DE2948845C2

DE2948845C2 - Magnetspeicherplatte und Verfahren zu deren Herstellung

Info

Publication number: DE2948845C2
Application number: DE2948845A
Authority: DE
Inventors: Masahiro Tokyo Yanagisawa
Original assignee: Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1978-12-19
Filing date: 1979-12-05
Publication date: 1982-12-09
Also published as: DE2948845A1; JPH0118500B2; US4326229A; JPS5584045A

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Magnetspeicherplatte nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und auf ein Verfahren zu deren Herstellung.

Als ein bekanntes Aufzeichnungs- und Wiedergabesystem wird im allgemeinen das Kontakt-Start-Stop (CSS)-System bei Magnetaufzeichnungsvorrichtungen so verwendet, die mit einem Aufzeichnungs/Wiedergabe-Kopf (im folgenden lediglich als Magnetkopf bezeichnet) und einer Magnetspeicherplatte versehen sind. Das CSS-System wird dadurch in Betrieb gesetzt, daß beim Start der Magnetkopf in Kontakt mit der Oberfläche der Magnetspeicherplatte gebracht wird, daß diese daraufhin mit einer bestimmten Geschwindigkeit rotierend angetrieben wird, so daß sich ein Luftfilm-Zwischenraum zwischen dem Magnetkopf und der Speicherplattenoberfläcne bildet, und daß schließlich ^b0 die Aufzeichnung oder Wiedergabe (Playback) durchgeführt wird, während der der Zwischenraum aufrechterhalten wird. Beim CSS-System wird die rotierende Magnetspeicherplatte gleichzeitig mit der Beendigung des Vorganges bzw. Betriebs angehalten, so daß der t>5 Magnetkopf wieder in Reibkontakt mit der Speicherplattenoberfläche, wie zu Beginn der Operation, kommt.

Die Reibkraft, die zwischen dem Magnetkopf und der Speicherplattenoberfläche während des gegenseitigen Kontaktes ausgeübt wird, bewirkt eine Abnutzung sowohl des Magnetkopfes als auch der Magnetspeicherplatte und kann schließlich den. Magnetkopf und das magnetmetallische Dünnfilmmedium auf der Magnetspeichei platte beschädigen. Selbst eine geringe Änderung der Lage des Magnetkopfes hat be: diesem Reibkontaktzustand eine uneinheitliche Belastung des Magnetkopfes zur Folge und kann deshalb den Magnetkopf und die Speicherplattenoberfläche beschädigen. Deshalb wird während der Aufzeichnung oder der Wiedergabe in den Fällen, in denen der Magnetkopf plötzlich und unerwartet die Oberfläche der Magnetspeichersplatte berührt, eine große Reibkraft zwischen dem Magnetkopf und der Magnetspeicherplatte ausgeübt, die zu Beschädigungen oder zum Ausfallen führen kann. Um den Magnetkopf und die Magnetspeicherplatte vor Reibung und vor Abnutzung und Ausfallen aufgrund der gegenseitigen Berührung zu schützen, ist es notwendig, die Oberfläche der Magnetspeicherplatte mit einem Schutzfilm zu überziehen.

Unter der Vielzahl der bisher vorgeschlagenen Schutzfilme sind einige hinsichtlich des oben erwähnten Reibkontaktes, Abriebs und Ausfallens wirksam. Abhängig von den Umgebungsbedingungen, unter denen die Magnetaufzeichnungsvorrichtungen verwendet werden, beobachtet man jedoch häufig, daß eine große Adhäsivität zwischen dem Magnetkopf und der Speicherplattenoberfläche erzeugt wird, die nachteilige Auswirkungen auf die mechanische Stabilität zwischen diesen beiden hat.

