DE2629411A1 - Magnetaufzeichnungselement und verfahren zu dessen herstellung - Google Patents

Magnetaufzeichnungselement und verfahren zu dessen herstellung

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DE2629411A1
DE2629411A1 DE19762629411 DE2629411A DE2629411A1 DE 2629411 A1 DE2629411 A1 DE 2629411A1 DE 19762629411 DE19762629411 DE 19762629411 DE 2629411 A DE2629411 A DE 2629411A DE 2629411 A1 DE2629411 A1 DE 2629411A1
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polysilicate
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DE19762629411
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Yoji Suganuma
Masahiro Yanagisawa
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NEC Corp
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Nippon Electric Co Ltd
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/62Record carriers characterised by the selection of the material
    • G11B5/72Protective coatings, e.g. anti-static or antifriction

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  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Description

  • Nagnetaufzeichnungselement und Verfahren zu dessen Herstellung Die Erfindung bezieht sich auf ein Magnetaufzeichnungselement, beispielsweise eine Magnetplatte, eine Magnettrommel od. dgl., für Magnetaufzeicllnungs- und -wiedergabevorrichtungen gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1, und auf ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Magnetaufzeichnungselementes.
  • Magnetaufzeichnungs- und -wiedergabevorrichtungen besitzen grundsätzlich Magnetköpfe zum Aufzeichnen und Wiedergeben und Magnetaufzeichnungselemente.
  • Im allgemeinen können Aufzeichnungs- und Wiedergabesysteme für Magnetaufzeichnungsvorrichtungen in zwei Arten unterteilt werden. Beim einen System wird zu Beginn des Vorgangs der Magnetkopf auf die Oberfläche des iIagnetaufzeichnungselementes aufgelegt bzw. gebracht, worauf das Auf zeichnungselement mit einer vorgegebenen Gekhwindigkeit und in einer Weise rotierend angetrieben wird, daß sich zwischen der ilagnetkopf und der Oberfläche des Magnetaufzeichnungselementes ein Abstand ergibt, wodurch die Aufbeichnungs- und Wiedergabevorgänge ermöglicht werden. Bei diesem System wird bei Beendigung des Vorganges die Rotation des Aufzeichnungselementes in einen Zustand angehalten, in dern der magnetkopf und das Aufzeichnungselement, wie zu Beginn des Vorganges, in Reibungskontakt miteinander sind.
  • Beim anderen System wird der fiiagnetkopf plötzlich, nachdem zuvor das ilagnetaufzeichnungselement mit einer bestimmten Geschwindigkeit rotierend angetrieben worden ist, zur Oberfläche des Aufzeichnungselementes hin gebracht, so daß ein einer Luttschicht zwischen dem Magnetkopf und dem Aufzeichnungselement entsprechender Abstand erreicht wird, um die Aufzeichnungs- und Wiedergabevorgänge zu ermöglichen. Beim zuletzt genannten System werden also der Magnet kopf und das Aufzeichnungselement dann in Reibungskontakt mit einander gebracht, wenn der Magnet kopf zur Oberfläche des Aufzeichnungselementes hin bewegt wird.
  • Solch ein Reibungskontakt führt zu Beschädigungen am Magnet kopf und am Magnetaufzeichnungselement, so daß befriedigende Aufzeichnungs- und Wiedergabevorgänge unmöglich werden. Darüber hinaus gibt es Fälle, bei denen der Magnetkopf die Oberfläche des Aufzeichnungselementes unerwartet berührt, so daß der Magnetkopf und das Aufzeichnungselement beschädigt werden können.
  • Selbst wenn der Magnetkopf und das Aufzeichnungselement nicht beschädigt werden, wird auf eine zum Halten des Magnet kopf es dienende Feder immer mehr eine Kraft ausgeübt, da sich die Kontaktfrequenz des Magnet kopf es und des Aufzeichnungselementes erhöht. Aus diesem Grunde schwankt der Abstand zwischen dem Magnetkopf und der Auf zeichnungsfläche des Elementes. Außerdem wird ein als eigentliches Aufzeichnungselement verwendetes magnetmetallisches Dünnfilmmedium möglicherweise einer hohen Umgebungs-Temperatur und -feuchtigkeit ausgesetzt, so daß die Oberfläche des Aufzeichnungselementes korrodiert.
  • Dies beeinflußt die magnetischen Eigenschaften des Elementes und verschlechtert deshalb dessen Aufzeichnungs- und Wiedergabecharakteristik. Demzufolge ist elne Schutzschicht oder ein Überzug auf der Oberfläche des magnetmetallischen Dünnfilmmediums erforderlich, das als ein magnetisches Speichermedium der Magnet auf ze ichnungsvorr ichtung dient.
  • Diese genannte Schutzschicht muß folgende Merkmale erfüllen: (1) Das Medium für die Schutzschicht sollte eine unerwartete oder unbeabsichtigte Berührung des betreffenden Magnet kopfes mit dem Magnetaufzeichnungselement während derufzeichnungs- und Wiedergabevorgänge aushalten (Widerstandsfähigkeit gegen einen Magnetkopfdruck bzw. -reibun, 1,head-crushing") (2) Die auf eine Feder übertragene Kraft sollte gering sein, die durch eine Reibkraft zum Halten des Magnetkopfes bewirkt wird, welche durch den Reibungskontakt des Magnetkopfes mit dem Aufzeichnungselement über eine Vielzahl von Eerührungszyklen ausgeübt wird (Lubrizitt;.
  • (3) Auch bei Reibungskontakten über eine Vielzahl von Berührungszyklen hinweg sollte das Schutzschichtmedium frei von Eeschädigungen und Abblättern oder Ablösen gehalten werden Abriebfestigkeit).
  • (4) selbst unter dem Einfluß einer hohen Temperatur und einer hohen Feuchtigkeit sollte das chutzschichtredium das magnetmetallische Dünnfilmmedium schützen, um die gewünschten Aufzeichnungs- und Kiedergabeeigenschaften sicherzustellen (Beständigkeit gegenüber Umgebungseinflüssen).
  • (5) Das Schutzschichtmedium sollte die magnetischen Eigenschaften eines metallischen substrats einschließlicn des kagnetspeichermediums nicht beeinträchtigen.
