegebenen Gattung zu schaffen, bei dem unter Verwendung eines einzigen Detektors die den gestreuten und ungestreuten Elektronen entsprechenden Bilder getrennt erfaßt werden können, so daß es bei unverändert guten Beobachtungseigenschaften einfacher aufgebaut und zu handhaben ist

Die Lösung dieser Aufgabe ist iro Patentanspruch 1 gekennzeichnet Danach kommt das, erfindungsgemäße Abtastelektronenmikroskop mit einem einzigen Detektor aus, der je nach der Lichtunterbrechungseinrichtung die gestreuten oder die nicht gestreuten Elektronen erfaßt Da ferner die Lichtunterbrechungseinrichtung das aus der evakuierten Kammer heraus übertragene Bild teilweise abdeckt und daher außerhalb dieser Kammer angeordnet sein kann, sind keinerlei bewegbare Bauelemente innerhalb der evakuierten Kammer erforderlich. Ferner ist die Justierung der Lichtunterbrechungseinrichtung außerhalb der evakuierten Kammer leichter und, weil das auf der Lichtaustrittsfläche der Lichtübertragungseinrichtung erzeugte Bild sichtbar ist, genauer zu bewerkstelligen.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüche gekennzeichnet

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung werden in der nachstehenden Beschreibung anhand der weiteren F i g. 2 bis 7 näher erläutert. Darin zeigt

F i g. 2 eine teilweise als schematischer Schnitt teilweise als Blockschaltbild ausgeführte Darstellung eines Durchstrahlungs-Abtastelektronenmikroskops;

Fig.3 einen Schnitt durch ein Ausführungsbeispiel einer Lichtunterbrecbungsplatte zur Beobachtung des Hellfeldbildes in dem Elektronenmikroskop nach Fig. 2;

F i g. 4 einen Schnitt durch eine Lichtunterbrechungsplatte zur Beobachtung des Dunkelfeldbildes;

F i g. 5A und 5B eine andere Lichtunterbrechungseinrichtung, die mit polarisierenden Platten arbeitet;

Fig.6 ein weiteres Ausführungsbeispiel einer Lichtunterbrechungsplatte zur Beobachtung des Hellfeldbildes;und

F, g. 7 ein anderes Ausführungsbeispiel einer Lichtunterbrechungsplatte zur Beobachtung des Dunkdfeldbildes.

Bei dem Durchstrahlungs-Abtastelektronenmikroskop nach F i g. 2 sind die dem Mikroskop nach F i g. 1 entsprechenden Rauelemente mit gleichen Bezugsziffern bezeichnet. Sämtliche das Objekt 8 durchsetzenden Elektronen treffen auf eine Leuchtschicht 26, die beispielsweise aus einer fluoreszierenden Substanz besteht und beim Auftreffen von Elektronen aufleuchtet. Entsprechend wird auf der Leuchtschicht das Bild einer Intensitätsve teilung erzeugt, die der Intensitätsverteilung der durch das Objekt 8 hindurchgetretenen Elektronen entspricht.

Das so gebildete Bild wird mittels einer Lichtiibcrtra-

gungseinrichtung 27 aus der evakuierten Kammer 24 herausgeleitet, die vorzugsweise aus einer Faserplatte besteht Es können jedoch auch andere Einrichtungen verwendet werden, mit denen das Biid auf der Leuchtschicht 26 aus der evakuierten Kammer 24 heraus übertragen werden kann. Die Bezeichnung »Faserplatte« bezeichnet eine Platte, die aus mehreren parallel zueinander angeordneten feinen optischen Fasern besteht die das auf eine Seite auftreffende Licht mit hoher Wiedergabetreue auf die andere Seite übertragen können. Auch eine transparente Platte, z. B. eine Glas- oder Kunststoffplatte kann als Lichtübertragungseinrichtung verwendet werden. Somit wird das in der evakuierten Kammer 24 erzeugte Bild auf die Endfläche der Lichtübertragungseinrichtung übertragen, die außerhalb der evakuierten Kammer 24 liegt. Die Intensitätsverteilung des übertragenen Bildes entspricht der Intensitätsverteilung der durch das

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Zur Endfläche der Lichtübertragungseinrichtung 27 weist eine Eingangsfläche eines lichtelektrischen Detektors 29; dazwischen befindet sich eine Lichtunterbrechungsplatte 28 mit einer zentralen kreisförmigen öffnung 28,4 (F i g. 3). Der lichtelektrische Detektor 29 empfängt somit nur das durch die zentrale öffnung 28/4 hindurchgetretene Licht, während der restliche Teil abgedeckt wird.

Durch Einstellung des Durchmessers und der Stellung der zentralen Öffnung 28/4 kann somit nur der Teil des Bildes vom lichtelektrischen Detektor 29 weitergeleitet werden, der den nicht gestreuten Elektronen 42/4 entspricht. Die Platte 28 wird daher als Dunkelfeld-Unterbrechungsplatte bezeichnet und zur Beobachtung des Hellfeld-Bildes verwendet.