Bei den verschiedenen Erörterungen des Problems der Erzeugung einer solchen Adhäsivität hat sich folgendes herausgestellt:

(i) Die Adhäsivität wird aufgrund eines riüssigkeitsfilmes zwischen dem Magnetkopf und der Magnetspeicherplatte erzeugt und ihr Wert wächst in gleichem Maße wie die Oberflächenrauhigkeit des Magnetkopfes und der Magnetspeicherplatte geringerwird.

(ii) Der Flüssigkeitsfilm, der die Adhäsivität erzeugt, wrd auf den Oberflächen von Magnetkopf und 5 Magnetspeicherplatte gebildet, wenn der Magnetkopf auf der Speicherplattenoberfläche gleitet, während ein bestimmter Abstand zwischen ihnen eingehalten wird, wobei die Menge eines solchen Flüssigkeitsfilmes insbesondere bei hohen Feuchtigkeitsbedingungen besonders groß ist.

(iii) Der Flüssigkeitsfilm auf der Speicherplattenoberf I ache wird im CSS-Modus vom Magnetkopf abgerieben, so daß sich der Flüssigkeitsfilm ansammeln kann und so in den Zwischenraum zwischen Magnetkopf und Magnetspeicherplatte im Zustand des ruhenden oder gleitenden Kontaktes eindringen kann, was wiederum zur Adhäsivität führt.

Diese Adhäsivität bewirkt ein Anwachsen der Belastung des Antriebsmotors für die Magnetspeicherplatte und ergibt gleichzeitig eine große Reibkraft während des Gleitens des Magnetkopfes auf der Speicherplattenoberfläche, wodurch in einigen Fällen ein Ausfallen sowohl des Magnetkopfes als auch der Magnetspeicherplatte beobachtet wurde.

Des weiteren wird bei Magnetspeicherplatten für Aufzeichnungen hoher Dichte deren Oberfläche zur Spiegelfläche fein bearbeitet, und zwar wegen der

Notwendigkeit, die Oberflächenrauhigkeit des Aufzeichnungsmediums hinsichtlich der Aufzeichnungsund Wiedergabemerkmale auf ein Minimum zu bringen. Demgemäß ist die Oberflächenrauhigkeit des Schutzfilmes, der auf einer solchen Spiegeloberfläche des Aufzeichnungsmediums gebildet ist, im allgemeinen kleiner als die dieser Schicht, was eint- große Adhäsivität zwischen Magnetkopf und Magnetspeicherplatte bewirkt, die die mechanische Stabilität nachteilig beeinflußt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Magnetspeicherplatte der im Oberbegriff des Patentanspruches 1 genannten Art zu schaffen, bei der eine Adhäsivität zwischen Magnetkopf und Magnetspeicherplatte verhindert wird und trotzdem eine dichte Aufzeichnung erhalten wird. Ein Verfahren zur Herstellung der Magnetspeicherplatte wird angegeben.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einer Magnetspeicherplatte der eingangs genannten Art durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 und bei einem Verfahren zu deren Herstellung durch die im Kennzeichen des Anspruchs 3 angegebenen Merkmale gelöst.

Gemäß vorliegender Erfindung ist also möglich, ein Anwachsen der Adhäsivität zu verhindern und gleichzeitig den Abrieb bzw. die Abnutzung der Speicherplattenoberfläche beim Kontakt mit dem Magnetkopf zu verringern, und auch die Antriebsmotorbelastung zu beschränken, wie sich weiter hinten im einzelnen zusammen mit weiteren Vorteilen aus dem Vergleich jo von erfindungsgemäßen Beispielen und Vergleichsbeispielen von Magnetspeicherplatten ergibt.

Im folgenden wird die Erfindung anhand des in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiels näher beschrieben und erläutert. Es zeigt r,

Fig. 1 die Draufsicht auf eine Magnetspeicherplatte gemäß einem Ausführungsbeispiel vorliegender Erfindung, und

Fig. 2 einen Schnitt längs der Linie A-ßder Fig. 1.