  • Gemäß dem U.?-Patent 3 466 156 wird ein Oxydfilm als Schutzschicht verwendet, den man dadurch erhalt, daß die Oberfläche des magnetischen Films unter Erwärmung bei Atmosphärendruck mit einem Sauerstoffträger oxydiert wird. Die Verwendung dieser Echutzschicht ist jedoch verschiedene Nachteile. ilt anderen rorte-r., der Hagnetfilm korrodiert wegen des Sauerstofftr'ffi"ers bei der Oxydation, so daf ein -ehler beim h.rreichen der Einheitlichkeit im Hagnetfim dessen verschlechterte magnetische Eigenschaften mit sich bringt.
  • Ferner wird durch die @ärmebehandlung mittels hoher Temperatur eine Unterschicht des Magnetfilms magnetisiert, was zur Folge hat, daß sich die Aufzeichnungs-und @iedergabeeigenschaften verschlechtern. Des weiteren bewirken Bedingungen unter hoher Temperatur und hoher Feuchtigkeit notwendigerweise eine Korrosion des Hagnetfilrns; insbesondere hat ein ustand bei einer entsprechend höheren Feuchtigkeit ein Reiben des Magnetkopfes zur Folge. Ein solcher Oxydschutzfilm kann also die genannten Merkmale (1) bis (5) nicht erfüllen.
  • Darüber hinaus ist es bekannt, SiO2 als Schutzfilm mittels eines Sprüh- bzw. Spritzverfahrens auf einem Nagnetaufzeichnungselement aufzutragen. Jedoch erfüllt der durch Aufsprühen von SiO2 gebildete Film nicht die Merkmale (1) und (2). Es wurde zwar auch ein erfolgreicher Versuch zur Erfüllung der Merkmale (1) bis (5) dadurch unternommen, daß mittels eines Sprühverfahrens Glas als Schutzfilm aufgetragen wurde.
  • Jedoch bringt die Verwendung des Sprühverfahrens Schwierigkeiten bei der Herstellung auf Massenproduktionsbasis unausweichlich mit sich, so daß die H-erstellungskosten anwachsen. Ein weiterer Nachteil besteht darin, daß mit dem Anwachsen der Größe des Magnetaufzeichnungselement es ein Anwachsen der SprühflCche verbunden ist.
  • Aus diesem Grunde kommen zumAnwachsen der Gesamtkosten des Gerätes technische Schwierigkeiten hinzu.
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es deshalb, ein tiagnetaufzeichnungselement und ein Verfahren zu dessen Herstellung zu schaffen, das die vorgenannten Nachteile der bekannten Xagnetaufzeichnungselemente nicht mehr aufweist.
  • Diese Aufgabe wird hinsichtlich des r1agnetaufzeichnungs elementes durch die Merkmale im Kennzeichen des Anspruches 1 und hinsichtlich des Verfahrens zum Herstellen eines flagnet aufzeichnungselementes durch die Merkmale im Kennezichen des Anspruchs 5 gelöst.
  • weitere Einzelheiten und Ausgestaltungen der Erfindung sind der folgenden Beschreibung zu entnehmen, in der die Erfindung anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles naher beschrieben und erläutert wird. Die einzige Figur zeigt einen Teilschnitt durch ein Magnetaufzeichnungselement gemäß einem Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung.
  • Wie aus der Zeichnung ersichtlich, besitzt das lagnetaufzeichnungselement 5 gemtiß vorliegender Erfindung einen aus einer Legierung bestehenden Träger bzw.
  • Platte 1, eine Schicht 2 aus einer unmagnetischen Legierung, welche die Oberfläche der legierten Platte 1 überzieht, ein aus einem magnetmetallischeniQedium bzw. Substanz bestehender Dünnfilin 3, der eine hochglanzeschliffene Oberfläche oder Spiegeloberfläche der unmagnetischen Legierungsschicht 2 überzieht, und eine dünne Schutzschicht bzw. -haut bzw. -film 4, die bzw. der aus Polysilicat hergestellt und auf dem Dünnfilmmedium 3 gebildet ist.
  • Das erfindungsgemäße Aufzeichnungselement 5 wird in folgenden Schritten hergestellt: Die unmagnetische Legierung wird auf die Oberfläche der legierten Platte 1 durch Plattierung aufgebracht das magnetmetallische Dünnfilirnedium wird auf der hochglanzgeschliffenen Oberfläche der so gebildeten Legierungsschicht 2 mittels eines Plattierungsverfahrens gebildet; eine Lösung aus Tetrahydroxysilan (-Siliziumwasserstoff), das durch Hydrolyse von Tetraalkoxysilan gewonnen wird, wird auf der Oberflache des Dünnfilmmediums 3 aufgebracht, die die auf diese Weise vorbereiteten, zusammengesetzten Schichten besitzende Platte wird einer Tempetur von mehr als 100°c derart getrocknet bzw. gebrannt, daß eine minderung in der magnetischen Eigenschaft des Dünnfilmmediums die Aufzeichnung s- und Jiedergabeeigenschaften des Magnetaufzeichnungselementes nicht nachteilig beeinflußt.
  • Dadurch ird die dünne Schicht nus Polysilicat, das ein Polymer von Cetrahydroxysilan ist, auf der Oberflache des Dünnfilmmeliuns 3 gebilaet.
  • Die legierte Platte 1 muß zu einer wenn, bzw. unbedeutrend topc;rahischen Oberfläche fertigbearbeitet werden, da.h. nicht mehr als 50>1 in Umfangsrichtung, nicht mehr als 10 /u in radialer Richtung der Platte.
  • Dies msu.Q deshalb erfolgen, weil bei einer VergröBerung bzw. Xergroberung der topographischen Struktur ein tag netkcpf bei der Aufnahme und Viedergabe nicht mehr in befrIedigender Teise über der Oberfläche des Magnetaufzeichungselementes schwebt oder fliegt, so daß der Abstand des Magnetkopfes vom Aufzeichnungselement schwankt. Dies verändert die Aufzeichnungs- und fiedergabeeigenschaften des Aufzeichnungselementes, entweder dann, wenn der Magnetkopf die Oberfläche des Auf zelchnungselementes berührt, oder dann, wenn der Magnetkopf von der Elementoberfläche einen Abstand besitzt.