Somit entspricht das Ausgangssignal des lichtelektrischen Detektors 29 nur der Intensität der nicht gestreuten Elektronen 42/4. Mit anderen Worten, der Detektor 29 arbeitet als Hellfeld-Detektor.

Das Ausgangssignal des lichtelektrischen Detektors 29 wird mittels eines Verstärkers 17 verstärkt und dem Intensitätsmodulationseingang 20 einer Kathodenstrahlröhre 18 zugeführt.

Da der Elektronenstrahl der Kathodenstrahlröhre 18 durch einen Ablenksignalgenerator 12 synchron zum Primärelektronenstrahl 41 abgelenkt wird, entsteht am Schirm der Kathodenstrahlröhre 18 ein Hellfeld-Bild, das der Intensität der nicht gestreuten Elektronen 42/4 entspricht

Soll dagegen das Dunkelfeld-Bild erhalten werden, so wird anstatt der Dunkelfeld-Unterbrechungsplatte 28 eine Hellfeld-Un'erbrechungsplatte 30 der in Fig. 4 gezeigten Form verwendet. Die Hellfeld-Unterbrechungsplatte 30 hat einen zentralen lichtunterbrechenden Teil 30Λ, mit dem der Teil des Bildes unterbrochen oder abgeschattet werden kann, der den nicht gestreuten Elektronen 42/4 entspricht Die Hellfeld-Unterbrechungsplatte 30 weist ferner eine um den Umfang des Teils 30/4 verlaufende ringförmige öffnung 30 ß auf, durch die das den gestreuten Elektronen 42ß entsprechende Licht hindurchtreten kann.

Arme 30C dienen zur Halterung des mittleren Unterbrechungsteils 30/4. Mit Hilfe der Hellfeld-Unterbrechungsplatte 30 wird vom lichtelektrischen Detektor 29 ein Ausgangssignal erzeugt das der Intensität der gestreuten Elektronen 42ß entspricht Der Detektor 29 arbeitet in diesem FaH aiso ais Dunkeifeid-Detektor, der auf dem Bildschirm der Kathodenstrahlröhre 18 ein Dunkelfeld-Bild erzeugt dessen Intensitätsverteilung der der gestreuten Elektronen 42ßentspricht.

Durch Auswechsele der Lichtunterbrechungsplatten kann also mittels eines einzigen Detektors für die Elektronen, einer einzigen Lichtübertragungseinrichtung und eines einzigen lichtelektrischen Detektors sowohl das Hellfeld- als auch das Dunkelfeld-Bild selektiv und abwechselnd beobachtet werden. Zusätzlich kann der Kontrast des Hellfeld-Bildes in sehr zweckmäßiger und bequemer Weise durch Änderung des Durchmessers der Mittelöffnung 28/4 der Dunkelfeld-Unterbrechungsplatte 28 gesteuert werden. Die Unterbrechungsplatte kann von außen ausgewechselt werden; ebenso können andere erforderliche Einstellungen, beispielsweise die Zentrierung, vorteilhafterweise außerhalb der evakuierten Kammer 24 vorgenommen werden, so daß der Aufbau in seiner Größe verkleinert und vereinfacht wird und somit eine vereinfachte Betriebsweise oder Handhabung möglich ist.

I t g. *jr\ Uli\l •Jlß CLIgVIl VIII ni.ULIVJ /IUJIUIIIUt^JUVI spiel einer Unterbrechungsplatte, bei der zwei polarisierende Platten verwendet sind. Von diesen ist die eine drehbar, so daß eine Umschaltung zwischen Dunkelfeld- und Hellfeld-Bild-Beobachtung möglich ist.

Die erste polarisierende Platte besteht gemäß Fig. 5A aus einem ringförmigen polarisierenden Element 32, das in einem Halter 31 gelagert ist, und einem kreisförmigen polarisierenden Element 33, das in der Mittelö'inung des ringförmigen Elements 32 angeordnet ist. Die Anordnung ist so gewählt, daß die

μ Polarisationsrichtungen der beiden polarisierenden Elemente 32 und 33 senkrecht zueinander verlaufen.

Eine zweite polarisierende Platte besteht gemäß F i g. 5B aus einem kreisförmigen polarisierenden Element 35, das mittels eines Halters 34 gelagert ist.

Nimmt man an, daß der Durchmesser des polarisierenden Elements 33 gleich dem des von den nicht gestreuten Elektronen 42/4 gebildeten Bildteils ist und daß die beiden polarisierenden Platten übereinander und zwischen der Lichtübertragungseäririchtung 27 und

•»o dem lichtelektrischen Detektor 29 angeordnet sind, so kann das den nicht gestreuten Elektronen 42/4 entsprechende Licht durch den Bereich des polarisierenden Elements 33 hindurchtreten, während das den gestreuten Elektronen 42ß entsprechende Licht unteres brochen wird, wenn die Platten so angeordnet sind, daß die Polarisationsrichtungen der polarisierenden Elemente 33 und 35 parallel zueinander verlaufen.