Wie in F i g. 2 dargestellt, ist die vorliegende Magnetspeicherplatte 3 aus einer mit einer Zwischenbeschichtung versehenen Trägerscheibe 1 mit einem Aufzeichnungsmedium und einem Schutzfilm 2 aufgebaut, der eine Oberflächenrauhigkeit von 0,02 bis 0,05 μίτι mit sinusförmigen Erhebungen und Vertiefungen besitzt, die unter einem mittleren regelmäßigen Abstand von 10 bis 200 μιη angeordnet sind. Die Oberfläche des Schutzfilmes 2 ergibt sich aus Fig. 1, wobei die Bezugsziffer 4 die Erhebungen und die Bezugsziffer 5 die Vertiefungen jede der Sinuswellen darstellt

Die beschichtete Trägerscheibe 1 enthält ein Aufzeichnungsmedium, das aus einem magnetmetallischen Dünnfilm aufgebaut ist, dessen Oberflächenrauhigkeit derart ausgewählt ist, daß die Aufzeichnungs- und Wiedergabemerkmale nicht verschlechtert werden. In bevorzugter Weise ist die beschichtete Trägerscheibe 1 mit einer geringen Welligkeitstoleranz von nicht mehr als 50 μίτι in Umfangsrichtung und 100 pm in radialer Richtung versehen und besitzt eine geringe Oberflächenrauhigkeit von weniger als 0,02 μιη, um so ausreichende Aufzeichnungs- und Wiedergabe-Charakteristiken zu erreichen. Die Trägerscheibe 1 ist entweder eine Scheibe, deren Oberfläche mit einem Aufzeichnungsmedium aus einem magnetmetallischen b> Dünnfilm (US-PS 4162 350) überzogen, oder eine Scheibe, die aus einem Aufzeichnungsmedium aus einem magnetmetallischen Dünnfilm, der mit einer unmagnetischen Legierung überzogen ist besteht oder eine Scheibe, deren Oberfläche mit einer chemischen Behandlungsschicht überzogen ist

Der Schutzfilm 2 ist dünn und derart fertig bearbeitet, daß er eine Oberfläche mit sinusförmigen Erhebungen und Vertiefungen besitzt Der Schutzfilm 2 kann aus einem Polysilikat (US-PS 41 62 350), einem Polysilikat mit vorbehandelter Schicht (US-PS 41 52 487), einem Polysilikat mit einem Hydrolysepolymer von Metallalkoxid oder einem Spannungsrclaxationsmittel (US-PS 41 52 487) oder einem amorphen anorganischen Oxid mit einer orientierten Schmiermittelschicht auf ihrer Oberfläche (US-PS 40 69 360) bestehen.

Um das Auftreten einer Adhäsivität zum Magnetkopf zu verhindern, besitzt die Oberfläche des Schutzfilms 2 eine Teilung von ΙΟμσι bis 0,2 mm und eine Oherflächenrauhigkeit von 0,02 bis 0,05 μπι. In diesem Zustand kann man auch einen weichen Kontakt der sinusförmigen Erhebungen und Vertiefungen mit dem Magnetkopf erreichen, um so die Abnutzung zu verringern. Bei der Magnetspeicherplatte tritt das Adhäsiv-Phänomen mit dem Magnetkopf gerne dann auf, wenn die Oberflächenrauhigkeit des Schutzfilmes gleich oder kleiner als die der beschichteten Trägerscheibe ist

Im Gegensatz dazu wird die Gleit- bzw. Flugeigenschaft des Magnetkopfes auf bzw. über der Magnetspeicherplatte nachteilig beeinflußt, wenn die Oberflächenrauhigkeit des Schutzfilmes einen bestimmten Wert erreicht.