  • Die Oberfläche der auf die Oberfläche der legierten Platte 1 plattierten unmagnetischen Legierungsschicht 2 wird bis auf eine Oberflächenrauhigkeit von weniger als 0,04 /u durch mechanisches Polieren bzw. Glanzschleifen hochglänzend bearbeitet bzw. poliert. Es sei hervorgehoben, daß dann, wenn ein Metall, das zu einer Spiegelfläche hochglänzend poliert werden kann, als legierte Platte 1 verwendet wird, die Legierungsschicht2 nicht mehr notwendig ist. Das Dünnfilmmedium 3, das für Aufzeichnungen hoher Dichte geeignet ist, wird auf die Oberfläche der Legierungsschicht 2 gebracht. Die aus Polysilicat hergestellte Schutzschicht 4 schützt das Medium 3 vor einem Reibungskontakt und vor einem durch Temperatur und Feuchtigkeit verursachten chemischen Angriff bzw. Korrosion. Die Schutzschicht 4 kann dadurch leicht gebildet werden, daß eine Lösung aus Tetrahydroxysilan, das durch Hydrolyse von Tetraalcoxysilan gewonnen wird, auf das Medium 3 gebracht wird, das mit der Platte 1 und der Schicht 2 rotiert, worauf die Trocken- und EinbrennvorÕänge folgen.
  • Je höher die Flughöhe des ;lagnetkopfes, also der Abstand zwischen dem Magnetkopf und der Schutzschichtoberfläche beim Aufzeichnen und TTiederbeben des Magnetaufzeichnungselementes ist, desto widerstandsfähiger ist das Aufzeichnungselement Je*enüber einer Magnetkopfreibung. Zur Sicherung der Aufzeichnung und der Wiedergabe des Aufzeichnungselementes ist jedoch ein geringerer Abstand zwischen dem Magnetkopf und der Oberfläche des Aufzeichnungselementes beim Aufzeichnen und Wiedergeben vorteilhafter. Aus diesem Grunde ist es wichtig, die Dicke der Schutzschicht 4 auf ein Minimum herabzudrücken. In dieser hinsicht wird eine Dicke tn Bereich von 0,1 p unter Berücksichtigung der Festigkeit bzw. Widerstandsfähigkeit der Schutzschicht 4 bevorzugt. Der Dickenbereich der Schutzschicht 4 kann nur bis auf 0,3 /u erweitert werden, weil die Dicke, die die genannte Grenze von -,3 /u überschreitet wegen der bei der Polymerisation von Tetrahydroxysilan erzeugten Spannung ein ReiSen der Schutzschicht bewirkt. ie später noch zu beschreiben sein wird, ist(es unerläßlich, die Schutzschicht 4 auf dem Magnetaufzeich nungselement bei einer Temperatur von nehr als 10000 zu trocknen bzw. einzubrennen, wobei die obere Grenze der Zinbrenntemperatur von den sich tbermisch ändernden @@genscnaften des Filmediu@s @ abhängt. @eim fediu 3 @@t die Bleichm@figbeit der @erzitivlraft bei lerfraturen über 300°c verloren, wouurch sice die Aufzeichnurgs- und wiedergabeeigenschaften des Aufzeichrungselementes verserlechtern, Aus diesem Orurde @u@ der Bereich der @inbeenntemperaturen zwischen 150°c und 300°c sein. Fine Te@peratur von mebr als 250°c verursacht eine @argnetisierung in der unmagnetischen Legierungsschicht 2, was eine Verschlechterung der Wiedergabe zur Fclge hat. Tenperaturen äber 250°c jedoch beeinflussen die obengenannten Figenschaften des Aagnetaufzeichnungselementes micht wesentlich.
  • Jedoch verursachen auch Temperaturen über 350°c der Unt erschiede in den thermischen Ausdehnungskoeffizienten zwischen der Legierungsscheibe 1 und der Legierungsschicht 2 ein Reißen am Aufzeichnungselement.
  • in amorphes, anorganisches Material, das eine Struktur bzw. Aufbau ähnlich der bzw. dem SiO2-Glas besitzt, wird auf die Oberfläche des Aufzeichnungselementes 5 als Schutzschicht 4 gebracht. Das hier verwendete amorphe Material ist eine Art von anorganischer hochmolekularer Verbindung bzw. kette einer weiter unten dargestellten Netzstrukturformel, in welcher jede Si-O-Bindung, die aus kovalenten Bindungen besteht, ung die Si-OH...O-Bindungen, die aus Hydrogen-Bindungen bestehen, dreidimensional miteinander verkettet werden.
  • Dieses Material wird im weiteren als Polysilicat bezeichnet:
    ---O---Si
    0 0- JO 0
    O---Si---O---Si---O---Si---
    Durch ausgezogene Linien sind die kovalenten Bindungen und durch gestrichelte Linien die Hydrogenbindungen in der obigen Netzstrukturformel dargestellt.
  • Das erwähnte Polysilicat wird durch dehydratisierende Kondensations-Polymerisation von Tetrahydroxysilan erzeugt, das durch Hydrolyse von Tetraalcoxysilan abgeleitet ist. Das Ausgangsmaterial für Tetrahydroxysilan, also Tetraalcoxysilan, ist durch die Formel Si (OR)4 gegeben, worin R das Alcyl-Radikal darstellt, d.h. eines der Methyl-, Athyl-, Propyl- und Buthyl-Radikale.
  • Tetraalcoxysilan ist in minderwertigem Alkohol löslich und wird durch Carbonsäure leicht hydrolisiert, so daß sich -Tetrahydroxysilan ergibt. Dieses Tetrahydroxysilan ist sehr stark aktiviert, so daß es schwierig ist, es von anderen zu trennen, und es ist in Alkohol, insbesondere in -ethyl-, Äihyl-, Propyl- oder Buthyl-Alkohol relativ hoch beständig. ei der Anwendung einer Alkohollösung von Tetrahydroxysilan auf die Oberfläche eines magnetmetallischen iediums bzw.