In diesem Fall können die beiden polarisierenden Platten die Funktion einer Dunkelfeld-Unterl. ;hungsplatte übernehmen, so daß der lichtelektrische Detektor 29 als Hellfeld-Detektor wirkt und am Bildschir. ι der Kathodenstrahlröhre 18 ein Hellfeld-Bild wiedergegeben werden kann.

Zur Beobachtung des Dunkelfeld-Bildes wird die zweite polarisierende Platte lediglich um 90° gedreht so daß die Polarisationsrichtungen der Elemente 32 und 35 parallel zueinander verlaufen. Entsprechend kann nur das den gestreuten Elektronen 42ß entsprechende Licht durch den Bereich des polarisierenden Bereichs 32 hindurchtreten, während das den nicht gestreuten Elektronen 42/4 entsprechende Bild unterbrochen wird.

Somit erreicht nur das den gestreuten Elektronen 42ß entsprechende Bild den lichtelektrischen Detektor 29.

Somit wirken in diesem Fall die beiden polarisierenden Platten als Hellfeld-Unterbrechungsplatte, während der lichtelektrische Detektor 29 als Dunkeifeid-Detektor arbeitet und am Bildschirm der Kathodenstrahlröhre 18 das Dunkelfeid-Bild dargestellt wird.

Die Unterbrechungsplatte der Fig.5A und 5B ermöglicht in vorteilhafter Weise eine Umschaltung zwischen der Hellfeld- und der Dunkelfeld-Beobachtung durch einfache Drehung einer der beiden polarisierenden Platten.

Fig.6 und 7 zeigen verschiedene Ausführungsbeispiele der Dunkelfeld- bzw. Hellfeld-Unterbrechungsplatt;·

F i g. θ zeigt eine abgewandelte Ausführungsform der Dunkelfeld-Unterbrechungsplatte, die eine transparen te Substratplatte 36, beispielsweise ein-. Glas- oder Kunststoffplatte, enthält, auf der ein ringförmiger Lichtschirm 37 mit einem zentralen, kreisförmigen transparenten Teil 38 ausgebildet ist, durch den das nur den nicht gestreuten Elektronen 424 entsprechende

Licht zum lichtelektrischen Detektor 29 durchgelassen wird. Der Lichtschirm 37 kann als eine haftend an der Substratplatte 36 angebrachte dünne Lichtschirmplatte ausgebildet sein oder als dünne Lichtschirmplatte, die, beispielsweise durch Dampfablagerung, am Substrat 36 befestigt ist.

Alternativ kann als Substrat ein photographischer Film verwendet werden, von dem zuvor zur Ausbildung des Lichtschirms 37 ein Teil geschwärzt wurde.

Die Hellfeld-Unterbrechungsplatte der F i g. 7 enthält einen kreisförmigen Schirm 40, der auf ein;m transparenten Substrat 39 ausgebildet ist und das den nicht gestreuten Elektronen 42/4 entsprechende Licht unterbricht.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

Claims (4)

Patentansprüche:

1. Dwrchstrablungs-Abtastelektronenmikroskop mit Einrichtungen zur Abstrahlung eines fein gebündelten Primärelektronenstr«hls auf ein innerhalb einer evakuierten Kammer befindliches, zu beobachtendes Objekt, mit Einrichtungen zur Abtastung des Objekts mit dem Primärelektronenstrahl, mit einem Detektor zur Umwandlung durch das Objekt hindurchgetretener Elektronen in Licht, mit einer Lichtübertragungsemrichtung zur Übertragung der vom Licht gebildeten Bilder aus der evakuierten Kammer heraus, und mit einem lichtelektrischen Detektor zur Erfassung des übertragenen Lichts, gekennzeichnet durch ts eine Lichtunterbrechungseinrichtung (28,30,36,39), mit der ein gewählter Teil des aus der evakuierten Kammer (24) heraus übertragenen Bildes zum lichtelektrischen Detektor (29) durchgelassen und der restlich Teil dieses Bildes abgedeckt wird.

2. Elektronenmikroskop nach Anspruch !, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtunterbrechungseinrichtung (28, 30,36,39) wahlweise entweder nur denjenigen Teil des Bildes durchläßt, der den vom Objekt (8) nicht gestreuten Elektronen entspricht, oder nur denjenigen Teil, der den vom Objekt (8) gestreuten Elektronen entspricht.

3. Elektronenmikroskop nach Anspruchs, dadurch gekennzeichnet, daß die Lichtunterbrechungseinrichtung eine erste Platte (28) mit einer zentrischen Öffnung (2SA) sowie eine zweite Platte (30) mit einer einen geschlossenen Mittelteil {30A) umgebenden ringförmigen Öffnung (3QB) umfaßt (F ig. 3,4).

4. Elektronenmikroskop na.h Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Platten (36, 39) aus einem transparenten Substrat bestehen, das bei der ersten Platte (36) einen ringförmigen Lichtschirm (37) und bei der zweiten Platte (39) einen kreisförmigen Lichtschirm (40) trägt (F i g. 6,