Einen Schutzfilm, der eine solche Oberfläche geeigneter Teilung und Rauhigkeit besitzt, erhält man dadurch, daß man ein Lösungsmittel mit einem Siedepunkt unter 100°C als Überzugslösung auswählt, die den Film bildet. Das verwendbare Lösungsmittel kann man auswählen aus: Alkohol, wie Methylalkohol, Äthylalkohol, Isopropylalkohol, Normalpropyialkohol, tertiärer Butylalkohol oder sekundärer Butylalkohol; Ester, wie Methylacetat, Äthylacetat, Isopropylacetat oder Methylpropyonat: oder Keton, wie Azeton, Äthylmethylketon oder Isopropylmethylketon.

Wenn auch die Oberfläche eines mit Körnern polierten Schutzfilms keinen richtungsweisenden Einfluß bzgl. der Oberflächenrauhigkeit besitzt, besteht ein solcher Einfluß auf eine Schutzfilmoberfläche, die durch Verwendung des Lösungsmittels fein bearbeitet wird. Das heißt, daß sinusförmigen Erhebungen und Vertiefungen erstrecken sich in radialer Richtung und im wesentlichen parallel zueinander und sind in Umfangsrichtung unter einem mittleren regelmäßigen Abstand von 10 bis 200 μΐη angeordnet. Da während des Spinüberzugsverfahrens zur Bildung der sinusförmigen Erhebungen und Vertiefungen eine Oberflächenspannung erreicht wird, werden diese in einheitlicher Größe gebildet, um so jeglichen Einfluß auf die Flugstabilität des Magnetkopfes zu vermeiden. Wegen der Berührung des Magnetkopfes nur mit den Erhebungen auf der Oberfläche des Schutzfilms ergibt sich kein Abrieb, wobei Adhäsivität verhindert wird.

Im folgenden sei die erfindungsgemäße Magnetspeicherplatte und ein Verfahren zu deren Herstellung im einzelnen anhand der folgenden Herstellungsbeispiele beschrieben:

Beispiel 1

Bei einem platten- bzw. scheibenförmigen Aluminiumlegierungs-Grundteil wurde die Oberfläche so, daß sie eine leichte Topographie (weniger als 50 μίτι in

Umfangsrichtung und weniger als ΙΟμιπ in radialer Richtung) besaß, durch Abdreh- und Wärmeabflachungs-Verfahren fein bearbeitet, so daß sich eine Legierungsscheibe ergab. Das Aluminiumlegierungs-Grundteil wurde mit einer unmagnetischen Legierung ί aus Nickel-Phosoplior bis zu einer Dicke von 50 μίτι plattiert, so daß sich eine unmagnetische Legierungsschicht ergab, die dann durch mechanisches Polieren zu einer Spiegeloberfläche fein bearbeitet wurde, die eine Rauhigkeit von weniger als 0,02 μιη und eine Dicke von in etwa 30 μπι besaß. Die unmagnetische Legierungsschicht wurde ferner mit einer magnetmetallischen Legierung aus Kobalt-Nickel-Phosphor bis zu einer Dicke von etwa 0,05 μιτι plattiert. Daraufhin wurde die so gebildete Kobalt-Nickel-Phosphor-Schicht mit einer r> Lösung der folgenden Zusammensetzung mittels eines Spinüberzugsverfahrens überzogen. Genauer gesagt, in dem Zustand, in dem die Scheibe in einer horizontalen Ebene mit einer Geschwindigkeit von mehr als 50 U/min rotierend angetrieben wurde, wurde die ?i> Lösung aus einem Gefäß auf die Scheibenoberfläche gebracht, so daß die Lösung durch die Zentrifugalkraft auf der Scheibenoberfläche ausgebreitet wurde und somit diese benetzt hat. Mit dem Verdampfen des Lösungsmittels (lsopropylalkohol) das in der so auf der r> Scheibenoberfläche ausgebreiteten Lösung enthalten ist, wurde eine Schicht aus Polysilikat gebildet. Die auf diese Weise mit der Polysilikatschicht von 0,1 μιτι Dicke überzogene Scheibe wurde bei 200⁰C drei Stunden lang in einem elektrischen Ofen gebrannt, so daß sich die jo Magnetspeicherplatte ergab.