  • Substanz 3 und bei Verdampfen von dessen Lösungsmittel, wirddas Polymer der dreidimensionalen Netzstrukturformel, also Polysilicat, als Haut oder dünne Schicht 4 auf der Oberflache des Aediums 3 durch wasserentziehende bzw. dehydratisierende Kondensat ions-Polymerisat ion von Silanol-Radikalen Si-OH wie folgt gebildet:
    Si---OH + HO ---Si--#--Si ---O---Si--- + H2O
    In diesem Falle verbleibt das nicht reagierte Silanol-Radikal Si-Ofi im Polysilicat, wodurch dessen Adsorptions-und Okklusions- bzw. Absorptionswirkungen vergrößert werden, und das nicht reagierte Silanol-Radikal kann in seiner :ene bzw. Gehalt durch Trocknen bzw. Sinbrennen des Polysilicats bei hoher Temperatur verringert werden. Auf diese Weise wird die Dichte des Polysilicats weiter erhöht. Infolgedessen kann das Polysilicat mit stark kovalenten Bindungen von Si-O eher erhalten werden als mit schwachen Hydrogenbindungen eines Silanol-Radikals, so daß eine harte Schutzschicht 2 erzeugt werden kann. Vom Gesichtspunkt der für die Schicht 4 erforderlichen Härte aus ist es wünschenswert, daß das Polysilicat bei Temperaturen über 100°C crwärnt wird. B alne @berflöchenbese@ ffenheit mit dine geringer@n ned@argskoeffizienten zu ertalten, den man durch die Alsorgtiors- und Okklusionswirkungen von Wasser oder I :T entsprechend dem unreagierten Silanol-Radikal erhält, ist es andererseits erwänscht, das Polysillcat bie Fenperaturen von unter 750°c zu erwärmen, bei welchen das unreagierde @ilanol-@aadi@al verschwindet. Die Infrarotabsorptions-Epektralanalyse dieses nicht reaglerten silanol0hadikals zeigt, @a@ ein Absorptionsspektrun des Silanol-Radikals Si-OK bei einer Frequenz von 3400 cm-1 verschwindet und weist darauf bin, das das nicht reagierte Silanol-Radikal im Polysilicat enthalten ist. In dem Falle Jedoch, in de Polysilicat bei Temperaturen von über 7500C gebrannt wird, verschwindet das Infrarotabsorptionsspektrum tiers Silancl-Radikals Si-O:r .
  • Wie weiter unten beschrieben werden wird, besitzt die bekannte Schutzschicht aus SiO2, die durch ein Sprühverfahren aufgebracht wird, verglichen mit der Schutzschicht 4, die aus durch das erfindungsgem'fe Verfahren aufgebracht es Polysilicat besteht, die Tendenz, leicht ein Magnetkopfreiben zu bewirken und eine verminderte Oberflächeneigenschaft.
  • Im Gegensatz hierzu ist in der Schutzschicht 4, die durch das vorliegende Verfahren geschaffen wird, das nicht reagierte Silanol-Radikal enthalten, was durch die Infrarotabsorptions-Spektralanalyse bestätigt wird.
  • @omit besitzt die Schicht 4 wemen dr Atsorption und @kklusien von Wasser oder Öl in das im Fil@ werbleitende bilanol-Radi@al eine vertesserte Oberflächeneigenschaft mit einem geringen Reiburgsbeflizienten.
  • Aus diesem Grunde sind bei der Verwaendung der Schicht 4 die Widerstandsfähigkeit gegenäber einem lagnetkoofiruck bzw. -reiben, die Verschleis- bzw. Abriebfestigteit und diC Schmierwirkung bzw. Lubrizitat für das magnetische Aufzeichnungselenent 5 verbessert. Da eine Absorptionskraft von Wasser oder Öl in das Silanolradikal so groß ist, daß sich selbst dann, wenn das Aufzeichnungselement 5 bis auf 200°c erwärmt wird, daraus weder eine @nderung in seiner Wider standsfäbigkeit gegenüber einem Magnetkopfreiben noch hinsichtlich der Verschleißfestigkeit ergibt.
  • Die folgenden Beispiele zeigen die Eigenschaften der Herstellungsverfahren des erfindungsgemäßen Magnetaufzeichnungselementes 5, wobei die Erfindung im Vergleich mit bekannten Beispielen beschrieben wird.
  • Stand der Technik Beispiel 1: Ein scheibenförmiges Substrat bzw. eine Grundplatte aus einer Aluminiumlegierung wurde durch Drehen und Abflachen mittels Wärme zu einer leicht topographischen Oberfläche fein bearbeitet. Die Topographie sollte in diesem Falle weniger als 50 ji in U-nlfangsrichtung und weniger als 10 P in radialer Richtung sein. Es wurde dann eine unmagnetische Nickel-Phosphor ( Ni-P) -Legierung auf das aluminiumlegierte substrat mit einer Dicke von etwa 50 P plattiert. Der Ti-P-plattierte Überzug wurde dann zu einer Spiegelfläche mit einer Oberflächenrauhigkeit von weniger als 0,04 /u und bis auf eine Dicke von etwa 30 /u mittels eines mechanischen Polierverfahrens fein bearbeitet. Es wurde danach eine magnetmetallische Cobalt-Nickel-Phosphor(Go-Ni-P)-Legierung als magnetisches Speichermedium auf die Oberfläche der Ni-P-plattierten Schicht mit einer Dicke von etwa 0,05/u u aufplattiert. Dann wurde iO2 auf die Oberfläche der magnetmetallischen Co-Ni-P-Legierungsschicht als Schutzschicht mit einer Dicke von etwa O,1'u aufgetragen, wobei ein Sprühverfahren verwendet wurde. Auf diese Weise erhielt man ein Iagnetaufzeichnungselement für eine ?.iagnetplattenvorrichtung Beispiel 2: Eine unmagnetische Ni-P-Legierung wurde auf die Oberfläche einer scheibenartigen Aluminiumlegierung in ähnlicher weise wie beim bekannten Beispiel 1 plattiert.
  • Dann wurde eine Cobalt-Nickel-Phosphor(Co-Ni-P)-Legierung auf die Oberfläche der unmagnetischen Ni-P-Legierungsschicht plattiert. Borosilicat-Glas der unten angegebenen zusammensetzung wurde dann als Schutzschicht auf die Oberfläche der Co-Ni-P-Legierungsschicht unter Verwendung eines Sprühverfahrens mit einer Dicke von 0,1 @ aufplattiert, wodurc'. man ein Wagnetaufzeichnungselement erhielt, claus als eine Magnetplattenvorrichtung dient: SiO2 50,2 % BaO 25,1 % P2O3 13,0 % Al2O3 10,7 % As2O3 0,4 %.