Tetrahydroxysilan 11 % Iso-

propylalkohol-Lösung 14 Gew.-%

lsopropylalkohol 86 Gew.-%

Durch den oben genannten Vorgang wurde die beschichtete Trägerscheibe mit einem Schutzfilm überzogen, dessen Oberfläche eine Rauhigkeit von 0,04 μιη mit Erhebungen und Vertiefungen besitzt die sich in radialer Richtung zur Peripherie der Magnetspeicherplatte hin erstrecken und in Umfangsrichtung unter einem regelmäßigen Abstand von 80 μιη angeordnet sind.

Beispiel 2

45 hend genannten verwendet wurde:

Tetrahydroxysilan 5,6% Äthylalkohol-Lösung
Sekundärer Butylalkohol

27 Gew.-% 73 Gew.-%

Durch den oben genannten Vorgang wurde die beschichtete Trägerscheibe mit einem Schutzfilm bedeckt, dessen Oberfläche eine Rauhigkeit von 0,02 μηι mit Erhebungen und Vertiefungen besitzt, die sich zur Peripherie des Aufzeichnungselementes hin radial erstrecken und in Umfangsrichtung unter einem regelmäßigen Abstand von 60 μσι angeordnet sind.

Beispiel 4

In gleicher Weise wie beim Beispiel 1 wurde eine Magnetspeicherplatte hergestellt, mit der Ausnahme, daß eine Lösung der folgenden Zusammensetzung statt der vorhergehenden verwendet wurde:

Tetrahydroxysilan 5,6% Methylalkohol-Lösung 27 Gew.-% Äthylacetat 73 Gew.-%

Durch den oben genannten Vorgang wurde die beschichtete Trägerscheibe mit einem Schutzfilm überzogen bzw. bedeckt, dessen Oberfläche eine Rauhigkeit von 0,05 μπι mit Erhebungen und Vertiefungen besitzt die sich zur Peripherie der Magnetspeicherplatte hin radial erstrecken und unter einem regelmäßigen Abstand von 100 μιη in Umfangsrichtung angeordnet sind.

Beispiel 5

Ähnlich dem Beispiel 1 wurde eine Magnetspeicherplatte erzeugt, mit der Ausnahme, daß eine Lösung der folgenden Zusammensetzung verwendet wurde:

In einer dem Beispiel 1 ähnlichen Art und Weise wurde eine Magnetspeicherplatte hergestellt mit der Ausnahme, daß eine Lösung der folgenden Zusammensetzung statt der vorhergehend genannten verwendet so wurde:

Tetrahydroxysilan 11 % Äthylalkohol- Lösung 14 Gew.-% Äthylalkohol 86 Gew.-%

55

Durch den oben genannten Vorgang wurde die beschichtete Trägerscheibe mit einem Schutzfilm überzogen, dessen Oberfläche eine Rauhigkeit von 0,05 μιη mit Erhebungen und Vertiefungen besaß, die w> sich zur Peripherie des Aufzeichnungselementes hin radial erstrecken und die in Umfangsrichtung unter einem mittleren Abstand von 200 μιη angeordnet sind.

Beispiel 3 _fc.

Ähnlich dem Beispiel 1 wurde eine Magnetspeicherplatte hergestellt mit der Ausnahme, daß eine Lösung der folgenden Zusammensetzung statt der vorherge-Tetrahydroxysilan 5,6% Iso-

propylalkohol-Lösung 27 Gew.-%

Azeton 73 Gew.-%

Durch den oben genannten Vorgang wurde die beschichtete Trägerscheibe mit einem Schutzfilm überdeckt dessen Oberfläche eine Rauhigkeit von 0,05 μπι besaß, wobei sich die Erhebung und Vertiefungen zur Peripherie der Magnetspeicherplatte hin radial erstrecken und in Umfangsrichtung unter einem regelmäßigen Abstand von 50 μιη angeordnet sind.