  • Vorliegende Erfindung Seispiel 1: Eine scheibenförmige Aluminiumlegierung wurde fein bearbeitet, um eine leicht topographische Oberfläche durch Verfahrensvorgänge wie Drehen und Abflachen mittels :;r:me zu erhalten, so daß die legierte Scheibe 1 hergestellt werden kann. Dann wurde eine unmagnetische Nickel-Phosphor(Ni-P)-Legierung auf die AluminiumlegierungsoberflCche plattiert, wobei die unmagnetische Legierungsschicht 2 eine Dicke von etwa 50 X erhielt.
  • Die Oberfläche der Ni-P-plattierten Schicht wurde mittels eines mechanischen Polierverfahrens zu einer Spoegelfläche, d.h. zu einer Fläche mit einer Oberflächenrauhigkeit von weniger als 0,04 , und bis auf eine Dicke von etwa 30>i fein bearbeitet. Dann wurde eine magnetmetallische Cobalt-Nickel-Phosphor(Co-Ni-P)-Legierung aufplattiert, wobei das magnetmetallische Dünnfilmmedium 3 eine Dicke von etwa 0,05>1 erhielt.
  • Danach wurde eine Lösung aus einer unten angegebenen Zusammensetzung gründlich gemischt und durch eine dünne Filterschicht gefiltert, um abgesetztes bzw. niedergeschlagenes SiO2 oder Staub zu entfernen. Die Lösung wurde auf die Oberfläche der magnetmetallischen Co-Ni-P-Legierungsschicht durch ein Schleuder-Überzugsverfahren aufgetragen. Das scheibenartige Aluminiumlegierungs-Substrat auf welches die Ni-P- und dann die Co-Ni-P-Schicht plattiert wurden, wurde mit einer Geschwindigkeit von mehr als 200 U/min. in einer horizontalen Ebene gedreht, während die die oben erwähnte Zusammensetzung besitzende Lösung von einem Behälter aus auf die Scheibenoberfläche aufgetragen wurde. Die so abgegebene Lösung wurde aufgrund der Zentrifugalkraft über die Scheibenoberflache zum Außenumfang hin gesprüht. Wenn das Lösungsmittel (Athyl- und Buthylalkohol) der auf die Scheibenoberfläche aufgetragenen Lösung verdampft war, war eine Polysilicat-Schicht auf der Scheibenoberfläche als Schutzschicht 4 gebildet. Die Scheibe bzw. Platte, die eine Polysilicat-Schutzschicht 4 von 0,1 P Dicke besitzt, wurde dann eine Zeitlang Raumtemperatur (etwa 25°C) ausgesetzt, um das aus Athyl- und Buthyl-Alkohol bestehende und in der Polysilicatschicht verbliebene Lösungsmittel auszudampfen. Auf diese Weise wurde eine Schutzschicht auf der Scheibenoberfläche für eine Magnetscheibenvorrichtung erzeugt.
  • Zusammensetzung: Die Äthyl-Alkohollösung enthält 20 Gew. c Tetrahydroxysilan von 11 Gew.% und 80 Gew. ,g, n-Buthylalkohol.
  • Beispiel 2: ei einem dem erfindungsgemäßen Beispiel 1 ähnlichen Verfahren wurde zuerst eine Ni-P-Schicht und dann eine Co-Ni-P-Schicht auf eine aluminiumlegierte Scheibenoberfläche plattiert. Auf der Scheibenoberfläche wurde dann unter Verwendung des Schleuderüberzugsverfahrens eine Polysilicatschicht von 0,1 M Dicke gebildet. Die mit der Polysilicatschicht versehene Scheibe wurde dann bei einer Temperatur von 10000 in einem elektrischen Ofen 8 Stunden lang getrocknet bzw. gebrannt.
  • beispiel 3: Iqachdem die Polysilicatschicht ähnlich dem erfindungsgemäßen Beispiel 2 auf die Scheibenoberfläche gebracht wurde, wurde die Scheibe bei einer Temperatur von 15000 in einem Elektroofen 5 Stunden lang getrocknet bzw.
  • gebrannt.
  • Beispiel 4: Die Polysilicatschicht wurde auf der Scheibenoberfläche gemäß einem ähnlichen Verfahren wie beim erfindungsgemäßen Beispiel 2 gebildet und dann die Scheibe bei einer Temperatur von 20000 im Elektroofen 3 Stunden lang getrocknet bzw. gebrannt.
  • beispiel D: Cllnlich dem Beispiel a wurde die Polysilicatschicht auf der Scheibenoberfläche gebildet und dann die Scheibe bei einer Temperatur von 2O0C 0 L?lee'ktro ofen 3 Stunden lang getrocknet bzw. gebrannt.
  • Beispiel 6: Desgleichen wurde die Polysilicatschicht auf der Scheibenoberfläche in einem dem erfindungsgemäßen Beispiel 2 ähnlichen Verfahren gebildet und darauf die Scheibe bei einer Te:nperatur von 300 0C 1 Stunde lang getrocknet bzw. gebrannt.
  • Beispiel 7: Ähnlich dem erfindungsgemäßen Beispiel 2 wurde die Polysilicatschicht auf der Scheibenoberfläche gebildet und darauf die Scheibe bei einer Temperatur von 3500C im Elektroofen 1 Stunde lang getrocknet bzw. gebrannt.
  • Beispiel 8: Gemäß einem dem erfindungsgemäßen Beispiel 1 ähnlichen Verfahren wurde zuerst eine Ni-P- und dann eine Co-Ni-P-Schicht auf eine alwniniumlegierte Scheibenfläche plattiert. Dann wurde eine unmagnetische Ni-P-Legierung von 0,4 F Schichtdicke durch Plattieren auf der Scheibenoberfläuhe und danach darauf mittels des Schleuderüberzugsverfahrens eine Polysilicatschicht bis auf 0,1)1 Dicke gebildet. Zuletzt wurde die Scheibe bei einer Temperatur von 200 0C im Elektroofen 3 Stunden lang getrocknet bzw. gebrannt.
  • tfie oben beschrieben, kann eine Polysilicatschichtdicke von mehr als O,3>i wegen des möglichen Reißens der Schicht nicht zugelassen werden.