Beispiel 6

Eine magnetische Kobalt-Nickel-Legierungsschicht die in derselben Art und Weise wie beim Beispiel i gebildet wurde, wurde mit einer unmagnetischen Nickel-Phosphor-Legierungsschicht bis zu einer Dicke von 200 A ( = =0,02 μπι) plattiert. Die so mit den Legierungsschichten plattierte Scheibe wurde dann in eine Lösung (I) der unten angegebenen Zusammensetzung 30 Sekunden lang eingetaucht und danach abgespült und getrocknet so daß eine chemische Behandlungsschicht aufgebracht war.

Lösung (I)

Chromsäureanhydrid 03 Gew.-%

Natrium- Wasserstoifsulfid 2,0 Gew.-%

Wasser Gleichgewicht

Daraufhin wurde die chemische Behandlungsschicht

mit einer Lösung (II) der unten angegebenen Zusammensetzung durch das Spinüberzugsverfahren wie beim Beispiel 1 überzogen, um so einen Schutzfilm auf der Scheibenoberfläche zu bilden. Der Schutzfilm wurde des weiteren nach dem Spinüberzugsverfahren mit einer ^r> n-Butyl-Alkohollösung überzogen, die 0,1 Gew.-% Hexamethyldisilazan enthält, und dann wurde das ganze bei 200⁰C drei Stunden lang gebrannt, was zu der Magnetspeicherplatte führte.

10

Lösung (I I)

Tetrahydroxysilan 5,6% Iso-

propylalkohol-Lösung 27 Gew.-%

Isopropylalkohol 73 Gew.-%

I)

Durch den oben genannten Vorgang wurde die beschichtete Trägerscheibe mit einem Schutzfilm überdeckt, dessen Oberfläche eine Rauhigkeit von 0,04 μιη mit Erhebungen und Vertiefungen besaß, die sich zur Peripherie des Aufzeichnungselementes hin radial erstrecken und die in Umfangsrichtung unter einem regelmäßigen Abstand von 80 μίτι angeordnet sind.

Vergleichsbeispiel 1

Eine magnetische Kobalt-Nickel-Phosphor-Legierungsschicht, die in derselben Weise wie beim Beispiel 1 gebildet wurde, wurde mit SiO2-Glas durch ein Sprühverfahren überzogen, so daß sich ein Schutzfilm mit einer Dicke von 0,1 μιη ergab, wodurch eine )" Magnetspeicherplatte hergestellt wurde, dessen Oberflächenrauhigkeit 0,005 μιη betrug.

Vergleichsbeispiel 2

Eine Magnetspeicherplatte wurde in ähnlicher Weise *"> wie beim Beispiel 1 hergestellt, mit der Ausnahme, daß eine Lösung der folgenden Zusammensetzung verwendet wurde; es wurde mit einem glatten Schutzfilm überzogen, der eine Oberflächenrauhigkeit von 0,005 μπι besaß. ·>"

Tetrahydroxysilan 5,6% n-Bu-

tylalkohol-Lösung 27 Gew.-%

n-ButylakohoI 73 Gew.-%

Die Siedetemperatur des n-Butylalkohols beträgt I18°C.

Unter Verwendung der Magnetspeicherplatten gemäß den erfindungsgemäßen Beispielen 1 bis 6 und den Vergleichsbeispielen 1 und 2 wurde die tangentiale Widerstandskraft, die zwischen dem Aufzeichnungselement und einem Magnetkopf von 10 Gramm ausgeübt wird, bei Rotationsbeginn der Magnetplattenvorrichtung gemessen, und zwar bei 80% Feuchtigkeit und einer Temperatur von 2O⁰C zu Beginn und am Ende der CSS-Versuchszyklen, die 30 OOOmal wiederholt wurden. Gemäß diesen experimentellen Ergebnissen betrug die tangentiale Widerstandskraft zwischen dem Magnetkopf und den Magnetspeicherplatten der Beispiele 1 bis 6 etwa 2 Gramm zu Beginn des CSS-Versuchszyklen und etwa 10 Gramm nachdem die Versuchszyklen 30 OOOmal wiederholt worden waren. Was die Vergleichsbeispiele 1 und 2 anbetrifft, so betrug die tangentiale Widerstandskraft etwa 3 Gramm zu Beginn der CSS-Versuchszyklen, zeigten jedoch einen erhöhten Wert von 50 Gramm nach 30 000 Versuchszyklen an. Überdies wurden viele Kratzer am Magnetkopf, der in Kontakt mit der Magnetspeicherplatte des Vergleichsbeispieles 1 war, beobachtet; auch zeigte sich eine Abnützungsspur, !m Falle der Verwendung einer Magnetspeicherplatte gemäß den Beispielen 1 bis 6 beobachtete man überhaupt keine ungünstigen Änderungen. Damit wurae bei den Magnetspeicherplatten der Beispiele 1 bis 6, von denen jede eine Oberfläche mit sinusförmigen Erhebungen und Vertiefungen besitzt, bewiesen, daß die tangentiale Widerstandskraft beim CSS-System auch unter hohen Feuchtigkeitsbedingungen nur in geringem Maße anwächst, was die Motorbelastung auf ein Minimum beschränkt, die vom Anwachsen des \nfangsdrehmomentes der Magnetplattenvorrichtung herrührt.

Gleichzeitig kann die Zuverlässigkeit bezüglich des Gleitkontaktes zwischen Magnetkopf und Magnetspeicherplatte verbessert werden.

Sowohl bei den genannten erfindungsgemäßen Beispielen als auch bei den Vergleichsbeispielen ergaben sich keine nachteiligen Auswirkungen bei der Aufzeichnungs- und Wiedergabeeigenschaften.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Magnetspeicherplatte bestehend aas einer Trägerscheibe mit einer Spiegeloberfläche und einem darauf aufgetragenen Aufzeichnungsmedium, das mit einem Schutzfilm versehen ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Schutzfilm (2) eine Oberflächenrauhigkeit von 0,02 bis 0,05 μιη mh sinusförmigen Erhebungen und Vertiefungen aufweist, die unter einem mittleren regelmäßigen Abstand von 10 bis 200 μιη angeordnet sind, wobei sich die Erhebungen und Vertiefungen in radialer Richtung zwischen dem Innen- und dem Außenumfang dsr Trägerscheibe (1) erstrecken.

2. Magnetspeicherplatte nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerscheibe (1) aus einer Aluminiumlegierung besteht und daß auf die Trägerscheibe (I) eine unmagnetische NicV.el-Phosphor-Legierungsschicht und eine magnetisierbare Kobalt-Nickel-Phosphor-Legierungsschicht aufgebrach! sind.

3. Verfahren zum Herstellen einer Magnetspeicherplattc nach Anspruch I, dadurch gekennzeichnet, daß die mit einem Aufzeichnungsmedium versehene Trägerscheibe zur Herstellung eines Schutzfilmes (2) mit einer Lösung aus einem Überzugsmaterial, das ein Lösungsmittel mit einem Siedepunkt von unter 100⁰C enthält, mittels eines Spinüberzugsverfahrens bedeckt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Lösungsmittel mit einem Siedepunkt von unter 100⁰C Methylalkohol, Äthylalkohol, isopropylalkohol, Normalpropylalkohol, Tertiärbutylalkohol, Sekundärbutylalkohol, Methylacetat, Äthylacetat, Isopropylacetat, Methylpropyonat, Ji Azeton, Äthylmethylketon oder Isopropylmethylketon ist.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lösung des Überzugsmaterials eine Tetrahydroxysilan-Lösung ist. «