  • Deshalb wurde, wie beim erfindungsgemäßen Beispiel 8 beschrieben, eine unmagnetische Ni-P-Legierung auf der Oberfläche des magnetischen Co-Ni-P-Dünnfilms bis 11 auf eine Dicke von 0,4 plattiert. Dann wurde Polysilicat auf die Oberfläche der unmagnetischen Ni-P-Legierungsschicht bis auf eine Dicke von 0,1 >1 aufgetragen, um eine Schutzschicht von 0,5 p zu bilden, was die Gesamtdicke der vorgenannten Ni-P-Legierungsschicht und der Polysilicatschicht, die auf der Oberfläche des magnetmetallischen Co-Ni-P-Dünnfilms gebildet sind, bedeutet.
  • Es wurden mit den betreffenden Magnetplatten, die gemäß den bekannten Beispielen 1 und 2 und gemäß den erfindungsgemäßen Beispielen 1 bis 8 hergestellt wurden, Betriebsversuche durchgeführt, bei denen die Start- und Stopp-Vorgange während des Aufzeichnungs-und Wiedergabe zustandes wiederholt wurden, wobei jeder EWiagnetkopf immer dann mit der Magnetplatte in Reibungskontakt gebracht wurde, wenn die erwähnten Start- und Stoppvorgänge durchgeführt wurden. Bei diesen Versuchen wurue folgendes gemessen: (1) Die Frequenzen beim Auftreten eines Magnetkopfdruckes bzw. -reibens während der sich wiederholenden Versuche, (2) Änderungen bzw. Schwankungen in der Wiedergabe am Ausgang durch den laOnetkopf aufgrund einer Vielzahl von Reibungskontaktzyklen des Magnetkopfes und der Magnetplatte und ()J Beobachtung einer Schutzschichtabnutzung aufgrund einer Vielzahl von Reibungskontakt zyklen des Magnetkopf es auf der Magnet platte.
  • Bei jeder Magnetplatte, die gemäß den bekannten Beispielen 1 und 2 und den erfindungsgemäßen Beispielen 1 bis 8 hergestellt wurden, wurden zusätzliche flessungen gemacht, um folgendes zu überprüfen: (4) Die Änderung bzw. CTchwankung sowohl der Wiedergabe durch den Magnetkopf als auch der Oberflchenbeschaffenheit der Schutzschicht, und (5) die Gleichmäßigkeit der Wiedergabe.
  • Tabelle 1 zeigt die erwähnten Versuchsergebnisse. Tabelle 1
    Merkmale
    Reispiele (1) (2) (3) (4) (5)
    Magnetkopf- Änderung abgeblätterter äußere Einfluß- Änterung
    reiben am Ausgang Bereich prufüung am Ausgang
    head-crushing (Verhältnis)
    bekanntes
    Beispiel 1 einmal pro 10 5 PeineÄnderung <40
    100 Umdrehun- bemerkt
    gen
    bekanntes
    Bei-
    spiel 2 keiner keiner keiner dito dito
    erfindungs-
    gemäes
    Beispiel 1 dito dito 10 % - <30 %
    "2 " " keiner keine Änderung dito
    "3 " " dito dito "
    "4 " " " " "
    "5 " " " " "
    "6 " " " " "
    "7 " " " " >30 %
    "8 " " " " <30 %
    Im folgenden werden die \Tersuc?'ser benisse beschrieben bzw. ausgewertet.
  • ferkmal (1): Bs wurden 50.000 Reibungskontaktversuche der jagnet köpfe mit Yiagnetplatten aller Beispiele durchgeführt.
  • I, Laufe der Versuche haben sich kleine Teile bzw.
  • Plättchen der Schutzschicht von der -,agnetplattenoberflache abgelöst, was durch ein Auftreten und Reiben des Mag net kopfes verursacht wurde; dann wurden die Versuche auf einer anderen Spur derselben Plattenoberfläche fortgesetzt. Da jedoch die Magnetplatte, die nach dem bekannten Beispiel 1 hergestellt wurde, des öfteren eine Magnetkopfberührung bzw. -reibung erfuhr, wurden die Versuche nach 1.000 Reibungskontaktversuchen abgebrochen. Als Ergebnis hat sich herausgestellt, daß der Magnetkopf der Magnetplatte beim bekannten Beispiel 1 in die Plattenoberfläche einschneidet, und deshalb kontinuierliche Aufzeichnungs-und Wiedergabevorgänge nach 100-fach wiederholten Reibungskontaktversuchen des Magnet kopfes auf der Magnetplatte unmöglich wurden.
  • Im Gegensatz dazu ergab sich in den Fällen des bekannten Beispiels 2 und der erfindungsgemäßen Beispiele 1 bis 8 kein Einschneiden des Magnet kopfes in Magnetplattenfläche in einem solchen Maße, daß er das magnetmetallische Co-Ni-P-Dünnfilrtimedium erreicht hätte. Deshalb wurden die Aufzeichnungs- und Wiedergabevorgänge normal fortgesetzt.
  • rerkinal (2): Eine über einen Verstärker wiedergegebene Ausgangsspannung wurde mit einem Oszilloskop während der fliegenden oder schwebenden Bewegung des über die .Iagnetplatte gebrachten Nagnetkopfes beobachtet.
  • Es wurde dann der Vergleich des oder der Ausgangssignale zu Beginn mit dem oder den Ausgangssignalen nach 30.000-fach wiederholten Reibungskontaktversuchen des f4agnetkopfes mit der dagnetplatte durchgeführt.
  • Die Versuchsergebnisse haben gezeigt, daß die gemäß dem bekannten Beispiel 2 und gemäß den erfindungsgemäßen Beispielen 1 bis 8 hergestellten Magnetplatten innerhalb eines richtigen Meßbereichs frei von Ausgangsverschlechterungen sind. Demgegenüber erfuhr die Platte nach dem bekannten Beispiel 1 ein Reiben des Magnetkopfes, was zur Folge hat, daß die Reibungskontaktversuche des Magnet kopfes mit der Magnetplatte unterbrochen wurden, bevor die beabsichtigten 30.000 Zyklen erreicht wurden. Mit anderen Torten, die vorgenannten Betriebsversuche wurden bis zu 1.000 Zyklen mit dem Ergebnis einer 10 XO-igen Ausgangsverminderung wiederholt.
  • Merkmal (5): Der Reibungskontaktversuch des Magnet kopfes mit der Magnetplatte wurde in 30.000 Zyklen wiederholt. Es wurden dann die Magnet kopf spuren auf einer Spur der Magnetplattenfläche mit einem Mikroskop zur Messung des abgeblätterten Bereiches der Magnetplattenoberfläche beobachtet, jedoch konnte inan auf der Oberfläche der fiagnetplatte nach den bekannten Beispiel 2 und auf denen der Magnetplatten nach den erfindungsgemäßen Beispielen 2 bis 8 kein Abblättern feststellen.
  • Andererseits besaß besaß die Magnetplatte nach dem erfindungsgemäßen Eeispiel 1 einen abgeblätterten @ereich, der etwa 10 % des Magnetkopf-Perührungsbereiches auf seiner 2-pur ausmacht. In Felle des bekannten Deispieles 1 jedoch konnte der Reibungskontaktversuch bis zu 30.000 zyklen wegen des Magnetkopfrcibens richt ausgeführt werden, so daß 8er Versuch bei 1.DOO Zyklen gestoppt wurde. Der sich danach ergebende abgeblätterts ereich war etwa 5 % des Magnetkopf-Perührungsbereiches auf der betreffenden Spur.
  • Merkmal (4): Die ußere Einflußprüfung, die aus zwei Zyklen eines Versuches, der bei einer Temperatur von 650c und einer relativen Feuchtigkeit von °O 7 4 Stunden lan, unter nommen wurde, und aus einer Zyklus bei einer Temperatur von -40°c 3 Stunden lanO bestand, wurde zehnmal wiederholt. Die Versuchsergebnisse ergaben keine Veränderung, in der dagnetplattenoberfläche weder bei der nach dem bekannten Beispiel 1 noch bei denen nach den erfindungsgemäßen Beispielen 2 bis 8.
  • Es sei erwähnt, daß der Umgebungsversuch bei der Aagnetplatte nach dem erfindungsgemäf.en Beispiel 1 nicht durchgeführt wurde, weil die Platte einer Erwärnung bis auf 65°c ausgesetzt wird.
  • erital (5): die Veränderung bzw. @chwankung in wiedergegebenen Ausgang wurde überprüft, also das Verbältnis der Differenz zwischen dem daxinum und den Ainimum der vom Magnetkopf wiedergegebenen Ausgänge zu desser maximale Ausgang. Es ergab sich bei den Magnetplatten nach den bekannten Beispielen 1 und 2 und den erfindungsgemäßen beispielen 1 bis 6 keine Änderung der riedergabe am Ausgang von mehr als 30 %, während man bei der Magnetplatte nach dem erfindungsgemäßen Beispiel 7 eine Änderung bzw. Schwankung der Wiedergabe am Ausgang von über 30 % erhielt. Dies ergab sich aufgrund der Tatsache, deß beim trennen der Magnetplatte bei einer hohen Temperatur die Gleichmäßigkeit in den Eigenschaften. des Magnetaufzeichnungselementes mit ä.ngeln behaftet wird.
  • sSie aus dem Vorhergehenden ersichtlich ist, sind die Magnetplatten, die eine Schutzschicht aus SiO2 besitzen, die mittels eines Sprübverfahrens wie bei den bekannten Beispielen gebildet ist, für ein Magnetaufzeichnungselement hoher Zuverlässigkeit nicht geeignet.
  • an hat festgestellt, daß die Magnetplatten, die Schutzscbichten aus Polysilicat besitzen, die entsprechend den erfindungsgemäßen Beispielen aufgetragen werden, eine hohe Zuverlässigkeit innerhalb von Brenntemperaturbereichen von 1000C und 300 0C als auch ausgezeichnete Aufnahme- und Wiedergabe eigenschaft en besitzen.
  • Ferner können die Magnetplatten5 die Schutzschichten besitzen, die durch das beim bekannten Beispiel 2 verwendete Glassprühverfahren hergestellt sind, eine ausreichend hohe Zuverlässigkeit und gute Auf nahme-und Wiedergabeeigenschaften besitzen. Der Produktionsausstoß der herkömmlichen Scheiben pro Stunde ist jedoch 1/10 von dem der erfindungsgemäßen Magnetscheiben, die die auf Massenproduktionsbasis hergestellten Polysilicat-Schutzschichten besitzen. Ferner ist mit dem Sprühverfahren die Verwendung eines komplizierten Vakuumsystems, das viel Zeit und Anstrengung erfordert, und mit der Verwendung eines kostspieligen Sprühgerotes zum Auftragen der Schutzschicht auf eine großflächige Magnetplatte verbunden.
  • Auf der anderen Seite können die Polysilicatschichten bei geringen Kosten derart in einfacher Tdeise gebildet werden, daß eine Alkohollösung von Tetrahydroxysiland auf die Grundplattenfläche mittels des oben erwähnten Schleuderüberzugsverfahrens aufgebracht, der Alkohol in der Alkohollösung verdampft wird und daß die so erhaltenen Scheiben in der Atmosphäre getrocknet werden.
  • Aus diesem Grunde sind die Schutzschichten, die aus Polysilicat bestehen, hinsichtlich derjenigen Eigenschaften ausgezeichnet, die für die Schutzschichten und die Massenproduzierbarkeit erforderlich sind, und hinsichtlich le Ferstellungskost und der freien Größenwahl (keine Abmessungsbeschränkungen) eines Magnetaufzeichnungselementes vorteilhaft.
  • Pei den vorgenannten Beispielen vorliegender Erfindung wurden die Aluminiumlegierungsplatte, die Ni-P-Legierungsschicht und das Cc-Ni-P als Legierungsscheibe 1, als unmagnetische Legierungsschicht 2 bzw. als magnetmetallisches D3nnfili.%riedium 3 verwendet, mit dem Ergebnis, daß die Trocken- bzw. Einbrenntemperatur der Schutzschicht 4 bis auf eine Temperatur von 300°c beschrf.nkt wurde. Es iståedoch auch klar, daß bei einer kcbinierten Verwendung einer Legierungsscheibe, die eine geringere thermische Änderung besitzt, einer uniagnet isc hen Legierungsschicht und einem magnetischen Dünnfilmmedium eine solche Temperaturbeschränkung wegfallen kann.
  • Bei den obengenannten erfindungsgemäßen Ausführungsbeispielen kann anstelle der für die Scheibe 1 verwendeten Al-Legierungsplatt e eine Titan-Legierung verwendet werden, die auf einer Oberfläche fein bearbeitet werden kann. Demgemäß kann dann die unmagnetische Legierungsschicht 2 weggelassen werden. Dann kann ein magnetmetallisches Dünnfilmmedium auf einer derart vorbereiteten Legierungsscheibe mittels eines Plattierverfahrens gebildet werden, und dann kann darauf die Schutzschicht aus Polysilicat hergestellt werden.
  • Be4-n erfindunsgemäßen Beispiel 9 wurde zuerst die unmagnetische Mi-P-Legieung auf die Obefläche ler Aluminiumlegierun-splatte und dann das mgnetmetallische Co-Ni-P-Dünnfilmmedium auf die unmagnetische Ni-P-Legierung plattiert, die zu einer Flcche fein bearbeitet wurde. Dann wurde darauf eine weitere unmagnetische Ni-P-Legierung plattiert, welchem Vorgang das Überziehen der dünnen Polysilicatschicht folgte. Obgleich die Schutzschicht die Oberfläche des magnetmetallischen Co-Ni-P-Dünnfilmmediwas überzieht, ist es trotzdem möglich, eine Schutzschicht nit einer Dicke von mehr als 0,3 u dadurch zu erreichen daß das Polysilicat die Oberflc.che der unmagnetischen Ni-P-Legierung überzieht. Eine Polysilicatschicht von mehr als 0,3 /u Dicke kann man wegen Rissebildung nicht herstellen, während die unmagnetische Ni-P-Legierung mit einer einheitlichen Dicke von mehreren 1/10 (lOtel) u plattiert werden kann. Ferner können selbst im Falle des erfindungsgemäßen Beispiels 1, in welchem die Polysilicatschicht nicht ausreichend gehärtet werden kann, zuerst die unmagnetische Ni-P-Legierung und dann das Polysilicat nacheinander die Oberflche des magnetmetallischen Co-Ni-P-Dünnfilmmediums plattiert werden, um so das magnetmetallische Co-Ni-P-Medium zu schützen. TWenn beispielsweise ein Teil der Polysilicatschicht abblättert, schützt die unmagnetische Ni-P-Legierung das obengenannte Dünnfilmmedium. Nur die Verwendung der unnagnetischen Ni-P-Legierung allein kann das magnetmetallische Co-Ni-P-Dünnfilmmedium nicht gut schützen, weil durch die unmagnetische Ni-P-Legierungssc hicht ein Magnetkopfreiben verursacht wird. Die unmagnetische Mi-P-Legierung hat jedoch hinsichtlich Zusammensetzung und Lage im periodischen system eine enge Beziehung zum magnetmetallischen Co-fTi-P-Dünrifilmmediutn. Aus diesem Grunde kann die erstere auf der Oberfläche der letzteren fest plattiert werden. Dadurch kann, wenn die Polysilicatschicht, die kein Magnetkopfreiben zur Folge hat, auf die Oberfläche der magnetischen Ni-P-Legierungsschicht aufgebracht ist, das magnetmetallische Co-Ni-P-Dünnfilmmedium gut geschützt werden, selbst wenn ein Teil der Polysilicatschicht abgeblätter@ ist.
  • Obwohl die vorliegende erfindung in Verbindung mit einer Anzahl von Beispielen beschrieben worden ist, versteht es sich, daß verschiedene Abwandlungen und Anderun;ren innerhalb des Rahmens der vorlietenden Erfindung; -n'^lich sind.
  • -Patentansprüche-

Claims (7)

  1. Patentansprüche Magnetaufzeichnungselement, beispielsweise Magnetplatte, -trommel od. dgl., mit einem legierten Träger, der ein-oder beidseitig mit einem magnetmetallischen Dünnfilm und einer dünnen Schutzschicht versehen ist, dadurch g e k e n n z e- i c h n e t , daß als Schutzschicht auf dem magnetmetallischen Dünnfilm (3) eine Polysilicatschicht (4) vorgesehen ist.
  2. 2. Magnetaufzeichnungselement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der legierte Träger (1) ein- oder beidseitig mit einer unmagnetischen Legierungsschicht (2) überzogen ist, die mit einer Spiegelfläche versehen ist, auf der der magnetmetallische Dünnfilm (3) aufgebracht ist.
  3. 3. Magnetaufzeichnungselement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der legierte Träger (1) ein- oder beidseitig mit einer Spiegelfläche versehen ist, auf der der magnetmetallische Dünnfll@ (3) unmittelbar auf-@ebracht ist.
  4. 4. Aagnetaufzeichnungselement nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Polysilicatschicht (4) und dan Öünnfilm (3) eine unmagnetische Laglerungsschicht vorgesehen ist.
  5. 5. Verfahren zum Herstellen eines Magnetaufzeichnungselementes, bei dem eine dünne Schutzschicht auf einen ein- oder beidseitig mit einem magnetmetallischen Dünnf ii versehenen Träger aufgebracht wird, nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch g e k e n n z e i c h n e t, daf eine Lösung aus Tetrahydroxysilan, das durch Hydrolyse von Tetraalcoxysilan gewonnen wird, auf den ma<gnetmetallischen Dünnfilm (3) gebracht wird, daß der so vorbereitete Träger (1) dann bei einer Temperatur von über 1000C in einer Art und Weise getrocknet bzw. gebrannt wird, das eine änderung der magnetischen Eigenschaft des für den Dünrifilin (3) verwendeten Mediums keine nachteiligen Auswirkungen auf die Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften des Magnetaufzeichnungselementes (5) hat und auf dem Dünnfilm (3) eine dünne Polysilicatschicht (4) gebildet wird.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Dünnfilm (3) auf die Oberfläche einer unmagnetischen Legierungsschicht (2) aufgebracht wird, die zuvor auf den Träger (1) aufgebracht und deren Oberfläche zu einer Spiegelfläche poliert wird.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Dünnf'ilm (3) unmittelbar auf die Oberflache des Trägers (1) aufgebracht wird, die zuvor zu einer Spiegelfläche poliert wird.
    L e e r s e i t e
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